CN105609462A - 晶圆夹持机构 - Google Patents

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CN105609462A CN201610010992.5A CN201610010992A CN105609462A CN 105609462 A CN105609462 A CN 105609462A CN 201610010992 A CN201610010992 A CN 201610010992A CN 105609462 A CN105609462 A CN 105609462A
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magnetic
clamping device
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许振杰
王剑
王同庆
李昆
路新春
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Tsinghua University
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Tsinghua University
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Abstract

本发明公开了一种晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括：转盘；多个卡爪，所述多个卡爪包括至少一个活动卡爪，所述活动卡爪活动地设置在所述转盘上，所述卡爪用于将所述晶圆夹持在所述转盘上；夹持力组件，所述夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆的夹持力。通过设置夹持力组件，可以提供给活动卡爪夹持晶圆的夹持力，而且活动卡爪夹持晶圆的夹持力较大，可以防止晶圆的自转，可以有效保护晶圆。

Description

晶圆夹持机构
技术领域
本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆夹持机构。
背景技术
大规模集成电路生产过程中，晶圆需要经过多道工序最终形成产品。在每一道工序中，以及在晶圆传输过程中，都需要夹持机构固定晶圆，使晶圆保持一定状态，或按一定方式运动。
现有的晶圆夹持机构，安装夹持晶圆的方式主要为两种：一种是通过接触的方式使驱动夹持零件加紧晶圆，如使用气缸、弹簧、电机等执行机构驱动夹持零件夹紧晶圆；另一种是在夹持机构转动过程中，通过零件的离心力加紧晶圆。现有晶圆夹持机构存在以下问题：通过接触方式驱动夹持零件加紧晶圆，驱动装置如气缸、弹簧、电机等在反复驱动夹持零件过程中，自身和夹持零件都会产生摩擦磨损，产生颗粒污染晶圆表面；接触方式驱动夹持零件，会使晶圆夹持机构体积庞大，结构复杂，如气缸和电机需要特殊的安装结构和动力源；转动的夹持机构通过零件的离心力夹持晶圆，在开始转动和转动停止的时候，夹持力很小，由于晶圆的惯性，会导致晶圆与夹持零件间存在相对滑动，对晶圆表面会造成磨损，同时会产生摩擦颗粒污染。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提出一种夹持力较大的晶圆夹持机构，该晶圆夹持机构的夹持力组件与晶圆不接触，可以避免晶圆的磨损，而且晶圆夹持机构结构简单，占用空间小。
根据本发明的晶圆夹持机构，包括：转盘；多个卡爪，所述多个卡爪包括至少一个活动卡爪，所述活动卡爪活动地设置在所述转盘上，所述卡爪用于将所述晶圆夹持在所述转盘上；夹持力组件，所述夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆的夹持力。
根据本发明的晶圆夹持机构，通过设置夹持力组件，可以提供给活动卡爪夹持晶圆的夹持力，而且活动卡爪夹持晶圆的夹持力较大，可以防止晶圆的自转，可以有效保护晶圆。另外，该晶圆夹持机构的夹持力组件与晶圆不接触，可以避免晶圆的磨损，而且晶圆夹持机构结构简单，占用空间小。
另外，根据本发明的晶圆夹持机构还可以具有以下区别技术特征：
在本发明的一些示例中，所述夹持力组件为磁性夹持力组件，所述磁性夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆的磁性夹持力。
在本发明的一些示例中，所述转盘上设置有枢转轴，所述活动卡爪可绕所述枢转轴转动，所述磁性夹持力组件设置在所述枢转轴的至少一侧。
在本发明的一些示例中，所述磁性夹持力组件包括：相互吸引的第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件设置在所述转盘上且所述第二磁性件设置在所述活动卡爪上，所述第一磁性件和所述第二磁性件位于所述枢转轴和所述晶圆之间。
在本发明的一些示例中，所述第一磁性件和所述第二磁性件中的一个为磁铁且另一个为铁质件；或者所述第一磁性件和所述第二磁性件为相对设置且磁性不同的磁铁。
在本发明的一些示例中，所述磁性夹持力组件还包括：相互排斥第三磁性件和第四磁性件，所述第三磁性件设置在所述活动卡爪上，所述第四磁性件设置在所述转盘上，所述第三磁性件和所述第四磁性件相对所述枢转轴位于远离所述晶圆的一端。
在本发明的一些示例中，所述第三磁性件和所述第四磁性件为相对设置的同极性磁铁。
在本发明的一些示例中，所述转盘包括本体和支撑座，所述支撑座设置在所述本体的一侧，所述本体上设置有用于安装所述活动卡爪的避让槽，所述支撑座上设置有配合槽，所述配合槽内设置有支撑销，所述支撑销构成所述枢转轴。
在本发明的一些示例中，所述支撑座上设置有与所述活动卡爪相对的端板，所述第四磁性件设置在所述端板上，所述第三磁性件与所述第四磁性件相对设置。
在本发明的一些示例中，所述活动卡爪的邻近所述晶圆的一端到所述枢转轴的惯性矩小于另一端到所述枢转轴的惯性矩。
在本发明的一些示例中，所述晶圆夹持机构还包括：推杆，所述推杆适于驱动所述活动卡爪解除对所述晶圆的夹持。
在本发明的一些示例中，所述多个卡爪还包括：至少一个固定卡爪，所述至少一个固定卡爪固定在所述转盘上。
在本发明的一些示例中，所述固定卡爪的数量为a，所述活动卡爪的数量为b，a+b≥3。
在本发明的一些示例中，两个相邻的所述卡爪所对应的圆心角小于180°。
附图说明
图1是根据本发明第一个实施例的晶圆夹持机构的结构示意图；
图2是图1中的晶圆夹持机构中的支撑座的示意图；
图3是图1中的晶圆夹持机构中的活动卡爪的示意图；
图4是图1中的晶圆夹持机构中的转盘的本体的示意图；
图5是未夹持有晶圆的晶圆夹持机构的结构示意图；
图6是夹持有晶圆的晶圆夹持机构的示意图，其中推杆推动活动卡爪解除夹持状态；
图7是根据本发明的第二个实施例的晶圆夹持机构的示意图；
图8是图7中的晶圆夹持机构的支撑座的示意图；
图9是图7中的晶圆夹持机构的驱动杆的示意图；
图10是根据本发明的第三个实施例的晶圆夹持机构的剖视图；
图11是图10中的晶圆夹持机构的活动卡爪的示意图。
附图标记：
晶圆夹持机构1000；
转盘100；本体110；避让槽111；支撑座120；配合槽121；支撑销130；端板140；压簧安装槽141；拉簧安装槽142；
活动卡爪200；固定卡爪210；支撑销安装孔220；压簧承载孔230；第二磁性件安装槽240；第三磁性件安装槽250；
晶圆300；
第一磁性件410；第二磁性件420；第三磁性件430；第四磁性件440；
推杆500；
弹性夹持力组件600；压簧610；拉簧620；驱动杆630；拉簧承载孔631；短肢632；长肢633；通孔640；
感应组件700；第一感应件710；第二感应件720；
反射式传感器800。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
下面参考附图详细描述根据本发明实施例的晶圆夹持机构1000。
根据本发明实施例的晶圆夹持机构1000可以包括：转盘100、多个卡爪和感应组件700。如图1所示，转盘100上可以设置有多个卡爪，多个卡爪可以包括至少一个活动卡爪200，活动卡爪200活动地设置在转盘100上，在至少一个活动卡爪200处于夹持位置时活动卡爪200夹持晶圆300，在至少一个活动卡爪200处于非夹持位置时晶圆300脱离至少一个活动卡爪200。可以理解的是，活动卡爪200的数量可以根据实际情况进行调整，通过选取合理的活动卡爪200的数量可以保持多个卡爪夹持晶圆300的可靠性，而且还可以保证多个卡爪夹持晶圆300的高效性。
根据本发明的一个优选实施例，如图1所示，多个卡爪还可以包括至少一个固定卡爪210，固定卡爪210与活动卡爪200配合使用，晶圆300可以先预安装在固定卡爪210后，再通过活动卡爪200夹持，从而可以提高晶圆300的安装拆卸效率。
如图1所示，感应组件700包括第一感应件710和第二感应件720，第一感应件710设置在至少一个活动卡爪200上，第二感应件720适于在活动卡爪200位于夹持位置时感应第一感应件710且发出信号。可以理解的是，感应组件700的数量可以与活动卡爪200的数量相同，当活动卡爪200为一个时，第二感应件720通过第一感应件710感应到活动卡爪200处于夹持位置后，第二感应件720可以发出夹持信号，从而晶圆夹持机构1000可以工作，转盘100可以带动晶圆300同步转动。当活动卡爪200为多个时，如果有一个第二感应件720无法感应到相对应的第一感应件710，该第二感应件720无法发出夹持信号，晶圆夹持机构1000将无法开始工作。
由此，根据本发明实施例的晶圆夹持机构1000，通过设置感应组件700，可以通过第二感应件720感应第一感应件710的方式来判断活动卡爪200的位置，从而可以判断晶圆300是否夹持在转盘100上，可以有效了解晶圆夹持机构1000上的晶圆300状态，进而可以保证当晶圆夹持机构1000工作时，多个卡爪可以有效夹持晶圆300，可以提升晶圆夹持机构1000夹持晶圆300的安全性，可以有效保护晶圆300。
在本发明的一些示例中，如图1和图3所示，第一感应件710设置在至少一个活动卡爪200的远离晶圆300的一端。由此，一方面可以便于第一感应件710在活动卡爪200上的布置，另一方面还可以便于第二感应件720的布置，从而可以提升晶圆夹持机构1000的各部件之间的布置合理性。
可选地，如图1所示，第二感应件720适于在活动卡爪200处于夹持位置时与第一感应件710正对。由此，可以保证第二感应件720感应第一感应件710的准确性，从而可以提高感应组件700的工作可靠性，进一步地可以提升晶圆300的安全性。
如图5和图6所示，当晶圆300未夹持在转盘100上时，活动卡爪200相对第二感应件720倾斜设置，从而第二感应件720无法感应到第一感应件710，第二感应件720无法发出夹持信号。
可选地，第一感应件710可以为感应片，第二感应件720可以为传感器。
根据本发明的一个实施例，如图1、图5和图6所示，晶圆夹持机构1000还可以包括：反射式传感器800，反射式传感器800设定的接收参考值为T0，在活动卡爪200处于夹持位置时，反射式传感器800的接收信号值T1＞T0，反射式传感器800不发出信号；在活动卡爪200处于非夹持位置时，反射式传感器800的接收信号值T2＜T0，反射式传感器800发出信号。当晶圆夹持机构1000正常工作时，反射式传感器800可以接收晶圆300的反射信号，当接收信号值T1＞T0时，说明晶圆300正常夹持在转盘100上，反射式传感器800不发出信号。当接收信号值T2＜T0时，说明晶圆300未正常夹持在转盘100上，反射式传感器800发出信号，晶圆夹持机构1000停止工作。通过设置反射式传感器800，进一步地可以提高晶圆夹持机构1000夹持晶圆300的可靠性，可以提高晶圆300的安全性。
可选地，如图1、图5和图6所示，反射式传感器800可以与转盘100的中心相对设置。当然，本发明并不限于此，反射式传感器800还可以设置在转盘100的其他上方位置。
其中，晶圆夹持机构1000上可以设置有夹持力组件，夹持力组件可以设置成用于提供给活动卡爪200夹持晶圆300的夹持力。通过设置夹持力组件，可以有效保证活动卡爪200夹持晶圆300的夹持力的力度，可以防止晶圆的自转，从而可以保证晶圆300夹持在转盘100上的安全性。而且夹持力组件与晶圆300之间不接触，从而可以避免晶圆300的磨损，而且夹持力组件结构简单，占用空间小，并且结构可靠，夹持效果较好。
下面详细介绍两种夹持力组件的布置方式。
根据本发明的一个实施例，如图7所示，夹持力组件可以为弹性夹持力组件600，弹性夹持力组件600可以设置成用于提供给活动卡爪200夹持晶圆300的弹性夹持力。
可选地，转盘100上可以设置有枢转轴，活动卡爪200可绕枢转轴转动，弹性夹持力组件600设置在枢转轴的远离晶圆300的一侧。由此，活动卡爪200可以构造成杠杆结构，弹性夹持力组件600可以提供给活动卡爪200一个与活动卡爪200夹持晶圆300的力反向的力，从而可以使得活动卡爪200可以较好地夹持晶圆300。另外，通过将弹性夹持力组件600设置在枢转轴的远离晶圆300的一侧，可以使得弹性夹持力组件600与晶圆300相互隔离开，从而至少一定程度上可以避免晶圆300和弹性夹持力组件600之间的干涉，从而可以使得晶圆夹持机构1000设计合理。
可选地，如图1和图7所示，弹性夹持力组件600可以包括：压簧610，压簧610的两端分别连接在活动卡爪200和转盘100上。其中，需要说明的是，压簧610可以设置一定的预紧力。活动卡爪200可以相对转盘100转动，如图5所示，当晶圆300未夹持在转盘100上时，压簧610可以向外推出活动卡爪200，从而活动卡爪200可以逆时针转动。如图1和图7所示，当晶圆300夹持在转盘100上时，晶圆300可以阻止活动卡住逆时针转动，压簧610可以提供给活动卡爪200夹紧晶圆300的夹持力。
在一个可选的实施方式中，结合图4、图7和图8所示，转盘100可以包括：本体110和设置在本体110一侧的支撑座120，本体110上设置有用于安装活动卡爪200的避让槽111，支撑座120上设置有配合槽121，配合槽121内设置有支撑销130，支撑销130构成枢转轴。换言之，活动卡爪200可以绕支撑座120上的支撑销130转动，从而活动卡爪200可以相对转盘100转动。如图3和图11所示，活动卡爪200上设置有适于支撑销130穿过的支撑销安装孔220。通过设置避让槽111和配合槽121，可以便于活动卡爪200的布置和活动卡爪200的转动。优选地，避让槽111和配合槽121的形状可以相同。
可选地，如图1、图2和图7所示，支撑座120上可以设置有与活动卡爪200相对的端板140，压簧610连接在端板140的一侧和活动卡爪200之间。通过设置端板140，可以将压簧610稳定设置在端板140和活动卡爪200之间，可选地，压簧610的两端分别与端板140和活动卡爪200固定连接。如图2所示，端板140上可以设置有用于安装压簧610的压簧安装槽141，活动卡爪200上可以设置有用于安装压簧610的压簧承载孔230。
进一步地，如图7所示，弹性夹持力组件600还可以包括：拉簧620和驱动杆630，拉簧620连接在端板140的另一侧和驱动杆630之间，而且驱动杆630的一端止抵在活动卡爪200上。端板140的一侧指的是端板140的外侧，端板140的另一侧指的是端板140的内侧，端板140的内侧和外侧根据距离本体110的中心的近远设定。端板140相对本体110固定，拉簧620设置在驱动杆630和端板140之间，拉簧620上可以设定有预紧力，拉簧620可以朝向端板140的方向拉动驱动杆630，从而拉簧620可以朝向外侧拉动驱动杆630，驱动杆630可以朝向外侧压紧活动卡爪200的远离晶圆300的一端，进而拉簧620和驱动杆630可以提供给活动卡爪200更大地夹持晶圆300的夹持力，可以保证晶圆300的安全性。
可选地，拉簧620和压簧610可以关于端板140相对设置。由此，拉簧620和压簧610设置简单，可以有效简化弹性夹持力组件600，从而可以简化晶圆夹持机构1000的结构。
可选地，如图8所示，端板140上可以设置有供驱动杆630穿过的通孔640。当驱动杆630穿设在通孔640上时，端板140可以限制驱动杆630的移动方向，可以保证拉簧620和驱动杆630的工作可靠性，可以提升拉簧620和驱动杆630提供给活动卡爪200的夹持力。
可选地，如图9所示，驱动杆630构可以造成L形结构，驱动杆630的短肢632与拉簧620相连，驱动杆630的长肢633与穿设在通孔640上，而且长肢633的一端止抵在活动卡爪200上。具体地，驱动杆630的短肢632上可以设置有拉簧安装槽142，如图8所示，端板140的内侧可以设置有拉簧承载孔631。
根据本发明的另一个实施例，夹持力组件还可以为磁性夹持力组件，磁性夹持力组件可以设置成用于提供给活动卡爪200夹持晶圆300的磁性夹持力。
可选地，如图10所示，转盘100上可以设置有枢转轴，活动卡爪200可绕枢转轴转动，磁性夹持力组件设置在枢转轴的至少一侧。
下面详细描述磁性夹持力组件的可选的布置方式。如图10所示，磁性夹持力组件可以包括：相互吸引的第一磁性件410和第二磁性件420，第一磁性件410设置在转盘100上，而且第二磁性件420设置在活动卡爪200上，第一磁性件410和第二磁性件420位于枢转轴和晶圆300之间。可以理解的是，第二磁性件420设置在活动卡爪200的邻近晶圆300的一端。由于第一磁性件410和第二磁性件420相互吸引，第二磁性件420具有带动活动卡爪200的邻近晶圆300的一端朝向晶圆300运动的趋势，晶圆300可以阻止活动卡爪200运动的趋势，从而第二磁性件420通过与第一磁性件410磁性配合可以提供给活动卡住夹持晶圆300的夹持力。通过设置第一磁性件410和第二磁性件420，可以使得夹持力组件结构简单且工作牢靠。
可选地，第一磁性件410和第二磁性件420中的一个可以为磁铁，而且第一磁性件410和第二磁性件420中的另一个可以为铁质件。或者可选地，第一磁性件410和第二磁性件420可以为相对设置且磁性不同的磁铁。
如图10所示，性夹持力组件还可以包括：相互排斥第三磁性件430和第四磁性件440，第三磁性件430设置在活动卡爪200上，第四磁性件440设置在转盘100上，第三磁性件430和第四磁性件440相对枢转轴位于远离晶圆300的一端。由此，通过第三磁性件430和第四磁性件440的磁性配合，第三磁性件430可以提供给活动卡爪200夹持晶圆300的夹持力。另外，通过设置第三磁性件430和第四磁性件440，可以使得磁性夹持力组件结构简单且工作可靠。可选地，第三磁性件430和第四磁性件440可以为相对设置的同极性磁铁。
在一个可选的实施方式中，结合图4和图10所示，转盘100可以包括：本体110和设置在本体110一侧的支撑座120，本体110上设置有用于安装活动卡爪200的避让槽111，支撑座120上设置有配合槽121，配合槽121内设置有支撑销130，支撑销130构成枢转轴。换言之，活动卡爪200可以绕支撑座120上的支撑销130转动，从而活动卡爪200可以相对转盘100转动。通过设置避让槽111和配合槽121，可以便于活动卡爪200的布置和活动卡爪200的转动。优选地，避让槽111和配合槽121的形状可以相同。
可选地，如图10所示，支撑座120上可以设置有与活动卡爪200相对的端板140，第四磁性件440设置在端板140上，第三磁性件430与第四磁性件440相对设置。优选地，端板140上可以设置有用于安装第四磁性件440的槽状结构。
如图11所示，活动卡爪200上可以分别设置有第二磁性件安装槽240和第三磁性件安装槽250，第二磁性件安装槽240和第三磁性件安装槽250可以位于枢转轴的两侧。优选地，第二磁性件安装槽240和第三磁性件安装槽250可以关于枢转轴对称布置。
在本发明的一些示例中，活动卡爪200的邻近晶圆300的一端到枢转轴的惯性矩可以小于活动卡爪200的另一端到枢转轴的惯性矩。由此，夹持力组件可以在旋转过程中通过离心力增大夹持力，可以有效防止晶圆300的自转。
可选地，如图1、图7和图10所示，晶圆夹持机构1000还可以包括：推杆500，推杆500适于驱动活动卡爪200解除对晶圆300的夹持。推杆500可以快速推动活动卡爪200解除对晶圆300的夹持，从而可以提高晶圆夹持机构1000的工作效率。可选地推杆500的推动端可以构造成圆弧形。
可选地，固定卡爪210的数量为a，活动卡爪200的数量为b，a+b≥3。当卡爪的数量大于等于3时，多个卡爪可以较好地夹持晶圆300，从而可以提高晶圆300夹持在转盘100上的安全性。优选地，固定卡爪210的数量可以为2个，活动卡爪200的数量为1个。
可选地，两个相邻的卡爪所对应的圆心角可以小于180°。满足上述数值关系的转盘100可以使得多个卡爪布置合理，从而多个卡爪可以较好地夹持晶圆300，可以保证晶圆300的安全性。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (14)

1.一种晶圆夹持机构，其特征在于，包括：
转盘；
多个卡爪，所述多个卡爪包括至少一个活动卡爪，所述活动卡爪活动地设置在所述转盘上，所述卡爪用于将所述晶圆夹持在所述转盘上；
夹持力组件，所述夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆的夹持力。
2.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述夹持力组件为磁性夹持力组件，所述磁性夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆的磁性夹持力。
3.根据权利要求2所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述转盘上设置有枢转轴，所述活动卡爪可绕所述枢转轴转动，所述磁性夹持力组件设置在所述枢转轴的至少一侧。
4.根据权利要求3所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述磁性夹持力组件包括：相互吸引的第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件设置在所述转盘上且所述第二磁性件设置在所述活动卡爪上，所述第一磁性件和所述第二磁性件位于所述枢转轴和所述晶圆之间。
5.根据权利要求4所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述第一磁性件和所述第二磁性件中的一个为磁铁且另一个为铁质件；或者所述第一磁性件和所述第二磁性件为相对设置且磁性不同的磁铁。
6.根据权利要求4-5中任一项所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述磁性夹持力组件还包括：相互排斥第三磁性件和第四磁性件，所述第三磁性件设置在所述活动卡爪上，所述第四磁性件设置在所述转盘上，所述第三磁性件和所述第四磁性件相对所述枢转轴位于远离所述晶圆的一端。
7.根据权利要求6所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述第三磁性件和所述第四磁性件为相对设置的同极性磁铁。
8.根据权利要求6所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述转盘包括本体和支撑座，所述支撑座设置在所述本体的一侧，所述本体上设置有用于安装所述活动卡爪的避让槽，所述支撑座上设置有配合槽，所述配合槽内设置有支撑销，所述支撑销构成所述枢转轴。
9.根据权利要求8所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述支撑座上设置有与所述活动卡爪相对的端板，所述第四磁性件设置在所述端板上，所述第三磁性件与所述第四磁性件相对设置。
10.根据权利要求3所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述活动卡爪的邻近所述晶圆的一端到所述枢转轴的惯性矩小于另一端到所述枢转轴的惯性矩。
11.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，还包括：推杆，所述推杆适于驱动所述活动卡爪解除对所述晶圆的夹持。
12.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述多个卡爪还包括：至少一个固定卡爪，所述至少一个固定卡爪固定在所述转盘上。
13.根据权利要求12所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述固定卡爪的数量为a，所述活动卡爪的数量为b，a+b≥3。
14.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，两个相邻的所述卡爪所对应的圆心角小于180°。
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