JPH0885063A

JPH0885063A - ウォータジェット研削方法および装置

Info

Publication number: JPH0885063A
Application number: JP22221994A
Authority: JP
Inventors: Fujiya Nogami; 不二哉野上; Kazumi Daitoku; 一美大徳; Kazumaro Inaoka; 数麿稲岡; Tomoharu Shimokasa; 知治下笠; Hiroyoshi Nagai; 裕善永井; Kiwa Ikemoto; 喜和池本; Chikafumi Tsujita; 京史辻田; Hidenao Tanaka; 秀尚田中
Original assignee: Kawasaki Heavy Industries Ltd; Nippon Steel Corp
Current assignee: Kawasaki Heavy Industries Ltd; Nippon Steel Corp
Priority date: 1994-09-16
Filing date: 1994-09-16
Publication date: 1996-04-02

Abstract

(57)【要約】【目的】鋳片または鋼片などの被加工物の疵を、作業
環境を悪化させることなく、確実に除去することができ
るようにすること。【構成】砥粒と水との混合物であるアブレイシブウォ
ータジェットを、被加工物に噴射して疵を研削して除去
し、そのノズルの近傍に検出手段を設けて研削深さを検
出し、その検出された研削深さが、予め定める値になる
ようにウォータジェットの噴射条件、すなわちノズルの
被加工物との相対速度、ノズル孔と被加工物との間の距
離、ノズル軸線が被加工物の表面と成す角度および砥粒
の流量のうち、少なくとも１つは変化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば連続鋳造ライ
ンおよびその後工程において、鋳片および鋼片の表面の
疵を研削して除去するために好適に実施することができ
るアブレイシブウォータジェットを用いる研削方法およ
び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】鋼片の表面の疵を除去する鋼片手入れ作
業の先行技術としては、ホットスカーフによる溶削の手
法が知られており、これはたとえば特開昭５２−５６４
４および特開昭５２−８１０４８などに開示されてい
る。このようなホットスカーフ作業は、高温、高粉塵を
伴い、作業環境を著しく悪化する不具合があるばかりで
なく、ホットスカーフ処理後の溶削鋼片の表面に残存す
る疵の判別が困難である。またホットスカーフ処理で
は、溶削深さのコントロールが不可能であり、溶削むら
が発生し、したがって疵の取残しを生じやすく、あるい
は取残し防止のためにホットスカーフによる溶削量を多
くする必要があり、このように溶削量を多くすると、歩
留りの低下を招くことになる。

【０００３】このようなホットスカーフによる溶削の他
に、グラインダによる研削によって疵の除去を行う手法
があり、これはたとえば特開平１−２４２７２９に開示
されている。この先行技術では、ステンレス鋳片、ステ
ンレス鋼片をグラインダにより研削する際に、特定温度
範囲でグラインダ手入れを行い、ステンレス鋼の自硬性
を回避して効果的に欠陥部除去を行う。このようなステ
ンレス鋳片、ステンレス鋼片をグラインダにより研削す
る際に、特定温度範囲でグラインダ手入れを行う方法
も、鋼片の種類によっては上述ホットスカーフ方式と同
様に高温、高粉塵発生という悪環境下での作業となり、
しかも、研削後の表面に残存する疵の判別は上述と同様
に困難である不都合さがあり、疵取りコストが極めて高
い等の欠点を伴うものである。グラインダ幅を広くする
と、不要な削り量が多く、駆動力が大きくなり、ランニ
ングコストが大となって歩留りが悪く、このためグライ
ンダの幅を狭くすると、能率が低下し、多くのグライン
ダを要し、手入れ時間が長くなり、好ましくない。

【０００４】またこのようなグラインダによる研削の手
法では、図１７（１）に示されるように鋳片または鋼片
などの被加工物１に疵２が存在するとき、回転砥石３を
回転して深さｄ１だけ研削すると、図１７（２）に示さ
れるように疵２の一部分である疵４が被加工物１の内部
に残存しているにも拘わらず、表面５からは見えない状
態となっていることがある。このような被加工物１の内
部に残存した疵４は、研削後において目視では見つける
ことが困難であり、疵２を確実に除去することが困難で
ある。したがってこのような疵２の残存部分４は、研削
後においても、被加工物１の表面から見える状態になっ
ていることが望まれるのである。

【０００５】さらに他の先行技術は、特開昭５１−９７
８９４に開示されている。この先行技術では、ステンレ
ス鋼板の表面に湿式で所定の研磨材をノズルから噴射し
て研削と脱スケールを併せて行う。このようなステンレ
ス鋼板の表面に湿式で研磨材をノズルから噴射して研削
と脱スケールを行う等の鋼片の疵手入れ除去方式は現状
では後者の脱スケールを行うことが主体であって、鋼片
の疵欠陥を研削除去するには技術的に未だ不充分であ
り、実効上採用できないものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、鋳片
および鋼片などの被加工物の疵の除去を、作業環境を悪
下することなく、確実に行い、そのような疵の手入れ深
さ実績収集を行って、研削形状のプロフィールを把握す
ることができるように改良されたウォータジェット研削
方法および装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、ノズルのノズ
ル孔から砥粒と液体との混合物であるウォータジェット
を噴射して被加工物を研削するウォータジェット研削方
法において、ノズルに近接して設けられた検出手段によ
って研削深さを検出し、その研削された研削深さが、予
め定める値になるように、ウォータジェットの噴射条件
を変化することを特徴とするウォータジェット研削方法
である。また本発明は、被加工物は、研削後に圧延され
るものであり、被加工物のウォータジェットによる研削
領域の周縁部分で、外方になるにつれて浅くなる傾斜面
が形成されるように研削することを特徴とする。また本
発明は、傾斜面が形成される周縁部分の幅Ｌは、研削領
域の周縁部分よりも内方の部分の深さをＤとするとき、Ｌ／Ｄ ≧ ２に選ぶことを特徴とする。また本発明は、ノズルと、作
業端に前記ノズルが装着され、被加工物にノズル孔が向
けられ、そのノズルの被加工物との相対速度、ノズル孔
と被加工物との間の距離、およびノズル軸線が被加工物
の表面と成す角度のうち、少なくとも１つを可変とする
ロボットと、ノズルに、砥粒と液体との混合物を供給
し、砥粒の流量が可変であり、ノズル孔からウォータジ
ェットを噴射させる供給源と、ロボットの作業端に装着
され、ウォータジェットによる研削深さを検出する研削
深さ検出手段と、研削深さ検出手段の出力に応答し、ロ
ボットによって前記速度、距離および角度、ならびに供
給源からの砥粒の流量のうち、少なくとも１つを変化す
ることができる制御手段とを含むことを特徴とするウォ
ータジェット研削装置である。

【０００８】

【作用】本発明に従えば、砥粒と液体との混合物である
アブレイシブウォータジェットをノズルのノズル孔から
被加工物に噴射して研削を行い、疵などを除去すること
ができ、このようなウォータジェットを用いる手法によ
れば、ホットスカーフおよびグラインダなどによる前述
の先行技術に関連して述べた手法に比べて、作業環境が
良好であり、また研削後の手入れ深さ実績および研削形
状のプロフィールの把握が容易である。

【０００９】本発明では、ノズルに近接して検出手段を
設け、これによって研削深さを検出し、その検出された
研削深さが、予め定める値、たとえば予め検出されてい
る疵を除去するに必要な深さの値になるように、ウォー
タジェットの噴射条件、たとえばノズルの被加工物との
相対速度、ノズル孔と被加工物との間の距離、ノズル軸
線が被加工物の表面と成す角度θ、さらにはウォータジ
ェットに含まれる砥粒の流量、したがってウォータジェ
ットを構成する砥粒と液体との混合物中の砥粒の重量比
などのうち、少なくとも１つを変化する。こうして本発
明では手入れ深さ実績収集機能を達成して、被加工物の
疵の除去などを確実に行うことができ、また研削形状の
プロフィールの把握が可能になる。

【００１０】さらに本発明に従えば、被加工物は鋳片お
よび鋼片などのように、研削後に圧延機によって圧延さ
れるものであり、その圧延後に被加工物の表面における
研削領域の周縁部分で折込みによるいわゆる倒れ疵を生
じて欠陥ができるのを防ぐために、研削時に、その研削
領域の周縁部分では、外方になるにつれて浅く傾斜面が
形成されるように研削し、好ましくはその周縁部分の幅
Ｌは、その周縁部分よりも内方の部分の深さＤの２倍以
上に選ぶ。

【００１１】

【実施例】図１は、本発明の一実施例の一部の構成を示
す正面図である。ノズル７のノズル孔８からは、砥粒と
液体である水との混合物であるアブレイシブウォータジ
ェット９を噴射して、連続鋳造ラインまたはその後工程
における鋳片または鋼片などの被加工物１０を研削し、
その表面の疵を除去する。この被加工物１０の研削深さ
は、ノズル７に近接して設けられた検出手段１１によっ
て、その検出手段１１から被加工物１０の研削後の表面
１２までの距離を検出し、その検出結果に基づいて、ア
ブレイシブウォータジェット９による研削深さを検出す
る。

【００１２】検出手段１１は、ウォータジェット９の飛
散した砥粒および水によって誤検出が生じないようにす
るために、好ましくは渦流探傷を行う構成であってもよ
く、あるいはまた倣い棒を被加工物１０の上表面に接触
して疵を検出する構成であってもよく、さらにその他の
構成であってもよく、たとえばレーザ光または赤外線を
用いて疵を光学的に検出する構成であってもよく、また
超音波を用いる構成であってもよく、さらにその他の構
成であってもよい。

【００１３】ノズル７は、定位値に設置された複数軸の
ロボットのアーム１４の作業端１５に装着され、検出手
段１１はアーム１４、したがって作業端１５に装着され
る。被加工物１０はチエンコンベア１６によって搬送方
向１７に搬送され、ロボット１３付近で停止された状態
とされ、その被加工物１０が停止された状態でロボット
１３を稼働して被加工物１０の表面の疵の除去のために
ウォータジェット９による研削を行う。

【００１４】ノズル７に供給される砥粒と水との混合物
である高圧力流体の吐出圧力は、１０³〜１０⁴ｋｇｆ／
ｃｍ²であり、たとえば３０００ｋｇｆ／ｃｍ²であり、
その砥粒は、ガーネット、鋳鉄グリッド、鋳鋼グリッ
ド、砂鉄、アルミナ、珪砂などの微粒状であって、高圧
水に混入した状態でノズル７に供給される。

【００１５】このロボット１３によれば、ノズル７のト
ラバース速度、すなわちノズル７と被加工物１０との相
対速度Ｖ、ノズル孔８と被加工物１０との間のウォータ
ジェット９の軸線に沿うスタンドオフ量である距離Ｓ、
およびノズル軸線が被加工物１０の表面と成す角度θの
全て、またはそのうちの少なくとも１つを変化させるこ
とができる。ノズル７と被加工物１０との相対速度Ｖ
は、ロボット１３の動作によって達成されてもよいけれ
ども、チエンコンベア１６によって被加工物１０を移動
して達成するようにしてもよい。

【００１６】図２は、図１に示されるウォータジェット
研削装置の電気的構成を示すブロック図である。疵検出
手段１８は、チエンコンベア１６による被加工物１０の
ロボット１３よりも搬送方向１７上流側（図１の左方）
において、その被加工物１０の上になっている表面の疵
の座標位置および深さを検出し、たとえば図３に示され
るように近接した各疵１９，２０はそれらをグループ化
して研削領域２１，２２を決定し、またそれらから離れ
て独立した疵２３はそれだけを研削する研削領域２４を
決定する。こうして疵検出手段１８から得られる被加工
物１０の疵１９，２０，２３の分布状況および疵除去の
ための研削深さを表す信号は、研削指示手段２５に与え
られる。

【００１７】研削指示手段２５では、図４（１）に示さ
れるように、被加工物１０の表面に疵２０が存在すると
き、ウォータジェット９による研削領域２２を決定す
る。図４（１）では、図解の便宜のために疵２０が代表
的に１つだけ図示されている。この研削領域２２では、
図４（２）に示されるように、疵２０の極近傍の研削深
さＤを決定し、その研削領域２２の周縁部分２６で外方
になるにつれて浅くなる傾斜面２７が形成されるように
研削するための指示信号を作成する。この傾斜面２７が
形成される周縁部分２６の幅Ｌは、研削領域２２の周縁
部分７よりも内方の部分２８の深さＤの２倍以上、すな
わちＬ／Ｄ ≧ ２ …（１）に選ぶ。こうして各グループ化された研削領域２１，２
２，２４毎の研削するための指示信号は、基準値設定手
段２９に与えられて、深さＤ、幅Ｌおよびその他の情
報、たとえば研削領域２１，２２，２４の座標位置など
が設定され、この基準値設定手段２９の出力は、ロボッ
ト制御回路３０に与えられる。また研削後の研削深さを
検出する検出手段１１の出力は、ロボット制御回路３０
に与えられる。こうして図４（２）で指示された研削領
域２６の研削形状のプロフィールに、検出手段１１によ
って検出される図４（３）の検出結果が一致するよう
に、ロボット制御回路３０は、ロボット１３を制御して
ウォータジェット９の噴射条件を変化させる。

【００１８】このように研削領域２２の周縁部２６に傾
斜面２７を形成する理由は、本発明のウォータジェット
研削装置によって被加工物１０の疵除去後に圧延を行っ
たとき、その圧延後の被加工物１０の表面に、折込みに
よる倒れ疵欠陥を生じることを防ぐためである。もしも
仮に、図５（１）に示されるように被加工物３２に疵を
ウォータジェットによって研削領域が垂直な周縁部分３
３を有する凹所３４となるように形成したとすれば、圧
延後には、図５（２）に示されるようにその被加工物３
２の表面の一部分３５が折込まれて参照符３６で示され
る倒れ疵を生じてしまう。上述の式１を満たすようにし
て、研削領域２２の周縁部２６に傾斜面２７を形成する
ことによって、このような図５に示される倒れ疵欠陥
を、圧延後に生じることを防ぐことができる。

【００１９】ロボット制御回路３０はロボット１３にお
けるノズル７のトラバース移動速度可変の駆動手段３９
を制御し、またスタンドオフ量である距離Ｓを変化させ
るための駆動手段４０を制御し、さらに前記角度θを変
化させるための駆動手段４１を制御し、さらに高圧力混
合流体供給源４２におけるウォータジェット中の砥粒の
流量、したがって砥粒と水の混合比を変化する砥粒流量
調整手段４３を制御する。

【００２０】図６は、ノズル７付近の拡大した断面図で
ある。ロボット制御回路３０はロボット１３のアーム１
４および作業端１５を作動させ、停止している被加工物
１０とノズル７のトラバース速度である相対速度Ｖ、ノ
ズル７のノズル孔８と被加工物１０の表面との間のスタ
ンドオフ量である距離Ｓ、およびノズル軸線３７が被加
工物１０の表面と成す角度θの全て、またはその少なく
とも１つを可変とすることができる。検出手段１１は、
この研削領域２２におけるウォータジェット９による研
削後の研削深さを前述のように検出することができる。

【００２１】図７はロボット１３によるノズル７の研削
時における被加工物１０上のトラバース移動軌跡を示す
平面図である。ロボット１３はノズル７を、１パスＰ１
ずつ、被加工物１０の長手方向に移動し、またその被加
工物１０の幅方向に１ピッチＰ２だけ移動し、同様な１
パスＰ１毎の研削を研削作業のための移動を行う。ピッ
チＰ２は、たとえば２ｍｍ程度であってもよい。

【００２２】図８は、本件発明者の実験結果を示すグラ
フである。ロボット１３によるノズル７と被加工物１０
との相対速度Ｖが増大するにつれて、ウォータジェット
９による研削深さが小さくなる。図９は、本件発明者の
実験によるスタンドオフ量である前記距離Ｓと研削深さ
との関係を示し、その距離Ｓが大きくなると、研削深さ
が小さくなる。

【００２３】さらに図１０は本件発明者の実験結果を示
し、前記角度θが大きくなって被加工物１０の表面にウ
ォータジェット９の軸線が垂直に近くなる程、研削深さ
が増大する。

【００２４】さらに図１１に示されるように、砥粒の流
量が増大し、ウォータジェット９内に含まれる砥粒の重
量比が増大すると、研削深さが増大する。

【００２５】したがってロボット制御回路３０は、これ
らの図８〜図１１に示される特性に基づいて、相対速度
Ｖ、距離Ｓ、角度θおよび砥粒流量のうちの少なくとも
１つを変化することにより、希望する研削深さが達成
し、研削領域が希望する研削形状になるように制御す
る。

【００２６】図１２は本発明のロボット１３の連続鋳造
ラインを簡略化して示す平面図であり、図１３はそのロ
ボット１３が備えられたラインの側面図である。取鍋４
５からの溶湯は、タンディッシュ４６に供給され、モー
ルド４７で冷却され、さらにピンチロールなどを含む多
数のロール４８によって鉛直方向から水平方向に曲げら
れて鋳片４９が得られ、剪断装置５０で切断され、鋳片
である被加工物１０が得られる。この被加工物１０は運
搬手段５１から受け渡し手段５１ａを経てローラテーブ
ル５２に導かれ、さらに前述の疵検出手段１８およびロ
ボット１３が設けられたチエンコンベア１６に導かれ、
被加工物１０の上になっている一方の表面の疵の検出と
疵の研削除去が行われる。その後反転手段５３で被加工
物１０の上下の面の反転が行われ、その被加工物１０の
他方の表面が上になってチエンコンベア１６ａで搬送さ
れ、疵検出手段１８ａで疵が検出されロボット１３ａを
用いて疵の研削除去が行われる。チエンコンベア１６
ａ、疵検出手段１８ａおよびロボット１３ａは、前述の
チエンコンベア１６、疵検出手段１８およびロボット１
３と同様な構成を有する。チエンコンベア１６ａによっ
てさらに、被加工物１０は、もう１つのローラコンベア
５４によって搬送され、圧延などが行われる。

【００２７】図１４は、ロボット１３の正面図である。
このロボット１３はチエンコンベア１６をその幅方向に
跨ぐ指示手段５５に、チエンコンベア１６の幅方向（図
１４の左右方向）に複数台、たとえば３台配置され、被
加工物１０の研削作業を効率よく行うことができる。

【００２８】図１５はノズル７の縦断面図であり、図１
６はそのノズル７の底面図である。ノズル７は直円筒状
に形成され、その長さＬ１は、たとえば２００ｍｍであ
り、ノズル孔８の内径Ｄ１は、たとえば４ｍｍφであ
る。ノズル７の上部には、混合容器５６が設けられ、１
０³〜１０⁴ｋｇｆ／ｃｍ² 、たとえば３０００ｋｇｆ／
ｃｍ² の高圧水が管路５７を介して供給され、また砥粒
が砥粒流量調整手段４３および管路５８を介して供給さ
れ、両者が容器５６内の混合室５９で混合され、これら
は高圧力混合流体供給源４２（図２参照）を構成する。

【００２９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、砥粒と液
体、たとえば水との混合物であるアブレイシブウォータ
ジェットを、被加工物に噴射して研削し、疵の除去など
を行うにあたり、ノズルに近接して設けた検出手段によ
ってその研削深さを検出し、こうして手入れ深さ実績収
集機能を達成し、また研削形状のプロフィールの把握を
可能とし、その検出された研削深さが、予め定める値に
なるようにウォータジェットの噴射条件を変化するよう
にしたので、環境を悪化することなく、希望する研削深
さを達成することができ、また歩留りも良好になる。

【００３０】さらに本発明によれば、被加工物はたとえ
ば鋳片および鋼片などのように研削後に圧延されるもの
であって、研削領域の周縁部分が圧延後に折れ込まれて
倒れ疵欠陥を生じることを防ぐために、その周縁部分で
は、好ましくは周縁部分の幅Ｌがそれよりも内方の部分
の厚さＤの２倍以上となるようにして、外方になるにつ
れて浅くなる傾斜面を形成し、こうして圧延後の被加工
物の欠陥を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のロボット１３の側面図であ
る。

【図２】図１に示される実施例の電気的構成を示すブロ
ック図である。

【図３】被加工物１０の表面の疵１９，２０，２３を示
す簡略化した斜視図である。

【図４】研削領域２２を示す断面図である。

【図５】研削領域２２における周縁部分２６に傾斜面２
７を形成したかったと仮定したときの被加工物１０の折
込みによって倒れ疵欠陥が生じることを説明するための
断面図である。

【図６】ノズル７付近の拡大断面図である。

【図７】被加工物１０の平面図であり、ノズル７のトラ
バース移動軌跡を示す平面図である。

【図８】本件発明者の実験結果によるノズル７と被加工
物１０との相対速度Ｖと研削深さとの関係を示すグラフ
である。

【図９】ノズル７と被加工物１０との間の距離Ｓと研削
深さとの関係を示す本件発明者の実験結果を示すグラフ
である。

【図１０】ノズル７の軸線が被加工物１０の表面と成す
角度θと研削深さとの関係を示す本件発明者の実験結果
を示すグラフである。

【図１１】アブレイシブウォータジェットに含まれてい
る砥粒の流量と研削深さとの関係を示す本件発明者の実
験結果を示すグラフである。

【図１２】連続鋳造ラインにおける本発明のロボット１
３が備えられた構成を平面図で示す簡略化した系統図で
ある。

【図１３】ロボット１３を備える図１の連続鋳造ライン
の一部を示す側面図である。

【図１４】ロボット１３を示す正面図である。

【図１５】ノズル７の縦断面図である。

【図１６】ノズル７のノズル孔８を示す底面図である。

【図１７】先行技術のグラインダによる被加工物１の研
削の手法を説明するための断面図である。

【符号の説明】

７ノズル８ノズル孔９アブレイシブウォータジェット１０被加工物１１検出手段１２研削後の表面１３，１３ａロボット１４アーム１５作業端１６，１６ａチエンコンベア１８，１８ａ疵検出手段１９，２０，２３疵２１，２２，２４研削領域２５研削指示手段２６周縁部分２７傾斜面２８内方の部分２９基準値設定手段３０ロボット制御回路３９トラバース移動駆動手段４０スタンドオフ距離駆動手段４１角度駆動手段４２高圧力混合流体供給源４３砥粒流量調整手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大徳一美福岡県北九州市戸畑区飛幡町１番１号新日本製鐵株式会社八幡製鐵所内 (72)発明者稲岡数麿福岡県北九州市戸畑区飛幡町１番１号新日本製鐵株式会社八幡製鐵所内 (72)発明者下笠知治福岡県北九州市戸畑区飛幡町１番１号新日本製鐵株式会社八幡製鐵所内 (72)発明者永井裕善兵庫県神戸市中央区東川崎町３丁目１番１号川崎重工業株式会社神戸工場内 (72)発明者池本喜和兵庫県神戸市中央区東川崎町３丁目１番１号川崎重工業株式会社神戸工場内 (72)発明者辻田京史兵庫県神戸市中央区東川崎町３丁目１番１号川崎重工業株式会社神戸工場内 (72)発明者田中秀尚兵庫県神戸市中央区東川崎町３丁目１番１号川崎重工業株式会社神戸工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズルのノズル孔から砥粒と液体との混
合物であるウォータジェットを噴射して被加工物を研削
するウォータジェット研削方法において、ノズルに近接
して設けられた検出手段によって研削深さを検出し、その研削された研削深さが、予め定める値になるよう
に、ウォータジェットの噴射条件を変化することを特徴
とするウォータジェット研削方法。
【請求項２】被加工物は、研削後に圧延されるもので
あり、被加工物のウォータジェットによる研削領域の周縁部分
で、外方になるにつれて浅くなる傾斜面が形成されるよ
うに研削することを特徴とする請求項１記載のウォータ
ジェット研削方法。
【請求項３】傾斜面が形成される周縁部分の幅Ｌは、
研削領域の周縁部分よりも内方の部分の深さをＤとする
とき、Ｌ／Ｄ ≧ ２に選ぶことを特徴とする請求項２記載のウォータジェッ
ト研削方法。
【請求項４】ノズルと、作業端に前記ノズルが装着され、被加工物にノズル孔が
向けられ、そのノズルの被加工物との相対速度、ノズル
孔と被加工物との間の距離、およびノズル軸線が被加工
物の表面と成す角度のうち、少なくとも１つを可変とす
るロボットと、ノズルに、砥粒と液体との混合物を供給し、砥粒の流量
が可変であり、ノズル孔からウォータジェットを噴射さ
せる供給源と、ロボットの作業端に装着され、ウォータジェットによる
研削深さを検出する研削深さ検出手段と、研削深さ検出手段の出力に応答し、ロボットによって前
記速度、距離および角度、ならびに供給源からの砥粒の
流量のうち、少なくとも１つを変化することができる制
御手段とを含むことを特徴とするウォータジェット研削
装置。