CN206706246U - 一种单晶炉冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉冷却装置,包括硅棒、安装法兰盘、外壳体、内壳体、冷却液进料管、冷却液出料管、凸台和通孔,所述外壳体和内壳体均为圆柱环结构,外壳体和内壳体的底部设有连接板,连接板为环形结构,外壳体和内壳体之间设有换热腔,圆柱形内壁的底部与连接板之间设有间隙,螺旋板与内壳体之间形成一个环形的换热腔,圆柱形内壁与外壳体之间形成一个环形间隙。本实用新型的在使用过程中,冷却液先从冷却液进料管进入到环形间隙中,然后再从间隙进入到环形换热腔内,然后冷却液从环形换热腔的上端进入到冷却液出料管中,冷却液在换热腔内能够吸收硅棒的潜热和加热装置散发的热量。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉领域,具体是一种单晶炉冷却装置。
背景技术
当前,单晶硅技术经过多年的发展,成本己经有了大幅的下降,随着投料量的不断加大,如果想进一步降低生产成本就必须提高单炉效率。在拉晶过程中,等径工序是拉晶过程中最为重要的一个工序,也是最为耗时的一个工序,如果要提高等径工序的效率就必须提高等径拉速。现有的单晶炉分为主室和副室两部分,融化的硅料位于主室加热器中上部,拉出的单晶位于主室上半部分和副室中,如果能够减少加热器对单晶的热辐射,并且拉出的单晶能够及时放出潜热,就会加快硅液的结晶速度,也就会提高等径拉速,提高整炉效率。但是现有的冷却装置大都是一个空腔连接冷却液进管和冷却液出管,冷却液在空腔内的存在时间较短,换热效率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单、使用方便的单晶炉冷却装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种单晶炉冷却装置,包括硅棒、安装法兰盘、外壳体、内壳体、冷却液进料管、冷却液出料管、凸台和通孔,所述安装法兰盘的中部设有通孔,通孔的直径大于硅棒的直径,安装法兰盘的周侧设有多个安装孔,安装法兰盘的底部设有一圈凹槽,凹槽为环形结构,安装法兰盘底部的凹槽与凸台配合使用,凸台上对应安装孔也开设有多个安装孔;所述安装法兰盘的底部设有一个圆柱形内壁,圆柱形内壁的上端通过焊接的方式固定安装在安装法兰盘上,圆柱形内壁的内侧壁上设有一圈螺旋板,螺旋板通过焊接的方式固定安装在圆柱形内壁上;所述外壳体和内壳体均为圆柱环结构,外壳体和内壳体的底部设有连接板,连接板为环形结构,外壳体和内壳体之间设有换热腔,圆柱形内壁的底部与连接板之间设有间隙,螺旋板与内壳体之间形成一个环形的换热腔,圆柱形内壁与外壳体之间形成一个环形间隙,环形间隙的左侧上端连接有冷却液进料管,冷却液出料管与圆柱形内壁的右侧壁上部连通,且冷却液出料管与外壳体之间设有密封环,外壳体的上端与凸台连接。
进一步的:所述安装法兰盘的凹槽深度与凸台的高度相同。
进一步的:所述凸台与外壳体由同种材料一体铸造而成。
进一步的:所述圆柱形内壁与内壳体之间的距离与螺旋板的宽度相同。
进一步的:所述外壳体、内壳体和连接板由同种材料一体铸造而成。
与现有技术相比,本实用新型的结构简单、使用方便,在使用过程中,冷却液先从冷却液进料管进入到环形间隙中,然后再从间隙进入到环形换热腔内,然后冷却液从环形换热腔的上端进入到冷却液出料管中,冷却液在换热腔内能够吸收硅棒的潜热和加热装置散发的热量,从而能够提交硅液的结晶速度。
附图说明
图1为一种单晶炉冷却装置的结构示意图。
图2为一种单晶炉冷却装置的俯视图。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
请参阅图1-2,一种单晶炉冷却装置,包括硅棒1、安装法兰盘4、外壳体7、内壳体11、冷却液进料管13、冷却液出料管6、凸台5和通孔2,所述安装法兰盘4的中部设有通孔2,通孔2的直径大于硅棒1的直径,安装法兰盘4的周侧设有多个安装孔14,通过安装孔14就能够将安装法兰盘4安装在炉盖上,安装法兰盘4的底部设有一圈凹槽,凹槽4为环形结构,安装法兰盘4底部的凹槽与凸台5配合使用,且安装法兰盘4的凹槽深度与凸台5的高度相同,凸台5上对应安装孔14也开设有多个安装孔;所述安装法兰盘4的底部设有一个圆柱形内壁8,圆柱形内壁8的上端通过焊接的方式固定安装在安装法兰盘4上,圆柱形内壁8的内侧壁上设有一圈螺旋板9,螺旋板9通过焊接的方式固定安装在圆柱形内壁8上;所述外壳体7和内壳体11均为圆柱环结构,外壳体7和内壳体11的底部设有连接板16,连接板16为环形结构,外壳体7、内壳体11和连接板16由同种材料一体铸造而成,外壳体7和内壳体11之间设有换热腔15,圆柱形内壁8的底部与连接板16之间设有间隙10,圆柱形内壁8与内壳体11之间的距离与螺旋板9的宽度相同,从而使得螺旋板9能够放置在换热腔15内,螺旋板9与内壳体11之间形成一个环形的换热腔,环形换热腔能够增加冷却液在换热腔15内的行程,从而提高换热时间,圆柱形内壁8与外壳体7之间形成一个环形间隙12,环形间隙12的左侧上端连接有冷却液进料管13,冷却液出料管6与圆柱形内壁8的右侧壁上部连通,且冷却液出料管6与外壳体7之间设有密封环,从而能够防止液体从冷却液出料管6与外壳体7之间的间隙中溢出,外壳体7的上端与凸台5连接,凸台5与外壳体7由同种材料一体铸造而成,内壳体11与安装法兰盘4的底部之间设有密闭连接;使用过程中,冷却液先从冷却液进料管13进入到环形间隙12中,然后再从间隙10进入到环形换热腔内,然后冷却液从环形换热腔的上端进入到冷却液出料管6中,冷却液在换热腔内能够吸收硅棒的潜热和加热装置散发的热量,从而能够提交硅液的结晶速度。
上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明,但是本专利并不限于上述实施方式,在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (5)
1.一种单晶炉冷却装置,包括硅棒(1)、安装法兰盘(4)、外壳体(7)、内壳体(11)、冷却液进料管(13)、冷却液出料管(6)、凸台(5)和通孔(2),其特征在于,所述安装法兰盘(4)的中部设有通孔(2),通孔(2)的直径大于硅棒(1)的直径,安装法兰盘(4)的周侧设有多个安装孔(14),安装法兰盘(4)的底部设有一圈凹槽,凹槽为环形结构,安装法兰盘(4)底部的凹槽与凸台(5)配合使用,凸台(5)上对应安装孔(14)也开设有多个安装孔;所述安装法兰盘(4)的底部设有一个圆柱形内壁(8),圆柱形内壁(8)的上端通过焊接的方式固定安装在安装法兰盘(4)上,圆柱形内壁(8)的内侧壁上设有一圈螺旋板(9),螺旋板(9)通过焊接的方式固定安装在圆柱形内壁(8)上;所述外壳体(7)和内壳体(11)均为圆柱环结构,外壳体(7)和内壳体(11)的底部设有连接板(16),连接板(16)为环形结构,外壳体(7)和内壳体(11)之间设有换热腔(15),圆柱形内壁(8)的底部与连接板(16)之间设有间隙(10),螺旋板(9)与内壳体(11)之间形成一个环形的换热腔,圆柱形内壁(8)与外壳体(7)之间形成一个环形间隙(12),环形间隙(12)的左侧上端连接有冷却液进料管(13),冷却液出料管(6)与圆柱形内壁(8)的右侧壁上部连通,且冷却液出料管(6)与外壳体(7)之间设有密封环,外壳体(7)的上端与凸台(5)连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置,其特征在于,所述安装法兰盘(4)的凹槽深度与凸台(5)的高度相同。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置,其特征在于,所述凸台(5)与外壳体(7)由同种材料一体铸造而成。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置,其特征在于,所述圆柱形内壁(8)与内壳体(11)之间的距离与螺旋板(9)的宽度相同。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置,其特征在于,所述外壳体(7)、内壳体(11)和连接板(16)由同种材料一体铸造而成。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110184645A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-08-30 | 江苏守航实业有限公司 | 一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉 |
CN114872305A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-08-09 | 浙江昊杨新能源科技有限公司 | 一种蓄电池塑壳加工冷却装置 |
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2017
- 2017-04-29 CN CN201720474391.XU patent/CN206706246U/zh active Active
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