CN110046610B - 一种指纹识别显示装置及其制备方法、显示设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种指纹识别显示装置及其制备方法、显示设备，该指纹识别显示装置包括：显示面板，包括多个第一类薄膜晶体管；指纹识别装置，所述指纹识别装置包括多个光学传感器；所述显示面板还设置有与所述第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，所述第一通孔内设置有透明导电结构，所述第一类薄膜晶体管通过所述透明导电结构与对应的光学传感器电连接。本发明提供了一种指纹识别显示装置及其制备方法、显示设备，以解决现有指纹识别显示装置工艺兼容性较差且工艺流程复杂的问题。

Description

一种指纹识别显示装置及其制备方法、显示设备

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种指纹识别显示装置及其制备方法、显示设备。

背景技术

光学指纹识别是一种较为成熟的指纹识别技术，随着电子科学技术的不断发展，新兴的光学指纹识别技术被广泛应用在手机、电脑等电子设备的显示屏中，进行屏下指纹识别，其不需要传统指纹模块的光学系统，可借用显示屏的光线来作为光源，并在屏下设置光学传感器识别反射光，实现屏下指纹识别。

但是在现有技术中，屏下指纹识别的方法是将设置光学传感器的指纹识别背板贴合在显示面板的背光面，制备这种指纹识别装置的工艺兼容性较差且工艺流程复杂。

发明内容

本发明实施例提供了一种指纹识别显示装置及其制备方法、显示设备，以解决现有指纹识别显示装置工艺兼容性较差，工艺流程复杂的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种指纹识别显示装置，包括：

显示面板，包括多个第一类薄膜晶体管；

指纹识别装置包括多个光学传感器；

所述显示面板还设置有与所述第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，所述第一通孔内设置有透明导电结构，所述第一类薄膜晶体管通过所述透明导电结构与对应的所述光学传感器电连接。将驱动光学传感器的第一类薄膜晶体管设置于显示面板上，而非指纹识别装置上，从而未将第一类薄膜晶体管与光学传感器设置于同一面板上，避免光学传感器的形成材料与第一类薄膜晶体管的形成材料不兼容的问题，并且上述第一类薄膜晶体管可形成于显示面板的驱动电路层，简化制作工艺简单。

可选的，所述显示面板还包括多个像素驱动电路和多个发光单元；多个所述像素驱动电路与多个所述发光单元一一对应电连接，所述像素驱动电路包括第二类薄膜晶体管，所述第二类薄膜晶体管的源漏极与所述第一类薄膜晶体管的栅极同层设置。显示面板上像素驱动电路和发光单元一一对应设置，能够发出光学传感器需要的光源，并且像素驱动电路中包括第二类薄膜晶体管，在形成第二类薄膜晶体管的源漏极时可形成第一类薄膜晶体管的栅极，从而简化制作工艺，提高生产效率。

可选的，所述第一类薄膜晶体管为金属氧化物薄膜晶体管；所述第二类薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管。金属氧化物薄膜晶体管漏电流小，作为寻址薄膜晶体管噪声较小，信号传输更加准确，本实施中第一类薄膜晶体管采用了低温多晶氧化物(LowTemperature Polycrystalline Oxide，LTPO)技术，相比于低温多晶硅技术，采用LTPO技术金属氧化物薄膜晶体管的漏电量明显降低，可实现更高效的电子迁移率，更低的功耗，以及较强的稳定性和可扩展性。

可选的，所述显示面板包括：依次层叠设置的第一衬底、第二有源层、第一栅极绝缘层、第一金属层、层间绝缘层、第二金属层、第二栅极绝缘层、第一有源层和第三金属层；所述第二有源层包括所述第二类薄膜晶体管的有源层图案；所述第一金属层包括所述第二类薄膜晶体管的栅极图案；所述第二金属层包括所述第二类薄膜晶体管的源漏极图案以及所述第一类薄膜晶体管的栅极图案；所述第一有源层包括所述第一类薄膜晶体管的有源层图案；所述第三金属层包括所述第一类薄膜晶体管的源漏极图案。当第一类薄膜晶体管为金属氧化物薄膜晶体管，第二类薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管时，可将第一有源层和第二有源层隔开设置，以防止低温多晶硅材料导致金属氧化物的失效，并且将第一类薄膜晶体管的栅极与第二类薄膜晶体管的源漏极同层设置，以节省工艺流程，并能节约金属材料，从而降低生产成本，提高生产效率。

可选的，所述光学传感器包括：依次层叠设置的第二衬底、第一电极、半导体有源层和第二电极；所述第一通孔漏出部分所述第二电极，所述第二电极通过所述第一通孔中的所述透明导电结构与所述第一类薄膜晶体管电连接。第一类薄膜晶体管与通孔一一对应设置，并且对应的光学传感器可通过第二电极与第一类薄膜晶体管电连接，此外，第一通孔还能够增加投射至光学传感器的光线照射量，提高指纹识别的精确度。

可选的，所述指纹识别装置通过粘结层与所述显示面板贴合；所述粘结层内设置有与所述第一通孔一一对应的第二通孔。粘结层内设置有与第一通孔对应的第二通孔，以使透明导电结构能够穿过第一通孔和第二通孔，实现第一类薄膜晶体管的漏极或源极，与光学传感器的第二电极的电连接。

可选的，所述透明导电结构的材料包括聚(3,4-乙烯二氧噻吩)、聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸、聚苯胺、聚噻吩、聚乙炔或聚吡咯。上述材料导电性较强，并且具有一定的透明度，为实现第一类薄膜晶体管和光学传感器电连接的优选材料。其中，聚(3,4-乙烯二氧噻吩)具有分子结构简单、能隙小、电导率高等特点；对于聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸，因为聚(3,4-乙烯二氧噻吩)具有分子结构简单、能隙小、电导率高等特点，又因为聚苯乙烯磺酸钠的加入，使得透明导电结构又具有较强的粘合性，以使透明导电结构能够坚固地粘合于第一通孔中。并且，聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸，具有较强的柔韧性和伸展性，能够有效增强指纹识别显示装置抗压性能。

第二方面，本发明实施例提供了一种指纹识别显示装置的制备方法，所述指纹识别显示装置的制备方法包括：

提供一显示面板；所述显示面板包括多个第一类薄膜晶体管；

提供一指纹识别装置；所述指纹识别装置包括多个光学传感器；

在所述显示面板中形成与所述第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，

将所述显示面板的背光面与所述指纹识别装置贴合；

在所述第一通孔中形成透明导电结构，所述第一类薄膜晶体管通过所述透明导电结构与对应的所述光学传感器电连接。将驱动光学传感器的第一类薄膜晶体管设置于显示面板上，而非指纹识别装置上，从而未将第一类薄膜晶体管与光学传感器设置于同一面板上，避免光学传感器的形成材料与第一类薄膜晶体管的形成材料不兼容的问题，并且上述第一类薄膜晶体管可形成于显示面板的驱动电路层，简化制作工艺简单。

可选的，所述提供一显示面板包括：在第一衬底上形成多个像素驱动电路，所述像素驱动电路包括第二类薄膜晶体管；形成多个第一类薄膜晶体管；形成多个发光单元，多个所述像素驱动电路与多个所述发光单元一一对应电连接。在形成第二类薄膜晶体管时即可形成第一类薄膜晶体管，从而简化制作工艺，提高生产效率。

第三方面，本发明实施例还提供了一种显示设备，包括本发明任意实施例提供的指纹识别显示装置。

本发明中，通过将驱动光学传感器的第一类薄膜晶体管设置于显示面板上，将光学传感器设置于指纹识别装置上，第一类薄膜晶体管通过显示面板上与第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，与对应的光学传感器电连接，以驱动光学传感器，则第一类薄膜晶体管与光学传感器未设置于同一面板上，能够避免光学传感器的形成材料与第一类薄膜晶体管的形成材料不兼容的问题，并且上述第一类薄膜晶体管可形成于显示面板的驱动电路层，节省工艺流程，提高生产效率。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种屏下指纹识别的工作原理图；

图2是本发明实施例提供的一种指纹识别显示装置的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的另一种指纹识别显示装置的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的一种指纹识别装置的对比例的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的一种指纹识别显示装置的制备方法的流程示意图；

图6是本发明实施例提供的又一种指纹识别显示装置的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的又一种指纹识别显示装置的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的一种显示设备的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

屏下指纹识别技术是借用显示面板各发光单元发出的光作为光源的指纹识别过程，能够使最终形成的具有指纹识别功能的显示面板更加轻薄化，如图1所示，图1是本发明实施例提供的一种屏下指纹识别的工作原理图。显示面板依次包括第一衬底11、驱动电路层12、发光单元层141、薄膜封装层19以及设置于薄膜封装层19远离第一衬底11一侧的玻璃盖板143，当触摸主体4放置于玻璃盖板143上时，发光单元层141中各发光单元发出的光线由触摸主体4进行反射，反射的光线经过各发光单元之间的缝隙传输至第一衬底11背侧的光学传感器22中，光学传感器22能够在光线照射时发出电信号，以对接收的光线进行记录，示例性的，指纹存在特定的纹路，在触摸主体4不同的位置处纹路不同，光学传感器22接收到的光信号不同，则输出不同的电信号，从而根据光学传感器22输出的电信号获取触摸主体4的指纹信息。可选的，所述触摸主体4可以为指端、手掌、脚掌等具有特定纹路的触摸体。

但是光学传感器还需要设置驱动光学传感器的薄膜晶体管，现有技术中将驱动光学传感器的薄膜晶体管与光学传感器一同设置于显示面板的背光面，使得光学传感器制作工艺与薄膜晶体管制作工艺兼容性较差，并且制作工艺流程较为复杂。

为解决驱动光学传感器的薄膜晶体管与光学传感器工艺不兼容的问题，本发明实施例提供了一种指纹识别显示装置，包括：

显示面板，包括多个第一类薄膜晶体管；

指纹识别装置，包括多个光学传感器；

显示面板还设置有与第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，第一通孔内设置有透明导电结构，第一类薄膜晶体管通过透明导电结构与对应的光学传感器电连接。

本发明实施例提供的指纹识别显示装置，通过将驱动光学传感器的第一类薄膜晶体管设置于显示面板上，将光学传感器设置于指纹识别装置上，第一类薄膜晶体管通过显示面板上与第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，与对应的光学传感器电连接，以驱动光学传感器，则第一类薄膜晶体管与光学传感器未设置于同一面板上，能够避免光学传感器的形成材料与第一类薄膜晶体管的形成材料不兼容的问题，并且上述第一类薄膜晶体管可形成于显示面板的驱动电路层，节省工艺流程，提高生产效率。

以上是本发明的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图2是本发明实施例提供的一种指纹识别显示装置的结构示意图，如图2所示，指纹识别显示装置包括显示面板和指纹识别装置，指纹识别装置贴合在显示面板的背侧，即背光侧。其中，显示面板远离指纹识别装置的一侧设置有多个第一类薄膜晶体管M1，指纹识别装置靠近显示面板的一侧设置有多个光学传感器22，第一类薄膜晶体管M1用于驱动光学传感器22，为光学传感器22提供电源信号，则需要在显示面板上形成与第一类薄膜晶体管M1一一对应设置的第一通孔13，使得第一类薄膜晶体管M1能够与对应光学传感器22电连接，以驱动光学传感器22。值得注意的是，第一类薄膜晶体管M1与第一通孔13是一一对应的，第一类薄膜晶体管M1与光学传感器22也可为一一对应的关系，则第一通孔13与光学传感器22也同为一一对应的关系。光学传感器22和第一类薄膜晶体管M1分别形成于不同的衬底，制作工艺也不会互相影响，增强了光学传感器22和第一类薄膜晶体管M1的兼容性。当然，第一类薄膜晶体管M1与光学传感器22也可不为一一对应的关系，示例性的，一个第一类薄膜晶体管M1可与多个光学传感器22电连接，以驱动多个光学传感器22，本实施例对每个第一类薄膜晶体管M1对应的光学传感器22的个数不进行限定。

图3是本发明实施例提供的另一种指纹识别显示装置的结构示意图，可选的，显示面板还可以包括多个像素驱动电路(图3中未示出)和多个发光单元；多个像素驱动电路与多个发光单元一一对应电连接，像素驱动电路包括第二类薄膜晶体管M2，第二类薄膜晶体管M2的源漏极与第一类薄膜晶体管M1的栅极同层设置。

显示面板包括多个一一对应的像素驱动电路和发光单元，像素驱动电路均设置于驱动电路层中，用于在栅极信号和数据信号等信号的控制下，驱动发光单元发出特定亮度的光，从而形成显示画面。如图3所示，发光单元可以包括阳极15、有机发光层17以及阴极18，在阳极15和阴极18之间的电压差的作用下，有机发光层17中材料被激发发出光线。发光单元发出的光同时作为光学传感器22的光源，则能够光学传感器22不需要另外设置其他光源，从而有效减小指纹识别显示装置的厚度，并且像素驱动电路中包括第二类薄膜晶体管M2，参考图3，第二类薄膜晶体管M2的源漏极与第一类薄膜晶体管M1的栅极同层设置，从而在形成第二类薄膜晶体管M2时可形成第一类薄膜晶体管M1，从而简化制作工艺，提高生产效率。

可选的，第一类薄膜晶体管M1可以为金属氧化物薄膜晶体管；第二类薄膜晶体管M2可以为低温多晶硅薄膜晶体管。

参考图3，第一类薄膜晶体管M1包括第一栅极G1、第一有源层122、第一源极S1和第一漏极D1，第二类薄膜晶体管M2包括第二栅极G2、第二有源层126、第二源极S2和第二漏极D2，第一类薄膜晶体管M1为金属氧化物薄膜晶体管的含义是第一类薄膜晶体管M1的第一有源层122的材料为金属氧化物，同理，第二类薄膜晶体管M2为低温多晶硅薄膜晶体管的含义是第二类薄膜晶体管M2的第二有源层126的材料为低温多晶硅。

金属氧化物薄膜晶体管漏电流小，作为寻址薄膜晶体管噪声较小，信号传输更加准确，本实施中第一类薄膜晶体管M1采用了低温多晶氧化物(Low TemperaturePolycrystalline Oxide，LTPO)技术，相比于低温多晶硅技术，采用LTPO技术金属氧化物薄膜晶体管的漏电量明显降低，可实现更高效的电子迁移率，更低的功耗，以及较强的稳定性和可扩展性。可选的，第一类薄膜晶体管M1可以为铟镓锌氧化物。

因为金属氧化物薄膜晶体管和低温多晶硅薄膜晶体管同样会存在不兼容的问题，为防止低温多晶硅材料导致金属氧化物材料失效，将金属氧化物材料层和低温多晶硅材料层尽可能间隔较远设置，即将第一类薄膜晶体管M1的第一有源层122和第二类薄膜晶体管M2的第二有源层126间隔多层设置，可选的，可在低温多晶硅材料层和金属氧化物材料层之间间隔至少一层金属层，从而防止低温多晶硅材料层中的氢原子导致金属氧化物材料的失效，使得金属氧化物薄膜晶体管和低温多晶硅薄膜晶体管能够实现兼容。此外，第二类薄膜晶体管M2还可以为金属氧化物薄膜晶体管，则不存在第一类薄膜晶体管M1和第二类薄膜晶体管M2之间的兼容性问题。

参考图4，图4是本发明实施例提供的一种指纹识别装置的对比例的结构示意图，图4中第一类薄膜晶体管M1和光学传感器22均设置于指纹识别装置2上，具体的，首先形成第一类薄膜晶体管M1的栅极G1、第一有源层122、源极S1和漏极D1，并将漏极D1作为光学传感器22的一个电极，在该电极上形成半导体有源层，最后在半导体有源层上形成光学传感器22的另一电极。若第一有源层122的材料为金属氧化物，光学传感器22的半导体有源层222的材料为多晶硅，如图4所示，在形成半导体有源层222的过程中，需要形成整层的多晶硅，多晶硅与部分第一有源层122接触，则多晶硅中的氢原子容易将金属氧化物导体化，从而导致金属氧化物失效，所以图4中示出的对比例是无法实现第一类薄膜晶体管M1和光学传感器22的兼容的。而图3示出的指纹识别显示装置能够将第一类薄膜晶体管M1和光学传感器22分别设置于不同的背板上，实现了第一类薄膜晶体管M1和光学传感器22的兼容，并且第一类薄膜晶体管M1设置于显示面板的驱动电路层，可与其他薄膜晶体管一同设置，例如，如图3所示，第二类薄膜晶体管M2的源漏极与第一类薄膜晶体管M1的栅极同层设置，工艺简单，提高生产效率。

可选的，继续参考图3，显示面板可以包括：依次层叠设置的第一衬底11、第二有源层126、第一栅极绝缘层128、第一金属层125、层间绝缘层129、第二金属层127、第二栅极绝缘层121、第一有源层122和第三金属层124；第二有源层126包括第二类薄膜晶体管M2的有源层图案；第一金属层125包括第二类薄膜晶体管M2的栅极图案；第二金属层127包括第二类薄膜晶体管M2的源漏极图案以及第一类薄膜晶体管M1的栅极图案；第一有源层122包括第一类薄膜晶体管M1的有源层图案；第三金属层124包括第一类薄膜晶体管M1的源漏极图案。当第一类薄膜晶体管M1为金属氧化物薄膜晶体管，第二类薄膜晶体管M2为低温多晶硅薄膜晶体管时，可将第一有源层122和第二有源层126隔开设置，如图3所示，第一有源层122和第二有源层126间隔两层金属层设置，以防止低温多晶硅材料导致金属氧化物的失效，此外，第一类薄膜晶体管M1的栅极G1与第二类薄膜晶体管M2的源极S2和漏极D2同层设置，以节省工艺流程，并能节约金属材料，从而降低生产成本，提高生产效率。并且，图3中示出的第一类薄膜晶体管M1为底栅式结构，第二类薄膜晶体管M2为顶栅式结构，使得第一有源层122和第二有源层126之间具有较远间隔。当然，第一类薄膜晶体管M1还可以为顶栅式结构，第二类薄膜晶体管M2还可以为底栅式结构，本实施例对第一类薄膜晶体管M1和第二类薄膜晶体管M2的结构形式不进行限定。

可选的，继续参考图3，光学传感器包括：依次层叠设置的第二衬底21、第一电极223、半导体有源层222和第二电极221；第一通孔13露出部分第二电极221，第二电极221通过第一通孔13中的透明导电结构31与第一类薄膜晶体管M1电连接。优选的，光学传感器22与第一通孔13一一对应设置，光学传感器22可通过第二电极221与第一类薄膜晶体管M1电连接，此外，第一通孔13还能够增加投射至光学传感器22的光线照射量，提高指纹识别的精确度。

可选的，继续参考图3，指纹识别装置通过粘结层24与显示面板贴合；粘结层24内设置有与第一通孔13一一对应的第二通孔241。粘结层24设置的与第一通孔13对应的第二通孔241，使得透明导电结构31能够穿过第一通孔13和第二通孔241，实现第一类薄膜晶体管M1的漏极D1或源极S1，与光学传感器22的第二电极221的电连接。可选的，粘结层24可为光学胶等材料。

可选的，透明导电结构31的材料包括聚(3,4-乙烯二氧噻吩)、聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸、聚苯胺、聚噻吩、聚乙炔或聚吡咯。上述材料导电性较强，并且具有一定的透明度，为实现第一类薄膜晶体管和光学传感器电连接的优选材料。其中，聚(3,4-乙烯二氧噻吩)具有分子结构简单、能隙小、电导率高等特点；对于聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸，因为聚(3,4-乙烯二氧噻吩)具有分子结构简单、能隙小、电导率高等特点，又因为聚苯乙烯磺酸钠的加入，使得透明导电结构31又具有较强的粘合性，以使透明导电结构31能够坚固地粘合于第一通孔13中。并且，聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸为柔性透明导电聚合物，具有较强的柔韧性和伸展性，能够有效增强指纹识别显示装置抗压性能。

基于同一构思，本发明实施例还提供一种指纹识别显示装置的制备方法。图5是本发明实施例提供的一种指纹识别显示装置的制备方法的流程示意图，如图5所示，本实施例的指纹识别显示装置的制备方法包括如下步骤：

S101、提供一显示面板；显示面板包括多个第一类薄膜晶体管。

S102、提供一指纹识别装置；指纹识别装置包括多个光学传感器。

S103、在显示面板中形成与第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔。

S104、将显示面板的背光面与指纹识别装置贴合。

其中步骤S103和S104执行顺序不分先后。具体的，参考图3，可在显示面板上单独形成与第一类薄膜晶体管M1一一对应的第一通孔13后，将显示面板和指纹识别装置对位，将对应的光学传感器22与第一通孔13对位成功后，将显示面板的背光面与指纹识别装置贴合。值得注意的是，显示面板可通过粘结层24与指纹识别装置贴合，并且在贴合之前，粘结层24需要进行图案化处理，即将粘结层24设置有与第一通孔13一一对应的第二通孔241，以使光学传感器22和第一类薄膜晶体管M1实现电连接。

当然，也可将显示面板的背光面与指纹识别装置贴合之后，再对显示面板进行打孔，形成第一通孔13，同样的，若显示面板通过粘结层24与指纹识别装置贴合，则在形成第一通孔13的同时，可形成粘结层24的第二通孔241，粘结层24不需要单独进行图案化设置。

S105、在第一通孔中形成透明导电结构，第一类薄膜晶体管通过透明导电结构与对应的光学传感器电连接。

本发明实施例提供的指纹识别显示装置的制备方法，通过将驱动光学传感器的第一类薄膜晶体管设置于显示面板上，将光学传感器设置于指纹识别装置上，第一类薄膜晶体管通过显示面板上与第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，与对应的光学传感器电连接，以驱动光学传感器，则第一类薄膜晶体管与光学传感器未设置于同一面板上，能够避免光学传感器的形成材料与第一类薄膜晶体管的形成材料不兼容的问题，并且上述第一类薄膜晶体管可形成于显示面板的驱动电路层，节省工艺流程，提高生产效率。

可选的，提供一显示面板可以包括：在第一衬底上形成多个像素驱动电路，像素驱动电路包括第二类薄膜晶体管；形成多个第一类薄膜晶体管；形成多个发光单元，多个像素驱动电路与多个发光单元一一对应电连接。在形成第二类薄膜晶体管时即可形成第一类薄膜晶体管，从而简化制作工艺，提高生产效率，并且第一类薄膜晶体管采用了低温多晶氧化物(Low Temperature Polycrystalline Oxide，LTPO)技术，相比于低温多晶硅技术，采用LTPO技术金属氧化物薄膜晶体管的漏电量明显降低，可实现更高效的电子迁移率，更低的功耗，以及较强的稳定性和可扩展性。

可选的，参考图3，在第一衬底11上形成多个像素驱动电路，以及形成多个第一类薄膜晶体管M1，包括：在第一衬底11上形成第二有源层126，并图案化形成第二类薄膜晶体管M2的有源层图案；在第二有源层126上形成第一栅极绝缘层128；在第一栅极绝缘层128上形成第一金属层125，并图案化形成第二类薄膜晶体管M2的栅极图案；在第一金属层125上形成层间绝缘层129；在层间绝缘层129上形成第二金属层127，并图案化形成第二类薄膜晶体管M2的源漏极图案以及第一类薄膜晶体管M1的栅极图案；在第二金属层127上形成第二栅极绝缘层121；在第二栅极绝缘层121上形成第一有源层122，并图案化形成第一类薄膜晶体管M1的有源层图案；在第一有源层122上形成第三金属层124，并图案化形成第一类薄膜晶体管M1的源漏极图案。当第一类薄膜晶体管M1为金属氧化物薄膜晶体管，第二类薄膜晶体管M2为低温多晶硅薄膜晶体管时，可将第二有源层126和第一有源层122隔开设置，以防止低温多晶硅材料导致金属氧化物的失效，并且将第一类薄膜晶体管M1的栅极G1与第二类薄膜晶体管M2的源极S2和漏极D2同层设置，以节省工艺流程，并能节约金属材料，从而降低生产成本，提高生产效率。

可选的，在显示面板中形成与第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔之前，还可以包括：将第一类薄膜晶体管的漏极或源极远离第一衬底一侧的各膜层刻蚀，以露出第一类薄膜晶体管的漏极或源极。刻蚀工艺使得第一漏极的外露过程更容易控制，防止刻蚀过程对显示面板的其他结构层，例如有机发光层等的影响。

参考图6，图6是本发明实施例提供的又一种指纹识别显示装置的结构示意图，第一类薄膜晶体管M1远离第一衬底11的一侧还可设置有平坦化层14、像素限定层16、阴极18以及薄膜封装层19等。为防止直接生成第一通孔13会对显示面板其他结构层造成损坏，可在生成第一通孔13之前，将第一类薄膜晶体管M1的源极S1或者漏极D1进行外露刻蚀，将第一类薄膜晶体管M1远离第一衬底11一侧的各膜层刻蚀掉，如图6所示，将第一类薄膜晶体管M1所在位置处的平坦化层14、像素限定层16、阴极18以及薄膜封装层19全部刻蚀掉，使得第一类薄膜晶体管M1的源极S1或者漏极D1能够与光学传感器键合。可选的，可通过低温干刻工艺去除上述各膜层，低温干刻工艺刻蚀条件安全性较高，能够对显示面板其他结构层进行保护。

刻蚀工艺完成之后，通过激光打孔形成图7所示结构，图7是本发明实施例提供的又一种指纹识别显示装置的结构示意图，通过激光打孔的方式形成第一通孔13，第一通孔13可穿过第一衬底11、缓冲层、第一栅极绝缘层128、层间绝缘层129和第二栅极绝缘层121等。

可选的，继续参考图3和图7，第一通孔13中形成透明导电结构31，第一类薄膜晶体管M1通过透明导电结构31与对应的光学传感器22电连接，包括：通过喷墨打印工艺在第一通孔13内形成透明导电结构31，透明导电结构31将第一类薄膜晶体管M1的源极S1或漏极D1与对应的光学传感器22电连接。喷墨打印技术分辨率较高，喷墨打印设备体积小，更易控制形成透明导电结构31的厚度，形状等。

本发明实施例还提供一种显示设备。图8是本发明实施例提供的一种显示设备的结构示意图，如图8所示，本发明实施例提供的显示设备包括本发明任意实施例所述的指纹识别显示装置5。显示设备可以为如图8中所示的手机，也可以为电脑、电视机、智能穿戴设备等，本实施例对此不作特殊限定。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种指纹识别显示装置，其特征在于，包括：

显示面板，包括多个第一类薄膜晶体管；

指纹识别装置，包括多个光学传感器；

所述显示面板还设置有与所述第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，所述第一通孔内设置有透明导电结构，所述第一类薄膜晶体管通过所述透明导电结构与对应的所述光学传感器电连接。

2.根据权利要求1所述的指纹识别显示装置，其特征在于，所述显示面板还包括多个像素驱动电路和多个发光单元；多个所述像素驱动电路与多个所述发光单元一一对应电连接，所述像素驱动电路包括第二类薄膜晶体管，所述第二类薄膜晶体管的源漏极与所述第一类薄膜晶体管的栅极同层设置。

3.根据权利要求2所述的指纹识别显示装置，其特征在于，所述第一类薄膜晶体管为金属氧化物薄膜晶体管；所述第二类薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管。

4.根据权利要求3所述的指纹识别显示装置，其特征在于，所述显示面板包括：

依次层叠设置的第一衬底、第二有源层、第一栅极绝缘层、第一金属层、层间绝缘层、第二金属层、第二栅极绝缘层、第一有源层和第三金属层；

所述第二有源层包括所述第二类薄膜晶体管的有源层图案；所述第一金属层包括所述第二类薄膜晶体管的栅极图案；所述第二金属层包括所述第二类薄膜晶体管的源漏极图案以及所述第一类薄膜晶体管的栅极图案；所述第一有源层包括所述第一类薄膜晶体管的有源层图案；所述第三金属层包括所述第一类薄膜晶体管的源漏极图案。

5.根据权利要求1所述的指纹识别显示装置，其特征在于，所述光学传感器包括：依次层叠设置的第二衬底、第一电极、半导体有源层和第二电极；所述第一通孔漏出部分所述第二电极，所述第二电极通过所述第一通孔中的所述透明导电结构与所述第一类薄膜晶体管电连接。

6.根据权利要求1所述的指纹识别显示装置，其特征在于，

所述指纹识别装置通过粘结层与所述显示面板贴合；

所述粘结层内设置有与所述第一通孔一一对应的第二通孔。

7.根据权利要求1所述的指纹识别显示装置，其特征在于，

所述透明导电结构的材料包括聚3,4-乙烯二氧噻吩、聚3,4-乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸、聚苯胺、聚噻吩、聚乙炔或聚吡咯。

8.一种指纹识别显示装置的制备方法，其特征在于，包括：

提供一显示面板；所述显示面板包括多个第一类薄膜晶体管；

提供一指纹识别装置；所述指纹识别装置包括多个光学传感器；

在所述显示面板中形成与所述第一类薄膜晶体管一一对应的第一通孔，

将所述显示面板的背光面与所述指纹识别装置贴合；

在所述第一通孔中形成透明导电结构，所述第一类薄膜晶体管通过所述透明导电结构与对应的所述光学传感器电连接。

9.根据权利要求8所述的指纹识别显示装置的制备方法，其特征在于，所述提供一显示面板包括：

在第一衬底上形成多个像素驱动电路，所述像素驱动电路包括第二类薄膜晶体管；

形成多个第一类薄膜晶体管；

形成多个发光单元，多个所述像素驱动电路与多个所述发光单元一一对应电连接。

10.一种显示设备，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的指纹识别显示装置或如权利要求8或9所述指纹识别显示装置的制备方法制得的指纹识别显示装置。

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