CN110234914A - 复合密封件 - Google Patents

Abstract

[技术问题]提供一种复合密封件，能长期维持真空密封性能、耐等离子性和耐腐蚀气体性等性能。[解决方案]一种复合密封件，安装在设于一方构件的主体面的密封槽内，通过使另一方构件靠近上述一方构件而使上述一方构件与另一方构件之间变成密封状态，上述复合密封件包括：配置于上述密封槽的一方侧壁侧、并由弹性构件构成的第一密封构件；以及配置于上述密封槽的另一方侧壁侧、并由比上述第一密封构件硬的材料构成的第二密封构件，上述第二密封构件至少具有：与上述密封槽的另一方侧壁大致平行且面接触的另一方侧壁抵接面；以及与上述另一方构件的密封面大致平行、且在上述密封状态时与另一方构件的密封面面接触的密封抵接面。

Description

复合密封件

技术领域

本发明涉及例如在真空状态下使用的复合密封件，尤其涉及适合在半导体制造装置中使用的复合密封件。

背景技术

随着半导体制造装置的进步，对半导体制造装置中使用的构件的要求变得更加严格，要求也变得多样。

例如，干蚀刻装置、等离子CVD(化学气相沉积)装置等半导体制造装置中使用的密封件作为基本性能需要真空密封性能。而且，根据使用的装置、密封件的安装部位，要求同时具备耐等离子性和耐腐蚀气体性等性能。

在如上所述除了要求真空密封性能之外还要求耐等离子性、耐腐蚀气体性的密封领域，在此之前一直使用不易受到流体的影响的氟橡胶。

然而，随着使用条件变得严格，氟橡胶的耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能变得不充分，从而需要新的材料。

针对上述这种要求，作为同时具备真空密封性能、耐等离子性、耐腐蚀气体性等特性、并且即使反复使用也能维持期望的真空密封性能的复合密封件，本发明人等已经提出了在专利文献1中公开的复合密封件。

如图8所示，专利文献1所公开的复合密封件100安装在形成于一方构件110的单侧燕尾槽112内，其由第一密封构件130和第二密封构件140构成，其中，上述第一密封构件130由弹性构件(例如氟橡胶)构成，上述第二密封构件140由比第一密封构件130硬的材料(例如氟树脂)构成。

这种复合密封件100主要通过第一密封构件130确保真空密封性能，且通过第二密封构件140确保耐等离子性、耐腐蚀气体性等耐性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2009－174627号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在上述这种现有的复合密封件100中，与另一方构件120抵接的第二密封构件140的密封抵接面142为截面呈圆弧状的曲面，因此，在如图9所示的密封状态时，第二密封构件140的密封抵接面142与另一方构件120的密封面122抵接的抵接面积以及第二密封构件140的内周壁抵接面144与单侧燕尾槽112的内周壁114接触的抵接面积都往往较少。

若如上所述抵接面积变少，则在密封状态时第二密封构件140针对内周侧的腐蚀性气体、等离子有时难以长时间确保耐性寿命。

此外，现有的复合密封件100在第一密封构件130的底部132设有位于单侧燕尾槽112的外周壁116侧的端部的外周突起136和位于内周壁114侧的端部的内周突起134，但在外周突起136与内周突起134之间形成有大的空间150，因此，在密封状态时，设想如图9所示的箭头那样第一密封构件130和第二密封构件140从原位置分别向空间150产生滚动的情况。因此，为了发挥可靠的密封特性，第二密封构件140的密封抵接面142需要由截面呈圆弧状的曲面形成。

因此，实际情况是，为了针对内周侧的腐蚀性气体、等离子而长期确保耐性寿命，需要进一步改良后的复合密封件。

本发明是鉴于上述实际情况而发明的，其目的在于提供一种复合密封件，能长期可靠地维持真空密封性能、耐等离子性、耐腐蚀性等性能。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明是为了解决上述技术问题而完成的，

本发明的复合密封件安装在设于一方构件的主体面的密封槽内，通过使另一方构件靠近上述一方构件而使上述一方构件与另一方构件之间变成密封状态，

上述复合密封件的特征是包括：

第一密封构件，上述第一密封构件配置于上述密封槽的一方侧壁侧，并由弹性构件构成；以及

第二密封构件，上述第二密封构件配置于上述密封槽的另一方侧壁侧，并由比上述第一密封构件硬的材料构成，

上述第二密封构件至少具有：

另一方侧壁抵接面，上述另一方侧壁抵接面与上述密封槽的另一方侧壁大致平行且面接触；以及

密封抵接面，上述密封抵接面与上述另一方构件的密封面大致平行，且在上述密封状态时与另一方构件的密封面面接触。

若如上所述构成，则在密封状态时第二密封构件与另一方构件的密封面之间、以及第二密封构件与密封槽的另一方侧壁之间均大范围面接触，因此，能长期可靠地维持真空密封性能、耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能。

此外，在如上所述构成的复合密封件中，通过第二密封构件的另一方侧壁抵接面与密封抵接面而使与密封槽的另一方侧壁和另一方构件的密封面的抵接面积变成大范围，因此，在长期维持一方构件与另一方构件之间的密封状态的环境下尤为优选。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

所述第一密封构件至少具有：

密封突部，上述密封突部比上述一方构件的主体面朝另一方构件的密封面侧突出；

侧方膨出部，上述侧方膨出部向上述密封槽的一方侧壁膨出；

底部，上述底部与上述密封槽的底面抵接；以及

载置部，上述载置部对上述第二密封构件进行载置。

若以上述方式构成第一密封构件，则尤其能长期可靠地维持第一密封构件与另一方构件的密封面之间的真空密封性能。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

上述第一密封构件的侧方膨出部在垂直方向上的中心位置构成为位于载置于上述载置部的第二密封构件在垂直方向上的上端部与下端部之间。

若如上所述构成，则在复合密封件被另一方构件按压时容易均等地对第一密封构件和第二密封构件双方施加力，从而能可靠地防止产生滚动。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

安装于上述一方侧壁的高度设定得比另一方侧壁的高度高的密封槽内。

若如上所述密封槽的一方侧壁的高度与另一方侧壁的高度不同，则在密封状态时，即使位于另一方侧壁侧的另一方构件的局部在真空环境下的压力的作用下朝一方构件侧挠曲，挠曲的另一方构件也不会与另一方侧壁侧的一方构件接触，从而能通过复合密封件可靠地将两个构件之间密封。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

在上述密封状态下，

上述第二密封构件的密封抵接面在水平方向上的宽度为从上述一方构件的密封槽的另一方侧壁侧的主体面至另一方构件的密封面的在垂直方向上的高度的四倍以上。

若以上述方式设定第二密封构件的密封抵接面在水平方向上的宽度，则尤其能长期可靠地维持耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

在上述密封状态下，

上述第二密封构件的另一方侧壁抵接面在垂直方向上的宽度为从上述一方构件的密封槽的另一方侧壁侧的主体面至另一方构件的密封面的在垂直方向上的高度的四倍以上。

若以上述方式设定第二密封构件的另一方侧壁抵接面在垂直方向上的宽度，则尤其能长期可靠地维持耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

上述第一密封构件的底部至少具有：

一方突起，上述一方突起位于上述密封槽的一方侧壁侧的端部；

另一方突起，上述另一方突起位于上述密封槽的另一方侧壁侧的端部；以及

中央突起，上述中央突起位于上述一方突起与上述另一方突起之间。

若以上述方式设置至少三种突起，则能可靠地防止像以往那样在一方突起与另一方突起之间形成较大的空间而产生的滚动。

尤其，在密封状态时，通过中央突起阻止第一密封构件的局部进入到一方突起与另一方突起之间，因此，不易产生复合密封件在旋转方向上的变形，从而能可靠地防止滚动。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

在上述第一密封构件中，

于上述密封突部与供上述第二密封构件载置的载置部之间设有凹部。

若在上述这种位置设有凹部，则最初与另一方构件抵接而变形的第一密封构件的密封突部的局部将会进入到上述凹部内，从而能防止整体产生滚动。即，凹部作为变形时的逃逸部分发挥作用，因此，能尽可能地使其他部分的动作最小，从而能防止产生滚动。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

上述中央突起在水平方向上的中心位置与上述凹部在水平方向上的中心位置处于大致相同位置。

若如上所述中央突起位于凹部的正下方，则在达到密封状态时，即使第一密封构件的局部发生变形也不会大幅度变形，从而能尽可能地防止整体产生滚动。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

上述第一密封构件的密封突部在水平方向上的中心位置构成为位于上述一方突起与上述中央突起之间。

若如上所述构成，则在密封突部与另一方构件抵接而达到密封状态时，第一密封构件的局部将会笔直地沿垂直方向进入到在一方突起与中央突起之间产生的较小的间隙内，因此，能可靠地防止产生滚动。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

上述第一密封构件和上述第二密封构件被粘接剂粘接在一起。

若如上所述通过粘接剂相互粘接，则能容易且牢固地实现两个构件之间的固定。

此外，本发明的复合密封件的特征是，

上述第一密封构件和第二密封构件通过形成于任意一方的凸嵌合部和形成于任意另一方的凹嵌合部而装配在一起。

若为上述这种结构，则能预先将第一密封构件和第二密封构件装配成一体。

发明效果

根据本发明的复合密封件，尤其，通过使第二密封构件具有另一方侧壁抵接面和密封抵接面，能长期可靠地维持真空密封性能、耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能，其中，上述另一方侧壁抵接面与密封槽的另一方侧壁大致平行且面接触，上述密封抵接面与另一方构件的密封面大致平行，且在密封状态时与另一方构件的密封面面接触。

附图说明

图1是将本发明的复合密封件安装于作为密封槽的矩形槽的状态的剖视图。

图2是本发明的复合密封件的剖视图。

图3是将本发明的复合密封件安装于作为密封槽的矩形槽并使另一方构件向一方构件移动的状态的剖视图。

图4是将本发明的复合密封件安装于作为密封槽的矩形槽而密封的状态的剖视图。

图5是本发明的复合密封件的另一个实施方式的剖视图。

图6的(a)～图6的(c)是表示本发明的复合密封件的其他实施方式的剖视图。

图7是将本发明的复合密封件安装于作为密封槽的单侧燕尾槽的状态的剖视图。

图8是将现有的复合密封件安装于作为密封槽的单侧燕尾槽的状态的剖视图。

图9是将现有的复合密封件安装于作为密封槽的单侧燕尾槽而密封的状态的剖视图。

具体实施方式

以下，基于附图，更详细地对本发明的实施方式进行说明。

本发明的复合密封件10在干蚀刻装置、等离子CVD装置等半导体制造装置中使用，除了具备真空密封性能之外，还同时具备耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能。

如图1所示，这种复合密封件10安装于另一个侧壁(在本实施方式中为内周壁26)和一个侧壁(在本实施方式中为外周壁28)大致垂直的矩形的密封槽(矩形槽)24内。

上述密封槽24例如形成于由干蚀刻装置、等离子CVD装置的半导体制造装置的一方构件20和另一方构件30构成的连接部分等没有动作的固定部。

通过将由第一密封构件50和第二密封构件40构成的复合密封件10安装于上述密封槽24内，并使另一方构件30靠近一方构件20，从而能经由复合密封构件10使一方构件20和另一方构件30之间变成密封状态。

在复合密封件10中，由弹性构件构成的第一密封构件50配置于密封槽24的外周壁28侧(外部气体侧)，由比第一密封构件50硬的材料构成的第二密封构件40配置于密封槽24的内周壁26侧(腐蚀性气体、等离子等严酷的环境侧)。

第一密封构件50具有：密封突部52，上述密封突部52比一方构件20的主体面22朝另一方构件30的密封面32侧突出；侧方膨出部54，上述侧方膨出部54向密封槽24的外周壁28膨出；底部56，上述底部56与密封槽24的底面25抵接；以及载置部57，上述载置部57对第二密封构件40进行载置。

与此相对，第二密封构件40构成为具有：另一方侧壁抵接面(在本实施方式中为内周壁抵接面42)，上述另一方侧壁抵接面与密封槽24的内周壁26大致平行且面接触；以及密封抵接面44，上述密封抵接面44与另一方构件30的密封面32大致平行，且在密封状态时与另一方构件30的密封面32面接触，并且，第二密封构件40载置于第一密封构件50的载置部57。

在此，由弹性构件构成的第一密封构件50优选由橡胶构成，作为橡胶能使用天然橡胶和合成橡胶中的任一种。通过由橡胶构成第一密封构件50，在将复合密封件10压接于一方构件20与另一方构件30之间时，能使第一密封构件50的密封突部52被另一方构件30的密封面32压接而施予高密封性。

另外，在通过合成橡胶构成第一密封构件50的情况下，优选为氟橡胶。

作为这种氟橡胶，能列举出偏氟乙烯/六氟丙烯类共聚物、偏氟乙烯/三氟氯乙烯类共聚物、偏氟乙烯/五氟丙烯类共聚物等二元类的偏氟乙烯类橡胶、偏氟乙烯/四氟乙烯/六氟丙烯类共聚物、偏氟乙烯/四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物、偏氟乙烯/四氟乙烯/丙烯类共聚物等三元类的偏氟乙烯橡胶、四氟乙烯/丙烯类共聚物、四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物、热塑性氟橡胶等。

若为上述这种氟橡胶，则即使万一第一密封构件50与腐蚀性气体、等离子接触，对于腐蚀性气体、等离子等的耐久性也高，密封性不会降低。

另一方面，第二密封构件40只要是比第一密封构件50硬、且对腐蚀性气体、等离子等具有耐久性的材料即可，例如，可以由合成树脂、在合成树脂的外表面涂上对腐蚀环境具有耐性的被膜而成的构件、从适于真空环境的不锈钢、铝合金、镍合金、钛等中选出的一种以上的金属、从软质玻璃、硬质玻璃、石英玻璃、陶瓷等中选出的一种以上的无机材料构成。

作为合成树脂，能列举出从氟树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚苯硫醚树脂、聚苯并咪唑树脂、聚醚酮树脂中选出的一种以上的合成树脂。

尤其作为上述合成树脂的一种的氟树脂，能列举出聚四氟乙烯(PTFE)树脂、四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)树脂、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物(FEP)树脂、四氟乙烯－乙烯共聚物(ETFE)树脂、聚偏二氟乙烯(PVDF)树脂、聚三氟氯乙烯(PCTFE)树脂、三氟氯乙烯－乙烯共聚物(ECTFE)树脂、聚氟乙烯(PVF)树脂等。其中，若考虑耐热性、耐腐蚀气体性、耐等离子性等，则优选聚四氟乙烯(PTFE)树脂。

在本发明的复合密封件10中，通过后述的密封形状使第二密封构件40的密封抵接面44与另一方构件30的密封面32完全地可靠抵接，并通过第一密封构件50的弹力将施加于第二密封构件40的表面的应力抑制得较低。因此，第二密封构件40的表面并不变形，从而能抑制因表面的破坏而产生进灰的风险。

就上述这种第一密封构件50和第二密封构件40而言，两者之间优选接合为一体，作为接合方法，能采用熔接、焊接、粘接等公知的接合方法，优选通过粘接剂接合为一体，更加优选通过耐热性粘接剂接合为一体。在涂覆粘接剂的情况下，既可以全面粘接，也可以仅局部粘接。

此外，第一密封构件50与第二密封构件40接合为一体的部位为例如第一密封构件50的载置部57与第二密封构件40的下端部48之间、第一密封构件50的垂直面61与第二密封构件40的侧端面59之间，既可以对任一方进行接合，也可以对两方均进行接合。

如图2所示，上述这种复合密封件10的从第一密封构件50的底部56的下端部至第二密封构件40的密封抵接面44在垂直方向上的高度H1设定得比从第一密封构件50的底部56的下端部至密封突部52的上端部在垂直方向上的高度H2低。

由此，当在一方构件20的密封槽24安装有复合密封件10的状态下使另一方构件30靠近一方构件20时，如图3所示，首先，最初第一密封构件50的密封突部52与另一方构件30的密封面32接触，最初即可确保真空密封性能。

另外，第一密封构件50的侧方膨出部54的垂直方向的中心位置C1构成为位于载置于载置部57的第二密封构件40的垂直方向的上端部46至下端部48之间。

由此，在达到密封状态时，复合密封件10被另一方构件30按压，而容易均等地对第一密封构件50和第二密封构件40双方施加力，从而能可靠地防止如现有那样产生滚动。

如此，本发明的复合密封件10是以在非常严酷的环境下使用为前提的，为了在这种严酷的环境下使用的过程中复合密封件10维持期望的密封性能，进行了如下述的进一步改进。

此外，密封槽24的外周壁28的高度H4设定得比内周壁26的高度H3高。

即，通过将内周侧(内周壁26侧)的主体面22a设定得比外周侧(外周壁28侧)的主体面22b低，即使在真空状态下位于内周侧的另一方构件30挠曲，内周侧的一方构件20与另一方构件30也不会接触，换言之、不会产生金属接触，从而能可靠地通过复合密封件10将两个构件之间密封。

然而，若将本发明的复合密封件10安装于密封槽24内，使另一方构件30靠近一方构件20，并如图3所示从第一密封构件50的密封突部52与另一方构件30抵接的状态进一步继续进行按压，则如图4所示，第二密封构件40的密封抵接面44与另一方构件30的密封面32完全抵接，由此，除了赋予真空密封性能，还赋予耐等离子性、耐腐蚀性的性能，从而变成完全的密封状态。

在上述密封状态下，第二密封构件40的密封抵接面44在水平方向上的宽度T2优选为经由一方构件20的密封槽24而从内周侧的主体面22a至另一方构件30的密封面32的在垂直方向上的高度H5的四倍以上。

若以上述方式设定第二密封构件40的密封抵接面44在水平方向上的宽度T2，则尤其能长期可靠地维持耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能。

另外，同样，在密封状态下，第二密封构件40的内周壁抵接面42在垂直方向上的宽度T3优选为经由一方构件20的密封槽24而从内周侧的主体面22a至另一方构件30的密封面32的在垂直方向上的高度H5的四倍以上。

若为上述这种内周壁抵接面42，则即使对从密封槽24的内周壁26至内周侧的主体面22a的角落部21实施角落圆角，也能充分确保密封槽24的内周壁26与第二密封构件40的内周壁抵接面42的抵接面，因此，能长期可靠地维持耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能。

在此，从密封槽24的内周壁26至主体面22a的角落部21的角落圆角一般情况下设定在密封槽深度的6～26％的范围内。在此，密封槽深度设为密封槽24的内周侧的内周壁26的高度H3和外周侧的外周壁28的高度H4中的高度较高的值。

而且，上述第二密封构件40的密封抵接面44在水平方向上的宽度T2、第二密封构件40的内周壁抵接面42在垂直方向上的宽度T3优选为大致相同的宽度，但若T2：T3之比、即横向：纵向之比优选在1：0.5～2.0的范围内，更优选在1：1.0～1.8的范围内，则能长期维持期望的密封性能。

此外，如图1所示，在复合密封件10的底部56设有一方突起(在本实施方式中为外周突起60)、另一方突起(在本实施方式中为内周突起58)和中央突起62，其中，上述一方突起位于密封槽24的外周壁28侧的端部，上述另一方突起位于密封槽24的内周壁26侧的端部，上述中央突起62位于上述外周突起60与内周突起58之间。

由此，在外周突起60与中央突起62之间以及内周突起58与中央突起62之间形成有小空间66、64。

而且，在第一密封构件50的密封突部52与供第二密封构件40载置的载置部57之间设有凹部70，上述凹部70在水平方向上的中心位置C3与底部56的中央突起62在水平方向上的中心位置C2为大致相同位置。

通过将凹部70和中央突起62配置成上述这种位置关系，尤其是通过上述中央突起62，能在物理上避免以往在密封状态时第一密封构件50的局部进入到外周突起60与内周突起58之间所产生的空间内的情况。

而且，在达到密封状态时，最初与另一方构件30抵接而变形的第一密封构件50的密封突部52的局部进入到上述凹部70内，凹部70作为变形时的逃逸区域发挥作用，因此，能尽可能地使其他部分的动作最小。

此外，此时，中央突起62位于凹部70的正下方，因此，即使在达到密封状态时第一密封构件50的局部发生了变形，复合密封件10的整体也不会大幅度变形。

另外，凹部70在水平方向上的中心位置C3与底部56的中央突起62在水平方向上的中心位置C2优选尽可能处于相同位置，但中心位置C2相当于中心位置C3的偏移量只要左右处于复合密封件10在水平方向上的最大尺寸T1的5～10％的范围内，则都是允许的。

而且，优选构成为第一密封构件50的密封突部52在水平方向上的中心位置C4位于外周突起60与中央突起62之间的位置C5。

通过这些相辅相成效果，能尽可能防止复合密封件10整体产生滚动。

如上所述，本发明的复合密封件10具有上述这种特征方式，尤其由于第二密封构件40具有内周壁抵接面42和密封抵接面44，上述内周壁抵接面42与密封槽24的内周壁26大致平行且面接触，上述密封抵接面44与另一方构件30的密封面32大致平行、且在密封状态时与另一方构件30的密封面32面接触，因此，除了真空密封性能之外，还能长期可靠地维持耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能。

以上，对本发明的复合密封件10的优选方式进行了说明，但本发明并不局限于上述方式，例如，图1～4所示的第二密封构件40载置于第一密封构件50的载置部57并被粘接剂粘接，但也可以如图5所示在第一密封构件50和第二密封构件40中的任一方(图5中是第二密封构件40)设置凸嵌合部71、在任意另一方(图5中是第一密封构件50)设置凹嵌合部72，并使它们相互嵌合。在以上述方式相互嵌合的结构的情况下，无需粘接剂，但也可以在凹凸嵌合的基础上利用粘接剂进行粘接。

而且，图1～4所示的第二密封构件40呈大致四边形截面，但除此之外例如也可以呈如图6的(a)所示的大致三角形截面、如图6的(b)所示的大致L字形截面、如图6的(c)所示的大致梯形截面等，总而言之，只要至少具有与密封槽24的内周壁26大致平行且面接触的内周壁抵接面42和与另一方构件30的密封面32大致平行、且在密封状态时与另一方构件30的密封面32面接触的密封抵接面44，则不特别限定。

此外，关于密封槽24的形状，优选将本发明的复合密封件10安装于矩形槽，但也可以根据情况将本发明的复合密封件10安装于如图7所示的单侧燕尾槽。在将本发明的复合密封件10安装于单侧燕尾槽的情况下，只要以使第一密封构件50位于倾斜面即外周壁28侧的方式使第一密封构件50的侧方膨出部54在常温下与单侧燕尾槽的倾斜面抵接即可。

在将复合密封件10安装于单侧燕尾槽内时，由于复合密封件10在水平方向上的最大尺寸T1比单侧燕尾槽的开口部27在水平方向上的最大尺寸T4大，因此能防止复合密封件10无意间从单侧燕尾槽脱落。

此外，在将复合密封件10安装于上述矩形槽时，设想的是一旦形成密封状态之后、除了维护时等之外始终维持密封状态的场所即固定部。

另一方面，在将复合密封件10安装于单侧燕尾槽时，设想的是一旦形成密封状态之后、要反复进行使另一方构件30与一方构件20分离的动作的场所即可动部。

然而，并不局限于此，将固定部设为单侧燕尾槽或者是将可动部设为矩形槽亦可。

而且，在上述实施例中对应用于干蚀刻装置、等离子CVD装置等半导体装置的情况进行了说明，但本申请发明的复合密封件10还能用于在其他的严酷环境条件下使用的其他装置的密封部分。

如上所述，本发明的复合密封件10能在不超出本发明的目的的范围内进行各种改变。

(符号说明)

10 复合密封件

20 一方构件

21 角落部

22 主体面

22a 主体面

22b 主体面

24 密封槽

25 底面

26 内周壁

27 开口部

28 外周壁

30 另一方构件

32 密封面

40 第二密封构件

42 内周壁抵接面

44 密封抵接面

46 上端部

48 下端部

50 第一密封构件

52 密封突部

54 侧方膨出部

56 底部

57 载置部

58 内周突起

59 侧端面

60 外周突起

61 垂直面

62 中央突起

64 空间

66 空间

70 凹部

71 凸嵌合部

72 凹嵌合部

C1 中心位置

C2 中心位置

C3 中心位置

C4 中心位置

C5 外周突起与中央突起之间的位置

H1 高度

H2 高度

H3 高度

H4 高度

H5 高度

T1 复合密封件在水平方向上的最大尺寸

T1 宽度

T3 宽度

T4 最大尺寸

100 复合密封件

110 一方构件

112 密封槽

114 内周壁

116 外周壁

120 另一方构件

122 密封面

130 密封构件

132 底部

134 内周突起

136 外周突起

140 密封构件

142 密封抵接面

144 内周壁抵接面

150 空间。

Claims (12)

1.一种复合密封件，安装在设于一方构件的主体面的密封槽内，通过使另一方构件靠近所述一方构件而使所述一方构件与另一方构件之间变成密封状态，

其特征在于，

所述复合密封件包括：

第一密封构件，所述第一密封构件配置于所述密封槽的一方侧壁侧，并由弹性构件构成；以及

第二密封构件，所述第二密封构件配置于所述密封槽的另一方侧壁侧，并由比所述第一密封构件硬的材料构成，

所述第二密封构件至少具有：

另一方侧壁抵接面，所述另一方侧壁抵接面与所述密封槽的另一方侧壁大致平行且面接触；以及

密封抵接面，所述密封抵接面与所述另一方构件的密封面大致平行，且在所述密封状态时与另一方构件的密封面面接触。

2.如权利要求1所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一密封构件至少具有：

密封突部，所述密封突部比所述一方构件的主体面朝另一方构件的密封面侧突出；

侧方膨出部，所述侧方膨出部向所述密封槽的一方侧壁膨出；

底部，所述底部与所述密封槽的底面抵接；以及

载置部，所述载置部对所述第二密封构件进行载置。

3.如权利要求2所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一密封构件的侧方膨出部在垂直方向上的中心位置构成为位于载置于所述载置部的第二密封构件在垂直方向上的上端部与下端部之间。

4.如权利要求1至3中任一项所述的复合密封件，其特征在于，

安装于所述一方侧壁的高度设定得比另一方侧壁的高度高的密封槽内。

5.如权利要求4所述的复合密封件，其特征在于，

在所述密封状态下，

所述第二密封构件的密封抵接面在水平方向上的宽度为从所述一方构件的密封槽的另一方侧壁侧的主体面至另一方构件的密封面的在垂直方向上的高度的四倍以上。

6.如权利要求4或5所述的复合密封件，其特征在于，

在所述密封状态下，

所述第二密封构件的另一方侧壁抵接面在垂直方向上的宽度为从所述一方构件的密封槽的另一方侧壁侧的主体面至另一方构件的密封面的在垂直方向上的高度的四倍以上。

7.如权利要求2至6中任一项所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一密封构件的底部至少具有：

一方突起，所述一方突起位于所述密封槽的一方侧壁侧的端部；

另一方突起，所述另一方突起位于所述密封槽的另一方侧壁侧的端部；以及

中央突起，所述中央突起位于所述一方突起与所述另一方突起之间。

8.如权利要求2至7中任一项所述的复合密封件，其特征在于，

在所述第一密封构件中，于所述密封突部与供所述第二密封构件载置的载置部之间设有凹部。

9.如权利要求8所述的复合密封件，其特征在于，

所述中央突起在水平方向上的中心位置与所述凹部在水平方向上的中心位置处于大致相同位置。

10.如权利要求7至9中任一项所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一密封构件的密封突部在水平方向上的中心位置构成为位于所述一方突起与所述中央突起之间。

11.如权利要求1至10中任一项所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一密封构件和所述第二密封构件被粘接剂粘接在一起。

12.如权利要求1至11中任一项所述的复合密封件，其特征在于，

所述第一密封构件和第二密封构件通过形成于任意一方的凸嵌合部和形成于任意另一方的凹嵌合部而装配在一起。