CN202839564U - 晶舟的抽片移转治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型是有关于一种晶舟的抽片移转治具，包括有：一承置台、一滑杆、一立杆及一推杆。其中，承置台上具有一横向槽孔；滑杆滑设于承置台上的横向槽孔；立杆固设于滑杆的一端，且立杆具有一直向槽孔；推杆的二端分别固设有一推铲及一操作杆，且操作杆滑设于立杆的直向槽孔中。由此，本实用新型能利用U形机构连接，通过操作杆水平移转晶圆，取代已知依靠真空吸笔及垂直运动的晶圆移转作业，可防止晶圆刮伤、斜挿、叠片等缺点。

Description

晶舟的抽片移转治具

技术领域

本实用新型是关于一种抽片移转治具，特别是有关于一种晶舟的抽片移转治具，可防止晶圆破片或缺角的缺点问题。

背景技术

请参阅图1是已知晶舟(cassette)的抽片移转示意图，一般而言，多个晶圆(wafer)91是先一起存放于一具有多个承置槽901的第一晶舟90内，每一晶圆91分别存放于每一承置槽901，以方便作业人员或机器设备的机械手臂取拿。

如图所示，晶圆91在后续流程中检验时，若有必要，需从第一晶舟90中进行抽片移转至第二晶舟95的承置槽951，以检验晶圆91是否正常。其转换过程是先将第一晶舟90与第二晶舟95分别依序相邻置放于工作桌上，作业人员再利用右手握住真空笔去吸附取拿第一晶舟90的晶圆91的支持框，此时作业人员需避免真空笔去碰触到晶圆91的晶面，再将晶圆91放置于第二晶舟95的承置槽951上。

于转换过程中，若真空笔的吸力突然不够，或者作业人员突然碰触到真空笔的吸力释放键，则晶圆91会滑落，容易导致晶圆91刮伤、缺角或破片等情形。此时，若作业人员正好跨越第一晶舟90与第二晶舟95的上方，则将造成多片晶圆91相互碰撞而导致刮伤碎裂，并非十分理想，尚有改善的空间。

此外，若真空笔的吸力没有问题，作业人员放置晶圆91于第二晶舟95的承置槽951时，因承置槽951的槽孔宽度远大于晶圆91的厚度，也容易因作业人员未保持晶圆91的垂直角度而斜插入第二晶舟95的承置槽951，晶圆91容易出现斜插、叠片异常，导致可能出现刮伤其它晶圆91的晶面，造成晶圆91产品报废，亦非十分理想，尚有改善的空间。

创作人原因于此，本于积极发明创作的精神，亟思一种可以解决上述问题的“晶舟的抽片移转治具”，几经研究实验终至完成本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是在提供一种晶舟的抽片移转治具，其能利用U形机构连接，通过操作杆水平移转晶圆，取代已知依靠真空吸笔及垂直运动的晶圆移转作业，可防止晶圆刮伤、斜挿、叠片等缺点。

为达成上述目的，本实用新型的晶舟的抽片移转治具包括有：一承置台、一滑杆、一立杆及一推杆。其中，承置台上具有一横向槽孔；滑杆滑设于承置台上的横向槽孔；立杆固设于滑杆的一端，且立杆具有一直向槽孔；推杆的二端分别固设有一推铲及一操作杆，且操作杆滑设于立杆的直向槽孔中。

上述立杆上可具有与操作杆相互定位的多个定位孔，亦即，本实用新型可利用设于操作杆内部的凸销及弹簧的预力，而使凸销可卡合于立杆上的多个定位孔的其一，以便能调整操作杆的高度，进而可调整推杆的高度。

上述立杆上的每二相邻定位孔间的间距可相同，且立杆上对应于该多个定位孔处并可标示有多个不同的序号，以便可方便作业人员依序号对位来置放晶圆，也可避免晶圆斜挿或叠片。

上述滑杆与推杆可平行设置。另，上述承置台上可固设至少一传感器，以侦测晶舟正确摆放于承置台的特定位置。另承置台可布设多个传感器，例如，承置台可分设四个传感器，以便可确保置放于承置台上的二个晶舟确实定位而与推杆成一直线，若有一个传感器未确实感测定位，即表示晶舟未确实定位，此时传感器则可提醒作业人员，尚不能移转晶圆，避免对晶圆碰撞晶舟而造成刮伤。

上述立杆上的多个定位孔的水平高度位置可与晶舟上所承放的多个晶圆的水平高度位置相对应，以方便晶圆水平移转。

上述推铲可具有相连的一上档片、一下档片及一连接片，且上档片与下档片的间距略大于晶圆的厚度，以便于移转过程可确保晶圆不会幌动或倾斜。

上述推铲与推杆可为一体式结构，也可为二件式结构再结合固定成一件式的结构。

本实用新型的有益效果是：其能利用U形机构连接，通过操作杆水平移转晶圆，取代已知依靠真空吸笔及垂直运动的晶圆移转作业，可防止晶圆刮伤、斜挿、叠片等缺点。

附图说明

以下配合附图列举较佳实施例，用以对本实用新型的结构及功效进行详细说明，其中：

图1是已知晶舟的抽片移转示意图。

图2是本实用新型一较佳实施例的晶舟的抽片移转治具立体图。

图3是本实用新型一较佳实施例的立杆部分放大图。

图4是本实用新型一较佳实施例的晶圆移转前的示意图。

图5是本实用新型一较佳实施例的晶圆移转后的示意图。

图6是本实用新型一较佳实施例的晶圆移转中的示意图。

具体实施方式

请参阅图2及图3，其分别为本实用新型一较佳实施例的晶舟的抽片移转治具立体图及立杆部分放大图。本实施例的晶舟的抽片移转治具包括有：一承置台10、一滑杆20、一立杆30、及一推杆40。其中，承置台10具有一横向槽孔12，承置台10上表面并固设有四个传感器16-19，传感器16与17是用以侦测第一晶舟5是否确实定位，而传感器18与19则用以侦测第二晶舟6是否确实定位，且承置台10下表面并固设有四个脚座15。

如图2所示，滑杆20可滑设于承置台10的横向槽孔12中，且若第一晶舟5及第二晶舟6通过四个传感器16-19侦测是确实就定位，则滑杆20与第一晶舟5及第二晶舟6会排列成一直线，此时表示可进行晶圆51(绘于图4)的移转作业。于一较佳实施例中，传感器可为光传感器或机械式传感器。

如图2与图3所示，立杆30固设于滑杆20的一端，且立杆30具有一直向槽孔32、多个定位孔34及多个不同的序号36。推杆40的二端分别固设有一推铲42及一操作杆46，操作杆46滑设于立杆30的直向槽孔32中，且操作杆46内设有一凸销462及一弹簧461，通过弹簧461的预力，可使凸销462卡合于立杆30上的多个定位孔34的其一，亦即立杆30可与操作杆46相互定位于多个定位孔34的其一，以便能调整操作杆46的高度，进而可调整推杆40的高度。

在本实施例中，立杆30的每二相邻定位孔34间的相邻间距相同，且多个不同的序号36是对应标示于多个定位孔34处，立杆30的多个定位孔34的水平高度位置与晶舟5上多个晶圆51(绘于图4)的水平高度位置相对应，可方便作业人员对位来置放晶圆51，进而于移转时，可避免晶圆51斜挿或叠片。

请继续参阅图4、图5及图6，其分别为本实用新型一较佳实施例的晶圆移转前、移转后及移转中的示意图。如图4所示，推铲42具有相连的一上档片421、一下档片423及一连接片422，上档片421与下档片423的相邻间距略大于每一晶圆51的厚度，以于晶圆51移转过程中，可确保晶圆51不会幌动或倾斜。又，滑杆20与推杆40是上、下平行设置，且二者一同左右移动。在本实施例中，推铲42与推杆40是为一体式结构。

于移转作业过程中，首先，承置台10上表面的四个传感器16-19可侦测第一晶舟5及第二晶舟6是否确实定位，待第一晶舟5及第二晶舟6确实定位后，作业人员即可利用操作杆46调整推杆40的水平高度，通过操作杆46于立杆30的直向槽孔32内上下滑移，可粗调调整操作杆46的水平高度，再利用操作杆46内设有的凸销462与立杆30上的多个定位孔34相互卡合定位，即操作杆46细调确实定位后，即可向左滑移推杆40而将第一晶舟5上的晶圆51移转至第二晶舟6上。

如图所示，本实施例的推杆40与滑杆20是上、下平行设置，且二者一同左右移动，且推杆40可利用立杆30的直向槽孔32而调整推杆40的水平高度，故可利用U形机构连接，通过操作杆46水平移转晶圆51，取代已知依靠真空吸笔及垂直运动的晶圆移转作业，可防止晶圆刮伤、斜挿、叠片等缺点。

上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (9)

1.一种晶舟的抽片移转治具，其特征在于，包括：

一承置台，具有一横向槽孔；

一滑杆，滑设于该横向槽孔；

一立杆，固设于该滑杆的一端，该立杆具有一直向槽孔；以及

一推杆，其二端分别固设有一推铲及一操作杆，该操作杆滑设于该直向槽孔中。

2.如权利要求1所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，该立杆具有与该操作杆相互定位的多个定位孔。

3.如权利要求2所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，每二相邻定位孔间的间距相同。

4.如权利要求2所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，该立杆上对应于该多个定位孔标示有多个不同的序号。

5.如权利要求1所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，该滑杆与该推杆平行设置。

6.如权利要求1所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，该承置台上固设至少一传感器。

7.如权利要求2所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，该多个定位孔的水平高度位置与一晶舟内的多个晶圆的水平高度位置相对应。

8.如权利要求1所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，该推铲具有相连的一上档片、一下档片及一连接片，该上档片与该下档片的相邻间距大于每一晶圆的厚度。

9.如权利要求1所述的晶舟的抽片移转治具，其特征在于，其中，该推铲与该推杆是为一体式结构。

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