CN109681417B - 一种真空系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种真空系统，属于真空设备技术领域。它解决了现有技术难以在不同工况条件下精确检测螺杆真空泵泵内压力变化规律的问题。本真空系统包括巡检阀、螺杆真空泵、真空罩、用于对真空罩进行补气的补气管路，补气管路上设有用于测量补气流量的流量计和用于控制补气流量大小的流量控制阀，泵壳的侧壁上开设有若干与泵壳的内腔相连通的排气孔，若干排气孔沿螺杆的长度方向依次间隔设置，巡检阀具有一个出气孔和若干进气孔，若干进气孔与若干排气孔一一对应连通，巡检阀还包括能使出气孔与任意一个进气孔相连通同时将其余进气孔封堵的气路切换结构。本发明能够更精确地对螺杆真空泵工作过程中的压力进行检测。

Description

一种真空系统

技术领域

本发明属于真空设备技术领域，涉及一种真空系统。

背景技术

真空系统已经广泛应用于镀膜、光学、化工等领域，真空系统的好坏直接决定着产品的质量。真空系统一般包括真空泵、真空罩和用于对真空罩进行补气的补气机构。螺杆真空泵是一种较为常用的抽真空设备，螺杆真空泵作为真空系统的动力源，直接影响整个真空系统的稳定性和可靠性，因此，对于螺杆真空泵性能的研究，是一个尤为重要的课题。然而目前，对螺杆真空泵内部被抽气体所经历的热力过程、不同进气压力(真空度)条件下对该热力过程的影响以及由此所带来的泵的性能指标的改变，尚缺乏深入研究。

螺杆真空泵是通过两个能够实现啮合的螺杆在内腔内做同步异向转动，进而产生吸气和排气作用的抽气设备。如中国专利文献公开的一种干式螺杆真空泵的自动化运行装置(授权公告号：CN206860444U)，该装置包括真空泵、进气组件、冷却水回水组件、排气组件、冷却水供水组件和吹扫气供气组件，第一温度检测变送器、第一压力检测变送器、第一电信号控制气动蝶阀和真空泵的进气口依次串连。第三压力检测变送器、第二电信号控制气动球阀和真空泵的冷却水回水口依次串连。第二压力检测变送器、第二电信号控制气动蝶阀和真空泵的排气口串连。第二温度检测变送器、压力变送器、流量变送器、第一电信号控制气动球阀和真空泵的冷却水供水口串连。该装置在进气组件和出气组件上分别设置压力检测变送器，从而检测螺杆真空泵进气口和出气口对应的压力值，进而获取螺杆真空泵的真空运行状态。目前螺杆真空泵对于泵内压力数据的获取，常规的都是如上述装置一样，通过测量螺杆真空泵进气口、出气口的压力数值，再依靠理论方程来进行推导，从而获取泵内压力的分布、变化规律。然而，这样得出的数据只是一个理论值，和实际值还是会存在一些偏差，因此会影响到真空泵性能研究的准确性和可靠性。而且，真空系统在工作时，补气量的不同，使得螺杆真空泵的进气压力不同，所测出的压力数值也会存在差异，而上述装置也难以进行测量不同程度的补气量或不同进气压力条件下，真空泵内腔的压力变化规律。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种真空系统，本发明所要解决的技术问题是：如何更精确地对螺杆真空泵工作过程中的压力进行检测。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种真空系统，包括螺杆真空泵、与螺杆真空泵进气口相连通的真空罩、用于对真空罩进行补气的补气管路，螺杆真空泵包括泵壳，所述泵壳内转动设置有两根相互平行的螺杆，所述补气管路上设有用于测量补气流量的流量计和用于控制补气流量大小的流量控制阀，其特征在于，本真空系统还包括巡检阀，所述泵壳的侧壁上开设有若干与泵壳的内腔相连通的排气孔，若干排气孔沿螺杆的长度方向依次间隔设置，所述巡检阀具有一个出气孔和若干进气孔，若干进气孔与若干排气孔一一对应连通，所述巡检阀还包括能使出气孔与任意一个进气孔相连通同时将其余进气孔封堵的气路切换结构，所述巡检阀上设有用于检测出气孔内气体压力的检测元件。

本真空系统中，通过改变流量控制阀的开度大小，可以调节不同的补气流量，实现螺杆真空泵不同进气压力条件下，实时检测螺杆真空泵内腔的压力值，进而得出其变化状况和分布规律，为研究真空泵内部流场机理、提升真空泵的性能提供理论依据。在对螺杆真空泵的内腔压力进行检测时，本案通过在泵壳的侧壁上开设若干排气孔，将螺杆真空泵内腔不同位置的气体引出，再流通至巡检阀。而巡检阀中，采用多进气孔、单出气孔的结构设计，仅在出气孔处设置检测气体压力的检测元件，巡检阀依靠气路切换结构进行各进气孔与出气孔之间连通状态的切换，即可以实现任意一个进气孔与出气孔相连通同时使其余的进气孔处于封堵状态，这样便能通过一个检测元件检测螺杆真空泵内腔不同位置的压力，避免了不同检测元件之间存在个体差异导致检测精度低的问题。因此，这样的检测结构不仅实现了泵内压力的多点检测，与此同时还大大提升了检测的精度。

在上述的真空系统中，所述补气管路包括与真空罩相连通的补气总管和若干根与补气总管相连通的补气支管，每个补气支管上分别设有上述流量计和上述流量控制阀，各流量计中至少具有两个流量计的量程互不相同，本真空系统还包括用于接收流量计发送的流量信号并能输出控制信号控制流量控制阀开度的控制器，各流量计和各流量控制阀均与控制器相连。控制器优选为单片机，流量计优选为远程浮子流量计，远程浮子流量计将检测的结果转换为电信号发送至控制器，控制器根据远程浮子流量计发送的信号控制流量控制阀的开度大小，从而调节对应补气支管的进气流量。在补气过程中，如果补气流量精度存在波动或误差，也会对真空泵压力的检测结果造成影响，因此，为了研究不同程度的补气量条件下，螺杆真空泵腔内的压力变化规律，首先得保证补气流量具有较高的精度。为了提升补气流量的精度，本真空系统采用了多管路进气式的补气结构，即在补气总管上连接有多根补气支管，而每根补气支管上分别连接有流量控制阀和流量计，而流量计的量程也具有不同，量程较小的流量计能够达到更高的检测精度，而量程较大的流量计能满足补气流量较大时的测量要求，这样在对真空罩进行补气时，针对不同程度的补气量，可以选择不同的补气支管进行补气，通过对多个不同量程流量计的逻辑选择及其进气阀开度的控制，能实现气体流量精确测量和流量稳定，避免补气流量精度的误差对真空泵压力的检测结果造成的影响。

在上述的真空系统中，所述泵壳的侧壁上还开设有若干与泵壳的内腔相连通的安装孔，若干安装孔沿螺杆的长度方向依次间隔设置，每个安装孔内分别设有温度传感器，两根螺杆分别为被动螺杆和与真空泵驱动电机相连的主动螺杆，所述主动螺杆的螺旋槽与泵壳内壁之间形成多个压力腔一，所述被动螺杆的螺旋槽与泵壳内壁之间形成多个压力腔二，各安装孔能与各压力腔一形成一一对应，各排气孔能与各压力腔二形成一一对应。主动螺杆和被动螺杆在转动过程中，当转动到某一瞬间状态时，各安装孔与各压力腔一形成一一对应，各排气孔与各压力腔二形成一一对应。螺杆真空泵中，不同位置泵内压力是不同的，而且两螺杆之间存在啮合间隙、螺杆与泵壳内壁之间也具有间隙，而为了保证螺杆真空泵的抽气性能，对于上述的间隙值应该控制在较为微小的数值以内，但是，泵壳和螺杆在运转过程中会出现热变形，因此需要对螺杆真空泵内腔温度进行测量。本真空系统采用各排气孔能与各压力腔二形成一一对应的结构，这样能够更精确地检测螺杆真空泵内腔压力的变化和分布状况，同时通过在泵壳侧壁上设置了多个安装孔，且每个安装孔内设有温度传感器，因此还能够检测泵内不同压力腔一处的温度数据，为研究泵壳和螺杆热变性能提供数准确的参数，从而对螺杆真空泵的内腔装配间隙的设计进行改善，以提升螺杆真空泵的性能。

在上述的真空系统中，所述排气孔的数量与进气孔的数量相等且通过输气管一一对应连通，若干排气孔开设有在泵壳其中一侧的侧壁上，若干安装孔开设在泵壳另一侧的侧壁上。通过输气管连接排气孔和进气孔，能方便巡检阀的设置，而且连接方便、密封性好，避免由于气体的泄露导致检测的精度受到影响。

在上述的真空系统中，所述巡检阀包括外壳和呈筒状的套筒，所述外壳具有一圆柱形的阀腔，所述套筒固定设置在外壳的阀腔内，所述套筒的外壁与外壳阀腔的腔壁形成密封配合，所述气路切换结构包括转动插设在套筒内的内柱，所述内柱的外壁与所述套筒内壁形成密封配合，所述进气孔和出气孔均开设在所述套筒上，若干进气孔沿套筒的周向依次间隔设置且处于同一高度，所述内柱的外壁上沿周向开设有环形凹槽，所述环形凹槽与出气孔相互正对，所述内柱内部还开设有导气通道，所述导气通道的出口位于环形凹槽的槽底上，所述导气通道的入口位于内柱的外壁上且能分别与任意一个进气孔相对并连通。通过在外壳内设置筒状的套筒，内柱位于套筒内转动，能够提升内柱的转动的稳定性。套筒的外壁与外壳阀腔的腔壁形成密封配合，避免气体从套筒与外壳之间溢出而导致检测的精度受到影响。环形凹槽与出气孔相互正对，这样的结构使得不管内柱转动到哪一位置，环形凹槽均能与出气孔相连通，从而保证导气通路始终与出气孔连通。若干进气孔沿套筒的周向依次间隔设置且处于同一高度，因此通过内柱的转动，能使导气通道的入口分别与任意一个进气孔相对并连通，此时由于内柱的外壁与套筒内壁形成密封配合，因此其余的进气孔被内柱的外壁封堵，通过以上的结构便实现了导气通路在各个进气孔之间进行连通状态的切换。

在上述的真空系统中，所述套筒的出气孔上连接有出气接头，所述检测元件为连接在出气接头上的真空计。气体流通至出气接头处截止，通过出气接头来安装真空计，安装较为方便。

在上述的真空系统中，所述导气通道包括开设在环形凹槽槽底的直孔一和位于直孔一上部的直孔二，所述直孔一和直孔二均沿内柱的径向设置，所述内柱内部沿轴向开设有直孔三，所述直孔二的外端端口为导气通道的入口，直孔一的外端端口为导气通道的出口，所述直孔一和直孔二的内端均位于内柱内部并通过直孔三相连通。导气通道采用多段式的直孔结构，加工较为方便，能够降低制造成本。

在上述的真空系统中，所述内柱的上端连接有连接轴，所述连接轴与内柱同轴心设置，所述连接轴的外壁上固设有压片，所述外壳顶部的外壁上设有与进气孔数量相等的微动开关一，各微动开关一分别一一对应设置在各进气孔的上方，所述导气通道的入口与任意一个进气孔相连通时所述压片能按压对应微动开关一上的弹钢。在使用时，将各个微动开关一分别与控制器进行连接，在导气通道的入口与某一进气孔相连通时，该进气孔对应的微动开关一的弹钢被压片按下，此时该微动开关一触发并发送电信号给控制器，控制器得出是哪一个进气孔处于连通状态。微动开关为现有技术，可以在市场上直接购买得到。如中国专利文献公开的一种微动开关(授权公告号：CN207690688U)。

在上述的真空系统中，所述内柱的横截面呈圆形，所述内柱的直径由上端至下端逐渐减小使内柱的外壁形成锥面状，所述套筒的内壁为与内柱外壁密封配合的锥孔。在实际制造过程中，内柱的外壁做成锥度较小的锥面，这样的结构不仅能保证内柱外壁与套筒内壁之间的密封性，而且还能方便内柱插入套筒中。

在上述的真空系统中，所述外壳外壁的顶部还设有微动开关二，所述微动开关二位于出气孔的上方，所述内柱转动至导气通道的入口位于微动开关二的下部时，所述导气通道的入口被封堵且所述压片按压所述微动开关二上的弹钢。当内柱转动至导气通道的入口被封堵时，即各个进气孔均不与导气通道连通，此时压片按压所述微动开关二上的弹钢，该微动开关二触发并发送电信号给控制器，控制器得出压力巡检阀处于待机状态。

在上述的真空系统中，所述巡检阀还包括电机和减速器，所述减速器的输出轴与连接轴的同轴连接，所述减速器的输入轴与电机的转轴同轴连接。电机通过减速器带动连接轴转动，继而带动内柱进行转动。作为优选，电机采用步进电机。

与现有技术相比，本真空系统具有以下优点：

1、本真空系统采用了多管路进气式的补气结构，而流量计的量程也具有不同，这样在对真空罩进行补气时，针对不同程度的补气量，可以选择不同的补气支管进行补气，通过对多个不同量程流量计的逻辑选择及其进气阀开度的控制，能实现气体流量精确测量和流量稳定，避免补气流量精度的误差对真空泵压力的检测结果造成的影响。

2、螺杆真空泵的泵壳内设有多个排气孔和多个安装孔，且排气孔分别连接巡检阀，每个安装孔内设有温度传感器，本检测结构实现了内腔温度、压力的多点检测，为研究真空泵内部流场机理提供了准确、有效的理论依据。

3、本检测结构中的巡检阀中采用多进气孔、单出气孔的结构设计，巡检阀依靠气路切换结构进行各进气孔与出气孔之间连通状态的切换，这样便能通过一个检测元件检测螺杆真空泵内腔不同位置的压力，避免了不同检测元件之间存在个体差异导致检测精度低的问题，大大提升了检测的精度。

附图说明

图1是本真空系统的正视图。

图2是补气管路的立体结构示意图。

图3是螺杆真空泵和巡检阀的连接示意图。

图4是螺杆真空泵的剖视图。

图5是巡检阀的立体结构示意图。

图6是巡检阀的剖视图。

图7是巡检阀中内柱与套筒的连接结构示意图。

图8是巡检阀中外壳的立体结构示意图。

图9是巡检阀中内柱的立体结构示意图。

图中，1、螺杆真空泵；1a、泵壳；1a1、进气口；1a2、排气孔；1a3、安装孔；1b、被动螺杆；1c、主动螺杆；1d、压力腔二；1e、压力腔一；2、真空罩；3、补气管路；31、补气总管；32、补气支管；4、流量控制阀；5、流量计；6、巡检阀；61、外壳；611、阀腔；612、连接孔；62、套筒；621、出气孔；622、进气孔；63、内柱；631、环形凹槽；632、导气通道；632a、直孔一；632b、直孔二；632c、直孔三；64、连接轴；65、微动开关一；66、微动开关二；67、压片；68、电机；69、减速器7、出气接头；8、输气管；9、检测元件；10、温度传感器；11、进气接头。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

实施例一

如图1和图2所示，本真空系统包括螺杆真空泵1、与螺杆真空泵1进气口1a1相连通的真空罩2、用于对真空罩2进行补气的补气管路3。补气管路3包括水平设置的补气总管31和六根与补气总管31相连通的补气支管32，补气总管31与真空罩2相连通，每个补气支管32上分别设有一个流量计5和一个流量控制阀4，本真空系统还包括用于接收流量计5发送的流量信号并能输出控制信号控制流量控制阀4开度的控制器，控制器图中未示出，各流量计5和各流量控制阀4均与控制器相连。控制器优选为单片机，流量计5优选为远程浮子流量计，远程浮子流量计将检测的结果转换为电信号发送至控制器，控制器根据远程浮子流量计发送的信号控制流量控制阀4的开度大小。

图中1和图2中各补气支管32从左至右依次为第一补气支管、第二补气支管、第三补气支管、第四补气支管、第五补气支管、第六补气支管，第一至第四补气支管的直径逐渐变大，而第五补气支管和第六补气支管的直径相等。其中各补气支管的量程分别为：

	补气支管	测量范围m3/h
			1	第一补气支管	0.07-0.7
2	第二补气支管	0.7-7
			3	第三补气支管	7-70
4	第四补气支管	15-150
			5	第五补气支管	15-150
6	第六补气支管	40-400

本真空系统通过改变流量控制阀4的开度大小，可以实现在不同程度的补气量下，得到距螺杆真空泵1各压力腔一1e或压力腔二1d的气体压力和温度，建立气体热力学计算模型，推导每一阶段内气体温度、压力、内能等热力学参数的变化规律，以及螺杆真空泵1排气功耗和排气温度随入口进气压力变化的规律，为螺杆真空泵1的结构设计与性能分析提供技术支持。而采用了多管路进气式的补气结构，即在补气总管31上连接有多根补气支管32，而每根补气支管32上分别连接有流量控制阀4和流量计5，各补气支管32上的流量计5的量程各不相同，量程较小的流量计5能够达到更高的检测精度，而量程较大的流量计5能满足补气流量较大时的测量要求，这样在对真空罩2进行补气时，针对不同程度的补气量，可以选择不同的补气支管32进行补气，通过对多个不同量程流量计5的逻辑选择及其进气阀开度的控制，能实现气体流量精确测量和流量稳定，避免补气流量精度的误差对真空泵压力的检测结果造成的影响。

螺杆真空泵1中，不同位置泵内压力是不同的，两螺杆之间存在啮合间隙、螺杆与泵壳1a内壁之间也具有间隙，而为了保证螺杆真空泵1的抽气性能，对于上述的间隙值应该控制在较为微小的数值以内，但是，泵壳1a和螺杆在运转过程中会出现热变形，因此需要对螺杆真空泵1内腔温度进行精确测量。为此，如图3和图4所示，螺杆真空泵1包括泵壳1a，泵壳1a内转动设置有相互平行的被动螺杆1b和与真空泵驱动电机68相连的主动螺杆1c，主动螺杆1c的螺旋槽与泵壳1a内壁之间形成多个压力腔一1e，被动螺杆1b的螺旋槽与泵壳1a内壁之间形成多个压力腔二1d，泵壳1a其中一侧的侧壁上开设有五个排气孔1a2，另一侧的侧壁上开设有五个安装孔1a3，排气孔1a2和安装孔1a3均与泵壳1a的内腔相连通，每个安装孔1a3内分别设有温度传感器10，各安装孔1a3能与各压力腔一1e形成一一对应，各排气孔1a2能与各压力腔二1d形成一一对应，这样能够更精确地检测螺杆真空泵1内腔压力和温度的变化和分布状况，为研究泵壳1a和螺杆热变性能提供数准确的参数，从而对螺杆真空泵1的内腔装配间隙的设计进行改善，以提升螺杆真空泵1的性能。

如图5所示，本真空系统还包括巡检阀6，巡检阀6具有一个出气孔621和五个进气孔622，五个进气孔622与五个排气孔1a2通过输气管8一一对应连通。巡检阀6还包括能使出气孔621与任意一个进气孔622相连通同时将其余进气孔622封堵的气路切换结构，出气孔621上连接有出气接头7，出气接头7上连接有用于检测出气孔621内气体压力的检测元件9，检测元件9优选为真空计，当然也可以采用其余各种压力传感器。

具体地，如图5和图6所示，巡检阀6包括外壳61、电机68、减速器69和呈筒状的套筒62，外壳61具有一圆柱形的阀腔611，套筒62固定设置在外壳61的阀腔611内，套筒62的外壁与外壳61阀腔611的腔壁形成密封配合，气路切换结构包括转动插设在套筒62内的内柱63，内柱63的外壁与套筒62内壁形成密封配合，进气孔622开设在套筒62上，内柱63的横截面呈圆形，内柱63的直径由上端至下端逐渐减小使内柱63的外壁形成锥面状，套筒62的内壁为与内柱63外壁密封配合的锥孔。在实际制造过程中，内柱63的外壁做成锥度较小的锥面，这样的结构不仅能保证内柱63外壁与套筒62内壁之间的密封性，而且还能方便内柱63插入套筒62中。

如图6和图7所示，若干进气孔622沿套筒62的周向依次间隔设置且处于同一高度，如图9所示，内柱63的外壁上沿周向开设有环形凹槽631，环形凹槽631与出气孔621相互正对，内柱63内部还开设有导气通道632，导气通道632的出口位于环形凹槽631的槽底上，导气通道632的入口位于内柱63的外壁上且能分别与任意一个进气孔622相对并连通。导气通道632包括开设在环形凹槽631槽底的直孔一632a和位于直孔一632a上部的直孔二632b，直孔一632a和直孔二632b均沿内柱63的径向设置，内柱63内部沿轴向开设有直孔三632c，直孔二632b的外端端口为导气通道632的入口，直孔一632a和直孔二632b的内端均位于内柱63内部并通过直孔三632c相连通。环形凹槽631与出气孔621相互正对，这样的结构使得不管内柱63转动到哪一位置，环形凹槽631均能与出气孔621相连通，从而保证导气通路始终与出气孔621连通。若干进气孔622沿套筒62的周向依次间隔设置且处于同一高度，因此通过内柱63的转动，能使导气通道632的入口分别与任意一个进气孔622相对并连通，此时由于内柱63的外壁与套筒62内壁形成密封配合，因此其余的进气孔622被内柱63的外壁封堵，通过以上的结构便实现了导气通路在各个进气孔622之间进行连通状态的切换，这样便能通过一个真空计检测螺杆真空泵1内腔不同压力腔二1d内的压力，避免了不同真空计之间存在个体差异导致检测精度低的问题。因此，这样的检测结构不仅实现了泵内压力的多点检测，与此同时还大大提升了检测的精度。

如图8所示，外壳61上与每个进气孔622相对还分别开设有连接孔612，每个连接孔612内连接有进气接头11，输气管8的一端与排气孔1a2连通，输气管8的另一端连接进气接头11并与进气孔622相连通。

如图5和图7所示，内柱63的上端连接有连接轴64，连接轴64与内柱63同轴心设置，减速器69的输出轴与连接轴64的同轴连接，减速器69的输入轴与电机68的转轴同轴连接。电机68通过减速器69带动连接轴64转动，继而带动内柱63进行转动。作为优选，电机68采用步进电机68。连接轴64的外壁上固设有压片67，外壳61顶部的外壁上设有与进气孔622数量相等的微动开关一65，各微动开关一65分别一一对应设置在各进气孔622的上方，导气通道632的入口与任意一个进气孔622相连通时压片67能按压对应微动开关一65上的弹钢。在使用时，将各个微动开关一65分别与控制器进行连接，在导气通道632的入口与某一进气孔622相连通时，该进气孔622对应的微动开关一65的弹钢被压片67按下，此时该微动开关一65触发并发送电信号给控制器，控制器得出是哪一个进气孔622处于连通状态。微动开关为现有技术，可以在市场上直接购买得到。如中国专利文献公开的一种微动开关(授权公告号：CN207690688U)。

进一步的，如图5所示，外壳61顶部的外壁还设有微动开关二66，微动开关二66位于出气孔621的上方，内柱63转动至导气通道632的入口位于微动开关二66的下部时，导气通道632的入口被封堵且压片67按压微动开关二66上的弹钢。当内柱63转动至导气通道632的入口被封堵时，即各个进气孔622均不与导气通道632连通，此时压片67按压微动开关二66上的弹钢，该微动开关二66触发并发送电信号给控制器，控制器得出压力巡检阀6处于待机状态。

实施例二

本实施例同实施例一的结构及原理基本相同，不一样的地方在于：补气支管32的数量为5根，5根补气支管32的管径均各不相同。

实施例三

本实施例同实施例一的结构及原理基本相同，不一样的地方在于：补气支管32的数量为7根，7根补气支管32的管径均各不相同。

实施例四

本实施例同实施例一的结构及原理基本相同，不一样的地方在于：进气孔622和排气孔1a2的数量均为4个或6个。

实施例五

本实施例同实施例一的结构及原理基本相同，不一样的地方在于：流量计5为滴管流量计。

实施例六

本实施例同实施例一的结构及原理基本相同，不一样的地方在于：对于气路切换结构，也可以采用电磁阀来进行控制五个进气孔622与出气孔621的连通状态，五个进气孔622分别通过管道与出气孔621相连通，在每个管道上分别设置控制对应管道开闭的电磁阀，每个电磁阀均连接控制，通过控制器控制任意一个电磁阀打开同时将其余电磁阀关闭。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了1、螺杆真空泵；1a、泵壳；1a1、进气口；1a2、排气孔；1a3、安装孔；1b、被动螺杆；1c、主动螺杆；1d、压力腔一；1e、压力腔二；2、真空罩；3、补气管路；31、补气总管；32、补气支管；4、流量控制阀；5、流量计；6、巡检阀；61、外壳；611、阀腔；612、连接孔；62、套筒；621、出气孔；622、进气孔；63、内柱；631、环形凹槽；632、导气通道；632a、直孔一；632b、直孔二；632c、直孔三；64、连接轴；65、微动开关一；66、微动开关二；67、压片；68、电机；69、减速器7、出气接头；8、输气管；9、检测元件；10、温度传感器；11、进气接头等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。

Claims (9)

1.一种真空系统，包括螺杆真空泵(1)、与螺杆真空泵(1)进气口(1a1)相连通的真空罩(2)、用于对真空罩(2)进行补气的补气管路(3)，螺杆真空泵(1)包括泵壳(1a)，所述泵壳(1a)内转动设置有两根相互平行的螺杆，所述补气管路(3)上设有用于控制补气流量大小的流量控制阀(4),其特征在于，所述补气管路(3)上还设有用于测量补气流量的流量计(5)，本真空系统还包括巡检阀(6)，所述泵壳(1a)的侧壁上开设有若干与泵壳(1a)的内腔相连通的排气孔(1a2)，若干排气孔(1a2)沿螺杆的长度方向依次间隔设置，所述巡检阀(6)具有一个出气孔(621)和若干进气孔(622)，若干进气孔(622)与若干排气孔(1a2)一一对应连通，所述巡检阀(6)还包括能使出气孔(621)与任意一个进气孔(622)相连通同时将其余进气孔(622)封堵的气路切换结构，所述巡检阀(6)上设有用于检测出气孔(621)内气体压力的检测元件(9)，所述巡检阀(6)包括外壳(61)和固定设置在外壳(61)内的呈筒状的套筒(62)，所述气路切换结构包括转动插设在套筒(62)内的内柱(63)，所述内柱(63)的外壁与所述套筒(62)内壁形成密封配合，所述进气孔(622)和出气孔(621)均开设在所述套筒(62)上，若干进气孔(622)沿套筒(62)的周向依次间隔设置且处于同一高度，所述内柱(63)的外壁上沿周向开设有环形凹槽(631)，所述环形凹槽(631)与出气孔(621)相互正对，所述内柱(63)内部还开设有导气通道(632)，所述导气通道(632)的出口位于环形凹槽(631)的槽底上，所述导气通道(632)的入口位于内柱(63)的外壁上且能分别与任意一个进气孔(622)相对并连通。

2.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述补气管路(3)包括与真空罩(2)相连通的补气总管(31)和若干根与补气总管(31)相连通的补气支管(32)，每个补气支管(32)上分别设有上述流量计(5)和上述流量控制阀(4)，各流量计(5)中至少具有两个流量计(5)的量程互不相同，本真空系统还包括用于接收流量计(5)发送的流量信号并能输出控制信号控制流量控制阀(4)开度的控制器，各流量计(5)和各流量控制阀(4)均与控制器相连。

3.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述泵壳(1a)的侧壁上还开设有若干与泵壳(1a)内腔相连通的安装孔(1a3)，若干安装孔(1a3)沿螺杆的长度方向依次间隔设置，每个安装孔(1a3)内分别设有温度传感器(10)。

4.根据权利要求3所述的真空系统，其特征在于，两根螺杆分别为被动螺杆(1b)和与真空泵驱动电机(68)相连的主动螺杆(1c)，所述主动螺杆(1c)的螺旋槽与泵壳(1a)内壁之间形成多个压力腔一(1e)，所述被动螺杆(1b)的螺旋槽与泵壳(1a)内壁之间形成多个压力腔二(1d)，各安装孔(1a3)能与各压力腔一(1e)形成一一对应，各排气孔(1a2)能与各压力腔二(1d)形成一一对应。

5.根据权利要求3或4所述的真空系统，其特征在于，所述排气孔(1a2)的数量与进气孔(622)的数量相等且通过输气管(8)一一对应连通，若干排气孔(1a2)开设有在泵壳(1a)其中一侧的侧壁上，若干安装孔(1a3)开设在泵壳(1a)另一侧的侧壁上。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的真空系统，其特征在于，所述外壳(61)具有一圆柱形的阀腔(611)，所述套筒(62)固定设置在外壳(61)的阀腔(611)内，所述套筒(62)的外壁与外壳(61)阀腔(611)的腔壁形成密封配合，所述套筒(62)的出气孔(621)上连接有出气接头(7)，所述检测元件(9)为连接在出气接头(7)上的真空计。

7.根据权利要求1或2或3或4所述的真空系统，其特征在于，所述导气通道(632)包括开设在环形凹槽(631)槽底的直孔一(632a)和位于直孔一(632a)上部的直孔二(632b)，所述直孔一(632a)和直孔二(632b)均沿内柱(63)的径向设置，所述内柱(63)内部沿轴向开设有直孔三(632c)，所述直孔二(632b)的外端端口为导气通道(632)的入口，直孔一(632a)的外端端口为导气通道(632)的出口，所述直孔一(632a)和直孔二(632b)的内端均位于内柱(63)内部并通过直孔三(632c)相连通。

8.根据权利要求1或2或3或4所述的真空系统，其特征在于，所述内柱(63)的上端连接有连接轴(64)，所述连接轴(64)与内柱(63)同轴心设置，所述连接轴(64)的外壁上固设有压片(67)，所述外壳(61)顶部的外壁上设有与进气孔(622)数量相等的微动开关一(65)，各微动开关一(65)分别一一对应设置在各进气孔(622)的上方，所述导气通道(632)的入口与任意一个进气孔(622)相连通时所述压片(67)能按压对应微动开关一(65)上的弹钢。

9.根据权利要求1或2或3或4所述的真空系统，其特征在于，所述内柱(63)的横截面呈圆形，所述内柱(63)的直径由上端至下端逐渐减小使内柱(63)的外壁形成锥面状，所述套筒(62)的内壁为与内柱(63)外壁密封配合的锥孔。

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