CN109404287B - 一种螺杆真空泵的检测结构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种螺杆真空泵的检测结构，属于真空设备技术领域。它解决了现有技术中螺杆真空泵难以精确获取泵内压力数据的问题。本螺杆真空泵的检测结构包括巡检阀，螺杆真空泵的泵壳的侧壁上开设有若干与内腔相连通的排气孔，若干排气孔沿螺杆的长度方向依次间隔设置，巡检阀上设有若干进气孔和一个出气孔，排气孔的数量与进气孔的数量相等且通过输气管一一对应连通，巡检阀还包括有能使出气孔与任意一个进气孔相连通同时将其余进气孔封堵的气路切换结构，巡检阀的出气孔处设有用于检测出气孔气体压力的检测元件。本发明实现了对螺杆真空泵泵内压力的变化和分布状况进行精确检测。

Description

一种螺杆真空泵的检测结构

技术领域

本发明属于真空设备技术领域，涉及一种螺杆真空泵的检测结构。

背景技术

螺杆真空泵是一种容积式真空泵，是通过两个能够实现啮合的螺杆在内腔内做同步异向转动，进而产生吸气和排气作用的抽气设备。螺杆真空泵作为真空环境的动力源，直接影响整个环境的稳定性和可靠性，因此，对于螺杆真空泵性能的研究，是一个尤为重要的课题。

对于螺杆真空泵而言，螺杆型线设计、冷却结构、腔内温度、腔内压力等，很多因素都影响着螺杆真空泵的性能，而各参数之间又是相互关联，互相具有影响的，因此，如何得出各参数的准确数据，便显得十分关键。现有常规的螺杆真空泵结构大同小异，如中国专利文献公开的一种干式螺杆真空泵的自动化运行装置(授权公告号：CN206860444U)，该装置包括真空泵、进气组件、冷却水回水组件、排气组件、冷却水供水组件和吹扫气供气组件，第一温度监测变送器、第一压力监测变送器、第一电信号控制气动蝶阀和真空泵的进气口依次串连。第三压力监测变送器、第二电信号控制气动球阀和真空泵的冷却水回水口依次串连。第二压力监测变送器、第二电信号控制气动蝶阀和真空泵的排气口串连。第二温度监测变送器、压力变送器、流量变送器、第一电信号控制气动球阀和真空泵的冷却水供水口串连。该装置在进气组件和出气组件上分别设置压力检测变送器，从而检测螺杆真空泵进气口和出气口对应的压力值，进而获取螺杆真空泵的真空运行状态。与该螺杆真空泵类似，现有常规技术中，对螺杆真空泵泵内压力数据的获取，都是通过测量螺杆真空泵进气口、出气口的压力数值，再依靠理论方程来进行推导，以获取泵内压力的分布、变化规律。然而，这样得出的数据只是一个理论值，和实际值还是会存在一些偏差，因此会影响到真空泵性能研究的准确性和可靠性。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种螺杆真空泵的检测结构，本发明所要解决的技术问题是如何对螺杆真空泵泵内压力的变化和分布状况进行精确检测。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种螺杆真空泵的检测结构，螺杆真空泵包括具有内腔的泵壳，所述内腔内转动设置有两根相互平行的螺杆，其特征在于，本检测结构包括巡检阀，所述泵壳的侧壁上开设有若干与内腔相连通的排气孔，若干排气孔沿螺杆的长度方向依次间隔设置，所述巡检阀上设有若干进气孔和一个出气孔，所述排气孔的数量与进气孔的数量相等且通过输气管一一对应连通，所述巡检阀还包括有能使出气孔与任意一个进气孔相连通同时将其余进气孔封堵的气路切换结构，所述巡检阀的出气孔处设有用于检测出气孔气体压力的检测元件。

本检测结构主要用于变螺距螺杆真空泵上，通过在泵壳的侧壁上设有若干排气孔，排气孔与泵壳的内腔相连通，这样便能将螺杆真空泵内腔不同位置的气体引出，再流通至巡检阀。而巡检阀中，采用多进气孔、单出气孔的结构设计，在出气孔处设置检测气体压力的检测元件，巡检阀依靠气路切换结构进行各进气孔与出气孔之间连通状态的切换，即可以实现任意一个进气孔与出气孔相连通同时使其余的进气孔处于封堵状态，这样便能通过一个检测元件检测螺杆真空泵内腔不同位置的压力，避免了不同检测元件之间存在个体差异导致检测精度低的问题。因此，本检测结构不仅实现了内腔压力的多点检测，能分时检测螺纹真空泵内腔的压力变化、分布状况，与此同时还大大提升了检测的精度，为研究真空泵内部流场机理提供了准确、有效的理论依据。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，两根螺杆分别为被动螺杆和与真空泵驱动电机相连的主动螺杆，所述被动螺杆的螺旋槽与泵壳内壁之间形成多级压力腔一，各排气孔能与各压力腔一形成一一对应。主动螺杆在转动过程中，当转动到某一瞬间状态时，各排气孔与各压力腔一形成一一对应。螺杆真空泵在实际运行时，每个压力腔一之间压力是不同的，因此，本检测结构采用一个排气孔与一个压力腔一相对应的结构，这样能够更精确地检测螺杆真空泵内腔压力的变化和分布状况，为真空泵性能的研究提供更为准确、有效的依据。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，每个排气孔内均固设有排气接头，所述排气接头具有轴向贯穿的中心孔，每个排气接头的外端连接有一根输气管。排气接头的内端不凸出泵壳的内壁，保证螺杆能够顺畅的运转，通过排气接头来连接输气管，不仅连接方便，而且能够保证连接处密封性好，避免由于气体的泄露导致检测的精度受到影响。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，所述巡检阀包括外壳和固定设置在外壳内的呈筒状的套筒，所述气路切换结构包括转动插设在套筒内的内柱，所述内柱的外壁与所述套筒内壁形成密封配合，所述进气孔和出气孔均开设在所述套筒上，若干进气孔沿套筒的周向依次间隔设置且处于同一高度，所述内柱的外壁上沿周向开设有环形凹槽，所述环形凹槽与出气孔相互正对，所述内柱内部还开设有导气通道，所述导气通道的出口位于环形凹槽的槽底上，所述导气通道的入口位于内柱的外壁上且能分别与任意一个进气孔相对并连通。通过在外壳内设置筒状的套筒，内柱位于套筒内转动，能够提升内柱的转动的稳定性。环形凹槽与出气孔相互正对，这样的结构使得不管内柱转动到哪一位置，环形凹槽均能与出气孔相连通，从而保证导气通路始终与出气孔连通。若干进气孔沿套筒的周向依次间隔设置且处于同一高度，因此通过内柱的转动，能使导气通道的入口分别与任意一个进气孔相对并连通，此时由于内柱的外壁与套筒内壁形成密封配合，因此其余的进气孔被内柱的外壁封堵，通过以上的结构便实现了导气通路在各个进气孔之间进行连通状态的切换。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，所述外壳具有一圆柱形的阀腔，所述套筒固定设置在外壳的阀腔内，所述套筒的外壁与外壳阀腔的腔壁形成密封配合，所述套筒的出气孔上连接有出气接头，所述检测元件为连接在出气接头上的真空计。气体流通至出气接头处截止，此时真空计检测出气孔处的气体压力。套筒的外壁与外壳阀腔的腔壁形成密封配合，避免气体从套筒与外壳之间溢出而导致检测的精度受到影响。通过出气接头来安装真空计，安装较为方便。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，所述导气通道包括开设在环形凹槽槽底的直孔一和位于直孔一上部的直孔二，所述直孔一和直孔二均沿内柱的径向设置，所述内柱内部沿轴向开设有直孔三，所述直孔二的外端端口为导气通道的入口，直孔一的外端端口为导气通道的出口，所述直孔一和直孔二的内端均位于内柱内部并通过直孔三相连通。导气通道采用多段式的直孔结构，加工较为方便，能够降低制造成本。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，所述内柱的上端连接有连接轴，所述连接轴与内柱同轴心设置，所述连接轴的外壁上固设有压片，所述外壳顶部的外壁上设有与进气孔数量相等的微动开关一，各微动开关一分别一一对应设置在各进气孔的上方，所述导气通道的入口与任意一个进气孔相连通时所述压片能按压对应微动开关一上的弹钢。在使用时，将各个微动开关一分别与控制器的输入端进行连接，在导气通道的入口与某一进气孔相连通时，该进气孔对应的微动开关一的弹钢被压片按下，此时该微动开关一触发并发送电信号给控制器，控制器便能得出是哪一个进气孔处于连通状态。微动开关为现有技术，可以在市场上直接购买得到。如中国专利文献公开的一种微动开关(授权公告号：CN207690688U)。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，所述内柱的横截面呈圆形，所述内柱的直径由上端至下端逐渐减小使内柱的外壁形成锥面状，所述套筒的内壁为与内柱外壁密封配合的锥孔。在实际制造过程中，内柱的外壁做成锥度较小的锥面，这样的结构不仅能保证内柱外壁与套筒内壁之间的密封性，而且还能方便内柱插入套筒中。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，若干排气孔开设在泵壳其中一侧的侧壁上，在泵壳另一侧的侧壁上沿螺杆的长度方向还开设有若干与泵壳内腔相通的安装孔，每个安装孔内分别安装有温度传感器，所述主动螺杆的螺旋槽与泵壳内壁之间形成多级压力腔二，各安装孔能与各压力腔二形成一一对应。螺杆真空泵中，两螺杆之间存在啮合间隙、螺杆与泵壳内壁之间同样存在间隙，为了保证螺杆真空泵的抽气性能，对于上述的间隙值应该控制在较为微小的数值以内，但是，泵壳和螺杆在运转过程中会出现热变形，因此需要对螺杆真空泵内腔温度进行测量。本检测结构通过在泵壳侧壁上设置了多个安装孔，且每个安装孔内设有温度传感器，通过这样的设计，使得本检测结构能够检测泵内不同压力腔二处的温度数据，为研究泵壳和螺杆热变性能提供数准确的参数，从而对螺杆真空泵的螺杆装配间隙的设计进行改善，以提升螺杆真空泵的性能。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，所述外壳外壁的顶部还设有微动开关二，所述微动开关二位于出气孔的上方，所述内柱转动至导气通道的入口位于微动开关二的下部时，所述导气通道的入口被封堵且所述压片按压所述微动开关二上的弹钢。当内柱转动至导气通道的入口被封堵时，即各个进气孔均不与导气通道连通，此时压片按压所述微动开关二上的弹钢，该微动开关二触发并发送电信号给控制器，控制器得出压力巡检阀处于待机状态。

在上述的螺杆真空泵的检测结构中，所述巡检阀还包括电机和减速器，所述减速器的输出轴与连接轴的同轴连接，所述减速器的输入轴与电机的转轴同轴连接。电机通过减速器带动连接轴转动，继而带动内柱进行转动。作为优选，电机采用步进电机。

与现有技术相比，本螺杆真空泵的检测结构具有以下优点：

1、螺杆真空泵的泵壳内设有多个排气孔和多个安装孔，且排气孔分别连接巡检阀，每个安装孔内设有温度传感器，本检测结构实现了内腔温度、压力的多点检测，为研究真空泵内部流场机理提供了准确、有效的理论依据。

2、本检测结构中的巡检阀中采用多进气孔、单出气孔的结构设计，巡检阀依靠气路切换结构进行各进气孔与出气孔之间连通状态的切换，这样便能通过一个检测元件检测螺杆真空泵内腔不同位置的压力，避免了不同检测元件之间存在个体差异导致检测精度低的问题，大大提升了检测的精度。

附图说明

图1是本螺杆真空泵检测结构的立体结构示意图。

图2是螺杆真空泵的剖视图。

图3是巡检阀的立体结构示意图。

图4是巡检阀的剖视图。

图5是巡检阀中内柱与套筒的连接示意图。

图6是巡检阀外壳的立体结构示意图。

图7是巡检阀内柱的立体结构示意图。

图中，1、泵壳；1a、内腔；1a1、压力腔一；1a2、压力腔二；1b、排气孔；1c、安装孔；2、巡检阀；21、外壳；211、阀腔；212、连接孔；22、套筒；221、进气孔；222、出气孔；23、内柱；231、环形凹槽；232、导气通道；232a、直孔一；232b、直孔二；232c、直孔三；24、连接轴；25、压片；26、微动开关一；27、微动开关二；28、电机；29、减速器；3、输气管；4、检测元件；5、被动螺杆；6、主动螺杆；7、排气接头；71、中心孔；8、出气接头；9、温度传感器；10、进气接头。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

实施例一

本螺杆真空泵的检测结构中，如图1和图2所示，螺杆真空泵包括具有内腔1a的泵壳1，内腔1a内转动设置有两根相互平行的主动螺杆6和被动螺杆5，主动螺杆6与真空泵的驱动电机相连，驱动电机图中未视图。被动螺杆5的螺旋槽与泵壳1内壁之间形成多级压力腔一1a1，主动螺杆6的螺旋槽与泵壳1内壁之间形成多级压力腔二1a2。本检测结构包括巡检阀2，泵壳1的其中一侧的侧壁上开设有五个排气孔1b，泵壳1另一侧的侧壁上开设有五个安装孔1c，排气孔1b和安装孔1c均有泵壳1内腔1a相连通。各排气孔1b能与各压力腔一1a1形成一一对应，每个安装孔1c内分别安装有温度传感器9，各安装孔1c能与各压力腔二1a2形成一一对应。每个排气孔1b内均固设有排气接头7，排气接头7具有轴向贯穿的中心孔71，每个排气接头7的外端连接有一根输气管3。排气接头7的内端不凸出泵壳1的内壁，保证螺杆能够顺畅的运转，通过排气接头7来连接输气管3，不仅连接方便，而且能够保证连接处密封性好，避免由于气体的泄露导致检测的精度受到影响。

如图3、图4和图6所示，巡检阀2包括外壳21、呈筒状的套筒22、电机28和减速器29，外壳21具有一圆柱形的阀腔211(如图6所示)，套筒22固定设置在外壳21的阀腔211内，套筒22的外壁与外壳21阀腔211的腔壁形成密封配合，以避免气体从套筒22与外壳21之间溢出而导致检测的精度受到影响。套筒22上开设有五个进气孔221和一个出气孔222，外壳21上与每个进气孔221相对还分别开设有连接孔212，每个连接孔212内安装有用于方便输气管3进行连接的进气接头10，螺杆真空泵上的五个排气孔1b与巡检阀2的五个进气孔221通过输气管3一一对应连通。套筒22的出气孔222上连接有出气接头8，出气接头8上连接有用于检测出气孔222气体压力的检测元件4，检测元件4优选为真空计，当然也可以采用其余各种压力传感器。

如图4、图5和图7所示，本巡检阀2还包括能使出气孔222与任意一个进气孔221相连通同时将其余进气孔221封堵的气路切换结构。气路切换结构包括转动插设在套筒22内的内柱23，内柱23的外壁与套筒22内壁形成密封配合，内柱23的横截面呈圆形，内柱23的直径由上端至下端逐渐减小使内柱23的外壁形成锥面状，套筒22的内壁为与内柱23外壁密封配合的锥孔。在实际制造过程中，内柱23的外壁做成锥度较小的锥面，这样的结构不仅能保证内柱23外壁与套筒22内壁之间的密封性，而且还能方便内柱23插入套筒22中。若干进气孔221沿套筒22的周向依次间隔设置且处于同一高度，内柱23的外壁上沿周向开设有环形凹槽231，环形凹槽231与出气孔222相互正对，内柱23内部还开设有导气通道232，导气通道232的出口位于环形凹槽231的槽底上，导气通道232的入口位于内柱23的外壁上且能分别与任意一个进气孔221相对并连通。具体地，导气通道232包括开设在环形凹槽231槽底的直孔一232a和位于直孔一232a上部的直孔二232b，直孔一232a和直孔二232b均沿内柱23的径向设置，内柱23内部沿轴向开设有直孔三232c，直孔二232b的外端端口为导气通道232的入口，直孔一232a的外端端口为导气通道232的出口，直孔一232a和直孔二232b的内端均位于内柱23内部并通过直孔三232c相连通。通过在外壳21内设置筒状的套筒22，内柱23位于套筒22内转动，能够提升内柱23的转动的稳定性。环形凹槽231与出气孔222相互正对，这样的结构使得不管内柱23转动到哪一位置，环形凹槽231均能与出气孔222相连通，从而保证导气通路始终与出气孔222连通。若干进气孔221沿套筒22的周向依次间隔设置且处于同一高度，因此通过内柱23的转动，能使导气通道232的入口分别与任意一个进气孔221相对并连通，此时由于内柱23的外壁与套筒22内壁形成密封配合，因此其余的进气孔221被内柱23的外壁封堵，通过以上的结构便实现了导气通路在各个进气孔221之间进行连通状态的切换。

本检测结构在泵壳1的侧壁上设有若干排气孔1b和安装孔1c，通过这样的设计，使得本检测结构能够检测螺杆真空泵不同压力腔二1a2处的温度数据，为研究泵壳1和螺杆热变性能提供数准确的参数，从而对螺杆真空泵的螺杆装配间隙的设计进行改善，以提升螺杆真空泵的性能。同时通过多个排气孔1b，能将螺杆真空泵内腔1a不同位置的气体引出，再流通至巡检阀2。而巡检阀2中，采用多进气孔221、单出气孔222的结构设计，在出气孔222处设置检测气体压力的检测元件4，巡检阀2依靠气路切换结构进行各进气孔221与出气孔222之间连通状态的切换，即可以实现任意一个进气孔221与出气孔222相连通同时使其余的进气孔221处于封堵状态，这样便能通过一个检测元件4检测螺杆真空泵内腔1a不同位置的压力，避免了不同检测元件4之间存在个体差异导致检测精度低的问题。因此，本检测结构不仅实现了内腔1a压力的多点检测，能分时检测螺纹真空泵内腔1a的压力变化、分布状况，与此同时还大大提升了检测的精度，为研究真空泵内部流场机理提供了准确、有效的理论依据。

如图3和图5所示，所述内柱23的上端连接有连接轴24，所述连接轴24与内柱23同轴心设置，减速器29的输出轴与连接轴24的同轴连接，减速器29的输入轴与电机28的转轴同轴连接。电机28通过减速器29带动连接轴24转动，继而带动内柱23进行转动。作为优选，电机28采用步进电机，步进电机通过控制器控制，可以带动内柱每次转动一定的角度。连接轴24的外壁上固设有压片25，外壳21顶部的外壁上设有与进气孔221数量相等的微动开关一26，各微动开关一26分别一一对应设置在各进气孔221的上方，导气通道232的入口与任意一个进气孔221相连通时压片25能按压对应微动开关一26上的弹钢。在使用时，将各个微动开关一26分别与控制器的输入端进行连接，在导气通道232的入口与某一进气孔221相连通时，该进气孔221对应的微动开关一26的弹钢被压片25按下，此时该微动开关一26触发并发送电信号给控制器，控制器便能得出是哪一个进气孔221处于连通状态。微动开关为现有技术，可以在市场上直接购买得到。如中国专利文献公开的一种微动开关授权公告号：CN207690688U。

如图3和图4所示，外壳21外壁的顶部还设有微动开关二27，微动开关二27位于出气孔222的上方，内柱23转动至导气通道232的入口位于微动开关二27的下部时，导气通道232的入口被封堵且压片25按压微动开关二27上的弹钢。当内柱23转动至导气通道232的入口被封堵时，即各个进气孔221均不与导气通道232连通，此时压片25按压微动开关二27上的弹钢，该微动开关二27触发并发送电信号给控制器，控制器得出压力巡检阀2处于待机状态。

实施例二

本实施例同实施例一的结构及原理基本相同，不一样的地方在于：进气孔221和排气孔1b的数量均为4个或6个。

实施例三

本实施例同实施例一的结构及原理基本相同，不一样的地方在于：对于气路切换结构，也可以采用电磁阀来进行控制五个进气孔221与出气孔222的连通状态，五个进气孔221分别通过管道与出气孔222相连通，在每个管道上分别设置控制对应管道开闭的电磁阀，每个电磁阀均连接控制，通过控制器控制任意一个电磁阀打开同时将其余电磁阀关闭。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了1、泵壳；1a、内腔；1a1、压力腔一；1a2、压力腔二；1b、排气孔；1c、安装孔；2、巡检阀；21、外壳；211、阀腔；212、连接孔；22、套筒；221、进气孔；222、出气孔；23、内柱；231、环形凹槽；232、导气通道；232a、直孔一；232b、直孔二；232c、直孔三；24、连接轴；25、压片；26、微动开关一；27、微动开关二；28、电机；29、减速器；3、输气管；4、检测元件；5、被动螺杆；6、主动螺杆；7、排气接头；71、中心孔；8、出气接头；9、温度传感器；10、进气接头等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。

Claims (9)

1.一种螺杆真空泵的检测结构，螺杆真空泵包括具有内腔(1a)的泵壳(1)，所述内腔(1a)内转动设置有两根相互平行的螺杆，其特征在于，本检测结构包括巡检阀(2)，所述泵壳(1)的侧壁上开设有若干与内腔(1a)相连通的排气孔(1b)，若干排气孔(1b)沿螺杆的长度方向依次间隔设置，所述巡检阀(2)上设有若干进气孔(221)和一个出气孔(222)，所述排气孔(1b)的数量与进气孔(221)的数量相等且通过输气管(3)一一对应连通，所述巡检阀(2)还包括有能使出气孔(222)与任意一个进气孔(221)相连通同时将其余进气孔(221)封堵的气路切换结构，所述巡检阀(2)的出气孔(222)处设有用于检测出气孔(222)气体压力的检测元件(4)，所述巡检阀(2)包括外壳(21)和固定设置在外壳(21)内的呈筒状的套筒(22)，所述气路切换结构包括转动插设在套筒(22)内的内柱(23)，所述内柱(23)的外壁与所述套筒(22)内壁形成密封配合，所述进气孔(221)和出气孔(222)均开设在所述套筒(22)上，若干进气孔(221)沿套筒(22)的周向依次间隔设置且处于同一高度，所述内柱(23)的外壁上沿周向开设有环形凹槽(231)，所述环形凹槽(231)与出气孔(222)相互正对，所述内柱(23)内部还开设有导气通道(232)，所述导气通道(232)的出口位于环形凹槽(231)的槽底上，所述导气通道(232)的入口位于内柱(23)的外壁上且能分别与任意一个进气孔(221)相对并连通。

2.根据权利要求1所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，两根螺杆分别为被动螺杆(5)和与真空泵驱动电机相连的主动螺杆(6)，所述被动螺杆(5)的螺旋槽与泵壳(1)内壁之间形成多级压力腔一(1a1)，各排气孔(1b)能与各压力腔一(1a1)形成一一对应。

3.根据权利要求1所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，每个排气孔(1b)内均固设有排气接头(7)，所述排气接头(7)具有轴向贯穿的中心孔(71)，每个排气接头(7)的外端连接一根上述的输气管(3)。

4.根据权利要求1或2或3所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，所述外壳(21)具有一圆柱形的阀腔(211)，所述套筒(22)固定设置在外壳(21)的阀腔(211)内，所述套筒(22)的外壁与外壳(21)阀腔(211)的腔壁形成密封配合，所述套筒(22)的出气孔(222)上连接有出气接头(8)，所述检测元件(4)为连接在出气接头(8)上的真空计。

5.根据权利要求1或2或3所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，所述导气通道(232)包括开设在环形凹槽(231)槽底的直孔一(232a)和位于直孔一(232a)上部的直孔二(232b)，所述直孔一(232a)和直孔二(232b)均沿内柱(23)的径向设置，所述内柱(23)内部沿轴向开设有直孔三(232c)，所述直孔二(232b)的外端端口为导气通道(232)的入口，直孔一(232a)的外端端口为导气通道(232)的出口，所述直孔一(232a)和直孔二(232b)的内端均位于内柱(23)内部并通过直孔三(232c)相连通。

6.根据权利要求1或2或3所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，所述内柱(23)的上端连接有连接轴(24)，所述连接轴(24)与内柱(23)同轴心设置，所述连接轴(24)的外壁上固设有压片(25)，所述外壳(21)顶部的外壁上设有与进气孔(221)数量相等的微动开关一(26)，各微动开关一(26)分别一一对应设置在各进气孔(221)的上方，所述导气通道(232)的入口与任一一个进气孔(221)相连通时所述压片(25)能按压对应微动开关一(26)上的弹钢。

7.根据权利要求1或2或3所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，所述内柱(23)的横截面呈圆形，所述内柱(23)的直径由上端至下端逐渐减小使内柱(23)的外壁形成锥面状，所述套筒(22)的内壁为与内柱(23)外壁密封配合的锥孔。

8.根据权利要求6所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，所述外壳(21)外壁的顶部还设有微动开关二(27)，所述微动开关二(27)位于出气孔(222)的上方，所述内柱(23)转动至导气通道(232)的入口位于微动开关二(27)的下部时，所述导气通道(232)的入口被封堵且所述压片(25)按压所述微动开关二(27)上的弹钢。

9.根据权利要求2所述的螺杆真空泵的检测结构，其特征在于，若干排气孔(1b)开设在泵壳(1)其中一侧的侧壁上，在泵壳(1)另一侧的侧壁上沿螺杆的长度方向还开设有若干与泵壳(1)内腔(1a)相通的安装孔(1c)，每个安装孔(1c)内分别安装有温度传感器(9)，所述主动螺杆(6)的螺旋槽与泵壳(1)内壁之间形成多级压力腔二(1a2)，各安装孔(1c)能与各压力腔二(1a2)形成一一对应。

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