KR20210091815A - 필터 세정용 자동 세정 장치, 제어 시스템 및 제어 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 필터 세정용 자동 세정 장치, 제어 시스템 및 제어 방법을 개시하며, 상기 필터는 MOCV에 사용되고, 상기 자동 세정 장치는 알칼리 용액을 수용하는 알칼리 용액 탱크, 정수를 수용하는 정수 탱크 및 순환 펌프를 포함하고, 상기 세정 장치는 두 가지 작업 상태가 있고, 제 1 작업 상태인 경우, 상기 순환 펌프는 상기 알칼리 용액 탱크 내의 알칼리 용액을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 알칼리 용액을 상기 알칼리 용액 탱크에 순환시키며, 제 2 작업 상태인 경우, 상기 순환 펌프는 상기 정수 탱크 내의 물을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 물을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시킨다. 해당 자동 세정 장치는 더욱 친환경적이고 안전하며 효율적이다.
Description
본 발명은 필터 세정용 자동 세정 장치, 제어 시스템 및 제어 방법에 관한 것으로, 상세하게는, 금속 유기물 화학 기상 증착(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)의 필터 세정용 자동 세정 장치, 제어 시스템 및 제어 방법에 관한 것이다.
현재, MOCVD에 사용되는 필터는 모두 인력에 의한 세정 및 유지 관리를 취하고 있지만, 사용한 필터에는 잔여 유기 금속 소스 (Metal Organic Source)가 남아 있다. 반응이 끝나지 않은 MO 소스는 공기 및 물과 접촉 시 화학 반응을 일으켜 화재를 초래할 가능성이 높아서 매우 큰 안전 위험이 잠복되어 있으므로 매우 불안전하다. 필터에 남아 있는 회분(Ash) 폐기물의 밀도가 비교적 작고, 인력으로 유지 관리 시 흡입되거나 무진복을 통해 피부로 침투될 우려가 있으므로, 사람의 신체 건강에 영향을 줄수 있다.
본 발명의 목적은 필터 세정용 자동 세정 장치, 제어 시스템 및 그 제어 방법을 제공하는 것으로, 해당 자동 세정 장치는 더욱 친환경적이고 안전하며 효율적이다.
상기 발명 목적 중의 하나를 실현하기 위해, 본 발명의 일 실시형태는 MOCVD에 사용되는 필터 세정용 자동 세정 장치를 제공하되, 여기서, 상기 자동 세정 장치는,
알칼리 용액을 수용하는 알칼리 용액 탱크;
정수를 수용하는 정수 탱크; 및
순환 펌프; 를 포함하고, 상기 자동 세정 장치는 두 가지 작업 상태가 있고, 제 1 작업 상태인 경우, 상기 순환 펌프는 상기 알칼리 용액 탱크 내의 알칼리 용액을 상기 필터로 주입시키고 상기 필터를 통과한 알칼리 용액을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시키고, 제 2 작업 상태인 경우, 상기 순환 펌프는 상기 정수 탱크 내의 물을 상기 필터로 주입시키고 상기 필터를 통과한 물을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시킨다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 자동 세정 장치는 상기 필터에 접속된 가열 시스템을 더 포함하되, 상기 가열 시스템은, 상기 필터가 알칼리 용액 및 물에 의해 세정된 후 상기 필터를 퍼지(Purge)하도록 가열 압축 공기를 공급한다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 알칼리 용액 또는 가열 압축 공기중의 하나가 선택되어 동일한 입구로부터 상기 필터로 진입된다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 알칼리 용액에 수산화 나트륨, 과산화 수소 및 물이 포함된다. 상기 수산화 나트륨과 물과의 비율은 5%-95%이고, 상기 과산화 수소와 물의 비율은 5%-95%이다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 알칼리 용액 중 물: 수산화 나트륨: 과산화 수소 = 4: 1: 1이다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 알칼리 용액 탱크에 필터 카트리지(Filter Cartridge)가 설치되어 있다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 자동 세정 장치에 배수 용기가더 포함되되, 상기 순환 펌프는 선택적으로 상기 알칼리 용액 탱크의 알칼리 용액을 상기 배수 용기로 배출할수 있다.
상술한 발명 목적 중의 하나를 구현하기 위해, 본 발명의 다른 실시형태는 상술한 기술 방안에 따른 자동 세정 장치의 제어 시스템을 제공하되, 여기서, 상기 제어 시스템은 제어 유닛 및 상기 제어 유닛과 연결되는 복수 개의 제어 밸브를 포함한다. 상기 복수 개의 제어 밸브는 각각 다른 모드에 의해 제어됨으로써, 상기 자동 세정 장치가 제 1 작업 상태 또는 제 2 작업 상태에 처해 있도록 한다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 제어 시스템은, 상기 알칼리 용액탱크에 설치되고 또한 상기 제어 유닛과 전기적으로 연결되는 액체 레벨 센서를 더 포함한다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 제어 시스템은 상기 알칼리 용액 탱크에 설치되는 가열봉 및 온도 센서를 더 포함하되, 상기 가열봉 및 온도 센서는 모두 상기 제어 유닛과 전기적으로 연결되어 상기 알칼리 용액 탱크 내의 알칼리 용액의 온도를 20 ℃-80 ℃ 로 제어한다.
상술한 발명 목적 중의 하나를 구현하기 위해, 본 발명의 또 다른 실시형태는 상기 기술 방안에 따른 제어 시스템의 제어 방법을 더 제공하되, 여기서, 상기 제어 유닛은 계전기 및 타이머를 포함하고, 상기 제어 방법은 순서대로 다음의 단계(a)와 단계(b)를 포함한다.
단계(a)에서, 상기 타이머에 제 1 사전 설정 시간대가 정의되어 있고, 우선 상기 제어 유닛은,상기 복수 개의 제어 밸브를 제어함으로써, 상기 제 1 사전 설정 시간대 내에서 상기 순환 펌프에 의해 상기 알칼리 용액 탱크 내의 알칼리 용액을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 알칼리 용액을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시킨다.
단계(b)에서, 상기 타이머에 제 2 사전 설정 시간대가 정의되어 있고, 상기 제어 유닛은, 상기 복수 개의 제어 밸브를 제어함으로써, 상기 자동 세정 장치를 제 2 작업 상태로 전환시켜, 상기 제 2 사전 설정 시간대 내에서 상기 순환 펌프에 의해 상기 정수 탱크 내의 물을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 물을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시킨다.
본 발명의 실시형태에 대한 개량으로서, 상기 자동 세정 장치는 상기 필터와 접속되는 가열 시스템을 더 포함하되, 상기 단계 a 와 단계 b 이후에 다음의 단계를 더 포함하고, 상기 가열 시스템은 가열 압축 공기를 상기 필터에 주입시킨다.
종래 기술에 비해, 본 발명은 다음과 같은 유리한 효과가 있다. 순환 펌프는 선택적으로 알칼리 용액을 필터 내로 주입시킬수 있고, 알칼리 용액은 필터 내의 잔여 회분 폐기물과 반응을 일으켜 희석됨으로써, 필터 내의 잔여 금속 유기 화합물의 회분 폐기물을 흡수해 버리며, 또한, 순환 펌프는 정수 탱크 내의 정수를 필터로 주입시켜, 필터를 더 한층 세정한다. 이에 따라, 세정된 필터는 재활용이 가능하며, 또한, 해당 자동 세정 장치는 자동적으로 필터를 세정함으로써, 인력으로 유지 관리할 필요가 없고, 직원에 의해 흡입되거나 무진복을 통해 피부에 침투되여 신체 건강에 영향을 주는 것을 방지할수 있으므로, 해당 자동 세정 장치는 더욱 친환경적이고 안전하며 또한 효율적이다.
도 1은 본 발명의 구체적인 실시형태에 따른 자동 세정 장치의 예시도이고;
도 2는 제 1 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이고;
도 3는 제 2 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이고;
도 4는 제 3 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이고;
도 5는 제 4 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이다.
도 2는 제 1 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이고;
도 3는 제 2 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이고;
도 4는 제 3 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이고;
도 5는 제 4 작업 상태에 처한 도 1 중의 자동 세정 장치의 예시도이다.
아래에 도면에서 도시한 본 발명을 실시하기 위한 실시형태를 결합하여 본 발명을 상세하게 설명하기로 한다. 하지만, 이들의 실시형태는 본 발명을 한정하려는 것은 아니며, 해당 분야의 일반 기술자들이 이들의 실시형태에 기초하여 실행한 구조, 방법, 또는 기능 상의 변환은 모두 본 발명의 보호 범위 내에 포함된다.
본 발명의 각 도시에 있어서, 도시 상의 편의를 위하여, 구조 또는 일부의 특정 사이즈가 다른 구조 또는 일부보다 확대될 수 있으므로, 단지 본 발명의 주제의 기본 구조를 도시하는데만 사용된다.
본 명세서에서 사용하는 예를 들면 "위", "위 쪽", "아래", "아래 쪽" 등 공간 상의 상대적 위치를 나타내는 용어는 도면에서 도시한 바와 같은 하나의 유닛 및 구성 요소와 다른 하나의 유닛 또는 구성 요소와의 관계를 편의하게 설명하기 위해 서술된다.공간 상의 상대적 위치를 나타내는 용어는 도면에서 도시한 방향 및 위치 외에 설비 사용 중 또는 작업 중의 다른 방향 및 위치도 포함하여 의미할 수 있다. 예를 들면, 도면 중의 장치를 회전시킨다면, 기타 유닛 또는 구성 요소의 "아래 쪽", 또는 "아래"에 위치한 것으로 서술된 유닛은 기타 유닛 또는 구성 요소의 "위 쪽"에 위치한 것으로 된다. 이에 따라, 예시적 용어인 "아래 쪽"은 위 쪽과 아래 쪽의 두 가지 방향과 위치를 망라할 수 있다. 장치는 기타 방식에 의해 지향될 수 있되, 90도 회전하거나 또는 어디로 향한 것으로, 본 명세서에서 사용되는 공간과 관련되는 설명을 상응적으로 해석할 수 있다.
도 1에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 의해 제공되는 바람직한 실시예는 필터(10)을 세정하도록 구성되는 자동 세정 장치(10)을 개시하였다. 구체적으로, 본 실시예에 있어서, 필터(10)은 MOCVD에 사용되는 필터(10)이다. MOCVD 즉 유기 금속 화학 기상 증착에 있어서, 통상적으로, 사용한 필터(10)에 MO소스, 즉, 잔여 금속유기 화합물이 남아 있다. 안전과 환경 보호 및 필터(10)의 재활용을 위해서는 필터(10)을 세정해야 한다.
구체적으로, 자동 세정 장치는 알칼리 용액을 수용하는 알칼리 용액 탱크(12), 정수를 수용하는 정수 탱크(14) 및 순환 펌프(16)을 포함한다. 여기서, 자동 세정 장치는 두 가지 작업 상태가 있고, 자동 세정 장치는 둘 중 하나를 선택하여 제 1 작업 상태 또는 제 2 작업 상태에 처할수 있다. 도 2에서 도시한 바와 같이, 제 1 작업 상태인 경우, 순환 펌프(16)은 알칼리 용액 탱크(12) 내의 알칼리 용액을 필터(10)에 주입시키고, 필터(10)을 통과한 알칼리 용액을 알칼리 용액 탱크(12)로 순환시킨다. 도 3에서 도시한 바와 같이, 제 2 작업 상태인 경우, 순환 펌프(16)은 정수 탱크(12) 내의 정수를 필터(10)에 주입시키고, 필터를(10)을 통과한 정수를 알칼리 용액 탱크(12)로 순환시킨다.
본 발명의 바람직한 실시예에서, 순환 펌프(16)은 선택적으로 알칼리 용액을 필터(10)으로 주입시킬수 있고, 알칼리 용액은 필터(10) 내의 잔여 회분 폐기물과 반응을 일으켜 희석됨으로써, 필터(10) 내의 잔여 금속 유기 화합물의 회분 폐기물을 흡수해 버린다. 또한, 순환 펌프(16)은 정수 탱크(14) 내의 정수를 필터(10)으로 주입시켜, 필터(10)을 더 한층 세정한다.이에 따라, 세정된 필터(10)은 재활용이 가능하며, 또한, 해당자동 세정 장치는 자동적으로 필터(10)을 세정함으로써, 인력으로 유지 관리할 필요 없고, 직원에 의해 흡입되거나 무진복을 통해 피부에 침투되여 신체 건강에 영향을 주는 것을 방지할수 있으므로, 해당 자동 세정 장치는 더욱 친환경적이고 안전하며 또한 효율적이다.
아울러, 자동 세정 장치는 필터(10)에 접속하는 가열 시스템을 더 포함하되, 필터(10)이 알칼리 용액과 정수에 의해 세정된후, 가열 시스템은 필터(10)을 퍼지하도록 가열 압축 공기를 공급한다. 자동 세정 장치는 가열 시스템에 사용되는 외부 접속 포트(18)이 설치되어 있고, 또한, 알칼리 용액 또는가열 압축 공기 중의 하나가 선택되어 동일한 입구로부터 필터(10)으로 진입할 수 있다. 즉, 순환 펌프(16)이 알칼리 용액을 필터(10)에 주입시킨 경우, 알칼리 용액은 입구에서 필터(10)으로 진입하고, 알칼리 용액 및 정수의 양자에 의해 필터(10)이 세정된 후, 순환 펌프(16)은 작업을 멈추고, 가열 시스템은 입구로부터 가열 압축 공기를 필터(10)으로 불어 넣는다.
알칼리 용액에 수산화 나트륨, 과산화 수소 및 물이 포함되고, 수산화 나트륨과 물의 비율은 5 %-95% 이고, 과산화 수소와 물의 비율은 5 %-95% 이다. 구체적으로, 본 실시예에서, 알칼리 용액 중 물: 수산화 나트륨: 과산화 수소 = 4: 1: 1 이다. 물론, 알칼리 용액 중, 물, 수산화 나트륨 및 과산화 수소의 삼자 사이는 기타 비율로 설계할수도 있다.
아울러, 알칼리 용액 탱크(12)에 필터 카트리지가 설치되어 있다. 필터 카트리지는 필터(10)에 주입된 알칼리 용액을 여과하도록 구성된다. 통상적으로, 필터 카트리지의 여과 정밀도는 0.5-100 um이다.
자동 세정 장치는 배수 용기(20)을 더 포함하되, 자동 세정 장치에는 제 3 작업 상태가 더 있으며, 제 3 작업 상태인 경우, 순환 펌프(16)은 선택적으로 알칼리 용액 탱크(12) 내의 알칼리 용액을 배수 용기(20)으로 배출할수 있다. 이에 따라 알칼리 용액 탱크(12)에서 알칼리 용액 교환이 필요될 경우, 알칼리 용액 탱크(12) 내의 알칼리 용액이 자동적으로 배출될 수 있으므로, 배수 용기(20)으로 배출되는 알칼리 용액이 MO소스 공장에 의해 회수되고, 제련되어 재활용할 수 있어 더욱 안전하고 친환경적이다.
본 발명은 상술한 자동 세정 장치의 제어 시스템을 더 제공하였고, 제어 시스템은 제어 유닛 및 제어 유닛과 서로 연결되는 복수 개의 제어 밸브를 포함하되, 복수 개의 제어 밸브는 자동 세정 장치가 제 1 작업 상태 또는 제 2 작업 상태에 처해 있도록 각각 다른 모드에 의해 제어된다. 아울러, 제어장치는 계전기(도시되지 않음) 및 타이머(도시되지 않음)를 포함하여, 복수 개의 제어 밸브를 각각 제어함으로써, 자동 세정 장치가 사전 설정 시간대 내에서 제 1 작업 상태, 제 2 작업 상태 및 제 3 작업 상태로 작업하도록 한다.
제어 시스템은, 알칼리 용액 탱크(12)에 설치되고 또한 제어 유닛과 전기적으로 연결되는 액체 레벨 센서(도시되지 않음)를 더 포함한다. 액체 레벨 센서는 알칼리 용액 탱크(12)의 알칼리 용액량을 감지하도록 구성됨으로써, 작업자에게 알칼리 용액을 추가해야 하는지를 지시한다.
또한, 제어 시스템은 알칼리 용액 탱크(12) 내에 설치되는 가열봉(도시되지 않음) 및 온도 센서(도시되지 않음)를 더 포함하되, 가열봉 및 온도 센서는 모두 제어 유닛과 전기적으로 연결되어, 알칼리 용액 탱크(12) 내의 알칼리 용액의 온도를 20 ℃-80 ℃로 제어함으로써, 알칼리 용액이 필터(10) 상의 회분 폐기물과 더 충분히 흡수 반응할 수 있는 특정된 가공 온도를 유지한다.
본 발명의 일 실시형태는 상술한 제어 시스템의 제어 방법을 더 제공하되, 여기서, 상기 제어방법은 다음의 단계(a)와 단계(b)를 포함한다.
단계(a)에서, 타이머에 제 1 사전 설정 시간대가 정의되어 있고, 우선 제어 유닛은,복수 개의 제어 밸브를 제어함으로써, 제 1 사전 설정 시간대 내에서 순환 펌프(16)에 의해 알칼리 용액 탱크(12) 내의 알칼리 용액을 필터(10)으로 주입시키고, 필터(10)을 통과한 알칼리 용액을 알칼리 용액 탱크(12)로 순환시킨다.
단계(b)에서, 타이머에 제 2 사전 설정 시간대가 정의되어 있고, 제어 유닛은 복수 개의 제어 밸브를 제어함으로써, 자동 세정 장치를 제 2 작업 상태로 전환시켜, 제 2 사전 설정 시간대 내에서 순환 펌프(16)에 의해 정수 탱크(14) 내의 정수를 필터(10)으로 주입시키고, 또한 필터(10)을 통과한 정수를 알칼리 용액 탱크(12)로 순환시킨다.
아울러, 자동 세정 장치는 필터(10)에 접속하는 가열 시스템을 더 포함하되, 단계(a)과 단계(b) 이후에 다음과 단계(c)를 더 포함한다. 단계(c)에서, 가열 시스템은 가열 압축 공기를 필터(10)으로 주입시킨다.
바람직하게는, 아울러, 도 3에서 도시한 내용을 참조하여, 단계(b)와 단계(c) 사이에 다음의 단계(b1)를 더 포함한다. 단계(b1)에서, 타이머에 제 4 사전 설정 시간대가 정의되어 있고, 제어 유닛은 복수 개의 제어 밸브를 제어함으로써, 자동 세정 장치를 제 4 작업 상태로 전환시켜, 제 4 사전 설정 시간대 내에서 순환 펌프(16)에 의해 필터(10) 내의 잔여 액체를 알칼리 용액 탱크(12)로 주입시킨다.
구체적으로, 본 실시예에 있어서, 순환 펌프(16)에 제 1 포트(22) 및 제 2 포트(24)가 있고, 알칼리 용액 탱크(12)에 제 1 인터페이스(26), 제 2 인터페이스(28) 및 제 3 인터페이스(30)이 있으며, 필터(10)에 입구 및 출구가 있고, 정수 탱크(14)에 정수 출구(32) 가 있으며, 복수 개의 제어 밸브는 제 1 포트(22)와 입구 사이에 설치되는 제 1 제어 밸브(34), 제 2 제어 밸브(36) 및 제 3 제어 밸브(38), 제 2 포트(24)와 제 1 인터페이스(26) 사이에 설치되는 제 4 제어 밸브(40), 제 2 포트(24) 와 정수 출구 사이에 설치되는 제 5 제어 밸브(42), 제 2 인터페이스(28)과 제 1 제어 밸브(34) 사이에 설치되는 제 6 제어 밸브(44), 제 5 제어 밸브(42)와 제 3 제어 밸브(38) 사이에 설치되는 제 7 제어 밸브(46)을 포함하며, 제 7 제어 밸브(46)의 일측은 모두 제 5 제어 밸브(42) 및 제 2 포트(24)와 연결되고, 제 7 제어 밸브(46)의 타측은 제 2 제어 밸브(36)과 제 3 제어 밸브(38) 사이를 연통한다. 제 3 인터페이스(30)과 필터(10)의 출구 사이에 제 8 제어 밸브(48)가 더 설치되어 있다.
제 1 제어 밸브(34), 제 2 제어 밸브(36), 제 3 제어 밸브(38), 제 4 제어 밸브(40) 및 제 8 제어 밸브(48)은 모두 열려 있고 기타 제어 밸브는 모두 닫혀 있으며 또한 순환 펌프(16)이 열린 상태 인 경우, 자동 세정 장치는 제 1 작업 상태에 처해 있고, 알칼리 용액의 흐름 방향은 도 2 중에서 화살표로 도시한 바와 같다.
제 1 제어 밸브(34), 제 2 제어 밸브(36), 제 3 제어 밸브(38), 제 5 제어 밸브(42) 및 제 8 제어 밸브(48)은 모두 열려 있고 기타 제어 밸브는 모두 닫혀 있으며, 순환 펌프 (16)이 열린 상태 인 경우, 자동 세정 장치는 제 2 작업 상태에 처해 있고, 정수의 흐름 방향은 도 3 중 화살표로 도시한 바와 같다. 이를 경우, 정수를 필터(10)에 펌핑시키고, 필터(10)을 통과한 액체를 알칼리 용액 탱크(12)로 순환시킨다.
순환 펌프(16)의 제 1 포트(22)와 배수 용기(20) 사이에 제 9 제어 밸브(50)이 설치되어 있고, 제 4 제어 밸브(40)과 제 9 제어 밸브(50)은 모두 열려 있고 기타 제어밸브는 모두 닫혀 있으며, 순환 펌프 (16)이 열린 상태인 경우, 자동 세정 장치는 제 3 작업 상태에 처해 있고, 알칼리 용액 탱크(12)의 알칼리 용액의 흐름 방향은 도 4중 화살표로 도시한 바와 같다. 이를 경우, 알칼리 용액 탱크(12)의 알칼리 용액을 배수 용기(20)으로 회수시키고, 알칼리 용액 탱크(12)에서 새로 교환 할 물은 별도의 수도 꼭지에 의해 공급될수도 있고, 정수 탱크(14) 내의 물을 이용하되 그기에 적당량의 수산화 나트륨 및 과산화 수소를 첨가하면 된다.
도 5에서 도시한 바와 같이, 자동 세정 장치가 제 4 작업 상태인 경우, 제 3 제어 밸브(38), 제 7 제어 밸브(46), 제 1 제어 밸브(34) 및 제 6 제어 밸브(44)는 모두 열려 있고 기타 제어 밸브는 모두 닫혀 있으며, 순환 펌프(16)이 열린 상태 인 경우, 필터(10) 내에 남아 있는 잔여 액체를 알칼리 용액 탱크(12)로 펌핑시키고, 액체의 흐름 방향은 도 5 중 화살표로 도시한 바와 같다.
제어 시스템은 압축 공기를 제어하는 제 10 제어 밸브(52)를 더 포함하되, 제 10 제어 밸브(52) 및 제 2 제어 밸브(36)은 모두 열려 있고 기타 제어 밸브는 모두 닫혀 있으며 또한, 순환 펌프(16)은 닫힌 상태인 경우, 가열 시스템의 가열 압축 공기는 필터(10)에 진입하여 필터(10)을 퍼지한다. 자동 세정 장치가 제 1 작업 상태 내지 제 4 작업 상태인 경우 제 10 제어 밸브(52)는 모두 닫혀 있는다. 제 1 제어 밸브(34) 내지 제 10 제어 밸브(52)는 모두 구동 볼 벨브이고 또한 제 1 제어 밸브(34) 내지 제 10 제어 밸브(52)는 하나의 모듈화되어 하나의 면판에 조합된다.
본 명세서는 실시형태에 따라 설명하였으나, 각각의 실시형태에 단지 하나의 독립된 기술 수단이 포함된다는 것은 아니며, 본 명세서에서의 이러한 설명 방식은 단지 명확하게 설명하기 위한 것으로, 해당 분야의 일반 기술자들은, 본 명세서를 하나의 전체로 파악하고, 각 실시형태의 기술 수단을 적당히 조합하여, 해당 분야의 일반 기술자들이 이해할 수 있는 기타 실시 형태를 형성시킬 수 있다는 점을 이해해야 할 것이다.
상술한 내용에서 제시된 일련의 상세한 설명은 단지 본 발명의 실행 가능한 실시형태에 대해 구체적으로 설명한 것으로, 본 발명의 보호 범위를 한정하려는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어 나지 않는 전제 하에 제출된 동등 효과의 실시형태 또는 변경은 모두 본 발명의 보호 범위 내에 속한다.
Claims (12)
- MOCVD용 필터를 세정하는 자동 세정 장치로서,
알칼리 용액을 수용하는 알칼리 용액 탱크;
정수를 수용하는 정수 탱크;
순환 펌프; 를 포함하고, 상기 자동 세정 장치에 두 가지 작업 상태가 있고, 제 1 작업 상태인 경우, 상기 순환 펌프는 상기 알칼리 용액 탱크 내의 알칼리 용액을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 알칼리 용액을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시키고; 제 2 작업 상태인 경우, 상기 순환 펌프는 상기 정수 탱크 내의 물을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 물을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시키는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 필터에 접속하는 가열 시스템을 더 포함하고, 상기 필터가 알칼리 용액 및 물에 의해 세정된 후, 상기 가열 시스템은 상기 필터를 퍼지하도록 가열 압축 공기를 공급하는 것,을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 알칼리 용액 또는 가열 압축 공기중의 하나가 선택되어 동일한 입구로부터 상기 필터로 진입할 수 있는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 알칼리 용액에 수산화 나트륨, 과산화 수소 및 물이 포함되며, 상기 수산화 나트륨과 물의 비율은 5%-95%이고, 상기 과산화 수소와 물의 비율은 5%-95%이다는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 알칼리 용액 중 물: 수산화 나트륨: 과산화 수소=4: 1: 1이다는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 알칼리 용액 탱크에 필터 카트리지가 설치되어 있는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치. - 제 1 항에 있어서,
배수 용기가 더 포함되고, 상기 순환 펌프는 선택적으로 상기 알칼리 용액 탱크의 알칼리 용액을 상기 배수 용기로 배출할수 있는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치. - 제어 유닛 및 상기 제어 유닛과 연결되는 복수 개의 제어 밸브를 포함하고, 상기 복수 개의 제어 밸브는 각각 다른 모드에 의해 제어됨으로써, 상기 자동 세정 장치가 제 1 작업 상태 또는 제 2 작업 상태에 처해 있도록 하는 것, 을 특징으로 하는 제 1 항에 따른 필터 세정용 자동 세정 장치의 제어 시스템.
- 제 8 항에 있어서,
상기 알칼리 용액 탱크에 설치되고 또한 상기 제어 유닛과 전기 적으로 연결되는 액체 레벨 센서를 더 포함하는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치의 제어 시스템. - 제 8 항에 있어서,
상기 제어 시스템은 상기 알칼리 용액 탱크에 설치되는 가열봉 및 온도 센서를 더 포함하고, 상기 가열봉 및 온도 센서는 모두 상기 제어 유닛과 전기적으로 연결되어 상기 알칼리 용액 탱크 내의 알칼리 용액의 온도를 20 ℃-80 ℃ 로 제어하는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치의 제어 시스템. - 제 8 항에 따른 제어 시스템의 제어 방법으로서,
상기 제어 유닛에 계전기 및 타이머가 포함되고, 상기 제어 방법은 순서대로 다음의 단계(a) 및 단계(b)를 포함하되,
단계(a)에서, 상기 타이머에 제 1 사전 설정 시간대가 정의되어 있고, 우선 상기 제어 유닛은,상기 복수 개의 제어 밸브를 제어함으로써, 상기 제 1 사전 설정 시간대 내에서 상기 순환 펌프에 의해 상기 알칼리 용액 탱크 내의 알칼리 용액을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 알칼리 용액을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시키는 것;
단계(b)에서,상기 타이머에 제 2 사전 설정 시간대가 정의되어 있고, 상기 제어 유닛은, 상기 복수 개의 제어 밸브를 제어함으로써, 상기 자동 세정 장치를 제 2 작업 상태로 전환시켜, 상기 제 2 사전 설정 시간대 내에서 상기 순환 펌프에 의해 상기 정수 탱크 내의 물을 상기 필터로 주입시키고, 상기 필터를 통과한 물을 상기 알칼리 용액 탱크로 순환시키는 것; 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치의 제어 시스템의 제어 방법. - 제 11 항에 있어서,
상기 자동 세정 유닛은 상기 필터에 접속되는 가열 시스템을 포함하며, 상기 단계(a) 및 단계(b) 이후에, 다음의 단계: 상기 가열 시스템은 가열 압축 공기를 상기 필터로 주입시키는 것, 을 더 포함하는 것, 을 특징으로 하는 필터 세정용 자동 세정 장치의 제어 시스템의 제어 방법.
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