CN109267040B - 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法 - Google Patents

一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109267040B
CN109267040B CN201811245255.9A CN201811245255A CN109267040B CN 109267040 B CN109267040 B CN 109267040B CN 201811245255 A CN201811245255 A CN 201811245255A CN 109267040 B CN109267040 B CN 109267040B
Authority
CN
China
Prior art keywords
monomer
discharge
plasma
acrylamide
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811245255.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109267040A (zh
Inventor
宗坚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd filed Critical Jiangsu Favored Nanotechnology Co Ltd
Priority to CN201811245255.9A priority Critical patent/CN109267040B/zh
Publication of CN109267040A publication Critical patent/CN109267040A/zh
Priority to PCT/CN2019/078827 priority patent/WO2020082671A1/zh
Priority to TW108137920A priority patent/TWI717869B/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109267040B publication Critical patent/CN109267040B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/513Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using plasma jets
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D4/00Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, based on organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond ; Coating compositions, based on monomers of macromolecular compounds of groups C09D183/00 - C09D183/16
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • C23C16/517Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using a combination of discharges covered by two or more of groups C23C16/503 - C23C16/515

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明提供了一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法,丙烯酰胺纳米涂层的特征在于将基材暴露于单体蒸汽氛围中,通过等离子体放电在基材表面发生化学反应形成保护涂层;所述单体蒸汽为汽化的单体1或者单体2,或者单体1和单体2的混合物。采用本申请的方法在基材表面形成更加致密、细腻的微凸结构,使该涂层在纳米尺度下具有优良耐酸碱腐蚀性能以及超疏水效果,接触角可达到150°以上。

Description

一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法
技术领域
本发明涉及等离子体化学气相沉积技术领域,具体涉及到一种纳米防护涂层及其制备方法。
背景技术
众所周知,氟碳材料中的氟原子低极化率和强电负性赋予了氟碳聚合物许多独特的性质,如高疏水疏油性,耐化学试剂腐蚀性,优良的耐候性等,因此广泛应用在建筑涂料、纺织工业、军工领域等领域中。虽然含氟聚合物具有很多优点,但其单体价格昂贵、且使用常规涂覆方法不易成膜。CN 106868473 A《一种梯度递减结构防液涂层的制备方法》中利用等离子体化学气相沉积技术,将含有丙烯酸酯结构的氟碳材料及多官能度不饱和烃类衍生物成功地沉积到基材表面,形成具有梯度递减结构的保护涂层,拥有良好的阻隔防护性能。但经过研究发现,当单体中全氟烷基碳原子数在6以下时,疏水性明显下降。CN 102471405A《含有氟烷基的N-取代(甲基)丙烯酰胺化合物、其聚合物及其用途》中,利用含有氟烷基的N-取代(甲基丙烯酰胺)化合物液体涂覆在被处理样品表面形成保护层,达到防锈、疏水等目的,且不受PFOA和PFOA类似物使用的限制,在碳数6以下时仍能保持优良的疏水性能。但该涂覆方法获得的涂层厚度往往达到微米级以上,浪费大量的单体,造成成本上升。
因此,将含有氟烷基的N-取代(丙烯酰胺),通过等离子体技术,制备具有纳米级厚度的涂层,既可以保证其在低氟代碳原子数情况下具有优异的疏水和防护性能,又可以避免单体的浪费。
发明内容
本发明是为了克服以上缺点,提供一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法。本发明利用等离子体化学气相沉积技术,将含有丙烯酰胺结构的烯烃衍生物和含氟烷基丙烯酰胺单体沉积到基材表面,在基材表面形成了一种复合结构的纳米防护涂层。
本发明是通过以下技术方案实现的:
一种丙烯酰胺纳米涂层,其特征在于,是将基材暴露于单体蒸汽氛围中,通过等离子体放电在基材表面发生化学反应形成保护涂层;
所述单体蒸汽为汽化的单体1或者单体2,或者单体1和单体2的混合物;所述单体1具有如下的式(I)所示结构;所述单体2具有如下的式(II)所示结构;
单体1:
Figure BDA0001840373830000021
单体2:
Figure BDA0001840373830000022
其中,R1、R2、R3、R6、R7、R8独立地选自氢、烷基、芳基、卤素、卤代烷基、烯基或卤代烯基,X、Y为氢或卤素;
R4、R5独立地选自氢、烷基、芳基、卤素、卤代烷基或者具有式(III)所示结构:
Figure BDA0001840373830000031
R11为碳原子数1-15的直链或者含有支链烷烃亚基,R12、R13、R14、R15为独立地选自氢、烷基、芳基、卤素或卤代烷基;
R9、R10独立地选自碳原子数为1-15的直链、含有支链的烷基亚基或者含有芳基亚基;或者R9、R10为连接的键;
m、n、p、q为0-20的整数,但m、n不同时为0,p、q不同时为0。
在本发明中,R1、R2、R3、R6、R7、R8是与不饱和双键连接的基团,可以是疏水性基团,其中优选地,独立地选自氢、烷基、芳基、卤素、卤代烷基、烯基或卤代烯基;X、Y是氢,或者烷基碳链上的取代基,可选自卤素。
R4、R5是与N原子连接的基团,优选地,R4、R5具有式(III)所示结构,因为,式(III)结构使得单体2具有双丙烯酰胺官能团,利于单体1、单体2的之间进一步反应。
R11是双丙烯酰胺基团间的桥联基团,可以为碳原子数1-15的直链或者含有支链烷烃亚基,R12、R13、R14、R15是与N原子、不饱和双键连接的疏水基团,可独立地选自氢、烷基、芳基、卤素或卤代烷基。
R9、R10是丙烯酰胺官能团与全氟烷基之间的桥联碳链段,独立地选自碳原子数为1-15的直链、含有支链的烷基亚基或者含有芳基亚基;或者仅是连接的键。桥联碳链是官能团与全氟烷基之间的缓冲段,可通过碳链的长度、结构来调整单体的稳定性和易获得性。进一步地,R1、R2、R3、R6、R7、R8独立地选自氢、甲基或氟基,X、Y为氟。
进一步地,R9、R10是短碳链桥联基团,桥联基团碳原子数太长容易降低单体中氟原子的比例,R9、R10独立地选自碳原子数为1-5的直链亚烷基。
进一步地,R11为碳原子数为3-10的直链烷烃亚基。单体1在常温常压下为液体。
进一步地,m、n为2-10的整数。单体2是常温常压下沸点低于400℃的含氟丙烯酰胺。
进一步地,所述基材为金属、光学仪器、衣服织物、电子器件或医疗器械等固体材料。
本发明还公开了一种上述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内,将反应腔体内的真空度抽到0.1-1000毫托;
(2)通入等离子体源气体,开启沉积用等离子体放电,将单体1和/或单体2经汽化后导入反应腔体进行化学气相沉积反应;
(3)关闭沉积用等离子体放电,通入洁净的压缩空气或者惰性气体恢复至常压,打开腔体,取出基材。
进一步地,在步骤(2)中,所述单体1和所述单体2分别通入真空腔体;
或者,所述单体1和所述单体2同时通入所述真空腔体;
或者,向所述真空腔体内先通入所述单体1或所述单体2,然后再同时通入所述单体1和所述单体2的混合蒸汽。
进一步地,步骤(2)中所述等离子体源气体为氦气、氩气、氮气和氢气中的一种或者若干种的混合物。
进一步地,所述等离子体室的容积为1L-5000L;
所述等离子体源气体流量为5-1000sccm;
所述单体蒸汽的通入流量为1-2000μL/min。
优选地,所述步骤(2)中,在通入所述等离子体源气体后以及在所述沉积用等离子体放电之前,还包括对基材进行预处理用等离子体放电工序。
步骤(2)中通入等离子体源气体后,开启预处理用等离子体放电对基材进行预处理。预处理阶段的等离子体放电的功率为2-500W,持续放电时间为1-3600s。
预处理阶段结束后进入沉积阶段(预处理用等离子体放电转换为沉积用等离子体放电),两个阶段的等离子体放电方式以及参数可以相同也可以不同。
进一步地,所述步骤(2)中,沉积用等离子体放电的功率为2-500W,持续放电时间为600-20000s。
进一步地,所述等离子体放电(预处理用等离子体放电和/或沉积用等离子体放电)方式为射频放电、微波放电、中频放电、潘宁放电或电火花放电。
进一步地,所述等离子体放电(预处理用等离子体放电和/或沉积用等离子体放电)为射频放电,射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲或连续输出,等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出时,脉宽为10μs-50ms、重复频率为20Hz-10kHz。
进一步地,使用本申请的涂层对基材的表面进行耐化学腐蚀疏水防护处理。
采用上述技术方案,本发明具有如下有益效果:
相比于现有技术,本发明提供了一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法:
(1)当单体的N原子上连有两个全氟烷基,由于氟原子电负性很强,全氟烷基之间相互排斥强,聚合物表面形成更加致密、细腻的微凸结构,可获得超疏水结构效果,接触角可达到150°以上。
(2)当单体中N原子连接疏水结构的烷基或者含氟烷基时,即使在全氟烷基碳链长度小于6情况下,涂层疏水效果仍可达到120°以上;
(3)利用等离子体技术制备出了纳米级厚度的丙烯酰胺涂层,与采用刷涂等现有技术制备厚度达几十微米的涂层相比,在减少了涂层原料用量条件下又达到了防护效果,降低了产品防护处理的成本。
(4)采用本申请的方法制备出的涂层,其厚薄程度均一,不会出现涂层不同部位疏水效果不同的问题,并且形成的涂层具有优异的耐酸碱性能。
本申请单独使用单体2就可以达到优异的疏水涂层效果;当单独使用单体1且N原子所连的基团疏水性差时,所获得的涂层疏水性能也较差。优选同时使用单体1和N原子上连有两个全氟烷基的单体2形成疏水涂层,相对使用单独一种单体形成的疏水涂层而言,水接触角可提高到150°,达到超疏水效果。
具体实施方式
实施例1
一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法经过如下步骤:
(1)将5cm×5cm的金属铝块放置于100L等离子体真空反应腔体内,对反应腔体连续抽真空使真空度达到0.1毫托。
(2)通入氦气,流量为100sccm,开启射频方式的等离子体放电对金属铝块进行预处理(即开启射频方式的预处理用等离子体放电),预处理阶段放电功率为80W,持续放电100s。
(3)接着先通入单体1a结束后,再通入单体2a,在基材表面进行化学气相沉积制备纳米涂层。涂层制备过程中两种单体流量均为150μL/min,通入时间分别为600s和400s。预处理用等离子体放电调整为沉积用等离子体放电。该沉积阶段腔体内等离子体的产生采用射频放电方式,输出方式为脉冲,脉冲宽度为2μs,重复频率为1000Hz,放电功率为50W,放电时间为1000s。
(4)涂层制备结束后,通入氮气,使反应腔体恢复至常压,打开腔体,取出金属铝块。
(5)对样品涂层防护性能进行检测,检测内容包括涂层厚度、疏水性(水接触角)、耐化学腐蚀情况。
Figure BDA0001840373830000071
其中,生成预处理用等离子体放电的装置和生成涂层的沉积用等离子体放电的装置可以是一套,也可以为两套独立装置。预处理用等离子体放电装置(例如电极)优选地设置在反应腔体内,且围绕基材设置,从而便于预处理后快速与涂层工艺衔接;而沉积用等离子体放电装置可以布设在反应腔体之外且远离反应腔体设置,从而可选择地或尽可能地避免涂层过程中等离子体放电对基材的消极影响。
实施例2
一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法经过如下步骤:
(1)将电子手表的PCB放置于1000L等离子体真空反应腔体内,对反应腔体连续抽真空使真空度达到10毫托。
(2)通入氩气,流量为200sccm,开启射频等离子体放电对电子手表的PCB进行预处理(即开启射频方式的预处理用等离子体放电),预处理用等离子体放电功率为500W,持续放电100s。
(3)通入单体1b,结束后再通入单体2b,在基材表面进行化学气相沉积制备纳米涂层。
涂层制备过程中两种单体流量均为150μL/min,通入时间分别为1000s和1600s。预处理用等离子体放电调整为沉积用等离子体放电。
沉积阶段腔体内等离子体的产生采用射频放电方式,输出方式为脉冲,脉冲宽度为10μs,重复频率为3000Hz,放电功率为90W,放电时间为2600s。
(4)涂层制备结束后,通入氮气,使反应腔体恢复至常压,打开腔体,取出PCB板。
(5)对样品涂层防护性能进行检测,检测内容包括涂层厚度、疏水性(水接触角)、耐化学腐蚀情况。
Figure BDA0001840373830000081
实施例3
一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法经过如下步骤:
(1)将镁合金放置于4000L等离子体真空反应腔体内,对反应腔体连续抽真空使真空度达到100毫托。
(2)通入氩气,流量为200sccm,开启射频等离子体放电对镁合金基材进行预处理(即开启射频方式的预处理用等离子体放电),预处理阶段放电功率为150W,持续放电100s。
(3)同时通入单体1c和单体2c,在基材表面进行化学气相沉积制备纳米涂层。涂层制备过程中两种单体流量均为170μL/min,通入时间分别为1800s。预处理用等离子体放电调整为沉积用等离子体放电。
沉积阶段腔体内等离子体的产生采用射频放电方式,输出方式为脉冲,脉冲宽度为5μs,重复频率为2000Hz,放电功率为170W,放电时间为3600s。
(4)涂层制备结束后,通入氮气,使反应腔体恢复至常压,打开腔体,取出镁合金。
(5)对样品涂层防护性能进行检测,检测内容包括涂层厚度、疏水性(水接触角)、耐化学腐蚀情况。
Figure BDA0001840373830000091
实施例4
本实施例与实施例1基本相同,不同之处在于:
将单体1a改为单体1d,单体2a改为单体2d,将步骤(3)通入时间分别更换为1600s和1800s,放电时间更换为3400s。其余参数相同。
Figure BDA0001840373830000101
实施例5
本实施例与实施例2相比基本相同,不同之处在于:
将单体1a改为单体1e,单体2a改为单体2e。将步骤(3)通入时间分别更换为1600s和2100s,放电时间更换为3700s。其余参数相同。
Figure BDA0001840373830000102
实施例6
与实施例1相比,将沉积阶段脉冲宽度设置为500μs,其余参数相同。
实施例7
与实施例2相比,将沉积阶段重复频率设置为300Hz,其余参数相同。
实施例8
与实施例3相比,步骤(2)预处理阶段放电功率设为300w,其余参数相同。
实施例9
与实施例1相比,只通入单体1a,通入时间为1000s,其余参数相同。
实施例10
与实施例1相比,只通入单体1b,通入时间为1000s,其余参数相同。
实施例11
与实施例2相比,只通入单体2b,通入时间为2600s,其余参数相同。
实施例12
与实施例2相比,将单体1b换成1e,单体2b换成2e,其余参数相同。
实施例13
与实施例2相比,将基材PCB板更换为汽车后视镜,其他参数相同。
实施例14
与实施例2相比,将基材PCB板更换为布料,其他参数相同。
实施例15
与实施例2相比,将基材PCB板更换为音箱透音网,其他参数相同。
上述各实施例施镀后的基材,进行涂层厚度、水接触角、耐酸耐碱测试。
纳米涂层厚度,使用美国FilmetricsF20-UV-薄膜厚度测量仪进行检测。
纳米涂层水接触角,根据GB/T 30447-2013标准进行测试。
耐酸、耐碱锈蚀,参照GB1763-79(89)漆膜耐化学试剂性测定法标准进行测试。
表1
Figure BDA0001840373830000121
注:实施例13、14、15由于均为非金属,不做耐酸、耐碱测试。
采用本发明制备得到纳米涂层,涂层厚度非常薄,属于纳米尺度;制备过程中不使用有机溶剂、固化剂等污染物;选择合适的单体制备纳米复合涂层可获得超疏水效果。最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (14)

1.一种丙烯酰胺纳米涂层,其特征在于,将基材暴露于单体蒸汽氛围中,通过等离子体放电在基材表面发生化学反应形成保护涂层;
所述单体蒸汽为汽化的单体1和单体2的混合物;
所述单体1具有如下的式(I)所示结构;所述单体2具有如下的式(II)所示结构;
单体1:
Figure FDA0002364001700000011
单体2:
Figure FDA0002364001700000012
其中,R1、R2、R3、R6、R7、R8独立地选自氢、烷基、芳基、卤素、卤代烷基、烯基或卤代烯基,X、Y为氢或卤素;
R4、R5独立地选自氢、烷基、芳基、卤素、卤代烷基或者具有式(III)所示结构:
Figure FDA0002364001700000013
R11为碳原子数1-15的直链或者含有支链烷烃亚基,R12、R13、R14、R15为独立地选自氢、烷基、芳基、卤素或卤代烷基;
R9、R10独立地选自碳原子数为1-15的直链、含有支链的烷基亚基或者含有芳基亚基;或者R9、R10为连接的键;
m、n、p、q为0-20的整数,但m、n不同时为0,p、q不同时为0,
所述等离子体放电方式为射频放电、微波放电、中频放电、潘宁放电。
2.如权利要求1所述的丙烯酰胺纳米涂层,其特征在于,R1、R2、R3、R6、R7、R8独立地选自氢、甲基或氟基,X、Y为氟。
3.如权利要求1所述的丙烯酰胺纳米涂层,其特征在于,R9、R10独立地选自碳原子数为1-5的直链亚烷基。
4.如权利要求1所述的丙烯酰胺纳米涂层,其特征在于,R11为碳原子数为3-10的直链烷烃亚基。
5.如权利要求1所述的丙烯酰胺纳米涂层,其特征在于,m、n为2-10的整数。
6.如权利要求1所述丙烯酰胺纳米涂层,其特征在于,所述基材为金属、光学仪器、衣服织物、电子器件或医疗器械。
7.如权利要求1-6任一项所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内,将反应腔体内的真空度抽到0.1-1000毫托;
(2)通入等离子体源气体,开启沉积用等离子体放电,将单体1和单体2经汽化后导入反应腔体进行化学气相沉积反应;
(3)关闭沉积用等离子体放电,通入洁净的压缩空气或者惰性气体恢复至常压,打开腔体,取出基材。
8.如权利要求7所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述单体1和所述单体2分别通入真空腔体;
或者,所述单体1和所述单体2同时通入所述真空腔体;
或者,向所述真空腔体内先通入所述单体1或所述单体2,然后再同时通入所述单体1和所述单体2的混合蒸汽。
9.如权利要求7所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述等离子体源气体为氦气、氩气、氮气和氢气中的一种或者若干种的混合物。
10.如权利要求7所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,所述等离子体室的容积为1L-5000L;
所述等离子体源气体流量为5-1000sccm;
所述单体蒸汽的通入流量为1-2000μL/min。
11.如权利要求7所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,在通入所述等离子体源气体后以及在所述沉积用等离子体放电之前,还包括对基材进行预处理用等离子体放电工序。
12.如权利要求11所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,所述预处理用等离子体放电的功率为2-500W,持续放电时间为1-3600s。
13.如权利要求7所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述沉积用等离子体放电的功率为2-500W,持续放电时间为600-20000s。
14.如权利要求7或者11所述丙烯酰胺纳米涂层的制备方法,其特征在于,所述等离子体放电方式为射频放电,射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲或连续输出,等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出时,脉宽为10μs-50ms、重复频率为20Hz-10kHz。
CN201811245255.9A 2018-10-24 2018-10-24 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法 Active CN109267040B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811245255.9A CN109267040B (zh) 2018-10-24 2018-10-24 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法
PCT/CN2019/078827 WO2020082671A1 (zh) 2018-10-24 2019-03-20 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法
TW108137920A TWI717869B (zh) 2018-10-24 2019-10-21 一種丙烯醯胺奈米塗層及其製備方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811245255.9A CN109267040B (zh) 2018-10-24 2018-10-24 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109267040A CN109267040A (zh) 2019-01-25
CN109267040B true CN109267040B (zh) 2020-03-31

Family

ID=65194402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811245255.9A Active CN109267040B (zh) 2018-10-24 2018-10-24 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN109267040B (zh)
TW (1) TWI717869B (zh)
WO (1) WO2020082671A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109267040B (zh) * 2018-10-24 2020-03-31 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法
CN110903763A (zh) * 2019-12-09 2020-03-24 佛山市思博睿科技有限公司 超疏水防水液、其制备方法及其防水透音网的制备方法
CN114438477A (zh) * 2020-11-02 2022-05-06 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 循环镀膜方法、膜层以及产品

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1946488A (zh) * 2004-03-18 2007-04-11 英国国防部 在大容积等离子体室中使用低功率脉冲等离子体来涂布聚合物层
CN101573640A (zh) * 2006-12-28 2009-11-04 3M创新有限公司 具有丙烯酰胺涂层的干涉膜及其制造方法
CN106622892A (zh) * 2016-11-30 2017-05-10 无锡荣坚五金工具有限公司 一种电火花等离子体引发聚合表面涂层装置及方法
CN107058981A (zh) * 2017-01-23 2017-08-18 无锡荣坚五金工具有限公司 一种低粘附、耐蚀涂层的制备方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2233605B1 (en) * 2000-12-12 2012-09-26 Konica Corporation Optical film comprising an anti-reflection layer
EP2468778B1 (en) * 2009-08-20 2016-10-12 AGC Seimi Chemical Co., Ltd. Fluoroalkyl group-containing n-substituted (meth)acrylamide compound, polymer thereof, and use thereof
JP5832298B2 (ja) * 2009-12-24 2015-12-16 三井化学東セロ株式会社 ガスバリア性膜及び積層体
CN103132045A (zh) * 2011-11-28 2013-06-05 英作纳米科技(北京)有限公司 医疗用品的涂层制备方法及其产品
CN106868473B (zh) * 2017-01-23 2018-07-13 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 一种梯度递减结构防液涂层的制备方法
CN108531892B (zh) * 2018-04-09 2021-03-16 苏州睿研纳米医学科技有限公司 亲水复合涂层的制备方法及亲水复合涂层
CN109267040B (zh) * 2018-10-24 2020-03-31 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1946488A (zh) * 2004-03-18 2007-04-11 英国国防部 在大容积等离子体室中使用低功率脉冲等离子体来涂布聚合物层
CN101573640A (zh) * 2006-12-28 2009-11-04 3M创新有限公司 具有丙烯酰胺涂层的干涉膜及其制造方法
CN106622892A (zh) * 2016-11-30 2017-05-10 无锡荣坚五金工具有限公司 一种电火花等离子体引发聚合表面涂层装置及方法
CN107058981A (zh) * 2017-01-23 2017-08-18 无锡荣坚五金工具有限公司 一种低粘附、耐蚀涂层的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW202016346A (zh) 2020-05-01
TWI717869B (zh) 2021-02-01
WO2020082671A1 (zh) 2020-04-30
CN109267040A (zh) 2019-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7336019B2 (ja) 撥水ナノ膜及びその製造方法、応用、並びに製品
CN109267040B (zh) 一种丙烯酰胺纳米涂层及其制备方法
CN109354941B (zh) 一种高粘附性耐老化纳米涂层及其制备方法
CN109277269B (zh) 一种环氧纳米涂层及其制备方法
CN110139719B (zh) 具有优异的稳定性和耐久性的亲水性多功能超薄涂层
WO2006049153A1 (ja) フルオロカーボン膜およびその製造方法
CN109267038B (zh) 一种耐磨自交联的纳米涂层及其制备方法
TWI647101B (zh) 圖案化鍍膜結構、圖案化鍍膜複合結構、選擇性抑制有機鍍膜形成的方法與選擇性調整有機鍍膜厚度的方法
CN109354903B (zh) 一种高透明低色差纳米涂层及其制备方法
CN111348840A (zh) 疏水性表面涂层及其制备方法
RU2698809C1 (ru) Способ изготовления композиционного материала на основе углеродных волокон
WO2019032253A1 (en) NORMAL VACUUM NANOMETERIC LIQUID GELS AS GRID ISOLANTS FOR LOW VOLTAGE HIGH SPEED THIN FILM TRANSISTORS
JPS62235339A (ja) プラスチツク表面改質方法
CN113897592A (zh) 透明耐磨膜层、塑料表面改性方法以及产品
KR100336622B1 (ko) 플라즈마를 이용한 재료 표면에의 고분자 중합막 합성방법 및 그 방법으로 제조된 고분자 재료
CN111690306B (zh) 防水膜层及其制备方法和产品
CN109267039B (zh) 一种聚氨酯纳米涂层及其制备方法
CN114438477A (zh) 循环镀膜方法、膜层以及产品
Zheludkevich et al. Barrier properties of polyurethane coil coatings treated by microwave plasma polymerization
TWI647328B (zh) 選擇性抑制有機鍍膜形成的方法與選擇性調整有機鍍膜厚度的方法
Zuza et al. Plasma-assisted deposition of dielectric conformal coating using hexamethyldisiloxane as precursor
Wu et al. Pulsed plasma polymerizations: film chemistry control and applications
Li et al. Electrochemical Polymerization of Methoxy Polyethylene Glycol Acrylate on Carbon Fiber for Improved Interfacial Properties
JP3194513B2 (ja) フッ素系ポリマー傾斜薄膜
JPS58180503A (ja) 薄膜作成法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: No.182, East Ring Road, Yuqi supporting area, Huishan Economic Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000

Patentee after: Jiangsu feiwotai nanotechnology Co.,Ltd.

Address before: 214183 East Ring Road, Yuqi supporting area, Huishan Economic Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province

Patentee before: Jiangsu Favored Nanotechnology Co.,Ltd.