CN109153254B - 用于在真空中连续处理柔性基板的设备及其方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种用于在真空中连续处理柔性基板的设备(100)。所述设备包括处理辊(110)；具有在处理辊(110)的轴方向中延伸的刮刀(121)的刮刀组件(120)；和经配置而用于使刮刀组件(120)朝向处理辊(110)的表面(111)移动的力传递组件(130)。力传递组件(130)包括用于施加力在刮刀组件(120)上的压力单元(131)和用于施加反力在刮刀组件(120)上的反压力单元(132)。

Description

用于在真空中连续处理柔性基板的设备及其方法
技术领域
本公开内容涉及用于连续处理基板的设备。具体来说，本公开内容的实施方式涉及用于在柔性基板上沉积材料的设备。更具体来说，本公开内容的实施方式涉及用于在真空条件下在柔性基板上沉积液体材料的设备。例如，本文所述的实施方式可以特别涉及配备有在真空条件下的旋转涂覆(rotary coating)或印刷工艺(printing process)中使用的刮刀腔室的设备。
背景技术
在包装工业、半导体工业和其他工业中，对柔性基板(例如塑料膜、箔或纸)的处理(processing)是非常需要的。例如，处理可包括以用于特定应用的期望的材料涂覆柔性基板。举例而言，用于涂覆柔性基板的材料可包括聚合物、染料、金属、半导体或电介质材料。通常，执行此任务的系统包括用于将基板输送通过处理区域(例如为了对基板进行涂覆或印刷)的处理滚筒(process drum)。这种处理系统通常称为旋转(rotary)系统或卷对卷(Roll-to-roll，R2R)系统。
具体来说，在使用液体涂覆或印刷材料的涂覆或印刷系统中，需要准确并且均匀地控制供应至涂覆或上墨辊(coating or inking roller)的表面的液体材料以得到优质的涂覆或印刷结果。因此，在旋转涂覆或印刷机械的领域中，通常提供一种涂覆或上墨单元，所述涂覆或上墨单元配备有刮刀，所述刮刀被压靠于涂覆或上墨辊的外表面以控制施加至涂覆或上墨辊的表面的液体涂覆或上墨材料的层厚度。虽然诸如液体材料的粘度、辊旋转速度等因素的其他因素也影响液体材料的层厚度，但将刮刀压靠于涂覆或上墨辊的表面的力对于施加至涂覆或上墨辊的液体材料层的厚度是更具决定性的。
然而，准确地调整和控制刮刀与涂覆或上墨辊的恒定接触压力仍是具有挑战性的，特别是对于具有大的基板宽度的基板的涂覆或印刷。
发明内容
鉴于上述，提供根据独立权利要求的用于在真空中连续处理柔性基板的设备和用于提供刮刀至处理辊的表面上的接触压力的方法。另外的优点、特征、方面和细节由从属权利要求、说明书和附图而显而易见。
根据本公开内容的一个方面，提供一种用于在真空中连续处理柔性基板的设备。所述设备包括：处理辊(processing roller)；具有在处理辊的轴方向中延伸的刮刀(doctor blade)的刮刀组件(doctor blade assembly)；和经配置而用于使刮刀组件朝向处理辊的表面移动的力传递组件。力传递组件包括用于施加力在刮刀组件上的压力单元和用于施加反力(counter-force)在刮刀组件上的反压力单元。
根据本公开内容的另一方面，提供一种用于在真空中连续处理柔性基板的设备。所述设备包括：处理辊；具有在处理辊的轴方向中延伸的刮刀的刮刀组件；和经配置而用于使刮刀移动到处理辊的表面上的第一力传递组件。第一力传递组件包括用于施加力在刮刀组件上的第一气动压力单元(pneumatic pressure unit)和用于施加反力在刮刀组件上的第一气动反压力单元(pneumatic counter-pressure unit)。第一力传递组件布置于刮刀组件的第一轴向端(axial end)。第一力传递组件包括连接至刮刀组件的第一负载传递元件(load transmission element)。第一负载传递元件经配置以用于将力从第一气动压力单元传递至刮刀组件和用于将反力从第一气动反压力单元传递至刮刀组件。此外，所述设备包括第二力传递组件，经配置以用于使刮刀移动到处理辊的表面上。第二力传递组件包括用于施加力在刮刀组件上的第二气动压力单元和用于施加反力在刮刀组件上的第二气动反压力单元。第二力传递组件布置于刮刀组件的第二轴向端，第二轴向端与刮刀组件的第一轴向端相对。第二力传递组件包括连接至刮刀组件的第二负载传递元件。第二负载传递元件经配置以用于将力从第二气动压力单元传递至刮刀组件和用于将反力从第二气动反压力单元传递至刮刀组件。
根据本公开内容的另一方面，提供一种用于提供刮刀至处理辊的表面上的接触压力的方法。所述方法包括通过使用压力单元而施加力在包括刮刀的刮刀组件上和通过由反压力单元施加反力在刮刀组件上而控制接触压力。
本公开内容还涉及一种用于执行所公开的方法的设备，包括用于执行所述方法的设备部分。所述方法可以通过硬件部件(hardware component)、由适当的软件编程的计算机、上述两者的任何组合或任何其他方式来执行。此外，本公开内容还涉及所述设备的操作方法。操作方法包括用于执行所述设备的每个功能的方法。
附图说明
为了能够详细地理解对本公开内容的上述特征的方式，可参考实施方式而获得上文简要概述的本公开内容的更具体说明。涉及本公开内容的实施方式的附图说明如下：
图1示出依照本文所述实施方式的用于在真空中连续处理柔性基板的设备的示意性立体图；
图2示出如图1中所示的设备的刮刀组件的一部分的示意性立体图；
图3示出依照本文所述实施方式的设备的示意性主视图；
图4A和图4B示出依照本文所述实施方式的设备的相对部分的示意性俯视图；
图5A和图5B示出图4A和图4B中所示的设备的部分的对应的更详细视图；并且
图6A至图6C示出依照本文所述实施方式说明用于提供刮刀至处理辊的表面上的接触压力的方法的实施方式的方框图。
具体实施方式
现将详细参考本公开内容的各种实施方式，附图中图示实施方式的一个或多个示例。以下的附图说明中，相同的参考数字表示相同的部件。在下文中，仅描述关于个别实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式提供，而不意味着对本公开内容的限制。此外，图示或描述为一个实施方式的一部分的特征可用于其他实施方式上，或者与其他实施方式组合以产生又一实施方式。本说明书旨在包括此类的修改与变化。
图1示出依照本文所述实施方式的用于在真空中连续处理柔性基板的设备100的示意性立体图。具体来说，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，所述设备包括处理辊110和具有在处理辊110的轴方向中延伸的刮刀121的刮刀组件120。此外，所述设备包括力传递组件130，力传递组件130经配置而用于使刮刀组件120朝向处理辊110的表面111移动。具体来说，力传递组件130包括用于施加力在刮刀组件上的压力单元和用于施加反力在刮刀组件上的反压力单元。图1中所示的力传递组件130更详细地示出于图4A、图4B、图5A和图5B中。
因此，通过提供如本文所述的具有力传递组件的用于连续处理柔性基板的设备，可以有利地非常准确地控制和调整刮刀与处理辊的表面的接触压力。具体来说，通过采用用于控制和/或调整刮刀与处理辊的表面的接触压力的反压力单元，可以提供一种设备，其中所述接触压力可以被控制为大体上独立于周围压力(ambient pressure)。因此，可以有利地提供一种设备，其中当周围压力发生变化时，刮刀与处理辊的表面的接触压力可以被控制为恒定的。
举例而言，周围压力的变化可以是从第一周围压力(例如是安装(set up)所述设备时的周围压力)至第二周围压力(例如是在处理期间操作所述设备时的周围压力)的变化，具体来说，第一周围压力可以是大气压力(atmospheric pressure)，第二周围压力可以是真空压力(vacuun pressure)。因此，应当理解本文所述的实施方式提供在处理腔室(在所述处理腔室中处理柔性基板)的抽真空期间，维持刮刀与对应的处理辊的恒定接触压力。
因此，虽然附图中未明确示出，但应当理解，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，所述设备包括真空处理腔室。具体来说，如本文所述的处理辊、刮刀组件和力传递组件可以布置于设备的真空处理腔室内。
在本公开内容中，“柔性基板”的特征在于所述基板是可弯曲的(bendable)。例如，柔性基板可以是箔(foil)。具体来说，应当理解本文所述的设备的实施方式可以用于处理任何种类的柔性基板，例如用于在柔性基板上制造涂层或电子器件。举例而言，如本文所述的基板可包括材料(如PET、HC-PET、PE、PI、PU、TaC、一种或多种金属、纸、上述材料的组合物)和已涂覆的基板(如硬涂层(Hard Coated)PET(例如HC-PET、HC-TAC)等)。
例如参考图1，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，处理辊110可以是网纹辊(anilox roller)或丝网辊(screen roller)。另外，所述设备可以包括一个或多个另外的处理辊，例如图1中示例性示出的传送辊115。具体来说，处理辊110可以平行于设备的另外的处理辊(例如平行于传送辊115)布置。在处理辊110和传送辊115之间，可以在处理(例如涂覆或印刷柔性基板)期间通过使处理辊110和传送辊115旋转而输送柔性基板。因此，处理辊110和传送辊115可连接至设备100的框架结构(frame structure)160，使得处理辊110和传送辊115可绕着它们的纵向轴旋转。
在本公开内容中，术语“处理辊”应当理解为本本文所述的在柔性基板的处理期间所使用的辊。具体来说，处理柔性基板可以包括使用液体沉积材料或液体上墨材料来涂覆或印刷柔性基板。具体来说，如本文所述的“处理辊”可以是圆柱体，例如是金属的、陶瓷的或塑料的圆柱体，所述圆柱体具有包括细小凹部(dimple)(也称为格(cell))的外表面。更具体来说，根据本文所述的实施方式的“处理辊”可以是网纹辊或丝网辊。
如图1中示例性示出的，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，刮刀组件120可被配置为具有在与处理辊110和/或传送辊115平行的方向中延伸的长形结构(elongated structure)。在本公开内容中，术语“刮刀组件”应理解为包括至少一个长形刮刀的组件。具体来说，如本文所述的“刮刀组件”可以包括刮刀腔室(doctor bladechamber)。
例如参考图1与图2，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，刮刀组件120可以包括刮刀腔室125。具体来说，刮刀腔室125可以包括在处理辊110的轴方向中延伸的第一刮刀121A和在处理辊110的轴方向中延伸的第二刮刀121B。例如，本文所述的刮刀腔室125可包括用于接收待沉积的液体材料的储存器(reservior)126。具体来说，储存器126可以由两个间隔开的刮刀来限定，例如是第一刮刀121A和第二刮刀121B，二者均在对应的处理辊的轴方向中延伸。此外，端板(未示出)可设于刮刀的相对的两端，以与两个间隔开的刮刀一同限定用于待沉积的液体材料的储存器。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，所述设备可以包括用于将液体涂覆材料或液体上墨材料供应至刮刀腔室中的储存器的供应装置(supplydevice)。因此，应当理解，当处理辊的表面经过由两个刮刀和端板限定的储存器时，液体涂覆材料或液体上墨材料可以从储存器被施加至处理辊的表面(例如网纹辊的表面)。
鉴于本文所述的实施方式，本领域技术人员理解到本公开内容的设备提供得到高质量的涂覆或印刷结果。具体来说，通过提供力传递组件(所述力传递组件经配置而用于提供刮刀与处理辊的表面的独立于周围压力的接触压力)，可以在整个涂覆或上墨工艺中提供处理辊上的液体涂覆材料或液体上墨材料的恒定层厚度。此外，力传递组件的实施方式经配置而使得在处理腔室的抽真空和初始安装期间，可以维持刮刀与处理辊的对应的表面的接触压力。因此，如本文所述的实施方式提供准确并且均匀地控制沿处理辊表面上的轴向长度供应的液体涂覆材料或液体上墨材料的层厚度。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，刮刀组件120可包括附接至刮刀腔室125的保持布置(holding arrangement)140，如示出图1所示的设备的一部分的更详细的的示意性立体图的图2所示。具体来说，刮刀组件120可以连接至经配置而用于保持刮刀组件120的保持布置140。保持布置140可以包括支撑元件141(例如是在处理辊110的轴方向中延伸的梁元件(beam element))。支撑元件141可以经由连接元件连接至设备100的框架结构160。例如，连接元件可以经配置而用于提供刮刀组件的旋转运动。具体来说，刮刀组件的旋转运动可以包括绕与处理辊110的轴线平行的轴线旋转。因此，刮刀组件可有利地配置为可绕枢轴转动的(pivotable)以使刮刀组件120朝向和远离处理辊110的表面111移动。此配置可特别地有利于维护(maintenance)，例如当刮刀或刮刀组件的其他部件需要替换时。
在图3中，示出根据如本文所述的实施方式的设备的示意性主视图。如图3所示，刮刀组件120可以具有平行于处理辊110的旋转轴线112延伸的长形结构(elongatedconfiguration)。具体来说，刮刀组件可以具有处理辊110的长度的至少50％或更大的长度。更具体来说，刮刀组件可以具有处理辊110的长度的至少75％或更大的长度。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，如图3中示例性示出的，可以提供第一力传递组件130A和第二力传递组件130B。具体来说，第一力传递组件130A和第二力传递组件130B可布置于刮刀组件120的相对端。例如，第一力传递组件130A可布置于刮刀组件120的第一轴向端120A，第二力传递组件130B可布置于刮刀组件120的第二轴向端120B，第二轴向端120B与刮刀组件120的第一轴向端120A相对。因此，提供本文所述的第一力传递组件130A和第二力传递组件130B可以特别有利于准确并且均匀地控制沿处理辊的表面上的轴向长度供应的液体涂覆材料或液体上墨材料的层厚度。具体来说，提供如本文所述的第一力传递组件130A和第二力传递组件130B有利于准确地控制和调整刮刀腔室的第一刮刀和第二刮刀与处理辊的表面的接触压力。
因此，应当理解，第一力传递组件130A和第二力传递组件130B经配置而用于使刮刀组件120移动至处理辊110的表面111上。此外，如参考图4A、图4B、图5A和图5B更详细说明的，第一力传递组件130A和第二力传递组件130B可经配置而用于控制和调整刮刀与对应的处理辊的表面的接触压力。
图4A和图4B示出根据本文所述实施方式的具有刮刀组件和力传递组件的设备的相对部分的示意性俯视图。在图5A和图5B中，示出在图图4A和图4B中图示的设备的部分的对应的更详细视图。
在本公开内容中，术语“力传递组件”应理解为经配置而用于将施加至刮刀组件的力传递至本文所述的处理辊的外表面上的组件。具体来说，本文所述的“力传递组件”可经配置而用于提供在刮刀组件的刮刀与对应的处理辊的表面之间的接触力。更具体来说，根据本文所述实施方式的“力传递组件”可经配置而用于提供和调整刮刀腔室与网纹辊或丝网辊的表面的接触压力。
示例性参考图5A，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，力传递组件130包括用于施加力F1在刮刀组件120上的压力单元131和用于施加反力F2在刮刀组件120上的反压力单元132。具体来说，压力单元131和反压力单元132可以被配置为气动单元(pneumatic unit)，例如如图5A和图5B所示的第一气动压力单元131A、第二气动压力单元131B、第一气动反压力单元132A和第二气动反压力单元132B。此外，如图4A、图4B、图5A和图5B中示例性所示，力传递组件130可以包括负载传递元件(load transmissionelement)133。应理解虽然根据本文所述实施方式的力传递组件的特征是参照示出如本文所述的第一力传递组件130A的图5A描述的，但是第一力传递组件的特征的描述也可以应用至如图3，图4B和图5B中示例性所示的第二力传递组件130B的特征。
在本公开内容中，术语“负载传递元件”应理解为经配置而用于将由本文所述的压力单元产生的负载或力传递至本文所述的刮刀组件的元件。此外，“负载传递元件”可经配置而用于将由反压力单元产生的反负载或反力传递至本文所述的刮刀组件。
因此，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，负载传递元件133经配置而用于将力从压力单元131传递至刮刀组件120。此外，负载传递元件133可经配置而用于将反力从反压力单元132传递至刮刀组件120。例如，如图5A或图5B中示例性所示，负载传递元件133可经构造而用于在负载传递元件133的第一表面134上接收来自压力单元131的力F1，和用于在负载传递元件133的第二表面135上接收来自反压力单元132的力F2。具体来说，负载传递元件133的第二表面135可以位于负载传递元件133的第一表面134的相对侧。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，负载传递元件133可以具有S形状(例如如图5A所示)或Z形状(例如如图5B所示)。根据附图中未示出的负载传递元件的替代实施方案，负载传递元件可以是在处理辊的轴方向中延伸的板。
在本公开内容中，术语“压力单元”应理解为使用流体的压力来产生力或运动的单元。例如，如本文所述的“压力单元”可以是使用可压缩流体，特别是气体(例如空气)来产生力或运动的气动单元。使用气动单元可特别有益于真空处理，因为气动单元在处理腔室的抽真空期间自动地对压力变化起反应。或者，本文所述“压力单元”可以是使用不可压缩流体，特别是液体(例如油或水)来产生力或运动的液压单元(hydraulic unit)。
因此，在本公开内容中，术语“反压力单元”应理解为使用流体的压力来产生针对由本文所述的“压力单元”产生的力或运动的反力或反运动的单元。具体来说，“反压力单元”可以是类似于本文所述的“压力单元”的气动单元或液压单元。
示例性参考图5A，根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，所述设备可以包括经配置而用于控制由压力单元131产生的第一压力的第一压力阀151。此外，可提供经配置而用于控制由反压力单元132产生的第二压力的第二压力阀152。例如，第一压力阀151和/或第二压力阀152可以连接至可经配置而用于控制第一压力和/或第二压力的控制器150。因此，有利地，可以在本文所述的设备的操作期间，精确地控制和调整刮刀组件的刮刀与处理辊之间的接触压力，使得可以实现高质量的涂覆和印刷结果。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，由压力单元131提供的第一压力可以选自具有2bar的下限，特别是3bar的下限，更特别是4bar的下限并且具有4bar的上限，特别是6bar的上限，更特别是8bar的上限的范围。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，由反压力单元132提供的第二压力可以选自具有0bar的下限，特别1bar的下限，更特别是2bar的下限并且具有2bar的上限，特别是4bar的上限，更特别是6bar的上限的范围。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，所述设备的控制器150可经配置而用于控制压力单元131与反压力单元132之间的压力差。具体来说，控制器150可经配置而用于将压力差控制为恒定的。例如，压力差可以选自具有1bar的下限，特别是1.5bar的下限和3bar的上限，特别是4bar的上限的范围。例如，压力单元131和反压力单元132之间的压力差可以是2bar±0.5bar，特别是2bar±0.1bar，更特别是2bar±0.05bar。
因此，刮刀组件的刮刀与处理辊之间的接触压力在整个涂覆或印刷过程中可以有利地被控制为恒定的，使得接触压力可以大体上不受在处理腔室中的周围压力的任何变化的影响，特别是在周围压力从大气压力变化至真空压力的抽真空期间。因此，有利地并且开始时在大气压力条件下的安装接触压力(set up contact pressure)相当于设备于真空条件下操作时的实际接触压力。此外，通过有利地增大由压力单元提供的第一压力以及增大由反压力单元提供的第二压力，可以提升刮刀组件的刮刀与处理辊之间的接触压力的总体稳定性(overall stability)。例如，相较于通过由压力单元提供的4bar的第一压力和由反压力单元提供的2bar的第二压力而产生2bar的接触压力的情况，通过由压力单元提供的8bar的第一压力和由反压力单元提供的6bar的第二压力而产生的2bar的接触压力可更为稳定。
根据可以与本公开内容所述的任何其他实施方式组合的实施方式，所述设备可以进一步包括用于监控由压力单元131提供的第一压力和/或用于监控由反压力单元132提供的第二压力的监控装置(monitoring device)。例如，监控装置可以是压力传感器。具体来说，第一压力传感器可被配置和布置而用于测量由压力单元131提供的第一压力，并且/或者第二压力传感器可被配置和布置而用于测量由反压力单元132提供的第二压力。第一压力传感器和/或第二压力传感器可以连接至如本文所述的控制器。因此，例如在测量的压力偏离本文指定的预选的第一压力和/或第二压力的情况下，控制器可有利地经配置而用于调整第一压力和/或第二压力。
因此，应当理解，本文所述的实施方式提供来自刮刀组件的刮刀与处理辊的接触压力的自动调适(automatic adaption)或重新调整(readjustment)，这可特别有利于补偿刮刀的研磨的磨损影响。此外，本文所述的实施方式提供在设备的操作期间调整刮刀与对应的处理辊的接触压力，这可有利于在设备的操作期间要选择不同的处理条件，特别是液体涂覆或印刷材料的不同的层厚度的情况。因此，本文所述的实施方式提供在真空条件下调适和重新调整刮刀与处理辊的接触压力。具体来说，在处理期间，可以控制和调整接触压力而不破坏所产生的真空。此外，应当理解特别是当力传递组件包括气动单元时，本文所述的实施方式经配置而用于补偿处理辊的例如是由热膨胀引起的变形。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，如图4A、图4B、图5A和图5B所示，力传递组件130可以包括用于引导刮刀组件120朝向处理辊110的表面111移动的导引元件144。例如，导引元件144可以是具有低摩擦力的线性(linear)导引元件。具体来说，引导移动(guiding movement)可以是大体上垂直于处理辊的轴线的移动。因此，有利地，本文所述的刮刀组件的刮刀可以精确地定位至对应的处理辊的表面上。此外，提供本文所述的导引元件还可有利于精确地调整刮刀与对应的处理辊的表面的接触压力。
因此，应当理解根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，刮刀组件(特别是刮刀腔室)可以由导引元件引导而提供刮刀组件朝向处理辊的表面的精确并且被引导的移动，以提供接触压力。
图6A至图6C示出图示用于将刮刀的接触压力提供至处理辊的表面上的方法200实施方式的方框图。根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，如图6A中示出的方框图所示，所述方法200包括通过使用压力单元而施加力在包括刮刀的刮刀组件上(步骤210)，和通过使用反压力单元而施加反力在刮刀组件上以控制接触压力(步骤220)。具体来说，施加力在刮刀组件上(步骤210)可以包括使用根据本文所述实施方式的压力单元。此外，通过施加反力在刮刀组件上以控制接触压力(步骤220)可以包括使用根据本文所述实施方式的反压力单元。因此，本文所述的方法的实施方式有利地提供非常准确地控制和调整刮刀与处理辊的表面的接触压力。具体来说，本文所述的方法的实施方式提供大体上独立于周围压力地控制所述接触压力。因此，使用本文所述的方法的实施方式，即使周围压力发生变化，刮刀与处理辊的表面的接触压力仍可被控制为恒定的。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，控制接触压力(步骤220)包括产生由压力单元施加在负载传递元件上的第一压力与由反压力单元施加在所述负载传递元件上的第二压力之间的压力差(步骤221)。具体来说，产生压力差(步骤221)可以包括施加来自压力单元131的力F1在负载传递元件133的第一表面134上，并且施加来自反压力单元132的反力F2在负载传递元件133的第二表面135上。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，产生压力差(步骤221)可以包括从具有2bar的下限，特别是3bar的下限，更特别是4bar的下限并且具有4bar的上限，特别是6bar的上限，更特别是8bar的上限的范围选择由压力单元131提供的第一压力。此外，产生压力差(步骤221)可以从具有0bar的下限，特别是1bar的下限，更特别是2bar的下限并且具有2bar的上限，特别是4bar的上限，更特别是6bar的上限的范围选择由反压力单元132提供的第二压力。
应当理解控制接触压力(步骤220)可以包括使用本文所述的第一压力阀151和/或第二压力阀152。具体来说，控制接触压力(步骤220)可以包括使用如本文所述的控制器150。因此，如本文所述的方法的实施方式提供本文所述的来自刮刀组件的刮刀与对应的处理辊的接触压力的自动调适(automatic adaption)或重新调整(readjustment)，这可特别有利于补偿刮刀的研磨的磨损影响。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，如图6B示出的方框图所示，所述方法200可以包括监控压力差(步骤230)。具体来说，监控压力差(步骤230)可以包括使用监控装置，例如本文所述的第一压力传感器和/或第二压力传感器。因此，本文所述的方法的实施方式经配置而用于监控和调整本文所指定的第一压力和/或第二压力，这可以是对于测量的压力偏离本文所指定的预选的第一压力和/或第二压力的情况特别有利的。
根据可以与本文所述的任何其他实施方式组合的实施方式，所述方法200可以进一步包括将压力差控制为恒定的(步骤240)，使得刮刀与处理辊的接触压力独立于周围压力。例如，将压力差控制为恒定的(步骤240)可以包括将从具有1bar的下限，特别1.5bar的下限和3bar的上限，特别是4bar的上限的范围选择压力差。具体来说，将压力单元131和反压力单元132之间的压力差控制为恒定的(步骤240)可以包括将所述压力差选择为2bar±0.2bar，特别是2bar±0.1bar，更特别是2bar±0.05bar。
鉴于本公开内容所述的实施方式，本领域技术人员可理解本文所述的设备以及方法的实施方式特别适于精确地调整和控制刮刀腔室的刮刀与网纹辊或丝网辊的接触压力，特别是用于具有大基板宽度的柔性基板的涂覆或印刷。

Claims (12)

1.一种用于在真空中连续处理柔性基板的设备(100)，所述设备包括：
处理辊(110)；
刮刀组件(120)，具有在所述处理辊(110)的轴方向中延伸的刮刀(121)；
力传递组件(130)，经配置而用于使所述刮刀组件(120)朝向所述处理辊(110)的表面(111)移动，其中所述力传递组件(130)包括用于施加力在所述刮刀组件(120)上的气动压力单元(131)和用于施加反力在所述刮刀组件(120)上的气动反压力单元(132)；
第一压力传感器，经配置而用于测量由所述气动压力单元(131)提供的第一压力；
第二压力传感器，经配置而用于测量由所述气动反压力单元(132)提供的第二压力；和
控制器(150)，经配置而用于将所述第一压力与所述第二压力之间的压力差控制为恒定的。
2.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述力传递组件(130)包括负载传递元件(133)，其中所述负载传递元件(133)经配置而用于将所述力从所述气动压力单元(131)传递至所述刮刀组件(120)和用于将所述反力从所述气动反压力单元(132)传递至所述刮刀组件(120)。
3.如权利要求1所述的设备(100)，进一步包括经配置而用于控制由所述气动压力单元(131)产生的所述第一压力的第一压力阀(151)和用于控制由所述气动反压力单元(132)产生的所述第二压力的第二压力阀(152)。
4.如权利要求3所述的设备(100)，其中所述第一压力选自2bar至8bar，并且其中所述第二压力选自0bar至6bar。
5.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述压力差是从1bar至4bar。
6.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述压力差是从1.5bar至3bar。
7.如权利要求1至4中的任一项所述的设备(100)，其中所述力传递组件(130)包括用于引导所述刮刀组件(120)朝向所述处理辊(110)的所述表面(111)的移动的导引元件(144)。
8.一种用于在真空中连续处理柔性基板的设备(100)，所述设备包括：
处理辊(110)；
刮刀组件(120)，具有在所述处理辊(110)的轴方向上延伸的刮刀(121)；
第一力传递组件(130A)，经配置而用于使所述刮刀(121)移动到所述处理辊(110)的表面上，其中所述第一力传递组件(130A)包括用于施加力在所述刮刀组件(120)上的第一气动压力单元(131A)和用于施加反力在所述刮刀组件(120)上的第一气动反压力单元(132A)，其中所述第一力传递组件(130A)布置于所述刮刀组件(120)的第一轴向端(120A)，
其中所述第一力传递组件(130A)包括连接至所述刮刀组件(120)的第一负载传递元件(133A)，其中所述第一负载传递元件(133A)经配置而用于将所述力从所述第一气动压力单元(131A)传递至所述刮刀组件(120)和用于将所述反力从所述第一气动反压力单元(132A)传递至所述刮刀组件(120)；
第二力传递组件(130B)，经配置而用于使所述刮刀(121)移动到所述处理辊(110)的所述表面上，其中所述第二力传递组件(130B)包括用于施加力在所述刮刀组件(120)上的第二气动压力单元(131B)和用于施加反力在所述刮刀组件(120)上的第二气动反压力单元(132B)，其中所述第二力传递组件(130B)布置于所述刮刀组件(120)的第二轴向端(120B)，所述第二轴向端(120B)与所述刮刀组件(120)的所述第一轴向端(120A)相对，
其中所述第二力传递组件(130B)包括连接至所述刮刀组件(120)的第二负载传递元件(133B)，其中所述第二负载传递元件(133B)经配置而用于将所述力从所述第二气动压力单元(131B)传递至所述刮刀组件(120)和用于将所述反力从所述第二气动反压力单元(132B)传递至所述刮刀组件(120)；
第一压力传感器，经配置而用于测量由所述第一气动压力单元(131A)提供的压力；
第二压力传感器，经配置而用于测量由所述第一气动反压力单元(132A)提供的反压力；
第三压力传感器，经配置而用于测量由所述第二气动压力单元(131B)提供的压力；
第四压力传感器，经配置而用于测量由所述第二气动反压力单元(132B)提供的反压力；和
控制器(150)，经配置而用于将在由所述第一压力传感器测量的所述压力与由所述第二压力传感器测量的所述反压力之间的压力差控制为恒定的，并且将在由所述第三压力传感器测量的所述压力与由所述第四压力传感器测量的所述反压力之间的压力差控制为恒定的。
9.一种用于在真空中提供刮刀的接触压力至处理辊的表面上的方法(200)，所述方法包括：
通过使用气动压力单元而施加力在包括所述刮刀的刮刀组件上(210)；和
通过使用气动反压力单元而施加反力在所述刮刀组件上以控制所述接触压力(220)，包括产生在由所述气动压力单元施加在负载传递元件上的第一压力与由所述气动反压力单元施加在所述负载传递元件上的第二压力之间的压力差(221)；
监控所述压力差(230)，包括用第一压力传感器测量由所述气动压力单元施加的所述第一压力和用第二压力传感器测量由所述气动反压力单元施加的所述第二压力；和
将所述压力差控制为恒定的，使得所述刮刀与所述处理辊的所述接触压力独立于周围压力(240)。
10.如权利要求9所述的方法(200)，其中所述第一压力选自2bar至8bar，并且其中所述第二压力选自0bar至6bar。
11.如权利要求9至10中的任一项所述的方法(200)，其中所述压力差选自1bar至4bar。
12.如权利要求9至10中的任一项所述的方法(200)，其中所述压力差选自1.5bar至3bar。
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