CN1095728C - 钢板的磨削方法及其磨削装置 - Google Patents
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Abstract
本发明是把研磨材料(6)从喷嘴(1、108)喷射到钢板(3、W)上进行磨削的方法用到连续铸造工序或它的后续工序上,提出了将混入了研磨材料的高压水成射流地喷射到钢板表面上以磨削掉该表面的缺陷部分(12、12′、12"、12"′)的磨削方法和实施这磨削方法用的磨削装置,它具有高压液体和研磨材料的供给源(19-20、103)和连续在这供给源上的喷嘴装置(4、102)和根据需要组合附加上的把磨削处理后的研磨材料加以回收并返回到供给源的研磨材料回收装置(104)和缺陷检测装置(15-16、101)。
Description
本发明涉及基体材料表面的磨削,更具体地讲,是与连续铸造生产线和它的后续工序中,将钢材表面的缺陷部分磨削掉的方法及其磨削装置有关。
用连续铸造生产的大钢坯,板坯、小钢坯,或用铸造压延加工的钢板,在其铸造和压延过程中会产生各种缺陷,这些缺陷在后续的工序中会影响产品的质量及降低产品的合格率。
因此,为了解决上述的问题,在板坯、大钢坯、小钢坯等钢板的制造阶段,通过修整加工除去这些缺陷,然后再把去掉缺陷的钢板提供给后续工序,由此来防止产品的质量和合格率的降低。
然而,作为一般的钢板修整作业方法是用热轧件火焰清理机进行火焰表面处理和用砂轮进入磨削处理。前者用热轧件火焰清理机进行火焰表面处理的有如日本专利公开昭52-5644号公报公开的那样发明,即在门型构架的两根平行设置的侧面及上面的支撑梁上安装着能上下及横向移动的有多个喷火嘴的喷火嘴操作台的,还有如日本专利公开昭52-81048公报公开的那样发明,即用多根横向排列的焊枪进行火焰表面处理,而不需进行辅助的火焰表面处理就能除掉大面积的表面缺陷的方法。
作为用砂轮进行磨削的方法,又如日本专利公开昭48-46993号公报所公开的那样发明,是应用油压缸或气缸驱动砂轮,从而提高磨削性能对钢坯等进行磨削,再如日本专利公开平1-24279号公报所公开的那样发明,在用砂轮磨削不锈钢铸板,不锈钢板时,在特定的温度范围进行磨削修整,避开不锈钢的自硬性,有效地除去缺陷部分的方法。
此外,除了上述的用热轧件火焰清理机进行火焰表面处理和用砂轮进行磨削等方法除去缺陷的修整手段外,还有如日本专利公开昭51-97894号公报所公开的那样发明,在钢板制造阶段以除氧化皮为主的方法,提出把给定的研磨材以湿式的方式从喷嘴喷射到不锈钢板的表面上进行磨削、与脱氧化皮合并在一起地进行对各种钢板修整的手段。
但是,上述的各种钢板修整手段都有如下所述的种种问题。
首先,如日本专利公开昭52-5644号公报所公开的用热轧件火焰清理机进行火焰表面处理的那样发明,即在门型构架的两根平行设置的侧面及上面的支撑梁上安装着能上下及横向移动的有多个喷火咀的喷火咀操作台、再如日本专利公开昭52-81048号公报所公开的发明,是用多根横向排列的焊枪进行火焰表面处理,而不需辅助的火焰表面处理就能除去大面积的缺陷的方法,但是,由于热轧件火焰清理工作本身就伴随着高温、高粉尘,因此,不仅存在使工作环境显著地恶化的问题,而且还有难于判别遗留在经过热轧件火焰清理后的钢板表面上的缺陷的问题。
而且,热轧件火焰清理的方法不能控制火焰表面处理深度,会发生火焰表面处理不匀,因此,会出现残留缺陷,或为了防止出现残留缺陷而加大热轧件火焰清理量,其结果仍然导致产品合格率降低。
此外,与其它方法相比,在用这样的热轧件火焰清理方法时,为了改善工作环境和提高工作效率而进行自动化作业就需要大规模的设备,这在经济上有使成本增高的不利因素。
而作为用砂轮进行磨削的方法,有如上述的日本专利公开昭48-46993号公报所公开的那样发明,用油缸或气缸驱动砂轮提高磨削性能对钢坯等进行磨削的方法,还有如日本专利公开平1-242729号公报所公开的那样发明,在用砂轮磨削不锈钢铸板,不锈钢板时,在特定温度范围内进行磨削修整的方法,这些方法也同上述的热轧件火焰清理方法一样,根据钢板种类的不同而处在高温,高粉尘的恶劣环境下工作中,而且同样有难以判别遗留在磨削后的表面上的缺陷的问题,从而使其有除去缺陷的成本显著提高的缺点。
而且,当砂轮幅度加大时,使不需要的磨削量增多,驱动力增加,运转费用增大,合格率下降。而当砂轮幅度缩小时,就有使效率降低,而需要多个砂轮,从而增加了修整的时间。另外,如上述的日本专利公开昭51-97894号公报所公开的那样发明,将研磨材料以湿式方式从喷嘴喷射到不锈钢板的表面上进行磨削,并与脱氧化合并在一起进行对钢板的缺陷进行修整的方法,而其中是以脱氧化皮为主的,而磨削去掉钢板缺陷方面的技术还不充分,在实际上还不能采用。
本申请的发明的目的在于提供一种对连续铸造工序或其后续工序中制造出的半加工钢制品消除表面缺陷的方法,还提供实施上述方法的材料表面磨削装置,其能自动化地判别连续铸造过程中半加工的钢板或铸板的表面上存在的缺陷及根据缺陷的状态有选择地除去这些缺陷,使连续铸造生产能够连续进行,制品的成本下降,并提高制品的合格率,确实地保证制品的质量。
根据本发明,提供一种对连续铸造工序或其后续工序中制造出的半加工钢制品消除表面缺陷的方法,包括:(a).检测所述钢制品上的上的表面缺陷;(b).根据上述步骤(a)的检测结果,将至少一束混合有细研磨颗粒的高压水喷射到所述钢制品的所述表面缺陷上,以消除所述表面缺陷;(c)回收及再循环所述细研磨颗粒,以便在步骤(b)中再使用。
根据本发明还提供一种用于在连续铸造工序或其后续工序中制造出的半加工钢制品的材料表面磨削装置,包括:一带研磨料的水射流喷喷装置,其可相对钢制品表面移动,用以将至少一束混合有细研磨颗粒的高压水喷射到所述表面缺陷上,以消除所述表面缺陷;一供给装置,用以将高压水和细研磨颗粒提供给带研磨料的水射流喷嘴;一缺陷检测装置,其包含一用于检测钢制品的表面缺陷的检测机构;一回收装置,用以将使用过的细研磨颗粒进行回收并重复循环至供给装置;一磨削控制装置,用以接受来自缺陷检测装置的情报,并控制带研磨料的水射流喷嘴装置、供给装置及回收装置的操作。
采用本发明的磨削方法和磨削装置,在把金刚砂、硅砂、氧化铝、铁矿砂铸铁磨料等规定的细微颗粒状研磨材料混入到规定的高压水中的状态下,形成超高速水射流连续地由成一定小尺寸的细直径的喷嘴喷出、冲击喷射到钢坯等钢板表面上,以非接触的方式,将钢板表面附近存在的对于制品来说是缺陷的部分进行自动地磨削掉,并能在磨削加工前或加工后,或在加工前和加工后都自动地检测出在钢板表面及表面附近有无缺陷及其位置,这样,就能使磨削生产线实现完全自动化、无人化。
另外,本发明的磨削装置是现有的湿式喷砂清理加工或液体珩磨加工的进一步发展,使其高压化(通常在300Kg/cm2以上),并提高能量密度,由提高了加工效率的带磨削的水射流冲击钢坯的基体材料表面的装置和根据由上述缺陷检测装置检测到的缺陷情报发出控制磨削条件信号的磨削控制装置及根据磨削控制装置发出的信号对研磨材料的供给进行控制的研磨材料供给装置,还有,根据磨削控制装置发出的信号而相对于基体材料进行移动的喷嘴的磨削喷嘴装置,将磨削处理后的研磨材料加以回收,并送回到上述的研磨材料供给装置的研磨材料回收装置等装置构成的,而且这些装置可根据需要重新进行组合。
在检测基体材料表面的缺陷检测装置中,使用的缺陷检测装置可应用磁粉探伤、超声波探伤或由电视摄象机进行图象处理。
由带磨料的水射流进行的磨削不是热的加工方法,由于不会产生任何由热影响及使基体材料表面形成缺陷,因此,加工后的缺陷检测是容易的,而且,由于加工的开关容易控制,因此不会有火焰表面清理时那样的点火失误。此外,由于是非接触加工,没有象用磨削砂轮进行磨削加工所存在的砂轮等工具的寿命问题,因此本发明能实现磨削自动化系统。
另外,在把使用后的研磨材料回收装置连接到将研磨材料混合到高压流体射流里的研磨材料供给装置上的时候,把带磨料的水射流用到较大区域的连续表面磨削加工时,可构成研磨材料的循环系统,将带磨料的水射流喷嘴相对于多个基体材料作相对移动也能进行连续地对幅度较大的基体材料表面进行磨削作业。
附图说明
第1图是表示由带磨料的水射流进行磨削的磨削原理的磨削状态模式图;
第2图是表示由带磨料的水射流进行局部较深的磨削的磨削状态模式图;
第3图是表示由带磨料的水射流进行表面磨削的磨削状态模式图;
第4图是表示实施钢坯板材的表面磨削的本发明磨削装置主要部分的断面图;
第5图是表示上述主要部分的断面正视图;
第6图是表示钢坯板材表面的缺陷部分和喷嘴移动状态的平面图;
第7图是表示上述缺陷部分的纵断面图;
第8图是表示本发明的钢坯板材的磨削装置的框图;
第9图是本发明的钢坯板材的磨削装置的平面图;
第10图是表示第9图所示的磨削装置主要部分的正面图,
第11图是表示第9图所示的磨削装置主要部分的侧面图,
第12图是表示本发明另一个实施例的方框图,
第13图是表示第12图所示实施例的平面图,
第14图是表示第13图所示实施例的侧面图,
第15图是表示第13图所示实施例的主要部分的正面图,
第16图是表示第15图所示主要部分的侧面图。
下面,结合附图说明本发明的最佳实施例。
第1~3图是表示由混入了研磨材料的高压水射流(带磨料的水射流)进行的铸造钢坯的磨削原理的模式图,其中的1是所谓带磨料的水射流装置的喷嘴,它喷出的有规定小尺寸的细直径射流2是由图中未表示的混合室所供给的有规定压力的高压水中混合着如金刚砂、硅砂、氧化铝、铁矿砂、铸铁磨料等形成的,以超高速度喷射到被磨削的钢坯板材3上,加快(减慢)喷嘴1相对于钢坯板材3的相对纵向进给速度(喷嘴送进速度或者钢坯板材3的进给速度)时的切断(或磨削)的种种状态。
而第1图是沿着要被磨削的钢坯板材3的整个厚度t,通过磨削加以切断的通常切断中所用的状态,是相对速度领域使用能良好地切断钢坯板料3的充分低速领域里的情况,沿着钢坯板材3的板厚t形成切割波浪4。
与此相对地,第2图则是用比第1图所示场合更高速度使喷嘴1和钢坯板材3相对移动的情况,直到钢坯板材3的板厚t的底部还没被切断,使切断深度h1在切断的底部呈现切断上仅差Δh1地周期变动的状态。
第3图是用比第2图所示的场合更高速度使喷嘴1和钢坯板材3相对移动地进行纵向进给的情况,切断深度h2变浅但低部深度变动Δh2减小,因此切断沟槽的底面就较平滑,能形成所谓的切槽磨削的状态。
而本申请发明是把与带磨料的水射流有关的磨削原理、切削速度领域应用到钢坯板材3的表面磨削上。
另外,本申请发明通过应用上述的原理,利用混入研磨材料的超高速喷射的射流中研磨材料对钢坯板材3的侵蚀作用,使钢坯板材3的表面即使处在微观的情况下也能确实地受到磨削作用,能在不发生热的理想状态下去除缺陷。
由于形成上述的喷射射流的喷嘴1部分的相对送进操作方法的不同,通过局部的有选择性的磨削,可使钢坯板材3的表面整个一样地平滑,或者只使表面和附近存在缺陷部位平滑。
而且,通过在磨削加工前或加工后,或者在加工前和加工后都设置兼用的进行缺陷等检测的装置,就能检测钢坯板材3表面或者在其附近有无缺陷和缺陷的位置及大小,通过将这些检测结果作成磨削加工时的处理情报,将其输入、输出,就能使钢坯板材的表面缺陷除去工序稳定,而且确实地得到保证,同时能使磨削工作完全实现自动化。
由于磨削加工后的钢板的磨削面没有氧化皮等覆盖,所以就能较容易地进行切削加工后的缺陷检测检查。
下面,根据第4图以后的附图,说明本申请发明的实施例。
在下面的说明中,与第1~3图同样的部分都标上同样的符号加以说明。
第4图、第5图是将本申请发明的一个实施例中的钢坯板材3的磨削状况和喷头4的结构合并在一起加以表示的,在侧面供给型的磨削料喷头4中,由软管5等供给的金刚砂等研磨材料6,利用连接在高压水管7上的水喷嘴8产生的超高速水的射流9的汾丘里效应所生成的负压,被吸引供给到混合室10里,在混合室10伸出的磨料喷嘴1内部,上述的水射流9与研磨材料6混合,被加速,由这磨料喷嘴1形成规定的小尺寸细直径的射流2后,喷射到钢坯板材3的规定部位上,利用上述的加工原理磨削相对移动着的钢坯板材3的表面。
这时,根据钢坯板材3的种类把磨料喷嘴1的轴线保持在与钢坯板材3成适当的角度,同时以充分覆盖钢坯板材表面的缺陷等那样的适当速度和间距地加以送进,使其一边摆动或回转,一边相对钢坯板材3相对地移动,就能进行规定的磨削。
根据实验,在以0.5Kg/min的速度供给研磨材料,同时用1000Kgf/cm2以上的压力、用2l/min以上的速度供给高压水,喷嘴和钢坯板材间的喷射距离取为200mm以内时,例如向钢坯板材3的喷射角是10~170°,磨料喷嘴1摆动、回转时钢坯板材3与磨料喷嘴1的相对速度是1~10m/min程度,就能得到极限的结果。但是这条件随着研磨材料6种类等条件不同有所不同。
第6图、第7图是对上述的磨料喷嘴1的操作方法例子加以更详细的说明,如图所示那样,与缺陷12、12′、12″、12相对应的磨料喷嘴1的摆动方法,就相对于钢坯板材3的切削范围、方向、送进间距可采用如图所示的种种组合的式样。
第7图所示的实施例是在与第6图所示的缺陷12、12′、12″、12部分对应的磨削加工部分3′和未加工部分3″的边界部分上进行适当的圆角加工,使其不产生极端的板厚差(阶段差)。
而且即使把磨料喷嘴1的摆动用适当半径的回转运动和间距地送进来代替仍然能进行上述那样的磨削。
下面,第8图是表示包括检查工序的整个装置的方框图,在这状态下,把多关节机器人用作磨料喷嘴1的驱动装置13,把磨削前检查工位14得到的检测结果作成钢坯板材3缺陷12等的磨削位置情报(处所、大小、深度等),由CCD照相机等缺陷检测机构15输入到缺陷检测装置16,由此在磨削(火焰清理)工位17就能自动地进行磨削。
由磨削面判定装置中的照相机驱动控制装置发出的信号使照相机驱动装置动作,由其使电视摄象机对连续的钢坯板材作全面的扫描,由图像处理装置把这情极加以处理,使其包含缺陷的大小、形状、面积、深度等,并与钢坯板材表面对应地座标变换其位置,同时根据这座标在钢坯板材表面上标上地址。从这图像处理装置输出的情极输入到总括控制计算机里,被输入的缺陷形状、深度、磨削范围、顺序、位置的情极指令磨削装置驱动,控制驱动喷嘴驱动控制装置、驱动装置和混入研磨材料的高压水控制装置,由使研磨材料喷射用的高压流体喷嘴按地址加以导引的诱导机构在钢坯板材上扫描地进行磨削。
根据需要由光学手段进行在磨削过程中的磨削后的检查,通过缺陷检测机构15′、15″和缺陷检测装置16的合并使用,其结果可反馈到磨削过程中或者是再次磨削中加以利用。
在这个实施例中采用了把使用过的研磨材料6加以回收,供给到研磨材料供给装置19里的再利用方式,用回收再送装置18把粉碎成细微粉状的细微化了的研磨材料加以分离并除去。
20是高压水发生装置,7′是高压水管,21是喷嘴驱动控制装置,22是整个磨削控制装置,23是废弃研磨材料,24是新的研磨材料,25是检查工位。第9图、第10图、第11图表示第8图所示实施例装置的整体外观状况图,为了在这装置上用平均7分钟生产间隔时间连续地进行钢坯板材3等表面磨削,它是由三台多关节机器人进行协调动作的状态。钢坯板材3是沿箭头方向送进的。
下面,参照第12图至第16图来说明本发明另一个实施例。
在这些图中,这装置是缺陷检测装置101、和带磨料的水射流喷嘴装置102、和把高压水及研磨材料供给喷嘴的供给装置103、和把使用过的研磨材料加以回收并再次供给供给装置103用的回收处理装置104构成的。
而且,由这多个装置输出的情极被输入到磨削控制装置105里,而输入的情极再通过磨削控制装置105中的判断机能来对各个装置加以控制地构成。
被处理的钢坯板材W经检查工位S1和磨削工位S2和检查工位S3的三个阶段处理,也可省略检查工位S1和检查工位S3中任何一个。
缺陷检测装置101有磨削前的钢坯表面缺陷检测用的缺陷检测装置111和检测磨削过程中的表面缺陷状态的缺陷检测装置112和下一工序用的进行磨削后的钢坯板材表面缺陷检测的缺陷检测装置113,分别检测各个阶段的表面缺陷状态,它的情极被输入到磨削控制装置105里,由它的变动控制带磨料的水射流喷嘴装置102和供给装置103。
带磨料的水射流喷嘴装置102由受磨削控制装置105控制的喷嘴驱动控制装置106和受喷嘴驱动装置107驱动的喷嘴108构成。
第13图~16图是表示上述第12图所示装置的具体配置图。
它是由把高压水供给喷嘴用的高压水发生装置31和第12图所示的研磨材料供给装置32构成的供给装置103、和前后地配置的钢坯板料上面磨削用的喷嘴装置121、和由反转装置42回转的钢坯板料下面磨削用的喷嘴装置122构成。各个喷嘴装置121、122在由连续铸造机41生产的钢坯板材W纵长方向上有各自配设着的三个喷嘴108,各个喷嘴108安装在喷嘴导引件124上设置的六轴机械手125的前端,而喷嘴导引件是配置在横跨钢坯板材移动平台109的基台123上的。各个喷嘴108是由第12图所示的喷嘴驱动控制装置106和喷嘴驱动装置107驱动控制。
可把机器人、NC装置用作这个喷嘴108的驱动装置,机器人可把多关节机器人设置在地上或空中吊起、壁挂或将这些组合地使用,可使用一台或者多台。而驱动装置则可以是固定的,也可以如本图所示使其单轴以上引进的。此外,还可把直接喷射方式(在高压下预先混合研磨材料和水,由喷嘴部分,成泥浆状态下,以高压状态加以喷射的方式),还可采用将回转摆动运动加以种种组合的种种状态。
采用上面所述的本申请发明,通过将混入了研磨材料的高压水射流喷射到钢坯板材上,可进行非接触式的自动的磨削,可把以前的由于用手工进行火焰清理(火焰表面处理)或由砂轮磨削等作为除去缺陷部分和损伤部分所引起的噪声和发热的恶劣严酷的工作环境加以显著的改善(或无人操作等),而且能使钢坯板材表面或其附近存在的有害缺陷稳定、并确实地加以除去,对基材不会有任何熔融和热的变质等问题;有能够根据所要求的深度加以除去的优良效果。若根据需要兼用研磨材料的循环利用系统也不能使带磨料的水射流本身机能降低,可连续地工作,因而能提供节约资源和降低成本的优良装置。
除去钢坯板材表面的缺陷的要求近年来随着对基材的高性能要求有不断增加的趋势,本申请发明具有针对这要求能提供非常有益的制造加工手段的优良效果。
Claims (26)
1.一种对连续铸造工序或其后续工序中制造出的半加工钢制品消除表面缺陷的方法,其特征在于包括:
(a).检测所述钢制品上的表面缺陷;
(b).根据上述步骤(a)的检测结果,将至少一束混合有细研磨颗粒的高压水喷射到所述钢制品的所述表面缺陷上,以消除所述表面缺陷;
(c)回收及再循环所述细研磨颗粒,以便在步骤(b)中再使用。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述至少一束射流是通过至少一喷嘴(1;108)的喷射的。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述至少一束所述细研磨颗粒是以不低于0.5kg/min的速率供给的,而所述高压水是以不低于1000kgf/cm2的压力和不低于2l/min的流率提供的;将所述研磨颗粒和高压水预先在高压状态下加以混合,或者在高压水喷出后在所述至少一喷嘴(1;108)的喷头内部加以混合,由此获得混合有研磨颗粒的高压水;将所述至少一束射流以10°~170°的冲击角、以喷嘴与钢制品表面的工作距离不大于200mm的条件喷射到钢制品表面上。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,将所述步骤(a)检测到的表面缺陷由缺陷检测装置(16;101)进行座标变换,根据由所述缺陷检测装置的座标变换得到的情报来驱动和移动所述至少一高压液体喷嘴(1;108)。
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,将所述步骤(a)检测到的表面缺陷由缺陷检测装置(16;101)进行座标变换,根据由所述缺陷检测装置的座标变换得到的情报来驱动和移动所述至少一高压液体喷嘴(1;108)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括在步骤(b)之后的检查所述钢制品的表面的步骤。
7.一种用于在连续铸造工序或其后续工序中制造出的半加工钢制品的材料表面磨削装置,包括:
一带研磨料的水射流喷嘴装置(1,13,21;102),其可相对钢制品表面移动,用以将至少一束混合有细研磨颗粒的高压水喷射到所述表面缺陷上,以消除所述表面缺陷;
一供给装置(19,20;103),用以将高压水和细研磨颗粒提供给带研磨料的水射流喷嘴;
其特特征在于还包括:
一缺陷检测装置(16;101),其包含一用于检测钢制品的表面缺陷的检测机构(15;111);
一回收装置(18,104),用以将使用过的细研磨颗粒进行回收并重复循环至供给装置;
一磨削控制装置(22,105),用以接受来自缺陷检测装置的情报,并控制带研磨料的水射流喷嘴装置、供给装置及回收装置的操作。
8.根据权利要求7所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述带研磨料的水射流喷嘴装置包括:
至少一喷嘴(1;108);
至少一用于驱动所述至少一喷嘴的喷嘴驱动装置(13;107);以及
至少一喷嘴驱动控制装置(21;106),用以操纵所述至少一喷嘴驱动装置。
9.根据权利要求8所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述至少一喷嘴驱动装置包括至少一机器人(13;125)。
10.根据权利要求8所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述至少一喷嘴驱动装置是静止的。
11.根据权利要求8所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述至少一喷嘴驱动装置可沿一个或多个轴线驱动。
12.根据权利要求7至11中任一项所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述供给装置包括一高压水发生装置(20;31)和一细研磨颗粒供给装置(19;32)。
13.根据权利要求7至11中任一项所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括根据超声波探伤的图象处理装置。
14.根据权利要求12所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括根据超声波探伤的图象处理装置。
15.根据权利要求7至11所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置采用电视摄象机。
16.根据权利要求12所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置采用电视摄象机。
17.根据权利要求13所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置采用电视摄象机。
18.根据权利要求14所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置采用电视摄象机。
19.根据权利要求7至11中任一项所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
20.根据权利要求12所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
21.根据权利要求13所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
22.根据权利要求14所述的材料表面磨削装置,其特征在于所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
23.根据权利要求15所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
24.根据权利要求16所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
25.根据权利要求17所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
26.根据权利要求18所述的材料表面磨削装置,其特征在于,所述缺陷检测装置包括至少一用于检测在磨削过程中的表面缺陷的第二检测装置(15′;112),或一用于检测在磨削之后的表面缺陷的第三检测装置(15″;113)。
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