CN110337334A - 液体涂布单元和液体涂布装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液体涂布单元和液体涂布装置，能够容易地进行液体材料的再供给或替换。液体涂布单元(100)包括：多个涂布针单元(10)，多个涂布针单元(10)分别具有涂布针(1)和储存液体材料的液体材料容器(2)，液体材料从液体材料容器(2)被供给至涂布针(1)；以及第一驱动单元(20)，第一驱动单元(20)构造成使涂布针(1)相对于目标物和液体材料容器(2)在第一方向上移动。多个涂布针单元(10)能够一体地附接到第一驱动单元(20)，并且能够一体地从第一驱动单元(20)拆卸。

Description

液体涂布单元和液体涂布装置
技术领域
本发明涉及一种液体涂布单元和液体涂布装置，并且还涉及一种均用于通过使用涂布针而将液体材料涂布到目标物的液体涂布单元和液体涂布装置。
背景技术
近年来，为了在早期发现疾病，生物芯片被用于检查等以鉴别病原体。
例如，预先将多种抗体材料等涂布到一个生物芯片，从而能够在一次检查中检测多种类型的疾病。在这种情况下，对一个生物芯片上的抗原与每种抗体材料的结合状态进行检测，以鉴别含有该抗原的异物。
将抗体材料涂布到生物芯片的方法包括分配器方案、喷墨方案、涂布针方案等。
在涂布针方案中，使用日本专利公开第2015-112577号中公开的液体涂布单元。上述液体涂布单元允许高速并稳定地进行非常精细的涂布。
此外，通过使用日本专利公开第2015-112577号中公开的多个液体涂布单元，多种类型的液体材料能够被涂布到涂有材料的一个目标物，如上述生物芯片的情况那样。
引用列表
专利文献
专利文献1：日本专利公开第2015-112577号
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而，例如，在对涂有液体材料的多个目标物的每一个涂布多种液体材料的情况下，有时需要同时对多个涂布针的每一个与多个液体材料的每一个中的至少任意一者进行再供给或替换。在这种情况下，根据上述液体涂布单元，需要分别替换在其相应的液体涂布单元中的多个涂布针，并且，需要将液体材料分别再供给到多个液体材料容器中的每一个。然后，需要从再供给操作的开始到结束停止多个液体涂布单元中的每一个的驱动。
本发明就是为了解决上述问题而提出的。本发明的主要目的是提供一种液体涂布单元和液体涂布装置，对于该液体涂布单元和液体涂布装置，多个涂布针与多个液体材料中的至少任意一者能够容易地被再供给或替换。
解决技术问题所采用的技术方案
本发明的液体涂布单元用作通过使用涂布针而将液体材料涂布到目标物的表面上的液体涂布单元。液体涂布单元包括：多个涂布针单元，多个涂布针单元分别具有涂布针和液体材料容器，所述液体材料容器储存液体材料，液体材料从液体材料容器被供给到涂布针；以及第一驱动单元，第一驱动单元构造成使涂布针相对于目标物和液体材料容器在第一方向上移动。多个涂布针单元能够一体地附接到第一驱动单元，并且能够一体地从第一驱动单元拆卸。
本发明的液体涂布装置包括：液体涂布单元；以及保持台，保持台保持目标物。
发明效果
根据本发明，能够提供一种液体涂布单元和液体涂布装置，对于该液体涂布单元和液体涂布装置，多个涂布针和多个液体材料中的至少任意一者能够容易地被再供给或替换。
附图说明
图1是示出了根据本实施例的液体涂布单元的主视图。
图2是图1所示的液体涂布单元的俯视图。
图3是示出了图1所示的液体涂布单元中的涂布针单元的主视图。
图4是图3所示的涂布针单元的侧视图。
图5的(a)是示出了图3所示的涂布针单元的第一状态的主视图，图5的(b)是图5的(a)所示的涂布针单元的侧视图。
图6的(a)是示出了图3所示的涂布针单元的第二状态的主视图，图6的(b)是图6的(a)所示的涂布针单元的侧视图。
图7的(a)是示出了图3所示的涂布针单元的第二状态的主视图，图7的(b)是图7的(a)所示的涂布针单元的侧视图。
图8是示出了根据本实施例的液体涂布装置的立体图。
图9是示出了根据本实施例的液体涂布单元的变形例的主视图。
图10是图9所示的液体涂布单元的俯视图。
图11是示出了根据本实施例的液体涂布单元的变形例的主视图。
具体实施方式
下文将参照附图描述本发明的实施例，其中相同或相应的部分由相同的附图标记表示，并且其描述将不再重复。
<液体涂布单元的构造>
如图1和图2所示，根据本实施例的液体涂布单元100包括多个涂布针单元10和一个第一驱动单元20。
如图1和图2所示，多个涂布针单元10中的每一个包括：涂布针1；以及液体材料容器2，该液体材料容器2储存液体材料，并且该液体材料从上述液体材料容器2被供给到涂布针1。
如图1和图2所示，第一驱动单元20使涂布针1相对于基板140(参见图5)和液体材料容器2在第一方向上移动，其中，上述基板140作为涂有液体材料的目标物。上述第一方向可以是任何方向，例如可以是重力方向。第一驱动单元20例如包括作为驱动源的伺服电动机3、凸轮构件5、轴承6、连接构件7和可移动单元8。凸轮构件5附接于伺服电动机3的旋转构件4上，并与旋转构件4一起绕旋转构件4的旋转轴旋转。旋转构件4的旋转轴定位成在第一方向上延伸。凸轮构件5具有位于伺服电动机3侧的表面，且该表面形成为以包围旋转构件4的方式配置的环状的凸轮表面。上述凸轮表面具有：例如与第一方向正交并且在第一方向上与伺服电动机3的距离不同的两个表面部；以及与第一方向相交并连接上述两个表面部的两个表面部。上述凸轮表面与轴承6的外圈的外周面接触。轴承6的内圈经由连接构件7连接到可移动单元8。轴承6、连接构件7以及可移动单元8在旋转构件4的旋转方向上相对于伺服电动机3、旋转构件4以及凸轮构件5固定在相应的位置上。当凸轮构件5通过伺服电动机3旋转时，轴承6、连接构件7和可移动单元8在第一方向上往复运动。由此，液体涂布单元100能够在第一状态和第二状态之间切换。在第一状态中，涂布针单元10不由第一驱动单元20驱动。在第二状态中，涂布针单元10通过第一驱动单元20驱动，从而使涂布针1与作为目标物的基板140接触，由此使得液体材料被涂布到该基板140。
另外，图1至图4分别示出了处于第一状态的液体涂布单元100。
如图1和图2所示，多个涂布针单元10中的每一个包括：被驱动部，该被驱动部由第一驱动单元20驱动；以及固定部，该固定部不由第一驱动单元20驱动，而被固定在与伺服电动机3相对的位置。
如图1和图2所示，被驱动部例如包括涂布针1、涂布针支承部11、第一弹簧12(弹性部)、移动部13、第一引导构件14、从动部17、传动部18和第二弹簧19(稍后将详细描述其中的每一个)。固定部例如包括液体材料容器2、基部15和第二引导构件16(引导部)。
如图1和图2所示，液体涂布单元100还包括连结多个相应的涂布针单元10的固定部的连结部30。连结部30例如连接到多个相应的涂布针单元10的基部15的每一个，以将基部15彼此连结。在沿第一方向观察的视图中，连结部30例如具有圆形的外形多个涂布针单元10中的每一个例如连接到连结部30的外周。而且，多个涂布针单元10沿上述外周彼此间隔开。连结部30仅通过涂布针单元10连接到第一驱动单元20。换句话说，多个涂布针单元10与连结部30可一体地附接到第一驱动单元20，并且可一体地从第一驱动单元20拆卸。
如图2所示，液体涂布单元100还包括第二驱动单元23，该第二驱动单元23改变多个涂布针单元10与第一驱动单元20之间的相对位置关系。第二驱动单元23改变多个涂布针单元10与第一驱动单元20之间的、在与第一方向上延伸的直线相对的周向D1上的相对位置关系。第二驱动单元23例如包括伺服电动机。连结部30以可附接和可分离的方式附接到第二驱动单元23的旋转构件，并与该旋转构件一起围绕旋转构件的旋转轴旋转。在沿第一方向观察液体涂布单元100的视图中，第二驱动单元23的旋转轴定位成与连结部30的中心重合。该旋转构件的旋转轴定位成在第一方向上延伸。
第一驱动单元20和第二驱动单元23例如一体地形成。第一驱动单元20例如通过第一连接部21连接到支承部22。第二驱动单元23连接到支承部22。第一驱动单元20和第二驱动单元23相对于支承部22的位置关系是固定的。第一驱动单元20的可移动单元8例如配置在与第二驱动单元23的旋转轴相对的圆周上。支承部22通过第二连接部24连接到液体涂布装置200(将在后面描述)中的Z轴工作台120的移动体。第二驱动单元23仅通过第一驱动单元20或连结部30连接到涂布针单元10。
由此，多个涂布针单元10与连结部30可一体地附接到第一驱动单元20和第二驱动单元23，并可一体地从第一驱动单元20和第二驱动单元23拆卸。
<涂布针单元的构造>
如图1至图4所示，涂布针单元10包括涂布针1、涂布针支承部11、第一弹簧12、移动部13、第一引导构件14、基部15、第二引导构件16、从动部17、传动部18和第二弹簧19。
涂布针1在第一方向上延伸。涂布针1在第一方向上的一端(涂布针1的位于远离伺服电动机3一侧的端部)用作可以与作为目标物的基板140(参见图5)接触的针尖。涂布针1在第一方向上的另一端连接并由此支承于涂布针支承部11。
涂布针支承部11在第一方向上的一端(涂布针支承部11的位于远离伺服电动机3一侧的端部)与涂布针1在第一方向上的上述另一端连接。涂布针支承部11在第一方向上的另一端与第一弹簧12在第一方向上的一端(第一弹簧12的位于远离伺服电动机3一侧的端部)连接。涂布针支承部11在第一方向上位于比液体材料容器2靠近伺服电动机3的位置。
第一弹簧12在第一方向上的另一端(第一弹簧12的位于靠近伺服电动机3一侧的端部)与移动部13在第一方向上的另一端(移动部13的位于靠近伺服电动机3一侧的端部)的、位于远离伺服电动机3一侧的表面(例如下表面)连接。第一弹簧12可使涂布针1和涂布针支承部11相对于移动部13在第一方向上偏置。第一弹簧12的弹簧常数例如可以根据基板140的强度来设定。
移动部13在第一方向上的一端(移动部13的位于远离伺服电动机3一侧的端部)配置有止动部13a。止动部13a和移动部13在第一方向上的上述另一端配置成以在第一方向上夹着涂布针支承部11和第一弹簧12的方式彼此面对。止动部13a配置成在第一方向上面对涂布针支承部11在第一方向上的上述一端。止动部13a在第一方向上位于比涂布针支承部11远离伺服电动机3的位置。止动部13a在第一方向上位于比液体材料容器2靠近伺服电动机3的位置。止动部13a设置有贯穿孔(未示出)。上述贯穿孔具有在第一方向上延伸的孔轴。涂布针1插入而穿过止动部13a的贯穿孔。止动部13a的贯穿孔配置成不干扰涂布针1。
如图3及图4所示，移动部13在第一方向上的上述另一端与传动部18在第一方向上的一端(传动部18的位于远离伺服电动机3一侧的端部)连接。
如图3和图4所示，在涂布针单元10不被第一驱动单元20驱动的第一状态下，涂布针支承部11的位于远离伺服电动机3一侧的上述一端的表面(例如，下表面)与止动部13a的位于靠近伺服电动机3的表面(例如，上表面)接触。
第一引导构件14允许涂布针支承部11相对于移动部13在第一方向上移动。第一引导构件14限制涂布针支承部11相对于移动部13在垂直于第一方向的方向上的移动。第一引导构件14具有在第一方向上延伸的多个(例如，三个)表面。涂布针支承部11具有多个(例如，三个)表面，上述多个表面被配置成在垂直于第一方向的方向上面对第一引导构件14的多个上述表面中的每一个，并且上述多个表面配置成在第一方向上延伸。第一引导构件14的多个表面包括面向在与第一方向正交的方向上的一侧和另一侧的表面。涂布针支承部11的多个表面包括面向与第一方向正交的方向上的一侧和另一侧的表面。
基部15在第一方向上的一端(基部15的位于远离伺服电动机3一侧的端部)配置有容器保持部15a。容器保持部15a与基部15在第一方向上的另一端配置成以在第一方向上夹着移动部13的方式彼此面对。容器保持部15a配置成在第一方向上面对移动部13的止动部13a。基部15在第一方向上的另一端配置成在第一方向上面对移动部13在第一方向上的上述另一端。容器保持部15a在第一方向上位于比移动部13远离伺服电动机3的位置。
如图4所示，容器保持部15a设置有贯穿孔15b。贯穿孔15b的孔轴在第一方向上延伸。涂布针1插入而穿过容器保持部15a的贯穿孔15b。容器保持部15a的贯穿孔配置成不干扰涂布针1。
容器保持部15a具有凸部15c，该凸部15c在第一方向上突出而远离伺服电动机3。此外，容器保持部15a具有以包围凸部15c的方式配置的磁体15d。凸部15c和磁体15d例如配置成包围贯通孔15b。换句话说，凸部15c和磁体15d在沿第一方向俯视观察时的形状例如为环状。
如图4所示，液体材料容器2设置有：储存液体材料的空间2a；以及第一孔2b和第二孔2c，上述第一孔2b和第二孔2c供涂布针1穿过而插入至空间2a。第一孔2b位于比空间2a远离伺服电动机3(比空间2a靠近基板140)的位置。第二孔2c相对于空间2a位于第一孔2b的相反侧。液体材料容器2被嵌入基部15的容器保持部15a，以防止第一孔2b和第二孔2c在与第一方向相交的平面中干扰涂布针1。
基部15在第一方向上的另一端(基部15的位于靠近伺服电动机3一侧的端部)设置有贯穿孔(未示出)。上述贯穿孔的孔轴在第一方向上延伸。传动部18插入而穿过基部15的贯穿孔。基部15的贯穿孔定位成不干扰传动部18。
第二引导构件16允许移动部13相对于基部15在第一方向上移动。第二引导构件16限制移动部13相对于基部15在与第一方向垂直的方向上的移动。第二引导构件16例如具有与第一引导构件14相同的构造。换句话说，第二引导构件16具有在第一方向上延伸的多个(例如，三个)表面。移动部13具有多个(例如，三个)表面，上述多个表面配置成在垂直于第一方向的方向上面对第二引导构件16的多个上述表面中的每一个，并且上述多个表面配置成在第一方向上延伸。第二引导构件16的多个表面包括面向在与第一方向正交的方向上的一侧和另一侧的表面。移动部13的多个表面包括面向在与第一方向正交的方向上的一侧和另一侧的表面。
从动部17在第一方向上的一端(从动部17的位于远离伺服电动机3一侧的端部)与传动部18在第一方向上的另一端(传动部18的位于靠近伺服电动机3的端部)连接。从动部17在第一方向上的另一端(从动部17的位于靠近伺服电动机3的端部)在第一方向上位于比第一驱动单元20的可移动单元8远离伺服电动机3的位置，且设置为能够与可移动单元8接触。在不同的观点中，从动部17在第一方向上的上述另一端以可附接和可拆卸的方式连接到第一驱动单元20的可移动单元8。
传动部18在第一方向上的一端(传动部18的位于远离伺服电动机3一侧的端部)连接到基部15在第一方向上的上述另一端。传动部18在第一方向上的另一端连接到从动部17在第一方向上的上述一端。
第二弹簧19在第一方向上的一端连接到基部15在第一方向上的上述另一端。第二弹簧19在第一方向上的另一端连接到从动部17在第一方向上的上述另一端。第二弹簧19可使从动部17相对于基部15在第一方向上偏置，上述基部15固定在与第一驱动单元20相对的位置处。
<涂布针单元的操作>
首先，如图5的(a)和5的(b)所示，处于图3和图4所示的上述第一状态的涂布针单元10配置在能够将液体材料涂布到基板140的规定位置的位置。由此，均作为涂布针单元10的固定部的液体材料容器2、基部15以及第二引导构件16相对于基板140定位。
然后，如图6的(a)和图6的(b)所示，涂布针单元10的上述被驱动部由第一驱动单元20驱动，由此使涂布针1与基板140接触。具体而言，首先驱动第一驱动单元20，使得可移动单元8和与可移动单元8接触的从动部17朝向基板140移动。通过第二引导构件16，相对于相对基板140定位的液体材料容器2和基部15，对通过传动部18连接到从动部17的移动部13进行引导，使得移动部13在第一方向上朝向基板140移动。此时，涂布针1和涂布针支承部11通过第一弹簧12而相对于向基板140移动的移动部13朝向基板140偏置。因此，在涂布针单元10中，处于第一状态的涂布针1、涂布针支承部11、第一弹簧12以及移动部13之间的相对位置关系得以维持，直到涂布针1与基板140接触为止。
换句话说，从图5的(a)和图5的(b)所示的第一状态到图6的(a)和6的(b)所示的第二状态，涂布针1在第一方向上的移动距离等于可移动单元8和从动部17在第一方向上的移动距离L1(参见图6)。此外，涂布针1在第一方向上的移动距离等于第二弹簧19在第一方向上的长度变化量。
如图7的(a)和图7的(b)所示，处于图6的(a)和图6的(b)所示的第二状态的从动部17可以通过可移动单元8而朝向基板140进一步移动。并且在该情况下，也通过第二引导构件16，相对于相对基板140定位的液体材料容器2和基部15，对通过传动部18与从动部17连接的移动部13及其止动部13a进行引导，以使上述移动部13及其止动部13a在第一方向上朝向基板140移动。此时，涂布针1已经与基板140接触。因此，涂布针1和涂布针支承部11无法在第一方向上朝向基板140移动。因此，配置在涂布针支承部11与移动部13之间的第一弹簧12被压缩。由此，即使在处于第二状态的从动部17通过可移动单元8而朝向基板140进一步移动的情况下，涂布针1也不会立即与该移动连动地移动。因此，能够防止基板140受到损坏和破损。此时，通过涂布针1，基板140接受到与处于第二状态的从动部17在第一方向上的移动距离L2成比例的第一弹簧12的弹性力。因此，第一弹簧12的弹簧常数只要被设定为使得上述弹性力弱于可能损坏基板140的涂布针1的力即可。
<液体涂布装置的构造>
然后，将参考图8描述根据本实施例的液体涂布装置200。液体涂布装置200包括如上所述的液体涂布单元100。液体涂布装置200包括液体涂布单元100、观察光学系统110、连接到观察光学系统110的CCD相机111、Z轴工作台120、X轴工作台121、Y轴工作台122、基座123和控制器130。
观察光学系统110被设置成用于观察用作涂有液体材料的目标物的基板140上的涂布位置。观察光学系统110的CCD相机111将被观察到的图像转换成电信号。液体涂布单元100和观察光学系统110安装在Z轴工作台120的移动体上。因此，液体涂布单元100和观察光学系统110通过Z轴工作台120被支承为能够在图8中的Z轴方向上移动。Z轴工作台120安装在X轴工作台121的移动体上。因此，Z轴工作台120通过X轴工作台121被支承为能够在图8中的X轴方向上移动。用作目标物的基板140安装在Y轴工作台122的移动体上。因此，用作目标物的基底140通过Y轴工作台122被支承为能够在图8中的Y轴方向上移动。Y轴工作台122配置在基座123的上表面上。Y轴工作台122被设置成能够在Y轴方向上移动。应当注意的是，图8中的Z轴方向对应于重力方向。
控制器130包括操作面板131、监视器132以及控制计算机133。控制器130控制液体涂布单元100、观察光学系统110、Z轴工作台120、X轴工作台121和Y轴工作台122。操作面板131用于向控制计算机133输入命令。监视器132显示由观察光学系统110的CCD相机111转换而成的图像数据，并且显示来自控制计算机133的输出数据。
<液体涂布方法>
接下来，将描述使用液体涂布装置200执行的液体涂布方法。在液体涂布方法中，首先，将作为涂有液体材料的目标物的基板140安装在Y轴工作台122上。然后，确定基板140中的涂布位置。具体而言，X轴工作台121、Y轴工作台122和Z轴工作台120进行移动，使得基板140中的涂布位置位于观察光学系统110的正下方。通过观察光学系统110观察基板140中的涂布位置，然后确定该涂布位置。通过X轴工作台121、Y轴工作台122和Z轴工作台120移动基板140，使得以上述方式确定的涂布位置位于液体涂布单元100的正下方。然后，液体涂布单元100在所确定的涂布位置涂布液体材料。然后，通过X轴工作台121、Y轴工作台122和Z轴工作台120移动基板140，使得下一个涂布位置位于液体涂布单元100的正下方。在移动完成之后，液体涂布单元100涂布液体材料。上述这些步骤中的每一个步骤都可以连续地重复执行。其结果是，通过根据本实施例的液体涂布方法，能够在短时间内在基板140的上表面上形成预定的电路图案。
<功能和效果>
根据本实施例的液体涂布单元100是通过使用涂布针而将液体材料涂布在作为目标物的基板140的表面上的液体涂布单元。液体涂布单元100包括：多个涂布针单元10，所述多个涂布针单元10分别具有涂布针1和液体材料容器2，所述液体材料容器2储存液体材料，并且所述液体材料从所述液体材料容器2被供给到涂布针1；以及第一驱动单元20，所述第一驱动单元20构造成使涂布针1相对于基板140和液体材料容器2在第一方向上移动。多个涂布针单元10能够一体地附接到第一驱动单元20，并且能够一体地从第一驱动单元20拆卸。
这样，对于与第一驱动单元20分离的多个涂布针单元10中的每一个，能够再供给或者替换涂布针1与液体材料中的至少任意一者。因此，可以容易地执行再供给或替换。另外，在液体涂布单元100中，也可以在替换前预先准备多个涂布针单元10，所述多个涂布针单元10分别包括储存有新的涂布针1和新的液体材料的液体材料容器2。这样，已经附接到液体涂布单元100的多个涂布针单元10能够容易且立即地用新的涂布针单元10替换。
液体涂布单元100还包括第二驱动单元23，所述第二驱动单元23构造成改变多个涂布针单元10与第一驱动单元20之间的相对位置关系。多个涂布针单元10能够一体地附接到第一驱动单元20和第二驱动单元23，并且能够一体地从第一驱动单元20和第二驱动单元23拆卸。
这样，第一驱动单元20和第二驱动单元23能够仅驱动多个涂布针单元10中的、例如与第一驱动单元20处于规定的位置关系的涂布针单元10。另外，对于与第一驱动单元20和第二驱动单元23分离的多个涂布针单元10的每一个，能够进行涂布针1与液体材料中的至少任意一者的再供给或替换。因此，可以容易地执行再供给或替换。
在液体涂布单元100中，在沿第一方向D1观察时，多个涂布针单元10呈环状地并排布置。第二驱动单元23构造成改变多个涂布针单元10中的每一个与第一驱动单元20之间的相对位置关系。
这样，第二驱动单元23(例如，伺服电动机)可以容易地改变沿着周向D1配置的多个涂布针单元10相对于第一驱动单元20的位置。因此，根据液体涂布单元100，第一驱动单元20和第二驱动单元23能够仅驱动多个涂布针单元10中的、例如与第一驱动单元20处于规定的位置关系的涂布针单元10。
在液体涂布单元100中，多个涂布针单元10中的每一个还包括：第一弹簧12，所述第一弹簧12作为能够使涂布针1在第一方向上偏置的弹性部；移动部13，所述移动部13通过第一弹簧12与涂布针1连接，并且所述移动部13通过第一驱动单元20而相对于基板140移动；基部15，所述基部15固定于第一驱动单元20；以及第二引导构件16，所述第二引导构件16用作引导部，并且构造成允许移动部13相对于基部15在第一方向上移动，并且构造成限制移动部13相对于基部15在与第一方向正交的方向上的移动。液体涂布单元100还包括构造成连结多个涂布针单元10的多个基部15的连结部30。第二驱动单元23构造成驱动连结部30以改变多个涂布针单元10与第一驱动单元20之间的相对位置关系。多个涂布针单元10和连结部30能够一体地附接到第一驱动单元20和第二驱动单元23，并且能够一体地从第一驱动单元20和第二驱动单元23拆卸。
这样，当处于第二状态的移动部13通过第一驱动单元20而朝向基板140进一步移动时，由于涂布针1与基板140接触，因此涂布针1无法向基板140移动。因此，第一弹簧12被压缩。因此，在如上所述的情况下，涂布针1不会立即与移动部13连动地移动。因此，能够防止基板140受到损坏和破损。
在液体涂布单元100中，液体材料容器2被支承为能够附接到基部15并且能够从基部15拆卸。
这样，能够容易地仅替换液体材料。
在液体涂布单元100中，液体材料容器2设置有：储存液体材料的空间2a；以及第一孔2b和第二孔2c，上述第一孔2b和第二孔2c供涂布针1穿过而插入至空间2a。第一孔2b位于比空间2a靠近目标物的位置。第二孔2c相对于空间2a位于第一孔2b的相反侧。液体材料容器2的一部分被嵌入基部15的一部分中，以防止第一孔2b和第二孔2c干扰涂布针1。
这样，能够容易地对涂布针1和液体材料容器2进行定位，以防止涂布针1干扰液体材料容器2的第一孔2b和第二孔2c。
另外，根据液体涂布单元100，当容器保持部15a具有磁体15d时，并且当在液体材料容器2与容器保持部15a之间作用有比较大的磁吸引力的时候，由于液体材料容器2的一部分嵌入基部15的一部分，因此，能够容易且高精度地使液体材料容器2与容器保持部15a对齐。如上所述的液体涂布单元100包括液体材料容器，在该液体材料容器内存储有大量的液体材料，因此，适用于能够长时间连续地涂布液体材料的液体涂布装置。
根据本实施例的液体涂布装置200包括：上述液体涂布单元100；以及Y轴工作台122，所述Y轴工作台122构造成保持作为目标物的基板140并用作保持台。
如上所述的液体涂布装置200包括液体涂布单元100，对于该液体涂布单元100，可以容易地对多个涂布针1和多个液体材料中的至少任意一者进行再供给或替换。因此，根据液体涂布装置200，与常规的液体涂布装置相比，可以容易地进行多个涂布针1和多个液体材料中的至少任意一者的再供给或更换。
(变形例)
如图9和图10所示，如上所述的液体涂布单元100可以包括第二驱动单元23，所述第二驱动单元23能够改变多个涂布针单元10与第一驱动单元20在与第一方向正交的第二方向D2上的相对位置关系。
第二驱动单元23例如包括线性电动机。线性电动机例如包括固定部以及可移动单元，上述固定部沿水平方向且在第二方向D2上延伸，上述可移动单元通过固定部引导以在第二方向D2上线性移动。可移动单元附接到在第二方向D2上延伸的连结部32。第二驱动单元23通过第二连接部24连接到在液体涂布装置200(稍后描述)中的Z轴工作台120的移动体。换句话说，在如上所述的液体涂布单元100中，多个涂布针单元10可以在与第一方向D1正交的第二方向D2上并排布置。第二驱动单元23改变多个涂布针单元10中的每一个与第一驱动单元20之间的相对位置关系。
这样，第二驱动单元23(例如，线性电动机)也可以容易地改变在第二方向D2上配置的多个涂布针单元10中的每一个相对于第一驱动单元20的位置。因此，根据液体涂布单元100，第一驱动单元20和第二驱动单元23能够仅驱动多个涂布针单元10中的、例如与第一驱动单元20处于规定的位置关系的涂布针单元10。
液体涂布单元100可以构造成使得多个涂布针单元10能够由第一驱动单元20一体地驱动。第一驱动单元20的可移动单元8例如可以能够对相应的涂布针单元10中的每个从动部17进行按压。在多个涂布针单元10如图11所示那样呈环状地并排布置的情况下，可移动单元8沿第一方向俯视观察时的形状例如为环形。在多个涂布针单元10线性布置的情况下，可移动单元8沿第一方向俯视观察时的形状为矩形。在不同的观点中，液体涂布单元100不需要包括第二驱动单元23。同样地，在这样的液体涂布单元100中，只要多个涂布针单元10能够一体地附接到第一驱动单元20并且能够一体地从第一驱动单元20拆卸，则对于与第一驱动单元20分离的多个涂布针单元10的每一个，能够对涂布针1和液状材料中的至少任意一者进行再供给或替换。因此，在液体涂布单元100中，也可以容易地执行如上所述的再供给或替换。
应该理解，本文公开的实施例是在各方面都是说明性和非限制性的。本发明的范围由权利要求的条款而不是上面的描述来限定，并且旨在包括在权利要求的含义和范围内的任何修改。
工业上的可利用性
本发明应用于液体涂布单元以及包括该液体涂布单元的液体材料涂布装置是特别有利的，其中，上述液体涂布单元包括多个涂布针和多个液体材料容器。
符号说明
1涂布针，2液体材料容器，2a空间，2b第一孔，2c第二孔，3伺服电动机，4旋转构件，5凸轮构件，6轴承，7连接构件，8可移动单元，10涂布针单元，11涂布针支承部，12第一弹簧，13移动部，13a止动部，14第一引导构件，15基部，15a容器保持部，15b贯穿孔，15c凸部，15d磁体，16第二引导构件，17从动部，18传动部，19第二弹簧，20第一驱动单元，21第一连接部，22支承部，23第二驱动单元，24第二连接部，30、32连结部，100液体涂布单元，110观察光学系统，111相机，120、121、122轴工作台，123基座，130控制器，131操作面板，132监视器，133控制计算机，140基板，200液体涂布装置。

Claims (8)

1.一种液体涂布单元，所述液体涂布单元用于通过使用涂布针而将液体材料涂布到目标物的表面上，其特征在于，所述液体涂布单元包括：
多个涂布针单元，多个所述涂布针单元分别包括所述涂布针和液体材料容器，所述液体材料容器储存所述液体材料，所述液体材料从所述液体材料容器被供给到所述涂布针；以及
第一驱动单元，所述第一驱动单元构造成使所述涂布针相对于所述目标物和所述液体材料容器在第一方向上移动，
多个所述涂布针单元能够一体地附接到所述第一驱动单元，并且能够一体地从所述第一驱动单元拆卸。
2.如权利要求1所述的液体涂布单元，其特征在于，
所述液体涂布单元还包括第二驱动单元，所述第二驱动单元构造成改变多个所述涂布针单元与所述第一驱动单元之间的相对位置关系，其中，
多个所述涂布针单元能够一体地附接到所述第一驱动单元和所述第二驱动单元，并且能够一体地从所述第一驱动单元和所述第二驱动单元拆卸。
3.如权利要求2所述的液体涂布单元，其特征在于，
多个所述涂布针单元在与所述第一方向正交的第二方向上并排布置，并且，
所述第二驱动单元构造成改变多个所述涂布针单元的每一个与所述第一驱动单元之间的相对位置关系。
4.如权利要求2所述的液体涂布单元，其特征在于，
当沿所述第一方向观察时，多个所述涂布针单元呈环状地并排布置，并且，
所述第二驱动单元构造成改变多个所述涂布针单元的每一个与所述第一驱动单元之间的相对位置关系。
5.如权利要求2至4中任一项所述的液体涂布单元，其特征在于，
多个所述涂布针单元的每一个包括：
弹性部，所述弹性部能够使所述涂布针在所述第一方向上偏置；
移动部，所述移动部通过所述弹性部与所述涂布针连接，并且所述移动部通过所述第一驱动单元而相对于所述目标物移动；
基部，所述基部固定于所述第一驱动单元；以及
引导部，所述引导部以下述方式构造：
允许所述移动部相对于所述基部在所述第一方向上移动；并且
限制所述移动部相对于所述基部在与所述第一方向正交的方向上的移动，
所述液体涂布单元还包括连结部，所述连结部构造成连结多个所述涂布针单元的多个所述基部，
所述第二驱动单元构造成驱动所述连结部以改变多个所述涂布针单元与所述第一驱动单元之间的所述相对位置关系，并且，
多个所述涂布针单元与所述连结部能够一体地附接到所述第一驱动单元和所述第二驱动单元，并且能够一体地从所述第一驱动单元和所述第二驱动单元拆卸。
6.如权利要求5所述的液体涂布单元，其特征在于，
所述液体材料容器被支承为能够附接至所述基部并且能够从所述基部拆卸。
7.如权利要求6所述的液体涂布单元，其特征在于，
所述液体材料容器设置有：
储存所述液体材料的空间；以及
第一孔和第二孔，所述第一孔和所述第二孔供所述涂布针穿过而插入到所述空间，
所述第一孔位于比所述空间靠近所述目标物的位置，
所述第二孔相对于所述空间位于所述第一孔的相对侧上，并且
所述液体材料容器的一部分嵌入所述基部的一部分，以防止所述第一孔和所述第二孔干扰所述涂布针。
8.一种液体涂布装置，其特征在于，所述液体涂布装置包括：
如权利要求1至7中任一项所述的液体涂布单元；以及
保持所述目标物的保持台。
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