CN102206858A - 高纯锗多晶制备工艺及专用设备 - Google Patents
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102653882A (zh) * | 2012-05-11 | 2012-09-05 | 天通控股股份有限公司 | 一种直拉硅单晶的装料方法及其装置 |
CN103938270A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-23 | 云南北方驰宏光电有限公司 | 镓重掺杂低位错锗单晶的生长方法 |
CN105887195A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-08-24 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | 用vgf法生长锗单晶体的预清洗方法 |
CN109161966A (zh) * | 2018-07-30 | 2019-01-08 | 广东先导先进材料股份有限公司 | 多晶锗的制备装置及制备方法 |
CN109321976A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-02-12 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | 制备13n超高纯锗单晶的方法及设备 |
CN109722548A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-05-07 | 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 | 一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺 |
CN109943889A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-06-28 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | 超高纯度锗多晶的制备方法 |
CN110093517A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-08-06 | 云南驰宏国际锗业有限公司 | 一种二氧化锗连续还原铸锭的方法 |
CN110303164A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-10-08 | 有研光电新材料有限责任公司 | 球形锗颗粒的制备装置及制备方法 |
CN112458308A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-03-09 | 清远先导材料有限公司 | 一种制备超高纯镉的方法 |
CN115233305A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-10-25 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | Vb法制备超高纯多晶锗的方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4165249A (en) * | 1976-02-26 | 1979-08-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of purifying germanium bodies |
EP1234899A2 (en) * | 2001-02-21 | 2002-08-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | A single crystal and method of manufacturing same |
CN1916199A (zh) * | 2005-08-15 | 2007-02-21 | 天津市众合光电技术有限公司 | 高频加热水平区熔提纯锗的技术 |
CN202164385U (zh) * | 2011-06-30 | 2012-03-14 | 白尔隽 | 高纯锗多晶制备区熔炉 |
-
2011
- 2011-06-30 CN CN2011101805235A patent/CN102206858A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4165249A (en) * | 1976-02-26 | 1979-08-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of purifying germanium bodies |
EP1234899A2 (en) * | 2001-02-21 | 2002-08-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | A single crystal and method of manufacturing same |
CN1916199A (zh) * | 2005-08-15 | 2007-02-21 | 天津市众合光电技术有限公司 | 高频加热水平区熔提纯锗的技术 |
CN202164385U (zh) * | 2011-06-30 | 2012-03-14 | 白尔隽 | 高纯锗多晶制备区熔炉 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102653882A (zh) * | 2012-05-11 | 2012-09-05 | 天通控股股份有限公司 | 一种直拉硅单晶的装料方法及其装置 |
CN103938270A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-23 | 云南北方驰宏光电有限公司 | 镓重掺杂低位错锗单晶的生长方法 |
CN103938270B (zh) * | 2014-04-09 | 2017-02-15 | 云南北方驰宏光电有限公司 | 镓重掺杂低位错锗单晶的生长方法 |
CN105887195A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-08-24 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | 用vgf法生长锗单晶体的预清洗方法 |
CN109161966A (zh) * | 2018-07-30 | 2019-01-08 | 广东先导先进材料股份有限公司 | 多晶锗的制备装置及制备方法 |
CN109943889A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-06-28 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | 超高纯度锗多晶的制备方法 |
CN109321976A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-02-12 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | 制备13n超高纯锗单晶的方法及设备 |
CN109722548A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-05-07 | 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 | 一种提高区熔锗锭合格率生产新工艺 |
CN110093517A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-08-06 | 云南驰宏国际锗业有限公司 | 一种二氧化锗连续还原铸锭的方法 |
CN110303164A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-10-08 | 有研光电新材料有限责任公司 | 球形锗颗粒的制备装置及制备方法 |
CN112458308A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-03-09 | 清远先导材料有限公司 | 一种制备超高纯镉的方法 |
CN115233305A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-10-25 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | Vb法制备超高纯多晶锗的方法 |
CN115233305B (zh) * | 2022-07-15 | 2023-06-20 | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 | Vb法制备超高纯多晶锗的方法 |
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