TW201901849A - 旋轉夾持裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明實施例提供一種旋轉夾持裝置，所述旋轉夾持裝置可包括：基座；夾持器，可對於所述基座相對地平移運動及旋轉運動；夾件，配置於所述夾持器中，用於夾持基板；和連結連杆，用於連結所述基座和所述夾持器。

Description

旋轉夾持裝置
本發明是有關於一種旋轉夾持裝置。
在基板的製備過程中，基板被固定在基板傳送架被傳送。最近，為了基板的輕量化，多種方法被執行，例如，基板以固定在基板傳送架上的狀態，垂直於地面直立地進入至濺射室。為了將基板穩定地固定在基板傳送架上使用夾持裝置。
現有的夾持裝置，為了使夾件從卸載位置還原至夾持位置，使用壓縮彈簧。壓縮彈簧反復進行壓縮和伸展從而產生質點，質點造成基板的品質及良率降低。此外，以壓縮彈簧運作的夾件僅在壓縮彈簧的壓縮和伸展範圍內運作，因此運作範圍較小。運作範圍較小的夾件不能穩定地固定棱角彎曲的基板。此外，壓縮彈簧自身的還原力較大，因此對基板具有強力衝擊的危險性。
如上所述的背景技術，發明者在本發明的產出過程中作為保有或已知技術，不能被視為本發明申請前對於一般公眾公開的已知技術。
一個實施例的目的在於使用磁性部件作為夾持位置還原手段，消減質點的發生。
一個實施例的目的在於使夾件在夾持位置附近往夾持位置移動時速度減小。
一個實施例的目的在於使所述夾件對於基板具有向上凸出的曲線形狀的路徑。
根據一個實施例，旋轉夾持裝置可包括：基座；夾持器，對於所述基座相對地平移運動及旋轉運動；夾件，配置於所述夾持器中，用於夾持基板；和連結連杆，用於連結所述基座和所述夾持器。
所述連結連杆可包括：下部連杆，可旋轉地連結至所述基座和所述夾持器；上部連杆，配置在所述下部連杆的上側，可旋轉地連結至所述夾持器和所述基座。
所述基座的至少一部分被固定在基板傳送架，且所述基座、所述夾持器、所述下部連杆及所述上部連杆，可經所述夾持器處被施加的力，以1自由度4節連杆運動。
所述旋轉夾持裝置可進一步包括驅動部，通過對所述夾持器施加垂直於所述基板的力，使所述夾件在夾持所述基板的夾持位置和從所述基板中被卸載的卸載位置之間移動。
所述夾件在所述夾持位置附近往所述夾持位置移動的期間，越靠近所述夾持位置所述夾件的垂直方向的速度越慢。
所述夾件包括用於接觸所述基板上面的平坦支撐面，且在所述夾持位置中，所述下部連杆和所述上部連杆互相平行，且所述驅動部對所述夾持器施加垂直方向的力時，所述夾持器的瞬間速度具有與所述支撐面垂直的方向。
所述驅動部對夾持器施加垂直方向的力的期間，所述夾持器的上側向所述基座傾斜。
所述旋轉夾持裝置可進一步包括止動件，防止所述下部連杆對於所述基座超過一定角度進行旋轉。
所述止動件可與所述基座可拆卸地連結。
所述旋轉夾持裝置可進一步包括至少一個以上的磁性部件，被配置在所述基座和所述夾持器中任何一個以上，並利用磁力使所述夾件從所述卸載位置移動至所述夾持位置。
所述至少一個以上的磁性部件包括：配置在所述基座中的第一磁鐵；和配置於所述夾持器中的第二磁鐵，且所述第一磁鐵與所述第二磁鐵相對的面和所述第二磁鐵與所述第一磁鐵相對的面可具有相同的極性。
在所述夾持位置中，所述第一磁鐵比所述第二磁鐵可相對地位於上側。
在所述卸載位置中，所述第一磁鐵比所述第二磁鐵可相對地位於下側。
所述夾件在所述夾持位置和所述卸載位置之間移動的期間，以垂直於所述第一磁鐵的表面的垂直方向為基準，所述第一磁鐵的中心與所述第二磁鐵重疊，且所述第二磁鐵的中心與所述第一磁鐵重疊。
根據一個實施例的旋轉夾持裝置，可包括：基座；夾持器，對於所述基座相對移動；夾件，配置於所述夾持器中，用於夾持基板；和連結連杆，用於連結所述基座和所述夾持器，使所述夾件對於所述基板沿向上凸出的曲線形狀的路徑移動。
根據一個實施例，使用磁性部件作為夾持位置還原手段，可消減質點的發生，從而可以改善基板的品質和良率。
此外使夾件在與基板接觸的夾持位置附近往夾持位置移動時速度減小，因此可減少在夾持過程中對於基板的衝擊。
此外，由於夾件對於基板沿向上凸出的曲線形狀的路徑移動，因此，夾件能夠使棱角彎曲的基板被穩定地固定。
以下參照示例性附圖對實施例進行詳細說明。各附圖的結構要素中附加有參照符號，應注意，對於相同的結構要素就算在其他附圖中被示出也盡可能使用相同的參照符號，相關的已知結構或功能的詳細說明被判斷使發明模糊不清時，該詳細說明被省略。
此外，在說明實施例的結構要素時，可使用第一，第二，A, B, (a), (b)等用語。該用語僅為了將該結構要素與其他結構要素區分開。該用語並不限制相應結構要素的本質，或是次序或順序等。當一些結構要素被記載與其他結構要素「連結」，「結合」或「接入」時，該結構要素可以是直接與其他結構要素連接或接入，也可以理解為各結構要素之間「連結」，「結合」或「接入」有其他結構要素。
任何一個實施例中包含的結構要素以及包含共同功能的結構要素在其他實施例中也使用相同的名稱進行說明。在沒有相反的記載的情況下，任何一個實施例中記載的說明在其他實施例中也可被適用，且重複的範圍內省略具體的說明。
圖1是示出根據一個實施例的旋轉夾持裝置的立體圖。圖2是根據一個實施例的旋轉夾持裝置的分解圖。
參照圖1和圖2，旋轉夾持裝置1可包括：基座10、夾持器20、連結連杆30、夾件40、和磁性部件50。連結連杆30可包括下部連杆31和上部連杆32。磁性部件50可包括配置在基座10中的第一磁鐵51和配置在夾持器20中的第二磁鐵52。旋轉夾持裝置1能夠以1自由度（degree of freedom）4節連杆運動。有關4節連杆運動的內容以下將參照圖3和圖4進行具體說明。
在對各結構要素進行具體說明之前，為了便於說明，如以下來定義夾件40的位置。將夾件夾持基板（圖未示）的位置定義為夾持位置（參照圖3）。夾件從基板（圖未示）被卸載後位於最高處的位置被定義為卸載位置（參照圖4）。
基座10以被固定在基板傳送架（圖未示）上的狀態，可與基板傳送架一起移動。例如，基座10可以與基板傳送架一起對於地面平行或垂直移動或是旋轉。基座10可包括：基座主體110、基座延伸部120、第一磁鐵收容部130、第一磁鐵固定部140、第一孔11和第二孔12。
基座主體110的至少一部分可固定在基板傳送架上。基座主體110中一面可配置用於固定至基板傳送架的固定手段111。例如，固定手段111包括能夠插入至基板傳送架的一部分的突出部。固定手段111可在基板傳送架中被拆卸。例如，固定手段111可與基板傳送架螺絲結合。旋轉夾持裝置1的一個結構破損時，使用者可容易地將旋轉夾持裝置1從基板傳送架中分離從而來更換破損的結構要素。固定手段111拆卸方法並不局限於螺絲結合。
基座延伸部120可從基座主體110的一側被延伸。例如，基座延伸部120可以是從基座主體110的一側垂直方向往下延伸的杆形狀。基座延伸部120的下側可配置用於結合止動件90的槽。
第一磁鐵收容部130可具備用於收容第一磁鐵51的槽。例如，第一磁鐵51為圓柱形時，第一磁鐵收容部130可具備對應於第一磁鐵51形狀的圓柱形槽。在這種情況下，第一磁鐵收容部130的直徑可以比第一磁鐵51的直徑大。第一磁鐵51和第一磁鐵收容部130的形狀並不局限於此。
第一磁鐵固定部140可固定第一磁鐵51，使第一磁鐵51不會從第一磁鐵收容部130中脫離。例如，第一磁鐵固定部140可包括磁鐵支持件141和第一磁鐵固定螺栓142。第一磁鐵固定螺栓142的外部表面可形成有螺紋，且磁鐵支持件141的內部表面可形成有與所述外部表面對應的螺紋。第一磁鐵51和磁鐵支持件141的中心具備第一磁鐵固定螺栓142可穿過的孔。第一磁鐵51被置於磁鐵支持件141的表面後，可經穿過第一磁鐵51和磁鐵支持件141的孔的第一磁鐵固定螺栓142被固定。
第一孔11和第二孔12為了分別固定連結連杆30的一端可配置在基座10中。第一孔11可貫穿基座10被形成。下部連杆31的一端可旋轉地連結至第一孔11。第二孔12可與第一孔11以一定的間距被隔開，並可貫穿基座10。上部連杆32的一端可旋轉地連結至第二孔12。例如，第一孔11和第二孔12可配置在延伸部120。
夾持器20可對於基座10相對地平移運動及旋轉運動。例如，夾持器20和基座10可通過彼此長度不同的下部連杆31和上部連杆32被連結。通過下部連杆31和上部連杆32彼此不同的旋轉半徑，夾持器20能夠在對於基座10相對地垂直方向平移運動的同時，以夾持器20向基座10傾斜的方向旋轉運動。例如，夾持器20對於基座10相對地向上（upward）移動時，夾持器20的上部部分（upper part）可向基座10傾斜。夾持器20可包括支持件主體210、支持件延伸部220、第二磁鐵固定螺栓230、第三孔21、和第四孔22。
支持件主體210可從驅動部（圖未示）接收到施加的力。
支持件延伸部220可以是從支持主體210的一側延伸的杆形狀。支持件延伸部220可具備用於收容第二磁鐵52的槽。例如，第二磁鐵52為圓柱形時，支持件延伸部220可具備對應於第二磁鐵52形狀的圓柱形槽。在這種情況下，支持件延伸部220的槽比第二磁鐵52的直徑大。支持件延伸部220的槽和第二磁鐵52的形狀並不局限於此。
第二磁鐵固定螺栓230可以使第二磁鐵52不脫離支持件延伸部220來固定第二磁鐵52。例如，第二磁鐵固定螺栓230可插入到支持件延伸部220的槽中。第二磁鐵52被置於支持件延伸部220的槽表面後，被壓至第二磁鐵固定螺栓230從而可以被固定。
第三孔21和第四孔22為了分別固定連結連杆30的另一端可配置在夾持器20中。第三孔21可配置為貫穿夾持器20。下部連杆31的一端可旋轉地連結至第三孔21。第四孔22可與第三孔21以一定的間距被隔開，並可貫穿夾持器20。上部連杆32的一端可旋轉地連接至第四孔22。例如，第三孔21可配置在支持件主體210中。例如，第四孔22可配置在支持件延伸部220。
夾件40可配置在夾持器20中，並可夾持基板（圖未示）。夾件40為了穩定地固定高溫處理的基板，可以是耐熱性材料。此外，夾件40為了減少施加於基板的衝擊力，可包括緩衝部件。夾件40可包括：夾件頭部410和夾件延伸部420。
夾件頭部410可包括：用於與基板的上面接觸的平坦的支撐面411（參照圖3）。為了防止基板的破損，夾件頭部410的棱角可被切邊（fillet）處理
夾件延伸部420可從夾件頭部410的一側垂直方向延伸。夾件延伸部420可拆卸地連結至夾持器20。例如，夾件延伸部420可經夾件固定螺栓421被可拆卸地連結至夾持器20。夾件延伸部420與夾持器20可拆卸地連結的方法並不局限於此。此外，夾件延伸部420與夾持器20可以是一體型。
連結連杆30可連結基座10和夾持器20。連結連杆30可包括：下部連杆31和上部連杆32。
下部連杆31可與基座10和夾持器20分別可旋轉地連結。例如，下部連杆31的一端可鉸鏈式連結至基座10，且另一端可鉸鏈式連結至夾持器20。
上部連杆32可與基座10和夾持器20分別可旋轉地連結。例如，上部連杆32的一端可鉸鏈式連結至基座10，且另一端可鉸鏈式連結至夾持器20。上部連杆32可配置在下部連杆31的上側。例如，上部連杆32相比下部連杆31，可位於離止動件90更遠的位置。
基座10、夾持器20、下部連杆31及上部連杆32可經驅動部（圖未示）施加的力以1自由度4節連杆運動。
止動件90可防止下部連杆31對於基座10超過一定角度進行旋轉。例如，下部連杆31與基座10形成90度角時，止動件90可與下部連杆31接觸。因此，下部連杆31可經止動件90被進一步限制旋轉。即，止動件90使下部連杆31不會對於基座10以一定角度下降，因此，夾件40可通過適當的力使基板固定在基板傳送架。
止動件90可被拆卸地連結至基座10。例如，止動件90可與基座延伸部120的一側螺絲結合。但止動件90與基座延伸部120可拆卸式結合的方法並不局限於此。通過如上所述的結構，可以更換止動件90，從而可以調節下部連杆31的運作半徑。因此，無需更換整個旋轉夾持裝置1，也可對應多種基板厚度來適當地選擇止動件90進行使用。此外，止動件90與下部連杆31反復地接觸，就算形態被改變，使用者也可以容易地更換新的止動件90，並可通過其來繼續維持下部連杆31的旋轉角度限制功能。此外，與上述不同，止動件90還可以與基座10一體形成。
磁性部件50可配置在基座10和夾持器20中任何一個以上中，並利用磁力使夾件40從卸載位置往夾持位置移動。磁性部件50可包括：配置在基座10中的第一磁鐵51和配置在夾持器20中的第二磁鐵52。
結合部件80可使連結連杆30可旋轉地固定在基座10和夾持器20中。結合部件80可包括：多個轉軸811、812、813、814；多個軸承821、822、823、824；以及多個固定環83。
多個轉軸811、812、813、814可包括：貫穿第一孔11的第一轉軸811、貫穿第二孔12的第二轉軸812、貫穿第三孔21的第三轉軸813及貫穿第四孔22的第四轉軸814。下部連杆31可經第一轉軸811和第三轉軸813被連結。例如，下部連杆31的一端與第一轉軸811連結，且另一端可與第三轉軸813連結。上部連杆32可經第二轉軸812和第四轉軸814被連結。例如，上部連杆32的一端與第二轉軸812連結，且另一端可與第四轉軸814連結。
多個軸承821、822、823、824可包括：支撐第一轉軸811的第一軸承821；支撐第二轉軸812的第二軸承822；支撐第三轉軸813的第三軸承823；支撐第四轉軸814的第四軸承824。多個軸承821、822、823、824可減少多個轉軸811、812、813、814和連結連杆30之間的摩擦力，從而可減少因摩擦力的熱損失能量。此外，多個軸承821、822、823、824可增強多個轉軸811、812、813、814和連結連杆30的內部結構。
多個固定環83可包括：防止第一轉軸811脫離的第一固定環831；防止第二轉軸812脫離的第二固定環832；防止第三轉軸813脫離的第三固定環833；防止第四轉軸814脫離的第四固定環834。
圖3是根據一個實施例的夾件在夾持位置時旋轉夾持裝置的截面圖，且圖4是根據一個實施例的夾件在卸載位置時旋轉夾持裝置的截面圖。
參照圖3和圖4，驅動部70可對夾持器20施加垂直於基板的力。驅動部70可使夾件40在夾持位置和卸載位置之間移動。例如，驅動部70往垂直於基板的方向向上移動期間，驅動部70可以接觸夾持器20的下面對夾持器20施加上方力。經驅動部70，配置在夾持器20中的夾件40可從夾持位置移動至卸載位置。驅動部70在上升至最大高度時，夾件40可位於卸載位置。驅動部70從最大高度下降至原始高度時，夾持器20以維持與驅動部70相接觸的狀態往下移動。驅動部70移動至足夠低的位置時，夾持器20可經重力和/或磁性部件的斥力將基板S固定至基板傳送架F。
例如，夾持位置中，下部連杆31和上部連杆32可互相平行。此外，夾持器20的瞬心（instant center）可在下部連杆31的延伸線（extension line）和上部連杆32的延伸線相遇的點被形成。因此，下部連杆31和上部連杆32平行時，夾持器20的瞬心位於垂直於夾持器20方向的無限距位置，因此，在夾持位置附近，夾持器20的瞬間速度可以是垂直於支撐面411（參照圖3）的方向。
根據如上所述的結構，在夾持位置附近，夾持器20的瞬間速度可以是垂直於夾件40的支撐面的方向。即，夾件40的支撐面411接觸基板（圖未示）的上面，同時可施加垂直方向的力，因此，在提高支撐基板的力的同時可以防止基板不需要的力被施加，因此可以防止基板變形或破損。
例如，下部連杆31的兩側旋轉軸之間的長度可以比上部連杆32的兩側旋轉軸之間的長度更長。也就是說，第一孔11和第三孔21之間的間距可以比第二孔12和第四孔22之間的間距更大。此外，第一孔11和第二孔12之間的間距可以比第三孔21和第四孔22之間的間距更小。例如，如圖3和圖4所示，第一孔11和第二孔12之間的間距、第二孔12和第四孔22之間的間距、第四孔22和第三孔21之間的間距、及第三孔21和第一孔11之間的間距的比按順序可以是18.4: 20: 20.59: 34。
根據如上所述的結構，在夾持位置中夾持器20從驅動部接收到施加的垂直方向的力時，下部連杆31以第一角度時針方向旋轉的同時，上部連杆32以大於第一角度的第二角度時針方向旋轉，因此夾持器20不僅可以對於基座10向上平移運動，夾持器20的上側還可以往基座10傾斜的方向旋轉運動。通過如上所述的結構，夾件40從卸載位置移動至夾持位置時，基板的邊部分往上彎曲的情況下，夾件40也可穩定地將基板的邊部分保持。此外，通過如上所述的4節連杆運動的結構，就算驅動部70的垂直方向的速度不變，夾件40的垂直方向的速度也可改變。夾件40的速度相關內容將參照圖5至圖7進行詳細說明。
第一磁鐵51中與第二磁鐵52相對的面與第二磁鐵52中與第一磁鐵51相對的面具有相同的極性。例如，第一磁鐵51和第二磁鐵52可以是互相以N極相對或以S極相對。在這種情況下，第一磁鐵51和第二磁鐵52可互相作用斥力。
在夾持位置中，第一磁鐵51可位於第二磁鐵52上側。例如，在夾持位置中，以基座延伸部120的下面為基準，第一磁鐵51的中心比第二磁鐵52的中心位於更上側。在這種情況下，第一磁鐵51將第二磁鐵52往垂直於第一磁鐵51表面的方向推，結果，通過連結連杆31、32的結構，可將第二磁鐵52往驅動部70側推。夾持器20可通過第一磁鐵51和第二磁鐵52之間作用的斥力以及第一磁鐵51和第二磁鐵52之間的連結關係，將基板S固定至基板傳送架F。
根據上述結構，通過第一磁鐵51和第二磁鐵52之間的斥力使夾件40移動，與使用彈簧的情況相比較，可減少因內部部件之間的摩擦等發生的問題。因此可改善基板的品質和良率。
此外，與基板傳送架和地面形成的角度無關，旋轉夾持裝置1可穩定地保持基板。例如，基板傳送架對於地面垂直地被配置時，夾持器20可以幾乎不受到重力影響。磁性部件50的斥力不受到基板傳送架的角度的影響，只是第一磁鐵51和第二磁鐵52的相對位置關係受到影響。因此，就算基板傳送架對於地面垂直地被配置，夾件40也可以經第一磁鐵51和第二磁鐵52之間的斥力，使基板穩定地固定在基板傳送架上。
在卸載位置中，第一磁鐵51比第二磁鐵52可位於更下側的位置。例如，在卸載位置中，以基座延伸部120的下面為基準，第一磁鐵51的中心比第二磁鐵52的中心可位於更下側的位置。在這種情況下，第一磁鐵51可將第二磁鐵52往垂直於第一磁鐵51表面的方向推，結果，通過連結連杆31、32的結構，可將第二磁鐵52往遠離驅動部70的方向推。
總之，夾件40在夾持位置和卸載位置之間移動期間，以垂直於第一磁鐵51表面的方向為基準，第一磁鐵51的中心與第二磁鐵52重疊（overlap），且第二磁鐵52的中心與第一磁鐵51重疊。通過如上所述的結構，可以防止第一磁鐵51和第二磁鐵52之間的引力作用。當第一磁鐵51位於最大高度時，第一磁鐵51的中心與第二磁鐵52不重疊時，第一磁鐵51和第二磁鐵52之間可具引力作用。例如，第一磁鐵51的上側和第二磁鐵52的背面可互相具引力作用。根據一個實施例，如上所述夾持器20在卸載位置和夾持位置之間移動期間，第一磁鐵51和第二磁鐵52之間不具引力作用，因此可使夾持器20的下降運動更順暢。
圖5是根據一個實施例的旋轉夾持裝置運作圖，且圖6是隨時間驅動部升降速度與夾件運作速度相比較的圖表，且圖7是根據一個實施例的夾件被運作的放大圖。
參照圖5至圖7，旋轉夾持裝置1中，在基座10被固定的狀態下，基座10、下部連杆31、夾持器20及上部連杆32能夠以1自由度4節連杆運動。
驅動部70能夠以垂直方向反復上升和下降運動。夾件40的速度可通過設計所述1自由度4節連杆運動結構和控制驅動部70的速度被控制。
例如，驅動部70能夠以一定的速度上升運動使夾件40從夾持位置移動至卸載位置。例如，驅動部70能夠以一定的速度下降運動使夾件40從卸載位置移動至夾持位置。此外，就算驅動部70以一定的速度上升及下降運動，以4節連杆運動的特性夾件40的速度也可改變。如上所述，下部連杆31和上部連杆32在夾持位置中可以互相平行。此外，下部連杆31與上部連杆32相比長度更長，並由此一定移動距離期間的下部連杆31的旋轉角度比上部連杆32的旋轉角度大。因此，驅動部70以一定速度上升時，夾持器20不僅可以對於基座10相對地平移運動，夾持器20還能夠以上側向基座10傾斜的方向傾斜。結果，夾持器20的上側配置的夾件40也同樣，不僅可以對於基座10相對地平移運動，還能夠以基座10為基準旋轉運動。
由於平移運動和旋轉運動同時進行的結構，夾件40的速度在夾持位置附近具有從夾持位置越往卸載位置移動越快的區間。圖6是示出驅動部70以6.5 mm/sec的速度上升期間夾件40的上升速度的圖表。如圖6中所示出的，夾件40的上升速度在夾持位置附近從夾持位置開始越靠近卸載位置越快。同樣，驅動部70以一定速度下降時，夾件40在夾持位置附近往夾持位置移動期間，夾件40的速度越來越慢。
通過如上所述的結構，就算驅動部70的速度不變，也可結構性地調整夾件40的速度。夾件40接近基板S時，由於以較低的速度接近基板S，因此可消減對於基板S的衝擊。在此所述的僅為一個示例，驅動部70的速度並不是必須不變的。
此外，夾件40可通過連結連杆30對於基板S沿向上凸出的曲線形狀路徑移動。由於夾件40可對於基板沿向上凸出的曲線形狀路徑移動，因此棱角部分彎曲的基板也可被穩定地固定。
如上所述，雖然參照附圖及實施例進行了說明，但本發明並不局限於在此所述的實施例，本發明所屬技術領域中的普通技術人員可通過上述記載進行多種變形和修改。例如，說明的技術可通過與說明的方法不同的順序被執行，和/或說明的構成要素可通過與說明的方法不同的形態被結合或組合。通過其他結構要素或均等物被替換或置換也可獲得適當的效果。
1‧‧‧旋轉夾持裝置
10‧‧‧基座
11‧‧‧第一孔
12‧‧‧第二孔
20‧‧‧夾持器
21‧‧‧第三孔
22‧‧‧第四孔
30‧‧‧連結連杆
31‧‧‧連結連杆\下部連杆
32‧‧‧連結連杆\上部連杆
40‧‧‧夾件
50‧‧‧磁性部件
51‧‧‧第一磁鐵
52‧‧‧第二磁鐵
70‧‧‧驅動部
80‧‧‧結合部件
83‧‧‧固定環
90‧‧‧止動件
110‧‧‧基座主體
111‧‧‧固定手段
120‧‧‧基座延伸部
130‧‧‧第一磁鐵收容部
140‧‧‧第一磁鐵固定部
141‧‧‧磁鐵支持件
142‧‧‧第一磁鐵固定螺栓
210‧‧‧支持件主體
220‧‧‧支持件延伸部
230‧‧‧第二磁鐵固定螺栓
410‧‧‧夾件頭部
411‧‧‧支撐面
420‧‧‧夾件延伸部
421‧‧‧夾件固定螺栓
811‧‧‧第一轉軸
812‧‧‧第二轉軸
813‧‧‧第三轉軸
814‧‧‧第四轉軸
821‧‧‧軸承\第一軸承
822‧‧‧軸承\第二軸承
823‧‧‧軸承\第三軸承
824‧‧‧軸承\第四軸承
831‧‧‧第一固定環
832‧‧‧第二固定環
833‧‧‧第三固定環
834‧‧‧第四固定環
F‧‧‧基板傳送架
S‧‧‧基板
圖1是示出根據一個實施例的旋轉夾持裝置的立體圖。 圖2是根據一個實施例的旋轉夾持裝置的分解圖。 圖3是根據一個實施例的夾件在夾持位置時，旋轉夾持裝置的截面圖。 圖4是根據一個實施例的夾件在卸載位置時，旋轉夾持裝置的截面圖。 圖5是根據一個實施例的旋轉夾持裝置運作圖。 圖6是隨時間驅動部升降速度與夾件運作速度相比較的圖表。 圖7是根據一個實施例的夾件被運作的放大圖。

Claims (14)

  1. 一種旋轉夾持裝置，包括： 基座； 夾持器，對於所述基座相對地平移運動及旋轉運動； 夾件，配置於所述夾持器中，用於夾持基板；和 連結連杆，用於連結所述基座和所述夾持器。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的旋轉夾持裝置，其中所述連結連杆包括： 下部連杆，可旋轉地連結至所述基座和所述夾持器；和 上部連杆，配置在所述下部連杆的上側，可旋轉地連結至所述夾持器和所述基座。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的旋轉夾持裝置，其中所述基座的至少一部分被固定在基板傳送架，且 所述基座、所述夾持器、所述下部連杆及所述上部連杆，經所述夾持器處被施加的力，以1自由度4節連杆運動。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的旋轉夾持裝置，進一步包括驅動部，通過對所述夾持器施加垂直於所述基板的力，使所述夾件在夾持所述基板的夾持位置和從所述基板中被卸載的卸載位置之間移動。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的旋轉夾持裝置，其中所述夾件在所述夾持位置附近往所述夾持位置移動的期間，越靠近所述夾持位置所述夾件的垂直方向的速度越慢。
  6. 如申請專利範圍第4項所述的旋轉夾持裝置，其中所述夾件包括用於接觸所述基板上面的平坦支撐面，且 在所述夾持位置中，所述下部連杆和所述上部連杆互相平行，且 所述驅動部對所述夾持器施加垂直方向的力時，所述夾持器的瞬間速度具有與所述支撐面垂直的方向。
  7. 如申請專利範圍第4項所述的旋轉夾持裝置，其中所述下部連杆的兩側旋轉軸之間的長度比所述上部連杆的兩側旋轉軸之間的長度更長，且所述驅動部對所述夾持器施加垂直方向的力的期間，所述夾持器的上側向所述基座傾斜。
  8. 如申請專利範圍第4項所述的旋轉夾持裝置，進一步包括止動件，防止所述下部連杆對於所述基座超過一定角度進行旋轉，且 所述止動件與所述基座可拆卸地連結。
  9. 如申請專利範圍第4項所述的旋轉夾持裝置，進一步包括至少一個以上的磁性部件，被配置在所述基座和所述夾持器中任何一個以上，並利用磁力使所述夾件從所述卸載位置移動至所述夾持位置。
  10. 如申請專利範圍第9項所述的旋轉夾持裝置，其中所述至少一個以上的磁性部件包括： 配置在所述基座中的第一磁鐵；和 配置於所述夾持器中的第二磁鐵，且 所述第一磁鐵與所述第二磁鐵相對的面和所述第二磁鐵與所述第一磁鐵相對的面具有相同的極性。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的旋轉夾持裝置，其中所述夾持位置中，所述第一磁鐵比所述第二磁鐵相對地位於上側。
  12. 如申請專利範圍第10項所述的旋轉夾持裝置，其中在所述卸載位置中，所述第一磁鐵比所述第二磁鐵相對地位於下側。
  13. 如申請專利範圍第10項所述的旋轉夾持裝置，其中所述夾件在所述夾持位置和所述卸載位置之間移動的期間，以垂直於所述第一磁鐵的表面的垂直方向為基準，所述第一磁鐵的中心與所述第二磁鐵重疊，且所述第二磁鐵的中心與所述第一磁鐵重疊。
  14. 一種旋轉夾持裝置，包括： 基座； 夾持器，對於所述基座相對移動； 夾件，配置於所述夾持器中，用於夾持基板；和 連結連杆，用於連結所述基座和所述夾持器，使所述夾件對於所述基板沿向上凸出的曲線形狀的路徑移動。
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