CN109814203A - 一种利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸锂光波导的方法 - Google Patents
一种利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸锂光波导的方法 Download PDFInfo
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111129934A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-05-08 | 华东师范大学 | 基于铌酸锂微腔可调光频梳及其制备方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050201714A1 (en) * | 2004-02-16 | 2005-09-15 | Nitto Denko Corporation | Optical waveguide and production method thereof |
CN101063230A (zh) * | 2007-05-21 | 2007-10-31 | 河北工业大学 | 一种双掺铌酸锂晶体及其制备方法 |
CN101620296A (zh) * | 2008-06-30 | 2010-01-06 | Jds尤尼弗思公司 | 一种光电衬底上的高约束波导 |
US20100189402A1 (en) * | 2008-01-15 | 2010-07-29 | Imec | Method for Effective Refractive Index Trimming of Optical Waveguiding Structures and Optical Waveguiding Structures |
CN102172522A (zh) * | 2011-03-11 | 2011-09-07 | 陕西科技大学 | 一种钐掺杂二氧化钛薄膜的制备方法 |
CN103901535A (zh) * | 2012-12-29 | 2014-07-02 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 垂直式光波导及其制造方法 |
CN105322094A (zh) * | 2015-06-08 | 2016-02-10 | 南开大学 | 一种用于钙钛矿型太阳电池的二氧化钛薄膜制备方法 |
CN105664808A (zh) * | 2016-01-13 | 2016-06-15 | 云南大学 | 一种低温制备稳定纳米锐钛矿型二氧化钛醇相溶胶的方法 |
CN105849610A (zh) * | 2013-12-11 | 2016-08-10 | 英派尔科技开发有限公司 | 光波导的制备和使用 |
CN106006727A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-10-12 | 苏州盛丰源新材料科技有限公司 | 均相晶化TiO2纳米溶液及其制备方法、晶化设备 |
CN108711728A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-10-26 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 无腔镜光参量振荡器及其制作方法、中远红外激光器 |
-
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050201714A1 (en) * | 2004-02-16 | 2005-09-15 | Nitto Denko Corporation | Optical waveguide and production method thereof |
CN101063230A (zh) * | 2007-05-21 | 2007-10-31 | 河北工业大学 | 一种双掺铌酸锂晶体及其制备方法 |
US20100189402A1 (en) * | 2008-01-15 | 2010-07-29 | Imec | Method for Effective Refractive Index Trimming of Optical Waveguiding Structures and Optical Waveguiding Structures |
CN101620296A (zh) * | 2008-06-30 | 2010-01-06 | Jds尤尼弗思公司 | 一种光电衬底上的高约束波导 |
CN102172522A (zh) * | 2011-03-11 | 2011-09-07 | 陕西科技大学 | 一种钐掺杂二氧化钛薄膜的制备方法 |
CN103901535A (zh) * | 2012-12-29 | 2014-07-02 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 垂直式光波导及其制造方法 |
CN105849610A (zh) * | 2013-12-11 | 2016-08-10 | 英派尔科技开发有限公司 | 光波导的制备和使用 |
CN105322094A (zh) * | 2015-06-08 | 2016-02-10 | 南开大学 | 一种用于钙钛矿型太阳电池的二氧化钛薄膜制备方法 |
CN105664808A (zh) * | 2016-01-13 | 2016-06-15 | 云南大学 | 一种低温制备稳定纳米锐钛矿型二氧化钛醇相溶胶的方法 |
CN106006727A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-10-12 | 苏州盛丰源新材料科技有限公司 | 均相晶化TiO2纳米溶液及其制备方法、晶化设备 |
CN108711728A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-10-26 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 无腔镜光参量振荡器及其制作方法、中远红外激光器 |
Non-Patent Citations (5)
Title |
---|
SHAOBEI LI 等: "Direct laser writing combined with a phase-delay probe", 《OPTICS LETTERS》 * |
张凯舒: "激光晶化二氧化钛非晶薄膜组织与性能研究", 《《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技I辑》 * |
李春生 等: "《FTTx ODN技术与应用》", 31 October 2016, 北京邮电大学出版社 * |
贾曰辰: "飞秒激光直写介电晶体光波导的研究进展", 《激光与光电子学进展》 * |
陈福深: "《集成光电调制理论与技术》", 31 May 1995, 国防工业出版社 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111129934A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-05-08 | 华东师范大学 | 基于铌酸锂微腔可调光频梳及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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