CN110184645A - 一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，包括底座，所述底座的上端面的左侧固定连接有炉体，所述炉体上盘绕有冷却管，所述底座的上端面的右侧固定连接有储水槽，所述储水槽上端设置有冷却机构，所述冷却机构包括冷却箱体，所述冷却箱体的上端通过连接管贯穿冷却箱体的上端面与冷却箱体内部连通，冷却管与连接管之间固定连接，所述连接管与冷却箱体之间固定连接。本发明，主动齿轮转动的过程中还会带动从动齿轮转动，进而带动从动杆转动，使得从动杆在围绕主动杆转动的过程中还自转，进而使得对热水和冷却液快速的混合冷却，对热水和冷却液的混合液进行搅拌混合，使得二者充分的融合，使得热水快速的降温冷却。

Description

一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉
技术领域
本发明涉及多铸锭炉技术领域，尤其涉及一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉。
背景技术
在简单的单铸锭炉中，布置在坩埚上方的加热设备的现有设计通常由两个平行的导体轨道构成，该两个平行的导体轨道利用在轨道之间延伸的、并且垂直于轨道的电阻加热元件来连接。通过使电流通过加热元件来产生热。
多铸锭炉与单铸锭炉相比，每轮生产多个铸锭的多铸锭炉代表了有吸引力的、经济的解决方案，实际上，对于较小的铸锭，更易于控制各铸锭内的结晶参数和材料均匀性，而材料均匀性则使晶片具有优良的最终品质，多铸锭炉在使用的过程中，当材料固化完成之后，使加热设备不工作，然后，允许硅随着处理气体流动的继续而冷却，从而提供附加的冷却效果，一旦冷却，炉的热区随后返回至大气压，当温度已下降至约350摄氏度以下时，将腔室打开并且将固化的材料移除，而然该冷却效果不明显，冷却速度慢，降低了多铸锭炉的冷却效率。
为此，我们提供一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：现有的多铸锭炉在使用的过程中，当材料固化完成之后，使加热设备不工作，然后，允许硅随着处理气体流动的继续而冷却，从而提供附加的冷却效果，一旦冷却，炉的热区随后返回至大气压，当温度已下降至约350摄氏度以下时，将腔室打开并且将固化的材料移除，而然该冷却效果不明显，冷却速度慢，降低了多铸锭炉的冷却效率。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，包括底座，所述底座的上端面的左侧固定连接有炉体，所述炉体上盘绕有冷却管，所述底座的上端面的右侧固定连接有储水槽，所述储水槽上端设置有冷却机构，所述冷却机构包括冷却箱体，所述冷却箱体的上端通过连接管贯穿冷却箱体的上端面与冷却箱体内部连通，冷却管与连接管之间固定连接，所述连接管与冷却箱体之间固定连接，所述冷却箱体内部的底端面固定连接有电机壳，所述电机壳内固定安装有双轴电机，所述双轴电机的上端面的输出端竖直固定连接有主动杆，所述主动杆转动连接在电机壳内，所述主动杆上固定套设有固定板，所述固定板上对称设置有四个连接套，每个所述连接套内均转动连接有从动杆，每个所述从动杆上均对称固定连接有多个搅拌叶，每个所述从动杆的上端面均固定连接有从动齿轮，相邻的两个从动齿轮之间啮合连接，所述主动杆的上端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮的做两侧分别与从动齿轮啮合连接，所述冷却箱体的上端面开设有输液口，所述输液口与转有冷却液的冷却箱相连接，所述冷却箱体的下端面对称固定连接有两个连通管，每个所述连通管的下端均储水槽内连通，所述炉体的上端面设置有炉盖。
优选的，所述双轴电机下端面的输出端通过连接轴贯穿储水槽的上端面并固定连接有螺旋叶，所述螺旋叶的下端转动连接在储水槽的底端面上。
优选的，所述冷却管的下端与储水槽的底端面相连通，所述冷却管的下端固定连接有水泵。
优选的，所述底座的底端面对称开设有四个滑轮槽，每个所述滑轮槽内均固定连接有伸缩气缸。
优选的，每个所述伸缩气缸的下端面的输出端均通过连接板转动连接滑轮，每个所述滑轮均滑动连接在地面上。
优选的，所述底座的底端面对称固定连接有四个支撑腿。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、当需要对炉体进行降温冷却时，打开水泵，使得水泵将储水槽内的冷却抽入冷却管中，使得冷却管内的水逐渐的围绕着炉体盘旋向上流动，对炉体的表面进行降温，并且向上流动的热水会通过连接管进入冷却箱体内，向冷却箱体内加入冷却液，双轴电机启动带动主动杆转动，进而带动主动齿轮转动，进而带动固定板转动，带动连接套上的从动杆转动，并且主动齿轮转动的过程中还会带动从动齿轮转动，进而带动从动杆转动，使得从动杆在围绕主动杆转动的过程中还自转，进而使得对热水和冷却液快速的混合冷却，对热水和冷却液的混合液进行搅拌混合，使得二者充分的融合，使得热水快速的降温冷却；
2、当炉体需要移动时，启动伸缩气缸，使得伸缩气缸的下端面通过活塞杆将滑轮向下推动，使得滑轮接触地面后将底座向上抬起，使得支撑腿脱离地面，进而便于底座的移动，并且，当底座移动到规定的位置时，通过伸缩气缸将滑轮向上移动，使得底座下降，使得支撑腿与地面接触，便于底座的停放。
附图说明
图1为本发明提出的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉的正面结构示意图；
图2为图1中B处的局部放大结构示意图；
图3为图1中A处的局部放大结构示意图；
图4为本发明提出的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉的俯视结构示意图。
图中：1支撑腿、2炉体、3炉盖、4冷却管、5底座、6储水槽、7螺旋叶、8水泵、9滑轮、10双轴电机、11固定板、12连接套、13搅拌叶、14冷却箱体、15连接管、16主动齿轮、17从动齿轮、18从动杆、19主动杆、20电机壳、21连通管、22连接轴、23伸缩气缸、24滑轮槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
实施例一
参照图1-4，一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，包括底座5，底座5的上端面的左侧固定连接有炉体2，炉体2上盘绕有冷却管4，底座5的上端面的右侧固定连接有储水槽6，储水槽6上端设置有冷却机构，冷却机构包括冷却箱体14，冷却箱体14的上端通过连接管15贯穿冷却箱体14的上端面与冷却箱体14内部连通，冷却管4与连接管15之间固定连接，连接管15与冷却箱体14之间固定连接，冷却箱体14内部的底端面固定连接有电机壳20，电机壳20内固定安装有双轴电机10，双轴电机10的上端面的输出端竖直固定连接有主动杆19，主动杆19转动连接在电机壳20内，主动杆19上固定套设有固定板11，固定板11上对称设置有四个连接套12，每个连接套12内均转动连接有从动杆18，每个从动杆18的上端面均固定连接有从动齿轮17，相邻的两个从动齿轮17之间啮合连接，主动杆19的上端固定连接有主动齿轮16，主动齿轮16的做两侧分别与从动齿轮17啮合连接，冷却箱体14的上端面开设有输液口，输液口与转有冷却液的冷却箱相连接，冷却箱体14的下端面对称固定连接有两个连通管21，每个连通管21的下端均储水槽6内连通，双轴电机10下端面的输出轴贯穿储水槽6的上端面并固定连接有螺旋叶7，螺旋叶7的下端转动连接在储水槽6的底端面上，冷却管4的下端与储水槽6的底端面相连通，冷却管4的下端固定连接有水泵8，底座5的底端面对称开设有四个滑轮槽24，每个滑轮槽24内均固定连接有伸缩气缸23，每个伸缩气缸23的下端面的输出端均通过连接板转动连接滑轮9，每个滑轮9均滑动连接在地面上，底座5的底端面对称固定连接有四个支撑腿1。
本发明中，使用者使用该装置时，当需要对炉体2进行降温冷却时，打开水泵8，使得水泵8将储水槽6内的冷却抽入冷却管4中，使得冷却管4内的水逐渐的围绕着炉体2盘旋向上流动，对炉体2的表面进行降温，并且向上流动的热水会通过连接管15进入冷却箱体14内，向冷却箱体14内加入冷却液，双轴电机10启动带动主动杆19转动，进而带动主动齿轮16转动，进而带动固定板11转动，带动连接套12上的从动杆18转动，并且主动齿轮16转动的过程中还会带动从动齿轮17转动，进而带动从动杆18转动，使得从动杆18在围绕主动杆19转动的过程中还自转，进而使得对热水和冷却液快速的混合冷却，对热水和冷却液的混合液进行搅拌混合，使得二者充分的融合，使得热水快速的降温冷却，当炉体2需要移动时，启动伸缩气缸23，使得伸缩气缸23的下端面通过活塞杆将滑轮9向下推动，使得滑轮9接触地面后将底座5向上抬起，使得支撑腿1脱离地面，进而便于底座5的移动，并且，当底座5移动到规定的位置时，通过伸缩气缸23将滑轮9向上移动，使得底座5下降，使得支撑腿1与地面接触，便于底座5的停放。
实施例二
一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，包括底座5，底座5的上端面的左侧固定连接有炉体2，炉体2上盘绕有冷却管4，底座5的上端面的右侧固定连接有储水槽6，储水槽6上端设置有冷却机构，冷却机构包括冷却箱体14，冷却箱体14的上端通过连接管15贯穿冷却箱体14的上端面与冷却箱体14内部连通，冷却管4与连接管15之间固定连接，连接管15与冷却箱体14之间固定连接，冷却箱体14内部的底端面固定连接有电机壳20，电机壳20内固定安装有双轴电机10，双轴电机10的上端面的输出端竖直固定连接有主动杆19，主动杆19转动连接在电机壳20内，主动杆19上固定套设有固定板11，固定板11上对称设置有四个连接套12，每个连接套12内均转动连接有从动杆18，每个所述从动杆(18)上均对称固定连接有多个混合桨，每个从动杆18的上端面均固定连接有从动齿轮17，相邻的两个从动齿轮17之间啮合连接，主动杆19的上端固定连接有主动齿轮16，主动齿轮16的做两侧分别与从动齿轮17啮合连接，冷却箱体14的上端面开设有输液口，输液口与转有冷却液的冷却箱相连接，冷却箱体14的下端面对称固定连接有两个连通管21，每个连通管21的下端均储水槽6内连通，双轴电机10下端面的输出轴贯穿储水槽6的上端面并固定连接有螺旋叶7，螺旋叶7的下端转动连接在储水槽6的底端面上，冷却管4的下端与储水槽6的底端面相连通，冷却管4的下端固定连接有水泵8，底座5的底端面对称开设有四个滑轮槽24，每个滑轮槽24内均固定连接有伸缩气缸23，每个伸缩气缸23的下端面的输出端均通过连接板转动连接滑轮9，每个滑轮9均滑动连接在地面上，底座5的底端面对称固定连接有四个支撑腿1。
本发明中，使用者使用该装置时，当需要对炉体2进行降温冷却时，打开水泵8，使得水泵8将储水槽6内的冷却抽入冷却管4中，使得冷却管4内的水逐渐的围绕着炉体2盘旋向上流动，对炉体2的表面进行降温，并且向上流动的热水会通过连接管15进入冷却箱体14内，向冷却箱体14内加入冷却液，双轴电机10启动带动主动杆19转动，进而带动主动齿轮16转动，进而带动固定板11转动，带动连接套12上的从动杆18转动，并且主动齿轮16转动的过程中还会带动从动齿轮17转动，进而带动从动杆18转动，使得从动杆18在围绕主动杆19转动的过程中还自转，进而带动混合桨转动，进而使得对混合液进行充分的搅拌混合，进而使得对热水和冷却液快速的混合冷却，对热水和冷却液的混合液进行搅拌混合，使得二者充分的融合，使得热水快速的降温冷却，当炉体2需要移动时，启动伸缩气缸23，使得伸缩气缸23的下端面通过活塞杆将滑轮9向下推动，使得滑轮9接触地面后将底座5向上抬起，使得支撑腿1脱离地面，进而便于底座5的移动，并且，当底座5移动到规定的位置时，通过伸缩气缸23将滑轮9向上移动，使得底座5下降，使得支撑腿1与地面接触，便于底座5的停放。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，包括底座(5)，其特征在于，所述底座(5)的上端面的左侧固定连接有炉体(2)，所述炉体(2)上盘绕有冷却管(4)，所述底座(5)的上端面的右侧固定连接有储水槽(6)，所述储水槽(6)上端设置有冷却机构，所述冷却机构包括冷却箱体(14)，所述冷却箱体(14)的上端通过连接管(15)贯穿冷却箱体(14)的上端面与冷却箱体(14)内部连通，冷却管(4)与连接管(15)之间固定连接，所述连接管(15)与冷却箱体(14)之间固定连接，所述冷却箱体(14)内部的底端面固定连接有电机壳(20)，所述电机壳(20)内固定安装有双轴电机(10)，所述双轴电机(10)的上端面的输出端竖直固定连接有主动杆(19)，所述主动杆(19)转动连接在电机壳(20)内，所述主动杆(19)上固定套设有固定板(11)，所述固定板(11)上对称设置有四个连接套(12)，每个所述连接套(12)内均转动连接有从动杆(18)，每个所述从动杆(18)上均对称固定连接有多个搅拌叶(13)，每个所述从动杆(18)的上端面均固定连接有从动齿轮(17)，相邻的两个从动齿轮(17)之间啮合连接，所述主动杆(19)的上端固定连接有主动齿轮(16)，所述主动齿轮(16)的做两侧分别与从动齿轮(17)啮合连接，所述冷却箱体(14)的上端面开设有输液口，所述输液口与转有冷却液的冷却箱相连接，所述冷却箱体(14)的下端面对称固定连接有两个连通管(21)，每个所述连通管(21)的下端均储水槽(6)内连通，所述炉体(2)的上端面设置有炉盖(3)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，其特征在于，所述双轴电机(10)下端面的输出端通过连接轴(22)贯穿储水槽(6)的上端面并固定连接有螺旋叶(7)，所述螺旋叶(7)的下端转动连接在储水槽(6)的底端面上。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，其特征在于，所述冷却管(4)的下端与储水槽(6)的底端面相连通，所述冷却管(4)的下端固定连接有水泵(8)。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，其特征在于，所述底座(5)的底端面对称开设有四个滑轮槽(24)，每个所述滑轮槽(24)内均固定连接有伸缩气缸(23)。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，其特征在于，每个所述伸缩气缸(23)的下端面的输出端均通过连接板转动连接滑轮(9)，每个所述滑轮(9)均滑动连接在地面上。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉，其特征在于，所述底座(5)的底端面对称固定连接有四个支撑腿(1)。
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