CN110303164A - 球形锗颗粒的制备装置及制备方法 - Google Patents

球形锗颗粒的制备装置及制备方法 Download PDF

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张路
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Abstract

本发明涉及一种球形锗颗粒的制备装置及制备方法,包括支撑架、两端开口的隔离管、设有底部尖端且在底部尖端开有通孔的石墨舟、带有第一进气管和第二进气管的塞体、流量控制器、用于加热的中频感应加热电源、用于监测温度的温度传感器、盛有冷却液的容器和搅拌器,隔离管通过支撑架悬于容器的上方,制备方法包括向石墨舟和隔离管通入惰性气体、开启中频感应加热电源加热使锗熔化、通过温度传感器控制升温速率、开启搅拌器使落入冷却液的熔融锗液滴分散和冷却的步骤。本发明具有制备装置结构简单,制备的锗颗粒具有连续稳定、清洁无污染且表面光滑、粒径均一的特点。

Description

球形锗颗粒的制备装置及制备方法
技术领域
本发明涉及材料制备技术领域,特别涉及一种球形锗颗粒的制备装置及制备方法。
背景技术
锗是一种重要的元素半导体材料,在科学研究和和国民经济发展中具有广泛的应用,其主要用于红外光学、半导体器件、光纤通讯、PET催化剂等领域。
工业上通常以块状锗锭为原料进行锗的开发应用,相比锗锭,锗颗粒具有形状规则、大小均匀、应用简便、比表面积大、反应更加充分等优势,其颗粒可用于制作半导体靶材、医药及保健品、合金、闪烁材料、荧光材料等。目前,关于球形锗颗粒的先进制备法鲜有报道,传统制备方法均存在工艺过程复杂、耗时长、成本较高等问题,不利于锗颗粒的广泛应用。
发明内容
本发明的目的是为解决以上问题,本发明提供一种球形锗颗粒的制备装置及制备方法。
根据本发明的一个方面,提供一种球形锗颗粒的制备装置,包括支撑架、两端开口的隔离管、设有底部尖端且在底部尖端开有通孔的石墨舟、带有第一进气管和第二进气管的塞体、流量控制器、用于加热的中频感应加热电源、用于监测温度的温度传感器、盛有冷却液的容器和搅拌器,隔离管通过支撑架悬于容器的上方,其底端浸没于冷却液中,顶端套有塞体,石墨舟悬于隔离管内冷却液的上方,且底部尖端垂直指向冷却液,第一进气管与石墨舟的内部相通,第二进气管与隔离管的内部相通,流量控制器位于第一进气管上,温度传感器位于石墨舟的外壁,中频感应加热电源绕于隔离管的外周,搅拌器靠近容器设置,对其内部的冷却液进行搅拌。
其中,通孔的直径为1-3mm,搅拌器为磁力搅拌器或电动搅拌器,中频感应加热电源为中频感应线圈,冷却液为真空泵油,石墨舟通过钨丝悬挂。
其中,隔离管为石英管,容器为石英烧杯,温度传感器为K型热电偶。
其中,中频感应加热电源、温度传感器、搅拌器、流量控制器与控制器连接。
根据本发明的第二方面,提供一种球形锗颗粒的制备方法,包括以下步骤:
将清洗并干燥后的锗锭放入石墨舟中;将底部尖端设有通孔的石墨舟悬挂于隔离管中,并塞紧隔离管顶端的塞体;使用支撑架将隔离管架于装有冷却液的容器上方,使隔离管的底端浸没于冷却液中,并使石墨舟悬挂于冷却液的上方;通过第一进气管向石墨舟持续通入高纯惰性气体;通过第二进气管向隔离管通入高纯惰性气体,直至充满隔离管;隔离管充满惰性气体后,启动中频中频感应加热电源加热电源,对石墨舟内的锗锭进行加热;使用温度传感器控制石墨舟的升温速度,并当温度升高至一定范围时,启动搅拌器,对冷却液进行持续搅拌,使熔出并落入冷却液中的锗锭形成球形,制得球形锗颗粒。
其中,通入惰性气体的步骤中,通入第一进气管的气体流量为0.3-1L/min,通入第二进气管的气体流量为0.5-1.5L/min。
其中,控制升温的步骤中,石墨舟的升温速度为15-20℃/min,温度升高至850-900℃时,启动搅拌器。
其中,搅拌器的转速为800-900rpm。
其中,向第一进气管和第二进气管通入的高纯惰性气体均为氮气或者氩气。
其中,加热石墨舟内的步骤中,加热功率为5-10kw。
其中,通孔的直径为1-3mm。
本发明具有以下有益效果:
1、本发明的球形锗颗粒的制备装置,结构简单,连续稳定,制备的锗颗粒清洁无污染。
2、本发明的球形锗颗粒的制备方法,通过使用温度传感器监控升温速度,并配合相适应的气体流量控制以及搅拌转速,使制备的球形锗颗粒表面光滑、尺寸均一,且位于2-8mm之间,可用于合金、半导体靶材、医疗保健和食品等领域。
3、本发明的球形锗颗粒的制备方法,工艺简单合理,耗时短,具有重复性好,成品率高等优点。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述,各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中,用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中:
图1示出了根据本发明一种实施方式的球形锗颗粒的制备装置的示意图;
图2示出了根据本发明一种实施方式的制备的球形锗颗粒的实物图。
具体实施方式
下面将根据实施例更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然说明书中显示了本公开的示例性实施方式,然而应当理解,可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反,提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开,并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
如图1所示,一种球形锗颗粒的制备装置,包括支撑架、两端开口的隔离管1、设有底部尖端且在底部尖端开有通孔的石墨舟2、带有第一进气管和第二进气管的塞体3、流量控制器、用于加热的中频感应加热电源4、用于监测温度的温度传感器、盛有冷却液的容器5和搅拌器,隔离管1通过支撑架悬于容器5的上方,其底端浸没于冷却液中,顶端套有塞体3,石墨舟通过钨丝悬于隔离管内的冷却液的上方,且石墨舟的底部尖端垂直指向冷却液,使得石墨舟的底部通孔垂直指向冷却液。第一进气管与石墨舟的内部相通,用于对石墨舟的内部进气,第二进气管与隔离管1的内部相通,用于对石英管的内部进气。流量控制器位于第一进气管上,用于控制进气速度。温度传感器位于石墨舟的外壁,用于监控石墨舟的升温情况,包括升温速度和即时温度。中频感应加热电源4绕于隔离管1的外周,搅拌器靠近容器5设置,对其内部的冷却液进行搅拌。在一个具体的实施例中,搅拌器可以位于烧杯的底部。
通孔的直径为1-3mm,便于熔融的锗液滴的流出,并控制锗液滴的大小。搅拌器为磁力搅拌器或电动搅拌器,中频感应加热电源4为中频中频感应加热电源,功率大小与石墨舟的升温速度要求匹配。冷却液为真空泵油,熔化的锗料以液滴形式进入冷却液时,液滴温度较高,若冷却液燃点较低的话极易被引燃,因此其优选为真空泵油。石墨舟2通过钨丝悬挂。在一个具体的实施例中,该球形锗颗粒的制备装置为智能控制设备,中频感应加热电源4、温度传感器、搅拌器、流量控制器均通过控制器启动停止,避免人工操作误差。
本申请还涉及一种球形锗颗粒的制备方法,下面将通过具体实施例的方式对该技术方案做进一步的说明。
实施例1:制备粒径为2~4mm的球形锗颗粒
将锗锭加入HNO3:HF溶液(3:1,v/v)腐蚀10min,然后用去离子水冲洗,氮气吹干;将1Kg锗锭放入尺寸为的圆筒状石墨舟中,将石墨舟置入尺寸为的石英管靠近底端1/3处,并用钨丝将石墨舟顶端固定;石英管顶端用橡皮塞密封,并装有气体管路,通入高纯氩气,气体流量为0.5L/min,石英管底端为敞口,供熔化的锗料流出;石墨舟顶端中心处装有气体管路,通入高纯氩气,气体流量为1 L/min,气流不断向下吹送,用于控制锗料熔化后的流速。
石英管外面套有尺寸为的感应加热线圈,25min后惰性气体充满石英管,开启中频感应线圈,加热功率为7KW,石墨吸收电磁能后将电磁场能转换成热能,石墨舟的温度逐渐升高,控制石墨舟的升温速度为18℃/min,舟体外部温度显示为875℃时内部锗锭熔化流出。
熔化的锗料从石墨舟底端直径为1mm的小孔流出,滴入盛有真空泵油的石英烧杯中,打开磁力搅拌器,转子转速为850rpm,对液滴进行搅拌,使液滴分散均匀,防止液滴粘连结块,液滴降温凝固形成球形颗粒,沉于烧杯底部,最后进行过滤、清洗等处理,得到直径为2~4mm的球形锗颗粒。
实施例2:制备粒径为3~6mm的球形锗颗粒。
将锗锭加入HNO3:HF溶液(3:1,v/v)腐蚀10min,然后用去离子水冲洗,氮气吹干。将1Kg锗锭放入尺寸为的圆筒状石墨舟中,将石墨舟置入尺寸为的石英管靠近底端1/3处,并用钨丝将石墨舟顶端固定,石英管顶端用橡皮塞密封,并装有气体管路,通入高纯氩气,气体流量为0.3L/min,石英管底端为敞口,供熔化的锗料流出。石墨舟顶端中心处装有气体管路,通入高纯氩气,气体流量为0.5 L/min,气流不断向下吹送,用于控制锗料熔化后的流速。
石英管外面套有尺寸为的感应加热线圈,20min后惰性气体充满石英管,开启中频感应线圈,加热功率为9KW,石墨吸收电磁能后将电磁场能转换成热能,石墨舟的温度逐渐升高,控制石墨舟的升温速度为20℃/min,舟体外部温度显示为885℃时内部锗锭开始熔化流出。
熔化的锗料从石墨舟底端直径为2mm的小孔流出,滴入盛有真空泵油的石英烧杯中,此时,打开磁力搅拌器,转子转速为800rpm,对液滴进行搅拌,使液滴分散均匀,防止液滴粘连结块,液滴降温凝固形成球形颗粒,沉于烧杯底部,最后进行过滤、清洗等处理,得到直径为3~6mm的球形锗颗粒,具体如图2所示。
实施例3:制备粒径为5~8mm的球形锗颗粒。
将锗锭加入HNO3:HF溶液(3:1,v/v)腐蚀10min,然后用去离子水冲洗,氮气吹干。将1Kg锗锭放入尺寸为的圆筒状石墨舟中,将石墨舟置入尺寸为的石英管靠近底端1/3处,并用钨丝将石墨舟顶端固定,石英管顶端用橡皮塞密封,并装有气体管路,通入高纯氩气,气体流量为1L/min,石英管底端为敞口,供熔化的锗料流出。
石墨舟顶端中心处装有气体管路,通入高纯氩气,气体流量为1.5 L/min,气流不断向下吹送,用于控制锗料熔化后的流速。石英管外面套有尺寸为的感应加热线圈,开启中频感应线圈,加热功率为5KW,石墨吸收电磁能后将电磁场能转换成热能,石墨舟的温度逐渐升高,控制石墨舟的升温速度为15℃/min,舟体外部温度显示为850℃时内部锗锭开始熔化流出。
熔化的锗料从石墨舟底端直径为3mm的小孔流出,滴入盛有真空泵油的石英烧杯中,打开磁力搅拌器,转子转速为900rpm,对液滴进行搅拌,使液滴分散均匀,防止液滴粘连结块,液滴降温凝固形成球形颗粒,沉于烧杯底部,最后进行过滤、清洗等处理,得到直径为5~8mm的球形锗颗粒。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种球形锗颗粒的制备装置,其特征在于,包括支撑架、两端开口的隔离管(1)、设有底部尖端且在底部尖端开有通孔的石墨舟(2)、带有第一进气管和第二进气管的塞体(3)、流量控制器、用于加热的中频感应加热电源(4)、用于监测温度的温度传感器、盛有冷却液的容器(5)和搅拌器,所述隔离管(1)通过所述支撑架悬于所述容器(5)的上方,其底端浸没于所述冷却液,顶端套有所述塞体(3),所述石墨舟悬于所述隔离管内所述冷却液的上方,且底部尖端垂直指向冷却液,所述第一进气管与所述石墨舟的内部相通,所述第二进气管与所述隔离管(1)的内部相通,所述流量控制器位于所述第一进气管上,所述温度传感器位于所述石墨舟的外壁,所述中频感应加热电源(4)绕于所述隔离管(1)的外周,所述搅拌器靠近所述容器(5)设置,对其内部的冷却液进行搅拌。
2.如权利要求1所述的制备装置,其特征在于,
所述通孔的直径为1-3mm,所述中频感应加热电源(4)为中频感应线圈。
3.如权利要求1所述的制备装置,其特征在于,
所述隔离管(1)为石英管,所述容器(5)为石英烧杯,所述温度传感器为K型热电偶,所述搅拌器为磁力搅拌器或电动搅拌器,冷却液为真空泵油。
4.如权利要求1所述的制备装置,其特征在于,
所述中频感应加热电源(4)、所述温度传感器、所述搅拌器、所述流量控制器与控制器连接。
5.一种采用权利要求1-4任意一项所述的制备装置制备球形锗颗粒的方法,其特征在于,包括以下步骤:
将清洗并干燥后的锗锭放入石墨舟中;
将底部尖端设有通孔的石墨舟悬挂于隔离管中,并塞紧隔离管顶端的塞体;
使用支撑架将隔离管架于装有冷却液的容器上方,使隔离管的底端浸没于冷却液中,并使石墨舟悬挂于冷却液的上方;
通过第一进气管向石墨舟持续通入高纯惰性气体;
通过第二进气管向隔离管通入高纯惰性气体,直至充满隔离管;
隔离管充满惰性气体后,启动中频感应加热电源,对石墨舟内的锗锭进行加热,使锗锭熔化流出;
使用温度传感器控制石墨舟的升温速度,并当温度升高至一定范围时,启动搅拌器,对冷却液进行持续搅拌,使熔出并落入冷却液中的锗锭形成球形,制得球形锗颗粒。
6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,
通入惰性气体的步骤中,通入第一进气管的气体流量为0.3-1L/min,通入第二进气管的气体流量为0.5-1.5L/min。
7.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,
控制升温的步骤中,石墨舟的升温速度为15-20℃/min,温度升高至850-900℃时,启动搅拌器。
8.如权利要求7所述的制备方法,其特征在于,
搅拌器的转速为800-900rpm。
9.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,
向第一进气管和第二进气管通入的高纯惰性气体均为氮气或者氩气。
10.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,
加热石墨舟内的步骤中,加热功率为5-10kw。
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