CN110289217A - 一种功率模块的封装工艺 - Google Patents

一种功率模块的封装工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN110289217A
CN110289217A CN201910498469.5A CN201910498469A CN110289217A CN 110289217 A CN110289217 A CN 110289217A CN 201910498469 A CN201910498469 A CN 201910498469A CN 110289217 A CN110289217 A CN 110289217A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cavity
power module
plastic
frame
sealed body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910498469.5A
Other languages
English (en)
Inventor
周理明
陈明
周正勇
原江伟
郑忠庆
王毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yangzhou Yangjie Electronic Co Ltd
Original Assignee
Yangzhou Yangjie Electronic Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yangzhou Yangjie Electronic Co Ltd filed Critical Yangzhou Yangjie Electronic Co Ltd
Priority to CN201910498469.5A priority Critical patent/CN110289217A/zh
Publication of CN110289217A publication Critical patent/CN110289217A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/048Encapsulation of modules
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/35Mechanical effects
    • H01L2924/351Thermal stress
    • H01L2924/3511Warping
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

一种功率模块的封装工艺。涉及功率模块加工工艺的改进。提出了一种逻辑清晰、简单有效、加工周期短且加工效果好、产品品质高,可有效克服因框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,而导致塑封体整体出现中心朝向芯片所在一侧拱起的翘曲现象的功率模块的封装工艺。本发明本案通过对模腔形状的调整,使得开模后,塑封体朝向芯片反方向的一侧拱起,即原翘曲现象的反方向,这样在工件自然冷却到常温的过程中,借助框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,将使得塑封体冷却完毕后保持高度平整,有效解决了传统加工工艺中出现的翘曲现象。本案从整体上具有逻辑清晰、简单有效、加工周期短、加工效果好、产品品质高以及产品平整度高、无翘曲等优点。

Description

一种功率模块的封装工艺
技术领域
本发明涉及功率模块加工工艺的改进。
背景技术
功率模块包括光伏模块、IPM模块、整流桥等,其在封装时,通常先将焊好芯片以及跳线的框架置于模腔中,再注入塑封料,待达到180℃后进行开模,取出工件进行自然冷却。
然而,如图5-6所示,由于芯片处于框架的一侧,因此,为更好的保护芯片,通常框架朝向芯片一侧的塑封料的厚度大于框架背向芯片一侧的塑封料的厚度;这样,在工件由180-25℃的自然冷却过程中,框架两侧所承受的来自塑封料冷却收缩而产生的收缩力必然不一致,从而导致工件封装完毕后出现朝向芯片所在一侧微微翘曲的现象。
上述的翘曲现象在尺寸较小单芯片的二极管模块中体现并不明显,对单芯片的二极管模块的后续使用影响不大;而在尺寸较大的功率模块中却体现的极为明显,在功率模块后续的安装、使用过程中,常因此类翘曲现象带来引脚偏移、难以安装等问题。
对此,本案申请人还通过实际测量对以上理论进行了佐证。取传统工艺加工出的三个IPM模块,将芯片所在的一侧朝上放置,采用测试仪器量测平整度,可建立表1:
表1
序号 塑封体左侧顶缘高度H1 塑封体中心点高度H2 塑封体右侧顶缘高度H3 高度差△H
1 4.371mm 5.535mm 4.395mm 1.152mm
2 4.407mm 5.520mm 4.324mm 1.155mm
3 4.381mm 5.524mm 4.371mm 1.148mm
从而结合实际测量,确定由于框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,将导致功率模块的塑封体整体出现中心朝向芯片所在一侧拱起的翘曲。
针对该技术问题,本申请人尝试了多种解决方案,如在保压状态下使工件冷却,或封装完毕后重新反向折弯工件等,然而,无论是上述的哪种解决方案均带来了加工周期大幅延长、压坏工件、废品率增加等问题。对此,如何在保证加工品质、不延长加工周期的前提下,解决塑封体冷却后出现翘曲的问题成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明针对以上问题,提出了一种逻辑清晰、简单有效、加工周期短且加工效果好、产品品质高,可有效克服因框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,而导致塑封体整体出现中心朝向芯片所在一侧拱起的翘曲现象的功率模块的封装工艺。
本发明的技术方案为:将功率模块中的框架、芯片以及跳线置于上模和下模之间进行塑封;
所述上模的底面上开设有上模腔,所述上模腔的腔底的呈朝下凸起的曲面状,所述下模的顶面上开设有下模腔,所述下模腔的腔底呈朝下凹陷的曲面状。
所述上模腔腔底、下模腔腔底弯曲的弧度与塑封体原翘曲的弧度一致,且方向相反。
按以下步骤进行封装:
1)、放料:将将焊好芯片以及跳线的框架置于下模上,并使得芯片朝上、且待封装位置处于下模腔中;
2)、合模:驱动上模下行,进行合模,使得待封装位置处于上模腔和下模腔之间所形成的模腔中;
3)、注胶:将熔化后的塑封料注入模腔中;
4)、开模:待模腔中温度达到180℃后,驱动上模上行,进行开模;
5)、冷却:将工件置于常温环境下自然冷却;完毕。
本发明本案通过对模腔形状的调整,使得开模后,塑封体朝向芯片反方向的一侧拱起,即原翘曲现象的反方向,这样,在工件自然冷却到常温的过程中,借助框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,将使得塑封体冷却完毕后保持高度平整,有效解决了传统加工工艺中出现的翘曲现象,同时,由于本案在功率模块的加工中并未增加任何额外、多余的加工步骤,因此,将有效避免传统工艺出现加工周期延长的缺陷。本案从整体上具有逻辑清晰、简单有效、加工周期短、加工效果好、产品品质高以及产品平整度高、无翘曲等优点。
附图说明
图1是本案的使用过程示意图一,
图2是本案的使用过程示意图二,
图3是本案的使用过程示意图三,
图4是本案的使用过程示意图四,
图5是本案背景技术示意图一,
图6是图5的A-A向剖视图;
图中1是上模,10是上模腔,2是下模,20是下模腔,3是框架,30是废边,4是芯片,5是塑封体。
具体实施方式
本发明如图1-4所示,将功率模块中的框架3、芯片4以及跳线置于上模1和下模2之间形成的模腔中进行塑封;
所述上模1的底面上开设有上模腔10,所述上模腔10的腔底的呈朝下(即朝向塑封体原翘曲方向的反方向)凸起的曲面状,所述下模2的顶面上开设有下模腔20,所述下模腔20的腔底呈朝下(即朝向塑封体原翘曲方向的反方向)凹陷的曲面状。
所述上模腔腔底、下模腔腔底弯曲的弧度与塑封体翘曲的弧度一致,且方向相反。
按以下步骤进行封装:
1)、放料:如图1所示,将将焊好芯片以及跳线的框架置于下模上,并使得芯片朝上、且待封装位置处于下模腔中;
2)、合模:如图2所示,驱动上模下行,进行合模,使得待封装位置处于上模腔和下模腔之间所形成的模腔中;
3)、注胶:将熔化后的塑封料注入模腔中;
4)、开模:待模腔中温度达到180℃后,驱动上模上行,进行开模;取出后的工件如图3所示,此时,塑封体朝向芯片反方向的一侧拱起;
5)、冷却:将工件置于常温环境下自然冷却;完毕。从而借助框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,使得塑封体冷却完毕后保持高度平整,如图4所示。实际加工时,还需在此后对废边30进行切除。
本案通过对模腔形状的调整,使得开模后,塑封体朝向芯片反方向的一侧拱起,即原翘曲现象的反方向,这样,在工件自然冷却到常温的过程中,借助框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,将使得塑封体冷却完毕后保持高度平整,有效解决了传统加工工艺中出现的翘曲现象,同时,由于本案在功率模块的加工中并未增加任何额外、多余的加工步骤,因此,将有效避免传统工艺出现加工周期延长的缺陷。本案从整体上具有逻辑清晰、简单有效、加工周期短、加工效果好、产品品质高以及产品平整度高、无翘曲等优点。

Claims (3)

1.一种功率模块的封装工艺,其特征在于,将功率模块中的框架、芯片以及跳线置于上模和下模之间进行塑封;
所述上模的底面上开设有上模腔,所述上模腔的腔底的呈朝下凸起的曲面状,所述下模的顶面上开设有下模腔,所述下模腔的腔底呈朝下凹陷的曲面状。
2.根据权利要求1所述的一种功率模块的封装工艺,其特征在于,所述上模腔腔底、下模腔腔底弯曲的弧度与塑封体原翘曲的弧度一致,且方向相反。
3.根据权利要求1所述的一种功率模块的封装工艺,其特征在于,按以下步骤进行封装:
1)、放料:将将焊好芯片以及跳线的框架置于下模上,并使得芯片朝上、且待封装位置处于下模腔中;
2)、合模:驱动上模下行,进行合模,使得待封装位置处于上模腔和下模腔之间所形成的模腔中;
3)、注胶:将熔化后的塑封料注入模腔中;
4)、开模:待模腔中温度达到180℃后,驱动上模上行,进行开模;
5)、冷却:将工件置于常温环境下自然冷却;完毕。
CN201910498469.5A 2019-06-11 2019-06-11 一种功率模块的封装工艺 Pending CN110289217A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910498469.5A CN110289217A (zh) 2019-06-11 2019-06-11 一种功率模块的封装工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910498469.5A CN110289217A (zh) 2019-06-11 2019-06-11 一种功率模块的封装工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110289217A true CN110289217A (zh) 2019-09-27

Family

ID=68003688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910498469.5A Pending CN110289217A (zh) 2019-06-11 2019-06-11 一种功率模块的封装工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110289217A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111029265A (zh) * 2019-12-26 2020-04-17 珠海格力电器股份有限公司 一种防止qfn模封框架翘曲的塑封模具及方法
CN114300563A (zh) * 2021-12-24 2022-04-08 安徽钜芯半导体科技有限公司 一种光伏模块结构及加工工艺

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6969641B2 (en) * 2003-08-27 2005-11-29 Texas Instruments Incorporated Method and system for integrated circuit packaging
CN204067352U (zh) * 2014-08-15 2014-12-31 阳信金鑫电子有限公司 一种桥式整流器内部封装结构
CN105269758A (zh) * 2014-07-15 2016-01-27 清华大学 半导体封装模具、封装结构及封装方法
CN105895592A (zh) * 2016-06-24 2016-08-24 扬州扬杰电子科技股份有限公司 一种框架、包含该框架的二极管及二极管的加工工艺
CN109849278A (zh) * 2019-04-01 2019-06-07 孙炎权 利用模具改善智能功率半导体模块产品翘曲的方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6969641B2 (en) * 2003-08-27 2005-11-29 Texas Instruments Incorporated Method and system for integrated circuit packaging
CN105269758A (zh) * 2014-07-15 2016-01-27 清华大学 半导体封装模具、封装结构及封装方法
CN204067352U (zh) * 2014-08-15 2014-12-31 阳信金鑫电子有限公司 一种桥式整流器内部封装结构
CN105895592A (zh) * 2016-06-24 2016-08-24 扬州扬杰电子科技股份有限公司 一种框架、包含该框架的二极管及二极管的加工工艺
CN109849278A (zh) * 2019-04-01 2019-06-07 孙炎权 利用模具改善智能功率半导体模块产品翘曲的方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111029265A (zh) * 2019-12-26 2020-04-17 珠海格力电器股份有限公司 一种防止qfn模封框架翘曲的塑封模具及方法
CN111029265B (zh) * 2019-12-26 2021-11-23 珠海格力电器股份有限公司 一种防止qfn模封框架翘曲的塑封模具及方法
CN114300563A (zh) * 2021-12-24 2022-04-08 安徽钜芯半导体科技有限公司 一种光伏模块结构及加工工艺
CN114300563B (zh) * 2021-12-24 2023-01-31 安徽钜芯半导体科技有限公司 一种光伏模块结构及加工工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110289217A (zh) 一种功率模块的封装工艺
JP5876645B2 (ja) リードフレームの製造方法
JP3897478B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造装置及びその製造方法
TW200614462A (en) Semiconductor package with heat sink and fabrication method thereof
CN110349864A (zh) 一种芯片散热片的封装方法及芯片封装产品
JP4381677B2 (ja) リードフレームストリップ及びこれを用いた半導体パッケージの製造方法
JP2007194558A (ja) 電子部品の樹脂封止成形方法と金型及びリードフレーム
JP4658353B2 (ja) 樹脂モールド金型及び樹脂モールドパッケージの製造方法
CN209566368U (zh) 蓝宝石晶棒精密数控加工多线切割用夹持装置
US8535988B2 (en) Large panel leadframe
JP6237919B2 (ja) リードフレーム、半導体装置の製造方法
CN209851448U (zh) 一种方便去溢料的包封模具结构
CN206116376U (zh) 一种to全包封封装结构
JP5467506B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
WO2019227918A1 (zh) 一种无基岛框架封装结构及其工艺方法
JP4579275B2 (ja) 樹脂モールド金型
KR102071561B1 (ko) 반도체 패키지용 몰딩 장치
CN211265462U (zh) 具有防侧面隔墙溢料功能的半导体芯片封装用件引线框架
CN211376613U (zh) 一种新型半导体封装模条定位装置
CN107978530A (zh) 一种减少ipm模块注塑溢料的方法和dbc基板
CN111029265B (zh) 一种防止qfn模封框架翘曲的塑封模具及方法
CN203242616U (zh) 无外引脚半导体封装构造的导线架条
CN203707118U (zh) 一种改善半导体芯片封装可靠性的结构
CN209071313U (zh) 具有六面式保护层的晶片封装结构
KR100693755B1 (ko) 반도체 패키지 제조용 리드프레임 구조

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190927