CN110303768B - 液体喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液体喷出装置，其具备：驱动电路，其从驱动信号输出端子中输出驱动信号；基准电压电路，其从基准电压信号输出端子中输出基准电压信号；压电元件，其具有被供给有驱动信号的第一电极和被供给有基准电压信号的第二电极，并通过在第一电极与第二电极之间产生的电位差而进行位移；空腔，其填充有伴随着压电元件的位移而从喷嘴中喷出的液体；振动板，其被设置于空腔与压电元件之间，基准电压电路包括电压生成部和电压检测部，电压生成部生成基准电压信号，电压检测部对基准电压信号的电压值进行检测，在基准电压信号的电压值超过了第一阈值的情况下，电压检测部使电压生成部的动作停止，且使基准电压信号输出端子与接地端子电连接。

Description

液体喷出装置

技术领域

本发明涉及一种液体喷出装置。

背景技术

在喷出油墨等液体而对图像或文件进行印刷的喷墨打印机(液体喷出装置)中，已知一种使用了例如压电式(piezo)元件等压电元件的喷墨打印机。压电元件在打印头中与喷出油墨的多个喷嘴、以及对从喷嘴中喷出的油墨进行贮留的空腔对应地设置。而且，通过压电元件根据驱动信号而进行位移，从而使设置于压电元件与空腔之间的振动板挠曲，而使空腔的容积发生变化。由此，在预定的时刻从喷嘴中喷出预定量的油墨，而在介质上形成点。

在专利文献1中，公开了一种液体喷出装置，该液体喷出装置针对根据上部电极与下部电极之间的电位差而进行位移的压电元件，而向上部电极供给根据印刷数据而生成的驱动信号，向下部电极供给基准电压，并通过选择电路(开关电路)而对是否供给驱动信号进行控制，从而对压电元件的位移进行控制，并喷出油墨。

在如专利文献1所记载的那样根据压电元件的位移而喷出油墨的液体喷出装置中，在向压电元件供给非意图的电压的情况下，在该压电元件中产生非意图的位移。在压电元件中产生非意图的位移的情况下，振动板也根据该位移而进行位移。其结果为，在振动板中产生与设想相比较大的位移，在振动板中施加有非意图的应力。

在这样的振动板中所产生的非意图的应力长时间持续地施加的情况下，应力会以振动板与空腔的接点为中心而集中，有可能在振动板中产生裂纹等。

而且，在振动板中产生非意图的位移的状态起转变为喷出动作的情况下，在振动板上施加有所需以上的负荷，也有可能通过该负荷而在振动板中产生裂纹等。

假设在振动板中产生裂纹的情况下，贮留于空腔中的油墨从该裂纹中漏出，在相对于空腔的容积的变化而被喷出的油墨量中产生偏差。其结果为，油墨的喷出精度恶化。

尤其是，有时向下部电极供给的基准电压在打印头中被共用地向多个压电元件供给。因此，在基准电压成为非意图的电位的情况下，会给多个压电元件60以及振动板621的位移造成影响。即在多个振动板621中有可能产生裂纹，也有可能给液体喷出装置整体的喷出精度造成影响。

这样的由于在压电元件中施加非意图的电压所引起的、对于压电元件以及振动板所产生的位移的课题，为专利文献1中也没有公开的新课题。

专利文献1：日本特开2017-43007号公报

发明内容

本发明所涉及的液体喷出装置的一个方式具备：具备：驱动电路，其从驱动信号输出端子中输出驱动信号；基准电压电路，其从基准电压信号输出端子中输出基准电压信号；压电元件，其具有第一电极和第二电极，所述第一电极被供给有所述驱动信号，所述第二电极被供给有所述基准电压信号，所述压电元件通过在所述第一电极与所述第二电极之间产生的电位差而进行位移；空腔，其填充有伴随着所述压电元件的位移而从喷嘴中喷出的液体；振动板，其被设置于所述空腔与所述压电元件之间，所述基准电压电路包括电压生成部和电压检测部，所述电压生成部生成所述基准电压信号，所述电压检测部对所述基准电压信号的电压值进行检测，在所述基准电压信号的所述电压值超过了第一阈值的情况下，所述电压检测部使所述电压生成部的动作停止，且使所述基准电压信号输出端子与接地端子电连接。

在所述液体喷出装置的一个方式中，也可以采用如下的方式，即，所述基准电压电路包括：第一开关电路，其对是否向所述电压生成部供给电源电压进行切换；第二开关电路，其对是否使所述基准电压信号输出端子和所述接地端子电连接进行切换，所述电压检测部在所述基准电压信号的所述电压值超过了所述第一阈值的情况下，输出停止信号，所述第一开关电路根据所述停止信号而使所述电源电压向所述电压生成部的供给停止，所述第二开关电路根据所述停止信号而使所述基准电压信号输出端子和所述接地端子电连接。

在所述液体喷出装置的一个方式中，也可以采用如下的方式，即，所述电压生成部具有：第一比较器，其对第一参照电压和基于所述基准电压信号的信号进行比较；第一晶体管，其根据所述第一比较器的比较结果，而对是否使电源端子与所述基准电压信号输出端子电连接进行切换，在所述基准电压信号的所述电压值超过了所述第一阈值的情况下，所述第一开关电路根据所述停止信号而使所述电源电压向所述第一比较器的供给停止。

在所述液体喷出装置的一个方式中，也可以采用如下的方式，即，所述基准电压电路包括钳位电路，所述钳位电路在所述基准电压信号的所述电压值超过了低于所述第一阈值的第二阈值的情况下，使所述基准电压信号输出端子与所述接地端子电连接。

在所述液体喷出装置的一个方式中，也可以采用如下的方式，即，所述钳位电路具有：第二比较器，其对第二参照电压和基于所述基准电压信号的信号进行比较；第二晶体管，其根据所述第二比较器的比较结果，而对是否使所述基准电压信号输出端子和所述接地端子电连接进行切换，在所述基准电压信号的所述电压值超过了所述第二阈值的情况下，所述第二晶体管使所述基准电压信号输出端子与所述接地端子电连接。

本发明所涉及的液体喷出装置的一个方式具备：驱动电路，其从驱动信号输出端子中输出驱动信号；基准电压电路，其从基准电压信号输出端子中输出基准电压信号；压电元件，其具有第一电极和第二电极，所述第一电极被供给有所述驱动信号，所述第二电极被供给有所述基准电压信号，所述压电元件通过在所述第一电极与所述第二电极之间产生的电位差而进行位移；空腔，其填充有伴随着所述压电元件的位移而从喷嘴中喷出的液体；振动板，其被设置于所述空腔与所述压电元件之间；开关电路，其具有第一端子和第二端子，并对所述驱动信号向所述第一电极的供给进行控制，其中，所述第一端子被供给有所述驱动信号，所述第二端子与所述第一电极电连接，所述基准电压电路包括电压生成部和电压检测部，所述电压生成部生成所述基准电压信号，所述电压检测部对所述基准电压信号的电压值进行检测，在所述基准电压信号的所述电压值超过了第一阈值的情况下，所述电压检测部使所述电压生成部的动作停止，且经由所述开关电路的寄生二极管而使所述第一电极和所述第二端子被电连接在一起的第一节点的电荷释放。

在所述液体喷出装置的一个方式中，也可以采用如下的方式，即，在所述基准电压信号的所述电压值超过了第一阈值的情况下，使驱动信号输出端子和所述第一端子被电连接在一起的第二节点的电荷释放。

本发明所涉及的液体喷出装置的一个方式具备：驱动电路，其从驱动信号输出端子中输出驱动信号；基准电压电路，其从基准电压信号输出端子中输出基准电压信号；压电元件，其具有第一电极和第二电极，所述第一电极被供给有所述驱动信号，所述第二电极被供给有所述基准电压信号，所述压电元件通过在所述第一电极与所述第二电极之间产生的电位差而进行位移；空腔，其填充有伴随着所述压电元件的位移而从喷嘴中喷出的液体；振动板，其被设置于所述空腔与所述压电元件之间，所述基准电压电路包括第一放电晶体管和第二放电晶体管，所述第二放电晶体管与所述第一放电晶体管相比，额定电容较大，所述第一放电晶体管的一端以及所述第二放电晶体管的一端与所述基准电压信号输出端子电连接，所述第一放电晶体管的另一端以及所述第二放电晶体管的另一端与接地端子电连接。

附图说明

图1为表示液体喷出装置的概要结构的立体图。

图2为表示液体喷出装置的电结构的框图。

图3为表示驱动信号生成电路的电路结构的框图。

图4为表示供电切换电路的电结构的电路图。

图5为表示驱动信号COM的一个示例的图。

图6为表示喷出模块以及驱动IC的电结构的框图。

图7为表示选择电路的电结构的电路图。

图8为表示解码器中的解码内容的图。

图9为用于对驱动IC的动作进行说明的图。

图10为喷出模块的分解立体图。

图11为表示喷出部的概要结构的剖视图。

图12为表示喷出模块以及设置于喷出模块中的多个喷嘴的配置的一个示例的图。

图13为表示用于对压电元件以及振动板的位移与喷出之间的关系进行说明的图。

图14为用于对压电元件的电极的电压值上升的情况下的压电元件以及振动板的位移、以及在振动板中产生的应力进行说明的图。

图15为在从方向Z观察振动板的情况下的俯视图。

图16为例示了在振动板中产生一阶的固有振动的情况的图。

图17为例示了在振动板中产生三阶的固有振动的情况的图。

图18为表示基准电压电路的电结构的电路图。

图19为用于对生成了预定的电压的基准电压信号VBS的情况下的动作进行说明的图。

图20为用于对在基准电压信号VBS的电压上升的情况下控制该电压值时的动作进行说明的图。

图21为用于对在基准电压信号VBS的电压上升到预定的值以上的情况下使基准电压信号VBS的电压释放时的动作进行说明的图。

图22为用于对使压电元件的电极611的电荷释放的放电单元进行说明的图。

图23为示意性地表示构成传输门的晶体管的剖视图。

具体实施方式

以下，利用附图，对本发明的优选的实施方式进行说明。所使用的附图为便于进行说明的图。并且，以下所说明的本实施方式并非对权利要求书中所记载的本发明的内容进行不当限定的方式。另外，以下所说明的全部结构也并不一定都是本发明的必要结构要件。

以下，举出作为液体而喷出油墨的印刷装置即喷墨打印机为例，对本发明所涉及的液体喷出装置进行说明。

并且，作为液体喷出装置，例如，可以举出喷墨打印机等印刷装置、使用于液晶显示器等的彩色滤波器的制造中的颜色材料喷出装置、使用于有机EL(ElectroLuminescence，电致发光)显示器、面发光显示器等的电极形成中的电极材料喷出装置、使用于生物芯片制造中的生物体有机物喷出装置等。

1液体喷出装置的结构

作为本实施方式所涉及的液体喷出装置的一个示例的印刷装置为，通过根据从外部的主机供给的图像数据而喷出油墨，从而在纸等印刷介质上形成点，并对包含与该图像数据相应的文字、图形等在内的图像进行印刷的喷墨打印机。

图1为表示液体喷出装置1的概要结构的立体图。在图1中，图示了输送介质P的方向X、与方向X交叉且移动体2往复移动的方向Y、喷出油墨的方向Z。并且，在本实施方式中，方向X、方向Y、方向Z作为相互正交的轴，进行说明。

如图1所示，液体喷出装置1具备移动体2、和使移动体2沿着方向Y进行往复移动的移动机构3。

移动机构3具有成为移动体2的驱动源的滑架电机31、两端被固定的滑架引导轴32、大致与滑架引导轴32平行延伸且通过滑架电机31而被驱动的同步带33。

移动体2所含的滑架24以往复移动自如的方式被支承于滑架引导轴32上，并且，被固定于同步带33的一部分上。因此，通过由滑架电机31对同步带33进行驱动，从而使移动体2被滑架引导轴32引导而沿着方向Y进行往复移动。

在移动体2中的与介质P对置的部分上设置有头单元20。该头单元20具有大量的喷嘴，油墨从各个喷嘴中沿着方向Z而被喷出。另外，在头单元20中，经由柔性电缆190而供给有控制信号等。

液体喷出装置1具备使介质P沿着方向X在压印板40上被输送的输送机构4。输送机构4具备作为驱动源的输送电机41、和通过输送电机41进行旋转并将介质P沿着方向X进行输送的输送辊42。

而且，在介质P通过输送机构4而被输送的时刻，通过头单元20向介质P喷出油墨，从而在介质P的表面上形成图像。

图2为表示液体喷出装置1的电结构的框图。

如图2所示，液体喷出装置1具有控制单元10以及头单元20。另外，控制单元10和头单元20经由柔性电缆190而被连接。

控制单元10具备控制电路100、滑架电机驱动器35、输送电机驱动器45以及电压生成电路90。

控制电路100根据从主机供给的图像数据，而供给用于对各种结构进行控制的多个控制信号等。

具体而言，控制电路100向滑架电机驱动器35供给控制信号CTR1。滑架电机驱动器35根据控制信号CTR1而对滑架电机31进行驱动。由此，对图1所示的滑架24的方向Y上的移动进行控制。

另外，控制电路100向输送电机驱动器45供给控制信号CTR2。输送电机驱动器45根据控制信号CTR2而对输送电机41进行驱动。由此，对由图1所示的输送机构4所实施的介质P在方向X上的移动进行控制。

另外，控制电路100向头单元20供给时钟信号SCK、印刷数据信号SI、锁存信号LAT、转换信号CH、驱动数据信号DRV以及选择信号EN。

电压生成电路90生成例如DC42V的电压VHV，并将其向头单元20供给。并且，电压VHV也可以被向控制单元10所含的各种结构供给。

头单元20具备驱动信号生成电路50、供电切换电路70、驱动IC80以及喷出模块21。

对于驱动信号生成电路50，供给有电压VHV、驱动数据信号DRV以及选择信号EN。

驱动信号生成电路50通过将基于驱动数据信号DRV的信号D级放大为基于电压VHV的电压，从而生成驱动信号COM，并将其向驱动IC80供给。另外，驱动信号生成电路50生成使电压VHV降压后的例如DC5V的基准电压信号VBS，并将其向喷出模块21供给。另外，驱动信号生成电路50根据驱动数据信号DRV而生成供电控制信号CTVHV，并将其向供电切换电路70供给。在此，选择信号EN为，用于对被向驱动信号生成电路50供给的驱动数据信号DRV是用于生成驱动信号COM的数据信号还是用于生成供电控制信号CTVHV的数据信号进行指示的信号。

另外，驱动信号生成电路50在生成的驱动信号COM并非正常的情况下，将错误信号ERR向控制电路100供给。

对于供电切换电路70，供给有电压VHV以及供电控制信号CTVHV。供电切换电路70根据供电控制信号CTVHV，而实施是将向驱动IC80供给的电压VHV-TG的电位设为基于电压VHV的电位或是设为接地电位的切换。

对于驱动IC80，供给有时钟信号SCK、印刷数据信号SI、锁存信号LAT、转换信号CH、电压VHV-TG以及驱动信号COM。

驱动IC80根据时钟信号SCK、印刷数据信号SI、锁存信号LAT、转换信号CH，而对在预定的期间内是选择驱动信号COM还是设为不选择驱动信号COM进行切换。而且，通过驱动IC80而被选择出的驱动信号COM作为驱动信号VOUT而被向喷出模块21供给。并且，电压VHV-TG被使用于对例如驱动信号COM进行选择的高电压逻辑的信号生成中。

喷出模块21具有包含压电元件60在内的多个喷出部600。

向喷出模块21供给的驱动信号VOUT被向压电元件60的一端供给。另外，对于压电元件60的另一端，供给有基准电压信号VBS。压电元件60根据驱动信号VOUT与基准电压信号VBS之间的电位差而进行位移。而且，从喷出部600喷出与该位移相应的量的油墨。

并且，关于上述的驱动信号生成电路50、供电切换电路70、驱动IC80以及喷出模块21的详细情况，将在后文叙述。另外，在图2中设为，液体喷出装置1所具备的头单元20为一个，并进行了说明，但也可以具备多个头单元20。另外，在图2中设为，头单元20所具有的喷出模块21为一个，并进行了说明，但也可以具备多个喷出模块21。

2驱动信号生成电路的结构以及动作

接下来，利用图3，对驱动信号生成电路50进行说明。图3为表示驱动信号生成电路50的电路结构的框图。如图3所示，驱动信号生成电路50具有集成电路500、输出电路550、第一反馈电路570、第二反馈电路580以及其他多个电路元件。

另外，驱动信号生成电路50具有用于与外部的各种结构进行电连接的、包含端子Drv-In、En-In、Err-Out、Vhv-In、Vbs-Out、Ctvh-Out、Com-Out、Gnd-In在内的多个端子。其中，对于端子Gnd-In，供给有液体喷出装置1的接地电位(例如0V)。

集成电路500包括GVDD生成电路410、信号选择电路420、供电控制信号生成电路430、基准电压电路450、DAC(Digital to Analog Converter，模数转换器)电路310、检测电路320、判断电路350、调制电路510、栅极驱动电路520以及LC放电电路530。

另外，集成电路500具有用于与驱动信号生成电路50的各种结构进行电连接的、包括端子Drv、En、Err、Vhv、Vfb、Vbs、Ctvh、Bst、Hdr、Sw、Gvd、Ldr、Gnd在内的多个端子。

对于GVDD生成电路410，经由端子Vhv-In以及端子Vhv而供给有电压VHV。GVDD生成电路410使电压VHV进行变压，生成电压GVDD，并将其向基准电压电路450以及栅极驱动电路520供给。

GVDD生成电路410例如由线性稳压器电路或开关稳压器电路构成。并且，GVDD生成电路410也可以被设置于集成电路500的外部。

对于信号选择电路420，经由端子Drv-In以及端子Drv而供给有驱动数据信号DRV，另外，经由端子En-In以及端子En而供给有选择信号EN。信号选择电路420根据选择信号EN，而对驱动数据信号DRV是应该向DAC电路310供给的信号、还是应该分别向供电控制信号生成电路430以及LC放电电路530供给的信号进行判断，并分别向对应的结构供给。

具体而言，信号选择电路420具备未图示的多个寄存器。而且，在驱动数据信号DRV是应该向DAC电路310供给的信号的情况下，信号选择电路420根据选择信号EN而将驱动数据信号DRV保持在与DAC电路310相对应的多个寄存器中。而且，信号选择电路420将保持的信号作为数字的原始驱动信号dA而向DAC电路310供给。

另一方面，在驱动数据信号DRV是分别向供电控制信号生成电路430以及LC放电电路530供给的信号的情况下，信号选择电路420根据选择信号EN，而将驱动数据信号DRV中的、与供电控制信号生成电路430以及LC放电电路530各自相对应的数据保持在预定的寄存器中。而且，信号选择电路420将保持的信号设为放电控制信号DIS1、DIS2而分别向供电控制信号生成电路430以及LC放电电路530供给。

另外，控制信号STOP被从基准电压电路450向信号选择电路420供给。信号选择电路420在已被供给有控制信号STOP的情况下，不依赖于驱动数据信号DRV以及选择信号EN，而在预定的寄存器中对与供电控制信号生成电路430以及LC放电电路530各自相对应的预定的数据进行保持。而且，信号选择电路420将保持的信号作为放电控制信号DIS1、DIS2而分别向供电控制信号生成电路430以及LC放电电路530供给。另外，在信号选择电路420已被供给有控制信号STOP的情况下，驱动信号生成电路50使驱动信号COM的生成停止。并且，关于控制信号STOP的详细情况，将在后文叙述。

在供电控制信号生成电路430中，供给有放电控制信号DIS1。供电控制信号生成电路430包括未图示的漏极开路电路。而且，供电控制信号生成电路430在被供给的放电控制信号DIS1是表示激活的信号的情况下，将该漏极开路电路控制为断开，将端子Ctvh设为高阻抗。

另一方面，供电控制信号生成电路430在放电控制信号DIS1是表示非激活的信号的情况下，将漏极开路电路控制为导通，并将端子Ctvh设为接地电位。此时，L电平的供电控制信号CTVHV经由端子Ctvh以及端子Ctvh-Out而被向图2所示的供电切换电路70供给。

并且，在后文所述的图22等的说明中，将供电控制信号生成电路430所含的漏极开路电路设为由NMOS(N型金属氧化物半导体)晶体管构成，并进行说明。另外，设为，对于该N型金属氧化物半导体晶体管的栅极端子，经由反相器电路而供给有放电控制信号DIS1，并进行说明。因此，在本实施方式中设为，放电控制信号DIS1表示激活的信号为H电平的信号，放电控制信号DIS1表示非激活的信号为L电平的信号，并进行说明。并且，供电控制信号生成电路430并未被限定于漏极开路电路，也可以由例如推挽电路构成。

对于基准电压电路450，供给有电压GVDD。基准电压电路450使被供给的电压GVDD降压，并生成基准电压信号VBS。

在基准电压电路450中生成的基准电压信号VBS经由端子Vbs以及端子Vbs-Out而被向图2所示的喷出模块21供给。该基准电压信号VBS作为成为压电元件60进行位移的基准的基准电压而发挥功能。

DAC电路310将原始驱动信号dA转换为模拟的原始驱动信号aA，并将其向调制电路510供给。另外，DAC电路310将基于原始驱动信号dA的数字信号向检测电路320供给。

检测电路320对基于从DAC电路310供给的原始驱动信号dA的信号是否在预定的范围内进行检测。

判断电路350根据检测电路320的检测结果而对原始驱动信号dA是否正常进行判断。而且，在判断为原始驱动信号dA不正常的情况下，判断电路350生成错误信号ERR，并经由端子Err以及端子Err-Out而将其向图2所示的控制电路100供给。

调制电路510包括加法器512、加法器513、比较器514、反相器515、积分衰减器516以及衰减器517。

积分衰减器516使经由端子Vfb而被供给的驱动信号COM的电压信号衰减，并且进行积分，且将该电压信号向加法器512的输入端(-)供给。

对于加法器512的输入端(+)，供给有原始驱动信号aA。加法器512从向输入端(+)供给的原始驱动信号aA中，减去从积分衰减器516向加法器512的输入端(-)供给的电压信号，并进行积分。而且，将该减去并积分的电压信号向加法器513的输入端(+)供给。

在此，原始驱动信号aA的最大电压例如为2V左右的低电压，与此相对，有时驱动信号COM的最大电压例如成为40V左右的高电压。因此，积分衰减器516为了在求取偏差时使两电压的振幅范围相一致，而使驱动信号COM的电压衰减。

衰减器517使经由端子Ifb而被输入的驱动信号COM的电压信号的高频成分衰减，并将该电压向加法器513的输入端(-)供给。

加法器513将从由加法器512向输入端(+)供给的电压中减去由衰减器517向输入端(-)供给的电压后得到的电压信号As，向比较器514输出。

从该加法器513输出的电压信号As为，从原始驱动信号aA的电压中减去向端子Vfb供给的电压，进而减去向端子Ifb供给的电压后得到的电压。即，电压信号As为，对于从作为目标的原始驱动信号aA的电压中减去所输出的驱动信号COM的衰减电压后得到的偏差，通过该驱动信号COM的高频成分而进行了补正的电压信号。

比较器514根据从加法器513供给的电压信号As而生成调制信号Ms。具体而言，比较器514在从加法器513供给的电压信号As的电压在上升的情况下、且成为预定的阈值Vth1以上的情况下，生成H电平的调制信号Ms。另外，比较器514在电压信号As的电压在下降的情况下、且低于预定的阈值Vth2的情况下，生成L电平的调制信号Ms。并且，阈值Vth1以及阈值Vth2被设定为阈值Vth1>阈值Vth2的关系。

比较器514将生成的调制信号Ms向栅极驱动电路520所含的第一栅极驱动器521供给。另外，比较器514将生成的调制信号Ms经由反相器515而向栅极驱动电路520所含的第二栅极驱动器522供给。因此，从比较器514向第一栅极驱动器521供给的信号和向第二栅极驱动器522供给的信号的相互的逻辑电平处于排他性关系。

在此，向第一栅极驱动器521以及第二栅极驱动器522供给的信号的逻辑电平处于排他性关系的情况，包含以向第一栅极驱动器521以及第二栅极驱动器522供给的信号的逻辑电平不会同时成为H电平的方式对时序进行控制的概念。

栅极驱动电路520包含第一栅极驱动器521以及第二栅极驱动器522。

第一栅极驱动器521对从比较器514输出的调制信号Ms的电压进行电平转换，并作为第一放大控制信号Hgd而从端子Hdr输出。

具体而言，在第一栅极驱动器521的电源电压中的高电位侧，经由端子Bst而供给有电压，在低电位侧，经由端子Sw而供给有电压。端子Bst共同地与设置于集成电路500的外部的电容器541的一端以及逆流防止用的二极管542的阴极端子相连接。另外，电容器541的另一端与端子Sw相连接。另外，二极管542的阳极端子与供给有电压GVDD的端子Gvd相连接。因此，端子Bst与端子Sw之间的电位差大致与电容器541的两端的电位差、即电压GVDD大致相等。而且，第一栅极驱动器521根据所输入的调制信号Ms，生成比端子Sw大电压GVDD的电压的第一放大控制信号Hgd，并从端子Hdr输出。

第二栅极驱动器522在与第一栅极驱动器521相比靠低电位侧进行动作。第二栅极驱动器522对从比较器514输出的调制信号Ms通过反相器515而被反转的信号的电压进行电平转换，并作为第二放大控制信号Lgd而从端子Ldr输出。

具体而言，在第二栅极驱动器522的电源电压中的高电位侧，供给有电压GVDD，在低电位侧，供给有接地电位。而且，第二栅极驱动器522根据所供给的调制信号Ms的反转信号，而生成比端子Gnd大电压GVDD的电压的第二放大控制信号Lgd，并从端子Ldr输出。

LC放电电路530包括电阻531以及晶体管532。并且，以下，将晶体管532设为N型金属氧化物半导体晶体管进行说明。

电阻531的一端与端子Vfb相连接。另外，电阻531的另一端与晶体管532的漏极端子相连接。

对于晶体管532的栅极端子，供给有放电控制信号DIS2。另外，对于晶体管532的源极端子，供给有接地电位。

而且，在对于晶体管532的栅极端子供给有H电平的放电控制信号DIS2的情况下，晶体管532被控制为导通。此时，对于输出驱动信号COM的端子Com-Out，经由电阻531、571以及晶体管532而供给有接地电位。换言之，晶体管532以可对端子Com-Out与接地电位之间的电连接进行切换的方式设置。

输出电路550具有晶体管551、552、电阻553、554以及低通滤波器560(Low PassFilter)。并且，以下，将晶体管551、552设为N型金属氧化物半导体晶体管进行说明。

对于晶体管551的漏极端子，供给有电压VHV。另外，晶体管551的栅极端子与电阻553的一端相连接。另外，晶体管551的源极端子与端子Sw相连接。电阻553的另一端与端子Hdr相连接。因此，对于晶体管551的栅极端子，供给有第一放大控制信号Hgd。

晶体管552的漏极端子与晶体管551的源极端子相连接。另外，晶体管552的栅极端子与电阻554的一端相连接。另外，对于晶体管552的源极端子，供给有接地电位。电阻554的另一端与端子Ldr相连接。因此，对于晶体管552的栅极端子，供给有第二放大控制信号Lgd。

在如上所述连接的晶体管551、552中，在晶体管551被控制为断开、晶体管552被控制为导通的情况下，连接有端子Sw的连接点成为接地电位，对于端子Bst，供给有电压GVDD。另一方面，在晶体管551被控制为导通、晶体管552被控制为断开的情况下，对于连接有端子Sw的连接点，供给有电压VHV。因此，对于端子Bst，供给有电压VHV+电压GVDD。即，对晶体管551进行驱动的第一栅极驱动器521以电容器541为浮动电源，根据晶体管551、552的动作而使端子Sw的电压变化为接地电位或电压VHV，从而向晶体管551的栅极端子供给L电平为电压VHV、H电平为电压VHV+电压GVDD的第一放大控制信号Hgd。而且，晶体管551根据第一放大控制信号Hgd而实施开关动作。

对晶体管552进行驱动的第二栅极驱动器522与晶体管551、552的动作无关，输出L电平为接地电位、H电平为电压GVDD的第二放大控制信号Lgd。而且，晶体管552根据第二放大控制信号Lgd而实施开关动作。

根据以上内容，在晶体管551的源极端子与晶体管552的漏极端子的连接点处，生成根据电压VHV而使调制信号Ms被放大的放大调制信号。即，晶体管551、552作为使调制信号Ms的电压放大的放大电路而发挥功能。并且，如前文所述，对晶体管551、552进行驱动的第一放大控制信号Hgd以及第二放大控制信号Lgd处于排他性关系。即，晶体管551和晶体管552被控制为，不会同时导通。

低通滤波器560包括电感器561以及电容器562。

电感器561的一端共同地与晶体管551的源极端子以及晶体管552的漏极端子相连接。另外，电感器561的另一端共同地与输出驱动信号COM的端子Com-Out以及电容器562的一端相连接。对于电容器562的另一端，供给有接地电位。

这样，电感器561和电容器562使向晶体管551与晶体管552的连接点供给的放大调制信号平滑。由此，放大调制信号被解调，从而生成驱动信号COM。

第一反馈电路570包括电阻571以及电阻572。电阻571的一端与端子Com-Out相连接。另外，电阻571的另一端共同地与端子Vfb以及电阻572的一端相连接。对于电阻572的另一端，供给有电压VHV。由此，在端子Vfb中，从端子Com-Out通过了第一反馈电路570的驱动信号COM被上拉并被反馈。

第二反馈电路580包括电阻581、582以及电容器583、584、585。

电容器583的一端与端子Com-Out相连接。另外，电容器583的另一端共同地与电阻581的一端以及电阻582的一端相连接。对于电阻581的另一端，供给有接地电位。由此，电容器583和电阻581作为高通滤波器(High Pass Filter)而发挥功能。并且，由电容器583和电阻581构成的高通滤波器的截止频率例如被设定为大约9MHz。

另外，电阻582的另一端共同地与电容器584的一端以及电容器585的一端相连接。对于电容器584的另一端，供给有接地电位。由此，电阻582和电容器584作为低通滤波器(Low Pass Filter)而发挥功能。并且，由电阻582和电容器584构成的低通滤波器的截止频率例如被设定为大约160MHz。

这样，由于第二反馈电路580由高通滤波器和低通滤波器构成，因此，第二反馈电路580作为通过驱动信号COM的预定的频带的带通滤波器(Band Pass Filter)而发挥功能。

电容器585的另一端与端子Ifb相连接。由此，在端子Ifb中，通过了第二反馈电路580的驱动信号COM的高频成分中的直流成分被截止并被反馈。

其中，驱动信号COM为通过低通滤波器560而使放大调制信号平滑后得到的信号。该驱动信号COM在经由端子Vfb而被积分、减算的基础上，被反馈到加法器512。因此，通过反馈的延迟、和由反馈的传递函数规定的频率，进行自激振荡。但是，由于经由端子Vfb的反馈路径的延迟量较大，因此，仅仅通过经由了该端子Vfb的反馈，有时无法使自激振荡的频率提高到能够充分确保驱动信号COM的精度的程度。因此，在经由端子Vfb的路径之外，还设置经由端子Ifb而对驱动信号COM的高频成分进行反馈的路径，从而能够减小在通过电路整体进行观察时的延迟。由此，电压信号As的频率与不存在经由端子Ifb的路径的情况相比，会提高至能够充分驱动信号COM的精度的程度。

并且，在以上说明的驱动信号生成电路50中，具备调制电路510、栅极驱动电路520、LC放电电路530、输出电路550、电容器541以及二极管542的结构为生成驱动信号COM的驱动电路51。另外，端子Com-Out为输出由驱动电路51生成的驱动信号COM的端子，且为“驱动信号输出端子”的一个示例。

3供电切换电路的结构以及动作

接下来，利用图4，对供电切换电路70的结构以及动作进行说明。图4为表示供电切换电路70的电结构的电路图。

供电切换电路70包括晶体管471、472、473以及电阻474、475。并且，以下，将晶体管471设为PMOS(P型金属氧化物半导体)晶体管，将晶体管472、473设为N型金属氧化物半导体晶体管，进行说明。

晶体管471的源极端子与电阻474的一端相连接，并供给有电压VHV。另外，晶体管471的栅极端子共同地与电阻474的另一端以及晶体管472的漏极端子相连接。另外，晶体管471的漏极端子与电阻475的一端相连接。

对于晶体管472的栅极端子，供给有电压Vdd1。另外，晶体管472的源极端子与晶体管473的栅极端子相连接，并且供给有供电控制信号CTVHV。在此，电压Vdd1为任意的电压的直流电压信号。

晶体管473的漏极端子与电阻475的另一端相连接。另外，对于晶体管473的源极端子，供给有接地电位。

如以上方式构成的供电切换电路70根据从驱动信号生成电路50供给的供电控制信号CTVHV，而对是否将电压VHV作为电压VHV-TG向驱动IC80供给进行切换。

具体而言，在对于供电控制信号生成电路430供给有表示非激活的放电控制信号DIS1的情况下，供电控制信号生成电路430将端子Ctvh-Out设为接地电位。因此，供电控制信号CTVHV成为L电平的信号。由此，晶体管473被控制为断开，晶体管472被控制为导通。因此，对于晶体管471的栅极端子，经由晶体管472而供给有接地电位。因此，晶体管471被控制为导通。

如以上方式那样，在供电控制信号CTVHV为L电平的信号的情况下，晶体管471被控制为导通，晶体管473被控制为断开。因此，供电切换电路70将经由晶体管471而被供给的电压VHV作为电压VHV-TG向驱动IC80供给。

另一方面，在对于供电控制信号生成电路430供给有表示激活的放电控制信号DIS1的情况下，供电控制信号生成电路430将端子Ctvh-Out设为高阻抗。此时，端子Ctvh-Out的电压成为经由晶体管472而被供给的电压Vdd1。换言之，供电控制信号CTVHV成为H电平的信号。由此，晶体管473被控制为导通。此时，对于晶体管472的漏极端子以及晶体管471的栅极端子，经由电阻474而供给有电压VHV。因此，晶体管471被控制为断开。

如以上方式那样，在供电控制信号CTVHV为H电平的信号的情况下，晶体管471被控制为断开，晶体管473被控制为导通。因此，供电切换电路70将经由电阻475以及晶体管472而被供给的接地电位作为电压VHV-TG向驱动IC80供给。

4驱动IC的结构以及动作

接下来，对驱动IC80的结构以及动作进行说明。

首先，利用图5，对向驱动IC80供给的驱动信号COM的一个示例进行说明。此后，利用图6至图9，对驱动IC80的结构以及动作进行说明。

图5为表示驱动信号COM的一个示例的图。在图5中示出了，从锁存信号LAT上升起至转换信号CH上升为止的期间T1、在期间T1后至接下来转换信号CH上升为止的期间T2、在期间T2后至锁存信号LAT上升为止的期间T3。并且，由该期间T1、T2、T3构成的周期成为在介质P上形成新的点的周期Ta。

如图5所示，驱动信号生成电路50在期间T1内生成电压波形Adp。在电压波形Adp1被供给至压电元件60的情况下，从对应的喷出部600喷出预定量、具体而言为中程度的量的油墨。

另外，驱动信号生成电路50在期间T2内生成电压波形Bdp。在电压波形Bdp被供给至压电元件60的情况下，从对应的喷出部600喷出与上述预定量相比较少的小程度的量的油墨。

另外，驱动信号生成电路50在期间T3内生成电压波形Cdp。在电压波形Cdp被供给至压电元件60的情况下，压电元件60以油墨未被从对应的喷出部600中喷出的程度而位移。因此，在介质P上未形成有点。该电压波形Cdp为，用于使喷出部600的喷嘴开孔部附近的油墨进行微振动而防止油墨的粘度增大的电压波形。在以下的说明中，将为了防止油墨的粘度增大而以未使油墨从喷出部600中喷出的程度来使压电元件60进行位移的情况称为“微振动”。

在此，电压波形Adp、电压波形Bdp以及电压波形Cdp的开始时刻的电压以及结束时刻的电压均共同为电压Vc。即，电压波形Adp、Bdp、Cdp为，电压以电压Vc开始且以电压Vc结束的电压波形。因此，驱动信号生成电路50输出使电压波形Adp、Bdp、Cdp在周期Ta内连续的电压波形的驱动信号COM。

而且，通过对于压电元件60，在期间T1内供给有电压波形Adp，在期间T2内供给有电压波形Bdp，从而在周期Ta内从喷出部600喷出中程度的量的油墨和小程度的量的油墨。由此，在介质P上形成有“大点”。另外，通过对于压电元件60，在期间T1内供给有电压波形Adp，在期间T2内未供给有电压波形Bdp，从而在周期Ta内，从喷出部600喷出中程度的量的油墨。由此，在介质P上形成有“中点”。另外，通过对于压电元件60，在期间T1内未供给有电压波形Adp，而在期间T2内供给有电压波形Bdp，从而在周期Ta内从喷出部600喷出小程度的量的油墨。由此，在介质P上形成有“小点”。另外，通过对于压电元件60，在期间T1、T2内未供给有电压波形Adp、Bdp，而在期间T3内供给有电压波形Cdp，从而在周期Ta内从喷出部600中未喷出油墨，而进行微振动。在该情况下，在介质P上未形成有点。

图6为表示喷出模块21以及驱动IC80的电结构的框图。如图6所示，驱动IC80包括选择控制电路210以及多个选择电路230。

在选择控制电路210中，供给有时钟信号SCK、印刷数据信号SI、锁存信号LAT、转换信号CH、以及电压VHV-TG。另外，在选择控制电路210中，分别与各个喷出部600对应地设置有移位寄存器212(S/R)、锁存电路214和解码器216的组。即，在头单元20中，设置有与喷出部600的总数量n相同数量的移位寄存器212、锁存电路214和解码器216的组。

移位寄存器212针对每个对应的喷出部600，临时保持印刷数据信号SI所含的2位的印刷数据[SIH、SIL]。

详细地说，与喷出部600相对应的级数的移位寄存器212相互被级联连接，并且以串行的方式供给的印刷数据信号SI根据时钟信号SCK而被向后级依次传送。并且，在图6中，为了对移位寄存器212进行区分，从供给有印刷数据信号SI的上游侧起，依次标记为1级、2级、…、n级。

n个锁存电路214分别在锁存信号LAT的上升沿而对在对应的移位寄存器212中保持的印刷数据[SIH、SIL]进行锁存。

n个解码器216各自对通过对应的锁存电路214而被锁存的2位的印刷数据[SIH、SIL]进行解码，从而生成选择信号S，并将其向选择电路230供给。

选择电路230分别与喷出部600对应设置。即，一个头单元20所具有的选择电路230的数量与头单元20所含的喷出部600的总数量n相同。选择电路230根据从解码器216供给的选择信号S而对驱动信号COM向压电元件60的供给进行控制。

图7为表示与1个喷出部600相对应的选择电路230的电结构的电路图。

如图7所示，选择电路230具有反相器232(非(NOT)电路)以及传输门234。另外，传输门234包括作为N型金属氧化物半导体晶体管的晶体管235以及作为P型金属氧化物半导体晶体管的晶体管236。

选择信号S被从解码器216向晶体管235的栅极端子供给。另外，选择信号S通过反相器232而被逻辑反转，从而也被向晶体管236的栅极端子供给。

在晶体管235的漏极端子以及晶体管236的源极端子上，连接有端子TG-In。在端子TG-In中，供给有驱动信号COM。而且，通过晶体管235以及晶体管236根据选择信号S而被控制为导通或断开，从而从与晶体管235的源极端子以及晶体管236的漏极端子共同地连接的端子TG-Out中输出驱动信号VOUT，并将其向喷出模块21供给。该端子TG-In为“第一端子”的一个示例，端子TG-Out为“第二端子”的一个示例。另外，传输门234为“开关电路”的一个示例。并且，在以下的说明中，有时，将传输门234的晶体管235以及晶体管236被控制为导通状态的情况称为，将传输门234控制为导通，另外，将晶体管235以及晶体管236被控制为非导通状态的情况称为，将传输门234控制为断开。

接下来，利用图8，对解码器216的解码内容进行说明。图8为表示解码器216中的解码内容的图。

在解码器216中，输入有2位的印刷数据[SIH、SIL]、锁存信号LAT以及转换信号CH。而且，在通过锁存信号LAT以及转换信号CH而被规定的期间T1、T2、T3的各个期间内，解码器216输出基于印刷数据[SIH、SIL]的逻辑电平的选择信号S。

具体而言，在印刷数据[SIH、SIL]为对“大点”进行规定的[1、1]的情况下，解码器216输出在期间T1内成为H电平、在期间T2内成为H电平、在期间T3内成为L电平的选择信号S。

另外，在印刷数据[SIH、SIL]为对“中点”进行规定的[1、0]的情况下，解码器216输出在期间T1内成为H电平、在期间T2内成为L电平、在期间T3内成为L电平的选择信号S。

另外，在印刷数据[SIH、SIL]为对“小点”进行规定的[0、1]的情况下，解码器216输出在期间T1内成为L电平、在期间T2内成为H电平、在期间T3内成为L电平的选择信号S。

另外，在印刷模式内印刷数据[SIH、SIL]为对“微振动”进行规定的[0、0]的情况下，解码器216输出在期间T1内成为L电平、在期间T2内成为L电平、在期间T3内成为H电平的选择信号S。

在此，选择信号S的逻辑电平通过未图示的电平转换器，而被电平转换为基于电压VHV-TG的高振幅逻辑。

在以上说明的驱动IC80中，利用图11，对生成了基于驱动信号COM的驱动信号VOUT且向喷出模块21所含的喷出部600供给的动作进行说明。

图9为用于对驱动IC80的动作进行说明的图。

印刷数据信号SI与时钟信号SCK同步，并以串行方式被供给，在与喷出部600相对应的移位寄存器212中被依次传送。而且，当时钟信号SCK的供给停止时，在各个移位寄存器212中，保持有与喷出部600相对应的印刷数据[SIH、SIL]。并且，印刷数据信号SI以移位寄存器212中的最终n段、…、2级、1级的与喷出部600相对应的顺序而被供给。

在此，当锁存信号LAT上升时，各个锁存电路214一齐对被保持于对应的移位寄存器212中的印刷数据[SIH、SIL]进行锁存。在图9中，LT1、LT2、…、LTn表示通过与1级、2级、…、n级的移位寄存器212相对应的锁存电路214而被锁存的印刷数据[SIH、SIL]。

解码器216根据由锁存的印刷数据[SIH、SIL]规定的点的尺寸，而在期间T1、T2、T3的各个期间内，输出遵照图8所示的内容的逻辑电平的选择信号S。

而且，在印刷数据[SIH、SIL]为[1、1]的情况下，选择电路230根据选择信号S，而在期间T1内对电压波形Adp进行选择，在期间T2内对电压波形Bdp进行选择，在期间T3内不对电压波形Cdp进行选择。其结果为，与图9所示的大点相对应的驱动信号VOUT被向喷出部600供给。

另外，在印刷数据[SIH、SIL]为[1、0]的情况下，选择电路230根据选择信号S，而在期间T1内对电压波形Adp进行选择，在期间T2内不对电压波形Bdp进行选择，在期间T3内不对电压波形Cdp进行选择。其结果为，与图9所示的中点相对应的驱动信号VOUT被向喷出部600供给。

另外，在印刷数据[SIH、SIL]为[0、1]的情况下，选择电路230根据选择信号S，而在期间T1内部不对电压波形Adp进行选择，在期间T2内对电压波形Bdp进行选择，在期间T3内不对电压波形Cdp进行选择。其结果为，与图9所示的小点相对应的驱动信号VOUT被向喷出部600供给。

另外，在印刷数据[SIH、SIL]为[0、0]的情况下，选择电路230根据选择信号S，而在期间T1内不对电压波形Adp进行选择，在期间T2内不对电压波形Bdp进行选择，在期间T3内对电压波形Cdp进行选择。其结果为，与图9所示的微振动相对应的驱动信号VOUT被向喷出部600供给。

5喷出部的结构以及动作

接下来，对喷出模块21以及喷出部600的结构以及动作进行说明。图10为喷出模块21的分解立体图。另外，图11为图10的III-III线的剖视图，且为表示喷出部600的概要结构的剖视图。

如图10以及图11所示，喷出模块21具备在方向X上长条的大致矩形形状的流道基板670。在流道基板670的方向Z上的一个面侧，设置有压力室基板630、振动板621、多个压电元件60、壳体部640以及密封体610。另外，在流道基板670的方向Z上的另一个面侧，设置有喷嘴板632以及吸振体633。这样的喷出模块21的各结构为，与流道基板670同样的在方向X上长条的大致矩形形状的部件，并利用粘合剂等而被相互接合。

如图10所示，喷嘴板632为，形成有沿着方向X而排列的多个喷嘴651的板状部件。这样的喷嘴651为，被设置于喷嘴板632上，并且，与后文所述的空腔631连通的开孔部。

流道基板670为用于形成油墨的流道的板状部件。如图10以及图11所示，在流道基板670上，形成有开口部671、供给流道672以及连通流道673。开口部671为，在方向Z上贯穿，且在多个喷嘴651中共用地形成的沿着方向X的长条状的贯穿孔。另外，供给流道672以及连通流道673为，与多个喷嘴651分别对应地形成的贯穿孔。而且，如图11所示，在流道基板670的方向Z上的一个面上，设置有在多个供给流道672中共用地形成的中继流道674。中继流道674使开口部671与多个供给流道672连通。

壳体部640为通过例如树脂材料的注塑成型而被制造的结构体，且被固定于流道基板670的方向Z上的另一个面上。如图11所示，在壳体部640中，形成有供给流道641和供给口661。供给流道641为与流道基板670的开口部671相对应的凹部，供给口661为与供给流道641连通的贯穿孔。如以上那样的流道基板670的开口部671和壳体部640的供给流道641相互连通的空间作为对从供给口661供给的油墨进行贮留的贮液器而发挥功能。

吸振体633为用于对在贮液器的内部所产生的压力变动进行吸收的结构。具体而言，吸振体633以将形成于流道基板670中的开口部671、中继流道674以及多个供给流道672封闭从而构成贮液器的底面的方式被固定于流道基板670的方向Z上的一个面侧。这样的吸振体633例如被构成为，包含作为可弹性变形的挠性的薄片部件的柔性基板。

如图10以及图11所示，压力室基板630为形成有与多个喷嘴651相对应的多个空腔631的板状部件。多个空腔631为沿着方向Y的长条状，且沿着方向X而被排列设置。而且，空腔631的方向Y上的一个端部与供给流道672连通，空腔631的方向Y上的另一个端部与连通流道673连通。

如图10以及图11所示，在压力室基板630中的与连接有流道基板670的面相反的一侧的面上，固定有振动板621。振动板621为可弹性变形的板状部件。具体而言，如图13所示，流道基板670和振动板621在各空腔631的内侧相互隔开间隔而对置。即，振动板621构成空腔631的壁面的一部分、即上表面。即，空腔631位于流道基板670与振动板621之间，并作为向填充于该空腔631的内部的油墨施加压力的压力室而发挥功能。

如图10以及图11所示，在振动板621的与空腔631相反的一侧的面上，设置有多个压电元件60。换言之，振动板621被设置于空腔631与压电元件60之间。多个压电元件60以与多个空腔631相对应的方式被排列设置在方向X上。而且，通过振动板621与压电元件60的变形联动地振动，从而使空腔631的内部的压力发生变动，并使油墨被从喷嘴651中喷出。具体而言，压电元件60为通过驱动信号VOUT的供给而进行变形的致动器，如图11所示，压电元件60为由一对电极611、612夹持压电体601的结构。而且，在电极611中，供给有驱动信号VOUT，在电极612中，供给有基准电压信号VBS。在该情况下，压电元件60根据电极611与电极612之间的电位差，而使压电体601的中央部分相对于两端部分而与振动板621一起在上下方向上进行变形。而且，伴随着压电元件60的变形，油墨被从喷嘴651中喷出。即，振动板621作为隔膜而发挥作用，其通过压电元件60而进行位移，并使填充有油墨的空腔631的内部容积放大或缩小。在此，压电元件60所含的电极611为第一电极的一个示例，电极612为第二电极的一个示例。

图10以及图11的密封体610为，对多个压电元件60进行保护，并且对压力室基板630以及振动板621的机械性强度进行加强的结构体，通过例如粘合剂而被固定于振动板621上。在密封体610中的形成于与振动板621对置的对置面上的凹部的内侧，收纳有多个压电元件60。

在以如上方式构成的喷出模块21中，包含压电元件60、空腔631、振动板621以及喷嘴651在内的结构为喷出部600。

图12为，表示在沿着方向Z对液体喷出装置1进行俯视观察的情况下的、设置于喷出模块21以及喷出模块21中的多个喷嘴651的配置的一个示例的图。并且，在图12中，设为头单元20具备四个喷出模块21，并进行说明。

如图12所示，在各喷出模块21中，形成有由以列状设置于预定方向上的多个喷嘴651构成的喷嘴列L。各喷嘴列L通过以列状沿着方向X配置的n个喷嘴651而被形成。

并且，图12所示的喷嘴列L为一个示例，也可以为不同的结构。例如，在各喷嘴列L中，也可以以从端部开始数的第偶数个喷嘴651和第奇数个喷嘴651在方向Y上的位置不同的方式将n个喷嘴651配置为交错状。另外，各喷嘴列L也可以被形成于与方向X不同的方向上。另外，在第一实施方式中，将设置于各喷出模块21中的喷嘴列L的列数设为“1”，并进行了例示，但在各喷出模块21上也可以形成有“2”以上的喷嘴列L。

在此，在本实施方式中，形成喷嘴列L的n个喷嘴651在喷出模块21中以每英寸300个以上的高密度而被设置。因此，在喷出模块21中，压电元件60也与n个喷嘴651对应，高密度地设置有n个。

另外，在本实施方式中，使用于压电元件60中的压电体601优选为，厚度为例如1μm以下的薄膜。由此，能够增大压电元件60相对于电极611与电极612之间的电位差的位移量。

在此，利用图13，对从喷嘴651喷出的油墨的喷出动作进行说明。图13为，对在驱动信号VOUT被向压电元件60供给的情况下的、压电元件60以及振动板621的位移与喷出之间的关系进行说明的图。在图13的(1)中，示意性地图示了在作为驱动信号VOUT而供给有电压Vc的情况下的压电元件60以及振动板621的位移。另外，在图13的(2)中，示意性地图示了在向压电元件60供给的驱动信号VOUT的电压以从电压Vc起接近于基准电压信号VBS的方式被控制的情况下的压电元件60以及振动板621的位移。另外，在图13的(3)中，示意性地图示了在向压电元件60供给的驱动信号VOUT的电压以与电压Vc相比远离基准电压信号VBS的方式被控制的情况下的压电元件60以及振动板621的位移。

在图13的(1)的状态下，压电元件60以及振动板621根据向电极611供给的驱动信号VOUT与向电极612供给的基准电压信号VBS之间的电位差，而向方向Z挠曲。此时，在电极611中，作为驱动信号VOUT而供给有电压Vc。如前文所述，电压Vc为，电压波形Adp、Bdp、Cdp的开始时刻以及结束时刻处的电压。

而且，在驱动信号VOUT的电压值以接近于基准电压信号VBS的电压值的方式而被控制的情况下，如图13的(2)所示，压电元件60以及振动板621的沿着方向Z而产生的位移减少。此时，空腔631的内部容积扩大，油墨吸入至空腔631中。

此后，驱动信号VOUT的电压以远离基准电压信号VBS的电压的方式被控制。此时，如图13的(3)所示，压电元件60以及振动板621的沿着方向Z的位移增加。此时，空腔631的内部容积缩小，填充于空腔631中的油墨被从喷嘴651中喷出。

在本实施方式中，通过向压电元件60供给驱动信号VOUT，从而使图13的(1)～(3)的状态反复。由此，油墨被从喷嘴651中喷出，在介质P上形成有点。并且，图13的(1)～(3)所示的压电元件60以及振动板621的位移随着向电极611供给的驱动信号VOUT、与向电极612供给的基准电压信号VBS之间的电位差变大，而沿着方向Z变大。换言之，根据驱动信号VOUT与基准电压信号VBS之间的电位差，而对从喷嘴651中喷出的油墨的喷出量进行控制。

并且，针对图13所示的驱动信号VOUT的压电元件60以及振动板621的位移毕竟是一个示例，例如，在驱动信号VOUT与基准电压信号VBS之间的电位差较大的情况下，油墨被吸入空腔631中，在驱动信号VOUT与基准电压信号VBS之间的电位差较小的情况下，填充于空腔631内的油墨也可以不从喷嘴651喷出。

6由基准电压信号VBS的电压变动而产生的影响

如以上说明的那样，压电元件60根据电极611、612之间的电位差而进行位移，并喷出油墨。但是，在非意图的电压被供给至电极611或电极612的任一个的情况下，在压电元件60中会产生非意图的位移。因此，有可能在压电元件60以及振动板621中产生非意图的应力。

图14为，用于对在压电元件60的电极的电压值上升的情况下的压电元件60以及振动板621的位移、以在振动板621中产生的应力进行说明的图。并且，图14为从方向Y观察喷出模块21所含的多个压电元件60、空腔631以及喷嘴651中的两个的情况下的剖视图。在图14的(1)中，例示了在预定的电压被供给至电极611、612的双方的情况下的压电元件60以及振动板621的位移。另外，在图14的(2)中，例示了在非意图的电压被供给至电极611或电极612的任一方的情况下的压电元件60以及振动板621的位移。

如图14的(1)所示，在预定的电压被供给至电极611以及电极612的双方的情况下，在电极611与电极612之间产生设想的范围内的电位差。因此，压电元件60在设想的范围内进行位移，同样，振动板621在设想的范围内进行位移。此时，在振动板621与空腔631的接点α处，产生设想的范围内的应力F1。

另一方面，如图14的(2)所示，在非意图的电压被供给至电极611或电极612的任一方的情况下，在电极611与电极612之间有可能产生设想的范围外的电位差。因此，在压电元件60中有可能产生设想的范围外的位移，同样，在振动板621中也有可能产生设想的范围外的位移。此时，在振动板621与空腔631的接点α处，有时会集中产生与设想相比较大的应力F2。

另外，在振动板621与空腔631的接点处产生的应力有时因方向Y上的振动板621与空腔631的接点的位置而不同。具体而言，对于在振动板621与空腔631的接点处产生的应力，在振动板621与空腔631的接点、且振动板621的方向Z上的位移成为最大的点处会产生更大的应力。

作为在这样的振动板621中产生的位移的主要因素，例如，可以举出在振动板621中产生的固有振动。图15为从方向Z观察振动板621的情况下的俯视图。如图15所示，本实施方式中的空腔631为沿着方向Y的长条状，在振动板621中，有时产生沿着方向Y的固有振动。这样的固有振动在振动板621和空腔631相接的第一接点DL与第二接点DR之间的振动区域D中产生。

图16为，例示了在振动板621中产生了一阶的固有振动的情况的图。如图16所示，在振动板621中产生了一阶的固有振动的情况下，因该固有振动而引起的振动板621的位移ΔD在振动区域D的中央部成为最大。具体而言，在振动区域D中，在将从第一接点DL至第二接点DR为止的距离设为d的情况下，在距第一接点DL的距离成为d/2且距第二接点DR的距离成为d/2的点处，振动板621的位移ΔD成为最大。

另外，图17为，例示了在振动板621中产生了三阶的固有振动的情况的图。如图17所示，在振动板621中产生了三阶的固有振动的情况下，因该固有振动而引起的振动板621的位移ΔD在距第一接点DL的距离成为d/2且距第二接点DR的距离成为d/2的点、距第一接点DL的距离成为d/6的点、以及距第二接点DR的距离成为d/6的点处成为最大。

如以上的方式那样，在方向Y上，在振动板621的位移ΔD成为最大的点处的振动板621与空腔631的接点α处，有可能施加有更大的应力F2。

而且，在与设想相比较大的应力F2集中于振动板621与空腔631的接点α处的情况下，有可能在振动板621中产生裂纹。而且，在振动板621中产生与设想相比较大的位移的状态下，在电极611中施加有驱动信号COM的情况下，伴随着油墨的喷出时的压电元件60的位移，有可能会有所需以上的负荷被施加于振动板621上，其结果为，有可能在振动板621中产生裂纹。

假设在振动板621中产生了裂纹的情况下，填充于空腔631中的油墨从该裂纹中漏出。因此，在相对于空腔631的内部容积的变化而被喷出的油墨量中，有可能产生偏差。其结果为，油墨的喷出精度恶化。

尤其，向电极612供给的基准电压信号VBS被共用地向设置于喷出模块21中的多个压电元件60供给。因此，在基准电压信号VBS成为非意图的电压的情况下，会给多个压电元件60以及振动板621的位移造成影响。其结果为，有可能在多个振动板621中产生裂纹，也有可能给液体喷出装置1整体的喷出精度造成影响。

而且，在向电极612供给的基准电压信号VBS的电压上升，而高于向电极611供给的驱动信号VOUT的电压的情况下，压电元件60的功能有可能被损害。

压电元件60的压电体601由于难以形成为单晶体，因此，被形成为作为铁电体的微晶的集合的多晶体。在制造时，由于各个微晶的自发极化的方向自发地朝向分散的方向，因此，未体现压电体601的压电特性。因此，在压电元件60被组装入头单元20之前，实施了向压电体601施加预定的直流电场从而使极化方向一致的极化处理(poling)。通过极化处理，而体现压电体601的压电特性。

在本实施方式中，在压电元件60的电极611的电位高于电极612的电位的情况下，在压电元件60上，施加有与压电体601的极化处理时同极性的电场。另外，在压电元件60的电极611的电位低于电极612的电位的情况下，在压电元件60上，施加有与压电体601的极化处理时相反的极性的电场(以下，称为“相反极性电场”)。

在压电元件60上施加有相反极性电场时，在压电体601中通过极化处理而一致的极化方向会紊乱。这种极化方向的紊乱会使压电特性降低，因此，有可能引起压电元件60的动作不良。

压电体601由于是多晶体，因此，在制造过程或极化处理的过程中会产生局部的应力集中等，并具有潜在的微少裂纹。相反极性电场向压电元件60的施加并不会止步于使加压电体601的极化方向紊乱，还有可能由于极化方向的变化的方式针对每个微晶而不同的原因而使微少裂纹生长，从而引起压电体601的破坏。尤其，在如本实施方式所示的1μm以下的薄膜的压电体601中，生长的裂纹易于贯穿厚度方向。当裂纹贯穿厚度方向时，在电极611与电极612之间会产生电气短路，有可能损害压电元件60的功能。

7基准电压生成电路的结构和动作

在如上所述基准电压信号VBS的电压发生变动的情况下，有可能在压电元件60上产非意图的位移，从而使喷出精度恶化，而且，有可能通过该电压变动而损害压电元件60的功能。

因此，在本实施方式中，在生成基准电压信号VBS的基准电压电路450中，具备用于提高基准电压信号VBS的精度的结构、以及用于在基准电压信号VBS的电压中产生了异常的情况下对液体喷出装置1进行保护的结构。

图18为表示基准电压电路450的电结构的电路图。

基准电压电路450具备电压生成部451、电压检测部455、钳位电路459、电阻462、463、464以及晶体管465。另外，基准电压电路450具备被供给有作为电源电压的电压GVDD的端子466、输出基准电压信号VBS的端子467以及与接地电位相连接的端子468。即，端子466为“电源端子”的一个示例，端子467为“基准电压信号输出端子”的一个示例，端子468为“接地端子”的一个示例。

电阻462的一端与端子467相连接，电阻462的另一端与电阻463的一端相连接。另外，电阻463的另一端与电阻464的一端相连接。另外，电阻464的另一端与端子468相连接。即，电阻462、463、464被串联地连接于端子467与端子468之间。

电压生成部451具备晶体管452、454以及比较器453。并且，在以下的说明中，将晶体管452、454作为P型金属氧化物半导体晶体管，并进行说明。

比较器453的输入端(+)与电阻462的另一端以及电阻463的一端相连接。另外，在比较器453的输入端(-)中，供给有第一参照电压Vref1。另外，比较器453的输出端与晶体管452的栅极端子相连接。

晶体管452的源极端子与端子466相连接。另外，晶体管452的漏极端子与端子467相连接。

在晶体管454的栅极端子中，供给有后文所述的电压检测部455所输出的控制信号STOP。另外，晶体管454的源极端子与端子466相连接。另外，晶体管454的漏极端子与比较器453的电源端子(未图示)相连接。

钳位电路459具备比较器461以及晶体管460。

比较器461的输入端(+)与电阻463的另一端以及电阻464的一端相连接。另外，在比较器461的输入端(-)中，供给有第二参照电压Vref2。另外，比较器461的输出端与晶体管460的栅极端子相连接。

作为晶体管460的一端的一个示例的漏极端子与端子467相连接。另外，作为晶体管460的另一端的一个示例的源极端子与端子468相连接。该晶体管460为“第一放电晶体管”的一个示例。

电压检测部455具备电阻457、458以及比较器456。

电阻457的一端与端子467相连接。另外，电阻457的另一端与电阻458的一端相连接。另外，电阻458的另一端与端子468相连接。即，电阻457、458被串联地连接于端子467与端子468之间。

比较器456的输入端(+)与电阻457的另一端以及电阻458的一端相连接。另外，在比较器456的输入端(-)中，供给有第三参照电压Vref3。比较器456的输出端与晶体管465的栅极端子相连接。

以下，将晶体管465设为N型金属氧化物半导体晶体管，并进行说明。在晶体管465的栅极端子中，供给有控制信号STOP。另外，作为晶体管465的一端的一个示例的漏极端子与端子467相连接。另外，作为晶体管465的另一端的一个示例的源极端子与端子468相连接。该晶体管465为“第二放电晶体管”的一个示例。

利用图19至图21，对如上所述构成的基准电压电路450的动作进行说明。

图19为，用于对在基准电压电路450中生成了预定的电压的基准电压信号VBS的情况下的动作进行说明的图。

如图19所示，在比较器453的输入端(+)中，供给有通过电阻462和电阻463以及电阻464的合成电阻而将基准电压信号VBS进行分压的电压，在输入端(-)中，供给有第一参照电压Vref1。具体而言，在基准电压信号VBS的电压为预定的值的情况下，确定电阻462、463、464各自的电阻值以及第一参照电压Vref1的电压，以使向比较器453的输入端(+)供给的电压、与向输入端(-)供给的第一参照电压相同。

而且，在基准电压信号VBS的电压小于预定的值的情况下，向比较器453的输入端(+)供给的电压小于第一参照电压Vref1。此时，比较器453输出L电平的信号。因此，晶体管452被控制为导通。因此，通过图19中用实线的箭头标记表示的路径，而使电流向端子467供给，电荷被积存在端子467中，基准电压信号VBS的电压上升。

另外，在基准电压信号VBS的电压大于预定的值的情况下，向比较器453的输入端(+)供给的电压大于第一参照电压Vref1。此时，比较器453输出H电平的信号。因此，晶体管452被控制为断开。因此，通过图19中用虚线的箭头标记表示的路径，而使积存于端子467中的电荷被释放，并使基准电压信号VBS的电压降低。

如上所述，电压生成部451在比较器453中对第一参照电压Vref1和基于基准电压信号VBS的电压进行比较，并根据该比较结果而使晶体管452导通或断开，从而生成恒定的电压的基准电压信号VBS。即，比较器453对第一参照电压Vref1和基于基准电压信号VBS的信号进行比较，且为“第一比较器”的一个示例。另外，晶体管452根据比较器453的比较结果而对是否使端子466和端子467电连接进行切换，且为“第一晶体管”的一个示例。

但是，根据液体喷出装置1的温度等周围环境变化、被供给基准电压信号VBS的负载状态，有可能使由电压生成部451生成的基准电压信号VBS的电压与预定的值相比而上升。在该情况下，有可能使积存于端子467中的电荷无法经由电阻462、463、464充分地向端子468释放。

因此，本实施方式中的基准电压电路450具备钳位电路459，钳位电路459在基准电压信号VBS的电压上升的情况下使积存于端子467中的电荷释放。

图20为，用于对在基准电压电路450中基准电压信号VBS的电压上升的情况下对该电压值进行控制的情况下的动作进行说明的图。

如图20所示，在比较器461的输入端(+)中，供给有通过电阻462以及电阻463的合成电阻和电阻464而将基准电压信号VBS进行分压的电压，在输入端(-)中供给有第二参照电压Vref2。具体而言，在基准电压信号VBS的电压相对于预定的值而高1V左右的情况下，确定电阻462、463、464各自的电阻值以及第二参照电压Vref2的电压，以使向比较器461的输入端(+)供给的电压、和向输入端(-)供给的第二参照电压相同。并且，“基准电压信号VBS的电压相对于预定的值而高1V左右的情况”为一个示例，只要为在该电压的基准电压信号VBS被供给至电极612的情况下不会给压电元件60的位移以及特性造成影响的程度上的电压即可。

而且，在基准电压信号VBS的电压上升、且向比较器461的输入端(+)供给的电压大于第二参照电压Vref2的情况下，比较器461输出H电平的信号。因此，晶体管460被控制为导通。在该情况下，如图20的虚线的箭头标记所示，端子467的电荷除了通过经由电阻462、463、464的路径而被释放之外，也通过经由晶体管460的路径而被释放。

因此，即使在液体喷出装置1的温度等周围环境变化、被供给基准电压信号VBS的负载状态的变化等、基准电压信号VBS的电压有可能发生变动的情况下，也能够减少基准电压信号VBS的电压发生变动的可能性。

即，比较器461对第二参照电压Vref2和基于基准电压信号VBS的信号进行比较，且为“第二比较器”的一个示例。另外，晶体管465根据比较器461的比较结果而对是否使端子467与端子468电连接进行切换，也为“第二晶体管”的一个示例。

另外，在液体喷出装置1中喷出的油墨的一部分在液体喷出装置1的内部漂浮。而且，在该漂浮的油墨附着于基准电压电路450或其附近的情况下，经由该油墨，端子467与不同的配线图案发生短路，端子467有可能成为非意图的电压。而且，在这样的非意图的电压被供给至端子467的情况下，不仅在油墨的喷出特性上有可能产生异常，在喷出模块21中也有可能产生异常。

因此，本实施方式中的基准电压电路450具备电压检测部455，该电压检测部455在基准电压信号VBS的电压与预定的值相比而上升的情况下，使电压生成部451的动作停止，且对端子467的电荷的释放进行指示。

图21为，用于对在基准电压电路450中基准电压信号VBS的电压与预定的值相比上升的情况下使基准电压信号VBS的电荷释放时的动作进行说明的图。

如图21所示，在比较器456的输入端(+)中，供给有通过电阻457和电阻458而将基准电压信号VBS进行分压的电压，在输入端(-)中供给有第三参照电压Vref3。具体而言，在基准电压信号VBS的电压相对于预定的值而高3V左右的情况下，确定电阻457、458各自的电阻值以及第三参照电压Vref3的电压，以使向比较器456的输入端(+)供给的电压、和向输入端(-)供给的第三参照电压Vref3相同。并且，“基准电压信号VBS的电压相对于预定的值而高3V左右的情况”为一个示例，只要为在该电压的基准电压信号VBS被供给至电极612的情况下在压电元件60以及喷出模块21中不会产生故障的程度的电压即可。

而且，在基准电压信号VBS的电压上升，向比较器456的输入端(+)供给的电压大于第三参照电压Vref3的情况下，比较器456输出H电平的控制信号STOP。该比较器456所输出的H电平的控制信号STOP为“停止信号”的一个示例。

比较器456所输出的控制信号STOP被供给至晶体管454的栅极端子以及晶体管465的栅极端子。

在晶体管454的栅极端子中供给有H电平的控制信号STOP的情况下，晶体管454被控制为断开。因此，电压GVDD向比较器453的供给停止。由此，电压生成部451停止动作，而不从端子466向端子467供给电流。

并且，在晶体管454的栅极端子中供给有L电平的控制信号STOP的情况下，晶体管454被控制为导通。因此，在比较器453中供给有电压GVDD。即，晶体管454对是否向电压生成部451以及比较器453供给电压GVDD进行切换，且为“第一开关电路”的一个示例。

另外，在晶体管465的栅极端子中供给有H电平的控制信号STOP的情况下，晶体管465使端子467与端子468电连接。由此，如图21的虚线的箭头标记所示，端子467的电荷不仅通过经由电阻462、463、464的路径以及经由晶体管460的路径而被释放，还通过经由晶体管465的路径而被释放。

并且，在晶体管465的栅极端子中供给有L电平的控制信号STOP的情况下，不使端子467和端子468电连接。即，晶体管465对是否使端子467和端子468电连接进行切换，且为“第二开关电路”的一个示例。

如以上说明的那样，本实施方式中的基准电压电路450具备：生成基准电压信号VBS的电压生成部451、对基准电压信号VBS的变动进行抑制的钳位电路459、和在基准电压信号VBS中产生异常的情况下用于对压电元件60以及喷出模块21进行保护的电压检测部455。换言之，生成基准电压信号VBS的电压生成部451为，在端子467中生成基准电压信号VBS的结构，钳位电路459为用于使电压生成部451所生成的基准电压信号VBS稳定的结构，电压检测部455为，在基准电压信号VBS的电压值中产生异常的情况下用于使储存于端子467中的电荷释放的结构。因此，钳位电路459所含的晶体管460为以节电的方式进行动作的晶体管，电压检测部455为能够急剧释放大量电荷的额定电容较大的晶体管。换言之，晶体管465的额定电容大于晶体管460的额定电容。由此，能够提高基准电压信号VBS的精度，并且，即使在端子467中产生异常的电压的情况下，也能够减少非意图的电压被供给至压电元件60的可能性。

在此，晶体管465的额定电容大于晶体管460的额定电容是指，晶体管465的可向漏极-源极间供给的电压值相对于晶体管460而较大的情况、晶体管465的可向漏极供给的电流相对于晶体管460而较大的情况、或晶体管465的安全动作区域相对于晶体管460而较宽的情况等，例如，可以举出晶体管465的W/L比与晶体管460相比而较大的情况等。

在此，在电压检测部455中，向比较器456的输入端(+)供给的、通过电阻457和电阻458而被分压的电压、和向比较器456的输入端(-)供给的第三参照电压Vref3相等的情况下的基准电压信号VBS的电压为“第一阈值”的一个示例。具体而言，基准电压信号VBS的电压相对于预定的值而高3V左右的电压为“第一阈值”的一个示例。

另外，在钳位电路459中向比较器461的输入端(+)供给的、通过电阻462以及电阻463的合成电阻和电阻464而被分压的电压、和向比较器461的输入端(-)供给的第二参照电压Vref2相等的情况下的基准电压信号VBS的电压为“第二阈值”的一个示例。具体而言，基准电压信号VBS的电压相对于预定的值而高1V左右的电压为“第二阈值”的一个示例。

8基准电压信号异常时的压电元件的放电

如以上说明的那样，在基准电压信号VBS的电压上升、且通过电压检测部455而输出了H电平的控制信号STOP的情况下，输出基准电压信号VBS的端子467的电荷被释放。即，压电元件60的电极612的电荷被释放。

当在电极611中供给有驱动信号VOUT的情况下、或在电极611中保持有电压的情况下，压电元件60的电极612的电荷被释放时，电极611与电极612之间的电位差变大，有可能在压电元件60中产生非意图的位移。为了减少这样的在压电元件60中产生的非意图的位移，在本实施方式中的液体喷出装置1中，具备根据控制信号STOP而释放电极611的电荷的两个放电单元。

如图3所示，控制信号STOP也被向驱动信号生成电路50的信号选择电路420供给。信号选择电路420在被供给有H电平的控制信号STOP的情况下，在与供电控制信号生成电路430以及LC放电电路530各自相对应的预定的寄存器中，对预定的数据进行保持，并作为放电控制信号DIS1、DIS2而输出。具体而言，信号选择电路420在被供给有H电平的控制信号STOP的情况下，在与供电控制信号生成电路430相对应的预定的寄存器中对H电平的数据进行保持，并作为H电平的放电控制信号DIS1而输出。同样，信号选择电路420在被供给有H电平的控制信号STOP的情况下，在与LC放电电路530相对应的预定的寄存器中对H电平的数据进行保持，并作为H电平的放电控制信号DIS2而输出。

图22为，对用于使压电元件60的电极611的电荷释放的放电单元进行说明的图。并且，在图22中，用虚线示出了被形成于传输门234中的寄生二极管241、242、243、244。并且，在图22中，电极612的电荷的释放路径作为第三放电路径C而被示出。

第一放电单元经由图22所示的第一放电路径A而使电荷释放。具体而言，在第一放电单元中，使经由形成于传输门234中的多个寄生二极管而被储存于端子TG-Out与电极611之间的电荷、以及被储存于端子Com-Out与端子TG-In之间的电荷释放。

在此，利用图23，具体地对形成于传输门234中的寄生二极管241、242、243、244的详细情况进行说明。

图23为示意性地表示构成传输门234的晶体管235、236的剖视图。

如图23所示，晶体管235包括多晶硅252、N型扩散层253、254以及多个电极。

N型扩散层253、254以相互远离的方式被形成于P基板251上。另外，多晶硅252经由未图示的绝缘层而被形成于N型扩散层253与N型扩散层254之间。

在多晶硅252上，形成有电极255。另外，在N型扩散层253上，形成有电极256。另外，在N型扩散层254上，形成有电极257。

而且，电极255作为栅极端子而发挥功能，电极256、257的任一方作为漏极端子而发挥功能，另一方作为源极端子而发挥功能。并且，在本实施方式中，将电极256设为漏极端子，将电极257设为源极端子，并进行说明。

在如以上方式构成的晶体管235中，在P基板251与N型扩散层253的接触面以及P基板251与N型扩散层254的接触面上分别形成有PN结。因此，在晶体管235中，形成有以P基板251为阳极、以N型扩散层253为阴极的寄生二极管243、和以P基板251为阳极、以N型扩散层254为阴极的寄生二极管244。

另外，在P基板251上，形成有电极258。在此，由于晶体管235被形成于P基板251上，因从，电极258作为晶体管235的背栅(backgate)端子而发挥功能。并且，在电极258中，供给有接地电位。

晶体管236包括N阱261、多晶硅262、P型扩散层263、264以及多个电极。

P型扩散层263、264以相互远离的方式而在形成于P基板251中的N阱261上被形成。另外，多晶硅262经由未图示的绝缘层而被形成于P型扩散层263与P型扩散层264之间。

在多晶硅262上，形成有电极265。另外，在P型扩散层263上，形成有电极266。另外，在P型扩散层264上，形成有电极267。

而且，电极265作为栅极端子而发挥功能，电极266、267的任一方作为漏极端子而发挥功能，另一方作为源极端子而发挥功能。并且，在本实施方式中，将电极266设为漏极端子，将电极267设为源极端子，并进行说明。

在如以上方式构成的晶体管236中，在N阱261与P型扩散层263的接触面以及N阱261与P型扩散层264的接触面上分别形成有PN结。因此，在晶体管236中，形成有以P型扩散层263为阳极、以N阱261为阴极的寄生二极管242、和以P型扩散层264为阳极、以N阱261为阴极的寄生二极管241。

另外，在N阱261上，形成有电极268。由于晶体管236被形成于N阱261中，因此，电极268作为晶体管236的背栅端子而发挥功能。并且，在电极268中供给有电压VHV-TG。

返回图22，对经由包含以上说明的寄生二极管241、242、243、244在内的第一放电路径A的第一放电单元进行说明。

在第一放电单元中，首先，H电平的放电控制信号DIS1被向供电控制信号生成电路430供给。

向供电控制信号生成电路430供给的放电控制信号DIS1经由反相器431而被向晶体管432供给。由此，晶体管432被控制为断开。

如前文所述，在晶体管432被控制为断开的情况下，供电切换电路70的晶体管473被控制为导通。当晶体管473被控制为导通时，电压VHV-TG成为经由电阻475而被供给的接地电位。由此，构成传输门234的晶体管236的电极268成为接地电位。因此，端子COM-Out与端子TG-In被连接在一起的节点a的电位经由寄生二极管241而成为接地电位。同样，端子TG-Out与电极611被连接在一起的节点b的电位经由寄生二极管242而成为接地电位。该节点b为“第一节点”的一个示例。节点a为“第二节点”的一个示例。

换言之，储存于节点a中的电荷经由寄生二极管241、电阻475以及晶体管473而被释放，同样，储存于节点b中的电荷经由寄生二极管242、电阻475以及晶体管473而被释放。

如以上的方式那样，在第一放电单元中，根据放电控制信号DIS1，供电切换电路70将电压VHV-TG的电位设为接地电位。由此，被储存于节点a以及节点b中的电荷经由寄生二极管241、242而被释放。

另外，通过第一放电单元而被释放的节点a以及节点b的电荷为传输门234的端子TG-In、TG-Out的电荷。因此，无论传输门234被控制为导通还是被控制为断开，均能够进行由第一放电单元所实施的电荷的释放控制。

并且，供电切换电路70的结构并未被限定于上述的结构，只要为能够将晶体管236的电极268的电位切换为接地电位的结构即可。

接下来，对第二放电单元进行说明。在第二放电单元中，经由包含LC放电电路530在内的第二放电路径B而将储存于节点a中的电荷释放。

在通过第二放电单元而使电荷释放的情况下，首先，H电平的放电控制信号DIS2被向LC放电电路530的晶体管532供给。由此，晶体管532被控制为导通。因此，节点a的电位成为经由电阻571、531以及晶体管532而被供给的接地电位。换言之，储存于节点a中的电荷经由电阻571、531以及晶体管532而被释放。

在驱动信号生成电路50的动作停止的情况下，有时，在节点a中，经由电阻572、571而供给有电压VHV。在第二放电单元中，由于能够进行节点a的电荷的释放，因此，能够减少在节点a中积存由因电压VHV而产生的电荷的情况。

如以上的方式那样，在第二放电单元中，由于能够释放节点a的电荷，因此，能够降低节点a的电位。因此，减少了从传输门234的端子TG-In向端子TG-Out而产生的漏电流。即，能够减少因漏电流而引起节点b的电压上升的情况。因此，能够进一步减少在电极611中储存有非意图的电荷的可能性。

并且，LC放电电路530只要为能够使节点a的电荷释放的结构即可，例如，也可以被设置于与晶体管551的源极端子以及晶体管552的漏极端子共同地连接的连接点上。

如上所述，在基准电压信号VBS的电压上升的情况下，通过第一放电单元以及第二放电单元而使电极611的电压释放，从而能够使压电元件60的电极611以及电极612的双方的电荷释放，进而减少了在压电元件60中产生非意图的位移的情况。

9作用效果

在以上说明的本实施方式所涉及的液体喷出装置1中，在向压电元件60的电极612供给的基准电压信号VBS的电压上升且超过了预定的阈值的情况下，停止基准电压信号VBS的生成，且使输出了基准电压信号VBS的端子与接地端子相连接。由此，减少了因基准电压信号VBS的电压上升而引起的在压电元件60以及振动板621中产生非意图的位移的情况。

另外，在本实施方式所涉及的液体喷出装置1中，通过生成基准电压信号VBS的基准电压电路450所含的电压检测部455，而实施基准电压信号VBS的电压是否上升并超过了预定的阈值的检测。因此，在基准电压信号VBS的电压已上升的情况下，能够减少至停止该基准电压信号VBS的生成为止所产生的延迟。因此，能够进一步减少因基准电压信号VBS的电压上升而引起的在压电元件60以及振动板621中产生的非意图的位移的情况。

另外，在本实施方式所涉及的液体喷出装置1中，在基准电压信号VBS的电压上升且超过了预定的阈值的情况下，电压检测部455输出H电平的控制信号STOP。而且，根据H电平的控制信号STOP，而使电压生成部451中的基准电压信号VBS的生成停止，且使电极611的电荷被释放。因此，电极611、612的电压均朝向接地电位逐渐降低。因此，在电极611、612之间产生的电位差变小，减少了在压电元件60中产生非意图的位移的情况。

另外，在本实施方式所涉及的液体喷出装置1中，在基准电压电路450中具备使基准电压信号VBS的电压变动减少的钳位电路459。钳位电路459能够由此减少基准电压信号VBS的电压变动，减少了非意图的电压被向压电元件60的电极612供给的情况。因此，能够进一步减少因基准电压信号VBS的电压发生变动而引起的在压电元件60以及振动板621中产生非意图的位移的情况。

如上所述，在本实施方式中的液体喷出装置1中，由于能够减少在压电元件60以及振动板621中产生非意图的位移的可能性，因此，能够减少由于应力集中而在振动板621中产生裂纹的可能性。

10改变例

在上述的实施方式中，设为在电压检测部455输出了H电平的控制信号STOP的情况下，停止电压生成部451的动作，且晶体管465使端子467和端子468电连接，且实施电极611的电荷的释放，并进行说明，但只要实施通过晶体管465而使端子467和端子468电连接的控制、和进行电极611的电荷的释放的控制的至少任一方即可。在该情况下，也能够获得同样的效果。

另外，在上述的实施方式中，作为液体喷出装置，举出头单元20移动而在介质P上进行印刷的串行扫描型(串行印刷型)的喷墨打印机为例，但本发明也能够应用于在头不移动的情况下对印刷介质进行印刷的行式头型的喷墨打印机中。

本发明包含与实施方式所说明的结构实质上相同的结构(例如，功能、方法以及结果相同的结构，或者目的以及效果相同的结构)。此外，本发明包含对实施方式所说明的结构的非本质部分进行置换的结构。此外，本发明包含与实施方式所说明的结构起同样作用效果的结构或者能够实现相同目的的结构。此外，本发明包含向实施方式所说明的结构中附加了公知技术的结构。

符号说明

1…液体喷出装置；2…移动体；3…移动机构；4…输送机构；10…控制单元；20…头单元；21…喷出模块；24…滑架；31…滑架电机；32…滑架引导轴；33…同步带；35…滑架电机驱动器；40…压印板；41…输送电机；42…输送辊；45…输送电机驱动器；50…驱动信号生成电路；51…驱动电路；55…晶体管；60…压电元件；70…供电切换电路；80…驱动IC；90…电压生成电路；100…控制电路；190…柔性电缆；210…选择控制电路；212…移位寄存器；214…锁存电路；216…解码器；230…选择电路；232…反相器；234…传输门；235、236…晶体管；241、242、243、244…寄生二极管；251…P基板；252…多晶硅；253、254…N型扩散层；255、256、257、258…电极；261…N阱；262…多晶硅；263、264…P型扩散层；265、266、267、268…电极；310…DAC电路；320…检测电路；350…判断电路；410…GVDD生成电路；420…信号选择电路；430…供电控制信号生成电路；431…反相器；432…晶体管；450…基准电压电路；451…电压生成部；452…晶体管；453…比较器；454…晶体管；455…电压检测部；456…比较器；457、458…电阻；459…钳位电路；460…晶体管；461…比较器；462、463、464…电阻；465…晶体管；466、467、468…端子；471、472、473…晶体管；474、475…电阻；500…集成电路；510…调制电路；512、513…加法器；514…比较器；515…反相器；516…积分衰减器；517…衰减器；520…栅极驱动电路；521…第一栅极驱动器；522…第二栅极驱动器；530…LC放电电路；531…电阻；532…晶体管；541…电容器；542…二极管；550…输出电路；551、552…晶体管；553、554…电阻；560…低通滤波器；561…电感器；562…电容器；570…第一反馈电路；571、572…电阻；580…第二反馈电路；581、582…电阻；583、584、585…电容器；600…喷出部；601…压电体；610…密封体；611、612…电极；621…振动板；630…压力室基板；631…空腔；632…喷嘴板；633…吸振体；640…壳体部；641…供给流道；651…喷嘴；661…供给口；670…流道基板；671…开口部；672…供给流道；673…连通流道；674…中继流道；Bst、COM-Out、Com-Out、Ctvh、Ctvh-Out、Drv、Drv-In、En、En-In、Err、Err-Out、Gnd、Gnd-In、Gvd、Hdr、Ifb、Ldr、Sw、TG-In、TG-Out、Vbs、Vbs-Out、Vfb、Vhv、Vhv-In…端子；P…介质。

Claims (8)

1.一种液体喷出装置，其特征在于，具备：

驱动电路，其从驱动信号输出端子中输出驱动信号；

基准电压电路，其从基准电压信号输出端子中输出基准电压信号；

压电元件，其具有第一电极和第二电极，所述第一电极被供给有所述驱动信号，所述第二电极被供给有所述基准电压信号，所述压电元件通过在所述第一电极与所述第二电极之间产生的电位差而进行位移；

空腔，其填充有伴随着所述压电元件的位移而从喷嘴中喷出的液体；

振动板，其被设置于所述空腔与所述压电元件之间，

所述基准电压电路包括电压生成部和电压检测部，所述电压生成部生成所述基准电压信号，所述电压检测部对所述基准电压信号的电压值进行检测，

在所述基准电压信号的所述电压值超过了第一阈值的情况下，所述电压检测部使所述电压生成部的动作停止，且使所述基准电压信号输出端子与接地端子电连接。

2.如权利要求1所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述基准电压电路包括：

第一开关电路，其对是否向所述电压生成部供给电源电压进行切换；

第二开关电路，其对是否使所述基准电压信号输出端子和所述接地端子电连接进行切换，

所述电压检测部在所述基准电压信号的所述电压值超过了所述第一阈值的情况下，输出停止信号，

所述第一开关电路根据所述停止信号而使所述电源电压向所述电压生成部的供给停止，

所述第二开关电路根据所述停止信号而使所述基准电压信号输出端子和所述接地端子电连接。

3.如权利要求2所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述电压生成部具有：

第一比较器，其对第一参照电压和基于所述基准电压信号的信号进行比较；

第一晶体管，其根据所述第一比较器的比较结果，而对是否使电源端子与所述基准电压信号输出端子电连接进行切换，

在所述基准电压信号的所述电压值超过了所述第一阈值的情况下，所述第一开关电路根据所述停止信号而使所述电源电压向所述第一比较器的供给停止。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述基准电压电路包括钳位电路，

所述钳位电路在所述基准电压信号的所述电压值超过了低于所述第一阈值的第二阈值的情况下，使所述基准电压信号输出端子与所述接地端子电连接。

5.如权利要求4所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述钳位电路具有：

第二比较器，其对第二参照电压和基于所述基准电压信号的信号进行比较；

第二晶体管，其根据所述第二比较器的比较结果，而对是否使所述基准电压信号输出端子和所述接地端子电连接进行切换，

在所述基准电压信号的所述电压值超过了所述第二阈值的情况下，所述第二晶体管使所述基准电压信号输出端子与所述接地端子电连接。

6.一种液体喷出装置，其特征在于，具备：

驱动电路，其从驱动信号输出端子中输出驱动信号；

基准电压电路，其从基准电压信号输出端子中输出基准电压信号；

压电元件，其具有第一电极和第二电极，所述第一电极被供给有所述驱动信号，所述第二电极被供给有所述基准电压信号，所述压电元件通过在所述第一电极与所述第二电极之间产生的电位差而进行位移；

空腔，其填充有伴随着所述压电元件的位移而从喷嘴中喷出的液体；

振动板，其被设置于所述空腔与所述压电元件之间；

开关电路，其具有第一端子和第二端子，并对所述驱动信号向所述第一电极的供给进行控制，其中，所述第一端子被供给有所述驱动信号，所述第二端子与所述第一电极电连接，

所述基准电压电路包括电压生成部和电压检测部，所述电压生成部生成所述基准电压信号，所述电压检测部对所述基准电压信号的电压值进行检测，

在所述基准电压信号的所述电压值超过了第一阈值的情况下，所述电压检测部使所述电压生成部的动作停止，且经由所述开关电路的寄生二极管而使所述第一电极和所述第二端子被电连接在一起的第一节点的电荷释放。

7.如权利要求6所述的液体喷出装置，其特征在于，

在所述基准电压信号的所述电压值超过了第一阈值的情况下，使驱动信号输出端子和所述第一端子被电连接在一起的第二节点的电荷释放。

8.一种液体喷出装置，其特征在于，具备：

驱动电路，其从驱动信号输出端子中输出驱动信号；

基准电压电路，其从基准电压信号输出端子中输出基准电压信号；

压电元件，其具有第一电极和第二电极，所述第一电极被供给有所述驱动信号，所述第二电极被供给有所述基准电压信号，所述压电元件通过在所述第一电极与所述第二电极之间产生的电位差而进行位移；

空腔，其填充有伴随着所述压电元件的位移而从喷嘴中喷出的液体；

振动板，其被设置于所述空腔与所述压电元件之间，

所述基准电压电路包括第一放电晶体管和第二放电晶体管，所述第二放电晶体管与所述第一放电晶体管相比，额定电容较大，

所述第一放电晶体管的一端以及所述第二放电晶体管的一端与所述基准电压信号输出端子电连接，

所述第一放电晶体管的另一端以及所述第二放电晶体管的另一端与接地端子电连接。

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