CN109432882A - 用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法 - Google Patents

用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明揭示了一种用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法，所述过滤器用于MOCVD，所述自动清洗设备包括容纳碱液的碱液槽、容纳清水的清水槽和循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。

Description

用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法
技术领域
本发明涉及一种用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法，尤其涉及一种用于清洗MOCVD的过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法。
背景技术
目前，用于MOCVD的过滤器都是采用人工清洗维护，但经使用的过滤器有残余的MO源，未反应完的MO源与空气和水接触，易产生化学反应，导致着火，存在非常大的安全隐患，因此很不安全。另外，过滤器上残余的废灰的密度较小，人工维护时，易吸入或通过无尘服渗透至皮肤上，从而影响人的身体健康。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及其控制方法，该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。
为实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种用于清洗过滤器的自动清洗设备，所述过滤器用于MOCVD，其中；所述自动清洗设备包括：
容纳碱液的碱液槽；
容纳清水的清水槽；
循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述自动清洗设备还包括接入所述过滤器的加热系统，当所述过滤器被碱液和水清洗过后，所述加热系统提供用于吹扫所述过滤器的加热压缩空气。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液和加热压缩空气可被择一地从同一个入口进入到所述过滤器。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液包含氢氧化钠、过氧化氢和水，所述氢氧化钠与水之间的比例为5％～95％，所述过氧化氢与水的比例为5％～95％，。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液中水∶氢氧化钠∶过氧化氢＝4∶1∶1。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液槽中设有滤芯。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述自动清洗设备还包括排水容器，所述循环泵可选择地能将所述碱液槽的碱液排出到所述排水容器中。
为解决上述发明目的之一，本发明另一实施方式还提供一种根据上述技术方案所述的自动清洗设备的控制系统，其中；所述控制系统包括控制单元、与所述控制单元相连接的复数个控制阀，所述复数个控制阀分别被控制于不同的模式，以使所述自动清洗设备处于第一工作状态或第二工作状态。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述控制系统还包括设于所述碱液槽并与所述控制单元电连接的液位感应器。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述控制系统还包括设置于所述碱液槽内的加热棒和温度传感器，所述加热棒和温度传感器均与所述控制单元电连接，以将所述碱液槽内碱液的温度控制于20℃～80℃。
为解决上述发明目的之一，本发明再一实施方式还提供一种根据上述技术方案所述的控制系统的控制方法，其中，所述控制单元包括继电器和定时器，所述控制方法依次包括如下步骤：
a、所述定时器定义了第一预设时间范围，首先所述控制单元控制所述复数个控制阀，在所述第一预设时间范围内，使所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；
b、所述定时器定义了第二预设时间范围，所述控制单元控制所述复数个控制阀，以使所述自动清洗设备变换至第二工作状态，在所述第二预设时间范围内，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。
作为本发明实施方式的进一步改进，所述自动清洗设备还包括接入所述过滤器的加热系统，所述步骤a和b之后还包括如下步骤：所述加热系统将加热压缩空气吹入所述过滤器。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：循环泵可选择地将碱液灌入过滤器内，碱液与过滤器内残余的废灰产生反应稀释，从而将过滤器上残余的金属有机化合物废灰吸收掉，另外，循环泵再将清水槽内的水灌入过滤器内，进一步清洗过滤器。从而使得清洗过的过滤器能被再次利用，且该自动清洗设备自动清洗过滤器，不用人工维护，防止了员工吸入或通过无尘服渗透到皮肤上，从而影响人的身体健康，因此该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。
附图说明
图1是本发明具体实施方式中自动清洗设备的示意图；
图2是图1中自动清洗设备的示意图，此时自动清洗设备处于第一工作状态；
图3是图1中自动清洗设备的示意图，此时自动清洗设备处于第二工作状态；
图4是图1中自动清洗设备的示意图，此时自动清洗设备处于第三工作状态；
图5是图1中自动清洗设备的示意图，此时自动清洗设备处于第四工作状态。
具体实施方式
以下将结合附图所示的具体实施方式对本发明进行详细描述。但这些实施方式并不限制本发明，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本发明的保护范围内。
在本发明的各个图示中，为了便于图示，结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大，因此，仅用于图示本发明的主题的基本结构。
本文使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的设备翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位。设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向)，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。
如图1所示，本发明提供的优选实施例公开了一种自动清洗设备10，自动清洗设备用于对过滤器10进行清洗。具体到本实施例中，过滤器10为用于MOCVD的过滤器10。MOCVD即金属有机化合物化学气相沉淀，通常，过滤器10被使用后，上面会残余MO源，即残余金属有机化合物。为了安全环保及过滤器10的再利用，需要清洗过滤器10。
具体的，自动清洗设备包括容纳碱液的碱液槽12、容纳清水的清水槽14和循环泵16。其中自动清洗设备具有两个工作状态，自动清洗设备可择一地处于第一工作状态或第二工作状态。如图2所示，第一工作状态时，循环泵16将碱液槽12内的碱液灌入过滤器10内，并将经过过滤器10后的碱液循环到碱液槽12内；如图3所示，第二工作状态时，循环泵16将清水槽14内的水灌入到过滤器10内，并将经过过滤器10后的水循环到碱液槽12内。
本优选实施例中，循环泵16可选择地将碱液灌入过滤器10内，碱液与过滤器10内残余的废灰产生反应稀释，从而将过滤器10上残余的金属有机化合物废灰吸收掉，另外，循环泵16再将清水槽14内的水灌入过滤器10内，进一步清洗过滤器10。从而使得清洗过的过滤器10能被再次利用，且该自动清洗设备自动清洗过滤器10，不用人工维护，防止了员工吸入或通过无尘服渗透到皮肤上，从而影响人的身体健康，因此该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。
进一步的，自动清洗设备还包括接入过滤器10的加热系统，当过滤器10被碱液和水清洗过后，加热系统提供用于吹扫过滤器10的加热压缩空气。自动清洗设备设有外接端口18，外接端口18用于对接加热系统。另外，碱液和加热压缩空气可被择一地从同一个入口进入到过滤器10。也就是说，当循环泵16将碱液灌入过滤器10时，碱液从入口进入到过滤器10，当碱液和清水均清洗好过滤器10后，循环泵16停止工作，加热系统将加热压缩空气从入口吹入到过滤器10内。
碱液包含氢氧化钠、过氧化氢和水，氢氧化钠与水之间的比例为5％～95％，过氧化氢与水的比例为5％～95％。具体到本实施例中，碱液中水∶氢氧化钠∶过氧化氢＝4∶1∶1。当然，碱液中，水、氢氧化钠和过氧化氢三者之间也可以设计为其它比例。
进一步的，碱液槽12中设有滤芯。滤芯用于过滤灌入到过滤器10中的碱液。通常，滤芯的过滤精度为0.5～100um。
自动清洗设备还包括排水容器20，自动清洗设备还具有第三工作状态，第三工作状态时，循环泵16可选择地能将碱液槽12的碱液排出到排水容器20中。这样，当碱液槽12需要更换碱液时，能自动实现碱液槽12中碱液的排出，从而排出到排水容器20中的碱液可找MO源厂家回收提炼再用，使得更加安全环保。
本发明还提供了一种上述自动清洗设备的控制系统，控制系统包括控制单元、与控制单元相连接的复数个控制阀，复数个控制阀分别被控制于不同的模式，以使自动清洗设备处于第一工作状态或第二工作状态。进一步的，控制单元包括继电器(未图示)和定时器(未图示)，以对复数个控制阀进行分别控制，从而使得自动清洗设备在第一工作状态、第二工作状态和第三工作状态分别工作预定的时间段。
控制系统还包括设于碱液槽12并与控制单元电连接的液位感应器(未图示)。液位感应器用于感应碱液槽12的碱液量，从而提醒操作者是否需要添加碱液。
另外，控制系统还包括设置于碱液槽12内的加热棒(未图示)和温度传感器(未图示)，加热棒和温度传感器均与控制单元电连接，以将碱液槽12内碱液的温度控制于20℃～80℃。从而使得碱液保持一定的工艺温度，能更好地与过滤器10上的废灰产生吸收反应。
本发明一实施方式还提供一种上述控制系统的控制方法，其中，控制方法依次包括如下步骤：
a、定时器定义了第一预设时间范围，首先控制单元控制复数个控制阀，在第一预设时间范围内，使循环泵16将碱液槽12内的碱液灌入过滤器10内，并将经过过滤器10后的碱液循环到碱液槽12内；
b、定时器定义了第二预设时间范围，控制单元控制复数个控制阀，以使自动清洗设备变换至第二工作状态，在第二预设时间范围内，循环泵16将清水槽14内的水灌入到过滤器10内，并将经过过滤器10后的水循环到碱液槽12内。
进一步的，自动清洗设备还包括接入过滤器10的加热系统，步骤a和b之后还包括如下步骤：c、加热系统将加热压缩空气吹入过滤器10。
优选的，进一步参照图3，在步骤b和c之间还包括如下步骤：b1、定时器定义了第四预设时间范围，控制单元控制复数个控制阀，以使自动清洗设备变换至第四工作状态，在第四预设时间范围内，循环泵16将过滤器10内残留的液体泵入到碱液槽12内。
具体到本实施例中，循环泵16具有第一端口22和第二端口24，碱液槽12具有第一接口26、第二接口28和第三接口30，过滤器10具有入口和出口，清水槽14具有清水出口32，复数个控制阀包括设于第一端口22和入口之间的第一控制阀34、第二控制阀36和第三控制阀38，设于第二端口24和第一接口26之间的第四控制阀40，设于第二端口24和清水出口之间的第五控制阀42，设于第二接口28和第一控制阀34之间的第六控制阀44，设于第五控制阀42和第三控制阀38之间的第七控制阀46，第七控制阀46的一端均与第五控制阀42和第二端口24相连接，第七控制阀46的另一端连通于第二控制阀36和第三控制阀38之间。第三接口30和过滤器10的出口之间还设有第八控制阀48。
当第一控制阀34、第二控制阀36、第三控制阀38、第四控制阀40和第八控制阀48均开通，其它控制阀均关闭，且循环泵16处于开启状态时，自动清洗设备处于第一工作状态，碱液的流向如图2中所示箭头所示。
当第一控制阀34、第二控制阀36、第三控制阀38、第五控制阀42和第八控制阀48均开通，其它控制阀均关闭，且循环泵16处于开启状态时，自动清洗设备处于第二工作状态，清水的流向如图3中所示箭头所示。此时将清水泵入到过滤器10，并将经过过滤器10后的液体循环到碱液槽12中。
循环泵16的第一端口22与排水容器20之间设有第九控制阀50，当第四控制阀40和第九控制阀50均开通，其它控制阀均关闭，且循环泵16处于开启状态时，自动清洗设备处于第三工作状态，碱液槽12中碱液的流向如图4中所示箭头所示。此时将碱液槽12中的碱液回收到排水容器20中，碱液槽12中新更换的水可采用另外的水龙头供入，也可采用清水槽14中的水，然后加入适量的氢氧化钠和过氧化氢即可。
如图5所示，自动清洗设备的第四工作状态，此时，第三控制阀38、第七控制阀46、第一控制阀34和第六控制阀44均开通，其它控制阀均关闭，且循环泵16处于开启状态，以将过滤器10内残留的液体泵入到碱液槽12中，液体的流向如图5中箭头所示。
控制系统还包括控制压缩空气的第十控制阀52，当第十控制阀52、第二控制阀36和第三控制阀38均开通，其它控制阀均关闭，且此时循环泵16也处于关闭状态，加热系统的加热压缩空气进入到过滤器10，对过滤器10进行吹扫。当自动清洗设备处于第一至第四工作状态时，第十控制阀52均关闭。第一控制阀34至第十控制阀52均为驱动球阀，且第一控制阀34至第十控制阀52作为一个模组整合到一个盘面上。
应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种用于清洗过滤器的自动清洗设备，所述过滤器用于MOCVD，其特征在于；所述自动清洗设备包括：
容纳碱液的碱液槽；
容纳清水的清水槽；
循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。
2.根据权利要求1所述的自动清洗设备，其特征在于，所述自动清洗设备还包括接入所述过滤器的加热系统，当所述过滤器被碱液和水清洗过后，所述加热系统提供用于吹扫所述过滤器的加热压缩空气。
3.根据权利要求2所述的自动清洗设备，其特征在于，所述碱液和加热压缩空气可被择一地从同一个入口进入到所述过滤器。
4.根据权利要求3所述的自动清洗设备，其特征在于，所述碱液包含氢氧化钠、过氧化氢和水，所述氢氧化钠与水之间的比例为5％～95％，所述过氧化氢与水的比例为5％～95％，。
5.根据权利要求4所述的自动清洗设备，其特征在于，所述碱液中水∶氢氧化钠∶过氧化氢＝4∶1∶1。
6.根据权利要求5所述的自动清洗设备，其特征在于，所述碱液槽中设有滤芯。
7.根据权利要求1所述的自动清洗设备，其特征在于，所述自动清洗设备还包括排水容器，所述循环泵可选择地能将所述碱液槽的碱液排出到所述排水容器中。
8.根据权利要求1所述的自动清洗设备的控制系统，其特征在于；所述控制系统包括控制单元、与所述控制单元相连接的复数个控制阀，所述复数个控制阀分别被控制于不同的模式，以使所述自动清洗设备处于第一工作状态或第二工作状态。
9.根据权利要求8所述的控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括设于所述碱液槽并与所述控制单元电连接的液位感应器。
10.根据权利要求8所述的控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括设置于所述碱液槽内的加热棒和温度传感器，所述加热棒和温度传感器均与所述控制单元电连接，以将所述碱液槽内碱液的温度控制于20℃～80℃。
11.根据权利要求8所述的控制系统的控制方法，其特征在于，所述控制单元包括继电器和定时器，所述控制方法依次包括如下步骤：
a、所述定时器定义了第一预设时间范围，首先所述控制单元控制所述复数个控制阀，在所述第一预设时间范围内，使所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；
b、所述定时器定义了第二预设时间范围，所述控制单元控制所述复数个控制阀，以使所述自动清洗设备变换至第二工作状态，在所述第二预设时间范围内，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。
12.根据权利要求11所述的控制系统的控制方法，其特征在于，所述自动清洗设备还包括接入所述过滤器的加热系统，所述步骤a和b之后还包括如下步骤：所述加热系统将加热压缩空气吹入所述过滤器。
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