CN109983318A - 流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器 - Google Patents

Abstract

在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。

Description

流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及 流体控制器

技术领域

本发明涉及在流体控制装置中检测流体的泄漏的技术。

背景技术

以往，在半导体晶片的表面形成薄膜的成膜处理中，要求薄膜的微细化，近年来，使用以原子水平或分子水平的厚度形成薄膜的ALD(Atomic Layer Deposition：原子层沉积)的成膜方法。

但是，这种薄膜的微细化要求流体控制器进行迄今为止以上的高频的开闭动作，由于该负荷，有时会容易引起流体的泄漏等。因此，对能够容易地检测出流体控制器中的流体的漏泄的技术的要求不断提高。

另外，在半导体制造工艺中，由于使用反应性高且毒性极高的气体，所以能够在泄漏微小的期间内并且能够远程地检测泄漏是重要的。

关于这一点，在专利文献1中，提出了一种密封部破损检测机构，其由形成在控制流体的流量的控制器的外表面的孔和安装于该孔的泄漏检测部件构成，所述孔与控制器内的空隙连通，所述泄漏检测部件由安装于所述孔的筒状体和设置于该筒状体的可动部件构成，该可动部件通过充满于控制器内的所述空隙内的泄漏流体的压力而可向所述筒状体的外方移动。

另外，在专利文献2中，提出了一种带有密封部破损检测机构的控制器，其由形成在控制流体的流量的控制器的外表面的孔和安装于该孔的泄漏检测部件构成，所述孔与控制器内的空隙连通，所述泄漏检测部件因特定流体的存在而进行感应。

此外，在专利文献3中，提出了一种检测流体的泄漏的泄漏检测装置，其具备：传感器保持体；超声波传感器，其以与泄漏端口对置的方式保持于传感器保持体，所述泄漏端口设置于泄漏检测对象部件，并将泄漏检测对象部件内的密封部分与外部进行连通；超声波通道，其设置在超声波传感器的传感器面与泄漏端口之间；以及处理电路，其处理由超声波传感器获得的超声波。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平04-093736号公报

专利文献2：日本特开平05-126669号公报

专利文献3：日本特开2014-21029号公报

发明内容

发明所要解决的问题

但是，在专利文献1记载的密封部破损检测机构中，虽然能够判别控制器内的空隙的加压，但是不能判别负压，在流体的泄漏很少的情况下，存在可动部件不能充分地移动，从而无法检测出泄漏的可能。

另外，在专利文献2记载的带有密封部破损检测机构的控制器中，在流体的泄漏很少的情况下，存在被吹扫气体稀释，从而泄漏检测部件不进行感应的可能，另外，存在泄漏检测部件对给定的流体不进行感应的可能。

此外，在专利文献3记载的泄漏检测装置中，在流体的泄漏很少的情况下，存在超声波微弱而无法检测出泄漏的可能。

均在对流体的微小泄漏的检测能力方面存在改善的余地。

因此，本发明的目的之一在于提供一种在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下也能够检测出泄漏的装置。另外，本发明的目的之一在于，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏。

用于解决问题的手段

为了实现上述目的，本发明的一个观点所涉及的流体控制器的异常检测装置是检测流体控制器的异常的装置，所述流体控制器设置有：流道；通过隔离部件与该流道隔离的封闭空间；以及能够连通该封闭空间与外部的泄漏端口，所述流体控制器的异常检测装置的特征在于，具有：压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口，并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断，所述处理模块执行判别处理和通信处理，所述判别处理通过对由所述压力传感器检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常，所述通信处理将所述流体控制器的异常的判别结果发送至服务器。

另外，也可以采用如下结构，即，还具有检测所述流体控制器的驱动压的驱动压传感器，所述处理模块还根据检测出的所述流体控制器的驱动压来修正所述给定的阈值。

另外，也可以采用如下结构，即，还具有检测所述流体控制器的开闭动作的开闭检测机构，所述处理模块还根据检测出的所述流体控制器的开闭动作来修正所述给定的阈值。

另外，也可以采用如下结构，即，还具有测定外部温度的温度传感器，所述处理模块还根据所测定的所述外部温度来修正所述给定的阈值。

另外，也可以采用如下结构，即，由所述处理模块执行的通信处理是将流体向所述封闭空间的泄漏的判定结果以给定的周期向所述服务器发送的处理。

另外，也可以采用如下结构，即，在集成有多个流体控制器的流体控制装置中，由安装于各流体控制器的装置的处理模块执行的通信处理是在针对每个装置不同的定时将所述流体的泄漏的判别结果与自身识别信息一起向所述服务器发送的处理。

另外，也可以采用如下结构，即，所述隔离部件为隔膜，所述流体控制器具有所述隔膜与设置于所述流道的片材抵接或分离的阀机构。

另外，本发明的另一个观点所涉及的流体控制器的异常检测系统是检测流体控制器的异常的系统，所述流体控制器设置有：流道；通过隔离部件与该流道隔离的封闭空间；以及能够连通该封闭空间与外部的泄漏端口，所述流体控制器的异常检测系统的特征在于，以能够拆装的方式固定于所述流体控制器的信息提供装置与服务器构成为能够进行通信，所述信息提供装置具有：压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；通信模块，其向所述服务器发送由所述压力传感器检测出的检测值；以及拆装机构，其将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口，并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断，所述服务器执行判别处理，所述判别处理通过对从所述信息提供装置接收到的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常。

另外，本发明的另一个观点所涉及的流体控制器的异常检测方法是检测流体控制器的异常的方法，所述流体控制器设置有：流道；通过隔离部件与该流道隔离的封闭空间；以及能够连通该封闭空间与外部的泄漏端口，所述异常检测方法的特征在于，通过将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断的装置来执行如下工序：检测所述封闭空间内的压力的工序；通过对由所述压力传感器检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常的工序；以及将所述流体控制器的异常的判别结果发送至服务器的工序。

为了实现上述目的，本发明的另一个观点所涉及的流体控制器是能够检测异常的流体控制器，其特征在于，具有：流道；封闭空间，其通过隔离部件与所述流道隔离；泄漏端口，其能够连通所述封闭空间与外部；压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；拆装机构，其将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口，并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断；以及处理模块，其执行给定的信息处理，所述处理模块执行判别处理和通信处理，所述判别处理通过对由所述压力传感器检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常，所述通信处理将所述流体控制器的异常的判别结果发送至服务器。

发明效果

根据本发明，在流体控制器中，即使在流体泄漏很少的情况下也能够检测出泄漏。另外，通过与服务器的协作，具有对于位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器也容易监视流体的泄漏等效果。

附图说明

图1为表示将本发明的第一实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置安装到流体控制器的状态的外观立体图。

图2为表示将本实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置安装到流体控制器的状态的剖视图，(a)表示闭阀状态，(b)表示开阀状态。

图3为表示形成本实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置所形成的网络的结构的示意图。

图4为表示以能够拆装的方式安装有本实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置的流体控制器的外观立体图。

图5为表示本实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置的外观立体图，(a)表示外侧，(b)表示与流体控制器抵接的一侧。

图6为表示将本实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置安装于流体控制器时的状态的分解立体图。

图7为表示本实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置以及构成为能够与该异常检测装置进行通信的服务器所具备的功能的功能框图。

图8为表示本发明的第二实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置以及构成为能够与该异常检测装置进行通信的服务器所具备的功能的功能框图。

图9为表示本发明的第三实施方式所涉及的流体控制器的异常检测系统所具备的功能的功能框图。

图10为表示本发明的第四实施方式所涉及的流体控制器的异常检测系统所具备的功能的功能框图。

具体实施方式

【实施例1】

以下，参照附图对本发明的第一实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置进行说明。

另外，在以下的说明中，为了方便，有时会通过图上的方向将部件等的方向称为上下左右，但这些并不限定本发明的实施或使用时的部件等的方向。

如图1、图2所示，本实施方式所涉及的异常检测装置1是以能够拆装的方式安装于流体控制器2，并检测流体控制器2的异常，尤其是检测流体控制器2内的流体的泄漏的装置。

另外，如图3所示，该异常检测装置1构成为能够经由网络NW1、NW2与服务器3进行通信，并向该服务器3提供与流体控制器2的异常有关的信息。另外，图3示出了集成多个流体控制器2而构成流体控制装置10的例子。

首先，对应用本实施方式所涉及的异常检测装置1的流体控制器2进行说明。

作为应用本实施方式所涉及的异常检测装置1的流体控制器2，在图4中示出了直接隔膜阀。该流体控制器2在外观上由阀体21、配设在阀体21的上端的大致圆筒状的致动器主体22、安装在致动器主体22的上端的致动器盖23构成。

如图2所示，在阀体21内设有供流体流入的流入通道211a、供流体流出的流出通道211b以及与该流入通道211a和流出通道211b连通的阀室211c。该流入通道211a、流出通道211b以及阀室211c一体地构成了供流体流通的流道211。

另外，在流入通道211a与阀室211c连通的部位的周缘设置有环状的片材212。在片材212上还设置有隔膜213，隔膜213通过与片材212接触或分离而使流体从流入通道211a向流出通道211b流通，或者阻断流通。

隔膜213是由不锈钢、NiCo系合金等金属或氟系树脂构成的圆盘状的部件，并作为隔离流道211与封闭空间S的隔离部件发挥功能。该隔膜213在被供给作为驱动压的空气而从盘221的按压被释放时，通过自身的恢复力或通过流道212内的压力，中央部向离开片材212的方向位移，从而离开片材212。其结果，阀室211c开放，流入通道211a与流出通道211b成为连通的状态。

另一方面，在停止作为驱动压的空气的供给，隔膜213被盘221按压时，隔膜213的中央部相对于片材212向与片材212抵接的方向位移，从而与片材212抵接。其结果，阀室211c遮断，流入通道211a与流出通道211b成为遮断的状态。

另外，一般而言，隔离部件除了使用本例的隔膜213之外，还使用波纹管(bellows)。但是，波纹管虽然取得大的行程(流量范围)，但致动器主体内的体积变化变大，因此需要在流体控制器的开闭动作时打开呼吸口(相当于本例的泄漏端口LP)。

另一方面，在如本例那样的直接隔膜构造中，即在通过隔膜213与片材212抵接或分离而使流体从流入通道211a向流出通道211b流通或阻断流通的构造中，致动器主体22内的体积变化少。因此，即使在通过本例的异常检测装置1将泄漏端口LP与外部遮断的状态下，流体控制器2也能够没有问题地进行开闭动作。因此，本例的异常检测装置1可以说适合于由直接隔膜构造构成的流体控制器2。

在致动器主体22内设置有：盘221，其按压隔膜213；按压适配器222，其按压隔膜213的周缘；活塞223，其通过上下滑动而经由盘221使隔膜213与片材212抵接或分离；以及弹簧224，其对活塞223向下方进行施力。

按压适配器222从上方按压隔膜213的周缘，从而防止了流经流道211的流体从隔膜213的周缘部附近泄漏到致动器主体22内的情况。

在活塞223的上端侧设有小径的保持部，在该保持部保持有O形环225。该O形环225对活塞223的外周面和与致动器盖23的驱动压导入口23a连通的驱动压导入通道231的内周面之间进行密封。由此，从驱动压导入口23a导入的空气不会泄漏地向活塞223内的驱动压导入通道232导入。

在活塞223的中间部也设有小径的保持部，在该保持部保持有O形环226。该O型环226对活塞223的外周面与致动器主体22的内周面之间进行密封。由O形环226和O形环227形成的空间形成与活塞223内的驱动压导入通道232连通的驱动压导入室233。

空气从致动器盖23的驱动压导入口23a经由与驱动压导入口23a连通的驱动压导入通道231和活塞223内的驱动压导入通道232，导入至上述驱动压导入室233。当空气被导入到驱动压导入室233时，活塞223克服弹簧224的施力而被向上方抬起。由此，成为隔膜213离开片材212而开阀的状态，从而流体流通。

另一方面，当未向驱动压导室内233导入空气时，活塞223因弹簧224的施力而被向下方按下。由此，成为隔膜213与片材212抵接而闭阀的状态，从而流体的流通被阻断。

在活塞223的下端侧也设有小径的保持部，在该保持部保持有O形环227。该O型环227对活塞223的外周面与致动器主体22的内周面之间进行密封。由此，在致动器主体22内的盘221进行上下移动的部分，形成有由隔膜213和O形环227分隔出的封闭空间S。

该封闭空间S仅通过设置于致动器主体22的泄漏端口LP与外部连通，但在异常检测装置2的压力传感器11固定于泄漏端口LP时，泄漏端口LP将与外部遮断而成为气密状态。

在此，设置于致动器主体22的泄漏端口LP构成为使封闭空间S与外部连通的贯通孔。该泄漏端口LP是用于检测因隔膜213的破损等而导致流体泄漏到封闭空间S的情况的孔，本实施方式所涉及的异常检测装置1安装于该泄漏端口LP。

另外，泄漏端口LP在流体控制器2正常动作时，也作为能够进行伴随着活塞223的上下移动而产生的致动器主体22内的空气的吸进或排出的呼吸口发挥功能。

另外，泄漏端口LP在流体控制器2的成品检查中也作为检查流道211的气密性时的测试端口发挥功能。该成品检查是通过将异常检测装置1从流体控制器2拆下，并在该状态下使惰性氦气(He)等流通到流道211中而进行的。

本实施方式所涉及的异常检测装置1能够后安装于现成或已设的流体控制器2，并能够使用作为呼吸口或测试端口等而设置的泄漏端口LP来检测流体的泄漏。因此，不需要在流体控制器2设置用于安装本发明的异常检测装置1的专用的泄漏端口。

如图3所示，集成多个由以上结构构成的流体控制器2而构成流体控制装置10。在这种情况下，异常检测装置1也安装于构成流体控制装置10的各个流体控制器2。

异常检测装置1是通过检测封闭空间S内的压力来检测流体从流道211向封闭空间S的泄漏等，并检测隔膜213的破损等流体控制器2的异常的装置。

如图5、图6所示，该异常检测装置1除了压力传感器11以及由壳体121和固定部件122构成的拆装机构12(将壳体121和固定部件122统称为“拆装机构12”)之外，还具有执行给定的信息处理的处理模块13(参照图7进行后述)。另外，处理模块13既可以与压力传感器11分体地收纳在壳体121内，也可以构成为压力传感器11的一部分。

压力传感器11通过泄漏端口LP检测流体控制器2的封闭空间S内的压力。

该压力传感器11由检测封闭空间S内的压力变化的压敏元件、将由压敏元件检测出的压力的检测值转换为电信号的转换元件等构成。

另外，压力传感器11可以检测表压或大气压中的任一个，只要根据各个情况设定判别处理部131(参照图7进行后述)所参照的阈值即可。

另外，在本实施方式中，通过利用压力传感器11检测封闭空间S内的压力变化，来检测由流体的泄漏等引起的流体控制器2的异常，但也能够将电容式传声器单元用作压力传感器11。即，电容式传声器单元具有接收声波而进行振动的振动板和与振动板对置配置的对置电极，能够将振动板与对置电极之间的静电电容的变化转换为电压的变化而形成为声音信号。而且，该电容式传声器单元通过堵塞设置在振动板的背面侧的空气室而成为无指向性(全指向性)。在无指向性的情况下，电容式传声器单元捕捉来自所有方向的声波的声压的变化而进行动作，因此能够作为压力传感器来利用。

由壳体121和固定部件122构成的拆装机构12是用于将异常检测装置1以能够拆装的方式安装于流体控制器2的机构，将压力传感器11以能够拆装的方式固定于泄漏端口LP，并且在固定状态下将泄漏端口LP与外部遮断。

由大致箱型形状构成的壳体121在一侧面具有用于保持压力传感器11的嵌合孔1211a，通过使压力传感器11的前端部嵌合于该嵌合孔1211a，从而保持压力传感器11。

另外，壳体121的与流体控制器2抵接的面按照流体控制器2的抵接部位的形状而形成为以大致半圆柱状切掉的形状，在壳体121的宽度方向的两侧面设有与螺栓12b螺合的螺栓孔1212a，螺栓12b用于对固定部件122的端部进行固定。

另外，在壳体121内能够适当地收纳使压力传感器11驱动的内部电源等。

固定部件122是由弹性的金属、橡胶等能伸缩的弹性材料构成的绳状的部件，其长度与流体控制器2的卷绕该固定部件122的部分(在本例中为致动器主体22)的外周的长度大致相同，或略短于该长度。

在该固定部件122的两端，与壳体121的一对螺栓孔1212a对应地形成有一对螺栓孔122a。通过使螺栓12b与固定部件122的螺栓孔122a和壳体121的螺栓孔1212a螺合，使得固定部件122的两端固定于壳体121的侧面，并使固定部件122维持在卷绕于流体控制器2的状态。由此，保持于壳体121的压力传感器11被压贴于泄漏端口LP。

在此，从将异常检测装置1安装到流体控制器2的状态，松开螺栓12b，使壳体121与固定部件122分离，从而能够将异常检测装置1从流体控制器2拆下，由此，泄漏端口LP开放。

另外，在本例中，压力传感器11与壳体121之间由O形环1213密封。另外，在压力传感器11与泄漏端口LP之间安装有密封件1214，防止泄漏到流体控制器2的封闭空间S的流体漏出到外部的情况。

处理模块13由CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、存储器构成，由此，如图7所示，具备由判别处理部131和通信处理部132构成的功能块。该处理模块13构成为能够通过给定的配线等与压力传感器11协作，并能够从该压力传感器11接受数据的供给。

判别处理部131执行通过对保持在参照用表等中的给定的阈值与由压力传感器11检测出的压力的检测值进行比较，从而判别由流体向封闭空间S的泄漏等引起的流体控制器2的异常的处理。即，在正常使用时，将在流体控制器2的阀的开闭时所设想的封闭空间S内的压力的极限值设为给定的阈值。并且，在封闭空间S内的压力检测值超过了该阈值的情况下，判别为流体控制器2产生了异常。这种判别的合理性在于，由于隔膜213的破损等流体泄漏到封闭空间S，从而封闭空间S内的压力上升，结果认为封闭空间S内的压力的检测值超过了阈值，或者由于流道211内的减压，封闭空间S内的压力减少，结果认为封闭空间S内的压力的检测值超过了阈值。

通信处理部132是用于执行向服务器3发送判别处理部131的判别结果的处理的功能部。在本实施方式中，在异常检测装置1与服务器3之间设置有中继装置4，经由该中继装置4，将来自异常检测装置1的信息提供给服务器3。

具体而言，由通信处理部132发送的数据例如经由通过蓝牙(注册商标)、红外通信或Zigbee(注册商标)之类的无线通信实现的网络NW1暂时被发送到中继装置4，并从中继装置4经由通过无线或有线的LAN等实现的网络NW2发送到服务器3。

另外，该通信处理部132能够以1小时或1天等任意设定的给定周期发送判别处理部131的判别结果。关于这一点，虽然流体的微量的泄漏难以在其瞬间检测出，但如果为几天左右，则由于升压而能够检测出。另一方面，由于封闭空间S为气密的空间，所以即使发生微小的泄漏，也不易立即成为问题。因此，即使是以给定的周期进行的发送，也不会发生故障。而且，在像这样以给定的周期进行信息的发送的情况下，能够抑制耗电量。

另外，如图3所示，在集成多个流体控制器2而构成流体控制装置10的情况下，安装到各流体控制器2的异常检测装置1的通信处理部132能够在针对每个异常检测装置1不同的定时将判别处理部131的判别结果与能够识别自身的自身识别信息一起发送至服务器3。

通过向服务器3发送能够分别识别异常检测装置1的自身识别信息，从而能够判别构成流体控制装置10的多个流体控制器2中的哪一个发生了异常。

另外，通过向服务器3在针对每个异常检测装置1不同的定时发送判别结果，能够避免数据包冲突的问题，并且与同时发送的情况相比，还能够防止临时处理的过载。而且，与同时发送的情况不同，不需要针对每个异常检测装置1改变用于数据发送的无线信道，所以不需要准备大量的信道。特别是在由蓝牙(注册商标)构成网络NW1的情况下，由于同时连接台数有限制(通常为7台)，所以通过改变发送的定时，能够使用超过同时连接台数的数量的异常检测装置1。

服务器3由CPU、CPU执行的计算机程序、存储计算机程序或给定的数据的RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)或ROM(Read Only Memory：只读存储器)、以及硬盘驱动器之类的外部存储装置等硬件资源构成。

该服务器3具有通信处理部31，通信处理部31用于经由中继装置4从异常检测装置1接收流体向流体控制器2的封闭空间S的泄漏的判别结果。服务器3从异常检测装置1接收到的信息根据来自流体控制器2的管理者或监控者等所使用的终端的请求，适当地提供给监视者所使用的终端。

中继装置4经由网络NW1从异常检测装置1接收数据，并且经由网络NW2向服务器3发送该接收到的数据。

另外，在本实施方式中，虽然在异常检测装置1与服务器3之间存在有中继装置4，但也可以构成为异常检测装置1与服务器3能够直接进行数据通信。

通过将由以上的结构构成的异常检测装置1安装于流体控制器2，能够基于由压力传感器11检测出的封闭空间S内的压力与给定的阈值之间的比较，检测出由流体向封闭空间S的泄漏等引起的流体控制器2的异常。

另外，由于异常检测装置1以能够拆装的方式安装于流体控制器2，所以在检查流体控制器2中的流体的泄漏的情况等，能够根据需要容易地卸下异常检测装置1，并且也能够安装于现成产品的流体控制器2。

另外，由于与流体控制器2的异常有关的信息被汇集到服务器3中，所以流体控制器2的监视者等能够无负担地监视流体控制器2的动作状况。

另外，由于安装有异常检测装置1的流体控制器2为直接隔膜阀，所以封闭空间S内的压力变化小，即使通过异常检测装置1堵塞泄漏端口LP，也不会给流体控制器2的动作带来障碍。

而且，异常检测装置1在检测出流体控制器2的封闭空间S内的压力之后，通过将给定的阈值与检测值进行比较来检测流体控制器2的异常，因此即使在产生了闭合空间S内成为负压的异常的情况下，也能够检测出该异常。

另外，在以上的本实施方式中，也可以在异常检测装置1设置有在判别为流体控制器2存在异常时，用于使异常检测装置1自身发出该情况的警告的单元。具体而言，例如可以由能目视确认的灯等构成。这一点对于后述的其他实施方式也同样如此。

另外，用于将异常检测装置1以能够拆装的方式安装于流体控制器2的拆装机构12的构造只不过是一例，只要能够使压力传感器11贴靠于流体控制器2的泄漏端口LP，并以能够拆装的方式进行固定，则也可以采用其它的构造。

另外，将由隔膜213和O形环227分隔出的空间作为封闭空间S，通过检测其内部的压力来检测流体控制器2的异常，但如果是被隔膜213隔开并且设置有泄漏端口LP的流体控制器2内的密闭空间，则通过将该密闭空间作为封闭空间S来检测压力，从而能够检测出隔膜213的破损等流体控制器2的异常。

【实施例2】

接着，对本发明的第二实施方式所涉及的流体控制器的异常检测装置进行说明。

如图8所示，本实施方式所涉及的异常检测装置5除了上述第一实施方式所涉及的异常检测装置1所具备的压力传感器11和拆装机构12之外，还具有检测流体控制器2的驱动压的驱动压传感器51和测定外部温度的温度传感器52。另外，本实施方式所涉及的异常检测装置5所具备的处理模块53构成由判别处理部531、修正处理部532以及通信处理部533构成的功能块。

另外，处理模块53与上述的第一实施方式同样地被收纳在压力传感器11或构成拆装机构12的壳体121内等。另外，本实施方式中的处理模块53构成为，通过给定的壳体或配线等，也能够与驱动压传感器51和温度传感器52协作，并能够从该驱动压传感器51和温度传感器52接受数据的供给。

另外，本实施方式所涉及的以能够拆装的方式安装有异常检测装置5的流体控制器2的功能和构造与上述第一实施方式中的相同。另外，本实施方式所涉及的异常检测装置5利用网络NW1、NW2并经由中继装置4向构成为能够进行通信的服务器3发送判别处理部531的判别结果的功能也与上述第一实施方式相同。

另外，除非特别说明，在本实施方式的说明中，标注与第一实施方式相同的编号(标号)的部件、功能部件等保持与上述部件或功能部件等相同的功能或执行与上述部件或功能部件等相同的处理，所以省略其说明。

驱动压传感器51检测流体控制器2的驱动压。

该驱动压传感器51例如安装在流体控制器2的驱动压导入口23a，检测作为导入到流体控制器2内的驱动压的空气的压力。将与检测到的空气的压力有关的信息提供给修正处理部532。

温度传感器52测定设置有流体控制器2的环境中的外部温度。将与所测定的外部温度有关的信息提供给修正处理部532。

判别处理部531与第一实施方式中的判别处理部131同样地，执行通过对保持在参照用表等中的给定的阈值与由压力传感器11检测出的压力的检测值进行比较，从而判别由流体向封闭空间S的泄漏等引起的流体控制器2的异常的处理。另一方面，在本实施方式中，在通过修正处理部532修正该给定的阈值时，在进行了修正之际，判别处理部531执行通过对修正后的阈值与由压力传感器11检测出的压力的检测值进行比较，从而判别由流体向封闭空间S的泄漏等引起的流体控制器2的异常的处理。

修正处理部532根据由驱动压传感器51检测出的空气的压力或由温度传感器52测定的外部温度，对判别处理部531为了判别流体向封闭空间S的泄漏而参照的给定的阈值进行修正。

即，如果为了使流体控制器2开闭而改变空气的压力，则封闭空间S内的压力会因活塞223的上下移动而发生变化。因此，修正处理部532对给定的阈值进行修正，使得判别处理部531能够区别由该空气的压力引起的封闭空间S内的压力变化与由流体控制器2的异常引起的封闭空间S内的压力变化，从而判别流体控制器2的异常。具体而言，在导入了空气的情况下，由于封闭空间S内的压力减少，所以将阈值修正为低值，在排出了空气的情况下，由于封闭空间S内的压力上升，所以将阈值修正为高值。其结果，判别处理部531能够无视伴随着空气的压力变化而产生的封闭空间S内的压力变化，判别由流体的泄漏等流体控制器2的异常引起的封闭空间S内的压力变化。

在此，由于使用了驱动压传感器51，所以即使在流体控制器2的开闭动作中，也能够判别由流体的泄漏等引起的封闭空间S内的压力变化。即，通过实验性地求出从驱动压转换为必要的修正值的适当的传递函数，也能够修正在活塞223移动的瞬间的封闭空间S内的过渡性的压力变化。

同时，在尽管根据驱动压传感器51的检测值预测到封闭空间S内的压力上升，但压力传感器11的检测值没有上升的情况下，能够判断出活塞223或压力传感器11的故障。

此外，封闭空间S内的压力也根据外部温度发生变化。因此，修正处理部532对给定的阈值进行修正，使得判别处理部531能够区别由外部温度引起的封闭空间S内的压力变化与由流体控制器2的异常引起的封闭空间S内的压力变化，从而判别流体控制器2的异常。具体而言，根据外部温度的上升将阈值修正为高值，并且根据外部温度的下降将阈值修正为低值。其结果，判别处理部531能够无视伴随着外部温度的变化而产生的封闭空间S内的压力变化，判别由流体的泄漏等流体控制器2的异常引起的封闭空间S内的压力变化。

与上述第一实施方式中的通信处理部132相同，通信处理部533是用于执行发送判别处理部531的判别结果的处理的功能部。在本实施方式中，在异常检测装置5与服务器3之间也设置有中继装置4，并且经由该中继装置4，从异常检测装置5向服务器3提供信息。

另外，通信处理部533的通信手段或方式以及网络NW1、NW2的结构与上述的第一实施方式相同。另外，同样地，在本实施方式中，数据的发送也能够以给定的周期执行。

根据由以上结构构成的本实施方式所涉及的异常检测装置5，即使封闭空间S内的压力因作为驱动压的空气或外部温度而发生变化，也能够辨别该压力变化和由流体的泄漏等流体控制器2的异常引起的封闭空间S内的压力变化，从而检测出流体控制器2的异常。

另外，作为本实施方式的变形例，也可以代替检测流体控制器2的驱动压的驱动压传感器51，设置检测通过流体控制器2的开关操作等进行的开闭动作的开闭检测机构。

即，作为驱动压的空气的压力因流体控制器2的开闭动作而发生变化，由此引起封闭空间S内的压力变化。因此，通过检测流体控制器2的开闭动作，也能够通过使修正处理部532修正给定的阈值，从而区分由流体控制器2的开闭引起的封闭空间S内的压力变化和由流体控制器2的异常引起的封闭空间S内的压力变化，由此判别流体控制器2的异常。

【实施例3】

对本发明的第三实施方式所涉及的流体控制器的异常检测系统进行说明。

如图9所示，本实施方式所涉及的异常检测系统60由信息提供装置6、中继装置4和服务器7构成。在该异常检测系统60中，服务器7具备与上述第一实施方式所涉及的异常检测装置1所具备的判别处理部131相同的功能部，在服务器7侧判别由流体向封闭空间S内的泄漏等引起的流体控制器2的异常。

本实施方式所涉及的信息提供装置6与上述第一实施方式所涉及的异常检测装置1同样地具有压力传感器11和拆装机构12，另一方面，代替处理模块13，具有仅执行数据通信的通信模块63。

通信模块63与上述第一实施方式的处理模块13同样地被收纳在压力传感器11或构成拆装机构12的壳体121内等，并且构成为能够通过给定的配线等与压力传感器11协作，并能够从该压力传感器11接受数据的供给。

并且，该通信模块63所具备的通信处理部631执行向服务器7发送由压力传感器11检测出的封闭空间S内的压力检测值的处理。

另外，在本实施方式中，在信息提供装置6与服务器7之间也设置有中继装置4，并且经由该中继装置4，从信息提供装置6向服务器7提供信息。另外，通信处理部631的通信手段或方式以及网络NW1、NW2的结构与上述的第一实施方式相同。另外，同样地，在本实施方式中，数据的发送也能够以给定的周期执行。

另外，本实施方式所涉及的以能够拆装的方式安装有信息提供装置6的流体控制器2的功能和构造与上述第一实施方式相同。另外，除非特别说明，在本实施方式的说明中，标注与第一实施方式相同的编号(标号)的部件、功能部件等保持与上述部件或功能部件等相同的功能或执行与上述部件或功能部件等相同的处理，所以省略其说明。

服务器7由CPU、CPU执行的计算机程序、存储计算机程序或给定的数据的RAM或ROM、以及硬盘驱动器之类的外部存储装置等硬件资源构成，并构成由判别处理部71和通信处理部72构成的功能部。

判别处理部71与第一实施方式中的判别处理部131同样地，执行通过对保持在参照用表等中的给定的阈值与由压力传感器11检测出的压力的检测值进行比较，从而判别由流体向封闭空间S的泄漏等引起的流体控制器2的异常的处理。在此，在本实施方式中，经由网络NW1、NW2，由通信处理部72取得由压力传感器11检测出的压力的检测值。

通信处理部72经由中继装置4，从信息提供装置6接收与压力传感器11检测出的封闭空间S内的压力的检测值有关的信息。

虽然在本实施方式中，在服务器7侧执行由流体的泄漏等引起的流体控制器2的异常的判别，但与第一实施方式同样地，在服务器7中判别出的流体控制器2的异常的判别结果根据来自流体控制器2的监视者等所利用的终端的请求，被适当地提供给该监视者等所利用的终端。

根据以上的本实施方式所涉及的异常检测系统60的结构，与第一实施方式同样地，也能够检测出由流体控制器2中的流体的泄漏等引起的流体控制器2的异常。此外，根据本实施方式，在服务器7侧执行流体控制器2的异常的判别处理的结果，能够简化安装于流体控制器2的信息提供装置6的结构，并且判别处理部71执行的程序的调试等维护也变得容易。

【实施例4】

接着，对本发明的第四实施方式所涉及的流体控制器的异常检测系统进行说明。

如图10所示，本实施方式所涉及的异常检测系统80是与上述第三实施方式所涉及的异常检测系统60同样地由信息提供装置8、中继装置4、服务器9构成，另一方面，信息提供装置8具有驱动压传感器81和温度传感器82，并且是服务器9具有修正处理部92的例子。

驱动压传感器81和温度传感器82分别由与上述第二实施方式中的驱动压传感器51和温度传感器52相同的结构和功能构成，并且分别检测流体控制器2的驱动压和外部温度。

通信模块83与上述第一实施方式的处理模块13同样地，被收纳在压力传感器11或构成拆装机构12的壳体121内等，另一方面，构成为通过给定的配线等，除了能够与压力传感器11协作之外，还能够与驱动压传感器81和温度传感器82协作。并且，与由压力传感器11、驱动压传感器81以及温度传感器82检测出的封闭空间S内的压力的检测值、驱动压以及外部温度有关的信息由通信模块83所具备的通信处理部831经由中继装置4发送给服务器9。

另外，在本实施方式中，在信息提供装置8与服务器9之间也设置有中继装置4，并且经由该中继装置4，从信息提供装置8向服务器9提供信息。另外，通信处理部831的通信手段或方式以及网络NW1、NW2的结构与上述的第一实施方式相同。另外，同样地，在本实施方式中，数据的发送也能够以给定的周期执行。

另外，本实施方式所涉及的以能够拆装的方式安装有信息提供装置6的流体控制器2的功能和构造与上述第一实施方式相同。另外，除非特别说明，在本实施方式的说明中，标注与第一实施方式相同的编号(标号)的部件、功能部件等保持与上述部件或功能部件等相同的功能或执行与上述部件或功能部件等相同的处理，所以省略其说明。

服务器9由CPU、CPU执行的计算机程序、存储计算机程序或给定的数据的RAM或ROM、以及硬盘驱动器之类的外部存储装置等硬件资源构成，并构成由判别处理部91、修正处理部92以及通信处理部93构成的功能部。

判别处理部91与第二实施方式中的判别处理部531同样地执行如下处理：通过对给定的阈值与由压力传感器11检测出的压力的检测值进行比较，从而判别由流体向封闭空间S的泄漏等引起的流体控制器2的异常，另一方面，在作为流体控制器2的异常的判别处理的基准的给定的阈值由修正处理部92进行了修正时，以修正后的阈值为基准来判别流体控制器2的异常。

修正处理部92与第二实施方式中的修正处理部532同样地，根据由驱动压传感器81检测出的空气的压力或由温度传感器82测定的外部温度，对判别处理部91为了判别流体控制器2的异常而参照的给定的阈值进行修正。但是，在本实施方式中，与第二实施方式不同，与空气的压力或外部温度有关的信息是经由网络NW1、NW2，从信息提供装置8供给至服务器9的。

通信处理部93经由中继装置4，从信息提供装置8接收与由压力传感器11检测出的封闭空间S内的压力的检测值、由驱动压传感器81检测出的驱动压、以及由温度传感器82检测出的外部温度相关的信息。

通过由以上结构构成的本实施方式所涉及的异常检测系统80，也与第二实施方式同样地，即使在封闭空间S内的压力因作为驱动压的空气或外部温度而发生变化的情况下，也能够辨别该压力变化和由流体的泄漏引起的封闭空间S内的压力变化，从而检测出由流体向封闭空间S的泄漏等引起的流体控制器2的异常。此外，根据本实施方式，在服务器9侧执行流体控制器2的异常的判别处理的结果，能够简化安装于流体控制器2的信息提供装置8的结构，并且判别处理部91或修正处理部92执行的程序的调试等维护也变得容易。

另外，关于本实施方式，也能够构成代替检测流体控制器2的驱动压的驱动压传感器81，设置检测通过流体控制器2的开关操作等进行的开闭动作的开闭检测机构的变形例。在这种情况下，当由开闭检测机构检测出流体控制器2的开闭动作时，该信息经由网络NW1、NW2提供给修正处理部92。与此相应地，当由修正处理部92修正了给定的阈值时，能够区分由流体控制器2的开闭引起的封闭空间S内的压力变化和由流体控制器2的异常引起的封闭空间S内的压力变化，从而判别流体控制器2的异常。

另外，虽然在以上的本实施方式中，将异常检测装置1、5或者信息提供装置6与流体控制器2构成为分体，但也可以与此无关地，使异常检测装置1、5或者信息提供装置6与流体控制器2一体地构成流体控制器。

符号说明

1、5 异常检测装置

11 压力传感器

12 拆装机构

121 壳体

122 固定部件

13、53 处理模块

131、531 判别处理部

132、533 通信处理部

51、81 驱动压传感器

52、82 温度传感器

532 修正处理部

2 流体控制器

21 阀体

211a 流入通道

211b 流出通道

211c 阀室

212 片材

213 隔膜

22 致动器主体

221 盘

222 按压适配器

223 活塞

224 弹簧

23 致动器盖

23a 驱动压导入口

231、232 驱动压导入通道

233 驱动压导入室

LP 泄漏端口

S 封闭空间

3、7、9 服务器

31、72、93 通信处理部

71、91 判别处理部

92 修正处理部

4 中继装置

6、8 信息提供装置

63、83 通信模块

631、831 通信处理部

NW1、NW2 网络

Claims (10)

1.一种流体控制器的异常检测装置，其为检测流体控制器的异常的装置，所述流体控制器设置有：流道；通过隔离部件与该流道隔离的封闭空间；以及能够连通该封闭空间与外部的泄漏端口，所述流体控制器的异常检测装置的特征在于，具有：

压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；

处理模块，其执行给定的信息处理；以及

拆装机构，其将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口，并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断，

所述处理模块执行判别处理和通信处理，所述判别处理通过对由所述压力传感器检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常，所述通信处理将所述流体控制器的异常的判别结果发送至服务器。

2.根据权利要求1所述的流体控制器的异常检测装置，其中，

所述流体控制器的异常检测装置还具有检测所述流体控制器的驱动压的驱动压传感器，

所述处理模块还根据检测到的所述流体控制器的驱动压来修正所述给定的阈值。

3.根据权利要求1所述的流体控制器的异常检测装置，其中，

所述流体控制器的异常检测装置还具有检测所述流体控制器的开闭动作的开闭检测机构，

所述处理模块还根据检测到的所述流体控制器的开闭动作来修正所述给定的阈值。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制器的异常检测装置，其中，

所述流体控制器的异常检测装置还具有测定外部温度的温度传感器，

所述处理模块还根据所测定的所述外部温度来修正所述给定的阈值。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流体控制器的异常检测装置，其中，

由所述处理模块执行的通信处理是将流体向所述封闭空间的泄漏的判别结果以给定的周期向所述服务器发送的处理。

6.根据权利要求5所述的流体控制器的异常检测装置，其中，

在集成有多个流体控制器的流体控制装置中，

由安装于各流体控制器的装置的处理模块执行的通信处理是在针对每个装置不同的定时将所述流体的泄漏的判别结果与自身识别信息一起向所述服务器发送的处理。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的流体控制器的异常检测装置，其中，

所述隔离部件为隔膜，所述流体控制器具有所述隔膜与设置于所述流道的片材抵接或分离的阀机构。

8.一种流体控制器的异常检测系统，其为检测流体控制器的异常的系统，所述流体控制器设置有：流道；通过隔离部件与该流道隔离的封闭空间；以及能够连通该封闭空间与外部的泄漏端口，所述流体控制器的异常检测系统的特征在于，

以能够拆装的方式固定于所述流体控制器的信息提供装置与服务器构成为能够进行通信，

所述信息提供装置具有：

压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；

通信模块，其向所述服务器发送由所述压力传感器检测出的检测值；以及

拆装机构，其将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口，并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断，

所述服务器执行判别处理，所述判别处理通过对从所述信息提供装置接收到的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常。

9.一种流体控制器的异常检测方法，其为检测流体控制器的异常的方法，所述流体控制器设置有：流道；通过隔离部件与该流道隔离的封闭空间；以及能够连通该封闭空间与外部的泄漏端口，所述流体控制器的异常检测方法的特征在于，

通过将压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断的装置来执行如下工序：

检测所述封闭空间内的压力的工序；

通过对由所述压力传感器检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常的工序；以及

将所述流体控制器的异常的判别结果发送至服务器的工序。

10.一种流体控制器，其能够检测异常，其特征在于，具有：

流道；

封闭空间，其通过隔离部件与所述流道隔离；

泄漏端口，其能够连通所述封闭空间与外部；

压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；

拆装机构，其将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口，并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断；以及

处理模块，其执行给定的信息处理，

所述处理模块执行判别处理和通信处理，所述判别处理通过对由所述压力传感器检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常，所述通信处理将所述流体控制器的异常的判别结果发送至服务器。