CN109311605A - 旋转夹持装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种旋转夹持装置，其包括：基座；夹持器，可对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。

Description

旋转夹持装置
技术领域
本发明涉及一种旋转夹持装置。
背景技术
在基板的制备过程中，基板被固定在基板传送架被传送。最近，为了基板的轻量化，多种方法被执行，例如，基板以固定在基板传送架上的状态，垂直于地面直立地进入至溅射室。为了将基板稳定地固定在基板传送架上使用夹持装置。
现有的夹持装置，为了使夹件从卸除位置还原至夹持位置，使用压缩弹簧。压缩弹簧反复进行压缩和伸展从而产生质点，质点造成基板的品质及收率降低。此外，以压缩弹簧运作的夹件仅在压缩弹簧的压缩和伸展范围内运作，因此运作范围较小。运作范围较小的夹件不能稳定地固定棱角弯曲的基板。此外，压缩弹簧自身的还原力较大，因此对基板具有强力冲击的危险性。
如上所述的背景技术，发明者在本发明的导出过程中作为保有或已知技术，不能被视为本发明申请前对于一般公众公开的已知技术。
发明内容
发明所要解决的课题
一个实施例的目的在于使用磁性部件作为夹持位置还原手段，消减质点的发生。
一个实施例的目的在于使夹件在夹持位置附近往夹持位置移动时速度减小。
一个实施例的目的在于使所述夹件对于基板具有向上凸出的曲线形状的路径。
用于解决课题的手段
根据一个实施例，旋转夹持装置可包括：基座；夹持器，对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；和链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。
所述链接连杆可包括：下部连杆，分别旋转地链接至所述基座和所述夹持器；上部连杆，配置在所述下部连杆的上侧，分别旋转地链接至所述夹持器和所述基座。
所述基座的至少一部分被固定在基板传送架，且所述基座、所述夹持器、所述下部连杆及所述上部连杆，可经所述夹持器处被施加的力，以1自由度4节连杆运动。
所述旋转夹持装置可进一步包括驱动部，通过对所述夹持器施加垂直于所述基板的力，使所述夹件在夹持所述基板的夹持位置和从所述基板中被卸除的卸除位置之间移动。
所述夹件在所述夹持位置附近往所述夹持位置移动的期间，越靠近所述夹持位置所述夹件的垂直方向的速度越慢。
所述夹件包括用于接触所述基板上面的平坦支撑面，且在所述夹持位置中，所述下部连杆和所述上部连杆互相平行，且所述驱动部对所述夹持器施加垂直方向的力时，所述夹持器的瞬间速度具有与所述支撑面垂直的方向。
所述驱动部对夹持器施加垂直方向的力的期间，所述夹持器的上侧向所述基座倾斜。
所述旋转夹持装置可进一步包括止动件，防止所述下部连杆对于所述基座超过一定角度进行旋转。
所述止动件可与所述基座脱卸式地链接。
所述旋转夹持装置可进一步包括至少一个以上的磁性部件，被配置在所述基座和所述夹持器中任何一个以上，并利用磁力使所述夹件从所述卸除位置移动至所述夹持位置。
所述至少一个以上的磁性部件包括：配置在所述基座中的第一磁铁；和配置所述夹持器中的第二磁铁，且所述第一磁铁中与所述第二磁铁相对的面和所述第二磁铁中与所述第一磁铁相对的面可具有相同的极性。
在所述夹持位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁可相对地位于上侧。
在所述卸除位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁可相对地位于下侧。
所述夹件在所述夹持位置和所述卸除位置之间移动的期间，以垂直于所述第一磁铁的表面的垂直方向为基准，所述第一磁铁的中心与所述第二磁铁重叠，且所述第二磁铁的中心与所述第一磁铁重叠。
根据一个实施例的旋转夹持装置，可包括：基座；夹持器，对于所述基座相对移动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；和链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器，使所述夹件对于所述基板沿向上凸出的曲线形状的路径移动。
发明效果
根据一个实施例，使用磁性部件作为夹持位置还原手段，可消减质点的发生，从而可以改善基板的品质和收率。
此外使夹件在与基板接触的夹持位置附近往夹持位置移动时速度减小，因此可减少在夹持过程中对于基板的冲击。
此外，由于夹件对于基板沿向上凸出的曲线形状的路径移动，因此，夹件能够使棱角弯曲的基板被稳定地固定。
附图说明
图1是示出根据一个实施例的旋转夹持装置的立体图。
图2是根据一个实施例的旋转夹持装置的分解图。
图3是根据一个实施例的夹件在夹持位置时，旋转夹持装置的截面图。
图4是根据一个实施例的夹件在卸除位置时，旋转夹持装置的截面图。
图5是根据一个实施例的旋转夹持装置运作图。
图6是随时间驱动部升降速度与夹件运作速度相比较的图表。
图7是根据一个实施例的夹件被运作的放大图。
具体实施方式
以下参照示例性附图对实施例进行详细说明。各附图的结构要素中附加有参照符号，应注意，对于相同的结构要素就算在其他附图中被示出也尽可能使用相同的参照符号，相关的已知结构或功能的详细说明被判断使发明模糊不清时，该详细说明被省略。
此外，在说明实施例的结构要素时，可使用第一、第二、A、B、(a)、(b)等用语。该用语仅为了将该结构要素与其他结构要素区分开。该用语并不限制相应结构要素的本质，或是次序或顺序等。当一些结构要素被记载与其他结构要素“链接”，“结合”或“接入”时，该结构要素可以是直接与其他结构要素连接或接入，也可以理解为各结构要素之间“链接”，“结合”或“接入”有其他结构要素。
任何一个实施例中包含的结构要素以及包含共同功能的结构要素在其他实施例中也使用相同的名称进行说明。在没有相反的记载的情况下，任何一个实施例中记载的说明在其他实施例中也可被适用，且重复的范围内省略具体的说明。
图1是示出根据一个实施例的旋转夹持装置的立体图。图2是根据一个实施例的旋转夹持装置的分解图。
参照图1和图2，旋转夹持装置1可包括：基座10、夹持器20、链接连杆30、夹件40、和磁性部件50。链接连杆30可包括下部连杆31和上部连杆32。磁性部件50可包括配置在基座10中的第一磁铁51和配置在夹持器20中的第二磁铁52。旋转夹持装置1能够以1自由度(degree of freedom)4节连杆运动。有关4节连杆运动的内容以下将参照图3和图4进行具体说明。
在对各结构要素进行具体说明之前，为了便于说明，如以下来定义夹件40的位置。将夹件夹持基板(未示图)的位置定义为夹持位置(参照图3)。夹件从基板(未示图)被卸除后位于最高处的位置被定义为卸除位置(参照图4)。
基座10以被固定在基板传送架(未示图)上的状态，可与基板传送架一起移动。例如，基座10可以与基板传送架一起对于地面平行或垂直移动或是旋转。基座10可包括：基座主体110、基座延伸部120、第一磁铁收容部130、第一磁铁固定部140、第一孔11和第二孔12。
基座主体110的至少一部分可固定在基板传送架上。基座主体110中一面可配置用于固定至基板传送架的固定手段111。例如，固定手段111包括能够插入至基板传送架的一部分的突出部。固定手段111可在基板传送架中被脱卸。例如，固定手段111可与基板传送架螺丝结合。旋转夹持装置1的一个结构破损时，使用者可容易地将旋转夹持装置1从基板传送架中分离从而来交换破损的结构要素。固定手段111脱卸方法并不局限于螺丝结合。
基座延伸部120可从基座主体110的一侧被延伸。例如，基座延伸部120可以是从基座主体110的一侧垂直方向往下延伸的杆形状。基座延伸部120的下侧可配置用于结合止动件90的槽。
第一磁铁收容部130可具备用于收容第一磁铁51的槽。例如，第一磁铁51为圆柱形时，第一磁铁收容部130可具备对应于第一磁铁51形状的圆柱形槽。在这种情况下，第一磁铁收容部130的直径可以比第一磁铁51的直径大。第一磁铁51和第一磁铁收容部130的形状并不局限于此。
第一磁铁固定部140可固定第一磁铁51，使第一磁铁51不会从第一磁铁收容部130中脱离。例如，第一磁铁固定部140可包括磁铁支持件141和第一磁铁固定螺栓142。第一磁铁固定螺栓142的外部表面可形成有螺纹，且磁铁支持件141的内部表面可形成有与所述外部表面对应的螺纹。第一磁铁51和磁铁支持件141的中心具备第一磁铁固定螺栓142可穿过的孔。第一磁铁51被置于磁铁支持件141的表面后，可经穿过第一磁铁51和磁铁支持件141的孔的第一磁铁固定螺栓142被固定。
第一孔11和第二孔12为了分别固定链接连杆30的一端可配置在基座10中。第一孔11可贯穿基座10被形成。下部连杆31的一端可旋转地链接至第一孔11。第二孔12可与第一孔11以一定的间距被隔开，并可贯穿基座10。上部连杆32的一端可旋转地链接至第二孔12。例如，第一孔11和第二孔12可配置在延伸部120。
夹持器20可对于基座10相对地平移运动及旋转运动。例如，夹持器20和基座10可通过彼此长度不同的下部连杆31和上部连杆32被链接。通过下部连杆31和上部连杆32彼此不同的旋转半径，夹持器20能够在对于基座10相对地垂直方向平移运动的同时，以夹持器20向基座10倾斜的方向旋转运动。例如，夹持器20对于基座10相对地向上(upward)移动时，夹持器20的上部部分(upper part)可向基座10倾斜。夹持器20可包括支持件主体210、支持件延伸部220、第二磁铁固定螺栓230、第三孔21、和第四孔22。
支持件主体210可从驱动部(未示图)接收到施加的力。
支持件延伸部220可以是从支持主体210的一侧延伸的杆形状。支持件延伸部220可具备用于收容第二磁铁52的槽。例如，第二磁铁52为圆柱形时，支持件延伸部220可具备对应于第二磁铁52形状的圆柱形槽。在这种情况下，支持件延伸部220的槽比第二磁铁52的直径大。支持件延伸部220的槽和第二磁铁52的形状并不局限于此。
第二磁铁固定螺栓230可以使第二磁铁52不脱离支持件延伸部220来固定第二磁铁52。例如，第二磁铁固定螺栓230可插入到支持件延伸部220的槽中。第二磁铁52被置于支持件延伸部220的槽表面后，被压至第二磁铁固定螺栓230从而可以被固定。
第三孔21和第四孔22为了分别固定链接连杆30的另一端可配置在夹持器20中。第三孔21可配置为贯穿夹持器20。下部连杆31的一端可旋转地链接至第三孔21。第四孔22可与第三孔21以一定的间距被隔开，并可贯穿夹持器20。上部连杆32的一端可旋转地连接至第四孔22。例如，第三孔21可配置在支持件主体210中。例如，第四孔22可配置在支持件延伸部220。
夹件40可配置在夹持器20中，并可夹持基板(未示图)。夹件40为了稳定地固定高温处理的基板，可以是耐热性材料。此外，夹件40为了减少施加于基板的冲击力，可包括缓冲部件。夹件40可包括：夹件头部410和夹件延伸部420。
夹件头部410可包括：用于与基板的上面接触的平坦的支撑面411(参照图3)。为了防止基板的破损，夹件头部410的棱角可被切边(fillet)处理
夹件延伸部420可从夹件头部410的一侧垂直方向延伸。夹件延伸部420可脱卸式地链接至夹持器20。例如，夹件延伸部420可经夹件固定螺栓421被脱卸式地链接至夹持器20。夹件延伸部420与夹持器20脱卸式地链接的方法并不局限于此。此外，夹件延伸部420与夹持器20可以是一体型。
链接连杆30可链接基座10和夹持器20。链接连杆30可包括：下部连杆31和上部连杆32。
下部连杆31可与基座10和夹持器20分别旋转地链接。例如，下部连杆31的一端可铰链式链接至基座10，且另一端可铰链式链接至夹持器20。
上部连杆32可与基座10和夹持器20分别旋转地链接。例如，上部连杆32的一端可铰链式链接至基座10，且另一端可铰链式链接至夹持器20。上部连杆32可配置在下部连杆31的上侧。例如，上部连杆32相比下部连杆31，可位于离止动件90更远的位置。
基座10、夹持器20、下部连杆31及上部连杆32可经驱动部(未示图)施加的力以1自由度4节连杆运动。
止动件90可防止下部连杆31对于基座10超过一定角度进行旋转。例如，下部连杆31与基座10形成90度角时，止动件90可与下部连杆31接触。因此，下部连杆31可经止动件90被进一步限制旋转。即，止动件90使下部连杆31不会对于基座10以一定角度下降，因此，夹件40可通过适当的力使基板固定在基板传送架。
止动件90可被脱卸地链接至基座10。例如，止动件90可与基座延伸部120的一侧螺丝结合。但止动件90与基座延伸部120脱卸式结合的方法并不局限于此。通过如上所述的结构，可以交换止动件90，从而可以调节下部连杆31的运作半径。因此，无需交换整个旋转夹持装置1，也可对应多种基板厚度来适当地选择止动件90进行使用。此外，止动件90与下部连杆31反复地接触，就算形态被改变，用户也可以容易地交换新的止动件90，并可通过其来继续维持下部连杆31的旋转角度限制功能。此外，与上述不同，止动件90还可以与基座10一体形成。
磁性部件50可配置在基座10和夹持器20中任何一个以上中，并利用磁力使夹件40从卸除位置往夹持位置移动。磁性部件50可包括：配置在基座10中的第一磁铁51和配置在夹持器20中的第二磁铁52。
结合部件80可使链接连杆30旋转地固定在基座10和夹持器20中。结合部件80可包括：多个转轴811、812、813、814；多个轴承821、822、823、824；以及多个固定环831、832、833、834。
多个转轴811、812、813、814可包括：贯穿第一孔11的第一转轴811、贯穿第二孔12的第二转轴812、贯穿第三孔21的第三转轴813及贯穿第四孔22的第四转轴814。下部连杆31可经第一转轴811和第三转轴813被链接。例如，下部连杆31的一端与第一转轴811链接，且另一端可与第三转轴813链接。上部连杆32可经第二转轴812和第四转轴814被链接。例如，上部连杆32的一端与第二转轴812链接，且另一端可与第四转轴814链接。
多个轴承821、822、823、824可包括：支撑第一转轴811的第一轴承821；支撑第二转轴812的第二轴承822；支撑第三转轴813的第三轴承823；支撑第四转轴814的第四轴承824。多个轴承821、822、823、824可减少多个转轴811、812、813、814和链接连杆30之间的摩擦力，从而可减少因摩擦力的热损失能量。此外，多个轴承821、822、823、824可提高多个转轴811、812、813、814和链接连杆30的内构成。
多个固定环831、832、833、834可包括：防止第一转轴811脱离的第一固定环831；防止第二转轴812脱离的第二固定环832；防止第三转轴813脱离的第三固定环833；防止第四转轴814脱离的第四固定环834。
图3是根据一个实施例的夹件在夹持位置时旋转夹持装置的截面图，且图4是根据一个实施例的夹件在卸除位置时旋转夹持装置的截面图。
参照图3和图4，驱动部70可对夹持器20施加垂直于基板的力。驱动部70可使夹件40在夹持位置和卸除位置之间移动。例如，驱动部70往垂直于基板的方向向上移动期间，驱动部70可以接触夹持器20的下面对夹持器20施加上方力。经驱动部70，配置在夹持器20中的夹件40可从夹持位置移动至卸除位置。驱动部70在上升至最大高度时，夹件40可位于卸除位置。驱动部70从最大高度下降至原始高度时，夹持器20以维持与驱动部70相接触的状态往下移动。驱动部70移动至足够低的位置时，夹持器20可经重力和/或磁性部件的斥力将基板(S)固定至基板传送架(F)。
例如，夹持位置中，下部连杆31和上部连杆32可互相平行。此外，夹持器20的瞬心(instant center)可在下部连杆31的延伸线(extension line)和上部连杆32的延伸线相遇的点被形成。因此，下部连杆31和上部连杆32平行时，夹持器20的瞬心位于垂直于夹持器20方向的无限距位置，因此，在夹持位置附近，夹持器20的瞬间速度可以是垂直于支撑面411(参照图3)的方向。
根据如上所述的结构，在夹持位置附近，夹持器20的瞬间速度可以是垂直于夹件40的支撑面的方向。即，夹件40的支撑面411接触基板(未示图)的上面，同时可施加垂直方向的力，因此，在提高支撑基板的力的同时可以防止基板不需要的力被施加，因此可以防止基板变形或破损。
例如，下部连杆31的两侧旋转轴之间的长度可以比上部连杆32的两侧旋转轴之间的长度更长。也就是说，第一孔11和第三孔21之间的间距可以比第二孔12和第四孔22之间的间距更大。此外，第一孔11和第二孔12之间的间距可以比第三孔21和第四孔22之间的间距更小。例如，如图3和图4所示，第一孔11和第二孔12之间的间距、第二孔12和第四孔22之间的间距、第四孔22和第三孔21之间的间距、及第三孔21和第一孔11之间的间距的比按顺序可以是18.4:20:20.59:34。
根据如上所述的结构，在夹持位置中夹持器20从驱动部接收到施加的垂直方向的力时，下部连杆31以第一角度时针方向旋转的同时，上部连杆32以大于第一角度的第二角度时针方向旋转，因此夹持器20不仅可以对于基座10向上平移运动，夹持器20的上侧还可以往基座10倾斜的方向旋转运动。通过如上所述的结构，夹件40从卸除位置移动至夹持位置时，基板的边部分往上弯曲的情况下，夹件40也可稳定地将基板的边部分保持。此外，通过如上所述的4节连杆运动的结构，就算驱动部70的垂直方向的速度不变，夹件40的垂直方向的速度也可改变。夹件40的速度相关内容将参照图5至图7进行详细说明。
第一磁铁51中与第二磁铁52相对的面与第二磁铁52中与第一磁铁51相对的面具有相同的极性。例如，第一磁铁51和第二磁铁52可以是互相以N极相对或以S极相对。在这种情况下，第一磁铁51和第二磁铁52可互相作用斥力。
在夹持位置中，第一磁铁51可位于第二磁铁52上侧。例如，在夹持位置中，以基座延伸部120的下面为基准，第一磁铁51的中心比第二磁铁52的中心位于更上侧。在这种情况下，第一磁铁51将第二磁铁52往垂直于第一磁铁51表面的方向推，结果，通过链接连杆31、32的结构，可将第二磁铁52往驱动部70侧推。夹持器20可通过第一磁铁51和第二磁铁52之间作用的斥力以及第一磁铁51和第二磁铁52之间的链接关系，将基板(S)固定至基板传送架(F)。
根据上述结构，通过第一磁铁51和第二磁铁52之间的斥力使夹件40移动，与使用弹簧的情况相比较，可减少因内部部件之间的摩擦等发生的问题。因此可改善基板的品质和收率。
此外，与基板传送架和地面形成的角度无关，旋转夹持装置1可稳定地保持基板。例如，基板传送架对于地面垂直地被配置时，夹持器20可以几乎不受到重力影响。磁性部件50的斥力不受到基板传送架的角度的影响，只是第一磁铁51和第二磁铁52的相对位置关系受到影响。因此，就算基板传送架对于地面垂直地被配置，夹件40也可以经第一磁铁51和第二磁铁52之间的斥力，使基板稳定地固定在基板传送架上。
在卸除位置中，第一磁铁51比第二磁铁52可位于更下侧的位置。例如，在卸除位置中，以基座延伸部120的下面为基准，第一磁铁51的中心比第二磁铁52的中心可位于更下侧的位置。在这种情况下，第一磁铁51可将第二磁铁52往垂直于第一磁铁51表面的方向推，结果，通过链接连杆31、32的结构，可将第二磁铁52往远离驱动部70的方向推。
总之，夹件40在夹持位置和卸除位置之间移动期间，以垂直于第一磁铁51表面的方向为基准，第一磁铁51的中心与第二磁铁52重叠(overlap)，且第二磁铁52的中心与第一磁铁51重叠。通过如上所述的结构，可以防止第一磁铁51和第二磁铁52之间的引力作用。当第一磁铁51位于最大高度时，第一磁铁51的中心与第二磁铁52不重叠时，第一磁铁51和第二磁铁52之间可具引力作用。例如，第一磁铁51的上侧和第二磁铁52的背面可互相具引力作用。根据一个实施例，如上所述夹持器20在卸除位置和夹持位置之间移动期间，第一磁铁51和第二磁铁52之间不具引力作用，因此可使夹持器20的下降运动更顺畅。
图5是根据一个实施例的旋转夹持装置运作图，且图6是随时间驱动部升降速度与夹件运作速度相比较的图表，且图7是根据一个实施例的夹件被运作的放大图。
参照图5至图7，旋转夹持装置1中，在基座10被固定的状态下，基座10、下部连杆31、夹持器20及上部连杆32能够以1自由度4节连杆运动。
驱动部70能够以垂直方向反复上升和下降运动。夹件40的速度可通过设计所述1自由度4节连杆运动结构和控制驱动部70的速度被控制。
例如，驱动部70能够以一定的速度上升运动使夹件40从夹持位置移动至卸除位置。例如，驱动部70能够以一定的速度下降运动使夹件40从卸除位置移动至夹持位置。此外，就算驱动部70以一定的速度上升及下降运动，以4节连杆运动的特性夹件40的速度也可改变。如上所述，下部连杆31和上部连杆32在夹持位置中可以互相平行。此外，下部连杆31与上部连杆32相比长度更长，并由此一定移动距离期间的下部连杆31的旋转角度比上部连杆32的旋转角度大。因此，驱动部70以一定速度上升时，夹持器20不仅可以对于基座10相对地平移运动，夹持器20还能够以上侧向基座10倾斜的方向倾斜。结果，夹持器20的上侧配置的夹件40也同样，不仅可以对于基座10相对地平移运动，还能够以基座10为基准旋转运动。
由于平移运动和旋转运动同时进行的结构，夹件40的速度在夹持位置附近具有从夹持位置越往卸除位置移动越快的区间。图6是示出驱动部70以6.5mm/sec的速度上升期间夹件40的上升速度的图表。如图6中所示出的，夹件40的上升速度在夹持位置附近从夹持位置开始越靠近卸除位置越快。同样，驱动部70以一定速度下降时，夹件40在夹持位置附近往夹持位置移动期间，夹件40的速度越来越慢。
通过如上所述的结构，就算驱动部70的速度不变，也可结构性地调整夹件40的速度。夹件40接近基板(S)时，由于以较低的速度接近基板(S)，因此可消减对于基板(S)的冲击。在此所述的仅为一个示例，驱动部70的速度并不是必须不变的。
此外，夹件40可通过链接连杆30对于基板(S)沿向上凸出的曲线形状路径移动。由于夹件40可对于基板沿向上凸出的曲线形状路径移动，因此棱角部分弯曲的基板也可被稳定地固定。
如上所述，虽然参照附图及实施例进行了说明，但本发明并不局限于在此所述的实施例，本发明所属技术领域中的普通技术人员可通过上述记载进行多种变形和修改。例如，说明的技术可通过与说明的方法不同的顺序被执行，和/或说明的构成要素可通过与说明的方法不同的形态被结合或组合。通过其他结构要素或均等物被替换或置换也可获得适当的效果。

Claims (14)

1.一种旋转夹持装置，包括：
基座；
夹持器，对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；
夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及
链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。
2.根据权利要求1所述的旋转夹持装置，其中，所述链接连杆包括：
下部连杆，分别旋转地链接至所述基座和所述夹持器；以及
上部连杆，配置在所述下部连杆的上侧，分别旋转地链接至所述夹持器和所述基座。
3.根据权利要求2所述的旋转夹持装置，其中，
所述基座的至少一部分被固定在基板传送架，
所述基座、所述夹持器、所述下部连杆及所述上部连杆，经所述夹持器处被施加的力，以1自由度4节连杆运动。
4.根据权利要求3所述的旋转夹持装置，进一步包括驱动部，通过对所述夹持器施加垂直于所述基板的力，使所述夹件在夹持所述基板的夹持位置和从所述基板中被卸除的卸除位置之间移动。
5.根据权利要求4所述的旋转夹持装置，其中，
所述夹件在所述夹持位置附近往所述夹持位置移动的期间，越靠近所述夹持位置所述夹件的垂直方向的速度越慢。
6.根据权利要求4所述的旋转夹持装置，其中，
所述夹件包括用于接触所述基板上面的平坦支撑面，
在所述夹持位置中，所述下部连杆和所述上部连杆互相平行，且
所述驱动部对所述夹持器施加垂直方向的力时，所述夹持器的瞬间速度具有与所述支撑面垂直的方向。
7.根据权利要求4所述的旋转夹持装置，其中，
所述下部连杆的两侧旋转轴之间的长度比所述下部连杆的两侧旋转轴之间的长度更长，且所述驱动部对所述夹持器施加垂直方向的力的期间，所述夹持器的上侧向所述基座倾斜。
8.根据权利要求4所述的旋转夹持装置，进一步包括止动件，防止所述下部连杆对于所述基座超过一定角度进行旋转，
所述止动件与所述基座脱卸式地链接。
9.根据权利要求4所述的旋转夹持装置，进一步包括至少一个以上的磁性部件，被配置在所述基座和所述夹持器中任何一个以上，并利用磁力使所述夹件从所述卸除位置移动至所述夹持位置。
10.根据权利要求9所述的旋转夹持装置，其中，
所述至少一个以上的磁性部件包括：
配置在所述基座中的第一磁铁；以及
配置所述夹持器中的第二磁铁，
所述第一磁铁中与所述第二磁铁相对的面和所述第二磁铁中与所述第一磁铁相对的面具有相同的极性。
11.根据权利要求10所述的旋转夹持装置，其中，
所述夹持位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁相对地位于上侧。
12.根据权利要求10所述的旋转夹持装置，其中，
在所述卸除位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁相对地位于下侧。
13.根据权利要求10所述的旋转夹持装置，其中，
所述夹件在所述夹持位置和所述卸除位置之间移动的期间，以垂直于所述第一磁铁的表面的垂直方向为基准，所述第一磁铁的中心与所述第二磁铁重叠，且所述第二磁铁的中心与所述第一磁铁重叠。
14.一种旋转夹持装置，包括：
基座；
夹持器，对于所述基座相对移动；
夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及
链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器，使所述夹件对于所述基板沿向上凸出的曲线形状的路径移动。
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