TWI766386B - 流體控制機器的動作資訊收集系統、流體控制機器、流體控制機器的動作資訊收集方法及電腦程式 - Google Patents

流體控制機器的動作資訊收集系統、流體控制機器、流體控制機器的動作資訊收集方法及電腦程式 Download PDF

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篠原努
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日商富士金股份有限公司
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Abstract

本發明之課題在於減少從流體控制機器收集到的動作資訊的資料量，並且擔保以動作資訊為根據之分析的精度。作為動作資訊收集模組5所構成之流體控制機器的動作資訊收集系統係具備：檢測值取得部51，係從流體控制機器V1取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理部53，係根據檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄部54，係將以預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為流體控制機器V1的動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55。

Description

流體控制機器的動作資訊收集系統、流體控制機器、流體控制機器的動作資訊收集方法及電腦程式
本發明係關於一種收集流體控制機器的動作資訊的技術。
以往，於半導體晶圓的表面形成薄膜的成膜處理中，要求薄膜的細微化，而近年來，係使用著以原子級或分子級的厚度形成薄膜之所謂ALD(Atomic Layor Deposition；原子層沉積)的成膜方法。
然而，該種薄膜的細微化對於流體控制機器乃要求著比目前還高的高頻度的開閉動作，會由於其負載而有易引起流體的漏出等情況。因此，對於能夠容易地偵測出流體控制機器中的流體的漏出之技術的要求乃日益提高。
再者，對於如下所述之流體控制機器及資訊收集方法的要求也日益提高，亦即，要求一種流體控制機器及資訊收集方法，其不僅能夠容易地偵測出漏出，還能夠收集以往未曾考慮到的流體控制機器的使用頻度、溫度、濕度及振動等，以 上述漏出為首而會對於流體控制機器之異常造成影響之各式各樣的環境要因資訊，並分析與異常的相關，而對於預測異常發生有助益。
對於此方面，在專利文獻1提出有一種系統，該系統藉由安裝於流體控制機器的感測器而取得動作資訊，並根據該動作資訊來分析流體控制機器之動作。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：WO2018/168873
專利文獻1記載的系統中，雖然可從流體控制機器取得動作資訊，但是一旦為了提高動作分析的精度而頻繁地取得動作資訊時，資料量就變得龐大，以致於變得不容易保持住動作資訊。
另一方面，若是以單純地壓縮要取得動作資訊的時序(timing)等方式而削減資料量，就會有無法在進行以動作資訊為根據之分析時擔保其精度之虞。
因此，本發明之目的之一，係在於減少從流體控制機器收集到的動作資訊的資料量，並且擔保以動作資訊為根據之分析的精度。
為了達成上述目的，本發明之流體控制機器的動作資訊收集系統係收集流體控制機器之動作資訊，且該動作資訊收集系統係具備：檢測值取得手 段，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理手段，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄手段，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
再者，前述算出處理手段係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值，前述動作資訊登錄手段係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
再者，亦可為前述算出處理手段係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值，前述動作資訊登錄手段係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
再者，亦可為前述算出處理手段係根據前述檢測值而算出藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率，前述動作資訊登錄手段係將藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
再者，亦可更具有：判斷處理手段，係參照前述動作資訊記憶手段而將作為前述流體控制機器之動作資訊所登錄的檢測值的變化比率作為判斷基準，判斷前述每一預定時間之檢測值的變化比率是否超過根據該預定的判斷基準所設定的閾值；且在判斷為前述每一預定時間之檢測值的變化比率超過根據前述預定的判斷基準所設定的閾值時，前述動作資訊登錄手段係將前述每一 預定時間之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
再者，亦可為前述判斷處理手段將記憶在前述動作資訊記憶手段之動作資訊之中最新的動作資訊作為判斷基準。
再者，亦可為前述動作資訊登錄手段係僅登錄前述流體控制機器之開閉動作時之前述流體控制機器的動作資訊。
再者，亦可為更具備：具體辨識處理手段，係根據前述檢測值而具體辨識執行前述流體控制機器之開閉動作的時間；前述算出處理手段係將執行前述流體控制機器之開閉動作的時間作為算出處理的對象時間。
再者，本發明之另一觀點的流體控制機器，係內建前述的流體控制機器的動作資訊收集系統作為動作資訊收集模組。
本發明之另一觀點的流體控制機器的動作資訊收集方法，係收集流體控制機器之動作資訊，且該動作資訊收集方法係由電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
本發明之另一觀點的電腦程式，係用以收集流體控制機器的動作資訊，且該電腦程式係使電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器 的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
此外，電腦程式係可藉由經由網際網路等網路的下載而提供、或記錄於電腦可讀取的各種的記錄媒體而提供。
依據本發明，可減少從流體控制機器收集到的動作資訊的資料量，並且可擔保以動作資訊為根據之分析的精度。
1:閥本體
2:閥帽部
3:外罩部
4:致動器部
5a,5b,5c:動作資訊收集模組
6:動作資訊收集裝置
7:異常判別裝置
8:中繼裝置
9:動作分析裝置
11:基台部
12:圓筒部
12a,24a:凹部
12b:狹縫
21:薄片
22:隔膜
23:隔膜按壓部
24:閥帽
25:閥帽壁
25a:貫插孔
25b:開口部
25c:螺絲孔
25d:螺絲
25e:貫穿孔
25f:螺栓
26:柔性電纜
27:電路基板
28:連接器
29:墊圈
31:外罩
31a:螺絲孔
31b,31d:螺絲
31c:螺絲穴
32,33:板
32a:缺口部
32b,33a,33b:貫穿孔
41:致動器本體
41a:貫插孔
42:致動器蓋
42a:開口部
43:活塞
43a:開口部
44:彈簧
51:檢測值取得部(檢測值取得手段)
52:具體辨識處理部(具體辨識處理手段)
53:算出處理部(算出處理手段)
54:動作資訊登錄部(動作資訊登錄手段)
55:動作資訊記憶部(動作資訊記憶手段)
56:判斷處理部(判斷處理手段)
61,72,92:通信處理部
71,91:判別處理部
93:判別資訊記憶部
94:資訊抽出部
95:相關關係分析部
96:異常預測部
111:流入路
112:閥室
113:流出路
231:基體部
231a:條溝
232:擴徑部
241:區隔部
241a:貫插孔
241b:螺絲穴
241c:貫穿孔
411:周壁
431:擴徑部
432:驅動壓導入路
961:第一異常預測手段
962:第二異常預測手段
a1至a9:直線
C:通信模組
M1:磁鐵
M2:位置感測器
NW,NW1,NW2:網路
P:壓力感測器
S1:驅動壓導入室
S2:密閉空間
V,V1,V2,V3,V4:流體控制機器
圖1係顯示本發明實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中，屬於動作資訊之收集對象的流體控制機器的圖，(a)為外觀斜視圖，(b)為俯視圖。
圖2係顯示本發明實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中，屬於動作資訊之收集對象的流體控制機器的內部構造的A-A剖面圖，(a)為閉閥狀態，(b)開閥狀態。
圖3係顯示本發明實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中，屬於動作資訊之收集對象的流體控制機器的內部構造的B-B剖面圖，(a)閉閥狀態，(b)開閥狀態。
圖4係顯示本發明實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中，屬於動作資訊之收集對象的流體控制機器的分解斜視圖。
圖5係顯示本發明實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中，屬於動作資訊之收集對象的流體控制機器的分解斜視圖。
圖6係顯示本發明實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中，屬於動作資訊之收集對象的流體控制機器的分解斜視圖。
圖7係顯示本發明第一實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之構成的功能方塊圖。
圖8係用以說明，本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中收集的動作資訊與算出的變化比率之一例的圖表。
圖9係用以說明，本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中收集的動作資訊與算出的變化比率之一例的圖表。
圖10係用以說明，本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中收集的動作資訊與算出的變化比率之一例的圖表。
圖11係用以說明，本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中收集的動作資訊與算出的變化比率之一例的圖表。
圖12係顯示藉由本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統執行之處理的流程的處理流程圖，且為其間未具有具體辨識處理部所為之處理時的一例。
圖13係顯示藉由本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統執行之處理的流程的處理流程圖，且為其間未具有具體辨識處理部所為之處理的情形的另一例。此外，(a)為記憶檢測值的處理，(b)為算出變化比率的處理。
圖14係顯示藉由本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統執行之處理的流程的處理流程圖，且為其間具有具體辨識處理部所為之處理的情形。
圖15係顯示藉由本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統執行之處理的流程的處理流程圖，且為其間具有具體辨識處理部所為之處理的情形的另一例。此外，(a)為記憶檢測值的處理、(b)為算出變化比率的處理。
圖16係顯示本發明之第二實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之構成的功能方塊圖。
圖17係顯示藉由本發明之第二實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統執行之處理的流程的處理流程圖。
圖18係顯示本發明之第三實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之構成的功能方塊圖。
圖19係用以說明本發明之第三實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統中，作為判斷基準的檢測值與閾值之一例的圖表。
圖20係顯示藉由本發明之第三實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統執行之處理的流程的處理流程圖。
圖21係顯示本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之另一構成例的功能方塊圖。
圖22係顯示本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之另一構成例的功能方塊圖。
圖23係顯示本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之另一構成例的功能方塊圖。
圖24係顯示本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之另一構成例的功能方塊圖。
以下參照圖式來說明本發明實施型態之流體控制機器的動作資訊收集系統。
首先，參照圖式來說明成為動作資訊之收集對象之流體控制機器的一例。
此外，有關流體控制機器之以下的說明中，為了方便，會有依據圖面上的方向將構件等的方向指稱為上下左右的情形，但此等指稱並非用以限定本發明之實施或使用時之構件等的方向。
●流體控制機器V
圖1所示的流體控制機器V係氣動式的直接隔膜閥(direct diaphragm valve)，且與其他的流體控制機器或流量控制裝置等構成氣體裝置(gas unit)，以控制處理流體，並處理被處理體。該流體控制機器V如圖1至圖3所示，具備閥本體1、閥帽(bonnet)部2、外罩(cover)部3、致動器(actuator)部4。
如圖2及圖3所示，閥本體1係由形成有流路之基台部11、及設於基台部11上的大致圓筒形狀的圓筒部12構成。
基台部11形成為俯視矩形形狀，且在藉由複數部流體控制機器V構成氣體裝置時，成為設置於基板或回路板(manifold block)上的部分。
如圖4所示，圓筒部12由使配設閥帽部2之側的端面呈開口而成的中空形狀構成，中空的內部構成供收容閥帽部2的凹部12a。
在該圓筒部12設有狹縫(slit)12b，該狹縫12b係於軸心方向具有長度，且在配設閥帽部2之側(亦即與基台部11為相反側)之一端呈開口，並且從外側往凹部12a側貫穿。藉由該狹縫12b，從閥帽壁(bonnet wall)25延伸出的柔性電纜(flexible cable)26可從內側往外側導出。
在凹部12a的下方及基台部11內形成有供流體流入的流入路111與供流體流出的流出路113、以及與該流入路111及流出路113連通的閥室112。流入路111、流出路113及閥室112一體地構成供流體流通的流路。
環狀的薄片(sheet)21設於閥室112中的流入路111的開口部周緣。藉由使隔膜22與薄片21抵接或分離，而能夠使流體從流入路111往流出路113流通、或阻斷流通。
隔膜22係由不鏽鋼、Ni-Co系合金等金屬構成，並且中心部膨出成凸狀之球殼狀的構件，將流路與致動器部4作動的空間予以隔離。如圖2(b)及圖3(b)所示，該閥帽24在未被隔膜按壓部23按壓的狀態下，係與薄片21分離，而流入路111與流出路113呈連通的狀態。另一方面，在被隔膜按壓部23按壓的狀態下，如圖2(a)及圖3(a)所示，隔膜22的中央部變形而抵接於薄片21，而流入路111與流出路113呈被阻斷的狀態。
隔膜按壓部23係設於隔膜22的上側，與活塞43的上下移動連動而按壓隔膜22的中央部。
如圖5所示，此隔膜按壓部23係由大致圓柱狀的基體部231與於抵接隔膜22之側的一端側擴徑而成的擴徑部232構成。
在基體部231形成有有底的條溝231a，該有底的條溝231a係於軸心方向具有長度，且在與擴徑部232為相反側的一端呈開口而成。螺入閥帽壁25之螺絲孔25c的螺絲25d的軸棒部分係可滑動地嵌合於該條溝231a。條溝231a與螺絲25d構成限制隔膜按壓部23之周方向之轉動的轉動限制手段，藉此，隔膜按壓部23會與活塞43連動而上下移動之同時，也被限制周方向之轉動。
再者，在基體部231安裝有磁鐵M1。該磁鐵M1在本實施例中係安裝於基體部231之條溝231a之相反側，然而，只要是不會妨礙位置感測器M2檢測磁鐵M1的磁力，且不會妨礙流體控制機器V的動作，也可安裝於基體部231上的其他位置。
閥帽24形成大致圓筒狀，且收容在閥本體1的凹部12a內。
隔膜22的周緣被夾持在閥帽24的下端部與閥本體1之間，且以該部分形成隔膜22與閥本體1之間的密封件(seal)。
於閥帽24的內部設有大致圓盤狀的區隔部241，該區隔部241係於中心部形成有供隔膜按壓部23貫插的貫插孔241a。
閥帽壁25係被收容於形成在區隔部241的上方至配設致動器部4之側的凹部24a。在區隔部241與閥帽壁25，分別於相互對應的位置設有螺絲穴241b與貫穿孔25e，且閥帽壁25藉由螺栓25f而螺設於閥帽24。
閥帽24的區隔部241係具有一定的厚度，而於形成在區隔部241之貫插孔241a的內周面與隔膜按壓部23之間中介地設置有O型環O1。藉此，確保了藉由區隔部241、隔膜22及隔膜按壓部23所區劃的密閉空間S2的氣密性。
再者，在閥帽24的區隔部241設有與安裝於閥帽壁25之壓力感測器P連通的連通孔241d。藉由經由連通孔241d設置壓力感測器P，就能夠測定藉由區隔部241、隔膜22及隔膜按壓部23所區劃而成的密閉空間S2內的壓力。
再者，於閥帽24的側面設有貫穿孔241c，該貫穿孔241c係用以使從收容於內側之閥帽壁25導出之柔性電纜26往外側導出。
閥帽壁25係配設於閥帽24內的構件。該閥帽壁25係形成將厚壁之大致圓盤狀的構件鏤空成俯視為大致C字狀的形狀。在該閥帽壁25的中心設有供隔膜按壓部23的基體部231貫插的貫插孔25a。此外，還設有使貫插孔25a朝向閥帽壁25之半徑方向外側呈開口的開口部25b。
於閥帽壁25之厚度部分之預定的部位，形成有從貫插孔25a朝向半徑方向外側切出螺紋而成的螺絲孔25c。螺絲25d從外側螺合於該螺絲孔25c， 螺合後的螺絲25d的軸心部分往貫插孔25a穿出，而可滑動地嵌合於貫插在貫插孔25a之隔膜按壓部23的條溝231a。
於閥帽壁25，在與閥帽24之螺絲穴241b對應的位置設有貫穿孔25e。在閥帽24之區隔部241上配設有閥帽壁25的狀態下，螺栓25f螺合於螺絲穴241b與貫穿孔25e，藉此，使閥帽壁25固定於閥帽24。
在閥帽壁25之外周面之中之開口部25b的附近，係安裝有以閉塞開口部25b的方式跨越開口部25b而固定之平板狀的位置感測器M2。該位置感測器M2為用以感測與安裝在隔膜按壓部23之磁鐵M1之間之距離變化的磁性感測器，且藉由感測，不僅可量測流體控制機器V的開閉狀態，且能夠量測開度。此外，與伴隨著流體控制機器V之開閉操作之活塞43或隔膜按壓部23的上下移動無關，安裝於閥帽壁25的位置感測器M2都固定於預定的位置。
如圖6所示，外罩部3係構成固定手段，該固定手段係將致動器本體41與閥本體1予以夾壓而保持成一體，並且將電路基板27及設於電路基板27之連接器28固定於流體控制機器V。
該外罩部3係具備外罩31與平板狀的板32,33。
外罩31形成大致U字狀，在其內側供嵌入致動器本體41與閥本體1的端部。
於外罩31的兩側面，係以與供嵌入致動器本體41的位置對應的方式設有螺絲孔31a。藉此，在閥本體1被嵌入內側的狀態下，一旦使螺絲31b螺入螺絲孔31a，而使螺絲31b的前端壓接於閥本體1時，就能夠將閥本體1夾持於外罩31的內側。
再者，於外罩31的厚壁部分設有螺絲穴31c。藉由使螺絲31d經由板32,33的貫穿孔32b,33b而螺合於該螺絲穴31c，使板32,33安裝於外罩31。
板32,33在將致動器本體41與閥本體1的端部嵌合在外罩31之內側的狀態下與外罩31螺住固定，且在固定的狀態下，於其與外罩31之間夾壓保持致動器本體41與閥本體1。
於該板32的下方形成有呈舌片狀形成缺口的缺口部32a，柔性電纜26係經由缺口部32a而被往設有連接器28的電路基板27導出。
板33係以在與板32之間中介地設置有電路基板27的狀態下螺住固定於板32及外罩31，並於其與板32之間夾壓保持電路基板27。
於該板33的中央部設有大致矩形形狀的貫穿孔33a，設於電路基板27之連接器28係從該貫穿孔33a穿出至外側。
在此，基台部11形成為俯視矩形形狀時，外罩部3係如圖1(b)所示，使連接器28朝向矩形形狀之基台部11之對角線方向而固定於流體控制機器V。以朝如此的方向固定連接器28乃基於以下的理由所致。亦即，藉由複數部流體控制機器V構成氣體裝置時，從整合化的要求來看，較佳為，統整相鄰的矩形形狀的基台部11的方向而儘可能消除間隙，而將流體控制機器V配設於基盤或回路板上。另一方面，在以如此的方式進行配設而進行整合時，不易將端子等連接於連接器28。因此，與朝向就配設在旁邊之流體控制機器V之方向的情形相比較，藉由使連接器28朝向基台部11的對角線能夠更寬廣地取得連接的空間。結果，不僅能夠容易將端子等連接於連接器28，且能夠防止端子等之因折彎或扭轉所造成的斷線等不良情形、或端子撞到流體控制機器V而對流體控制機器V的動作造成異常等不良情形。
致動器部4係配設於閥帽部2上。
如圖4所示，該致動器部4係具備致動器本體41、致動器蓋42、活塞43、彈簧 44。此外，於圖4中，雖然省略了致動器部4的內部構造，然而內部構造係如圖2及圖3所示。
致動器本體41係中介地設置在活塞43與閥帽24之間。
如圖4所示，該致動器本體41係形成大致圓柱形狀，於中心部沿著長度方向設置有供活塞43與隔膜按壓部23貫插的貫插孔41a。如圖2及圖3所示，在貫插孔41a內，活塞43與隔膜按壓部23抵接，隔膜按壓部23與活塞43的上下移動連動而進行上下移動。
於配設活塞43之側的上端面形成有由環狀的突條構成的周壁411，在周壁411的內側之平坦的水平面與活塞43的擴徑部431的下端面之間形成供導入驅動壓的驅動壓導入室S1。
再者，在致動器本體41之配設活塞43之側的外周面上刻劃有公螺紋，藉由與致動器蓋42的內周面所刻劃的母螺紋螺合，將致動器本體41安裝於致動器蓋42的一端。
致動器本體41之長度方向的中心部形成為剖視大致六角形狀，該剖視大致六角形狀的部分與閥本體1的上端部被外罩31一體地夾壓。
致動器蓋42係下端部呈開口之蓋狀的構件，在內部收容有活塞43與彈簧44。
於致動器蓋42的上端面設有與活塞43之驅動壓導入路432連通的開口部42a。
致動器蓋42的下端部係與致動器本體41的上部螺合而被封閉。
活塞43係對應於驅動壓的供給與停止而上下移動，藉由隔膜按壓部23而使隔膜22與薄片21抵接或分離。
該活塞43的軸心方向大致中央係擴徑成圓盤狀，該部位係構成擴徑部431。活塞43係於擴徑部431的上表面側承受彈簧44的彈推力。再者，在擴徑部431的下端側形成被供給驅動壓的驅動壓導入室S1。
再者，於活塞43的內部設有驅動壓導入路432，該驅動壓導入路432係用以使形成在上端面的開口部43a與形成在擴徑部431之下端側的驅動壓導入室S1連通。活塞43的開口部43a連通到致動器蓋42的開口部42a，並且，用以從外部導入驅動壓的導入管連接於開口部42a，藉此對驅動壓導入室S1供給驅動壓。
於活塞43之擴徑部431的外周面上安裝有O型環O21，該O型環O21係將活塞43之擴徑部431之外周面與致動器本體41之周壁411之間予以密封。再者，於活塞43的下端側亦安裝有O型環O22，該O型環O22係將活塞43之外周面與致動器本體41之貫插孔41a的內周面之間予以密封。藉由該等O型環O21、O型環O22，形成與活塞43之驅動壓導入路432連通之驅動壓導入室S1，並且確保該驅動壓導入室S1的氣密性。
彈簧44係捲繞於活塞43的外周面上，且抵接於活塞43之擴徑部431的上表面，而將活塞43往下方(亦即將隔膜22下推的方向)彈推。
在此，說明伴隨著驅動壓的供給與停止之閥的開閉動作。當從連接於開口部42a之導入管(省略圖示)供給空氣時，則空氣會經由活塞43內的驅動壓導入路432而被導入至驅動壓導入室S1。對應於此情況，活塞43會抵抗彈簧44的彈推力而被往上方上推。藉此，隔膜22會從薄片21分離而成為開閥的狀態，使流體流通。
另一方面，當空氣未被導入至驅動壓導入室S1時，活塞43會隨著彈簧44的彈 推力而被往下方下推。藉此，隔膜22會抵接於薄片21而成為閉閥的狀態，使流體的流通被阻斷。
流體控制機器V係作為用以取得機器內之動作資訊的動作資訊取得機構，具備壓力感測器P及位置感測器M2。
如圖3所示，壓力感測器P安裝於閥帽壁25的下表面至流路側，經由連通孔241d連通於密閉空間S2，該密閉空間S2係藉由隔膜22、閥帽24的區隔部241及隔膜按壓部23所區劃而成。該壓力感測器P係藉由用以檢測壓力變化的壓感元件、或將藉由壓感元件所檢測出的壓力的檢測值轉換成電性信號的轉換元件構成。藉此，壓力感測器P能夠檢測由隔膜22、閥帽24的區隔部241及隔膜按壓部23所區劃而成之密閉空間S2內的壓力。
此外，在壓力感測器P連通於連通孔241d的部位中介地設置有墊圈29，擔保了氣密狀態。
再者，壓力感測器P亦可用以檢測表壓力(gauge pressure)或大氣壓之其中任一者。
位置感測器M2係感測與安裝於隔膜按壓部23之磁鐵M1之間的距離變化，藉此，不僅能夠把握流體控制機器V的開閉狀態，且能夠量測升程(lift)。
如以下所示，藉由該位置感測器M2能夠偵測閥的開閉動作。亦即，磁鐵M1係對應於隔膜按壓部23的上下移動而進行上下移動，相對於此，位置感測器M2係與閥帽壁25及閥帽24一同被固定在閥本體1內。結果，能夠根據在隨著隔膜按壓部23之上下移動而進行上下移動的磁鐵M1與位置被固定的位置感測器M2之間產生的磁場的變化，而偵測隔膜按壓部23的動作，進而能夠偵測閥的開閉動作、或量測升程。
此外，雖能夠使用各種的構成作為位置感測器M2，然而其一例之位置感測器M2係有平面線圈、振盪電路及乘算電路，且振盪頻率會對應於與位於相對向之位置的磁鐵M1之間的距離變化而變化。然後，藉由以乘算電路轉換該頻率而求出乘算值，能夠偵測流體控制機器V的開閉狀態，並且能夠量測升程。
此外，本實施型態係使用由磁性感測器構成的位置感測器M2，然而並非限定於此，只要是與上述的位置感測器M2同樣地，能夠測定隔膜按壓部23與閥帽24的位置關係、或該等構件之預定的部位彼此間的距離的位置感測器，則也可使用光學式的位置感測器等其他種類的感測器。
再者，於本實施型態之流體控制機器V中，較佳亦為於包含位置感測器M2的位置感測器選定位置檢測精度在±0.01mm至±0.001mm者。這是因為，在適用於該半導體製程的閥方面，為了實現細微的流體控制，就必須要0.01mm程度之細微的開度控制，相對於此，當使用超過±0.001mm之檢測精度時，就會檢測出閥附近的真空泵等產生的振動而產生了雜訊之故。
本例子中，具有可撓性之通信用的柔性電纜26的一端分別連接於壓力感測器P與位置感測器M2，柔性電纜26的另一端連接於設在流體控制機器V之外側的電路基板27。在電路基板27構成用以執行資訊之發送接收的處理模組，藉此，能夠對連接於連接器28的外部終端機發送從壓力感測器P或位置感測器M2檢測出的資訊。
此外，於流體控制機器V中，係在柔性電纜26與電路基板27使用柔性基板(FPC)，且柔性電纜26、電路基板27及連接器28係一體地構成。藉由在柔性電纜26與電路基板27使用柔性基板，就能夠利用構件之間的間隙作為配線路徑，結果，與使用被覆線的情形相比較，能夠將流體控制機器V本身予以小型 化。
再者，處理模組也可與電路基板27不同而收納在流體控制機器V內，也可構成作為壓力感測器P或位置感測器M2的一部分。
又，連接器28的種類或形狀可對應於各種的規格而適當地設計。
再者，在藉由上述的壓力感測器P或位置感測器M2而實現的動作資訊取得機構方面，其他也可設置用以檢測驅動壓的驅動壓感測器、用以測定流路內之溫度的溫度感測器、用以偵測活塞43或隔膜按壓部23之舉動的極限開關(limit switch)等。
以上的流體控制機器V中，活塞43與隔膜按壓部23係以不同個體構成，然而磁鐵M1係安裝於隔膜按壓部23。藉此，能夠判別隔膜按壓部23的動作不良。亦即，若是通常情形，會因開閥操作而使隔膜按壓部23追隨活塞43而上升，惟在閉閥時，會因為閥室112減壓至真空附近，而使隔膜22被吸附於薄片21，藉此，會有雖然活塞43已上升，但隔膜按壓部23仍不追隨活塞43而保持抵接於隔膜22的情況。結果，會有隔膜22保持阻斷流路的情況。但是，即使是此種情況，由於在流體控制機器V中，磁鐵M1係與隔膜按壓部23連動，所以能夠從藉由位置感測器M2所測出的檢測值來判別隔膜按壓部23的動作，而判別動作不良。
此外，之所以能夠判別此種隔膜按壓部23的動作不良的原因在於，因為位置感測器M2安裝於不會如活塞43或隔膜按壓部23般對應於流體控制機器V的開閉動作而上下移動的閥帽壁25，因此能夠辨識隔膜按壓部23的相對性的動作之故。從而，在可辨識隔膜按壓部23的動作而判別動作不良這一點，用以供位置感測器M2安裝的構件，係只要是與流體控制機器V的開閉動作無關而都固定在預定的位置的構件即可。
此外，也可於流體控制機器V設置用以顯示動作資訊等的液晶面板等資訊顯示手段。再者，也可設置可對應於內建的軟體所為之處理結果等而輸出報知聲音、或進行發光的報知手段。
通常係將複數部之由以上的構成所構成的流體控制機器V整合在一起，並與流量控制裝置等一同構成流體控制裝置(氣體裝置)。
如以上所述，藉由複數部流體控制機器V構成流體控制裝置時，流體控制機器V係以密集的方式配設。因此，在設置用以顯示各流體控制機器V之資料的面板時，較佳為以容易地辨識的方式設於致動器部4的上表面，至少為設於上方。
[實施例1]
●動作資訊收集系統
圖7係顯示將實施例1之流體控制機器之動作資訊收集系統作為動作資訊收集模組5a組入後的流體控制機器V1的功能構成。此外，關於流體控制機器V1的硬體構成，係與上述的流體控制機器V相同。
流體控制機器V1具備檢測可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的壓力感測器P與位置感測器M2，而藉由動作資訊收集模組5a收集由該壓力感測器P與位置感測器M2所檢測出的檢測值。
動作資訊收集模組5a係構成由檢測值取得部51、具體辨識處理部52、算出處理部53、動作資訊登錄部54、動作資訊記憶部55構成的功能方塊。
檢測值取得部51係取得可檢測流體控制機器V1之開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值。本實施型態中，係從流體控制機器V1具備的壓力感測器P與位置感測器M2取得與該壓力感測器P檢測的密閉空間S2的壓力、及位置感測器M2檢測的安裝有磁鐵M1的隔膜按壓部23之位置有關的檢測值。
圖8至圖11係顯示藉由檢測值取得部51所取得的檢測值之時間變化的圖表的例子。
該等圖的例子中，縱軸為檢測值，且表示藉由位置感測器M2所檢測出的隔膜按壓部23的升程，而橫軸為時間，且表示時間的單位為1000分之1秒(millisecond)。
與位置有關的檢測值，係隔膜按壓部23相對於閥帽壁25之相對的位置的檢測結果，藉此，能夠量測流體控制機器V1的開度。
再者，不限於本實施型態，能夠使用其他的值，以作為藉由壓力感測器P檢測的密閉空間S2內的壓力、使流體控制機器V1進行開閉驅動時的驅動電壓或驅動壓等可檢測流體控制機器V1之開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值。
具體辨識處理部52係針對檢測值來具體辨識流體控制機器V1之開閉動作執行時的檢測值。
流體控制機器V1的開閉動作係根據藉由檢測值取得部51所取得的檢測值來具體辨識。亦即，具體辨識處理部52係保持用以分別判別開閥與閉閥之預定的閾值，並具體辨識檢測值超過預定的閾值之前後的時序。
算出處理部53係根據檢測值來算出以預定時間所劃分的檢測值的變化比率。
在此，藉由圖8至圖11來說明算出檢測值的變化比率之四個執行型樣(pattern)的例子。此外，以上任一圖皆如上述，縱軸係顯示藉由位置感測器M2所檢測出的隔膜按壓部23的升程，橫軸係顯示時間。
圖8的例子中，檢測值係依每20[msec]劃分，並算出於各20[msec]中的檢測值的變化比率。直線a1至a4之各者均顯示以預定時間所劃分之連續的檢 測值的變化比率。此外，於此所示的變化比率係預定時間中的平均變化率。
圖9的例子中，係對檢測值設定有第一閾值與第二閾值之二階段的閾值。直線a5至a7係分別顯示以成為第一閾值以下、第一閾值以上且未滿第二閾值、或第二閾值以上之時間帶所劃分之連續的檢測值的變化比率。此外，於此所示的變化比率係預定時間中的平均變化率。
圖10的例子中，係藉由具體辨識處理部52而具體辨識流體控制機器V1之開閉動作的時序。直線a8係顯示於執行一個開閉動作的時間中連續的檢測值的變化比率。此外，於此所示的變化比率係預定時間中的平均變化率。
圖11的例子也與圖10的例子同樣，藉由具體辨識處理部52而具體辨識流體控制機器V1之開閉動作的時序。另一方面，直線a9係顯示於執行一個開閉動作的時間中之變化比率的最大絕對值。此外，此例子中所示的變化比率為微小時間中的變化比率，即所謂的微分值。
圖8至圖11所示的變化比率係本實施型態之算出處理部53所為的算出例，變化比率的算出方法只要是能夠轉換一組的檢測值而減少資料量的算出方法，就亦可使用其他的方法。因此，能夠適當地組合圖8至圖11的例子，也能夠將圖8所示的預定時間設為更短的時間、或進一步將預定的閾值加到圖9所示的第一閾值或第二閾值。
此外，圖8至圖11所示的例子中，係將藉由位置感測器M2所檢測出的隔膜按壓部23的升程設為縱軸，惟不限定於此，也可將藉由壓力感測器P所檢測出的壓力的值，或藉由另外設置的溫度感測器所測定的溫度等顯示流體控制機器V2之動作、狀態的變化之其他的值設為縱軸而算出變化比率。
動作資訊登錄部54係將藉由算出處理部53所算出的以預定時間 所劃分的檢測值的變化比率作為流體控制機器V1的動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55。
動作資訊登錄部54所為之動作資訊的登錄，係可在藉由算出處理部53算出檢測值的變化比率後，將該變化比率作為動作資訊而進行登錄，也可暫時先將全部的檢測值登錄起來，而將在預定的時序所算出的變化比率進行登錄，並且刪除使用於算出的檢測值。
動作資訊記憶部55係記憶流體控制機器V1之動作資訊的記憶部。於該動作資訊記憶部55中，除了藉由算出處理部53所算出之與以預定時間所劃分的檢測值的變化比率有關的資訊之外，還可一併記憶以壓力感測器P所檢測之壓力值或以位置感測器M2所檢測之隔膜按壓部23的升程、藉由另外設置之溫度感測器所測定之溫度等之與流體控制機器V1的動作有關的附隨資訊、取得檢測值的時間或取得動作資訊之時間等紀錄(log)資訊等，作為流體控制機器V1之動作資訊。該等附隨資訊或紀錄資訊可與檢測值之變化比率產生關聯而予以保持，且能夠藉由與檢測值的變化比率一同參照而更詳細地把握流體控制機器V1的動作。此外，在作為附隨資訊方面，其他還可舉出例如流體控制機器V1的使用期間、流體控制機器V1之外部環境的溫度或濕度、活塞43的推力、活塞43的平均移動速度、振動、構成流體控制機器V1之構件的內部應力或硬度等。
●處理流程
接著，參照圖12至圖15來說明藉由本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統執行之處理的流程。
此外，圖12與圖13係顯示其間未具有以具體辨識處理部52所為之處理的情形(如圖8、圖9之例子所示算出變化比率的情形)，圖14與圖15係顯示其間具有以 具體辨識處理部52所為之處理的情形(如圖10、圖11之例子所示算出變化比率的情形)，然而任一者皆為可藉由組入流體控制機器V1之動作資訊收集模組5a執行的處理。
首先，說明圖12的例子。
當於流體控制機器V1藉由壓力感測器P或位置感測器M2檢測出與預定的壓力或位置有關的值時，檢測值取得部51就取得其檢測值(S101)。檢測值被暫時記憶(S102)，且在預定的時序(S103)，由算出處理部53算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率(S104)。在此所稱的預定的時序，係與為了藉由算出處理部53算出檢測值的變化比率所必要的檢測值有關的資訊完整時的時序，在該預定的時序中，係可獲得預定的時間帶部分的檢測值，且成為能夠算出於該預定的時間帶中的檢測值的變化比率的狀態。
與所算出的變化比率有關的資訊係藉由動作資訊登錄部54而登錄於動作資訊記憶部55作為動作資訊(S105)。對應於此，與暫時記憶的檢測值有關的資訊會被刪除(S106)。
在執行檢測處理的期間，繼續執行以上的處理(S107)。
接著，說明圖13的例子。該例子中，係先蓄積與檢測值有關的資訊，且在流體控制機器V1的動作結束時、使流體控制機器V1驅動預定時間的時序、或所保持的資料量達到一定程度時等預定的時序，算出檢測值的變化比率而刪減資料量。
當於流體控制機器V1藉由壓力感測器P或位置感測器M2檢測出與預定的壓力或位置有關的值時，檢測值取得部51就取得其檢測值(S201)。檢測值會被記憶在預定的記憶部(S202)，且在執行檢測處理的期間，繼續執行有關檢測值的取得 與記憶的處理(S203)。
算出處理部53係於任意的時序，參照記憶有檢測值之預定的記憶部，而算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率(S204)。與所算出的變化比率有關的資訊係藉由動作資訊登錄部54而登錄於動作資訊記憶部55作為動作資訊(S205)。對應於此，與成為變化比率之算出對象之檢測值有關的資訊從預定的記憶部被刪除，以刪減資料量(S206)。
接著，說明圖14與圖15。該例子中，係藉由具體辨識處理部52而具體辨識相當於流體控制機器V1之開閉動作之時序的檢測值，並將執行該開閉動作的時間作為算出處理的對象時間而算出變化比率。
此外，圖14係與圖12的例子同樣為隨時從檢測值算出變化比率的例子，圖15係與圖13的例子同樣為於任意的時序從檢測值算出變化比率的例子。對於圖14與圖15，分別針對與圖12及圖13共通的步驟賦予相同的符號。
首先，關於圖14的例子，當藉由檢測值取得部51取得檢測值時(S101)，就將檢測值暫時記憶(S102)。當達到預定的時序時(S103)，就由具體辨識處理部52具體辨識檢測值中之流體控制機器V之開閉動作的時序(S301)，且由算出處理部53將執行開閉動作的時間作為算出處理的對象時間，而算出以預定時間所劃分的檢測值的變化比率(S302)。
之後，與所算出的變化比率有關的資訊係藉由動作資訊登錄部54而登錄於動作資訊記憶部55作為動作資訊(S105)，且與暫時記憶的檢測值有關的資訊係被刪除(S106)。
在執行檢測處理的期間，繼續執行以上的處理(S107)。
接著，關於圖15的例子，當藉由檢測值取得部51取得檢測值時 (S201)，檢測值會被記憶在預定的記憶部(S202)。有關檢測值的取得與記憶的處理，係在執行檢測處理的期間繼續執行(S203)。
當具體辨識處理部52於任意的時序參照預定的記憶部而具體辨識檢測值中之流體控制機器V之開閉動作的時序時(S401)，就由算出處理部53將執行開閉動作的時間作為算出處理的對象時間，而算出以預定時間所劃分的檢測值的變化比率(S204)。
之後，與所算出的變化比率有關的資訊係藉由動作資訊登錄部54而登錄於動作資訊記憶部55作為動作資訊(S205)。對應於此，與成為變化比率之算出對象之檢測值有關的資訊從預定的記憶部被刪除，以刪減資料量(S206)。
依據以上有關本實施型態之流體控制機器的動作資訊收集系統，能夠減少從流體控制機器V1收集之動作資訊的資料量，並且擔保以動作資訊為根據之分析的精度。
特別是，在分析流體控制機器V1的動作時，開閉動作之時序的資訊很有用，因此，藉由具體辨識流體控制機器V1之開閉動作的時序，能夠將該開閉動作之時序的動作的特徵以不會損失的方式予以保持。
此外，不限於本實施型態，與流體控制機器V1之預定的檢測值有關的資訊，其一部分或全部不僅是從流體控制機器V1本身供給，也可從其他的機器供給至動作資訊收集裝置6。例如，也可為從量測設置有流體控制機器V1的場所的溫度或濕度的終端機所供給、或由利用流體控制機器V1之管理者的管理者終端機所輸入的資訊來供給。
[實施例2]
●動作資訊收集系統
實施例2係與上述的實施例1不同，僅在所算出的變化比率超過根據預定的判斷基準所設定之閾值時，登錄該所算出的變化比率作為動作資訊。以下，針對本例進行詳述。
圖16係顯示將實施例2之流體控制機器之動作資訊收集系統作為動作資訊收集模組5b組入後的流體控制機器V2的功能構成。此外，關於流體控制機器V2的硬體構成，係與上述的流體控制機器V相同。再者，只要沒有特別的說明，關於賦予了與上述的實施例1之流體控制機器之動作資訊收集系統相同符號的功能部，係與實施例1之對應的功能部同樣地構成。
動作資訊收集模組5b除了上述的檢測值取得部51、具體辨識處理部52、算出處理部53、動作資訊登錄部54、動作資訊記憶部55以外，更具備判斷處理部56。
判斷處理部56係參照動作資訊記憶部55而將作為流體控制機器V2之動作資訊所登錄之檢測值的變化比率作為判斷基準，來判斷以每一預定時間所劃分之檢測值的變化比率是否超過根據該預定的判斷基準所設定的閾值。
動作資訊登錄部54係對應於判斷處理的結果而執行動作資訊的登錄。亦即，針對由算出處理部53所算出的以每一預定時間所劃分之檢測值的變化比率，在判斷為超過根據該預定的判斷基準所設定的閾值時，將其作為流體控制機器V2的動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55。另一方面，針對由算出處理部53所算出的以每一預定時間所劃分之檢測值的變化比率，在判斷為未超過根據預定的判斷基準所設定的閾值時，不進行登錄。
●處理流程
接著，參照圖17來說明藉由本實施型態之流體控制機器的動作資訊收集系 統執行之處理的流程。此外，本例中，說明藉由上述的圖12而說明之其間未具有以具體辨識處理部52所為之處理之例的變形例。然而，也可構成為以圖13至圖15為根據所說明的例子，亦即其間具有以具體辨識處理部52所為之處理之例的變形例。此外，於圖12所示的處理流程中，賦予了與圖12相同的符號之處理係與於圖12中對應之處理為相同的處理。
本例中，當在預定的時序(S103)由算出處理部53算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率時(S104)，就藉由判斷處理部56判斷該所算出的變化比率是否超過根據預定的判斷基準所設定的閾值(S501)。在此，所謂預定的判斷基準，係作為流體控制機器V2之動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55之檢測值的變化比率。
在與所算出的變化比率有關的資訊被判斷處理部56判斷為超過根據預定的判斷基準所設定的閾值時，係藉由動作資訊登錄部54，將與該所算出的變化比率有關的資訊登錄於動作資訊記憶部55作為動作資訊(S105)。之後，與參照圖12所說明的內容同樣地執行S106、S107的處理。
此外，雖然為對應於以判斷處理部56所為之處理而將新的動作資訊登錄於動作資訊記憶部55，然而，由判斷處理部56作為預定的判斷基準的動作資訊，係可設為預先作為基準資料所登錄的動作資訊或最早取得的動作資訊等任意地設定的動作資訊，也可設為最近所登錄的動作資訊或最新的動作資訊。
[實施例3]
●動作資訊收集系統
實施例3係與上述的實施例2不同，僅在檢測值超過根據預定的判斷基準所設定之閾值時，登錄該檢測值作為動作資訊。以下，針對本例進行詳述。
再者，於圖18中，顯示將本實施例之同一動作資訊收集系統作為動作資訊收集模組5c組入後的流體控制機器V3之最小的功能構成，且動作資訊收集模組5c具備檢測值取得部51、動作資訊登錄部54、動作資訊記憶部55及判斷處理部56。再者，只要沒有特別的說明，關於賦予了與上述的實施例1或實施例2之流體控制機器之動作資訊收集系統相同符號的功能部，係與實施例1或實施例2之對應的功能部同樣地構成。
判斷處理部56係參照動作資訊記憶部55而將作為流體控制機器V2之動作資訊所登錄之檢測值的變化比率作為判斷基準，來判斷以每一預定時間所劃分之檢測值的變化比率是否超過根據該預定的判斷基準所設定的閾值。
亦即，如圖19所示，先保持作為判斷基準之一群的檢測值，再從該檢測值將落在一定的範圍之值設定為閾值b1,b2，並判斷檢測值是否未超過該閾值b1,b2。
動作資訊登錄部54對應於判斷處理部56所為之判斷處理的結果，將檢測值作為動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55。亦即，針對由檢測值取得部51所取得的檢測值，在判斷為超過根據預定的判斷基準所設定的閾值時，將其作為流體控制機器V2的動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55。另一方面，針對該檢測值，在判斷為未超過根據預定的判斷基準所設定的閾值時，不進行登錄。
在此，預定的判斷基準係與作為動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55之檢測值有關的資訊，然而，與該所登錄的檢測值有關的資訊可設為作為預先作為基準資料所登錄之動作資訊之檢測值、或作為最早取得之動作資訊的檢測值等任意地設定的動作資訊，也可設為最近所登錄的動作資訊。
●處理流程
接著，參照圖20來說明本實施型態之藉由流體控制機器之動作資訊收集系 統執行之處理的流程。
當檢測值取得部51取得檢測值時(S601)，判斷處理部56就判斷該檢測值是否超過根據預定的判斷基準所設定的閾值(S602)。在此，所謂預定的判斷基準，係與作為流體控制機器V2之動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55之檢測值有關的資訊。
在檢測值被判斷處理部56判斷為超過根據預定的判斷基準所設定的閾值時，係藉由動作資訊登錄部54，將與該檢測值有關的資訊作為動作資訊而登錄於動作資訊記憶部55(S603)。之後，只要取得檢測值，就反覆執行處理。
此外，本實施例2的動作資訊收集模組5c係不具備上述的具體辨識處理部52，然而，也可設置具體辨識處理部52而具體辨識流體控制機器V3之開閉的時序，且僅於該開關的時序進行檢測值與以預定的判斷基準為根據所設定的閾值之對比判斷。
再者，本實施例2之動作資訊收集模組5c係不具備上述的算出處理部53，然而，也可設置算出處理部53，且在將判斷處理部56所為之判斷處理的結果、檢測值登錄於動作資訊記憶部55時，算出以該檢測值為根據的變化比率，且一併將檢測值與變化比率(或僅將變化比率)登錄於動作資訊記憶部55。
此外，上述的實施例2或實施例3，係根據檢測值或變化比率，而從與預定的閾值之對比判斷流體控制機器V2、V3的舉動傾向變化，且將對應於該判斷的內容登錄於動作資訊記憶部55的實施例，只要是會執行此種判斷處理與登錄處理，就可作各種的設計變更。
與此等實施例2或實施例3有關之動作資訊收集系統所為之舉動傾向變化的監視與判斷結果之正確性，由於流體控制機器V2、V3係在有限的動作場域(亦即 係在上死點與下死點之中)進行動作，而不易發生在動作之間的差異，而在機械要素之中再現性較高，因此為可實現者。
再者，上述的實施例2或實施例3中，在將從前的檢測值或變化比率與最新的檢測值或變化比率進行比較而判斷流體控制機器V3的舉動傾向變化的情形時，於判斷為無舉動傾向變化的情況，不一定須要進行變化比率的算出。若無流體控制機器V3的舉動傾向變化，就不須要登錄該檢測值或變化比率的詳細內容，而僅登錄動作次數及經過時間即可，所以能夠達到減少動作資訊的資料量。
●功能構成的變形例1
圖21係顯示本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之另一功能構成例。
該例子中，係藉由以可經由預定的網路NW而相互通信的方式所構成之流體控制機器V4與動作資訊收集裝置6，來構成本實施型態之流體控制機器的動作資訊收集系統。此外，關於流體控制機器V4之硬體構成，乃與上述的流體控制機器V相同。
網路NW只要是設成可用以發送接收資料者即可，並無特別限定，由紅外線通信、ZigBee(註冊商標)、Bluetooth(註冊商標，「藍牙」)、LAN(Local Area Network；區域網路)、網際網路、藉由預定的專用迴路或通信電纜等而構成、有線或無線任一者均不問。
本例子中的流體控制機器V4係具備通信模組C，該通信模組C係用以經由網路NW而執行與動作資訊收集裝置6進行資料的發送接收者。
再者，動作資訊收集裝置6係藉由所謂的伺服器電腦(server computer)等而實 現，且藉由CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)、CPU執行的電腦程式、記憶電腦程式或預定的資料的RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)或ROM(Read Only Memory；唯讀記憶體)、及硬碟驅動器等外部記憶裝置等的硬體資源，除了具備上述的動作資訊收集模組5a之外，更具備用以可經由網路NW而與流體控制機器V4通信的通信處理部61。此外，不限於本例子，也可具備上述的動作資訊收集模組5b、5c來取代動作資訊收集模組5a，此點對於後述的其他變形例亦相同。
本例子中，動作資訊收集模組5a的檢測值取得部51係使通信處理部61從流體控制機器V4接收藉由壓力感測器P或位置感測器M2所測出的檢測值，藉此取得檢測值。
該系統的構成例中，動作資訊收集裝置6係從流體控制機器V4經由網路NW取得與檢測值有關的資訊，並將執行預定的算出處理所獲得的動作資訊登錄於動作資訊記憶部55。
●功能構成的變形例2
圖22係顯示本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之另一功能構成例。
本例子中，係藉由以可經由預定的網路NW而相互通信的方式所構成之流體控制機器V4與組入有動作資訊收集模組5a的異常判別裝置7，來構成本實施型態之流體控制機器的動作資訊收集系統。此外，關於流體控制機器V4之硬體構成及網路NW的構成，乃如上述。
異常判別裝置7係根據由動作資訊收集模組5a所收集的流體控制機器V4的動作資訊來判別流體控制機器V4之異常的裝置。該異常判別裝置7係 藉由所謂伺服器電腦等而實現，且藉由CPU、CPU執行的電腦程式、記憶電腦程式或預定的資料的RAM或ROM、及硬碟驅動器等外部記憶裝置等的硬體資源，除了內建上述的動作資訊收集模組5a之外，更具備執行用以判別流體控制機器V4之異常之處理的判別處理部71、及經由網路NW2而與流體控制機器V4執行通信處理的通信處理部72。
判別處理部71係根據動作資訊記憶部55所記憶的動作資訊而執行用以判別流體控制機器V4之有無異常之處理的功能部。
該判別處理部71係能夠藉由將參照用表等所保持之預定的閾值與構成動作資訊之預定時間中的檢測值的變化比率進行比較，而執行用以判別流體控制機器V4之異常的處理。亦即，能夠將通常使用時設想的檢測值之變化比率的界限值作為預定的閾值而予以保持，且在實際之檢測值之變化比率超過該預定的閾值時，判別流體控制機器V4發生異常。此種判別處理中所判別之實際上的異常，主要大多為起因於隔膜22的破損等所造成者，會使流體往密閉空間S2漏出而使密閉空間S2內的壓力上升，或因流路內的減壓而使密閉空間S2內的壓力減少，以結果而言，會使檢測值的變化比率脫離適當正確的範圍。
此外，與實際之檢測值的變化比率進行比較的預定的閾值，係可對應於藉由壓力感測器P所測定的壓力或藉由另外設置的溫度感測器所測定的溫度等與流體控制機器V4之動作有關的附隨資訊而進行補正。預定的閾值經補正時，判別處理部71係藉由將補正後之預定的閾值與實際之檢測值的變化比率進行比較，而執行用以判別流體控制機器V4之異常的處理。
不限於此種功能構成的例子，也能夠構成為使流體控制機器V4具有異常判別裝置7具備的判別處理部71或動作資訊收集模組5a，而讓流體控制機 器V4本身判別異常。
再者，也可如圖23所示，構成為於流體控制機器V4與異常判別裝置7之間中介地設置中繼裝置8，且可經由網路NW1、NW2而與流體控制機器V4及異常判別裝置7相互通信。
本例子中，係經由中繼裝置8，而從流體控制機器V4將與藉由各感測器所測出的檢測值有關的資訊提供給異常判別裝置7。
具體而言，藉由通信模組C發送的資料係例如經由以Bluetooth(註冊商標，「藍牙」)、紅外線通信、或ZigBee(註冊商標)等無線通信而實現的網路NW1，而暫時發送至中繼裝置8，並從中繼裝置8經由以無線或有線的LAN等而實現的網路NW2而發送至異常判別裝置7。
在此種例子中，通信模組C能夠以一小時或一天等任意地設定之預定的周期來發送與藉由各感測器所測出的檢測值有關的資訊。在如此地以預定的周期進行資訊的發送時，能夠抑制消耗電力。
再者，在整合複數部流體控制機器V4而構成流體控制裝置時，各流體控制機器V4的通信模組C係能夠在依每部流體控制機器V4不同的時序，對異常判別裝置7發送可辨識自我的自我辨識資訊、以及與藉由各感測器所測出的檢測值有關的資訊等。
藉由對異常判別裝置7發送可各別地辨識流體控制機器V4的自我辨識資訊，能夠判別是否已取得構成流體控制裝置之複數部流體控制機器V4之其中任一部的資訊。
再者，藉由在依每部流體控制機器V4不同的時序對異常判別裝置7發送資訊，能夠避免封包衝突的問題，而且與一齊發送的情形相比較，還能夠防止一時 性的處理的過負載。再者，由於與一齊發送的情形不同，不須要依每部流體控制機器V4來變更要利用於資料發送之無線的頻道，所以不須要準備許多的頻道。特別是，在以Bluetooth(註冊商標，「藍牙」)來構成網路NW1時，由於連接台數受限(通常為七台)，所以能夠藉由改變發送的時序而使用超過同時連接台數之數量的流體控制機器V4。
此外，中介地設置有中繼裝置8的系統構成也能夠適用於由圖21所示之流體控制機器V4與動作資訊收集裝置6所構成的系統。
●功能構成的變形例3
圖24係顯示本實施型態之流體控制機器之動作資訊收集系統之另一功能構成例。
本例子中，係藉由以可經由預定的網路NW1、NW2而相互通信所構成之流體控制機器V4與組入有動作資訊收集模組5a的動作分析裝置9，來構成本實施型態之流體控制機器的動作資訊收集系統。此外，關於流體控制機器V4之硬體構成及網路NW1、NW2、中繼裝置8的構成，乃如上述。
動作分析裝置9係根據從流體控制機器V4所取得的資訊來執行資料挖掘(data mining)的裝置。該動作分析裝置9係藉由所謂伺服器電腦等而實現，且藉由CPU、CPU執行的電腦程式、記憶電腦程式或預定的資料的RAM或ROM、及硬碟驅動器等外部記憶裝置等的硬體資源，除了與前述的判別處理部71對應的判別處理部91及與通信處理部72對應的通信處理部92以外，更具備判別資訊記憶部93、資訊抽出部94、相關關係分析部95及異常預測部96。
判別資訊記憶部93係記憶由判別處理部91所執行之流體控制機器V4之異常之判別結果的記憶部。
資訊抽出部94係參照判別資訊記憶部93，依每部流體控制機器V4選擇性地抽出使預定的動作資訊相同之其他的動作資訊及與判別結果有關的資訊作為分析對象。
例如，針對複數部流體控制機器V4的動作資訊，抽出相同的開閥閉閥次數(例如1000萬次)中的動作時間及與該動作時間中之異常之判別結果有關的資訊。
特別是，於流體控制機器V4之動作資訊之中，切出從位置感測器M2或壓力感測器P的變化所檢測出之流體控制機器V4之開閉狀態的切換之前及之後的預定時間中的資料，作為輸入資料。此乃反映了對閥的動作時之動態的感測器測定值的變化進行測定一事係於異常預測中很有效，能夠刪減輸入資料的維數而減少後述之學習的計算成本。預定時間係設為與流體控制機器V4之開閉有關的時間(定義為從開始導入驅動壓起至流體控制機器V4完全開啟為止的時間。於圖10及圖11中，作為開閉動作之時序所示之時間係相當於此時間)的1倍至5倍的時間，藉此，能夠無浪費地抽出必要的範圍的資料。再者，藉由將從流體控制機器V4發送的資料預先限定在此時間的範圍內來發送，能夠刪減通信的資料量，且能夠抑制在流體控制機器V4的消耗電力。
相關關係分析部95係藉由對以資訊抽出部94所抽出的資訊進行對比，分析流體控制機器V4之預定的動作與異常發生的相關關係。
第一學習中，係進行監督學習，其係以發生異常的流體控制機器V4之過去的動作資訊為根源，而分類為發生異常之前之預定的期間(以下設為「故障瞬時前期間」)的輸入資料、發生異常後的輸入資料、及其以前之正常動作時的輸入資料。此學習係例如藉由使用了誤差反向傳播算法(Backpropagation，又稱反向傳播算法)的隨機梯度下降法(SGD：Stochastic Gradient Descent)對於類神經網路 (neural network)的模型進行。
依據故障瞬時前期間之長度的設定，會使預訓練模型的判別性能有所不同，而與類神經網路的層數或節點(node)數等超參數(Hyperparameter)同樣，成為預定的期間的長度也應調整的超參數。此等超參數的調整係例如藉由最佳化算法而選定，而能夠選定判別能力變高的值。另一方面，依據閥使用者的用途而定，也可與欲知其他故障瞬時前期間之值的情形對應，準備兩種以上的期間作為故障瞬時前期間而進行聚類(clustering)。再者，也可依故障的每個種類來作成不同的分類，而能夠預測在預定期間內會發生哪種故障。
藉由分析，例如，針對複數部流體控制機器V4的動作資訊，依據為了將閥開閉1000萬次所需要的動作時間與該動作時間中之異常的判別結果，即使相同1000萬次的開閥閉閥次數，都能夠依據其是否為以三個月計數而得的次數、或是以三年計數而得的次數，而分析異常的發生機率是否不同。
第二學習中，係為了事先偵測出資料數較少之特殊的異常，而進行使用了自動編碼器(autoencoder)的無監督學習。自動編碼器係對於以類神經網路所構成的模型輸入閥正常動作時的輸入資料，且輸出相同資料而進行學習。藉由將該類神經網路之隱藏層之維數設定成比輸入資料或輸出資料的維數還小，能夠使僅可對於通常動作時之輸入資料的型樣適切地再生原本的資料的自動編碼器進行學習。
異常預測部96係根據相關關係分析部95所為的分析結果，且參照動作資訊記憶部55及判別資訊記憶部93所記憶的流體控制機器V4的動作資訊及異常判別結果，而算出流體控制機器V4的異常發生機率，藉此，預測流體控制機器V4的異常。
藉由將現在的感測器資料的測定值作為輸入而使藉由第一學習所獲得的預訓練模型進行分類，能夠算出閥進入故障瞬時前期間的機率(第一異常預測手段961)。當改變讀法時，該機率為於預定的期間內壞損之異常發生機率。
再者，對於藉由第二學習所獲得的自動編碼器，透過從現在的感測器所獲得的輸入資料，將輸出與原本的輸入作比較而以L2範數(norm)等算出輸入輸出間距離，並與預定的閾值作比較(第二異常預測手段962)。自動編碼器係以若為正常動作時的資料就能夠將原本的資料復原的方式構成，然而，在異常動作時無法將原本的資料復原而會使輸入與輸出之間的差變大，所以，在超過閾值時能夠偵測出流體控制機器V4的異常。藉由將此手法與前述的監督學習併用，能夠預先檢測出並非作為標記訓練資料(labeled training data)所準備之明顯的偏差值的異常狀態(例如，感測器的故障、作動溫度之極端的變化等)，而能夠提高前述故障瞬時前期間之判定的可靠性。換言之，針對於無法保證會對於沒有標記訓練資料之領域顯示出何種舉動的問題，第一學習中的監督學習係能夠進行某種程度的對應。流體控制機器V4常常進行搭載有該監督學習之裝置的改造，而因此會常常置於和以前完全不同的動作環境中，而亦能使用作為是否應進行再學習的指標資料。
若能夠預測異常，則也可將其資訊對於流體控制機器V4的管理者所利用之管理者終端機等進行通知、或將其資訊對於流體控制機器V4進行通知，並且使設於流體控制機器V4之報知手段進行資訊的報知。
此外，上述的例子中，雖已針對動作分析裝置9具備判別處理部91的情形進行說明，但是，也可適用於流體控制機器V4具備與判別處理部91同樣的功能部的情形。
再者，藉由相關關係分析部95所為的分析中，可預想到可獲得例如以下的分析結果。
(1)流體控制機器V4之同一使用期間中的開閉次數與異常發生的相關
例如，可預想到三年1000萬次的閥開閉與三個月1000萬次的閥開閉之異常發生機率不同。
(2)環境溫度與異常發生的相關
例如，可預想到在20℃的環境下的使用與在20℃的環境下的使用之異常發生機率不同。
(3)活塞43的推力與異常發生的相關
例如，可預想到會因為活塞43的推力(取決於驅動壓的大小)的大小而對於隔膜22之負載產生影響。
(4)流體控制機器V4的開閉速度與異常發生的相關
例如，可預想到會因為活塞43的平均移動速度的大小而使異常發生機率不同。
(5)振動與異常發生的相關
例如，可預想到會由於環境(振動)的大小而使異常發生機率不同。
(6)構成流體控制機器V4之構件的偏斜與異常發生的相關
例如，可預想到會因為各構件之內部應力的大小而使異常發生機率不同。
(7)濕度與異常發生的相關
例如，濕度與各構件(特別是O型環O1、O21、O22等)的異常發生機率不同。
(8)初期硬度及硬度變化與異常發生的相關
例如，可預想到會因為流體控制機器V4的使用初期之各構件的初期硬度的 大小而使異常發生機率不同。此外，還可預想到會因為硬度變化速度的大小而使異常發生機率不同。
依據模型之學習的結果而定，也會有成為包含對於各感測器的測定值進行與預定的頻率成分抽出、複數個感測器資料之間的相互相關計算、及和預定的型樣的匹配、積分、微分等同等的處理的模型的情形。
再者，若是構成為，於判別資訊記憶部93中所記憶之流體控制機器V4的異常判別結果中，包含可把握異常為哪個構件的破損等(例如，隔膜22的破損、O型環O1、O21、O22的破損、活塞43等的致動器本體41內的構件等)的資訊，則也能夠把握閥開閉速度的變化或流量的變化、活塞不動等易對哪個構件造成影響。
再者，亦可藉由以上的資料挖掘而預測異常發生，且進而將其預測資訊與有無現實發生的異常作比較分析，以提高相關分析的精度。
5a:動作資訊收集模組
51:檢測值取得部(檢測值取得手段)
52:具體辨識處理部(具體辨識處理手段)
53:算出處理部(算出處理手段)
54:動作資訊登錄部(動作資訊登錄手段)
55:動作資訊記憶部(動作資訊記憶手段)
M2:位置感測器
P:壓力感測器
V1:流體控制機器

Claims (16)

  1. 一種流體控制機器的動作資訊收集系統，該動作資訊收集系統係收集流體控制機器之動作資訊，且具備：檢測值取得手段，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理手段，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄手段，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；前述算出處理手段係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值；前述動作資訊登錄手段係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  2. 一種流體控制機器的動作資訊收集系統，該動作資訊收集系統係收集流體控制機器之動作資訊，且具備：檢測值取得手段，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理手段，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄手段，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段； 前述算出處理手段係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值；前述動作資訊登錄手段係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  3. 一種流體控制機器的動作資訊收集系統，該動作資訊收集系統係收集流體控制機器之動作資訊，且具備：檢測值取得手段，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理手段，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄手段，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；前述算出處理手段係根據前述檢測值而算出藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率；前述動作資訊登錄手段係將藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  4. 一種流體控制機器的動作資訊收集系統，該動作資訊收集系統係收集流體控制機器之動作資訊，且具備：檢測值取得手段，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值； 算出處理手段，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄手段，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；該動作資訊收集系統更具有：判斷處理手段，係參照前述動作資訊記憶手段而將作為前述流體控制機器之動作資訊所登錄的檢測值的變化比率作為判斷基準，判斷前述每一預定時間之檢測值的變化比率是否超過根據該預定的判斷基準所設定的閾值；且在判斷為前述每一預定時間之檢測值的變化比率超過根據前述預定的判斷基準所設定的閾值時，前述動作資訊登錄手段係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  5. 如請求項4所述之流體控制機器的動作資訊收集系統，其中，前述判斷處理手段係將記憶在前述動作資訊記憶手段之動作資訊之中最新的動作資訊作為判斷基準。
  6. 如請求項1至4中任一項所述之流體控制機器的動作資訊收集系統，其中，前述動作資訊登錄手段係僅登錄前述流體控制機器之開閉動作時之前述流體控制機器的動作資訊。
  7. 如請求項6所述之流體控制機器的動作資訊收集系統，更具備：具體辨識處理手段，係根據前述檢測值而具體辨識執行前述流體控制機器之開閉動作的時間；前述算出處理手段係將執行前述流體控制機器之開閉動作的時間作為算出處理的對象時間。
  8. 一種流體控制機器，係內建前述請求項1至4中任一項所述之流體控制機器的動作資訊收集系統作為動作資訊收集模組。
  9. 一種流體控制機器的動作資訊收集方法，該動作資訊收集方法係收集流體控制機器之動作資訊，且由電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；在前述算出處理中，係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值；在前述動作資訊登錄處理中，係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  10. 一種流體控制機器的動作資訊收集方法，該動作資訊收集方法係收集流體控制機器之動作資訊，且由電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段； 在前述算出處理中，係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值；在前述動作資訊登錄處理中，係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  11. 一種流體控制機器的動作資訊收集方法，該動作資訊收集方法係收集流體控制機器之動作資訊，且由電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；在前述算出處理中，係根據前述檢測值而算出藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率；在前述動作資訊登錄處理中，係將藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  12. 一種流體控制機器的動作資訊收集方法，該動作資訊收集方法係收集流體控制機器之動作資訊，且由電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值； 算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；該動作資訊收集方法更執行判斷處理，該判斷處理係參照前述動作資訊記憶手段而將作為前述流體控制機器之動作資訊所登錄的檢測值的變化比率作為判斷基準，判斷前述每一預定時間之檢測值的變化比率是否超過根據該預定的判斷基準所設定的閾值；且在前述動作資訊登錄處理中，在判斷為前述每一預定時間之檢測值的變化比率超過根據前述預定的判斷基準所設定的閾值時，係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  13. 一種電腦程式，係用以收集流體控制機器的動作資訊，該電腦程式係使電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；在前述算出處理中，係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值； 在前述動作資訊登錄處理中，係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的平均值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  14. 一種電腦程式，係用以收集流體控制機器的動作資訊，該電腦程式係使電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；在前述算出處理中，係根據前述檢測值而算出每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值；在前述動作資訊登錄處理中，係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率的最大值作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  15. 一種電腦程式，係用以收集流體控制機器的動作資訊，該電腦程式係使電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段； 在前述算出處理中，係根據前述檢測值而算出藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率；在前述動作資訊登錄處理中，係將藉由前述檢測值之預定的閾值而劃分成預定時間之連續的檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
  16. 一種電腦程式，係用以收集流體控制機器的動作資訊，該電腦程式係使電腦執行下列的處理：檢測值取得處理，係從前述流體控制機器取得可檢測開閉動作的機器動作或狀態變化的檢測值；算出處理，係根據前述檢測值來算出以預定時間所劃分之檢測值的變化比率；及動作資訊登錄處理，係將以前述預定時間所劃分之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段；該電腦程式係使電腦更執行判斷處理，該判斷處理係參照前述動作資訊記憶手段而將作為前述流體控制機器之動作資訊所登錄的檢測值的變化比率作為判斷基準，判斷前述每一預定時間之檢測值的變化比率是否超過根據該預定的判斷基準所設定的閾值；且在前述動作資訊登錄處理中，在判斷為前述每一預定時間之檢測值的變化比率超過根據前述預定的判斷基準所設定的閾值時，係將前述每一預定時間之檢測值的變化比率作為前述流體控制機器的動作資訊而登錄於動作資訊記憶手段。
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