CN111883475A - 晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本申请公开一种晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备，所公开的卡盘装置中：多个夹持件形成夹持空间，待夹持件可夹持于夹持空间，多个夹持件均与传动件驱动相连；弹性件与传动件相连，弹性件可驱动传动件转动，传动件在第一转动方向上转动的情况下可驱动多个夹持件夹持待夹持件；驱动机构可驱动卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，在卡盘装置处于第一夹持状态的情况下，弹性件以第一驱动力驱动传动件在第一转动方向上转动；在卡盘装置处于第二夹持状态的情况下，弹性件以第二驱动力驱动传动件在第一转动方向上转动；其中，第二驱动力大于第一驱动力。上述方案能够解决卡盘装置的通用性较差的问题。
Description
技术领域
本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备。
背景技术
在半导体加工的过程中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，而在晶圆的加工过程中，沉积、等离子体刻蚀、旋涂光刻胶、光刻以及电镀等加工方式均有可能导致晶圆表面引入污染物，导致晶圆表面的清洁度下降，致使采用该晶圆制造的半导体器件的良率低，因此在晶圆加工结束后需要利用清洗设备对晶圆进行清洗。
清洗晶圆时通常需要将晶圆固定在清洗设备的卡盘装置上，卡盘装置能够实现晶圆的夹持与释放。目前，卡盘装置的夹持力较为固定，导致卡盘装置只能夹持一种材质的晶圆，进而导致卡盘装置的通用性较差，清洗设备在不更换卡盘装置的情况下，仅能够清洗一种材质的晶圆，当多种不同材质的晶圆需要清洗时，清洗设备需要停机更换卡盘装置，导致清洗设备的清洗效率较低。
发明内容
本申请公开一种晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备，能够解决卡盘装置的通用性较差的问题。
为解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
本申请实施例公开一种晶圆清洗设备中的卡盘装置，其特征在于，包括卡盘基座、传动件、弹性件、多个夹持件和驱动机构，其中：
多个所述夹持件设置于所述卡盘基座，且多个所述夹持件形成夹持空间，待夹持件可夹持于所述夹持空间，所述传动件可转动地设置于所述卡盘基座，多个所述夹持件均与所述传动件驱动相连；
所述弹性件与所述传动件相连，所述弹性件可驱动所述传动件在第一转动方向上转动，所述传动件在所述第一转动方向上转动的情况下可驱动多个所述夹持件夹持所述待夹持件；
驱动机构可驱动所述卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，在所述卡盘装置处于所述第一夹持状态的情况下，所述弹性件以第一驱动力驱动所述传动件在所述第一转动方向上转动；在所述卡盘装置处于所述第二夹持状态的情况下，所述弹性件以第二驱动力驱动所述传动件在所述第一转动方向上转动；
其中，所述第二驱动力大于所述第一驱动力。
本申请实施例还公开一种晶圆清洗设备，包括上述的卡盘装置。
本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：
本申请公开的卡盘装置中，弹性件与传动件相连，且弹性件可驱动传动件在第一转动方向上转动，传动件在第一转动方向上转动时可驱动多个夹持件夹持待夹持件，从而实现夹持待夹持件的目的，同时，驱动机构可驱动卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，以使弹性件以第一驱动力或第二驱动力驱动传动件在第一转动方向上转动，从而能够使得弹性件对传动件施加第一转动力矩和第二转动力矩，且第二转动力矩大于第一转动力矩，第一转动力矩和第二转动力矩能够使得传动件以不同的驱动力驱动多个夹持件夹持待夹持件，以使多个夹持件对待夹持件的夹持力不同，从而能够使得本申请公开的卡盘装置具有多种大小不同的夹持力，避免因卡盘装置的夹持力较为固定，而导致卡盘装置只能夹持一种材质的待夹持件，进而使得卡盘装置的通用性较高，以使卡盘装置能够夹持多种不同材质的待夹持件，增多卡盘装置的使用场景，最终提高卡盘装置的产品竞争力。
附图说明
图1为本申请实施例公开的卡盘装置处于第一稳态时的示意图；
图2为本申请实施例公开的卡盘装置处于第二稳态时的示意图；
图3和图4为本申请实施例公开的卡盘装置处于第一稳态与第二稳态之间时的示意图。
附图标记说明：
100-传动件、200-弹性件、300-夹持件、400-驱动机构、410-第一连杆、420-第二连杆、500-同步器、610-第一铰接点、620-第二铰接点、630-第三铰接点、640-第四铰接点、650-第五铰接点。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请各个实施例公开的技术方案进行详细地说明。
请参考图1至图4，本申请实施例公开一种晶圆清洗设备中的卡盘装置，用于晶圆清洗设备中夹持待夹持件，也就是待加工件，待夹持件通常可以为晶圆，所公开的包括卡盘装置包括卡盘基座(图中未示出)、传动件100、弹性件200、多个夹持件300和驱动机构400。
其中，卡盘基座为卡盘装置的基础构件，卡盘基座能够为卡盘装置提供安装基础。通常情况下，卡盘基座为中空的圆台。卡盘基座的结构及功能均为已知技术，为了文本简洁，在此不再赘述。
多个夹持件300设置于卡盘基座，且多个夹持件300形成夹持空间，待夹持件可夹持于夹持空间，从而实现夹持待夹持件的目的。传动件100可转动地设置于卡盘基座，多个夹持件300均与传动件100驱动相连，传动件100在第一转动方向上转动的情况下，传动件100可驱动多个夹持件300夹持待夹持件，当然，传动件100在与第一转动方向相反的方向上转动的情况下，传动件100能够驱动多个夹持件300释放待夹持件，从而实现待夹持件的夹持与释放。
弹性件200与传动件100相连，且弹性件200可驱动传动件100在第一转动方向上转动，具体地，弹性件200在拉伸的状态下与传动件100相连，弹性件200对传动件100施加转动力矩，且该转动力矩的方向与第一转动方向相同，在该转动力矩的作用下，传动件100在第一转动方向上转动。弹性件200通常可以为弹簧，因为弹簧具有结构简单，成本较低的优势。
在本申请实施例中，弹性件200驱动传动件100在第一转动方向上转动，从而使得传动件100驱动多个夹持件300夹持待夹持件的原理及过程均为已知技术，为了文本简洁，在此不再赘述。
驱动机构400可驱动卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，在卡盘装置处于第一夹持状态的情况下，弹性件200以第一驱动力驱动传动件100在第一转动方向上转动，以使弹性件200对传动件100施加第一转动力矩；在卡盘装置处于第二夹持状态的情况下，弹性件200以第二驱动力驱动传动件100在第一转动方向上转动，以使弹性件200对传动件100施加第二转动力矩；其中，第二驱动力大于第一驱动力，以使第二转动力矩大于第一转动力矩，从而使得卡盘装置在夹持待夹持件时，第一转动力矩和第二转动力矩能够使得传动件100以不同的驱动力驱动多个夹持件300夹持待夹持件，进而使得多个夹持件300对待夹持件的夹持力不同。也就是说，卡盘装置在第一夹持状态下与在第二夹持状态下对待夹持件的夹持力不同。
本申请公开的卡盘装置中，弹性件200与传动件100相连，且弹性件200可驱动传动件100在第一转动方向上转动，传动件100在第一转动方向上转动时可驱动多个夹持件300夹持待夹持件，从而实现夹持待夹持件的目的，同时，驱动机构400可驱动卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，以使弹性件200以第一驱动力或第二驱动力驱动传动件100在第一转动方向上转动，从而能够使得弹性件200对传动件100施加第一转动力矩和第二转动力矩，且第二转动力矩大于第一转动力矩，第一转动力矩和第二转动力矩能够使得传动件100以不同的驱动力驱动多个夹持件300夹持待夹持件，以使多个夹持件300对待夹持件的夹持力不同，从而能够使得本申请公开的卡盘装置具有多种大小不同的夹持力，避免因卡盘装置的夹持力较为固定，而导致卡盘装置只能夹持一种材质的待夹持件，进而使得卡盘装置的通用性较高，以使卡盘装置能够夹持多种不同材质的待夹持件，增多卡盘装置的使用场景，最终提高卡盘装置的产品竞争力。
在一种可选的实施例中，弹性件200的第一端可以与传动件100相铰接，在卡盘装置处于第一夹持状态的情况下，弹性件200的第二端与第一端之间的距离可以为第一距离，从而以第一驱动力驱动传动件100在第一转动方向上转动；在卡盘装置处于第二夹持状态的情况下，第二端与第一端之间的距离可以为第二距离，从而以第二驱动力驱动传动件100在第一转动方向上转动，其中，第二距离大于第一距离。
此种情况下，在卡盘装置处于第一夹持状态的情况下，弹性件200的第二端与第一端之间的距离为第一距离，以使弹性件200对传动件100施加第一转动力矩；在卡盘装置处于第二夹持状态的情况下，第二端与第一端之间的距离为第二距离，以使弹性件200对传动件100施加第二转动力矩；其中，第二距离大于第一距离，以使第二转动力矩大于第一转动力矩，从而使得卡盘装置在夹持待夹持件时，第一转动力矩和第二转动力矩能够使得传动件100以不同的驱动力驱动多个夹持件300夹持待夹持件，进而使得多个夹持件300对待夹持件的夹持力不同。卡盘装置通过此种在第一夹持状态和第二夹持状态之间切换的方式较为简单，且切换可靠，方便工作人员操作。
需要说明的是，第一距离在第一方向上的长度小于第二距离在第一方向上的长度，从而能够使得弹性件200对传动件100施加的第二转动力矩大于第一转动力矩，第一方向与第一转动方向相切。
如上文所述，驱动机构400可驱动卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，可选地，驱动机构400可以与第二端驱动相连，以使驱动机构400可驱动第二端在第一位置与第二位置之间运动。驱动机构400能够较为精准地驱动第二端在第一位置与第二位置之间运动，从而使得第二端较为精准地运动至第一位置或第二位置，同时，本方案能够避免工作人员手动驱动第二端运动，从而有利于保障工作人员的人身安全，且有利于卡盘装置的自动化运行，进而使得卡盘装置的自动化程度较高。
具体地，在驱动机构400驱动第二端运动至第一位置时，第二端与第一端之间的距离可以为第一距离，此时，卡盘装置处于第一夹持状态；在驱动机构400驱动第二端运动至第二位置时，第二端与第一端之间的距离可以为第二距离，此时，卡盘装置处于第二夹持状态。也就是说，在卡盘装置处于第一夹持状态的情况下，第二端位于第一位置，且第一端与第二端之间的距离可以为第一距离；在卡盘装置处于第二夹持状态的情况下，第二端位于第二位置，且第一端与第二端之间的距离可以为第二距离，从而实现弹性件200能够在第一距离与第二距离之间切换的目的。
在具体的工作过程中，当待夹持件的材质较软时，也就是待夹持件的强度较低时，切换弹性件200的第二端运动至第一位置，此时，弹性件200对传动件100施加的第一转动力矩较小，避免卡盘装置夹坏待夹持件。当待夹持件的材质较硬时，也就是待夹持件的强度较高时，切换弹性件200的第二端运动至第二位置，此时，弹性件200对传动件100施加的第二转动力矩较大，以使卡盘装置夹紧待夹持件，防止待夹持件从卡盘装置上掉落。
在一种可选的实施例中，弹性件200的数量可以为多个，驱动机构400的数量也可以为多个，多个弹性件200与多个驱动机构400可以一一对应地设置。此种情况下，多个弹性件200能够使得卡盘装置夹紧待夹持件，防止待夹持件从卡盘装置上掉落，从而提高卡盘装置夹持待夹持件的稳定性。同时，相较于卡盘装置中仅设置一个弹性件200的方案，在卡盘装置相同夹持力的情况下，卡盘装置中设置多个弹性件200能够使得弹性件200的伸长量较小，由于弹性件200在伸长量较大的情况下较容易疲劳失效，因此卡盘装置中设置多个弹性件200能够使得弹性件200的可靠性较高，从而使得卡盘装置的可靠性较高。
进一步地，多个弹性件200可以环绕传动件100的转动轴线均匀设置，即多个弹性件200可以绕传动件100的转动轴线环形阵列设置，也就是说，多个弹性件200可以绕传动件100的转动轴线等间隔设置，以使多个弹性件200对传动件100所施加的转动力矩较为均匀地分布，防止因转动力矩的不均匀分布，而导致卡盘装置在夹持待夹持件的过程中夹持力不均匀，从而使得卡盘装置能够稳定地夹持待夹持件。
可选地，卡盘装置还可以包括同步器500，多个驱动机构400均可以与同步器500相连，同步器500可以用于使多个驱动机构400同步驱动多个第二端在第一位置与第二位置之间运动。同步器500能够使得多个第二端同步运动，在多个第二端同步运动时，卡盘装置的夹持力能够呈规律变化，方便工作人员计算卡盘装置的夹持力，防止多个第二端不同步运动而导致卡盘装置的夹持力不规律变化，从而方便工作人员根据待夹持件的材质合理选择第二端的位置，进而使得卡盘装置的可控性较高。
具体地，同步器500可以为盘状结构件或环状结构件，盘状结构件或环状结构件可转动地设置于卡盘基座，且盘状结构件或环状结构件的转动轴线与传动件100的转动轴线可以共线。转盘和环状结构件的结构简单，能够降低卡盘装置的结构复杂性，转盘和环状结构件方便设置，且能够可靠地实现多个驱动机构400同时工作的目的。
在本申请实施例中，驱动机构400的种类可以有多种，例如，电机、液压伸缩杆和气压伸缩杆等，本申请实施例中对此不做限制。在一种可选的实施例中，驱动机构400可以包括第一连杆410和第二连杆420，第一连杆410的第三端与第二端铰接，第一连杆410的第四端与第二连杆420的第五端铰接，第一连杆410铰接于卡盘基座，且两者的铰接点位于第三端与第四端之间，第二连杆420可以驱动第一连杆410绕铰接点转动，以带动第二端在第一位置与第二位置之间运动。此种结构的驱动机构400结构简单，驱动可靠，方便设置。
具体地，第二连杆420可以与外部驱动模组相连，在卡盘装置需要切换夹持状态时，外部驱动模组与第二连杆420相连，以驱动第二连杆420运动，从而使得第二连杆420驱动第一连杆410转动，本方案能够避免在卡盘装置中设置驱动模组(例如上文中所述的电机、液压伸缩杆和气压伸缩杆等)，且由于驱动模组的成本通常较高，因此，本方案能够使得卡盘装置的成本较低。
为了使多个驱动机构400能够同时工作，以使多个第二端同步运动，可选地，卡盘装置还可以包括同步器500，同步器500可转动地设置于卡盘基座，且同步器500的转动轴线与传动件100的转动轴线共线，多个第二连杆420的第六端均铰接于同步器500，同步器500可同步驱动多个第二连杆420，在多个驱动机构400中的任意一个工作时，工作的驱动机构400带动同步器500转动，以使同步器500驱动其余的驱动机构400工作，从而使得多个驱动机构400能够同时工作，以使多个第二端同步运动。与此同时，本方案中，多个驱动机构400中的任意一个驱动机构400仅需与外部驱动模组相连，防止多个驱动机构400需要与多个外部驱动模组相连，从而方便工作人员进行操控卡盘装置。
在具体的工作过程中，外部驱动模组驱动一个第二连杆420运动，此时，第二连杆420既能够驱动第一连杆410转动，也能够驱动同步器500转动，以使其余的第二连杆420也开始转动，从而实现多个驱动机构400同时工作的目的。在多个第二连杆420运动时，多个第二连杆420驱动多个第一连杆410转动，从而使得多个第一连杆410带动多个第二端运动。
为了下文方便说明，现做如下设定：第三端与第二端的铰接点为第一铰接点610，第四端与第五端的铰接点为第二铰接点620，第一连杆410与卡盘基座的铰接点为第三铰接点630，第一端与传动件100的铰接点为第四铰接点640，第六端与同步器500的铰接点为第五铰接点650，第二铰接点620与第五铰接点650之间的连线为第一连线，第一铰接点610与第四铰接点640之间的连线为第二连线。
在卡盘装置具体的工作过程中，卡盘装置可能需要长时间夹持同一种材质的待夹持件，就需要卡盘装置长时间保持同一夹持力，因此，弹性件200的第二端需要长时间保持在某一位置，可选地，驱动机构400可以具有第一稳态和第二稳态，驱动机构400驱动第二端运动至第一位置时，驱动机构400处于第一稳态，第二铰接点620、第三铰接点630、第一铰接点610和第四铰接点640可以依次共线排布，也就是说，在第二端位于第一位置的情况下，驱动机构400处于第一稳态，且卡盘装置处于第一夹持状态，此时，在没有外力作用的情况下，驱动机构400能够较长时间保持在该第一稳态。
驱动机构400驱动第二端运动至第二位置时，驱动机构400处于第二稳态，第一连线所在的直线可以过同步器500的转动中心，且第一连线与第二连线相交，也就是说，在第二端位于第二位置的情况下，驱动机构400处于第二稳态，且卡盘装置处于第二夹持状态，此时，通过对处于第二稳态的驱动机构400进行力学分析可知，受弹性件200所施加给第一连杆410的转矩和第二连杆420的杆长限制，在没有外力作用的情况下，驱动机构400能够较长时间保持在该第二稳态。
通过上文可知，驱动机构400具有第一稳态和第二稳态，从而使得弹性件200的第二端能够长时间保持在某一位置，进而使得卡盘装置能够长时间保持同一夹持力，以使卡盘装置能够长时间夹持同一种材质的待夹持件。
为了使弹性件200在第二端运动过程中的弹力变化量较大，也就是第一距离与第二距离的差值较大，可选地，第三铰接点630与第一铰接点610之间的距离可以为第三距离，第三铰接点630与第二铰接点620之间的距离可以为第四距离，第三距离可以大于第四距离，以使第二端的运动位移较大，且由于弹性件200的弹力与拉伸距离正相关，因此，在第二端的运动位移较大时，弹性件200的弹力变化量也较较大，从而能够使得卡盘装置的夹持力范围较大，进而使得卡盘装置能够夹持材质强度相差较大的待夹持件，进一步提高卡盘装置的通用性。
如上文所述，多个夹持件300设置于卡盘基座，且多个夹持件300形成夹持空间，待夹持件可夹持于夹持空间，具体地，传动件100可以为传动齿轮，夹持件300可以包括转动齿轮和偏心轮，转动齿轮可转动地设置于卡盘基座，且与传动齿轮相啮合，偏心轮设置于转动齿轮，传动齿轮驱动转动齿轮转动，且转动齿轮带动偏心轮夹持待夹持件。此种情况下，传动件100驱动偏心轮转动，在偏心轮转动转动时，夹持空间能够变大或变小，从而使得待夹持件的夹持与释放。此种结构夹持件300结构简单，从而能够简化卡盘装置的结构，以降低卡盘装置的结构复杂性，同时，此种结构夹持件300能够可靠地夹持待夹持件。
基于本申请实施例公开的卡盘装置，本申请实施例还公开一种晶圆清洗设备，所公开的晶圆清洗设备包括上文任意实施例所述的卡盘装置。
具体地，晶圆清洗设备可用于清洗晶圆，从而能够使得晶圆清洗设备在不更换卡盘装置的情况下，能够清洗多种材质不同的晶圆，防止晶圆清洗设备在不更换卡盘装置的情况下，仅能够清洗一种材质的晶圆，当多种不同材质的晶圆需要清洗时，晶圆清洗设备无需停机更换卡盘装置，从而防止晶圆清洗设备因更换卡盘装置而导致晶圆清洗设备的清洗效率较低，进而提高晶圆清洗设备的清洗效率，以使晶圆清洗设备的产能较高。
本申请上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆清洗设备中的卡盘装置，其特征在于，包括卡盘基座、传动件(100)、弹性件(200)、多个夹持件(300)和驱动机构(400)，其中：
多个所述夹持件(300)设置于所述卡盘基座，且多个所述夹持件(300)形成夹持空间，待夹持件可夹持于所述夹持空间，所述传动件(100)可转动地设置于所述卡盘基座，多个所述夹持件(300)均与所述传动件(100)驱动相连；
所述弹性件(200)与所述传动件(100)相连，所述弹性件(200)可驱动所述传动件(100)在第一转动方向上转动，所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动的情况下可驱动多个所述夹持件(300)夹持所述待夹持件；
驱动机构(400)可驱动所述卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，在所述卡盘装置处于所述第一夹持状态的情况下，所述弹性件(200)以第一驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；在所述卡盘装置处于所述第二夹持状态的情况下，所述弹性件(200)以第二驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；
其中，所述第二驱动力大于所述第一驱动力。
2.根据权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，所述弹性件(200)的第一端与所述传动件(100)相铰接，在所述卡盘装置处于所述第一夹持状态的情况下，所述弹性件(200)的第二端与所述第一端之间的距离为第一距离，从而以所述第一驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；在所述卡盘装置处于所述第二夹持状态的情况下，所述第二端与所述第一端之间的距离为第二距离，从而以所述第二驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；
其中，所述第二距离大于所述第一距离。
3.根据权利要求2所述的卡盘装置，其特征在于，所述驱动机构(400)与所述第二端驱动相连，且所述驱动机构(400)可驱动所述第二端在第一位置与第二位置之间运动；
在所述驱动机构(400)驱动所述第二端运动至所述第一位置时，所述第二端与所述第一端之间的距离为所述第一距离，所述卡盘装置处于所述第一夹持状态；在所述驱动机构(400)驱动所述第二端运动至所述第二位置时，所述第二端与所述第一端之间的距离为所述第二距离，所述卡盘装置处于所述第二夹持状态。
4.根据权利要求3所述的卡盘装置，其特征在于，所述弹性件(200)的数量为多个，且环绕所述传动件(100)的转动轴线均匀设置，所述驱动机构(400)的数量为多个，多个所述弹性件(200)与多个所述驱动机构(400)一一对应地设置。
5.根据权利要求4所述的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘装置还包括同步器(500)，多个所述驱动机构(400)均与所述同步器(500)相连，所述同步器(500)用于使多个所述驱动机构(400)同步驱动多个所述第二端在所述第一位置与所述第二位置之间运动。
6.根据权利要求5所述的卡盘装置，其特征在于，所述同步器(500)为盘状结构件或环状结构件，所述盘状结构件或所述环状结构件可转动地设置于所述卡盘基座，且所述盘状结构件或所述环状结构件的转动轴线与所述传动件(100)的转动轴线共线。
7.根据权利要求3所述的卡盘装置，其特征在于，所述驱动机构(400)包括第一连杆(410)和第二连杆(420)，所述第一连杆(410)的第三端与所述第二端铰接，所述第一连杆(410)的第四端与所述第二连杆(420)的第五端铰接，所述第一连杆(410)铰接于所述卡盘基座，且两者的铰接点位于所述第三端与所述第四端之间；
所述第二连杆(420)可驱动所述第一连杆(410)绕所述铰接点转动，以带动所述第二端在所述第一位置与所述第二位置之间运动。
8.根据权利要求7所述的卡盘装置，其特征在于，所述弹性件(200)的数量为多个，且环绕所述传动件(100)的转动轴线均匀设置，所述驱动机构(400)的数量为多个，多个所述弹性件(200)与多个所述驱动机构(400)一一对应地设置；
所述卡盘装置还包括同步器(500)，所述同步器(500)可转动地设置于所述卡盘基座，且所述同步器(500)的转动轴线与所述传动件(100)的转动轴线共线，多个所述第二连杆(420)的第六端均铰接于所述同步器(500)，所述同步器(500)可同步驱动多个所述第二连杆(420)；
所述第三端与所述第二端的铰接点为第一铰接点(610)，所述第四端与所述第五端的铰接点为第二铰接点(620)，所述第一连杆(410)与所述卡盘基座的铰接点为第三铰接点(630)，所述第一端与所述传动件(100)的铰接点为第四铰接点(640)，所述第六端与所述同步器(500)的铰接点为第五铰接点(650)；
所述驱动机构(400)具有第一稳态和第二稳态，所述驱动机构(400)驱动所述第二端运动至所述第一位置时，所述驱动机构(400)处于所述第一稳态，所述第二铰接点(620)、所述第三铰接点(630)、所述第一铰接点(610)和所述第四铰接点(640)依次共线排布；
所述驱动机构(400)驱动所述第二端运动至所述第二位置时，所述驱动机构(400)处于所述第二稳态，所述第二铰接点(620)与所述第五铰接点(650)之间的连线所在的直线过所述同步器(500)的转动中心，且所述第二铰接点(620)与所述第五铰接点(650)之间的连线与所述第一铰接点(610)与所述第四铰接点(640)之间的连线相交。
9.根据权利要求8所述的卡盘装置，其特征在于，所述第三铰接点(630)与所述第一铰接点(610)之间的距离为第三距离，所述第三铰接点(630)与所述第二铰接点(620)之间的距离为第四距离，所述第三距离大于所述第四距离。
10.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的卡盘装置。
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