CN110146237A - 一种气密性检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气密性检测装置，包括工作台、气源、电压传感器和用于固定芯片的夹具，气源和电压传感器设置在工作台上，电压传感器上设置有用于连接芯片的接头，夹具包括底座、夹臂和用于驱动夹臂的夹持气缸，底座设置在工作台上，底座上开设有气体通道，气体通道的一端与气源连接，另一端设置有与芯片连接的连接口，夹持气缸固定在底座上，夹臂滑移安装在底座上，并与夹持气缸的输出端连接，从而随夹持气缸的动作，夹住或放开芯片。通过上述设置，操作人员只需将芯片与接头连接，然后再将芯片放入夹臂以及从夹臂内取出即可，无需插接另外两个接口，简化操作步骤。

Description

一种气密性检测装置

技术领域

本发明涉及一种检验设备，更具体的说是涉及一种气密性检测装置。

背景技术

现有一芯片，具有一个外壳，外壳上有一个线路接口和另外两个连接气压源的连接口。该外壳在芯片工作时，内部气压会影响芯片的输出信号，因此需要一定的气密性(即：在规定的时间内，控制气压的下降值)。在生产这一芯片时，就需要对其进行气密性检测，从而确保芯片合格。

现在检测气密性时，需要人工插拔三个连接口，操作麻烦。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种气密性检测装置，辅助实现接口的插拔，方便检测操作。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种气密性检测装置，包括工作台、气源、电压传感器和用于固定芯片的夹具，气源和电压传感器设置在工作台上，电压传感器上设置有用于连接芯片的接头，夹具包括底座、夹臂和用于驱动夹臂的夹持气缸，底座设置在工作台上，底座上开设有气体通道，气体通道的一端与气源连接，另一端设置有与芯片连接的连接口，夹持气缸固定在底座上，夹臂滑移安装在底座上，并与夹持气缸的输出端连接，从而随夹持气缸的动作，夹住或放开芯片。

作为本发明的进一步改进，底座包括底板、夹板和安装板，夹板和安装板固定在底板上并间隔设置，夹板上开设有夹孔，夹臂有两根，且均呈L型，两根夹臂的一端穿过夹孔与夹持气缸连接，另一端相向设置，在夹持气缸运行时，将芯片夹持在夹臂与夹板之间或放开芯片。

作为本发明的进一步改进，夹臂朝向夹板的一面上固定有缓冲板。

作为本发明的进一步改进，还包括用于放置芯片的架子和用于抓取芯片的机械手，架子包括支架、用于放置芯片的置物盘和用于移动置物盘的横向移动机构，支架设置在工作台的一侧，置物盘滑移设置在支架的顶部，横向移动机构包括横向电机、横向丝杆和横向导柱，横向电机固定在支架上，横向丝杆转动安装在支架上，横向导柱固定在支架上，置物盘的两个侧边上分别固定有一个连接块，一个连接块上开设有横向螺纹孔，横向螺纹孔与横向丝杆啮合，另一个连接块上开设有横向导孔，横向导柱穿设在横向导孔内，机械手包括行架、气爪、升降气缸、和用于移动气爪与升降气缸的纵向移动机构，行架架设在工作台和支架上，纵向移动机构包括纵向电机和纵向丝杆，纵向电机固定在行架上，纵向丝杆转动设置在行架上，并与纵向电机连接，行架上设置有纵向导轨，升降气缸可滑移的设置在纵向导轨上，升降气缸上连接有纵向螺套，纵向螺套与纵向丝杆啮合，气爪固定在升降气缸的输出端上。

作为本发明的进一步改进，支架上设置有用于检测置物盘位置的检测装置，检测装置包括本体、探针和复位弹簧，本体上设置有延时装置和启闭按钮，探针铰接在本体上，置物盘的边沿上均匀排布有触碰块，当探针的一端接触到触碰块时，探针的另一端触碰启闭按钮，延时装置延时关闭横向电机，然后再延时启动横向电机，复位弹簧设置在本体与探针之间，推动探针远离启闭按钮。

作为本发明的进一步改进，工作台上设置有用于插拔接头的插拔机构，插拔机构包括插拔气缸和插拔套，插拔气缸固定在底座上，插拔套的一端与插拔气缸的输出端连接，另一端与接头连接，以在插拔气缸运行时，将接头与芯片连接或将接头与芯片分开。

本发明的有益效果，在检测时，操作人员将芯片与电压传感器连接，然后将芯片放在夹臂与底座之间，芯片的接口对准气体通道，而后夹持气缸启动，带动夹臂朝底座移动，夹臂将芯片夹在底座与夹臂之间，此时，芯片上的接口与气体通道重合，气体通道将气体冲入芯片的外壳内，在芯片内产生高压，芯片的输出电压改变，然后保压60秒，看芯片的输出电压的改变值，如果改变的值超过预设值，则芯片不合格，在此，也可以设计报警装置，提醒操作人员。测试完成后，气缸回位，将芯片放开，操作人员开始下一轮测试。通过上述设置，操作人员只需将芯片与接头连接，然后再将芯片放入夹臂以及从夹臂内取出即可，无需插接另外两个接口，简化操作步骤。

附图说明

图1为本发明第一实施例的结构图；

图2为第一实施例中，工作台上方的部件的结构图；

图3为本发明第二实施例的结构图；

图4为机械手的结构图；

图5为图3中A处的局部放大图；

图6为图3中B处的局部放大图。

具体实施方式

下面将结合附图所给出的实施例对本发明做进一步的详述。

参照图1至图6所示，本实施例的一种气密性检测装置，包括工作台1、气源2、电压传感器3和用于固定芯片的夹具4，气源2和电压传感器3设置在工作台1上，电压传感器3上设置有用于连接芯片的接头，夹具4包括底座41、夹臂42和用于驱动夹臂42的夹持气缸43，底座41设置在工作台1上，底座 41上开设有气体通道，气体通道的一端与气源2连接，另一端设置有与芯片连接的连接口，夹持气缸43固定在底座41上，夹臂42滑移安装在底座41上，并与夹持气缸43的输出端连接，从而随夹持气缸43的动作，夹住或放开芯片。

在检测时，操作人员将芯片与电压传感器3连接，然后将芯片放在夹臂42 与底座41之间，芯片的接口对准气体通道，而后夹持气缸43启动，带动夹臂42朝底座41移动，夹臂42将芯片夹在底座41与夹臂42之间，此时，芯片上的接口与气体通道重合，气体通道将气体冲入芯片的外壳内，在芯片内产生高压，芯片的输出电压改变，然后保压60秒，看芯片的输出电压的改变值，如果改变的值超过预设值，则芯片不合格，在此，也可以设计报警装置，提醒操作人员。测试完成后，气缸回位，将芯片放开，操作人员开始下一轮测试。通过上述设置，操作人员只需将芯片与接头连接，然后再将芯片放入夹臂42以及从夹臂42内取出即可，无需插接另外两个接口，简化操作步骤。且通过夹持气缸 43将芯片固定，从而使气体通道与芯片保持连接，结构简单，使用方便。

作为改进的一种具体实施方式，底座41包括底板411、夹板412和安装板 413，夹板412和安装板413固定在底板411上并间隔设置，夹板412上开设有夹孔414，夹臂42有两根，且均呈L型，两根夹臂42的一端穿过夹孔414与夹持气缸43连接，另一端相向设置，在夹持气缸43运行时，将芯片夹持在夹臂 42与夹板412之间或放开芯片。

通过两根L型的夹臂42，配合夹板412，形成环绕结构，更好的定位芯片，从而保证芯片与气体通道连接的精准度。L型的夹臂42和几块板构成整个结构，结构简单、容易制造。

作为改进的一种具体实施方式，夹臂42朝向夹板412的一面上固定有缓冲板415。

通过缓冲板415吸收夹臂42夹持芯片时的冲击力，减少使用过程中对夹臂 42和芯片的损伤，提高夹臂42的使用寿命。

作为改进的一种具体实施方式，还包括用于放置芯片的架子和用于抓取芯片的机械手，架子包括支架51、用于放置芯片的置物盘52和用于移动置物盘52的横向移动机构，支架51设置在工作台1的一侧，置物盘52滑移设置在支架51的顶部，横向移动机构包括横向电机53、横向丝杆54和横向导柱55，横向电机53固定在支架51上，横向丝杆54转动安装在支架51上，横向导柱55 固定在支架51上，置物盘52的两个侧边上分别固定有一个连接块56，一个连接块56上开设有横向螺纹孔，横向螺纹孔与横向丝杆54啮合，另一个连接块 56上开设有横向导孔，横向导柱55穿设在横向导孔内，机械手包括行架61、气爪62、升降气缸68、和用于移动气爪62与升降气缸68的纵向移动机构，行架61架设在工作台1和支架51上，纵向移动机构包括纵向电机63和纵向丝杆 64，纵向电机63固定在行架61上，纵向丝杆64转动设置在行架61上，并与纵向电机63连接，行架61上设置有纵向导轨66，升降气缸68可滑移的设置在纵向导轨66上，升降气缸68上连接有纵向螺套67，纵向螺套67与纵向丝杆 64啮合，气爪62固定在升降气缸68的输出端上。

置物盘52上可阵列设置一些凹槽，用于定位放置芯片，从而使芯片在被抓取后，直接处于检测位置。在检测时，纵向电机63启动，带动纵向丝杆64转动，带动气爪62移动到置物盘52上方，升降气缸68将气爪62放下，气爪62 张开，然后抓住芯片，抓住芯片后，升降气缸68回位，纵向电机63反向转动，带动气爪62往夹具4移动，当气爪62移动到夹具4上方后，升降气缸68将气爪62和芯片放下，使芯片进入夹臂42与夹板412之间，夹持气缸43带动夹臂42夹住芯片，测试芯片性能，测试完成后，气爪62再次抓住芯片，将芯片移走。此时也设置一个收集容器，将测试完的芯片放到收集容器内。当一排的芯片测试完成后，横向电机53带动横向丝杆54转动，移动置物盘52，将另一排芯片移动到气爪62下方。

作为改进的一种具体实施方式，支架51上设置有用于检测置物盘52位置的检测装置，检测装置包括本体71、探针72和复位弹簧75，本体71上设置有延时装置和启闭按钮73，探针72铰接在本体71上，置物盘52的边沿上均匀排布有触碰块74，当探针72的一端接触到触碰块74时，探针72的另一端触碰启闭按钮73，延时装置延时关闭横向电机53，然后再延时启动横向电机53，复位弹簧75设置在本体71与探针72之间，推动探针72远离启闭按钮73。

在横向电机53带动置物盘52移动时，探针72在各个触碰块74间转移，探知各排芯片的位置。当探针72与触碰块74接触时，探针72与触碰块74接触的一端被抬起，另一端被压下，按压启闭按钮73。延时装置关闭横向电机53，然后再延时启动。如此，就可通过排布触碰块74的间距，控制置物盘52一次移动的距离，从而使置物盘52能准确移动到需要的位置，使气爪62能准确抓到芯片。

作为改进的一种具体实施方式，工作台1上设置有用于插拔接头的插拔机构，插拔机构包括插拔气缸81和插拔套82，插拔气缸81固定在底座41上，插拔套82的一端与插拔气缸81的输出端连接，另一端与接头连接，以在插拔气缸81运行时，将接头与芯片连接或将接头与芯片分开。

通过插拔机构的设置，就可自动插拔电压接口，实现全自动检验，减少人工操作。

以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种气密性检测装置，其特征在于：包括工作台(1)、气源(2)、电压传感器(3)和用于固定芯片的夹具(4)，所述气源(2)和电压传感器(3)设置在工作台(1)上，所述电压传感器(3)上设置有用于连接芯片的接头(31)，所述夹具(4)包括底座(41)、夹臂(42)和用于驱动夹臂(42)的夹持气缸(43)，所述底座(41)设置在工作台(1)上，所述底座(41)上开设有气体通道，所述气体通道的一端与气源(2)连接，另一端设置有与芯片连接的连接口(42)，所述夹持气缸(43)固定在底座(41)上，所述夹臂(42)滑移安装在底座(41)上，并与夹持气缸(43)的输出端连接，从而随夹持气缸(43)的动作，夹住或放开芯片。

2.根据权利要求1所述的一种气密性检测装置，其特征在于：所述底座(41)包括底板(411)、夹板(412)和安装板(413)，所述夹板(412)和安装板(413)固定在底板(411)上并间隔设置，所述夹板(412)上开设有夹孔(414)，所述夹臂(42)有两根，且均呈L型，两根所述夹臂(42)的一端穿过夹孔(414)与夹持气缸(43)连接，另一端相向设置，在夹持气缸(43)运行时，将芯片夹持在夹臂(42)与夹板(412)之间或放开芯片。

3.根据权利要求2所述的一种气密性检测装置，其特征在于：所述夹臂(42)朝向夹板(412)的一面上固定有缓冲板(415)。

4.根据权利要求3所述的一种气密性检测装置，其特征在于：还包括用于放置芯片的架子和用于抓取芯片的机械手，所述架子包括支架(51)、用于放置芯片的置物盘(52)和用于移动置物盘(52)的横向移动机构，所述支架(51)设置在工作台(1)的一侧，所述置物盘(52)滑移设置在支架(51)的顶部，所述横向移动机构包括横向电机(53)、横向丝杆(54)和横向导柱(55)，所述横向电机(53)固定在支架(51)上，所述横向丝杆(54)转动安装在支架(51)上，所述横向导柱(55)固定在支架(51)上，所述置物盘(52)的两个侧边上分别固定有一个连接块(56)，一个所述连接块(56)上开设有横向螺纹孔，所述横向螺纹孔与横向丝杆(54)啮合，另一个所述连接块(56)上开设有横向导孔，所述横向导柱(55)穿设在横向导孔内，所述机械手包括行架(61)、气爪(62)、升降气缸(68)、和用于移动气爪(62)与升降气缸(68)的纵向移动机构，所述行架(61)架设在工作台(1)和支架(51)上，所述纵向移动机构包括纵向电机(63)和纵向丝杆(64)，所述纵向电机(63)固定在行架(61)上，所述纵向丝杆(64)转动设置在行架(61)上，并与纵向电机(63)连接，所述行架(61)上设置有纵向导轨(66)，所述升降气缸(68)可滑移的设置在纵向导轨(66)上，所述升降气缸(68)上连接有纵向螺套(67)，所述纵向螺套(67)与纵向丝杆(64)啮合，所述气爪(62)固定在升降气缸(68)的输出端上。

5.根据权利要求4所述的一种气密性检测装置，其特征在于：所述支架(51)上设置有用于检测置物盘(52)位置的检测装置，所述检测装置包括本体(71)、探针(72)和复位弹簧(75)，所述本体(71)上设置有延时装置和启闭按钮(73)，所述探针(72)铰接在本体(71)上，所述置物盘(52)的边沿上均匀排布有触碰块(74)，当探针(72)的一端接触到触碰块(74)时，探针(72)的另一端触碰启闭按钮(73)，延时装置延时关闭横向电机(53)，然后再延时启动横向电机(53)，所述复位弹簧(75)设置在本体(71)与探针(72)之间，推动探针(72)远离启闭按钮(73)。

6.根据权利要求5所述的一种气密性检测装置，其特征在于：所述工作台(1)上设置有用于插拔接头(31)的插拔机构，所述插拔机构包括插拔气缸(81)和插拔套(82)，所述插拔气缸(81)固定在底座(41)上，所述插拔套(82)的一端与插拔气缸(81)的输出端连接，另一端与接头(31)连接，以在插拔气缸(81)运行时，将接头(31)与芯片连接或将接头(31)与芯片分开。