CN109205313A - 单晶硅棒周转器 - Google Patents

Abstract

本发明提供单晶硅棒周转器，用于解决现有技术中硅棒在生产现场移动困难的技术问题。本发明所述的单晶硅棒周转器，包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车，空工装放置于过渡平台上，单晶硅棒手工放置于过渡平台上的空工装内，进料升降机将过渡平台上放置有硅棒的工装移动至缓存线，单晶硅棒在缓存线上进行相应的处理后，由出料升降机将经缓存线处理后的单晶硅棒移至AGV小车，并由AGV小车移送至相应的位置。本方案相对于现有技术中采用手工移送硅棒，具有硅棒移动方便，并且，减少了单晶硅棒移动过程中的手工干预，降低了操作人员的劳动强度，单晶硅棒移动过程中不容易被碰撞，优化了单晶硅棒周转器的性能。

Description

单晶硅棒周转器

技术领域

本发明涉及硅棒加工设备配件，尤其涉及单晶硅棒周转器，属于半导体加工领域。

背景技术

硅片是光伏领域的专用材料，硅片是由硅棒采用多线切割技术切割后形成的。硅棒在加工前需要在生产现场进行多次转运，以对硅棒进行相应的处理。

现有技术中硅棒在转运过程中均通过手工搬动的方式移动，这种移动方式一方面造成操作人员劳动强度大，另一方面采用手工搬运的方法移动硅棒存在安全隐患，容易造成硅棒损坏。

发明内容

本发明提供单晶硅棒周转器，用于解决现有技术中硅棒在生产现场移动困难的技术问题。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：

单晶硅棒周转器，包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车；其中，所述工装放置于所述过渡平台上，所述进料升降机将所述过渡平台上的工装移入所述缓存线，所述出料升降机将所述缓存线上的工装移入所述AGV小车，所述工装包括框架，在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。

本发明所述的单晶硅棒周转器，包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车，空工装放置于过渡平台上，单晶硅棒手工放置于过渡平台上的空工装内，进料升降机将过渡平台上放置有硅棒的工装移动至缓存线，单晶硅棒在缓存线上进行相应的处理后，由出料升降机将经缓存线处理后的单晶硅棒移至AGV小车，并由AGV小车移送至相应的位置。本方案相对于现有技术中采用手工移送硅棒，具有硅棒移动方便，并且，减少了单晶硅棒移动过程中的手工干预，降低了操作人员的劳动强度，单晶硅棒移动过程中不容易被碰撞，优化了单晶硅棒周转器的性能。

优选的，所述缓存线包括至少一层将工装由进料升降机方向传送至出料升降机方向的满载线和将工装由出料升降机方向传送至进料升降机方向的空载线。

至少一层满载线使得缓存线可以缓存更多的单晶硅棒，优化了单晶硅棒周转器的性能。

空载线的设置主要用于将空的工装运送至靠近进料升降机的一端，空的工装无需手工传送，降低了操作人员的劳动强度。

优选的，所述缓存线包括缓存架，所述满载线和所述空载线均为设置于所述缓存架上的回转式传送机。

简化了缓存线的结构，降低了缓存线的制造成本。

优选的，所述进料升降机包括机架，在所述机架上设置有进料传送机构，所述进料传送机构相对于所述机架上下移动，所述进料传送机构延伸至所述缓存线，以将进料升降机上的工装转存至所述缓存线。

进料机构延伸至缓存线内，简化了单晶硅棒周转器的结构，降低了单晶硅棒周转器的加工成本。

优选的，所述出料升降机包括架体，在所述架体上设置有出料传送机构，所述出料传送机构相对于所述架体上下移动，所述出料传送机构延伸至所述缓存线，以将缓存线上的工装传送至所述AGV小车。

简化了单晶硅棒周转器的结构，进而降低了单晶硅棒周转器的使用成本。

优选的，所述进料传送机构包括滑动连接于所述机架上的传送架，在所述传送架上设置有传送带，在所述机架上设置有导轨，在所述传送架上设置有与所述导轨配合的滑槽，在所述机架上设置有带动所述传送架沿所述导轨移动的传动链，在所述机架上设置有与所述传动链配合的主动链轮、从动链轮，所述主动链轮由固定在机架上的电机驱动转动。

导轨及滑槽的设置使得传送架具有较高的移动精度，进而优化了单晶硅棒周转器的性能。

采用链传动带动传送架移动，降低了进料传送机构的制造成本。

优选的，在所述架体上设置有识别标签，所述AGV小车上设置有识别所述识别标签的识别器，所述识别器识别所述识别标签以校正所述AGV小车相对于所述架体的位置。

识别标签及识别器的设置提高了AGV小车的位置精度，进而提高了单晶硅棒周转器的精度。

优选的，所述缓冲层为粘接于框架上PVC板。

工装结构合理，有效地避免了单晶硅棒脱离工装，提高了单晶硅棒周转器的稳定性。

优选的，所述过渡平台包括放置架和垫脚，所述垫脚通过螺杆设置于所述放置架上，所述垫脚与所述螺杆为一体式结构，在所述放置架上设置有与所述螺杆配合的螺孔，在所述螺杆上还设置有锁紧螺母，所述锁紧螺母抵紧所述放置架以将所述螺杆锁紧在所述螺孔内。

过渡平台的高度可以调节，优化了过渡平台的性能。

锁紧螺母的设置提高了过渡平台的稳定性。

优选的，在所述锁紧螺母上一体式设置有便于旋转所述锁紧螺母的手柄，在所述手柄上套设有橡胶套。

锁紧螺母锁紧操作方便，优化了过渡平台的操作性能。

本发明同现有技术相比具有以下优点及效果：

1、进料升降机、出料升降机、缓存线的设置使得单晶硅棒在移动过程中不需要过多的人工干预，进而降低了操作人员的劳动强度，并且，由于减少了人工干预，有效地避免了单晶硅棒在移动过程中由于操作人员操作失误而造成单晶硅棒损坏。

2、缓冲层的设置可以有效地避免工装损坏单晶硅棒，优化了工装的性能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的结构示意图。

图2为过渡平台与进料升降机装配后的示意图。

图3为出料升降机的示意图。

标号说明：

1、过渡平台，2、进料升降机，3、缓存线，4、出料升降机，5、工装，6、AGV小车，7、满载线，8、空载线，9、缓存架，10、机架，11、进料传送机架，12、架体，13、出料传送机构，14、放置架，15、垫脚，16、螺杆。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以下实施例是对本发明的解释而本发明并不局限于以下实施例。

实施例1

如图1，单晶硅棒周转器，包括过渡平台1、进料升降机2、缓存线3、出料升降机4、工装5和AGV小车6；其中，所述工装5放置于所述过渡平台1上，所述进料升降机2将所述过渡平台1上的工装5移入所述缓存线3，所述出料升降机4将所述缓存线3上的工装5移入所述AGV小车6，所述工装5包括框架，在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。

本实施例中单晶硅棒的周转过程如下：

a、将空的工装5放置于过渡平台1上。

b、操作人员手工将单晶硅棒放置于位于过渡平台1上的空工装5内。

c、进料升降机2将过渡平台1上装有硅棒的工装5转移至缓存线3上，缓存线3对装有硅棒的工装5进行相应的处理，例如使单晶硅棒的温度升高等。单晶硅棒的处理方式为现有技术中的常规技术，在此不再展开叙述。

d、经缓存线3处理后的单晶硅棒由缓存线3移动至靠近出料升降机4的一端。

e、出料升降机4将经缓存线3处理后的单晶硅棒转移至AGV小车6，由AVG小车转移至相应位置。完成单晶硅棒的周转。

由上述单晶硅棒的周转过程可得，上述技术方案相对于现有技术大大减少了单晶硅棒周转过程的人工干预，从而可以有效地降低操作人员的劳动强度，并且，在单晶硅棒周转过程中由于减少了人工干预，单晶硅棒在周转过程中不容易损坏，优化了单晶硅棒周转器的性能。

本方案主要解决的技术问题是单晶硅棒的周转，并不涉及单晶硅棒的处理方式，单晶硅棒的处理方式为现有技术中的常规技术，在此不再展开叙述。

实施例2

本实施例结合实施例1，介绍缓存线3的结构。

如图1，所述缓存线3包括至少一层将工装5由进料升降机2方向传送至出料升降机4方向的满载线7和将工装5由出料升降机4方向传送至进料升降机2方向的空载线8。

所述缓存线3包括缓存架9，所述满载线7和所述空载线8均为设置于所述缓存架9上的回转式传送机。

也就是说，该缓存线3包括至少一层满载线7和一层空载线8，满载线7用于转移装载有单晶硅棒的工装5，空载线8主要用于转移空的工装5。由此满载线7和空载线8应具备承载单晶硅棒、工装5的功能，并且还具有转移单晶硅棒、工装5的功能。

满载线7、空载线8采用回转式传送机即可满足上述功能。回转式传送机为现有技术中的常规结构，在此不再展开叙述，回转式传送机应包括回转式的传送带及驱动该传送带的回转的电机。

回转式传送机也可以采用其它具有传送功能的机构替代，其具体结构本领域技术人员可以合理设置，在此不再叙述。

实施例3

本实施例结合实施例1或实施例2，介绍进料升降机2、出料升降机4的结构。

如图1、图2、图3，所述进料升降机2包括机架10，机架10可以由杆件拼接形成，在所述机架10上设置有进料传送机构11，所述进料传送机构11相对于所述机架10上下移动，所述进料传送机构11延伸至所述缓存线3，以将进料升降机2上的工装5转存至所述缓存线3。

所述进料传送机构11包括滑动连接于所述机架10上的传送架，在所述传送架上设置有传送带，在所述机架10上设置有导轨，在所述传送架上设置有与所述导轨配合的滑槽，在所述机架10上设置有带动所述传送架沿所述导轨移动的传动链，在所述机架10上设置有与所述传动链配合的主动链轮、从动链轮，所述主动链轮由固定在机架10上的电机驱动转动。

进料传送机构11延伸至缓存线3是指，缓存线3的满载线7设有对进料传送机构11让位的让位缺口。具体地说，进料传送机构11将装有单晶硅棒的工装5以与满载线7平齐的高度移至该缺口，使装有单晶硅棒的工装5搭接于满载线7上，由满载线7进行转移。

过渡平台1、出料升降机4转移工装5或装有单晶硅棒的工装5的方式与进料传送机构11转移装载有单晶硅棒的工装5方式类似，均是利用进料升降机2、出料升降机4的升降功能进行转移，在此不再重复叙述。

所述出料升降机4包括架体12，在所述架体12上设置有出料传送机构13，所述出料传送机构13相对于所述架体12上下移动，所述出料传送机构13延伸至所述缓存线3，以将缓存线3上的工装5传送至所述AGV小车6。

本实施例中进料传送机构11相对于机架10的上下移动，是利用带链传动的方式带动进料传送机构11移动。但是，本领域技术人员在实际设计时也可采用其它结构替代，例如但不限于丝杠螺母副、直线电机、液压系统、气动系统等，输出直线往复运动的结构、

实施例4

本实施例介绍AGV小车6的定位方式。

在所述架体12上设置有识别标签，识别标签即为可被识别的结构，所述AGV小车6上设置有识别所述识别标签的识别器，所述识别器识别所述识别标签以校正所述AGV小车6相对于所述架体12的位置。

识别器识别位于架体12上的识别标签，识别正确后即确定AGV小车6位置到位，由此，可以避免装载有单晶硅棒的工装5从AGV小车6上滑落，提高了单晶硅棒周转器的周转精度。

实施例5

本实施例介绍缓冲层。

所述缓冲层为粘接于所述框架上的PVC板。缓冲层也可以由其它材质制成。

工装5的具体结构不做限定，本领域技术人员可以根据单晶硅棒的形状、尺寸合理设计。

实施例6

本实施例介绍过渡平台1。

如图2，所述过渡平台1包括放置架14和垫脚15，所述垫脚15通过螺杆16设置于所述放置架14上，所述垫脚15与所述螺杆16为一体式结构，在所述放置架14上设置有与所述螺杆16配合的螺孔，在所述螺杆16上还设置有锁紧螺母，所述锁紧螺母抵紧所述放置架14以将所述螺杆16锁紧在所述螺孔内。

在所述锁紧螺母上一体式设置有便于旋转所述锁紧螺母的手柄，在所述手柄上套设有橡胶套。

调节螺杆16相对于放置架14的位置即可调节过渡平台1的高度，以优化过渡平台1的操作性能。

锁紧螺母主要用于将螺杆16锁紧在放置架14上，以避免螺杆16松脱，提高了过渡平台1的稳定性。

本方案中单晶硅棒周转器的控制可采用PLC控制器，也可以采用计算机控制系统控制，或者，采用手工控制的方式控制，其具体控制方式不做具体限定，本领域技术人员可根据需要合理选择。

此外，需要说明的是，本说明书中所描述的具体实施例，其零、部件的形状、所取名称等可以不同。凡依本发明专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本发明专利的保护范围内。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本发明的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.单晶硅棒周转器，其特征是：包括过渡平台(1)、进料升降机(2)、缓存线(3)、出料升降机(4)、工装(5)和AGV小车(6)；其中，所述工装(5)放置于所述过渡平台(1)上，所述进料升降机(2)将所述过渡平台(1)上的工装(5)移入所述缓存线(3)，所述出料升降机(4)将所述缓存线(3)上的工装(5)移入所述AGV小车(6)，所述工装(5)包括框架，在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器，其特征是：所述缓存线(3)包括至少一层将工装(5)由进料升降机(2)方向传送至出料升降机(4)方向的满载线(7)和将工装(5)由出料升降机(4)方向传送至进料升降机(2)方向的空载线(8)。

3.根据权利要求2所述的单晶硅棒周转器，其特征是：所述缓存线(3)包括缓存架(9)，所述满载线(7)和所述空载线(8)均为设置于所述缓存架(9)上的回转式传送机。

4.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器，其特征是：所述进料升降机(2)包括机架(10)，在所述机架(10)上设置有进料传送机构(11)，所述进料传送机构(11)相对于所述机架(10)上下移动，所述进料传送机构(11)延伸至所述缓存线(3)，以将进料升降机(2)上的工装(5)转存至所述缓存线(3)。

5.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器，其特征是：所述出料升降机(4)包括架体(12)，在所述架体(12)上设置有出料传送机构(13)，所述出料传送机构(13)相对于所述架体(12)上下移动，所述出料传送机构(13)延伸至所述缓存线(3)，以将缓存线(3)上的工装(5)传送至所述AGV小车(6)。

6.根据权利要求4所述的单晶硅棒周转器，其特征是：所述进料传送机构(11)包括滑动连接于所述机架(10)上的传送架，在所述传送架上设置有传送带，在所述机架(10)上设置有导轨，在所述传送架上设置有与所述导轨配合的滑槽，在所述机架(10)上设置有带动所述传送架沿所述导轨移动的传动链，在所述机架(10)上设置有与所述传动链配合的主动链轮、从动链轮，所述主动链轮由固定在机架(10)上的电机驱动转动。

7.根据权利要求5所述的单晶硅棒周转器，其特征是：在所述架体(12)上设置有识别标签，所述AGV小车(6)上设置有识别所述识别标签的识别器，所述识别器识别所述识别标签以校正所述AGV小车(6)相对于所述架体(12)的位置。

8.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器，其特征是：所述缓冲层为粘接于所述框架上的PVC板。

9.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器，其特征是：所述过渡平台(1)包括放置架(14)和垫脚(15)，所述垫脚(15)通过螺杆(16)设置于所述放置架(14)上，所述垫脚(15)与所述螺杆(16)为一体式结构，在所述放置架(14)上设置有与所述螺杆(16)配合的螺孔，在所述螺杆(16)上还设置有锁紧螺母，所述锁紧螺母抵紧所述放置架(14)以将所述螺杆(16)锁紧在所述螺孔内。

10.根据权利要求9所述的单晶硅棒周转器，其特征是：在所述锁紧螺母上一体式设置有便于旋转所述锁紧螺母的手柄，在所述手柄上套设有橡胶套。