CN110254037B - 丝网印刷装置、掩模清洁器以及刮板 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种丝网印刷装置、掩模清洁器以及刮板。丝网印刷装置具备印刷头、移动基座以及掩模清洁器。印刷头隔着掩模在基板上印刷膏剂。移动基座在掩模的下方沿水平的膏剂刮取方向移动。掩模清洁器安装于移动基座并与移动基座一体地在掩模的下方移动，对附着于掩模的下表面的膏剂进行刮取。掩模清洁器具有基座体和多个刮板。基座体安装于移动基座，以与膏剂刮取方向交叉的水平方向为长边方向而延伸。多个刮板以装拆自如的方式安装于基座体，沿长边方向延伸并且在膏剂刮取方向上平行地并排配置，使突出至基座体的上方的膏剂刮取边缘与掩模的下表面抵接。

Description

丝网印刷装置、掩模清洁器以及刮板

技术领域

本发明涉及隔着掩模在基板上印刷膏剂的丝网印刷装置、用于对丝网印刷装置的掩模进行清洁的掩模清洁器以及掩模清洁器所使用的刮板。

背景技术

丝网印刷装置使掩模与基板接触，通过在掩模上形成的图案孔而在基板上印刷膏剂。在这样的丝网印刷装置中，需要定期从掩模的下表面刮取膏剂进行清洁，由此来避免对后续的基板的印刷质量的降低。掩模的清洁所使用的掩模清洁器具备：基座体，其安装于在掩模的下方沿水平的膏剂刮取方向移动的移动基座，与移动基座一体地在掩模的下方移动；以及清洁构件，其安装于基座体。掩模清洁器构成为，在使清洁构件抵接于掩模的下表面的状态下使基座体移动，由此对附着于掩模的下表面的膏剂进行刮取。清洁构件以往是纸制的构件(清洁纸)，但也已知有取代清洁纸而使用由SUS等金属成形的较薄的“板片”状的膏剂刮取工具(刮板)的清洁构件(例如，日本特开2016-196101号公报)。

在上述那样取代清洁纸而使用刮板的掩模清洁器中，基座体具有：框架，其具有向上方敞口的开口；以及刮板保持部，其装配于框架的开口，具备在基座体的长边方向上隔开间隔地并排的多个梁部。刮板保持部保持多个刮板，多个梁部对刮板的长边方向上的中间部进行支承。多个刮板分别从上方插入在刮板保持部上形成的多列槽部中的每列而安装。保持于刮板保持部的刮板通过使其长边方向上的两端部被刮板按压构件按压而固定于基座体。并且，在该状态下突出至基座体的上方的边缘与掩模的下表面抵接而用作刮取膏剂的膏剂刮取边缘。

然而，在日本特开2016-196101号公报所示出的丝网印刷装置中，存在如下问题：在从基座体拆下刮板进行清扫时，若作业者误将刮板较大地弯曲，则刮板塑性变形，从而膏剂刮取边缘不与掩模的下表面面接触，有可能降低清洁质量。

另外，也期待改善刮板的耐用寿命。

发明内容

为此，本发明的目的在于解决上述课题。

本发明的丝网印刷装置具备：印刷头，其隔着掩模在基板上印刷膏剂；移动基座，其在掩模的下方沿水平的膏剂刮取方向移动；以及掩模清洁器，其安装于移动基座并与移动基座一体地在掩模的下方移动，对附着于掩模的下表面的膏剂进行刮取。掩模清洁器具有：基座体，其安装于移动基座，以与膏剂刮取方向交叉的水平方向为长边方向而延伸；多个刮板，其以装拆自如的方式安装于基座体，沿长边方向延伸并且在膏剂刮取方向上平行地并排配置，使突出至基座体的上方的膏剂刮取边缘与掩模的下表面抵接，多个刮板分别由树脂构成。

本发明的掩模清洁器安装于移动基座并与移动基座一体地在掩模的下方移动，对附着于掩模的下表面的膏剂进行刮取，移动基座设置于隔着掩模在基板上印刷膏剂的丝网印刷装置且在掩模的下方沿水平的膏剂刮取方向移动。掩模清洁器具有：基座体，其安装于移动基座，以与膏剂刮取方向交叉的水平方向为长边方向而延伸；以及多个刮板，其以装拆自如的方式安装于基座体，沿长边方向延伸并且在膏剂刮取方向上平行地并排配置，并使突出至基座体的上方的膏剂刮取边缘与所述掩模的下表面抵接，刮板由树脂构成。

本发明的刮板是掩模清洁器具有的刮板，掩模清洁器安装于移动基座并与移动基座一体地在掩模的下方移动，对附着于掩模的下表面的膏剂进行刮取，移动基座设置于隔着掩模在基板上印刷膏剂的丝网印刷装置且在掩模的下方沿水平的膏剂刮取方向移动。刮板由树脂构成，以装拆自如的方式安装于基座体并沿长边方向延伸，该基座体安装于移动基座并以与膏剂刮取方向交叉的水平方向为长边方向而延伸，该刮板使突出至基座体的上方的膏剂刮取边缘与掩模的下表面抵接。

根据本发明，能够防止因刮板弯曲所致的清洁质量降低。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的丝网印刷装置的立体图。

图2是本发明的一实施方式的丝网印刷装置的侧视图。

图3是将本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器与掩模一并示出的侧视图。

图4是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的立体图。

图5A是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的俯视图。

图5B是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的侧视图。

图5C是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的仰视图。

图6是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器和移动基座的分解立体图。

图7是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的一部分的俯视图。

图8A是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的剖视图。

图8B是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的剖视图。

图9是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的基座部的立体图。

图10是构成本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的基座部的块构件的俯视图。

图11是构成本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的基座部的块构件的立体图。

图12是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的基座部的一部分的立体图。

图13是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的刮板的侧视图。

图14是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的一部分的立体图。

图15A是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的刮板的一部分的放大侧视图。

图15B是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的刮板的一部分的放大侧视图。

图16是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器的一部分的立体图。

图17A是对将本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器安装于移动基座的顺序进行说明的图。

图17B是对将本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器安装于移动基座的顺序进行说明的图。

图18是本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器和移动基座的侧剖视图。

图19A是对本发明的一实施方式的丝网印刷装置的动作进行说明的图。

图19B是对本发明的一实施方式的丝网印刷装置的动作进行说明的图。

图20是示出正在由本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器对掩模的下表面进行清洁的状态的图。

图21是示出正在由本发明的一实施方式的丝网印刷装置所具备的掩模清洁器对掩模的下表面进行清洁的状态的图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。图1和图2示出了本发明的一实施方式的丝网印刷装置1。丝网印刷装置1是将从上游工序侧供给的基板KB搬入、对设置于该基板KB的表面的多个焊盘LD分别印刷焊料等膏剂Pst并将基板KB向下游工序侧搬出的装置。这里为了便于说明，将从作业者OP观察到的丝网印刷装置1的前后方向设为Y轴方向，将从作业者OP观察到的左右方向(基板KB的输送方向)设为X轴方向，将上下方向设为Z轴方向。另外，在Y轴方向中，将从作业者OP观察到的近前侧设为前方，将从作业者OP观察到的里侧设为后方。

在图1和图2中，丝网印刷装置1在基台11上具备基板工作台12。在基板工作台12的上方配置有掩模13，在掩模13的上方设置有印刷头14。在基板工作台12与掩模13之间具备相机15和掩模清洁器16。在基台11的内侧收纳有控制部20，该控制部20具有执行程序的运算装置、存储部等。控制部20控制丝网印刷装置1，使丝网印刷装置1执行丝网印刷作业、掩模13的清洁作业等。

在图2中，基板工作台12由基板保持部21和基板保持部移动机构22构成。基板保持部21具备：基板输送用的一对输送机31，其在Y轴方向上平行地并排设置；下承受部32，其从下方支承由一对输送机31输送来的基板KB；以及一对夹持器33，其设置于一对输送机31的上部，在Y轴方向上开合自如。基板保持部21利用下承受部32从下方承受一对输送机31所接收到的基板KB，并利用一对夹持器33以夹持的方式保持该基板KB。基板保持部移动机构22由正交坐标工作台机构等构成，使基板保持部21在XY面内方向上、Z轴方向上以及绕Z轴的方向上移动，从而使基板保持部21所保持的基板KB移动。

在图1和图2中，掩模13具有在XY平面上扩展开的矩形形状。掩模13由金属制的板状构件构成，其四边由框构件13W支承。在掩模13的中央部设置有与基板KB的焊盘LD的配置相对应地形成的图案孔13H。

在图1和图2中，印刷头14具有在呈沿X轴方向延伸的形状的头基座41的下方具备2个刮刀42的结构。2个刮刀42由沿X轴方向延伸的“板片”状的构件构成，在Y轴方向上对置地配置。在头基座41的上表面设置有使2个刮刀42分别独立地升降的刮刀升降驱动部43。头基座41在Y轴方向上移动自如，并被印刷头移动机构44(图2)驱动而在掩模13的上方沿Y轴方向移动。

在图1和图2中，在掩模13的下方配置有沿X轴方向延伸的移动梁51，相机15安装于移动梁51的前侧。移动梁51在Y轴方向上移动自如，并被Y轴方向移动机构52(图2)驱动而在掩模13的下方沿Y轴方向移动。另外，相机15通过设置于移动梁51的X轴方向移动机构53(图3)而沿着移动梁51在X轴方向上移动。

相机15具有对上方和下方这两方进行拍摄的功能。相机15通过相机15自身在X轴方向上的移动和移动梁51在Y轴方向上的移动，在掩模13的下方并在水平面内(XY面内)移动，从上方对保持于基板保持部21的基板KB进行拍摄，并且从下方对掩模13进行拍摄。

在图1和图2中，在移动梁51的后方装配有沿X轴方向延伸的清洁器安装部54。清洁器安装部54与移动梁51一起在Y轴方向上移动。在清洁器安装部54的后侧以升降自如的方式设置有移动基座55，掩模清洁器16安装于移动基座55(亦参照图3)。

在图3中，在清洁器安装部54设置有升降机构54K，移动基座55通过升降机构54K而进行升降。升降机构54K由利用空气、液压进行驱动的致动器构成。当升降机构54K使移动基座55升降时，掩模清洁器16相对于移动梁51升降(图3中示出的箭头A)。

在图4、图5A、图5B以及图5C中，掩模清洁器16具有整体上沿X轴方向延伸的形状。亦如图6、图7、图8A以及图8B所示，掩模清洁器16具备基座体61、多个(这里为6个)刮板62、一对末端构件63以及整流板64等。这里，图8A是从图7中的V1-V1向视观察的剖视图(横断一个梁部73整体的剖视图)，图8B是从图7中的V2-V2向视观察的剖视图(不横断梁部73的剖视图)。

在图5A、图6以及图9中，基座体61构成为，以与掩模清洁器16刮取膏剂Pst的刮取方向即Y轴方向(设为膏剂刮取方向)交叉的水平方向为长边方向(相当于X轴方向)而延伸，具有框架71和刮板保持部72。框架71是沿基座体61的长边方向延伸的矩形框体状的构件，在中央部具有在上下方向上贯通并向上方敞口的开口71S。刮板保持部72装配于框架71的开口71S，具备在基座体61的长边方向(X轴方向)上隔开间隔地并排的多个梁部73。

在本实施方式中，刮板保持部72由以装拆自如的方式安装于框架71的多个(这里为7个)块构件72B构成(图5A、图6以及图9)。这些多个块构件72B彼此具有相同形状。

在图10、图11以及图12中，刮板保持部72(各块构件72B)具有平行的一对边缘部74，该一对边缘部74沿基座体61的长边方向(X轴方向)延伸，并在膏剂刮取方向(Y轴方向)上对置，多个梁部73架设于这一对边缘部74之间而延伸。刮板保持部72(即各块构件72B)以将一对边缘部74载置于在框架71的开口71S内形成的一对块支承部71B的方式安装于框架71(图8A和图8B)。

在刮板保持部72(7个块构件72B)安装于框架71的状态下，多个梁部73在基座体61的长边方向(X轴方向)上等间隔(在以各梁部73的膏剂刮取方向上的中间位置为基准进行观察的情况下为等间隔)地设置(图6和图9)。另外，多个梁部73分别与膏剂刮取方向(Y轴方向)在水平面内倾斜地交叉(从相对于基座体61的长边方向正交的姿势略微倾斜)(图5A和图10)。因此，多个刮板62的彼此不同的长边方向上的部位被梁部73支承，在从膏剂刮取方向观察掩模清洁器16的情况下，各刮板62的被梁部73支承的部位和没有被梁部73支承的部位成为在刮板62的长边方向上几乎均衡地分散的状态。

在图10、图11以及图12中，在刮板保持部72设置有用于供多个刮板62插入的多列(这里为6列)槽部75，该多列槽部75分别沿基座体61的长边方向延伸。在本实施方式中，在刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向(这里为前方)上的前后的2个边缘部74各设置有一个(一列)槽部75，在多个梁部73设置有4列槽部75。这4列槽部75遍及在基座体61的长边方向上隔开间隔地并排的多个梁部73而设置(图10和图11)。

在图10、图11以及图12中，各槽部75向上方开口。刮板保持部72所具备的多列(6列)槽部75彼此平行，且上端侧分别向与刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向相反的方向(即后方)倾斜。

在图6和图13中，各刮板62是沿基座体61的长边方向延伸的薄板状的构件，由树脂构成。如图14所示，6个刮板62从上方插入设置于刮板保持部72的6列槽部75。因此，支承于刮板保持部72的多个刮板62成为在膏剂刮取方向上彼此平行地并排的状态(图4、图5A以及图14)。

在图8A和图8B中，6个刮板62中的2个被位于刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向(图8A、图8B中的纸面右方)上的前后两端的2列槽部75支承。6个刮板62中的其他4个刮板62被设置于刮板保持部72的4列槽部75支承。即，从行进方向观察时，位于前端和最末尾的2个刮板62被设置于边缘部74的槽部75支承。位于它们中间的4个刮板62被设置于梁部73的槽部75支承。如前所述，各槽部75的上端侧向后方倾斜，因此插入于槽部75的各刮板62成为在开口71S内上端侧向后方倾斜了的姿势。

这里，供上述中间的4个刮板62中位于最后侧的刮板62(在图8A、图8B中用附图标记62T表示)插入的槽部75T在后侧的边缘部74的上表面开口。由此，在槽部75T的上端沿着边缘部74形成有与刮板62几乎相同长度的倾斜的密封面75S。如图12所明示，该密封面75S也形成于没有梁部73的边缘部74的上部。因此，插入槽部75T的刮板62T的后表面与密封面75S抵接。

在图8A、图8B中，上述中间的4个刮板62分别在长边方向上的中间的一部分被多个梁部73局部支承，因此从梁部73伸出了的部分成为位于开口71S内的状态。因此，由前端的刮板62以及中间的4个刮板62夹持的空间62S与开口71S连通。与此相对，关于位于掩模清洁器16的行进方向上的最后侧的刮板62，其长边方向上的整体被刮板保持部72支承，并且比其靠前侧一位的刮板62T的后表面与密封面75S抵接，因此由位于行进方向上的最后侧的刮板62与比其靠前侧一位的刮板62T夹持的空间62ST被从开口71S隔断。由于位于掩模清洁器16的行进方向上的最前侧的刮板62也位于开口71S的外部，因此其膏剂刮取面侧的空间被从开口71S隔断。

这样，本实施方式的掩模清洁器16构成为具备：基座体61，其安装于移动基座55，以与膏剂刮取方向交叉的水平方向为长边方向而延伸；以及膏剂刮取边缘62E，其以装拆自如的方式安装于基座体61，沿长边方向延伸并且在膏剂刮取方向上平行地并排配置，并突出至基座体61的上方。并且，基座体61具有：框架71，其具有向上方敞口的开口71S；以及刮板保持部72，其装配于框架71的开口71S，并具备在长边方向上隔开间隔地并排的多个梁部73，刮板保持部72保持多个(6个)刮板62，多个梁部73构成为局部支承刮板62(6个刮板62之中除了位于掩模清洁器16的行进方向上的最前侧和最后侧的2个刮板62以外的4个刮板62)的长边方向上的中间部。

另外，在本实施方式的掩模清洁器16中，构成为在由刮板62夹持的多个空间62S中，至少位于在刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向上的最后侧的空间62ST不与开口71S连通。

在图4、图5A、图5B、图5C、图6以及图9中，一对末端构件63安装于基座体61的长边方向(Y轴方向)上的两端部。各末端构件63分别由树脂构成，具有在膏剂刮取方向(Y轴方向)上并排形成的2个螺钉孔63H。通过将插通于2个螺钉孔63H的2个螺钉63S拧入设置于基座体61的长边方向上的两端部的螺钉安装孔61H(图6)，从而将各末端构件63以装拆自如的方式装配于基座体61。末端构件63具备在XY方向上扩展的平坦的上表面63F。

在图13中，在各刮板62的长边方向上的两端部形成有被按压部62H。被按压部62H具有向刮板62的长边方向的外侧突出的上下对称的半圆形状。若将一对末端构件63安装于基座体61的两端部，则末端构件63的突起部63T(图15A、图15B)从上方抵接于多个刮板62各自的被按压部62H的倾斜面(这里为圆弧面)，从而多个刮板62被固定于框架71。

这样，在本实施方式中，多个刮板62分别具有从长边方向的两端部向长边方向的外侧突出而形成的一对被按压部62H，多个刮板62所分别具有的一对被按压部62H被以装拆自如的方式安装于基座体61的一对末端构件63从上方按压。

装配于基座体61的一对末端构件63通过与多个刮板62的被按压部62H的两端部接触，由此在膏剂刮取方向(Y轴方向)上在相邻的刮板62彼此之间形成侧壁。因此，防止在进行后述的空气吸引时，气体从由刮板62夹持的空间62S的侧方流入。需要说明的是，刮板62的被按压部62H的形状并不局限于图13所示那样的在上下方向上对称的半圆形状，也可以是在上下方向上对称的半椭圆形状、三角形形状、梯形形状等。

在多个刮板62通过一对末端构件63而固定于框架71的状态下，多个刮板62的各自的上缘比各末端构件63的上表面更向上方突出(图8A、图8B以及图15A、图15B)。即，安装于基座体61的各末端构件63的上表面位于比多个刮板62的上缘低的位置。突出至基座体61的上方的上缘成为在清洁掩模13时与掩模13的下表面抵接而刮取膏剂Pst的边缘(膏剂刮取边缘62E)(图13)。

在图13中，各刮板62具有在上下方向上对称的形状，并具有在上下方向上对置的2个边缘(第一边缘62a和第二边缘62b)。因此，各刮板62能够以任一方的边缘(第一边缘62a或者第二边缘62b)成为膏剂刮取边缘62E的方式安装于基座体61(图15A、图15B)。

如图15A、图15B所示，在各刮板62的端部标有用于识别第一边缘62a和第二边缘62b的识别标记62M(识别标识)(亦参照图13和图16)。识别标记62M能够在刮板62安装于基座体61的状态下从外部目视确认(图16)。因此，作业者无需从基座体61拆下刮板62，便能够知道该刮板62的第一边缘62a和第二边缘62b中的哪个是膏剂刮取边缘62E。

在图5C、图6以及图14中，整流板64位于基座体61的下表面侧而设置。整流板64具有在基座体61的长边方向上并排设置的多个整流孔64H，并借助多个整流板安装螺钉64S以装拆自如的方式装配于基座体61(图6以及图8A、图8B)。

在图6中，在移动基座55的上表面的与基座体61的下表面接触的部分设置有多个(这里为2个)定位孔55H。另一方面，在构成基座体61的框架71的下表面设置有与多个定位孔55H相对应地配置的多个(这里为2个)定位销61P，该多个定位销61P向下方延伸(图5B、图5C)。这些多个定位销61P为了使基座体61相对于移动基座55定位而设置。

在将掩模清洁器16安装于移动基座55时，使设置于掩模清洁器16的基座体61的多个定位销61P从上方插入(图17A中示出的箭头B)设置于移动基座55的多个定位孔55H。由此，掩模清洁器16安装于移动基座55上的规定位置(图17B)。

在图5B、图5C、图8A以及图8B中，在基座体61中埋设有表面在基座体61的下表面露出了的多个磁铁61M。另一方面，移动基座55由磁性材料构成。因此，当将掩模清洁器16安装于移动基座55上的规定位置时，埋设于框架71的多个磁铁61M分别在磁力的作用下吸附于移动基座55的上表面，从而掩模清洁器16固定于移动基座55(图17B)。

在图18(从图17B中的V3-V3向视观察的剖视图)中，在掩模清洁器16已安装于移动基座55的状态下，掩模清洁器16的开口71S与形成于移动基座55的内部空间55S(亦参照图6)连通。在移动基座55设置有真空吸引管路55T，该真空吸引管路55T通过设置于内部空间55S中的空气通路55R(亦参照图6)而延伸到外部(图3和图18)。在该真空吸引管路55T连接有吸出机构80(图3和图18)，当吸出机构80经由真空吸引管路55T吸引空气时，掩模清洁器16的上方的空气通过开口71S和设置于整流板64的整流孔64H导入内部空间55S侧，从而将附着于掩模13的下表面、图案孔13H内的膏剂Pst向掩模清洁器16侧吸出。

在丝网印刷装置1实施丝网印刷作业的情况下，首先，由输送机31接受从丝网印刷装置1的外部供给的基板KB，并搬入到规定位置。接着，下承受部32上升，从下方支承基板KB，进而夹持器33工作，从Y轴方向夹持基板KB。在夹持器33夹持基板KB之后，相机15一边通过Y轴方向移动机构52和X轴方向移动机构53的工作而在水平方向上移动，一边对掩模13和基板KB进行拍摄。控制部20计算出根据由相机15拍摄到的基板KB和掩模13的图像数据而得到的基板KB与掩模13之间的相对位置关系，以基板KB的各焊盘LD与掩模13的图案孔13H上下重叠的方式使基板保持部移动机构22工作，从而使基板KB与掩模13接触。

在基板KB与掩模13接触后，刮刀升降驱动部43工作，使2个刮刀42中的一方与掩模13的上表面抵接。刮刀42与掩模13的上表面抵接之后，印刷头移动机构44使头基座41在Y轴方向上移动。由此，供给到掩模13上的膏剂Pst被刮刀42聚拢于掩模13上(图2)，膏剂Pst通过掩模13的图案孔13H涂敷于基板KB的各焊盘LD。

在基板KB的各焊盘LD上涂敷了膏剂Pst之后，基板保持部移动机构22使基板保持部21下降，使基板KB与掩模13分离(版释放)。由此，膏剂Pst在基板KB上的印刷结束。在膏剂Pst在基板KB上的印刷结束之后，输送机31工作，将基板KB搬出到丝网印刷装置1的外部。

在由输送机31将基板KB搬出到丝网印刷装置1的外部之后，执行由掩模清洁器16进行的掩模清洁作业。在掩模清洁作业中，Y轴方向移动机构52使移动梁51在Y轴方向上移动，使掩模清洁器16位于掩模13的后下方。在掩模清洁器16位于掩模13的后下方之后，升降机构54K工作，使掩模清洁器16上升，使掩模清洁器16(具体而言，使6个刮板62的膏剂刮取边缘62E)与掩模13的下表面抵接(图19A)。

在掩模清洁器16与掩模13的下表面抵接之后，Y轴方向移动机构52工作，使移动梁51向前方移动。由此，掩模清洁器16所具备的6个刮板62在掩模13的下表面滑动，由各刮板62的膏剂刮取边缘62E将附着于掩模13的下表面的膏剂Pst刮取下去(图19B和图20)。另外，在6个刮板62对附着于掩模13的下表面的膏剂Pst进行刮取的期间，吸出机构80吸引空气。由此，附着于掩模13的膏剂Pst通过掩模清洁器16的开口71S和由刮板62夹持的多个空间62S而被吸出机构80强制地吸出，因此膏剂Pst的刮取效率提高。

这样，如图20中示出的区域Ra的放大图即图21所示，刮板62在掩模13的下表面滑动而执行着掩模清洁时，安装于基座体61的一对末端构件63从下方与掩模13的下表面抵接。因此，防止在掩模清洁中，气体从由刮板62夹持的空间62S的侧方流入至开口71S中。由此，能够避免因从无助于清洁的部位流入的空气致使掩模清洁器16的吸引力减损。

在图21中，在掩模清洁中的对膏剂Pst的刮取中，在膏剂刮取方向上并排配置的6个刮板62中位于刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向上的最前侧的刮板62先于其他刮板62，对附着于掩模13的下表面的膏剂Pst进行刮取。因此，就膏剂Pst的刮取量而言，位于刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向上的最前侧的刮板62最多，除此以外的5个刮板62越位于后方则刮取量越少。

另外，比位于刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向上的最前侧的刮板62位于后方的各刮板62，也刮取由吸出机构80从该刮板62即将通过之前的图案孔13H吸出了的膏剂Pst。进而，没有由该刮板62刮取完的膏剂Pst由位于该刮板62的后方的刮板62刮取。

当反复进行掩模清洁时，附着于刮板62的所刮取的膏剂Pst的量逐渐增加，刮板62刮取膏剂Pst的性能也随着所附着的膏剂Pst的量增加而降低。因此，通过使用多个刮板62以便尽可能长时间地维持清洁性能。除此以外，在本实施方式中，还想办法通过减少在位于掩模清洁器16的行进方向上的最后侧的刮板62上附着的膏剂Pst的量，从而更长时间地维持清洁性能。

在本实施方式中，如前所述，在膏剂刮取方向上并排配置的6个刮板62中，位于刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向上的最后侧的刮板62与比其靠前侧一位的刮板62T之间的空间62ST被从开口71S隔断，该空间62ST几乎不受吸出机构80的吸引力的影响。由此，在空间62ST中，不产生使残留于图案孔13H的内部的膏剂Pst移动至掩模13的下表面的空气流动。

因此，由吸出机构80强制地吸出了的膏剂Pst不会流入至6个刮板62中位于行进方向上的最后侧的刮板62的膏剂刮取面，位于最后侧的刮板62所刮取的膏剂Pst的量比其他刮板62少。换言之，残存于图案孔13H的内部的膏剂Pst不会流入至位于行进方向上的最后侧的空间62ST中，因此位于最后侧的刮板62仅刮取其前面的刮板62T没有刮取掉的微量膏剂Pst即可。因而，位于最后侧的刮板62能够保持与位于其前方的其他刮板62相比未被膏剂Pst污染的状态，能够可靠地刮取由前方的刮板62刮剩下了的膏剂Pst。由此，能够长期间地维持清洁性能，能够使清洁单元的清扫等次数、与此相伴随的清洁印刷装置的运行停止时间少于以往。

在此种丝网印刷装置1中，各刮板62因刮取膏剂Pst而变脏，需要在规定的时机进行清扫。刮板62从基座体61拆下再进行清扫，但在本实施方式中，如前所述，刮板62由树脂构成，因此在清扫刮板62时，即使误使刮板62大幅弯曲，刮板62也不会塑性变形，不会出现在清扫后(安装于基座体61上之后)膏剂刮取边缘62E不与掩模13的下表面面接触的情况。因此，能够防止因在对刮板62进行清扫时等使刮板62变形所致的清洁质量的降低。需要说明的是，在对刮板62进行清扫时使用能够使膏剂Pst溶解的醇类溶剂，因此刮板62优选使用树脂中的对醇类溶剂具有耐用性的树脂。

另外，在本实施方式中，刮板62呈在上下方向上对称的形状，能够将在上下方向上对置设置的2个边缘(第一边缘62a和第二边缘62b)中的任一方用作膏剂刮取边缘62E。因此，在第一边缘62a和第二边缘62b中的一方达到了刮取膏剂Pst的耐用限度时，将刮板62从基座体61上拆下，使其使上下反转后重新安装于基座体61，由此能够将刮板62再次使用至耐用限度。这样，在本实施方式的掩模清洁器16中，能够使刮板62的耐用寿命增大(倍增)，从而能够降低成本。

这里，如前所述，在各刮板62上标有用于识别第一边缘62a和第二边缘62b的作为识别标识的识别标记62M，作业者通过参照预先决定好的第一边缘62a和第二边缘62b的使用顺序，能够切实地了解刮板62的状况(是使刮板62的上下反转之前的状况还是反转之后的状况)。需要说明的是，在本实施方式中，识别标记62M例示出了顶角朝向第一边缘62a侧的三角形的图形(图15A、图15B)，但这仅为一例，识别标记62M的形态并不限定于此。

另外，掩模清洁器16的刮板保持部72所具备的多个梁部73分别相对于膏剂刮取方向(Y轴方向)在水平面内倾斜延伸，多个刮板62的彼此不同的长边方向上的部位被梁部73支承。因此，在清洁掩模13时，各刮板62的被梁部73支承的部位和没有被梁部73支承的部位在刮板62的长边方向上分散，从掩模清洁器16整体来看，刮板62接触于掩模13的接触状态变得均匀。由此，在掩模13的下表面不会残留与梁部73的位置相对应的条纹，从而能够提高清洁质量。

另外，在本实施方式中，刮板保持部72由以装拆自如的方式安装于框架71的相同形状的多个块构件72B构成，因此在清扫刮板62时一并进行的对基座体61的清扫中，对刮板保持部72的清扫变得极其容易。刮板保持部72多使用超声波清洗机等进行清扫，但在该情况下，清洗槽只要具有放入至少一个块构件72B的大小即可，因此超声波清洗机可以是小型的，能够降低清扫所需的成本。

另外，如前所述，由位于最后侧的刮板62刮取的膏剂Pst的量比其他刮板62少，能够可靠地对位于其前方的其他刮板62所刮剩下了的膏剂Pst进行刮取，因此能够提高掩模13的清洁质量。而且，由于位于最后侧的刮板62本身也不易产生膏剂Pst的刮取残留，因此，能够将残留于掩模13的下表面的膏剂Pst抑制在极少量，根据这一点也能够提高掩模13的清洁质量。

另外，供掩模清洁器16安装的移动基座55由磁性材料构成，另一方面，在掩模清洁器16的基座体61中设置有磁铁61M，该磁铁61M在磁力的作用下吸附于移动基座55的上表面。因此，能够单触式地将掩模清洁器16相对于移动基座55装拆，从而能够提高维护时等的作业性。

另外，如前所述，在正在执行掩模清洁的期间，通过使安装于基座体61的一对末端构件63的上表面63F从下方与掩模13的下表面抵接，由此能够防止气体从由刮板62夹持的空间62S的侧方流入，因此能够在掩模清洁时，高效地吸出膏剂Pst。由此，根据这一点也能提高清洁质量。另外，末端构件63作为用于避免使刮板62以过大的力按压于掩模13的限位器发挥功能。即，通过末端构件63的上表面63F与掩模13的下表面接触，由此将刮板62的变形保持在一定范围内，将刮板62的摩耗的发展控制在指定的范围内。

如上所述，在本实施方式的丝网印刷装置1中，掩模清洁器16所具备的刮板62由树脂构成，因此在将刮板62从基座体61拆下进行清扫时，即使作业者误使刮板62大幅弯曲，刮板62也不会出现塑性变形。因此，能够避免膏剂刮取边缘62E不与掩模13的下表面面接触的情况，能够防止因刮板62弯曲而导致清洁质量降低。

另外，在本实施方式的丝网印刷装置1中，刮板62呈在上下方向上对称的形状，能够将在上下方向上对置设置的2个边缘(第一边缘62a和第二边缘62b)中的任一方用作膏剂刮取边缘62E。因此，通过反转刮板62的上下来使用，能够增加(倍增)耐用寿命，从而能够降低成本。

至此对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述内容。例如，在上述实施方式中，掩模清洁器16所具备的刮板62的数量为6个，但这是一例，刮板62的数量并不特别地限定。另外，隔着掩模13在基板KB上印刷膏剂Pst的印刷头14具有使刮刀42在掩模13上滑动的结构，但也可以是将封入盒中的膏剂Pst压出到掩模13上的结构等。

另外，在上述实施方式中，在支承于刮板保持部72的多个(6个)刮板62中，位于刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向上的最前方的刮板62和位于最后方的刮板62都位于开口71S的外侧，但也可以是，位于最前方的刮板62位于开口71S的内侧。即，只要构成为如下结构即可，即，在由刮板62夹持的多个空间62S中，至少位于在刮取膏剂Pst时的掩模清洁器16的行进方向上的最后侧的空间62S被从开口71S隔断。

另外，在上述实施方式中，设为移动基座55整体由磁性体材料构成，但移动基座55只要在磁力的作用下被埋设于基座体61中的多个磁铁61M吸附即可，因此只要移动基座55的至少包括上表面的部分由磁性体材料构成即可。

本发明能够应用于通过丝网印刷向基板印刷焊膏、粘合剂等膏剂的丝网印刷装置。

Claims (14)

1.一种丝网印刷装置，其中，具备：

印刷头，其隔着掩模在基板上印刷膏剂；

移动基座，其在所述掩模的下方沿水平的膏剂刮取方向移动；以及

掩模清洁器，其安装于所述移动基座并与所述移动基座一体地在所述掩模的下方移动，对附着于所述掩模的下表面的所述膏剂进行刮取，

所述掩模清洁器具有：

基座体，其安装于所述移动基座，以与所述膏剂刮取方向交叉的水平方向为长边方向而延伸；以及

多个刮板，其以装拆自如的方式安装于所述基座体，沿所述长边方向延伸并且在所述膏剂刮取方向上平行地并排配置，并使突出至所述基座体的上方的膏剂刮取边缘与所述掩模的下表面抵接，

所述多个刮板分别由树脂构成，

所述基座体具有：框架，其具有向上方敞口的开口；以及刮板保持部，其装配于所述开口，具备在所述长边方向上连续延伸的平行的一对边缘部和在所述长边方向上隔开间隔地并排的多个梁部，

所述刮板保持部保持所述多个刮板，所述多个梁部对所述刮板的所述长边方向上的中间部进行支承，

所述刮板保持部由以装拆自如的方式安装于所述框架的多个块构件构成。

2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其中，

所述多个刮板分别具有在上下方向上对称的形状，并能够将在上下方向上对置设置的第一边缘和第二边缘中的任一方用作所述膏剂刮取边缘。

3.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其中，

在所述刮板保持部设置有供所述多个刮板插入的多列槽部。

4.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，其中，

所述多个块构件彼此呈相同形状。

5.根据权利要求2所述的丝网印刷装置，其中，

所述多个刮板分别具有从所述长边方向上的两端部向所述长边方向的外侧突出而形成的一对被按压部，所述多个刮板各自具有的所述一对被按压部被以装拆自如的方式安装于所述基座体的一对末端构件从上方按压。

6.根据权利要求5所述的丝网印刷装置，其中，

所述多个刮板各自具有的所述一对被按压部分别呈上下对称的圆弧形状。

7.根据权利要求2所述的丝网印刷装置，其中，

在所述多个刮板上分别标有用于识别所述第一边缘和所述第二边缘的识别标识。

8.一种掩模清洁器，其安装于移动基座并与所述移动基座一体地在掩模的下方移动，对附着于所述掩模的下表面的膏剂进行刮取，所述移动基座设置于隔着所述掩模在基板上印刷所述膏剂的丝网印刷装置且在所述掩模的下方沿水平的膏剂刮取方向移动，其中，所述掩模清洁器具有：

基座体，其安装于所述移动基座，以与所述膏剂刮取方向交叉的水平方向为长边方向而延伸；以及

多个刮板，其以装拆自如的方式安装于所述基座体，沿所述长边方向延伸并且在所述膏剂刮取方向上平行地并排配置，并使突出至所述基座体的上方的膏剂刮取边缘与所述掩模的下表面抵接，

所述刮板由树脂构成，

所述基座体具有：框架，其具有向上方敞口的开口；以及刮板保持部，其装配于所述开口，具备在所述长边方向上连续延伸的平行的一对边缘部和在所述长边方向上隔开间隔地并排的多个梁部，

所述刮板保持部保持所述多个刮板，所述多个梁部对所述刮板的所述长边方向上的中间部进行支承，

所述刮板保持部由以装拆自如的方式安装于所述框架的多个块构件构成。

9.根据权利要求8所述的掩模清洁器，其中，

所述多个刮板分别具有在上下方向上对称的形状，并能够将在上下方向上对置设置的第一边缘和第二边缘中的任一方用作所述膏剂刮取边缘。

10.根据权利要求8所述的掩模清洁器，其中，

在所述刮板保持部设置有供所述多个刮板插入的多列槽部。

11.根据权利要求8所述的掩模清洁器，其中，

所述多个块构件彼此呈相同形状。

12.根据权利要求9所述的掩模清洁器，其中，

所述多个刮板分别具有从所述长边方向上的两端部向所述长边方向的外侧突出而形成的一对被按压部，

所述多个刮板各自具有的所述一对被按压部被以装拆自如的方式安装于所述基座体的一对末端构件从上方按压。

13.根据权利要求12所述的掩模清洁器，其中，

所述多个刮板各自具有的所述一对被按压部分别呈上下对称的圆弧形状。

14.根据权利要求9所述的掩模清洁器，其中，

在所述多个刮板上分别标有用于识别所述第一边缘和所述第二边缘的识别标识。

Images