CN110304633A - 一种还原炉硅棒出炉装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种还原炉硅棒出炉装置,涉及多晶硅生产领域,包括具有开关门的箱体;所述箱体内安装有用于放置硅棒的盛放机构和用于吹扫硅棒的吹扫装置;所述箱体内还安装有吸尘装置。本发明可直接将硅棒放置在盛放机构上,通过吹扫头能有效将硅棒表面的不定型硅、微硅粉和其它杂质吹除,避免了其对硅料品质的影响。

Description

一种还原炉硅棒出炉装置
技术领域
本发明涉及多晶硅生产领域,具体而言,涉及一种还原炉硅棒出炉装置。
背景技术
随着多晶硅行业的发展,技术水平越来越成熟,竞争越来越激烈,因此,降低成本,提高产品质量是每个多晶硅生产企业追求的目标。目前,在提升内在品质的同时,如何避免外在污染,是普遍存在的难点,同时,也需加快外在污染防护的研发和创新的步伐。
目前,在多晶硅还原炉生长过程中,还原炉内会或多或少产生一些粉末状不定型硅,并附着在还原炉炉壁和还原炉底盘上,在打开钟罩过程中,还原炉炉壁上的灰会或多或少的掉落到硅棒上,硅棒出炉后,通常对对粘附不定型粉末硅较多的硅棒进行吹扫,其他则直接混合装入硅棒车送入下道工序中,此过程中,不仅会对硅棒造成二次交叉污染,且会使硅料的品质大大下降。
发明内容
本发明的目的在于提供一种还原炉硅棒出炉装置,能直接对出炉的硅棒进行逐根吹扫,并吹扫完毕的硅棒分类分拣,有效避免硅棒二次交叉污染,使硅棒的质量大大提高。
为实现本发明目的,采用的技术方案为:一种还原炉硅棒出炉装置,包括具有开关门的箱体;所述箱体内安装有用于放置硅棒的盛放机构和用于吹扫硅棒的吹扫装置;所述箱体内还安装有吸尘装置。
进一步的,所述盛放机构包括水平安装在箱体内的筛网;所述筛网的上方还设有硅棒支撑架。
进一步的,所述硅棒支撑架包括多个纵向支撑杆,多个纵向支撑杆沿箱体的宽度方向均匀间隔排布;所述纵向支撑杆上还固定安装有多个限位结构,且每个纵向支撑杆上的限位结构均一一对应。
进一步的,所述每个所述纵向支撑杆上的限位结构均为多个,多个限位结构沿纵向支撑杆的长度方向均匀间隔排布,且限位结构为U型卡;所述吹扫头为多个,多个吹扫头与多个限位结构一一对应。
进一步的,所述吹扫装置包括安装在盛放机构上方的安装板和安装在安装板上的吹扫头。
进一步的,所述吹扫头包括弧形空心管;所述弧形空心管内侧还开设有多个出气孔;所述机箱上还安装有增压泵,增压泵的输出端与弧形空心管之间连接有送风管道。
进一步的,所述吹扫室内还安装有两个与沿筛网长度方向延伸的导向杆;所述安装板的两端均开设有与导向杆配合的通孔,通孔与导向杆滑动配合;所述吹扫室内还安装有驱动安装板的驱动机构;所述驱动机构包括固定安装在箱体内壁上的丝杆驱动电机;所述箱体的内壁上还支承有转动的螺杆,安装板的顶面安装有与螺杆配合的螺母;所述丝杆驱动电机与螺杆固定连接。
进一步的,所述箱体底面上还固定安装有垂直的下分隔板,下分隔板的上端与筛网固定;所述筛网的上方还安装有可上下移动的上分隔板,上分隔板的下端与下分隔板的上端对接,且上分隔板与下分隔板配合将箱体分为呈左右分布的切割室和吹扫室;所述上分隔板的下端还固定安装有切割装置,且切割装置位于切割室内;所述切割室和吹扫室内均设有吸尘装置。
进一步的,所述切割装置包括转动安装在上分隔板的两个从动轮,两个从动轮均位于上分隔板的下端,且两个从动轮位于同一水平面上;所述上分隔板上还固定安装有驱动电机,驱动电机的输出端上还固定安装有主动轮,主动轮和两个从动轮上共同绕设有张紧的金属切割线。
进一步的,所述箱体的内壁上还开设有与上分隔板长边配合的导向槽;所述上分隔板上还固定安装有竖直延伸的固定齿条;所述箱体内壁上还固定安装有正反转电机,且正反转电机的输出轴上固定安装有与固定齿条啮合的齿轮。
本发明的有益效果是,
在将硅棒从还原炉中取出时,可直接将硅棒放置在筛网上,通过吹扫装置能有效将硅棒表面的不定型硅、微硅粉和其它杂质吹除,避免了其对硅料品质的影响。
通过在箱体内安装硅棒支撑架,当硅棒放置在硅棒支撑架上时,较小的硅棒则自动掉落在筛网上,实现对硅棒的分类分拣,减少了硅棒在进入下一道工序之前的分拣步骤,避免了硅棒在硅棒车或者收集箱内敲砸分类动作,防止硅棒车或收集箱本身在操作过程中由于震动对硅料造成风险,降低劳动强度和对操作人员的伤害,减少人力资源成本,大幅度缩短分类包装时间,提高生产运转效率,节约成本。
由于硅棒在生产过程中,硅棒头部不规则,且附着的不定型硅、微硅粉和其它杂质较多,通过在上分隔板上安装切割装置,不仅能将硅棒的头部切除,且有效硅棒在切割过程中,硅棒头部的不定型硅、微硅粉和其它杂质进入到吹扫室造成硅棒二次污染,使硅棒的吹扫效果更好。
附图说明
图1是本发明提供的还原炉硅棒出炉装置的结构示意图;
图2是图1中吹扫头、吹扫枪的结构示意图;
图3是图1中切割装置的结构示意图;
图4是图1中安装板的结构示意图;
图5是图1中限位结构的结构示意图。
附图中标记及相应的零部件名称:
1、箱体,4、吹扫装置,5、第一吸尘装置,6、下分隔板,7、上分隔板,8、吹扫室,9、切割室,10、切割装置,11、第二吸尘装置,12、导向槽,13、固定齿条,14、正反转电机,15、齿轮,16、导向杆,17、通孔,18、丝杆驱动电机,19、螺杆,20、螺母,21、硅棒支撑架,22、吹扫枪,23、增压泵,24、送风管道,25、水平隔板;
41、吹扫头,42、安装板;
91、主动轮,92、从动轮,93、驱动电机,94、金属切割线;
211、纵向支撑杆,212、限位结构;
221、弧形空心管,222、出气孔。
具体实施方式
下面通过具体的实施例子并结合附图对本发明做进一步的详细描述。
图1至图5所示出了本发明提供的一种还原炉硅棒出炉装置,包括具有开关门的箱体1;所述箱体1内安装有用于放置硅棒的盛放机构和用于吹扫硅棒的吹扫装置4;所述箱体1内还安装有吸尘装置5。
所述箱体1上的开关门位于箱体1的其中一侧或多侧上,且开关门直接铰接安装在箱体1上,为了方便对箱体1内的情况进行观察,可在开关门上安装透明玻璃窗,方便人们对硅棒的吹扫情况进行观察;为了方便对箱体1的搬运和推送,可在箱体1的底面安装转动的车轮。所述盛放机构水平安装在箱体1分为上下两个部分;所述盛放机构与箱体1底面平行,盛放机构与箱体1底面之间具有一定间隙,使盛放机构与箱体1底面之间具有一定的空间;所述盛放机构可通过螺钉固定或焊接固定安装,第一吸尘装置5安装在箱体1的底面上,即第一吸尘装置5位于盛放机构的下方,使硅棒在吹扫过程中,吹扫的灰尘直接进入到盛放机构与箱体1底面之间,方便第一吸尘装置5对不定型硅、微硅粉和其它杂质吸除,从而保证箱体1内始终保持干净,防止灰尘对硅棒造成二次污染。
所述盛放机构包括水平安装在箱体内的筛网;所述筛网的上方还设有硅棒支撑架。所述硅棒支撑架位于筛网的上方,硅棒支撑架与筛网间隔排布,通过硅棒支撑架21对硅棒进行支撑,,使硅棒支撑架21不仅能对硅棒进行支撑,且使硅棒放置在硅棒支撑架21上后,硅棒中较小的断节和破碎的硅棒块能只能通过硅棒支撑架21掉落至筛网2上,从而使硅棒自动实现分拣,使硅棒能自动分类,减少了硅棒在进入下一道工序之前的分拣步骤,避免了硅棒在硅棒车或者收集箱内敲砸分类动作,防止硅棒车或收集箱本身在操作过程中由于震动对硅料造成风险,降低劳动强度和对操作人员的伤害,减少人力资源成本,大幅度缩短分类包装时间,提高生产运转效率,节约成本。
为了防止硅棒的断节或破碎的硅棒块掉落在筛网2上,使筛网2因承受的力过大而导致筛网2凹陷,可在筛网2的下方固定安装多个支撑筛网2的固定轴,支撑轴的轴线方向与筛网2的宽度方向一致,多个固定轴沿筛网2的长度方向均匀间隔排布,且支撑轴的两端均通过支座固定安装在箱体1内壁上。
所述硅棒支撑架21包括多个纵向支撑杆211,多个纵向支撑杆211沿箱体1的宽度方向均匀间隔排布;所述纵向支撑杆211上还固定安装有多个限位结构212,且每个纵向支撑杆211上的限位结构212均一一对应。
所述纵向支撑杆211水平设置,纵向支撑杆211的两端均通过轴承座固定安装在箱体1的内壁上,当纵向支撑杆211的一端与箱体1的开关门对应时,纵向支撑杆211靠近开关门的一端则可通过支架固定支撑在筛网2上,从而使纵向支撑杆211实现固定安装,保证了纵向支撑杆211的稳定性;相邻两个纵向支撑杆211之间的具体间隔距离可根据实际的使用情况进行确定,且多个纵向支撑杆211上的限位结构212呈一一对应排布;使硅棒共同放置在多个纵向支撑杆211上时,每个纵向支撑杆211上的限位结构212均能对硅棒进行固定,从而使硅棒的长度方向被多个限位结构212共同固定,防止上分隔板7上的切割装置10在对硅棒进行切割时,因硅棒未被固定而产生倾斜,使硅棒被破坏,使硅棒切割后的质量得到保证,降低对硅棒的破坏。
每个所述纵向支撑杆211上的限位结构212均为多个,多个限位结构212沿纵向支撑杆211的长度方向均匀间隔排布;所述吹扫头41为多个,多个吹扫头41与多个限位结构212一一对应。
每个所述纵向支撑杆211上的限位结构212数量相等,且同一个纵向支撑杆211上的多个限位结构212沿纵向支撑杆211的长度方向均匀间隔排布,多个纵向支撑杆211上的限位结构212呈一一对应排布,使硅棒在放置时,硅棒的长度方向能通过多个纵向支撑杆211上的限位结构212共同限位,从而防止硅棒在纵向支撑杆211上滚动,方便切割装置10对硅棒的切割,保证硅棒的切割更加精准。所述安装板42上吹扫头41的数量与纵向支撑杆211上限位结构212的数量相同,且安装板42上的吹扫头41与纵向支撑杆211上的限位结构212的位置对应,因限位结构212用于对硅棒进行限位,因此,硅棒在安装后,硅棒即位于限位结构212处,通过使吹扫头41与限位结构212对应,即吹扫头41与硅棒的位置对应,使每个吹扫头41对应一个硅棒,使硅棒吹扫的效果大大提高,且使硅棒的吹扫更加彻底。
所述限位结构212为U型卡,U型卡通过螺钉固定安装在纵向支撑杆211上,当需要对硅棒进行安装时,硅棒防止在U型卡内,从而有效防止硅棒在纵向支撑杆211上滚动,实现对硅棒的限位;所述U型卡还可直接替换成在纵向支撑杆211上开设U型凹槽,当需要对硅棒进行安装时,可直接将硅棒共同放置在纵向支撑杆211上的U型凹槽内即可,同样能实现对硅棒的限位。
所述吹扫装置包括安装在盛放机构上方的安装板和安装在安装板上的吹扫头;所述吹扫头41通过螺钉或焊接等方式固定安装在第一安装板42的下表面上,吹扫头41用于硅棒进行吹扫;所述安装板42位于筛网2的上方,安装板42沿筛网2的长度方向可左右移动,通过安装板42的移动,使固定安装在安装板42上的吹扫头41同步移动,从而使吹扫头41沿硅棒的长度方向移动,使吹扫头41能对整个硅棒表面进行吹扫,保证附着在硅棒表面的灰尘被全部吹扫干净,使硅棒的吹扫效果更好。
所述吹扫头41包括弧形空心管221;所述弧形空心管221内侧还开设有多个出气孔222;所述机箱上还安装有增压泵23,增压泵23的输出端与弧形空心管221之间连接有送风管道24。所述弧形空心管221的两端均为封堵状,且弧形空心管221的内径大于限位结构212的宽度,防止使吹扫头41在随安装板42在移动对硅棒进行吹扫时,限位结构212对吹扫头41进行阻碍;当限位结构212为U型凹槽时,吹扫头41的下端不能低于纵向支撑杆211的最高位置处,此时,吹扫头41虽能实现对硅棒进行吹扫,但吹扫头41只能对硅棒的顶部进行吹扫,使硅棒吹扫的效果大大降低。所述弧形空心管221还可采用U型空心管代替。
所述吹扫头41中的弧形空心管221则直接焊接固定或螺钉固定在安装板42的下表面上,且在吹扫头41中的弧形空心管221固定安装后,该弧形空心管221的两端处于同于水平面上。所述出气孔222位于弧形空心管221的内侧,且出气孔222的中心轴线与出气管的管壁倾斜,多个出气孔222中心轴线的延伸端汇聚在弧形空心管221的中心,从而吹扫头41在对硅棒进行吹扫时,弧形空心管221套设在硅棒外,此时硅棒外表面与弧形空心管221之间具有径向间隙,此时,通过弧形空心管221上出气孔222排出的压缩空气则直接作用在硅棒的圆弧面上,从而实现对硅棒的吹扫;所述增压泵23用于对空气进行增压,使空气在增加后通过送风管道24送入到弧形空心管221内,从出气孔222排出的压缩风的风压;为了保证进入到箱体1内的压缩风保持干净,可在增压泵23的入口处安装一个过滤器,使进入到增压泵23内的压缩风自动实现过滤。所述送风管道24为软管;所述增压泵23可直接安装在箱体1的顶部或箱体1内部,当增压泵23安装在箱体1内部时,可在箱体1内安装一个与筛网2平行的水平隔板,此时,第一收尘装置5、第二收尘装置11、下分隔板6均安装在水平隔板25上,且增压泵23则直接安装在水平隔板25与箱体1之间形成的腔室内,且箱体1上开设有与腔体内部连通的通风口。
所述吹扫室8内还安装有两个与沿筛网2长度方向延伸的导向杆16;所述安装板42的两端均开设有与导向杆16配合的通孔17,通孔17与导向杆16滑动配合;所述吹扫室8内还安装有驱动安装板42的驱动机构。
所述导杆的轴线方向与筛网2的长度方向一致,且导向杆16远离上分隔板7的一端则支承通过轴承座固定支承在箱体1内壁上,而导向杆16靠近上分隔板7的一端则贯穿安装板42上的通孔17后,通过支架固定支承在筛网2上,使导向杆16的两端均能实现支承,使安装板42受到驱动机构的驱动后,安装板42能沿着导向杆16顺利的移动,从而保证了安装板42在移动过程中更加平稳,而安装板42在移动时,固定安装在安装板42下表面上的吹扫头41同步移动,使第一吹到头沿硅棒的长度方向吹扫,保证了硅棒吹扫的质量。此处,导向杆16还可直接采用滑轨直接替换,当采用滑轨时,安装板42上不需开设通孔17,此时在安装板42的下表面上开设与滑轨配合的滑槽即可,此种方式仍能使安装板42能平稳的移动。
所述驱动机构包括固定安装在箱体1内壁上的丝杆驱动电机18;所述箱体1的内壁上还支承有转动的螺杆19,安装板42的顶面安装有与螺杆19配合的螺母20;所述丝杆驱动电机18与螺杆19固定连接。所述螺杆19的一端通过法兰盘与丝杆驱动电机18固定连接,螺杆19靠近上分隔板7的一端则通过支架转动支承在筛网2上,使螺杆19的延伸端得到支承,有效防止丝杆驱动电机18在驱动螺杆19转动时,螺杆19的延伸端晃动,使螺杆19的转动更加平稳,通过丝杆驱动电机18的转动,丝杆驱动电机18带动螺杆19进行转动,螺杆19在转动时,螺母20在螺杆19上移动,从而给带动安装板42移动,最终使固定安装在安装板42上的吹扫头41移动,实现对硅棒的吹扫。此处,螺杆19和螺母20结构还可直接采用伸缩杆直接替换,采用伸缩杆时,伸缩杆的一端与箱体1内壁铰接,伸缩杆的另一端与安装板42铰接即可,通过伸缩杆的伸缩推动安装板42的移动,最终实现吹扫头41的移动。
本申请中的安装板42还可为固定安装,当安装板42为固定安装时,不仅不需要导向杆对安装板42导向,且不需要采用驱动机构对安装板42进行驱动,此时安装板42的长度与箱体内的长度配合,吹扫头41则均匀排布在安装板42的下表面,通过多个吹扫头41的配合,共同实现对硅棒的吹扫。
所述箱体1底面上还固定安装有垂直的下分隔板6,下分隔板6的上端与筛网2固定;所述筛网2的上方还安装有可上下移动的上分隔板7,上分隔板7的下端与下分隔板6的上端对接,且上分隔板7与下分隔板6配合将箱体1分为呈左右分布的切割室9和吹扫室8;所述上分隔板7的下端还固定安装有切割装置10,且切割装置10位于切割室9内。
所述下分隔板6垂直安装在箱体1的底面上,且下分隔板6将筛网2与箱体1底面之间分为左右两个空间;所述上分隔板7与下分隔板6在同一垂直面上,且上分隔板7可上下移动,即上分隔板7的高度小于箱体1顶面与筛网2之间的间距,当上分隔板7与下分隔板6对接时,箱体1内部被分为两个密封的腔室,两个腔室分别为吹扫室8和切割室9。所述切割室9用于对硅棒的头部进行切割,切割装置10安装在上分隔板7靠近切割室9的一面上;所述吹扫室8用于对硅棒表面的灰尘进行吹除,由于待切割的硅棒头部不仅附着的灰尘较多,且硅棒的头部不规则,不能直接使用,因此,通过在上分隔板7上安装线切割装置10,使上分隔板7在向下移动时,上分隔板7不仅能通过与下分隔板6的对接而使切割室9和吹扫室8密封,且上分隔板7在向下移动时,上分割板上的切割装置10能有效将硅棒的头部进行切除,减少了硅棒处理的步骤。
当上分隔板7完全向下移动后,上分隔板7的下端与筛网2抵拢,使上分隔板7的下端与下分隔板6对接,此时上分隔板7的上端与箱体1顶部具有一定间隙,使吹扫室8的上端与切割室9的上端连通,但由于切割室9内未存在吹扫装置,因此切割室9内的灰尘并不会进入到吹扫室8内,虽吹扫室8内的灰尘会进入到切割室9内,但切割室9内被切割后的硅棒在切割后并不需要吹扫,从而并不会吹扫室8内硅棒的吹扫造成影响。
为了防止上分隔板7在向下移动过程中,上分割板的下端对硅芯造成破坏,可在上分隔板7的下端开设多个分别与硅棒配合的缺口,使上分隔板7的下端移动至筛网2上时,上分隔板7上的缺口能有效对硅棒进行避让,从而防止硅棒受到破坏;由于在上分隔板7的下端开设缺口,虽然使吹扫室8与切割室9连通,但由于硅棒与缺口之间的间隙较小,因此,切割室9内的灰尘并不会直接进入到吹扫室8内,从而使硅棒的吹扫并不会受到影响。
所述第一吸尘装置5位于吹扫室8内;所述切割室9内还安装有第二吸尘装置11,且第一吸尘装置5、第二吸尘装置11固定安装在箱体1底面上。由于通过上分隔板7与下分隔板6的对接,使吹扫室8和切割室9形成两个密封的腔室,第一吸尘装置5用于将吹扫室8内吹出的吹尘进行集中收集除尘,第二吸尘装置11用于对切割室9内的灰尘进行集中收集除尘,避免灰尘扩散在吹扫室8内或切割室9内,防止吹扫室8和切割室9内的灰尘对硅棒造成二次污染。所述第一吸尘装置5和第二吸尘装置11可以直接采用现有的袋式收尘器、脉冲袋式收尘器、电收尘器、湿式除尘器、电袋除尘器等中的其中一种均可。由于第一吸尘装置5和第二吸尘装置11在收尘过程中,第一吸尘装置5和第二吸尘装置11的收尘口和出风口均位于箱体1内,因此,箱体1内始终保持压力平衡状态。
所述切割装置10包括转动安装在上分隔板7的两个从动轮102,两个从动轮102均位于上分隔板7的下端,且两个从动轮102位于同一水平面上;所述上分隔板7上还固定安装有驱动电机103,驱动电机103的输出端上还固定安装有主动轮101,主动轮101和两个从动轮102上共同绕设有张紧的金属切割线104。
两个所述从动轮102沿上分隔板7的宽度方向设置,两个从动轮102之间的间距可根据硅棒的放置情况进行设计,具体的,两个从动轮102分别位于上分隔板7宽度的两端,且上分隔板7宽度方向的两端均固定安装有销轴,两个从动轮102分别转动安装在销轴上,从而实现从动轮102的转动安装;同时,两个从动轮102安装在同一水平面上,使金属线在对硅棒进行切割时,金属线能同时对多个硅棒进行同步切割,使放置在箱体1内的硅棒能快速的被切割,使硅棒的切割效率更高。所述驱动电机103通过螺钉固定安装在上分隔板7上,且驱动电机103位于两个从动轮102之间,主动轮101通过键连接固定安装在驱动电机103的输出轴上;所述金属切割线104为钼丝,通过将金属切割线104张紧共同绕设在主动轮101和两个从动轮102上,使主动轮101在转动时,主动轮101带动金属切割线104转动,使金属切割线104将摆放的硅棒切断,从而将硅棒的头部切割,不仅使被切割后的硅棒符合使用要求,且有效防止因硅棒头部灰尘较多而导致硅棒受到二次污染,使硅棒的额吹扫效果更好。
所述箱体1的内壁上还开设有与上分隔板7长边配合的导向槽12;所述上分隔板7上还固定安装有竖直延伸的固定齿条13;所述箱体1内壁上还固定安装有正反转电机14,且正反转电机14的输出轴上固定安装有与固定齿条13啮合的齿轮15。
所述导向槽12的长度与箱体1顶部与筛网2之间的距离相等,且导向槽12的宽度与上分隔板7的厚度间隙配合,使箱体1的两个长边分别滑动插设在导向槽12内,使上分隔板7在上下移动时,上分隔板7的两个长边能分别通过两个导向槽12进行导向,保证上分隔板7在上下移动过程中始终保持在同一垂直线上;为了方便,还可采用具有导槽的导向条代替导向槽12,将导向条采用螺钉固定安装在箱体1内壁上,并将上分隔板7的长边滑动插设在导向条的导槽内即可;所述固定齿条13固定安装在上分隔板7的表面上,固定齿条13沿上分隔板7的垂直方向延伸,且为了防止齿条移动过量,齿条的两端还固定安装有限位挡板,限位挡板能有效对齿条的移动进行限位;所述正反转电机14通过螺钉固定安装在切割室9的内壁上,且正反转电机14的型号为5IK90RGU-CF,所述齿轮15通过键连接固定安装在正反转电机14的输出轴上,通过正反转电机14正转,正反转电机14带动齿轮15正转,从而使齿条向下移动,最终使上分隔板7向下移动,随着上分隔板7向下移动,上分割板上的切割装置10对硅棒开始切割,当上分割板继续向下移动时,切割装置10对硅棒完成切割,当上分隔板7向下移动至与筛网2抵拢时,吹扫室8中部与切割室9中部断开连通,此时,吹扫室8内即可对硅棒进行吹扫。当正反转电机14反转,正反转电机14带动齿轮15反转,从而给使齿条向上移动,最终带动上分隔板7向上移动,此时,上分隔板7上的切割装置10随上分隔板7同步向上移动,使切割室9的中部和吹扫室8的中部连通,方便将硅棒放置在箱体1内,且保证硅棒放置在箱体1捏时,硅棒的头部位于切割室9内。
为了方便上分隔板7上下移动,此处的齿轮15齿条传动结构还可采用丝杆螺母20传动的方式进行驱动,具体的,在上分隔板7上固定安装一个螺母20,将正反转电机14固定安装在箱体1顶部,并在正反转电机14的输出轴上固定安装一个螺杆19,并使螺杆19穿过螺母20转动支承在筛网2上即可;同时,齿轮15齿条传动结构还可采用伸缩杆直接代替,即将伸缩杆的一端铰接安装在箱体1的顶部,将伸缩杆的另一端铰接在上分隔板7上即可。
所述箱体1内壁上还挂设有的吹扫枪22,吹扫枪通过人为握持可在箱体内自由移动,具体的,箱体1内壁上安装有挂钩,吹扫枪22直接挂设在挂钩上即可,吹扫枪22主要针对箱体1内壁附着的灰尘进行吹扫,当箱体1内的某个地方需要进行吹扫时,即可直接将吹扫枪22从挂钩上取下,将吹扫枪22与待吹扫的位置对应进行吹扫即可,方便对箱体1内部角落处的灰尘进行吹扫,使箱体1内保持清洁。所述吹扫枪22的结构与吹扫头41的结构相同,且吹扫枪22还可直接采用现有的风枪结构。
当需要对硅棒进行吹扫时,打开箱体1的开关门,启动正反转电机14,使正反转电机14反转,正反转电机14在反转时,正反转电机14上的齿轮15随正反转电机14同步反转,齿轮15在反转时,通过齿轮15与齿条的啮合,齿轮15在反向转动时,齿条向上移动,由于齿条固定安装在上分隔板7上,即使齿条在向上移动时,上分隔板7随齿条同步向上移动,从而给使切割室9的中部与吹扫室8的中部连通;当上分隔板7的上端与箱体1的内顶面抵紧时,上分隔板7不能继续向上移动,即齿条不能继续向上移动,此时齿轮15不能继续转动,正反转电机14停止转动。
将硅棒共同放置多个纵向支撑杆211上,由于相邻两个纵向支撑杆211之间存在间距,使放置在纵向支撑杆211上较短的硅棒或破碎的硅棒自动通过相邻两个纵向支撑杆211之间的间距自动掉落至筛网2上,从而给使硅棒实现自动分拣。
当硅棒完成自动分拣后,将存留在纵向支撑杆211硅棒依次卡设在U型卡上,在硅棒卡设的过程中,需保证硅棒的待切割部分延伸至切割室9内,且硅棒的待切割位置则与金属切割线104垂直对应,并将硅棒的后端卡设在位于吹扫室8内的U型卡上,即实现对硅棒的固定。
关闭箱体1上的开关门,启动正反转电机14,使正反转电机14正转,正反转电机14在正转时,正反转电机14上的齿轮15随正反转电机14同步正转,齿轮15在反转时,通过齿轮15与齿条的啮合,齿轮15在正向转动时,齿条向下移动,由于齿条固定安装在上分隔板7上,即使齿条在向下移动时,上分隔板7随齿条同步向下移动,当上分隔板7的下端与箱体1的筛网2抵紧时,上分隔板7不能继续向下移动,即齿条不能继续向下移动,此时齿轮15不能继续转动,正反转电机14停止转动,此时,切割室9的中部与吹扫室8的中部断开连通,切割室9的上部与吹扫室8的上部连通。
在上分隔板7向下移动的同时,驱动电机103启动,使固定安装在驱动电机103输出轴上的主动轮101转动,主动轮101转动时带动共同绕设在主动轮101和两个从动轮102上的金属切割线104进行传动,由于金属切割线104的传动速度较快,因此,当上分隔板7逐渐向下移动时,金属切割线104逐渐对硅棒进行切割,当上分隔板7移动至最低端时,金属切割线104将硅棒完全切断,此时驱动电机103停止转动;在硅棒切割过程中,第二吸尘装置11启动,第二吸尘装置11将硅棒切割过程中产生的灰尘进行收集,从而防止灰尘进入到吹扫室8内。
当硅棒切割完毕后,关闭第二收尘装置11,启动增压泵23,增压泵23将过滤后的压缩空气通过送风管道24送入到吹扫头41中的弧形空心管221内,而进入到弧形空心管221内的压缩空气则直接通过出气孔222排出,在此同时,丝杆驱动电机18正转,丝杆驱动电机18带动螺杆19转动,螺杆19在转动时,与螺杆19配合的螺帽沿螺杆19前进,由于螺母20与安装板42固定,从而使螺帽在沿螺杆19前进时,安装板42随螺帽同步前进,而安装板42在前进过程中,固定安装在安装板42上的吹扫头41同步移动,使吹扫枪22沿硅棒的长度方向前进,使通过出气孔222排出的压缩空气沿硅棒的长度方向依次吹送,当安装板42移动至螺杆19的前端时,安装板42不能继续前进,此时增压泵23停止作业,即出气孔222停止吹气;此时,丝杆驱动电机18反向转动,丝杆驱动电机18带动螺杆19反转,螺杆19在反转时,螺杆19带动螺母20复位,从而使安装板42复位。
在吹扫的过程中,启动第一收尘装置5,第一吸尘装置5将硅棒吹到过程中产生的灰尘进行收集,防止灰尘附着在箱体1内壁或漂浮在吹扫室8内,而当吹扫室8内吹扫完毕后,第一收尘装置5停止作业。启动正反转电机14,使正反转电机14正转,正反转电机14在正转时,正反转电机14上的齿轮15随正反转电机14同步正转,齿轮15在反转时,通过齿轮15与齿条的啮合,齿轮15在正向转动时,齿条向下移动,由于齿条固定安装在上分隔板7上,即使齿条在向下移动时,上分隔板7随齿条同步向下移动,当上分隔板7的下端与箱体1的筛网2抵紧时,上分隔板7不能继续向下移动,即齿条不能继续向下移动,此时齿轮15不能继续转动,正反转电机14停止转动,此时,切割室9的中部与吹扫室8的中部断开连通,切割室9的上部与吹扫室8的上部连通。
最后,打开箱体1上的开关门,先将完成吹扫的硅棒从箱体1内取出,在将切割的硅棒头部取出,最后将掉落在筛网2上的短节硅棒和硅棒碎片取出即可。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,包括具有开关门的箱体;所述箱体内安装有用于放置硅棒的盛放机构和用于吹扫硅棒的吹扫装置;所述箱体内还安装有吸尘装置。
2.根据权利要求1所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述盛放机构包括水平安装在箱体内的筛网;所述筛网的上方还设有硅棒支撑架。
3.根据权利要求2所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述硅棒支撑架包括多个纵向支撑杆,多个纵向支撑杆沿箱体的宽度方向均匀间隔排布;所述纵向支撑杆上还固定安装有多个限位结构,且每个纵向支撑杆上的限位结构均一一对应。
4.根据权利要求3所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述每个所述纵向支撑杆上的限位结构均为多个,多个限位结构沿纵向支撑杆的长度方向均匀间隔排布,且限位结构为U型卡;所述吹扫头为多个,多个吹扫头与多个限位结构一一对应。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述吹扫装置包括安装在盛放机构上方的安装板和安装在安装板上的吹扫头。
6.根据权利要求5所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述吹扫头包括弧形空心管;所述弧形空心管内侧还开设有多个出气孔;所述机箱上还安装有增压泵,增压泵的输出端与弧形空心管之间连接有送风管道。
7.根据权利要求5所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述吹扫室内还安装有两个与沿筛网长度方向延伸的导向杆;所述安装板的两端均开设有与导向杆配合的通孔,通孔与导向杆滑动配合;所述吹扫室内还安装有驱动安装板的驱动机构;所述驱动机构包括固定安装在箱体内壁上的丝杆驱动电机;所述箱体的内壁上还支承有转动的螺杆,安装板的顶面安装有与螺杆配合的螺母;所述丝杆驱动电机与螺杆固定连接。
8.根据权利要求1至4中任意一项所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述箱体底面上还固定安装有垂直的下分隔板,下分隔板的上端与筛网固定;所述筛网的上方还安装有可上下移动的上分隔板,上分隔板的下端与下分隔板的上端对接,上分隔板与下分隔板配合将箱体分为呈左右分布的切割室和吹扫室;所述上分隔板的下端还固定安装有切割装置,且切割装置位于切割室内;所述切割室和吹扫室内均设有吸尘装置。
9.根据权利要求8所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述切割装置包括转动安装在上分隔板的两个从动轮,两个从动轮均位于上分隔板的下端,且两个从动轮位于同一水平面上;所述上分隔板上还固定安装有驱动电机,驱动电机的输出端上还固定安装有主动轮,主动轮和两个从动轮上共同绕设有张紧的金属切割线。
10.根据权利要求9所述的还原炉硅棒出炉装置,其特征在于,所述箱体的内壁上还开设有与上分隔板长边配合的导向槽;所述上分隔板上还固定安装有竖直延伸的固定齿条;所述箱体内壁上还固定安装有正反转电机,且正反转电机的输出轴上固定安装有与固定齿条啮合的齿轮。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113371716A (zh) * 2020-03-10 2021-09-10 信越化学工业株式会社 底板的污染防止方法
CN114351085A (zh) * 2021-12-30 2022-04-15 苏州吉恒纳米科技有限公司 真空镀膜前热处理吹扫设备

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4044937A (en) * 1975-10-21 1977-08-30 International Business Machines Corporation Multiple ball element wafer breaking apparatus
CN204235727U (zh) * 2014-11-24 2015-04-01 浙江勒托新材料有限公司 一种硅棒切割锯床
CN205366414U (zh) * 2016-02-02 2016-07-06 苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司 一种硅棒存放装置
CN107972191A (zh) * 2017-12-05 2018-05-01 河南格锐新材料科技有限公司 一种碳硅棒加工用定位装置
CN108081483A (zh) * 2017-12-27 2018-05-29 吴肖慧 一种用于碳硅棒切割装置
CN108654816A (zh) * 2018-05-04 2018-10-16 亚洲硅业(青海)有限公司 一种多晶硅硅棒破碎系统及破碎方法
CN208035032U (zh) * 2018-02-09 2018-11-02 福州天瑞线锯科技有限公司 一种硅晶加工装置
CN109571788A (zh) * 2018-02-28 2019-04-05 福州大学 一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备
CN209009498U (zh) * 2018-11-13 2019-06-21 新疆泰宇达环保科技有限公司 硅切割渣回收生产线用移动工装

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4044937A (en) * 1975-10-21 1977-08-30 International Business Machines Corporation Multiple ball element wafer breaking apparatus
CN204235727U (zh) * 2014-11-24 2015-04-01 浙江勒托新材料有限公司 一种硅棒切割锯床
CN205366414U (zh) * 2016-02-02 2016-07-06 苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司 一种硅棒存放装置
CN107972191A (zh) * 2017-12-05 2018-05-01 河南格锐新材料科技有限公司 一种碳硅棒加工用定位装置
CN108081483A (zh) * 2017-12-27 2018-05-29 吴肖慧 一种用于碳硅棒切割装置
CN208035032U (zh) * 2018-02-09 2018-11-02 福州天瑞线锯科技有限公司 一种硅晶加工装置
CN109571788A (zh) * 2018-02-28 2019-04-05 福州大学 一种带有随动升降过滤溶液箱的金刚石线锯切割设备
CN108654816A (zh) * 2018-05-04 2018-10-16 亚洲硅业(青海)有限公司 一种多晶硅硅棒破碎系统及破碎方法
CN209009498U (zh) * 2018-11-13 2019-06-21 新疆泰宇达环保科技有限公司 硅切割渣回收生产线用移动工装

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113371716A (zh) * 2020-03-10 2021-09-10 信越化学工业株式会社 底板的污染防止方法
CN114351085A (zh) * 2021-12-30 2022-04-15 苏州吉恒纳米科技有限公司 真空镀膜前热处理吹扫设备
CN114351085B (zh) * 2021-12-30 2024-04-09 苏州吉恒纳米科技有限公司 真空镀膜前热处理吹扫设备

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