CN207159417U - 一种新型带有冷却水套的单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型带有冷却水套的单晶炉，其包括筒形的炉体，在炉体的内腔中设有冷却水套，所述的冷却水套内壁中嵌入有冷却旋管，冷却旋管的第一进水口延伸至冷却水套的外壁上，冷却旋管的第一出水口延伸至冷却水套的底壁上，所述的冷却旋管的第一进水口上连接有进水管，所述的冷却旋管的第一出水口上连接有出水管，所述的进水管和出水管都穿出至炉体外，所述的冷却旋管环绕轴线着在冷却水套的内壁中螺旋形盘旋，所述的冷却旋管沿着盘旋路径自旋形成螺旋形旋转延伸，通过设置空心水套，载水率较高，并且在使用过程中，双开口的螺旋换水管道可以实现螺旋输液，输液速度较快，可以大大降低时间成本。
Description
技术领域
本实用新型属于硅晶单元制备装置领域，特别涉及一种新型的带有冷却水套的单晶炉。
背景技术
单晶炉在使用过程中要使用水套进行散热，而现有技术中的水套，一般都是设置一个夹层，夹层里边可以循环水，但是现有技术中的循环水技术有较大的问题，①废水量较大，需要使用大量水进行循环，②对应的供水设备费用较高，需要提供较大的水压，③冷却速度不佳，需要进行长时间工作才能冷却。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术中存在的冷却水冷却效果慢，结构冷却效果差的问题，提供了一种新型的水套，新型的水套具有结构的普适性高，其冷却效果好，改造成本低的特点。
提供了一种新型带有冷却水套的单晶炉，其包括筒形的炉体，在炉体的内腔中设有冷却水套，所述的冷却水套内壁中嵌入有冷却旋管，冷却旋管的第一进水口延伸至冷却水套的外壁上，冷却旋管的第一出水口延伸至冷却水套的底壁上，所述的冷却旋管的第一进水口上连接有进水管，所述的冷却旋管的第一出水口上连接有出水管，所述的进水管和出水管都穿出至炉体外，所述的冷却旋管环绕轴线着在冷却水套的内壁中螺旋形盘旋，所述的冷却旋管沿着盘旋路径自旋形成螺旋形旋转延伸。
进一步的，所述的冷却水套的侧壁内还均匀布置有四个竖直水管，每个竖直水管都与冷却旋管相接通。
进一步的，冷却旋管的盘旋角度具有锥度，所述的冷却旋管向下依次盘旋并逐渐靠近。
进一步的，所述的冷却水套为筒形，所述的冷却水套的内壁中空，在冷却水套的外壁上还接有
进一步的，所述的冷却旋管还带有第二进水口，第二进水口延伸至冷却水套的外壁上。在第二进水口上连接有第二进水管。
进一步的，所述的水套由外壁、内壁组成的，外壁与内壁通过顶壁和底壁组成筒形壳体，内壁与外壁之间形成环形的中空腔，所述的冷却水套设置在中空腔内，所述的中空腔上带有第三进水口和出水口。
本实用新型相对于现有技术相比具有以下有益效果：
本装置设计结构精简，简单实用的特点，可以大大提高水封寿命。
投入少，见效快，实用性好、易推广的特点。
采用双层水封，水封双向循环，可以快速带走热量进行热交换，热交换效果较好，在保证水压的基础上具有良好的换热工作。
采用双向的换热，一层是由中央的冷却盘管进行换热，另一层是由水套内腔进行换热，二者前进方向相反，换热比率较高。
通过设置空心水套，载水率较高，并且在使用过程中，双开口的螺旋换水管道可以实现螺旋输液，输液速度较快，通过设置四个竖直的水管可以实现径向快速换水，可以大大降低时间成本。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型的侧视结构示意图；
图3为本实用新型的冷却旋管的结构图；
附图标记说明：炉体1、第一进水管2、第二进水管3、水套进水管 4、冷却水套5、出水管6、冷却旋管8。
具体实施方式
以下结合附图1对本实用新型做进一步详细说明。
提供了一种新型带有冷却水套的单晶炉，其包括筒形的炉体1，在炉体的内腔中设有冷却水套5，所述的冷却水套为筒形，所述的水套由外壁、内壁组成的，外壁与内壁通过顶壁和底壁组成筒形壳体，内壁与外壁之间形成环形的中空腔，所述的冷却水套设置在中空腔内，在冷却水套的外壁上还接有水套进水管4，水套进水管4与中空腔相接通，所述的冷却水套内壁中嵌入有冷却旋管，冷却旋管的第一进水口延伸至冷却水套的外壁上，冷却旋管的第一出水口延伸至冷却水套的底壁上，所述的冷却旋管的第一进水口上连接有第一进水管2，所述的冷却旋管还带有第二进水口，第二进水口延伸至冷却水套的外壁上，在第二进水口上连接有第二进水管3，所述的第一进水管穿出至炉体外，，所述的冷却旋管8环绕轴线在冷却水套的内壁中螺旋形盘旋，所述的冷却旋管沿着盘旋路径自旋形成螺旋形旋转延伸，所述的冷却水套的侧壁内还均匀布置有四个竖直水管7，每个竖直水管都与冷却旋管的对应部位相接通，各个竖直水管的底部出水口都与第一出水管6相接通，冷却旋管的盘旋角度具有锥度，所述的冷却旋管向下依次盘旋并逐渐靠近。
Claims (6)
1.一种新型带有冷却水套的单晶炉，其特征在于：包括筒形的炉体(1)，在炉体的内腔中设有冷却水套(5)，所述的冷却水套内壁中嵌入有冷却旋管，冷却旋管的第一进水口延伸至冷却水套的外壁上，冷却旋管的第一出水口延伸至冷却水套的底壁上，所述的冷却旋管的第一进水口上连接有第一进水管(2)，所述的第一进水管穿出至炉体外，所述的冷却旋管(8)环绕轴线在冷却水套的内壁中螺旋形向下盘旋，所述的冷却旋管沿着盘旋路径自旋形成螺旋形旋转延伸。
2.根据权利要求1所述的一种新型带有冷却水套的单晶炉，其特征在于：所述的冷却水套的侧壁内还均匀布置有四个竖直水管(7)，每个竖直水管都与冷却旋管的对应部位相接通，各个竖直水管的底部出水口都与第一出水管(6)相接通。
3.根据权利要求1所述的一种新型带有冷却水套的单晶炉，其特征在于：冷却旋管的盘旋角度具有锥度，所述的冷却旋管向下依次盘旋并逐渐靠近。
4.根据权利要求1所述的一种新型带有冷却水套的单晶炉，其特征在于：所述的冷却水套为筒形，所述的冷却水套的内壁中空，在冷却水套的外壁上还接有水套进水管(4)。
5.根据权利要求1所述的一种新型带有冷却水套的单晶炉，其特征在于：所述的冷却旋管还带有第二进水口，第二进水口延伸至冷却水套的外壁上，在第二进水口上连接有第二进水管(3)。
6.根据权利要求4所述的一种新型带有冷却水套的单晶炉，其特征在于：所述的水套由外壁、内壁组成的，外壁与内壁通过顶壁和底壁组成筒形壳体，内壁与外壁之间形成环形的中空腔，所述的冷却水套设置在中空腔内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721097994.9U CN207159417U (zh) | 2017-08-30 | 2017-08-30 | 一种新型带有冷却水套的单晶炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721097994.9U CN207159417U (zh) | 2017-08-30 | 2017-08-30 | 一种新型带有冷却水套的单晶炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207159417U true CN207159417U (zh) | 2018-03-30 |
Family
ID=61719570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201721097994.9U Active CN207159417U (zh) | 2017-08-30 | 2017-08-30 | 一种新型带有冷却水套的单晶炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207159417U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110184645A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-08-30 | 江苏守航实业有限公司 | 一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉 |
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2017
- 2017-08-30 CN CN201721097994.9U patent/CN207159417U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110184645A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-08-30 | 江苏守航实业有限公司 | 一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉 |
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