KR20210091557A - 트레이용 마그넷 클램프 - Google Patents

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KR20210091557A
KR20210091557A KR1020200004874A KR20200004874A KR20210091557A KR 20210091557 A KR20210091557 A KR 20210091557A KR 1020200004874 A KR1020200004874 A KR 1020200004874A KR 20200004874 A KR20200004874 A KR 20200004874A KR 20210091557 A KR20210091557 A KR 20210091557A
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tray
magnet
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우창원
이이균
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한국알박(주)
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Abstract

일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는, 기판의 하측을 지지 가능한 하부 트레이와 기판의 상측을 지지 가능한 상부 트레이를 서로 고정시키기 위한 트레이용 마그넷 클램프이고, 상기 하부 트레이에 고정되는 클램프 베이스; 상기 클램프 베이스에 대해 회전 가능하게 연결되고, 상기 상부 트레이를 고정하는 고정 포지션과 상기 상부 트레이로부터 해제되는 해제 포지션 사이에서 포지션 전환이 가능한 클램프 헤드; 상기 클램프 베이스에 장착되고, 상기 클램프 헤드를 지지 가능한 클램프 샤프트; 상기 클램프 헤드의 단부에 장착되고, 상기 상부 트레이의 상면을 가압 가능한 접촉 파트; 상기 클램프 베이스에 고정되는 베이스 하우징; 상기 베이스 하우징에 장착되는 베이스 마그넷; 상기 클램프 헤드에 고정되는 헤드 하우징; 및 상기 헤드 하우징에 장착되고, 상기 베이스 마그넷과 다른 극성으로 마주하는 헤드 마그넷을 포함할 수 있다.

Description

트레이용 마그넷 클램프{MAGNET CLAMP FOR TRAY}
아래의 설명은 트레이용 마그넷 클램프에 관한 것이다.
진공 성막 장치에는 트레이를 고정하기 위한 트레이용 클램프가 사용된다. 트레이는 기판의 하측을 지지하기 위한 하부 트레이와, 기판의 상측을 지지하기 위한 상부 트레이를 포함한다. 트레이용 클램프는 고정 포지션 및 해제 포지션 사이에서 포지션 전환되는 방식으로 하부 트레이 및 상부 트레이를 서로 고정할 수 있다. 트레이용 클램프는, 하부 트레이 및 상부 트레이가 기판의 하측 및 상측을 각각 지지하고 있는 상태에서, 하부 트레이 및 상부 트레이를 가압하여 기판을 고정시킬 수 있다. 트레이용 클램프는 하부 트레이 상에 고정될 수 있고, 상부 트레이의 상면을 가압할 수 있다. 한편, 트레이용 클램프가 해제 포지션에 있을 때, 하부 및 상부 트레이는 서로 분리될 수 있다.
진공 성막 장치에서, 기판에 성막 물질이 높은 퀄리티로 증착 되도록 하기 위해서는 클램프 등에서 파티클(particle)이 생성되는 것을 줄여줄 필요가 있다. 트레이용 클램프에서 파티클을 줄이면서도, 클램프의 포지션 전환을 원활하게 수행하게 할 수 있는 기술이 요구되는 실정이다.
일 실시 예의 목적은, 포지션 전환 시 발생하는 파티클의 양을 줄이면서도, 트레이용 클램프의 포지션 전환을 원활하게 수행할 수 있는 트레이용 마그넷 클램프를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는, 기판의 하측을 지지 가능한 하부 트레이와 기판의 상측을 지지 가능한 상부 트레이를 서로 고정시키기 위한 트레이용 마그넷 클램프이고, 상기 하부 트레이에 고정되는 클램프 베이스; 상기 클램프 베이스에 대해 회전 가능하게 연결되고, 상기 상부 트레이를 고정하는 고정 포지션과 상기 상부 트레이로부터 해제되는 해제 포지션 사이에서 포지션 전환이 가능한 클램프 헤드; 상기 클램프 베이스에 장착되고, 상기 클램프 헤드를 지지 가능한 클램프 샤프트; 상기 클램프 헤드의 단부에 장착되고, 상기 상부 트레이의 상면을 가압 가능한 접촉 파트; 상기 클램프 베이스에 고정되는 베이스 하우징; 상기 베이스 하우징에 장착되는 베이스 마그넷; 상기 클램프 헤드에 고정되는 헤드 하우징; 및 상기 헤드 하우징에 장착되고, 상기 베이스 마그넷과 다른 극성으로 마주하는 헤드 마그넷을 포함할 수 있다.
상기 접촉 파트가 상기 상부 트레이의 상면에 접촉되어 가압하는 동안, 상기 베이스 하우징 및 헤드 하우징은 서로 이격되어 있을 수 있다.
상기 클램프 헤드가 상기 고정 포지션 및 해제 포지션 사이에서 포지션 전환되는 동안, 상기 클램프 헤드는 상기 클램프 베이스 또는 베이스 하우징에 접촉하지 않을 수 있다.
상기 접촉 파트는, 상기 상부 트레이를 마주하는 체결 헤드와, 상기 체결 헤드의 중앙부로부터 돌출 형성되어 상기 클램프 헤드를 관통하는 체결 바디를 포함하는 제 1 체결 부재; 및 상기 제 1 체결 부재를 상기 클램프 헤드에 고정시키기 위한 제 2 체결 부재를 포함할 수 있다.
상기 접촉 파트는, 상기 제 1 체결 부재의 체결 헤드 및 상기 클램프 헤드 사이에 마련되고, 상기 클램프 헤드가 상기 고정 포지션에 있을 때 상기 베이스 하우징 및 헤드 하우징 사이의 간격을 설정하는 라이너를 더 포함할 수 있다.
상기 접촉 파트는, 상기 클램프 헤드를 따라 나사 결합 가능하고, 내측에 중공 공간을 구비하는 라이너; 상기 상부 트레이를 마주하고, 상기 라이너의 중공 공간에 나사 결합 가능한 제 1 체결 부재; 및 상기 클램프 헤드를 기준으로 상기 제 1 체결 부재에 반대편에 마련되고, 상기 라이너에 나사 결합 가능한 제 2 체결 부재를 포함하고, 상기 라이너는 상기 클램프 헤드에 대해 상대적으로 이동 가능하다.
상기 베이스 하우징은 상기 클램프 헤드를 중심으로 대칭되도록 복수 개가 형성될 수 있다.
상기 베이스 하우징은, 상기 베이스 마그넷을 수용하기 위한 중공 영역을 구비할 수 있다.
상기 베이스 하우징의 중공 영역은, 상기 헤드 마그넷을 마주하는 쪽과 반대 방향으로 개구되는 형상을 가질 수 있다.
상기 베이스 하우징은, 상기 중공 영역 내에 상기 베이스 마그넷을 수용한 상태로, 상기 중공 영역의 개구를 폐쇄하기 위한 베이스 커버; 및 상기 베이스 커버를 고정하기 위한 커버 고정 부재를 포함할 수 있다.
상기 클램프 샤프트를 상기 클램프 베이스에 고정시키기 위한 샤프트 고정 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는, 판의 하측을 지지 가능한 하부 트레이와 기판의 상측을 지지 가능한 상부 트레이를 서로 고정시키기 위한 트레이용 마그넷 클램프이고, 상기 하부 트레이에 고정되는 클램프 베이스; 상기 클램프 베이스에 대해 회전 가능하게 연결되고, 상기 상부 트레이를 고정하는 고정 포지션과 상기 상부 트레이로부터 해제되는 해제 포지션 사이에서 포지션 전환이 가능한 클램프 헤드; 상기 클램프 베이스에 고정되는 베이스 하우징; 상기 베이스 하우징에 장착되는 베이스 마그넷; 상기 클램프 헤드에 고정되는 헤드 하우징; 및 상기 헤드 하우징에 장착되고, 상기 베이스 마그넷과 다른 극성으로 마주하는 헤드 마그넷을 포함하고, 상기 클램프 헤드는 상기 고정 포지션 및 해제 포지션 사이에서 포지션 전환되는 동안, 상기 클램프 베이스 또는 베이스 하우징에 접촉하지 않을 수 있다.
일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는 고정 포지션 및 해제 포지션 사이에서 포지션 전환되는 동안 파티클 발생을 감소시킬 수 있다. 구체적으로, 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는 해제 포지션에서 고정 포지션으로 전환되는 동안, 서로 충돌하는 구성 요소가 없도록 설계됨으로써, 포지션 전환 시 파티클 발생을 효과적으로 줄일 수 있다.
또한, 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는 해제 포지션으로부터 고정 포지션으로 이동하는 동안, 인력을 작용하는 마그넷들의 간격이 가까워지도록 설계함으로써, 트레이 고정력을 향상시킬 수 있다.
또한, 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는 트레이가 변형되더라도, 접촉 파트를 조정함으로써, 고정 포지션에서 베이스 하우징 및 헤드 하우징을 이격시킬 수 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프가 해제 포지션에 있는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프가 보호 포지션에 있는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프의 정면도이다.
도 5는 도 3의 A 영역을 확대 도시한 측면도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 접촉 파트를 도시하는 평면도이다.
도 7은 도 6의 절개선 Ⅶ-Ⅶ을 따라 절개한 단면도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프가 해제 포지션에 있는 상태를 도시하는 단면도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프가 보호 포지션에 있는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프는 트레이에 장착된 상태로, 트레이를 가압할 수 있다. 트레이용 마그넷 클램프는 하부 트레이(T1)에 고정되고, 상부 트레이(T2)를 가압할 수 있다. 하부 트레이(T1) 및 상부 트레이(T2)는 사이에 기판(S)을 지지할 수 있다. 트레이용 마그넷 클램프는 하부 트레이(T1) 및 상부 트레이(T2)가 기판을 안정적으로 지지하도록 보조할 수 있다. 트레이용 마그넷 클램프는 기판용 마그넷 클램프와 구별되는 것임을 밝혀 둔다. 트레이용 마그넷 클램프는 기판의 이탈을 직접적으로 보조하는 것이 아니라, 트레이를 가압함으로써 기판(S)의 이탈을 간접적으로 보조할 수 있다.
트레이용 마그넷 클램프는, 클램프 베이스(11), 클램프 샤프트(12), 베이스 하우징(13), 클램프 헤드(14), 헤드 하우징(15), 접촉 파트(16), 베이스 마그넷(81), 헤드 마그넷(82), 베이스 고정 부재(91) 및 샤프트 고정 부재(92)를 포함할 수 있다.
클램프 베이스(11)는 하부 트레이(T1)에 고정될 수 있다. 클램프 베이스(11)는 베이스 고정 부재(91)에 의해 하부 트레이(T1)에 고정될 수 있다. 클램프 베이스(11)는 클램프 헤드(14)의 좌측 및 우측을 커버할 수 있다.
클램프 샤프트(12)는 클램프 베이스(11)에 장착되고, 클램프 헤드(14)를 지지할 수 있다. 클램프 샤프트(12)는 클램프 베이스(11)에 관통 형성될 수 있다. 클램프 샤프트(12)는 샤프트 고정 부재(92)에 의해 클램프 베이스(11)에 고정될 수 있다. 클램프 샤프트(12)는 클램프 베이스(11)에 대해 상대적으로 회전이 안되도록 고정될 수 있다. 클램프 헤드(14)는 클램프 샤프트(12)를 중심으로 회전할 수 있다. 이러한 방식으로, 클램프 헤드(14)가 클램프 베이스(11)에 대해 회전할 때, 클램프 샤프트(12)에서 발생하는 파티클의 양이 감소할 수 있다.
베이스 하우징(13)은 클램프 베이스(11)에 고정될 수 있다. 베이스 하우징(13)은 내부에 베이스 마그넷(81)을 수용하기 위한 중공 영역을 구비할 수 있다. 베이스 하우징(13)의 중공 영역은 베이스 마그넷(81)의 형상에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다. 베이스 마그넷(81)은 베이스 하우징(13) 내 중공 영역에 흔들림 없이 고정될 수 있다.
베이스 하우징(13)은 클램프 헤드(14)를 중심으로 서로 반대편에 복수 개, 예를 들어, 2개로 구비될 수 있다. 이와 같은 형상에 따라, 트레이용 마그넷 클램프는 트레이의 클램핑에 필요한 자력을 생성하는 마그넷들을 수용하기 위한 공간을 컴팩트하게 충분히 확보할 수 있다.
클램프 헤드(14)는 클램프 베이스(11)에 대해 회전 가능하게 연결되고, 상부 트레이(T2)를 고정하는 고정 포지션(도 3 참조)과 상부 트레이(T2)로부터 해제되는 해제 포지션(도 2 참조) 사이에서 포지션 전환이 가능하다. 클램프 헤드(14)는 클램프 샤프트(12)에 연결되는 헤드 바디(141)와, 헤드 바디(141)로부터 전방으로 연장 형성되고 접촉 파트(16)를 지지하는 헤드 전방 연장부(142)와, 헤드 바디(141)로부터 후방으로 연장 형성되는 헤드 후방 연장부(143)를 포함할 수 있다.
클램프 헤드(14)는 헤드 후방 연장부(143)를 하방으로 가압하는 가압 부재(미도시)에 의해 해제 포지션을 유지할 수 있다. 가압 부재는 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15)이 서로 가까워지는 것을 방지할 수 있다. 클램프 헤드(14)가 해제 포지션에 있는 동안에도, 베이스 하우징(13)에 수용된 베이스 마그넷(81)과 헤드 하우징(15)에 수용된 헤드 마그넷(82)은 서로 인력을 가할 수 있다. 아울러, 가압 부재가 해제될 경우, 다시 말하면, 가압 부재가 더 이상 헤드 후방 연장부(143)를 가압하지 않을 경우, 클램프 헤드(14)는 고정 포지션으로 포지션이 전환될 수 있다. 클램프 헤드(14)가 고정 포지션으로 전환될 경우, 접촉 파트(16)는 상부 트레이(T2)를 가압할 수 있다.
헤드 하우징(15)은 클램프 헤드(14)에 고정될 수 있다. 헤드 하우징(15)은 클램프 헤드(14)의 회전 운동에 따라 함께 회전할 수 있다. 헤드 하우징(15)은 클램프 헤드(14)를 중심으로 서로 반대편에 복수 개, 예를 들어, 2개로 구비될 수 있다. 이와 같은 형상에 따라, 트레이용 마그넷 클램프는 트레이의 클램핑에 필요한 자력을 생성하는 마그넷들을 수용하기 위한 공간을 컴팩트하게 충분히 확보할 수 있다.
헤드 하우징(15)은 내부에 헤드 마그넷(82)을 수용하기 위한 중공 영역을 구비할 수 있다. 헤드 하우징(15)의 중공 영역은 헤드 마그넷(82)의 형상에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다. 헤드 마그넷(82)은 헤드 하우징(15) 내 중공 영역에 흔들림 없이 고정될 수 있다. 베이스 마그넷(81) 및 헤드 마그넷(82)은 서로 다른 극성으로 마주하여, 서로 인력을 작용할 수 있다.
접촉 파트(16)는 클램프 헤드(14)에 고정되고, 상부 트레이(T2)에 직접적으로 접촉할 수 있다. 접촉 파트(16)는 클램프 헤드(14)에 대해 위치 조절이 가능하다.
베이스 마그넷(81) 및 헤드 마그넷(82) 각각은 마그넷 형상을 보존한 상태로 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 각각에 삽입될 수 있다. 베이스 마그넷(81)에는 베이스 마그넷(81)을 클램프 하우징(13)에 고정시키기 위한 구성, 예를 들어 나사 수용 구멍 등의 요소를 구비하지 않을 수 있다. 베이스 마그넷(81)은 온전한 상태를 유지한 상태로 베이스 하우징(13)의 중공 영역에 삽입될 수 있다. 헤드 마그넷(82) 역시 온전한 상태를 유지한 상태로 헤드 하우징(15)의 중공 영역에 삽입될 수 있다. 이와 같은 구조에 따라, 마그넷(81, 82)은 구조적 안정성이 높은 상태로 하우징(13, 15) 내에 보존될 수 있고, 충분한 자력을 생성할 수 있다.
베이스 고정 부재(91)는 클램프 베이스(11)를 하부 트레이(T1)에 고정시킬 수 있다. 예를 들어, 베이스 고정 부재(91)는 클램프 베이스(11)를 관통하여, 하부 트레이(T1)에 고정되는 나사 형상일 수 있다.
샤프트 고정 부재(92)는 클램프 베이스(11)에 삽입되어, 클램프 샤프트(12)를 클램프 베이스(11)에 고정시킬 수 있다.
트레이용 마그넷 클램프는 클램프 헤드(14)가 클램프 베이스(11) 및/또는 베이스 하우징(13)에 접촉하지 않게 하여, 클램프 헤드(14)가 포지션 전환되는 동안, 파티클 발생을 줄여줄 수 있다. 구체적으로, 클램프 헤드(14)가 해제 포지션에서 고정 포지션으로 이동하는 동안, 헤드 하우징(15)은 접촉 파트(16)에 상부 트레이(T2)에 접촉함에 따라 베이스 하우징(13)에 접촉하지 않을 수 있다. 접촉 파트(16)가 상부 트레이(T2)의 상면에 접촉되어 가압하는 동안, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15)은 서로 이격되어 있을 수 있다. 이와 같은 구조에 의해, 트레이용 마그넷 클램프에는 파티클 발생이 감소할 수 있다.
클램프 헤드(14)가 고정 포지션 및 해제 포지션 사이에서 포지션 전환되는 동안, 클램프 헤드(14)는 클램프 베이스(11) 또는 베이스 하우징(13)에 접촉하지 않을 수 있다.
도 4는 일 실시 예에 따른 트레이용 마그넷 클램프의 정면도이다.
도 4를 참조하면, 트레이용 마그넷 클램프은 클램프 베이스(11)와, 클램프 베이스(11)의 좌측 및 우측에 형성된 베이스 하우징(13)을 포함할 수 있다. 클램프 베이스(11)는 복수 개의 베이스 고정 부재(91)에 의해 트레이(미도시)에 고정될 수 있다. 클램프 샤프트는 복수 개의 샤프트 고정 부재(92)에 의해 클램프 베이스(11)에 고정될 수 있다. 헤드 바디(141)는 클램프 샤프트에 연결될 수 있고, 헤드 전방 연장부(142)는 헤드 바디(141)로부터 전방으로 연장 형성되고 접촉 파트(16)를 지지할 수 있다.
베이스 하우징(13)은 클램프 헤드를 중심으로 대칭적으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 베이스 하우징(13)은 클램프 헤드를 중심으로 서로 대칭되도록 2개가 마련될 수 있다. 도 4에서, 클램프 헤드의 좌측에 도시된 베이스 하우징(13)은 베이스 하우징을 온전히 도시한 것이고, 클램프 헤드의 우측에 도시된 베이스 하우징(13)은 후술하는 베이스 커버(13a)를 생략하여 도시한 것임을 밝혀 둔다.
베이스 하우징(13)은 베이스 마그넷(81)을 수용하기 위한 중공 영역을 구비할 수 있는데, 중공 영역은 헤드 마그넷(미도시)을 마주하는 쪽과 반대 방향으로 개구될 수 있다. 클램프 헤드의 우측에 도시된 베이스 하우징(13)을 참고하면, 베이스 마그넷(81)을 수용하기 위한 중공 영역이 헤드 마그넷과 반대 방향, 다시 말하면, 클램프 샤프트로부터 접촉 파트(16)를 향한 방향으로 개구됨을 확인할 수 있다.
베이스 하우징(13)은, 중공 영역 내에 베이스 마그넷(81)을 수용한 상태로, 중공 영역의 개구를 폐쇄하기 위한 베이스 커버(13a)와, 베이스 커버(13a)를 고정하기 위한 커버 고정 부재(13b)를 포함할 수 있다. 사용자는 커버 고정 부재(13b)를 해제하여, 베이스 마그넷(81)을 교체할 수 있다. 다른 예로, 베이스 하우징(13)은 별도의 커버 고정 부재(13b) 없이, 용접 등의 방식으로 부착되는 베이스 커버를 구비할 수도 있음을 밝혀 둔다.
도 5는 도 3의 A 영역을 확대 도시한 측면도이다.
도 5를 참조하면, 접촉 파트(16a, 16b)는 제 1 체결 부재(161), 제 2 체결 부재(162) 및 라이너(163a, 163b)를 포함할 수 있다. 접촉 파트(16a) 및 접촉 파트(16b)는 라이너(163a, 163b)만 서로 다른 것이고, 나머지 구성들은 동일함을 밝혀 둔다. 트레이용 마그넷 클램프는 라이너(163a, 163b)의 두께를 설정하는 방식으로, 클램프 헤드가 고정 포지션에 있는 동안, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 사이에 이격된 간격(d)을 조절할 수 있다(도 3 참조).
제 1 체결 부재(161)는 상부 트레이를 마주하는 체결 헤드와, 체결 헤드의 중앙부로부터 돌출 형성되어 클램프 헤드의 헤드 전방 연장부(142)를 관통하는 체결 바디를 포함할 수 있다. 체결 헤드는 체결 바디보다 넓은 면적을 갖도록 형성될 수 있고, 상부 트레이(T2)와의 접촉 면적을 늘림으로써, 접촉 파트(16a, 16b)로부터 상부 트레이(T2)에 인가되는 압력의 크기를 감소시킬 수 있다.
제 2 체결 부재(162)는 제 1 체결 부재(161)를 클램프 헤드의 헤드 전방 연장부(142)에 고정할 수 있다.
라이너(163a, 163b)는 제 1 체결 부재(161) 및 클램프 헤드의 헤드 전방 연장부(142) 사이에 마련되고, 클램프 헤드(14)가 고정 포지션에 있을 때, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 사이의 간격(d)을 설정할 수 있다(도 3 참조). 예를 들어, 접촉 파트(16a)가 상대적으로 두께가 얇은 라이너(163a)를 포함할 경우, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 사이의 간격(d)은 상대적으로 증가할 수 있다. 한편, 접촉 파트(16b)가 상대적으로 두께가 두꺼운 라이너(163b)를 포함할 경우, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 사이의 간격(d)은 상대적으로 감소할 수 있다.
진공 성막 장치 내에서 성막이 진행되는 동안, 하부 트레이(T1) 및/또는 상부 트레이(T2)는 고온에 노출됨에 따라 변형될 수 있다. 하부 트레이(T1) 및/또는 상부 트레이(T2)가 변형됨에 따라, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 사이의 간격(d)은 초기 설정 간격으로부터 달라질 수 있다. 예를 들어, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 사이의 간격(d)이 좁아지거나, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15)이 서로 접촉하는 경우, 사용자는 상대적으로 얇은 라이너(163a)를 제 1 체결 부재(161) 및 클램프 헤드의 헤드 전방 연장부(142) 사이에 마련하여, 간격(d)을 다시 초기 설정 간격으로 맞출 수 있다. 한편, 베이스 하우징(13) 및 헤드 하우징(15) 사이의 간격(d)이 증가할 경우, 사용자는 상대적으로 두꺼운 라이너(163b)를 제 1 체결 부재(161) 및 클램프 헤드의 헤드 전방 연장부(142) 사이에 마련하여, 간격(d)을 다시 초기 설정 간격으로 맞출 수 있다.
도 6은 일 실시 예에 따른 접촉 파트를 도시하는 평면도이고, 도 7은 도 6의 절개선 Ⅶ-Ⅶ을 따라 절개한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 접촉 파트(16')는 도 6 및 도 7에서 설명한 구조와 달리 3파트 구조를 가진 상태로 헤드 전방 연장부(142')에 장착될 수 있다. 접촉 파트(16')는 제 1 체결 부재(161'), 제 2 체결 부재(162') 및 라이너(163')를 포함할 수 있다.
라이너(163')는 외측이 헤드 전방 연장부(142')에 나사 결합되고, 내측에 중공을 형상을 가질 수 있다. 라이너(163')의 내측 중공의 내표면에는 나사산이 마련될 수 있다. 라이너(163')는 내측에 제 1 체결 부재(161')를 수용하고, 외측에 제 2 체결 부재(162')를 수용할 수 있다. 라이너(163')는 헤드 전방 연장부(142')에 대해 상대적으로 이동 가능하다. 라이너(163')는 상측에 지그를 수용하기 위한 지그 수용홈(163a')을 구비할 수 있다. 사용자는 지그 수용홈(163a')에 지그를 삽입한 뒤 회전하는 방식으로, 라이너(163')를 이동시킬 수 있다.
제 1 체결 부재(161')는 상부 트레이를 마주하고, 라이너(163')의 중공 공간에 나사 결합 가능하다.
제 2 체결 부재(162')는 클램프 헤드의 헤드 전방 연장부(142')를 기준으로 제 1 체결 부재(161')에 반대편에 마련되고, 라이너(163')의 외표면에 나사 결합 가능하다. 제 2 체결 부재(162')는 라이너(163')가 안정적으로 헤드 전방 연장부(142')에 고정될 수 있도록 보조할 수 있다.
사용자는 제 2 체결 부재(162')를 분리하거나, 제 2 체결 부재(162')를 그대로 결합시킨 상태로, 라이너(163')를 회전시키는 방식으로, 제 1 체결 부재(161')의 하면과 상부 트레이의 상면 사이의 거리를 간편하게 조절할 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

Claims (13)

  1. 기판의 하측을 지지 가능한 하부 트레이와 기판의 상측을 지지 가능한 상부 트레이를 서로 고정시키기 위한 트레이용 마그넷 클램프에 있어서,
    상기 하부 트레이에 고정되는 클램프 베이스;
    상기 클램프 베이스에 대해 회전 가능하게 연결되고, 상기 상부 트레이를 고정하는 고정 포지션과 상기 상부 트레이로부터 해제되는 해제 포지션 사이에서 포지션 전환이 가능한 클램프 헤드;
    상기 클램프 베이스에 장착되고, 상기 클램프 헤드를 지지 가능한 클램프 샤프트;
    상기 클램프 헤드의 단부에 장착되고, 상기 상부 트레이의 상면을 가압 가능한 접촉 파트;
    상기 클램프 베이스에 고정되는 베이스 하우징;
    상기 베이스 하우징에 장착되는 베이스 마그넷;
    상기 클램프 헤드에 고정되는 헤드 하우징; 및
    상기 헤드 하우징에 장착되고, 상기 베이스 마그넷과 다른 극성으로 마주하는 헤드 마그넷을 포함하는 트레이용 마그넷 클램프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 접촉 파트가 상기 상부 트레이의 상면에 접촉되어 가압하는 동안, 상기 베이스 하우징 및 헤드 하우징은 서로 이격되어 있는 트레이용 마그넷 클램프.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 클램프 헤드가 상기 고정 포지션 및 해제 포지션 사이에서 포지션 전환되는 동안, 상기 클램프 헤드는 상기 클램프 베이스 또는 베이스 하우징에 접촉하지 않는 트레이용 마그넷 클램프.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 접촉 파트는,
    상기 상부 트레이를 마주하는 체결 헤드와, 상기 체결 헤드의 중앙부로부터 돌출 형성되어 상기 클램프 헤드를 관통하는 체결 바디를 포함하는 제 1 체결 부재; 및
    상기 제 1 체결 부재를 상기 클램프 헤드에 고정시키기 위한 제 2 체결 부재를 포함하는 트레이용 마그넷 클램프.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 접촉 파트는,
    상기 제 1 체결 부재의 체결 헤드 및 상기 클램프 헤드 사이에 마련되고, 상기 클램프 헤드가 상기 고정 포지션에 있을 때 상기 베이스 하우징 및 헤드 하우징 사이의 간격을 설정하는 라이너를 더 포함하는 트레이용 마그넷 클램프.
  6. 제 1 항에 있어서,상기 접촉 파트는,
    상기 클램프 헤드를 따라 나사 결합 가능하고, 내측에 중공 공간을 구비하는 라이너;
    상기 상부 트레이를 마주하고, 상기 라이너의 중공 공간에 나사 결합 가능한 제 1 체결 부재; 및
    상기 클램프 헤드를 기준으로 상기 제 1 체결 부재에 반대편에 마련되고, 상기 라이너에 나사 결합 가능한 제 2 체결 부재를 포함하고,
    상기 라이너는 상기 클램프 헤드에 대해 상대적으로 이동 가능한 트레이용 마그넷 클램프.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 하우징은 상기 클램프 헤드를 중심으로 대칭되도록 복수 개가 형성되는 트레이용 마그넷 클램프.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 하우징은, 상기 베이스 마그넷을 수용하기 위한 중공 영역을 구비하는 트레이용 마그넷 클램프.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 베이스 하우징의 중공 영역은, 상기 헤드 마그넷을 마주하는 쪽과 반대 방향으로 개구되는 형상을 갖는 트레이용 마그넷 클램프.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 베이스 하우징은,
    상기 중공 영역 내에 상기 베이스 마그넷을 수용한 상태로, 상기 중공 영역의 개구를 폐쇄하기 위한 베이스 커버를 포함하는 트레이용 마그넷 클램프.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 베이스 하우징은,
    상기 베이스 커버를 고정하기 위한 커버 고정 부재를 포함하는 트레이용 마그넷 클램프.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램프 샤프트를 상기 클램프 베이스에 고정시키기 위한 샤프트 고정 부재를 더 포함하는 트레이용 마그넷 클램프.
  13. 기판의 하측을 지지 가능한 하부 트레이와 기판의 상측을 지지 가능한 상부 트레이를 서로 고정시키기 위한 트레이용 마그넷 클램프에 있어서,
    상기 하부 트레이에 고정되는 클램프 베이스;
    상기 클램프 베이스에 대해 회전 가능하게 연결되고, 상기 상부 트레이를 고정하는 고정 포지션과 상기 상부 트레이로부터 해제되는 해제 포지션 사이에서 포지션 전환이 가능한 클램프 헤드;
    상기 클램프 베이스에 고정되는 베이스 하우징;
    상기 베이스 하우징에 장착되는 베이스 마그넷;
    상기 클램프 헤드에 고정되는 헤드 하우징; 및
    상기 헤드 하우징에 장착되고, 상기 베이스 마그넷과 다른 극성으로 마주하는 헤드 마그넷을 포함하고,
    상기 클램프 헤드는 상기 고정 포지션 및 해제 포지션 사이에서 포지션 전환되는 동안, 상기 클램프 베이스 또는 베이스 하우징에 접촉하지 않는 트레이용 마그넷 클램프.
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