CN206706246U - 一种单晶炉冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉冷却装置，包括硅棒、安装法兰盘、外壳体、内壳体、冷却液进料管、冷却液出料管、凸台和通孔，所述外壳体和内壳体均为圆柱环结构，外壳体和内壳体的底部设有连接板，连接板为环形结构，外壳体和内壳体之间设有换热腔，圆柱形内壁的底部与连接板之间设有间隙，螺旋板与内壳体之间形成一个环形的换热腔，圆柱形内壁与外壳体之间形成一个环形间隙。本实用新型的在使用过程中，冷却液先从冷却液进料管进入到环形间隙中，然后再从间隙进入到环形换热腔内，然后冷却液从环形换热腔的上端进入到冷却液出料管中，冷却液在换热腔内能够吸收硅棒的潜热和加热装置散发的热量。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉领域，具体是一种单晶炉冷却装置。
背景技术
当前，单晶硅技术经过多年的发展，成本己经有了大幅的下降，随着投料量的不断加大，如果想进一步降低生产成本就必须提高单炉效率。在拉晶过程中，等径工序是拉晶过程中最为重要的一个工序，也是最为耗时的一个工序，如果要提高等径工序的效率就必须提高等径拉速。现有的单晶炉分为主室和副室两部分，融化的硅料位于主室加热器中上部，拉出的单晶位于主室上半部分和副室中，如果能够减少加热器对单晶的热辐射，并且拉出的单晶能够及时放出潜热，就会加快硅液的结晶速度，也就会提高等径拉速，提高整炉效率。但是现有的冷却装置大都是一个空腔连接冷却液进管和冷却液出管，冷却液在空腔内的存在时间较短，换热效率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单、使用方便的单晶炉冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种单晶炉冷却装置，包括硅棒、安装法兰盘、外壳体、内壳体、冷却液进料管、冷却液出料管、凸台和通孔，所述安装法兰盘的中部设有通孔，通孔的直径大于硅棒的直径，安装法兰盘的周侧设有多个安装孔，安装法兰盘的底部设有一圈凹槽，凹槽为环形结构，安装法兰盘底部的凹槽与凸台配合使用，凸台上对应安装孔也开设有多个安装孔；所述安装法兰盘的底部设有一个圆柱形内壁，圆柱形内壁的上端通过焊接的方式固定安装在安装法兰盘上，圆柱形内壁的内侧壁上设有一圈螺旋板，螺旋板通过焊接的方式固定安装在圆柱形内壁上；所述外壳体和内壳体均为圆柱环结构，外壳体和内壳体的底部设有连接板，连接板为环形结构，外壳体和内壳体之间设有换热腔，圆柱形内壁的底部与连接板之间设有间隙，螺旋板与内壳体之间形成一个环形的换热腔，圆柱形内壁与外壳体之间形成一个环形间隙，环形间隙的左侧上端连接有冷却液进料管，冷却液出料管与圆柱形内壁的右侧壁上部连通，且冷却液出料管与外壳体之间设有密封环，外壳体的上端与凸台连接。
进一步的：所述安装法兰盘的凹槽深度与凸台的高度相同。
进一步的：所述凸台与外壳体由同种材料一体铸造而成。
进一步的：所述圆柱形内壁与内壳体之间的距离与螺旋板的宽度相同。
进一步的：所述外壳体、内壳体和连接板由同种材料一体铸造而成。
与现有技术相比，本实用新型的结构简单、使用方便，在使用过程中，冷却液先从冷却液进料管进入到环形间隙中，然后再从间隙进入到环形换热腔内，然后冷却液从环形换热腔的上端进入到冷却液出料管中，冷却液在换热腔内能够吸收硅棒的潜热和加热装置散发的热量，从而能够提交硅液的结晶速度。
附图说明
图1为一种单晶炉冷却装置的结构示意图。
图2为一种单晶炉冷却装置的俯视图。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
请参阅图1-2，一种单晶炉冷却装置，包括硅棒1、安装法兰盘4、外壳体7、内壳体11、冷却液进料管13、冷却液出料管6、凸台5和通孔2，所述安装法兰盘4的中部设有通孔2，通孔2的直径大于硅棒1的直径，安装法兰盘4的周侧设有多个安装孔14，通过安装孔14就能够将安装法兰盘4安装在炉盖上，安装法兰盘4的底部设有一圈凹槽，凹槽4为环形结构，安装法兰盘4底部的凹槽与凸台5配合使用，且安装法兰盘4的凹槽深度与凸台5的高度相同，凸台5上对应安装孔14也开设有多个安装孔；所述安装法兰盘4的底部设有一个圆柱形内壁8，圆柱形内壁8的上端通过焊接的方式固定安装在安装法兰盘4上，圆柱形内壁8的内侧壁上设有一圈螺旋板9，螺旋板9通过焊接的方式固定安装在圆柱形内壁8上；所述外壳体7和内壳体11均为圆柱环结构，外壳体7和内壳体11的底部设有连接板16，连接板16为环形结构，外壳体7、内壳体11和连接板16由同种材料一体铸造而成，外壳体7和内壳体11之间设有换热腔15，圆柱形内壁8的底部与连接板16之间设有间隙10，圆柱形内壁8与内壳体11之间的距离与螺旋板9的宽度相同，从而使得螺旋板9能够放置在换热腔15内，螺旋板9与内壳体11之间形成一个环形的换热腔，环形换热腔能够增加冷却液在换热腔15内的行程，从而提高换热时间，圆柱形内壁8与外壳体7之间形成一个环形间隙12，环形间隙12的左侧上端连接有冷却液进料管13，冷却液出料管6与圆柱形内壁8的右侧壁上部连通，且冷却液出料管6与外壳体7之间设有密封环，从而能够防止液体从冷却液出料管6与外壳体7之间的间隙中溢出，外壳体7的上端与凸台5连接，凸台5与外壳体7由同种材料一体铸造而成，内壳体11与安装法兰盘4的底部之间设有密闭连接；使用过程中，冷却液先从冷却液进料管13进入到环形间隙12中，然后再从间隙10进入到环形换热腔内，然后冷却液从环形换热腔的上端进入到冷却液出料管6中，冷却液在换热腔内能够吸收硅棒的潜热和加热装置散发的热量，从而能够提交硅液的结晶速度。
上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (5)
1.一种单晶炉冷却装置，包括硅棒(1)、安装法兰盘(4)、外壳体(7)、内壳体(11)、冷却液进料管(13)、冷却液出料管(6)、凸台(5)和通孔(2)，其特征在于，所述安装法兰盘(4)的中部设有通孔(2)，通孔(2)的直径大于硅棒(1)的直径，安装法兰盘(4)的周侧设有多个安装孔(14)，安装法兰盘(4)的底部设有一圈凹槽，凹槽为环形结构，安装法兰盘(4)底部的凹槽与凸台(5)配合使用，凸台(5)上对应安装孔(14)也开设有多个安装孔；所述安装法兰盘(4)的底部设有一个圆柱形内壁(8)，圆柱形内壁(8)的上端通过焊接的方式固定安装在安装法兰盘(4)上，圆柱形内壁(8)的内侧壁上设有一圈螺旋板(9)，螺旋板(9)通过焊接的方式固定安装在圆柱形内壁(8)上；所述外壳体(7)和内壳体(11)均为圆柱环结构，外壳体(7)和内壳体(11)的底部设有连接板(16)，连接板(16)为环形结构，外壳体(7)和内壳体(11)之间设有换热腔(15)，圆柱形内壁(8)的底部与连接板(16)之间设有间隙(10)，螺旋板(9)与内壳体(11)之间形成一个环形的换热腔，圆柱形内壁(8)与外壳体(7)之间形成一个环形间隙(12)，环形间隙(12)的左侧上端连接有冷却液进料管(13)，冷却液出料管(6)与圆柱形内壁(8)的右侧壁上部连通，且冷却液出料管(6)与外壳体(7)之间设有密封环，外壳体(7)的上端与凸台(5)连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置，其特征在于，所述安装法兰盘(4)的凹槽深度与凸台(5)的高度相同。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置，其特征在于，所述凸台(5)与外壳体(7)由同种材料一体铸造而成。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置，其特征在于，所述圆柱形内壁(8)与内壳体(11)之间的距离与螺旋板(9)的宽度相同。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却装置，其特征在于，所述外壳体(7)、内壳体(11)和连接板(16)由同种材料一体铸造而成。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110184645A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-08-30 | 江苏守航实业有限公司 | 一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉 |
| CN114872305A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-08-09 | 浙江昊杨新能源科技有限公司 | 一种蓄电池塑壳加工冷却装置 |
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2017
- 2017-04-29 CN CN201720474391.XU patent/CN206706246U/zh active Active
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| CN110184645A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-08-30 | 江苏守航实业有限公司 | 一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉 |
| CN114872305A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-08-09 | 浙江昊杨新能源科技有限公司 | 一种蓄电池塑壳加工冷却装置 |
| CN114872305B (zh) * | 2022-06-23 | 2024-03-15 | 浙江昊杨新能源科技有限公司 | 一种蓄电池塑壳加工冷却装置 |
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