CN110352340A - 流体控制设备的动作分析系统、方法以及计算机程序 - Google Patents

Abstract

本发明能够收集并分析能预测流体控制设备的异常的原因或异常的数据，并且基于分析结果来预测异常。流体控制设备(8)和服务器(72)构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信，流体控制设备(8)具有获取多个种类的流体控制设备(8)的动作信息的动作信息获取机构，服务器(72)具有：判别流体控制设备(8)的异常的判别处理部(721)；收集流体控制设备(1)的动作信息和异常判别结果的信息收集部(724)；存储收集到的动作信息和判别结果的信息存储单元(725)；参照信息存储部(725)，并针对每个流体控制设备(1)选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象的信息提取部(726)；以及通过对比提取到的信息，对流体控制设备(8)的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的相关关系分析部(727)。

Description

流体控制设备的动作分析系统、方法以及计算机程序

技术领域

本发明涉及在内部容纳有传感器、执行基于由传感器得到的数据的处理的信息处理模块的流体控制设备。

背景技术

以往，在半导体晶片的表面形成薄膜的成膜处理中，要求薄膜的微细化，近年来，使用以原子水平或分子水平的厚度形成薄膜的ALD(Atomic Layer Deposition：原子层沉积)这样的成膜方法。

但是，这样的薄膜的微细化对流体控制设备要求至今为止以上的高频度的开闭动作，有时由于该负荷而容易引起流体的漏出等。因此，对能够容易地检测流体控制设备中流体漏出的技术的要求提高。

另外，不仅能够容易地检测漏出，还收集以往未考虑的流体控制设备的使用频度、温度、湿度、以及振动等以上述漏出为代表对流体控制设备的异常造成影响的各种环境因素信息，分析与异常的相关性，能够有助于异常发生的预测的流体控制设备以及信息收集方法的要求提高。

另外，在半导体制造工艺中，由于使用反应性高、毒性极高的气体，因此能够远程检测漏出是重要的。

另外，为了实现上述的ALD，流体控制设备与工艺腔室的配管连接距离变得重要。即，为了使工艺气体的控制更高速化，将流体控制设备进一步小型化并配置在工艺腔室的附近变得重要。

关于这一点，在专利文献1中，提出了由形成于控制流体流量的控制器的外表面的孔和安装于该孔的泄漏检测部件构成的密封部破损检测机构，上述孔与控制器内的空隙连通，上述泄漏检测部件由安装于上述孔的筒状体和设置于该筒状体的可动部件构成，该可动部件通过在控制器内的上述空隙内充满的漏出流体的压力而向上述筒状体的外方可动。

另外，在专利文献2中，提出了由形成于控制流体流量的控制器的外表面的孔和安装于该孔的泄漏检测部件构成的带密封部破损检测机构的控制器，上述孔与控制器内的空隙连通，上述泄漏检测部件因特定的流体的存在而进行感应。

而且，在专利文献3中，提出了一种检测流体的泄漏的泄漏检测装置，其具备：传感器保持体；超声波传感器，其以与泄漏端口对置的方式保持于传感器保持体，所述泄漏端口设置于泄漏检测对象部件，并将泄漏检测对象部件内的密封部分与外部进行连通；超声波通路，其设置在超声波传感器的传感器面与泄漏端口之间；以及处理电路，其处理由超声波传感器获得的超声波。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平04-093736号公报

专利文献2：日本特开平05-126669号公报

专利文献3：日本特开2014-21029号公报

发明内容

发明所要解决的课题

关于这一点，专利文献1、2、3记载的装置均为将检测异常的机构安装在流体控制设备的外侧的装置。但是，在集成了多个流体控制设备的流体控制装置中，由于通过使流体控制设备彼此紧密地邻接从而使其紧凑，因此在流体控制设备的外侧设置用于检测异常的部件等是不优选的。

另外，在将检测流体控制设备的异常的部件彼此连接的配线露出到外侧的情况下，也可能产生配线彼此的缠绕或引起短路，从而成为使流体控制设备本身产生不良情况的原因。

另一方面，在流体控制设备的内部收纳有要求正确的动作的可动部件，因此在将用于检测流体控制设备的异常的部件等收纳于内部时，这些部件不应该干涉可动部件的动作。另外，为了在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件等，流体控制设备变大，其结果，流体控制装置变大是不优选的。

另外，在内部收纳有用于检测流体控制设备的异常的部件等的结构中，也优选能够在流体控制设备的外部容易地确认异常的检测结果。

另外，由于上述装置均仅在发生异常后才发生传感器数据的变化，因此无法预测故障的发生。

因此，本发明的目的之一在于提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外，将使得能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果作为目的之一。

用于解决课题的技术方案

为了达到上述目的，本发明涉及的流体控制设备的动作分析系统是对流体控制设备的动作进行分析的系统，所述流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信，所述流体控制设备具有获取多个种类的所述流体控制设备的动作信息的动作信息获取机构，所述信息处理装置具有：异常判别单元，其判别所述流体控制设备的异常；信息收集单元，其收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果；信息存储单元，其存储所述收集到的动作信息和判别结果；信息提取单元，其参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象；以及相关关系分析单元，其通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析。

另外，在所述流体控制设备，设置有流路和通过隔离部件与该流路隔离的空间，所述流体控制设备具有检测通过隔离部件与流路隔离的空间的压力的压力传感器来作为所述动作信息获取机构，所述异常判别单元也可以通过对由所述压力传感器检测到的检测值与给定的阈值进行比较，来判别所述流体控制设备的异常。

另外，所述动作信息获取机构也可以获取所述流体控制设备的开闭次数、动作时间、环境温度、环境湿度、驱动压、以及施加于构成所述流体控制设备的部件的内部应力的全部或者其中任意两个以上来作为动作信息。

另外，所述信息处理装置也可以还具有异常预测单元，所述异常预测单元基于所述相关关系分析单元的分析结果，参照所述信息存储单元中存储的所述流体控制设备的动作信息，来计算所述流体控制设备的异常发生概率，由此预测所述流体控制设备的异常。

另外，所述提取到的信息也可以是所述流体控制设备的开闭状态切换之前以及之后给定时间的、给定时间内的所述动作信息和所述判别结果涉及的信息。

另外，所述异常预测单元也可以具有：第一异常预测单元，其通过有教师学习来判别所述动作信息在即将发生故障前的期间是否具有特有的特征；以及第二异常预测单元，其通过学习了正常动作时的所述动作信息的自动编码器来判别所述动作信息是否处于通常动作状态。

另外，本发明的另一观点涉及的流体控制设备的动作分析系统是对流体控制设备的动作进行分析的系统，所述流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信，所述流体控制设备具有：动作信息获取机构，其获取多个种类的所述流体控制设备的动作信息；以及异常判别单元，其判别所述流体控制设备的异常，所述信息处理装置具有：信息收集单元，其收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果；信息存储单元，其存储所述收集到的动作信息和判别结果；信息提取单元，其参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象；以及相关关系分析单元，其通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析。

另外，本发明的另一观点涉及的流体控制设备的动作分析方法是对流体控制设备的动作进行分析的方法，在流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信的系统中，所述流体控制设备具有获取多个种类的设备的动作信息的动作信息获取机构，所述信息处理装置执行如下处理：判别所述流体控制设备的异常的处理；收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果的处理；将所述收集到的动作信息和判别结果存储在信息存储单元的处理；参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象的处理；以及通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的处理。

另外，本发明的另一观点涉及的计算机程序是对流体控制设备的动作进行分析的计算机程序，在流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信的系统中，所述流体控制设备具有获取多个种类的设备的动作信息的动作信息获取机构，所述计算机程序使所述信息处理装置执行如下处理：判别所述流体控制设备的异常的处理；收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果的处理；将所述收集到的动作信息和判别结果存储在信息存储单元的处理；参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象的处理；以及通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的处理。

此外，计算机程序可以通过经由互联网等网络的下载来提供，或者记录在可读取的各种记录介质中来提供。

发明效果

根据本发明，能够将用于检测流体控制设备的异常的部件收纳在流体控制设备的内部，同时实现流体控制设备的小型化。另外，能够在外部容易地确认检测到流体控制设备的异常的结果。另外，能够收集并分析能预测异常的原因或异常的数据，并且基于分析结果来预测异常，或者比较预测和实绩来提高预测精度。另外，能够仅将阀门动作时的动态的传感器测定值用于学习，能够在不降低精度的情况下削减学习的维数而削减计算成本。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式涉及的流体控制设备的外观立体图，(a)表示正面侧，(b)表示背面侧。

图2是表示本实施方式涉及的流体控制设备的局部透视图，(a)表示闭阀状态，(b)表示开阀状态。

图3是表示本实施方式涉及的流体控制设备的致动器机体的外观立体图。

图4是说明在本实施方式涉及的流体控制设备的致动器机体上安装罩的工序的图，(a)表示安装前，(b)表示安装后。

图5是表示安装于本实施方式涉及的流体控制设备的固定部件的局部放大图。

图6是本实施方式涉及的流体控制设备的A-A向视图。

图7是表示安装于本实施方式涉及的流体控制设备的保持部件的外观立体图。

图8是表示本实施方式涉及的流体控制设备的局部透视图。

图9是用于说明本实施方式涉及的流体控制设备的配线路径的B-B向视图，(a)表示透视阀体和壳体的图，(b)表示透视阀体的图。

图10是表示由本实施方式涉及的流体控制设备构成的流体控制装置的外观立体图。

图11是表示本实施方式涉及的流体控制设备所具备的功能的功能框图。

图12是表示本实施方式涉及的流体控制设备、以及构成为能够与该流体控制设备进行通信的服务器所具备的功能的功能框图。

图13是表示本实施方式的变形例涉及的流体控制设备、以及构成为能够与该流体控制设备进行通信的服务器所具备的功能的功能框图。

图14是表示本实施方式的变形例涉及的流体控制设备、以及构成为能够与该流体控制设备进行通信的服务器所具备的功能的功能框图。

图15是说明流体控制设备的开闭所花费的时间的图表。

具体实施方式

【实施例1】

以下，参照附图对本发明的第一实施方式涉及的流体控制设备进行说明。

此外，在以下的说明中，为了方便，有时根据附图上的方向将部件等的方向称为上下左右，但这些方向并不限定本发明的实施或者使用时的部件等的方向。

如图1所示，本实施方式涉及的流体控制设备1内置有用于检测流体控制设备1的异常的、特别是用于检测流体漏出的传感器、与传感器的驱动有关的模块等，在上方具备显示动作状况的面板、用于取出与动作状况相关的信息的取出口。

如图2所示，本实施方式涉及的流体控制设备1由阀体11、配设在阀体11的上端的大致圆筒状的致动器机体12、配设在致动器机体12的上端的壳体13构成。

在阀体11内设有供流体流入的流入路111a、供流体流出的流出路111b、以及与该流入路111a和流出路111b连通的阀室111c。该流入路111a、流出路111b以及阀室111c一体地构成了供流体流通的流路111。

另外，在流入路111a与阀室111c连通的部位的周缘设置有环状的片材112。在片材112上还设有隔膜113，该隔膜113通过与片材112抵接分离从而使流体从流入路111a向流出路111b流通、或者使流通截断。

隔膜113是由不锈钢、NiCo系合金等金属或氟系树脂构成的圆盘状的部件，作为将流路111与空间S1隔离的隔离部件发挥功能。该隔膜113在被供给作为驱动压的空气而从由盘124进行的按压被释放时，通过自身的复原力、流路111内的压力，中央部向远离片材112的方向位移而离开片材112。其结果，阀室111c开放，流入路111a与流出路111b成为连通的状态。

另一方面，在停止作为驱动压的空气的供给，隔膜113被盘124按压时，隔膜113的中央部相对于片材112向与片材112抵接的方向位移，从而与片材112抵接。其结果，阀室111c被截断，成为流入路111a和流出路111b被截断的状态。

如图1的(b)所示，在阀体11的侧面设置有作为使空间S1与外部连通的贯通孔而构成的泄漏端口LP。该泄漏端口LP为了检测流体控制设备1的异常，可以在通过后述的压力传感器41检测空间S1内的压力时堵塞，当泄漏端口LP被堵塞时，空间S1成为气密状态。

泄漏端口LP在流体控制设备1的成品检查中也作为检查流路111的气密性时的测试端口发挥功能。该成品检查通过使惰性氦气(He)等在流路111中流通来进行。

另外，一般而言，隔离部件除了使用本例的隔膜113以外，还使用波纹管。但是，波纹管虽然能够较大地取得行程(流量范围)，但另一方面，致动器机体内的体积变化变大，因此在流体控制设备的开闭动作时需要开放呼吸口(相当于本例的泄漏端口LP)。

另一方面，在本例这样的直接隔膜结构、即通过隔膜113与片材112抵接分离从而使流体从流入路111a向流出路111b流通、或使流通截断的结构中，致动器机体12内的体积变化少。因此，在为了检测流体控制设备1的异常而在致动器机体12内安装后述的压力传感器41来检测压力变化的情况下，即使堵塞泄漏端口LP，流体控制设备1也能够没有问题地进行开闭动作。

如图3所示，致动器机体12由与阀体11螺合的螺合部121、向外部露出的露出部122、与壳体13的盖体131螺合的螺合部123构成。

在螺合部121的外周面切出有螺纹，与在阀体11的内周面切出的螺纹螺合。

另外，在螺合部123的外周面也切出有螺纹，与在盖体131的内周面切出的螺纹螺合。

在该致动器机体12的外周面，沿着轴心方向形成有能够使配线穿过的配线槽121a、122a、123a。设置于螺合部121、123的外周面的配线槽121a、123a的槽底比在外周面切出的螺纹的槽深。因此，在使配线穿过配线槽121a、123a的状态下，不会使配线断线等，能够使阀体11和盖体131分别与螺合部121、123螺合。

在设置于露出部122的外周面的配线槽122a的旁边，设置有用于安装罩1221的螺纹孔122b。

在此，如图4所示，罩1221是覆盖配线槽122a的部件，具备与致动器机体12的螺纹孔122b对应的贯通孔1221a。通过使配线穿过致动器机体12的配线槽122a，并经由罩1221的贯通孔1221a使螺钉122c与致动器机体12的螺纹孔122b螺合，从而使穿过了致动器机体12的配线槽122a的配线被罩1221覆盖。

在致动器机体12内，设置有按压隔膜113的盘124、压着隔膜113的周缘的按压接合件125、上下滑动的活塞126、卷绕在活塞126的外周面上且将活塞126向下方施力的弹簧127。

按压接合件125从上方压住隔膜113的周缘，防止在流路111中流动的流体从隔膜113的周缘部附近漏出到致动器机体12内。

活塞126隔着盘124使隔膜113与片材112抵接分离。

该活塞126的轴心方向大致中央扩径为圆盘状，该部位构成扩径部1261。活塞126在扩径部1261的上表面侧受到弹簧127的作用力。另外，在扩径部1261的下端侧，在与致动器机体12的上端面之间形成驱动压导入室S2。

另外，在活塞126的内部设置有用于使形成于上端面的开口部126a与形成于扩径部1261的下端侧的驱动压导入室S2连通的驱动压导入路126b。

在活塞126的开口部126a，连接有用于从外部导入驱动压的导入管21。

在活塞126的扩径部1261的外周面上设置有小直径的保持部，在该保持部保持有O形环1262。该O形环1262对活塞126的外周面与致动器机体12的内周面之间进行密封。

另外，在活塞126的下端侧也设置有小直径的保持部，在该保持部保持有O形环1263。该O形环1263对活塞126的外周面与致动器机体12的内周面之间进行密封。由此，在致动器机体12内的盘124上下移动的部分，形成有由隔膜113和O形环1263分隔的空间S1。

在此，在致动器机体12的螺合部121形成有贯通孔12a，通过该贯通孔12a，空间S1经由设置于阀体11的泄漏端口LP与外部连通，但在泄漏端口LP被堵塞时，被与外部截断而成为气密状态。

由O形环1262和O形环1263所形成的空间形成与活塞126内的驱动压导入路126b连通的驱动压导入室S2。

空气从导入管21经由活塞126内的驱动压导入路126b被导入到该驱动压导入室S2。当空气被导入驱动压导入室S2时，活塞126克服弹簧127的作用力而被向上方推起。由此，隔膜113离开片材112而成为开阀的状态，流体流通。

另一方面，在不将空气导入驱动压导入室S2时，活塞126随着弹簧127的作用力而被向下方压下。由此，隔膜113与片材112抵接而成为闭阀的状态，流体的流通被截断。

壳体13是一端封闭的大致圆筒状的部件，配设在致动器机体12的上端，在内部收纳有对从压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43得到的数据进行处理等的信息处理模块5。

本例中的壳体13由盖体131、致动器盖132、顶盖133这三个部件构成。

盖体131是大致圆筒状的部件，配设在致动器机体12的上端。在致动器机体12的上端部的外周面和盖体131的下端部的内周面切出有相互对应的螺纹，通过相互螺合，在致动器机体12上固定盖体131。

在盖体131的内周面安装有固定部件1311。

固定部件1311是用于固定后述的限位开关43的部件，由大致长方体形状构成。在该固定部件1311设置有用于将固定部件1311安装在盖体131的内周面的螺纹孔1311a。

与此对应，在盖体131设置有贯通孔131a。通过使螺钉从外侧贯穿插入盖体131的贯通孔131a，并使螺钉1311b与配设在盖体131的内周面上的固定部件1311的螺纹孔1311a螺合，从而使固定部件1311得到固定。

此外，如图5所示，在固定部件1311，设置有用于拉绕从后述的限位开关43导出的配线的配线槽1311c，从而能够在配线槽1311c中收纳配线。

致动器盖132是配设在盖体131的上端的大致圆盘状的部件，将壳体13上下隔开。

该致动器盖132在下表面侧夹持活塞126的扩径部1261的上表面和弹簧127。

另外，在致动器盖132的中央且与活塞126的开口部126a对应的位置设有向活塞126侧延伸的大致圆筒状的贯通孔132a。在该贯通孔132a插通有导入管21的一端。

而且，如图6所示，在贯通孔132a的外侧设置有用于使配线穿过的贯通孔132b。

顶盖133是配设在致动器盖132的上端的大致帽状的部件，能够在中空的内部收纳信息处理模块5。

在顶盖133的上表面设置有贯通孔133a、133b。

在贯通孔133a中嵌入有用于显示由压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43获取的数据、基于该数据的处理结果等的液晶面板等。

在贯通孔133b中嵌入有基于由压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43获取的数据的处理结果为在流体控制设备1发生了异常的情况下，用于报告该异常的LED灯等警告灯。

如图1所示，在顶盖133的侧面设置有贯通孔133c。在该贯通孔133c中，设置有为了取出由温度传感器42以及限位开关43获取的数据、基于该数据的处理结果等而用于与外部设备连接的连接器。

在顶盖133的侧面，且在致动器盖132侧的开口部附近，在从顶盖133的上表面离开的位置设置有贯通孔133d。在该贯通孔133d中插通导入管21。

导入管21是用于将作为驱动压的空气从外部导入到流体控制设备1内的管，由尼龙管等构成并具有可挠性。

该导入管21的一端从活塞126的开口部126a向驱动压导入路126b内插入。在向驱动压导入路126b内插入的导入管21的前端的外周面与驱动压导入路126b的内周面之间，保持有O形环24。该O形环24对驱动压导入路126b的内周面和插入到驱动压导入路126b的导入管21的外周面之间进行密封。由此，从导入管21导入的空气不会泄漏，并经由活塞126内的驱动压导入路126b向驱动压导入室S2导入。

另外，在致动器盖132的贯通孔132a嵌入有用于固定导入管21的固定部件23。该固定部件23是大致筒状的部件，具有内径与导入管21的外径大致相同的贯通孔，导入管21贯穿插入于该贯通孔。另外，固定部件23的开口部126a侧的周缘尖锐突出为爪状，由此，贯穿插入到固定部件23内的导入管21以不会向外部脱落的方式被固定。

一端从活塞126的开口部126a向驱动压导入路126b内插入的导入管21的另一端从顶盖133的贯通孔133d向外部导出，在其前端安装有单触式接头22。

在顶盖133的致动器盖132侧的开口部附近，保持有保持部件3。

如图6所示，该保持部件3是树脂制的具有可挠性的大致环状的部件，通过将信息处理模块5从下表面侧向上方支承，将信息处理模块5保持在顶盖133内。

在该保持部件3形成有在上下方向上贯通的贯通孔3a、3b，在该贯通孔3a、3b内，能够使连接压力传感器41、温度传感器42、以及限位开关43和信息处理模块5的配线穿过。

在保持部件3的外周缘，形成有向外侧以爪状突出的突出部31。包括该突出部31在内的保持部件3的外径具有与顶盖133的中空部的内径大致相同或稍大的外径。由此，如图7所示，在将保持部件3安装在顶盖133的内周面时，通过突出部31，保持部件3以绷紧的状态被保持在顶盖133的内周面上。

另外，该保持部件3被保持在顶盖133的致动器盖132侧的开口部附近且比设置有贯通孔133d的位置更靠上侧的位置。

由此，信息处理模块5被保持在保持部件3上，使得导入管21不会被信息处理模块5压坏。

此外，在本实施方式中，通过增大贯通孔3a的直径，并且使保持部件3为大致环状，从而使保持部件3容易挠曲，使其容易安装在顶盖133的内周面。

另一方面，在另一实施例中，可以将保持部件3设为仅设置有用于使配线穿过的小孔的大致圆盘状，也可以将保持部件3设为与顶盖133一体构成的部件。此外，在将保持部件3与顶盖133一体构成的情况下，可以使顶盖133的上表面整体开闭自如，从而使信息处理模块5从上表面收纳于内部。

在流体控制设备1的内部，在给定的部位安装有压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43，并且收纳有对由这些压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43检测到的数据进行处理的信息处理模块5。

在空间S1安装有用于检测空间S1内的压力的压力传感器41和用于测定流体的温度的温度传感器42。

该压力传感器41由对空间S1内的压力变化进行检测的压敏元件、将由压敏元件检测到的压力的检测值转换为电信号的转换元件等构成。

在本实施方式中，通过压力传感器41检测空间S1内的压力变化，由此检测由流体漏出等所引起的流体控制设备1的异常，但也能够将电容型麦克风单元用作压力传感器41。即，电容型麦克风单元具有接收声波而发生振动的振动板和与振动板对置配置的对置电极，能够将振动板与对置电极之间的静电电容的变化转换为电压的变化而形成为声音信号。而且，该电容型麦克风单元通过堵塞设于振动板的背面侧的空气室而成为无指向性(全指向性)。在无指向性的情况下，电容型麦克风单元捕捉来自所有方向的声波产生的声压的变化而进行动作，因此能够作为压力传感器41来利用。

温度传感器42测定设置部位的温度。由于该设置部位是流路111的附近，因此能够将该设置部位的温度视为在流路111内流通的流体的温度。

在壳体13的盖体131的内部安装有限位开关43。

限位开关43通过安装于盖体131的内周面的固定部件1311固定在盖体131内。

该限位开关43固定于活塞126的扩径部1261的上方，根据活塞126的上下移动来切换开关。即，当在开阀时活塞126被向上方推起时，通过活塞126的扩径部1261按下限位开关43。另一方面，当在闭阀时活塞126被向下方按下时，限位开关43从被活塞126的扩径部1261按下的状态释放。

根据伴随活塞126的上下移动的限位开关43的按下，能够检测流体控制设备1的开闭次数、开闭频度。另外，通过设置多个限位开关43，能够检测流体控制设备1的开闭速度。

在此，参照图8、图9对连接压力传感器41、温度传感器42、以及限位开关43和信息处理模块5的配线的拉绕进行说明。

首先，从压力传感器41和温度传感器42导出的配线经由形成于致动器机体12的外周面的配线槽121a、122a、123a而被拉入盖体131内。

此外，由于配线槽121a、122a、123a分别被阀体11、罩1221、盖体131覆盖，因此从压力传感器41和温度传感器42向盖体131内拉绕的配线不会露出到外部。

另外，从限位开关43导出的配线在被嵌入到图5所示的固定部件1311的配线槽1311c内的基础上，被拉入盖体131内。

被拉入盖体131内的压力传感器41、温度传感器42、以及限位开关43的配线经由设置于致动器盖132的贯通孔132b而被向顶盖133内拉绕，并与信息处理模块5连接。

这样，在流体控制设备1中，不会使配线露出到外部，另外，不会与流体控制设备1内的活塞126等可动部件接触地拉绕配线，因此能够防止因与其他设备的接触等引起的断线等。

信息处理模块5由用于处理由压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43检测到的数据的LSI(Large-Scale Integration：大规模集成电路)等构成。此外，在信息处理模块5中，也可以包含供给压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43的驱动所需的电源的钮扣电池这样的驱动电源等。

由以上的结构构成的流体控制设备1通常如图10所示那样集成多个从而构成流体控制装置10。

这样，在由多个流体控制设备1构成流体控制装置10的情况下，由于流体控制设备1密集地配设，因此用于显示各流体控制装置10中的数据的面板、为了从信息处理模块5取出信息而用于连接USB存储器等外部设备的端口优选设置在上表面、至少设置在上方。特别是用于显示数据的面板若不是从上表面，则难以视觉确认。

接着，对在本实施方式涉及的流体控制设备1中，基于由安装于内部的压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43获取的数据来判别流体控制设备1的异常的处理进行说明。

如图11所示，本实施方式涉及的信息处理模块5具备判别处理部51、修正处理部52、信息显示部53、警告显示部54以及信息供给部55。

判别处理部51是基于由压力传感器41、温度传感器42、以及限位开关43获取的数据来执行判别流体控制设备1有无异常的处理的功能部。

该判别处理部51通过对保持在参照用表等中的给定的阈值与由压力传感器41检测到的压力的检测值进行比较，能够执行对因流体向空间S1漏出等而引起的流体控制设备1的异常进行判别的处理。即，在通常使用时，将通过流体控制设备1的阀的开闭所设想的空间S1内的压力的临界值设为给定的阈值。并且，在空间S1内的压力的检测值超过了该阈值的情况下，判别为流体控制设备1发生了异常。这样的判别的合理性根据的是：作为由于隔膜113的破损等导致流体向空间S1漏出从而使空间S1内的压力上升的结果，或者作为由于流路111内的减压从而使空间S1内的压力减少的结果，能够视为空间S1内的压力的检测值超过了阈值。

修正处理部52根据由温度传感器42测定出的流体的温度，修正判别处理部51为了判别流体向空间S1的漏出所参照的给定的阈值。

这样，在通过修正处理部52修正了给定的阈值时，判别处理部51通过对修正后的阈值与由压力传感器41检测到的压力的检测值进行比较，来执行判别因流体向空间S1漏出等而引起的流体控制设备1的异常的处理。

信息显示部53是将与由压力传感器41、温度传感器42、以及限位开关43获取的空间S1内的压力、流体的温度、以及流体控制设备1的开闭状态、次数等涉及的信息、与判别处理部51的判别处理的结果涉及的信息以能够视觉确认的方式显示于外部的功能部。该信息显示部53由液晶面板等实现，并嵌入在顶盖133的贯通孔133a中。

由此，能够从外部容易地掌握流体控制设备1的状况。特别是，在集成了流体控制设备1的流体控制装置10中，在最容易识别各流体控制设备1的上表面侧配设信息显示部53，因此容易确认所显示的信息。

警告显示部54是接受判别处理部51的判别处理的结果，在流体控制设备1发生了异常的情况下发光的功能部。该警告显示部54由LED等发光体实现，并嵌入顶盖133的贯通孔133b。

由此，在流体控制设备1发生了异常的情况下，警告显示部54发出警告，能够容易地识别异常。

信息供给部55是用于向外部供给由压力传感器41、温度传感器42、以及限位开关43获取的数据、判别处理部51的判别结果涉及的信息的功能部。该功能部通过USB电缆与外部计算机连接使用，该USB连接器经由顶盖133的侧面的贯通孔133c进行电缆的拔出插入。

根据由以上的结构构成的流体控制设备1，基于由压力传感器41检测到的空间S1内的压力与给定的阈值的比较，能够检测出流体向空间S1漏出等引起的流体控制设备1的异常。

而且，流体控制设备1在检测到空间S1内的压力的基础上，通过比较给定的阈值和检测值来检测流体控制设备1的异常，因此即使在产生了封闭空间S内成为负压的异常的情况下，也能够对其进行检测。

另外，即使空间S1内的压力因流体的温度变化而发生变化，也能够识别其与由于流体的漏出等流体控制设备1的异常而引起的空间S1内的压力的变化，从而检测流体控制设备1的异常。

此外，在本例中，将由隔膜113和O形环1262分隔的空间作为空间S1，通过检测其内部的压力来检测流体控制设备1的异常，但如果是由隔膜113隔开的流体控制设备1内的空间，则通过将该空间作为空间S1检测压力，从而能够检测隔膜113的破损等流体控制设备1的异常。

另外，作为本实施方式的变形例，代替检测流体控制设备1的开闭的限位开关43，通过设置检测流体控制设备1的驱动压的驱动压传感器，由此也能够检测流体控制设备1的开闭。

在该情况下，即使在流体控制设备1的开闭动作中，也能够判别由流体的漏出等引起的空间S1内的压力变化。即，通过实验性地求出从驱动压变换为必要的修正值的适当的传递函数，能够修正活塞126移动的瞬间的空间S1内的过渡性的压力变化。

同时，在尽管从驱动压传感器的检测值预测到空间S1内的压力上升，但压力传感器41的检测值不上升的情况下，能够判断活塞126或压力传感器41的故障。

另外，在上述的例子中，在顶盖133的上表面的贯通孔133a嵌入信息显示用的面板，但与此无关，也能够在贯通孔133a设置USB连接器等信息取出口。

以上的本实施方式涉及的流体控制设备通过内置的信息处理模块5所具备的判别处理部51、修正处理部52来检测流体控制设备1的异常，将该信息经由信息显示部53、警告显示部54、或者信息供给部55提供给外部，但也能够构成为能够对构成为能够经由网络进行通信的服务器提供信息。

图12示出了流体控制设备1和服务器71构成为能够经由网络NW1、NW2进行通信的例子。

在该例子中，使信息处理模块5具备通信处理部56，以使得流体控制设备1能够与服务器71进行数据的收发。该通信处理部56对服务器71发送判别处理部51的判别结果，或者根据需要发送由压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43获取的数据。在该例子中，在流体控制设备1与服务器71之间设置有中继装置6，经由该中继装置6将来自流体控制设备1的信息提供给服务器71。

具体而言，由通信处理部56发送的数据例如经由通过蓝牙(注册商标)、红外线通信、或者Zigbee(注册商标)这样的无线通信实现的网络NW1暂时发送到中继装置6，从中继装置6经由通过无线或有线LAN等实现的网络NW2发送到服务器71。

另外，该通信处理部56能够以1小时或1天等任意设定的给定的周期发送判别处理部51的判别结果。这样，在以给定的周期进行信息的发送的情况下，能够抑制消耗电力。

另外，如图10所示，在集成多个流体控制设备1来构成流体控制装置10的情况下，各流体控制设备1的信息处理模块5所具备的通信处理部56能够针对每个流体控制设备1在不同的定时将判别处理部51的判别结果与可识别自身的自身识别信息一起发送给服务器71。

通过对服务器71发送能够分别识别流体控制设备1的自身识别信息，能够判别构成流体控制装置10的多个流体控制设备1中的哪一个发生了异常。

另外，通过针对每个流体控制设备1在不同的定时对服务器71发送判别结果，能够避免数据包冲突的问题，与同时发送的情况相比，还能够防止临时的处理的过载。进而，与同时发送的情况不同，不需要针对每个流体控制设备1改变用于数据发送的无线信道，因此不需要准备较多的信道。特别是在由蓝牙(注册商标)构成网络NW1的情况下，由于同时连接台数有限(通常为7台)，因此通过改变发送的定时，能够使用超过同时连接台数的数量的流体控制设备1。

服务器71由CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、CPU执行的计算机程序、存储计算机程序或给定的数据的RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)或ROM(Read Only Memory：只读存储器)、以及硬盘驱动器等外部存储装置等硬件资源构成。

该服务器71具有用于经由中继装置6接收流体控制设备1的空间S1中的流体漏出的判别结果的通信处理部711。服务器71从流体控制设备1接收到的信息适当地根据来自流体控制设备1的监视者等利用的终端的要求，被提供给该监视者等利用的终端。

中继装置6经由网络NW1从流体控制设备1接收数据，并且经由网络NW2向服务器71发送该接收到的数据。

此外，在本实施方式中，使中继装置6介于流体控制设备1与服务器71之间，但也能够构成为流体控制设备1与服务器71能够直接进行数据通信。

根据以上的结构，由于与流体控制设备1的异常相关的信息汇集于服务器71，因此流体控制设备1的监视者等能够无负担地监视流体控制设备1的动作状况。

图13表示将流体控制设备8与服务器72构成为能够经由网络进行通信的例子。

此外，在本例的说明中，流体控制设备8具有与流体控制设备1相同的结构，只要没有特别说明，被标注与上述例子相同的编号(符号)的部件、功能部等保持与上述的部件、功能部等相同的功能或执行与上述的部件、功能部等相同的处理，因此省略说明。

在该例子中，服务器72具备具有与上述的流体控制设备1的信息处理模块5所具备的判别处理部51和修正处理部52同样的功能的判别处理部721和修正处理部722，在服务器72侧判别由流体向空间S1内漏出等引起的流体控制设备8的异常。

流体控制设备8通过信息处理模块9的通信处理部56，对服务器72发送由压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43得到的数据。

服务器72由CPU、CPU执行的计算机程序、存储计算机程序或给定的数据的RAM或ROM、以及硬盘驱动器等外部存储装置等硬件资源构成，构成由判别处理部721、修正处理部722、以及通信处理部723构成的功能部。

判别处理部721与上述的判别处理部51同样地，通过对保持在参照用表等中的给定的阈值与由压力传感器41检测到的压力的检测值进行比较，来执行对因流体向空间S1漏出等引起的流体控制设备8的异常进行判别的处理。另外，在由修正处理部722修正了给定的阈值时，执行以修正后的阈值为基准来判别流体控制设备8的异常的处理。

修正处理部722与上述的修正处理部52同样地，根据由限位开关43检测到的流体控制设备8的开闭状态、由温度传感器42测定出的流体的温度，对判别处理部51为了判别流体向空间S1的漏出所参照的给定的阈值进行修正。但是，在本例中，流体控制设备8的开闭状态、由温度传感器42测定出的流体的温度涉及的信息经由网络NW1、NW2从流体控制设备8向服务器72供给。

通信处理部723经由中继装置6从流体控制设备8接收流体控制设备8的开闭状态、由温度传感器42测定出的流体的温度涉及的信息。

根据以上的结构，在服务器72侧执行流体控制设备8的异常的判别处理的结果是，能够简化安装于流体控制设备8的信息处理模块9的结构，判别处理部721、修正处理部722执行的程序的调试等维护也变得容易。

此外，在本例中，在服务器72侧执行流体控制设备8的异常的判别处理的结果是，在判别为流体控制设备8发生了异常的情况下，还可以向流体控制设备8发送异常发生的信息，使流体控制设备8的信息显示部53、警告显示部54进行异常的显示或警告。

在上述的流体控制设备8和服务器72构成为能够经由网络NW1、2进行通信的例子中，由于能够使由流体控制设备8所具备的压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43获取的信息汇集，因此能够基于所汇集的信息进行数据挖掘。

以下，作为构成为流体控制设备8与服务器72能够通信的上述实施例的变形例，对分析流体控制设备8的动作的系统进行说明。

在本例中，流体控制设备8也具备压力传感器41、温度传感器42以及限位开关43来作为用于获取流体控制设备8的动作信息的动作信息获取机构。由此，流体控制设备8能够获取空间S1内的压力、流体的温度、流体控制设备8的开闭次数、开闭频度(也能够通过多个限位开关检测开闭速度)这样的流体控制设备8的动作信息。

另一方面，为了分析流体控制设备8的动作，通过设置给定的动作信息获取机构来获取其他种类的动作信息也是有效的。具体而言，可以举出流体控制设备8的使用期间、流体控制设备8的外部环境的温度、湿度、活塞126的推力、活塞126的平均移动速度、振动、构成流体控制设备8的部件的内部应力、硬度等。

本例涉及的流体控制设备的动作分析系统的结构如图14所示。

在该动作分析系统中，服务器72是基于从流体控制设备8获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置，除了上述的判别处理部721、修正处理部722以及通信处理部723之外，还具备信息收集部724、信息存储部725、信息提取部726、相关关系分析部727以及异常预测部728。

信息收集部724通过通信处理部723请求流体控制设备8发送动作信息，并收集该信息。另外，信息收集部724请求从异常判别处理部721供给流体控制设备8的异常判别结果涉及的信息，并收集该异常判别结果涉及的信息。

另外，流体控制设备8中的动作信息不仅可以从流体控制设备8收集，也可以从其他设备收集。例如，也可以从测量设置有流体控制设备8的场所的温度、湿度的终端收集，或者收集由流体控制设备8的管理者的管理者终端输入的信息。

信息存储部725是存储从流体控制设备8收集到的动作信息和流体控制设备8的异常的判别结果的存储部。

信息提取部726参照信息存储部725，并针对每个流体控制设备8选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象。

例如，关于多个流体控制设备8的动作信息，提取相同的阀开闭次数(例：1000万次)的动作时间和该动作时间内的异常的判别结果涉及的信息。

特别是，在流体控制设备8的动作信息数据中，切取根据限位开关43、压力传感器41的变化而检测出的流体控制设备8的开闭状态的切换之前以及之后的给定时间内的数据，来作为输入数据。这反映了测定阀的动作时的动态的传感器测定值的变化在异常预测中是有效的情况，能够削减输入数据的维数从而减少后述的学习的计算成本。通过将给定时间设为流体控制设备8的开闭所花费的时间(定义为开始导入驱动压起至流体控制设备8完全打开为止的时间。图15的2根虚线之间的时间相当于该时间)的1倍～5倍的时间，能够无浪费地提取所需的范围的数据。另外，通过将从流体控制设备8发送的数据预先限定在该时间的范围内来进行发送，能够削减通信的数据量，能够抑制流体控制设备8中的消耗电力。

相关关系分析部727通过对比由信息提取部726提取出的信息，分析流体控制设备8的给定的动作与异常发生的相关关系。

在第一学习中，基于发生了异常的流体控制设备8的过去的动作信息，进行对发生异常之前的给定的期间(以下，称为即将发生故障前的期间)的输入数据、异常发生后的输入数据、以及在此之前的正常动作时的输入数据进行分类的有教师学习。该学习例如通过对神经网络的模型使用误差逆传播法(Backpropagation)的随机梯度下降法(SGD：StochasticGradient Descent)进行。

根据即将发生故障前的期间的长度的设定，学习完毕模型的判别性能不同，与神经网络的层数、节点数等超参数同样地，给定的期间的长度也成为应该调整的超参数。这些超参数的调整例如通过优化算法来选定，从而能够选定判别能力变高的值。另一方面，根据阀用户的用途不同，也可以与想要知道其他的即将发生故障前的期间的值的情况相对应，作为即将发生故障前的期间，准备2种以上的期间来进行聚类。另外，也可以按故障的种类来创建不同的分类，能够预测在给定期间内发生哪个故障。

通过分析，例如，关于多个流体控制设备8的动作信息，根据阀进行1000万次开闭所需要的动作时间和该动作时间内的异常的判别结果，即使是相同的1000万次的阀开闭次数，也能够根据其是3个月计数的次数、还是3年计数的次数，来分析异常的发生概率是否不同。

在第二学习中，为了事先检测数据数少的特殊的异常，进行使用了自动编码器的无教师学习。自动编码器对由神经网络构成的模型输入阀正常动作时的输入数据，以输出相同的数据的方式进行学习。通过将该神经网络的隐藏层的维数设定为比输入数据、输出数据的维数小，能够使可适当地再现原来的数据的自动编码器仅对通常动作时的输入数据的模式进行学习。

异常预测部728基于相关关系分析部727的分析结果，参照存储在信息存储部725中的流体控制设备8的动作信息，计算流体控制设备8的异常发生概率，由此预测流体控制设备8的异常。

通过将当前的传感器数据的测定值作为输入，使通过第一学习得到的学习完毕模型进行分类，能够计算阀进入即将发生故障前的期间的概率(第一异常预测单元7281)。对该概率而言，若改变读法，则为在给定的期间内发生破坏的异常发生概率。

另外，使当前的从传感器得到的输入数据通过由第二学习得到的自动编码器，将输出与原来的输入进行比较，利用L2范数等计算输入输出间距离，并与给定的阈值进行比较(第二异常预测单元7282)。自动编码器构成为只要是正常动作时的数据就能够复原原来的数据，但在异常动作时无法正确地复原原来的数据，因此在输入与输出之间差变大，因此在超过阈值的情况下能够检测流体控制设备8的异常。通过将该方法与上述的有教师学习并用，能够预先检测不作为教师数据准备的明显的偏离值的异常状态(例如，传感器的故障、工作温度的极端的变化等)，能够提高上述的即将发生故障前的期间的判定的可靠性。即，针对第一学习中的有教师学习对没有教师数据的区域无法保证表示怎样的行为这样的问题，能够进行某种程度的应对。流体控制设备8经常通过搭载其的装置的改造，经常被置于与以前完全不同的动作环境中，也可以作为是否应进行再学习的指标数据来使用。

如果能够预测异常，则也可以对流体控制设备8的管理者所利用的管理者终端等通知该信息，或者对流体控制设备8通知该信息，并且进行基于警告显示部54的警告显示。

此外，在上述的例子中，对服务器72具备判别处理部721、修正处理部722的情况进行了说明，但关于流体控制设备8具备与判别处理部721、修正处理部722相同的功能部的情况，也能够适用，在该情况下，信息收集部724从流体控制设备8收集异常判别结果。

另外，在基于相关关系分析部727的分析中，例如预测得到以下的分析结果。

(1)流体控制设备8的同一使用期间的开闭次数与异常发生的相关性

例如，预测在3年1000万次的阀开闭和3个月1000万次的阀开闭中，异常发生概率不同。

(2)环境温度与异常发生的相关性

例如，预测在20℃的环境下的使用和在80℃的使用中异常发生概率不同。

(3)活塞126的推力与异常发生的相关性

例如，预测由于活塞126的推力(取决于驱动压力的大小)的大小，对隔膜113的负荷产生影响。

(4)流体控制设备8的开闭速度与异常发生的相关性

例如，预测异常发生概率因活塞126的平均移动速度的大小而不同。

(5)振动与异常发生的相关性

例如，预测异常发生概率根据环境(振动)的大小而不同。

(6)构成流体控制设备8的部件的变形与异常发生的相关性例如，预测异常发生概率因各部件的内部应力的大小而不同。

(7)湿度与异常发生的相关性

例如，湿度与各部件、特别是O形环1262、1263、24等的异常发生概率不同。

(8)初始硬度、以及硬度变化与异常发生的相关性

例如，预测根据流体控制设备8的使用初期的各部件的初始硬度的大小，异常发生概率不同。另外，预测异常发生概率因硬度变化速度的大小而不同。

根据模型的学习的结果，有时相对于各传感器的测定值，成为包含与给定的频率成分提取、多个传感器数据间的相互相关计算、与给定的模式的匹配、积分、微分等同等的处理的模型。

另外，关于存储于信息存储部725的流体控制设备8的异常判别结果，如果包括能够掌握异常是哪个部件的破损等(例如，隔膜113的破损、O形环1262、1263、24的破损、活塞126等致动器机体12内的部件等)的信息，则也能够掌握阀开闭速度的变化、流量的变化、活塞不动等容易对哪个部件造成影响。

另外，也可以通过以上的数据挖掘来预测异常发生，并且进一步对该预测信息和现实中发生的异常有无进行比较分析，提高相关分析的精度。

符号说明

1 流体控制设备

11 阀体

111 流路

112 片材

113 隔膜

LP 泄漏端口

S1 空间

12 致动器机体

121 螺合部

122 露出部

1221 罩

123 螺合部

124 盘

125 按压接合件

126 活塞

127 弹簧

13 壳体

131 盖体

132 致动器盖

1321 固定部件

133 顶盖

21 导入管

22 单触式接头

23 固定部件

24 O形环

3 保持部件

31 突出部

3a 贯通孔

3b 贯通孔

41 压力传感器

42 温度传感器

43 限位开关

NW1、NW2 网络

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.一种流体控制设备的动作分析系统，其是对流体控制设备的动作进行分析的系统，其中，

所述流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信，

所述流体控制设备具有获取多个种类的所述流体控制设备的动作信息的动作信息获取机构，

所述信息处理装置具有：

异常判别单元，其判别所述流体控制设备的异常；

信息收集单元，其收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果；

信息存储单元，其存储所述收集到的动作信息和判别结果；

信息提取单元，其参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象；以及

相关关系分析单元，其通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析。

2.根据权利要求1所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

在所述流体控制设备，设置有流路和通过隔离部件与该流路隔离的空间，所述流体控制设备具有检测通过隔离部件与流路隔离的空间的压力的压力传感器来作为所述动作信息获取机构，

所述异常判别单元通过对由所述压力传感器检测到的检测值与给定的阈值进行比较，来判别所述流体控制设备的异常。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述动作信息获取机构获取所述流体控制设备的开闭次数、动作时间、环境温度、环境湿度、驱动压、以及施加于构成所述流体控制设备的部件的内部应力的全部或者其中任意两个以上来作为动作信息。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述信息处理装置还具有异常预测单元，所述异常预测单元基于所述相关关系分析单元的分析结果，参照所述信息存储单元中存储的所述流体控制设备的动作信息，来计算所述流体控制设备的异常发生概率，由此预测所述流体控制设备的异常。

5.(修改后)根据权利要求4所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述提取到的信息是所述流体控制设备的开闭状态切换之前以及之后的给定时间内的所述动作信息和所述判别结果涉及的信息。

6.根据权利要求4或5所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述异常预测单元具有：

第一异常预测单元，其通过有教师学习来判别所述动作信息在即将发生故障前的期间是否具有特有的特征；以及

第二异常预测单元，其通过学习了正常动作时的所述动作信息的自动编码器来判别所述动作信息是否处于通常动作状态。

7.一种流体控制设备的动作分析系统，其是对流体控制设备的动作进行分析的系统，其中，

所述流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信，

所述流体控制设备具有：

动作信息获取机构，其获取多个种类的所述流体控制设备的动作信息；以及

异常判别单元，其判别所述流体控制设备的异常，

所述信息处理装置具有：

信息收集单元，其收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果；

信息存储单元，其存储所述收集到的动作信息和判别结果；

信息提取单元，其参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象；以及

相关关系分析单元，其通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析。

8.一种流体控制设备的动作分析方法，其是对流体控制设备的动作进行分析的方法，其中，

在流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信的系统中，所述流体控制设备具有获取多个种类的设备的动作信息的动作信息获取机构，

所述信息处理装置执行如下处理：

判别所述流体控制设备的异常的处理；

收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果的处理；

将所述收集到的动作信息和判别结果存储在信息存储单元的处理；

参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象的处理；以及

通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的处理。

9.一种计算机程序，其是对流体控制设备的动作进行分析的计算机程序，其中，

在流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信的系统中，所述流体控制设备具有获取多个种类的设备的动作信息的动作信息获取机构，

所述计算机程序使所述信息处理装置执行如下处理：

判别所述流体控制设备的异常的处理；

收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果的处理；

将所述收集到的动作信息和判别结果存储在信息存储单元的处理；

参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象的处理；以及

通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的处理。

Claims (9)

1.一种流体控制设备的动作分析系统，其是对流体控制设备的动作进行分析的系统，其中，

所述流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信，

所述流体控制设备具有获取多个种类的所述流体控制设备的动作信息的动作信息获取机构，

所述信息处理装置具有：

异常判别单元，其判别所述流体控制设备的异常；

信息收集单元，其收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果；

信息存储单元，其存储所述收集到的动作信息和判别结果；

信息提取单元，其参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象；以及

相关关系分析单元，其通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析。

2.根据权利要求1所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

在所述流体控制设备，设置有流路和通过隔离部件与该流路隔离的空间，所述流体控制设备具有检测通过隔离部件与流路隔离的空间的压力的压力传感器来作为所述动作信息获取机构，

所述异常判别单元通过对由所述压力传感器检测到的检测值与给定的阈值进行比较，来判别所述流体控制设备的异常。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述动作信息获取机构获取所述流体控制设备的开闭次数、动作时间、环境温度、环境湿度、驱动压、以及施加于构成所述流体控制设备的部件的内部应力的全部或者其中任意两个以上来作为动作信息。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述信息处理装置还具有异常预测单元，所述异常预测单元基于所述相关关系分析单元的分析结果，参照所述信息存储单元中存储的所述流体控制设备的动作信息，来计算所述流体控制设备的异常发生概率，由此预测所述流体控制设备的异常。

5.根据权利要求4所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述提取到的信息是所述流体控制设备的开闭状态切换之前以及之后给定时间的、给定时间内的所述动作信息和所述判别结果涉及的信息。

6.根据权利要求4或5所述的流体控制设备的动作分析系统，其中，

所述异常预测单元具有：

第一异常预测单元，其通过有教师学习来判别所述动作信息在即将发生故障前的期间是否具有特有的特征；以及

第二异常预测单元，其通过学习了正常动作时的所述动作信息的自动编码器来判别所述动作信息是否处于通常动作状态。

7.一种流体控制设备的动作分析系统，其是对流体控制设备的动作进行分析的系统，其中，

所述流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信，

所述流体控制设备具有：

动作信息获取机构，其获取多个种类的所述流体控制设备的动作信息；以及

异常判别单元，其判别所述流体控制设备的异常，

所述信息处理装置具有：

信息收集单元，其收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果；

信息存储单元，其存储所述收集到的动作信息和判别结果；

信息提取单元，其参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象；以及

相关关系分析单元，其通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析。

8.一种流体控制设备的动作分析方法，其是对流体控制设备的动作进行分析的方法，其中，

在流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信的系统中，所述流体控制设备具有获取多个种类的设备的动作信息的动作信息获取机构，

所述信息处理装置执行如下处理：

判别所述流体控制设备的异常的处理；

收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果的处理；

将所述收集到的动作信息和判别结果存储在信息存储单元的处理；

参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象的处理；以及

通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的处理。

9.一种计算机程序，其是对流体控制设备的动作进行分析的计算机程序，其中，

在流体控制设备和基于从该流体控制设备获取的信息来执行数据挖掘的信息处理装置构成为能够经由网络进行通信的系统中，所述流体控制设备具有获取多个种类的设备的动作信息的动作信息获取机构，

所述计算机程序使所述信息处理装置执行如下处理：

判别所述流体控制设备的异常的处理；

收集所述流体控制设备的动作信息和异常判别结果的处理；

将所述收集到的动作信息和判别结果存储在信息存储单元的处理；

参照所述信息存储单元，并针对每个所述流体控制设备选择性地提取使给定的动作信息相同的其他所述动作信息和所述判别结果涉及的信息来作为分析对象的处理；以及

通过对比所述提取到的信息，对所述流体控制设备的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的处理。