KR20190008574A - 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치 및 이를 위한 방법 - Google Patents

진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치 및 이를 위한 방법 Download PDF

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Abstract

진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치(100)가 제공된다. 장치는, 프로세싱 롤러(110); 프로세싱 롤러(110)의 축 방향으로 연장되는 닥터 블레이드(121)를 갖는 닥터 블레이드 조립체(120); 및 프로세싱 롤러(110)의 표면(111) 쪽으로 닥터 블레이드 조립체(120)를 이동시키도록 구성된 힘 전달 조립체(130)를 포함한다. 힘 전달 조립체(130)는 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 힘을 가하기 위한 압력 유닛(131), 및 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 반대-힘을 가하기 위한 반대-압력 유닛(132)을 포함한다.

Description

진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치 및 이를 위한 방법
[0001] 본 개시내용은 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치들에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은 가요성 기판 상에 재료를 증착하기 위한 장치들에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 개시내용의 실시예들은 진공 조건들 하에서 가요성 기판 상에 액체 재료를 증착하기 위한 장치들에 관한 것이다. 예컨대, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들은 특히, 진공 조건들 하에서 회전식 코팅 또는 프린팅 프로세스들에 사용하기 위한 닥터 블레이드 챔버(doctor blade chamber)가 장비되어 있는 장치들에 관한 것일 수 있다.
[0002] 가요성 기판들, 이를테면 플라스틱 막들, 포일들, 또는 페이퍼(paper)의 프로세싱은 패키징 산업, 반도체 산업들, 및 다른 산업들에서 수요가 많다. 예컨대, 프로세싱은 특정 애플리케이션에 대해 원하는 재료로 가요성 기판을 코팅하는 것을 포함할 수 있다. 예컨대, 가요성 기판들을 코팅하는 데 사용되는 재료들은 폴리머들, 염료들, 금속들, 반도체들, 또는 유전체 재료들을 포함할 수 있다. 전형적으로, 이러한 태스크를 수행하는 시스템들은, 예컨대 기판을 코팅 또는 프린팅하기 위해, 프로세싱 구역을 통해 기판을 운송하기 위한 프로세스 드럼을 포함한다. 그러한 프로세싱 시스템은 전형적으로, 회전식 시스템들 또는 롤-투-롤(R2R) 시스템들이라고 지칭된다.
[0003] 특히, 액체 코팅 또는 프린팅 재료를 사용하는 코팅 또는 프린팅 시스템들에서, 양호한 품질의 코팅 또는 프린팅 결과들을 획득하기 위해, 코팅 또는 잉킹 롤러(inking roller)의 표면에 공급되는 액체 재료가 정확하게 그리고 균일하게 제어될 필요가 있다. 따라서, 회전식 코팅 또는 프린팅 머신들의 분야에서, 전형적으로, 닥터 블레이드가 장비된 코팅 또는 잉킹 유닛이 제공되며, 그 닥터 블레이드는 코팅 또는 잉킹 롤러의 표면에 도포되는 액체 코팅 또는 잉킹 재료의 층 두께를 제어하기 위해 코팅 또는 잉킹 롤러의 외측 표면에 대하여 가압된다. 다른 인자들, 이를테면 액체 재료의 점성, 롤러 회전 속도 등이 또한, 액체 재료의 층 두께에 영향을 미치지만, 코팅 또는 잉킹 롤러의 표면에 대하여 닥터 블레이드를 가압하는 힘이, 코팅 또는 잉킹 롤러에 도포되는 액체 재료 층의 두께에 대해 더 결정적이다.
[0004] 그러나, 코팅 또는 잉킹 롤러와 닥터 블레이드들의 일정한 접촉 압력을 정확하게 조정 및 제어하는 것은, 특히 넓은 기판 폭을 갖는 기판들의 코팅 또는 프린팅의 경우, 여전히 어렵다.
[0005] 상기된 바를 고려하여, 독립 청구항들에 따르면, 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치, 및 프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법이 제공된다. 추가적인 이점들, 특징들, 양상들, 및 세부사항들은 종속 청구항들, 상세한 설명, 및 도면들로부터 명백하다.
[0006] 본 개시내용의 일 양상에 따르면, 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 프로세싱 롤러; 프로세싱 롤러의 축 방향으로 연장되는 닥터 블레이드를 갖는 닥터 블레이드 조립체; 및 프로세싱 롤러의 표면 쪽으로 닥터 블레이드 조립체를 이동시키도록 구성된 힘 전달 조립체를 포함한다. 힘 전달 조립체는 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하기 위한 압력 유닛, 및 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘(counter-force)을 가하기 위한 반대-압력(counter-pressure) 유닛을 포함한다.
[0007] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 프로세싱 롤러; 프로세싱 롤러의 축 방향으로 연장되는 닥터 블레이드를 갖는 닥터 블레이드 조립체; 및 프로세싱 롤러의 표면 상으로 닥터 블레이드를 이동시키도록 구성된 제1 힘 전달 조립체를 포함한다. 제1 힘 전달 조립체는 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하기 위한 제1 공압식 압력 유닛, 및 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘을 가하기 위한 제1 공압식 반대-압력 유닛을 포함한다. 제1 힘 전달 조립체는 닥터 블레이드 조립체의 제1 축 방향 단부에 배열된다. 제1 힘 전달 조립체는 닥터 블레이드 조립체에 연결된 제1 하중 전달 엘리먼트를 포함한다. 제1 하중 전달 엘리먼트는 제1 공압식 압력 유닛으로부터의 힘을 닥터 블레이드 조립체에 전달하도록, 그리고 제1 공압식 반대-압력 유닛으로부터의 반대-힘을 닥터 블레이드 조립체에 전달하도록 구성된다. 추가로, 장치는 프로세싱 롤러의 표면 상으로 닥터 블레이드를 이동시키도록 구성된 제2 힘 전달 조립체를 포함한다. 제2 힘 전달 조립체는 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하기 위한 제2 공압식 압력 유닛, 및 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘을 가하기 위한 제2 공압식 반대-압력 유닛을 포함한다. 제2 힘 전달 조립체는 닥터 블레이드 조립체의 제1 축 방향 단부와 대향하는, 닥터 블레이드 조립체의 제2 축 방향 단부에 배열된다. 제2 힘 전달 조립체는 닥터 블레이드 조립체에 연결된 제2 하중 전달 엘리먼트를 포함한다. 제2 하중 전달 엘리먼트는 제2 공압식 압력 유닛으로부터의 힘을 닥터 블레이드 조립체에 전달하도록, 그리고 제2 공압식 반대-압력 유닛으로부터의 반대-힘을 닥터 블레이드 조립체에 전달하도록 구성된다.
[0008] 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법이 제공된다. 방법은, 압력 유닛을 사용하여, 닥터 블레이드를 포함하는 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하는 단계, 및 반대-압력 유닛에 의해 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘을 가함으로써, 접촉 압력을 제어하는 단계를 포함한다.
[0009] 본 개시내용은 또한, 방법들을 수행하기 위한 장치 파트들을 포함하는, 개시되는 방법들을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다. 방법은 하드웨어 컴포넌트들에 의해, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 둘의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용은 또한, 설명되는 장치의 동작 방법들에 관한 것이다. 이는 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법을 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 아래에서 설명된다.
도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치의 개략적인 사시도를 도시한다.
도 2는 도 1에 도시된 바와 같은 장치의 닥터 블레이드 조립체의 일부의 개략적인 사시도를 도시한다.
도 3은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 장치의 개략적인 정면도를 도시한다.
도 4a 및 도 4b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 장치의 대향 부분들의 개략적인 평면도들을 도시한다.
도 5a 및 도 5b는 도 4a 및 도 4b에 도시된 장치의 부분들의 대응하는 더 상세한 도면들을 도시한다.
도 6a 내지 도 6c는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법의 실시예들을 예시하는 블록도들을 도시한다.
[0011] 이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 그 다양한 실시예들의 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에 예시된다. 도면들의 아래의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 아래에서, 개별 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로서 제공되고, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 추가로, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들은 더 추가적인 실시예를 생성하기 위해 다른 실시예들과 함께 또는 다른 실시예들에 대해 사용될 수 있다. 본 설명이 그러한 변형들 및 변화들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0012] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치(100)의 개략적인 사시도를 도시한다. 특히, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치는 프로세싱 롤러(110), 및 프로세싱 롤러(110)의 축 방향으로 연장되는 닥터 블레이드(121)를 갖는 닥터 블레이드 조립체(120)를 포함한다. 추가로, 장치는 프로세싱 롤러(110)의 표면(111) 쪽으로 닥터 블레이드 조립체(120)를 이동시키도록 구성된 힘 전달 조립체(130)를 포함한다. 특히, 힘 전달 조립체(130)는 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하기 위한 압력 유닛, 및 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘을 가하기 위한 반대-압력 유닛을 포함한다. 도 1에 표시된 힘 전달 조립체(130)는 도 4a, 도 4b, 도 5a, 및 도 5b에 더 상세히 도시된다.
[0013] 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 힘 전달 조립체를 갖는, 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치를 제공함으로써, 유익하게, 프로세싱 롤러의 표면과 닥터 블레이드의 접촉 압력이 매우 정확하게 제어 및 조정될 수 있다. 특히, 프로세싱 롤러의 표면과 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제어 및/또는 조정하기 위한 반대-압력 유닛을 채용함으로써, 상기 접촉 압력이 주변 압력과 실질적으로 독립적이게 되도록 제어될 수 있는 장치가 제공될 수 있다. 따라서, 유익하게, 주변 압력의 변화가 발생하는 경우, 프로세싱 롤러의 표면과 닥터 블레이드의 접촉 압력이 일정하게 되도록 제어될 수 있는 장치가 제공될 수 있다.
[0014] 예컨대, 주변 압력의 변화는, 제1 주변 압력, 예컨대 장치가 셋업될 때의 주변 압력으로부터 제2 주변 압력, 예컨대 프로세싱 동안 장치가 동작될 때의 주변 압력으로의 변화일 수 있다. 특히, 제1 주변 압력은 대기 압력일 수 있으며, 제2 주변 압력은 진공 압력일 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들이, 가요성 기판이 내부에서 프로세싱되는 프로세싱 챔버의 진공배기 동안, 닥터 블레이드와 대응하는 프로세싱 롤러의 일정한 접촉 압력을 유지하는 것을 제공한다는 것이 이해될 것이다.
[0015] 따라서, 도면들에 명시적으로 도시되어 있지 않지만, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치가 진공 프로세싱 챔버를 포함한다는 것이 이해될 것이다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은, 프로세싱 롤러, 닥터 블레이드 조립체, 및 힘 전달 조립체는 장치의 진공 프로세싱 챔버 내에 배열될 수 있다.
[0016] 본 개시내용에서, “가요성 기판”은 기판이 휘어질 수 있는 것을 특징으로 할 수 있다. 예컨대, 가요성 기판은 포일일 수 있다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은 장치의 실시예들이 임의의 종류의 가요성 기판들을 프로세싱하기 위해, 예컨대, 가요성 기판들 상에 코팅들 또는 전자 디바이스들을 제조하기 위해 활용될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 예컨대, 본원에서 설명되는 바와 같은 기판은 재료들, 이를테면 PET, HC-PET, PE, PI, PU, TaC, 하나 또는 그 초과의 금속들, 페이퍼, 이들의 조합들, 및 이미 코팅된 기판들, 이를테면 하드 코팅 PET(Hard Coated PET)(예컨대, HC-PET, HC-TAC) 등을 포함할 수 있다.
[0017] 도 1을 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 프로세싱 롤러(110)는 아닐록스 롤러(anilox roller) 또는 스크린 롤러(screen roller)일 수 있다. 부가적으로, 장치는 하나 또는 그 초과의 추가적인 프로세싱 롤러들, 예컨대, 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같은 전사 롤러(115)를 포함할 수 있다. 특히, 프로세싱 롤러(110)는 장치의 추가적인 프로세싱 롤러들에 평행하게, 예컨대 전사 롤러(115)에 평행하게 배열될 수 있다. 프로세싱 롤러(110) 및 전사 롤러(115)를 회전시킴으로써, 가요성 기판의 프로세싱, 예컨대 코팅 또는 프린팅 동안, 프로세싱 롤러(110)와 전사 롤러(115) 사이에서 가요성 기판이 운송될 수 있다. 따라서, 프로세싱 롤러(110) 및 전사 롤러(115)는 장치(100)의 프레임 구조체(160)에 연결될 수 있고, 그에 따라, 프로세싱 롤러(110) 및 전사 롤러(115)는 이들의 길이 방향 축을 중심으로 회전가능하다.
[0018] 본 개시내용에서, “프로세싱 롤러”라는 용어는 본원에서 설명되는 바와 같은, 가요성 기판의 프로세싱 동안 사용되는 롤러로서 이해되어야 한다. 특히, 가요성 기판의 프로세싱은 액체 증착 재료 또는 액체 잉킹 재료를 사용하여 가요성 기판을 코팅 또는 프린팅하는 것을 포함할 수 있다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은 “프로세싱 롤러”는, 셀들이라고 또한 지칭되는 미세 함몰부(dimple)들을 포함하는 외측 표면을 갖는 원통, 예컨대 금속, 세라믹 또는 플라스틱의 원통일 수 있다. 더 구체적으로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 “프로세싱 롤러”는 아닐록스 롤러 또는 스크린 롤러일 수 있다.
[0019] 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 닥터 블레이드 조립체(120)는, 프로세싱 롤러(110) 및/또는 전사 롤러(115)에 평행한 방향으로 연장되는 세장형 구조를 갖도록 구성될 수 있다. 본 개시내용에서, “닥터 블레이드 조립체”라는 용어는 적어도 하나의 세장형 닥터 블레이드를 포함하는 조립체로서 이해되어야 한다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은 “닥터 블레이드 조립체”는 닥터 블레이드 챔버를 포함할 수 있다.
[0020] 도 1 및 도 2를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예와 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 닥터 블레이드 조립체(120)는 닥터 블레이드 챔버(125)를 포함할 수 있다. 특히, 닥터 블레이드 챔버(125)는 프로세싱 롤러(110)의 축 방향으로 연장되는 제1 닥터 블레이드(121A), 및 프로세싱 롤러(110)의 축 방향으로 연장되는 제2 닥터 블레이드(121B)를 포함할 수 있다. 예컨대, 본원에서 설명되는 바와 같은 닥터 블레이드 챔버(125)는 증착될 액체 재료를 수용하기 위한 저장조(126)를 포함할 수 있다. 특히, 저장조(126)는 2개의 이격된 닥터 블레이드들, 예컨대 제1 닥터 블레이드(121A) 및 제2 닥터 블레이드(121B)에 의해 정의될 수 있으며, 이들 둘 모두는 대응하는 프로세싱 롤러의 축 방향으로 연장된다. 추가로, 2개의 이격된 닥터 블레이드들과 협력하여, 증착될 액체 재료를 위한 저장조를 정의하기 위해, 닥터 블레이드들의 대향하는 양 단부들에 단부 플레이트들(미도시)이 제공될 수 있다.
[0021] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치는 닥터 블레이드 챔버 내의 저장조에 액체 코팅 재료 또는 액체 잉킹 재료를 공급하기 위한 공급 디바이스를 포함할 수 있다. 따라서, 프로세싱 롤러의 표면이, 2개의 닥터 블레이드들과 단부 플레이트들에 의해 정의된 저장조를 통과하는 동안, 저장조로부터, 프로세싱 롤러의 표면, 예컨대 아닐록스 롤러의 표면에 액체 코팅 재료 또는 액체 잉킹 재료가 도포될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
[0022] 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들을 고려하면, 당업자는 본 개시내용의 장치가, 고 품질의 코팅 또는 프린팅 결과들을 획득하는 것을 제공한다는 것을 이해한다. 특히, 주변 압력과 독립적인, 프로세싱 롤러의 표면과 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하도록 구성된 힘 전달 조립체를 제공함으로써, 코팅 또는 잉킹 프로세스 전반에 걸쳐, 프로세싱 롤러 상의 액체 코팅 재료 또는 액체 잉킹 재료의 일정한 층 두께가 제공될 수 있다. 추가로, 힘 전달 조립체의 실시예들은, 프로세싱 챔버의 진공배기 및 초기 셋업 동안, 닥터 블레이드와 프로세싱 롤러의 대응하는표면의 접촉 압력이 유지될 수 있게 하도록 구성된다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들은, 프로세싱 롤러의 표면 상에 축 방향 길이를 따라 공급되는 액체 코팅 재료 또는 액체 잉킹 재료의 층 두께를 정확하게 그리고 균일하게 제어하는 것을 제공한다.
[0023] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 1에 도시된 바와 같은 장치의 일부의 더 상세한 개략적인 사시도를 도시하는 도 2에 예시적으로 도시된 바와 같이, 닥터 블레이드 조립체(120)는 닥터 블레이드 챔버(125)에 부착된 홀딩 어레인지먼트(140)를 포함할 수 있다. 특히, 닥터 블레이드 조립체(120)는 닥터 블레이드 조립체(120)를 홀딩하도록 구성된 홀딩 어레인지먼트(140)에 연결될 수 있다. 홀딩 어레인지먼트는 프로세싱 롤러(110)의 축 방향으로 연장되는 지지 엘리먼트(141), 예컨대 빔(beam) 엘리먼트를 포함할 수 있다. 지지 엘리먼트(141)는 연결 엘리먼트를 통해 장치(100)의 프레임 구조체(160)에 연결될 수 있다. 예컨대, 연결 엘리먼트는 닥터 블레이드 조립체의 회전 이동을 제공하도록 구성될 수 있다. 특히, 닥터 블레이드 조립체의 회전 이동은 프로세싱 롤러(110)의 축에 평행한 축을 중심으로 하는 회전을 포함할 수 있다. 따라서, 유익하게, 닥터 블레이드 조립체는 프로세싱 롤러(110)의 표면(111) 쪽으로 그리고 프로세싱 롤러(110)의 표면(111)으로부터 벗어나게 닥터 블레이드 조립체(120)를 이동시키기 위해 선회가능하도록 구성될 수 있다. 특히, 그러한 구성은 유지보수의 경우, 예컨대, 닥터 블레이드들 또는 닥터 블레이드 조립체의 다른 파트들이 교체될 필요가 있는 경우 유익할 수 있다.
[0024] 도 3에서, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 장치의 개략적인 정면도가 도시된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 닥터 블레이드 조립체(120)는 프로세싱 롤러(110)의 회전 축(112)에 평행하게 연장되는 세장형 구성을 가질 수 있다. 특히, 닥터 블레이드 조립체는 프로세싱 롤러(110)의 길이의 적어도 50% 또는 그 초과의 길이를 가질 수 있다. 더 구체적으로, 닥터 블레이드 조립체는 프로세싱 롤러(110)의 길이의 적어도 75% 또는 그 초과의 길이를 가질 수 있다.
[0025] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 3에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 힘 전달 조립체(130A) 및 제2 힘 전달 조립체(130B)가 제공될 수 있다. 특히, 제1 힘 전달 조립체(130A) 및 제2 힘 전달 조립체(130B)는 닥터 블레이드 조립체(120)의 대향 단부들에 배열될 수 있다. 예컨대, 제1 힘 전달 조립체(130A)는 닥터 블레이드 조립체(120)의 제1 축 방향 단부(120A)에 배열될 수 있으며, 제2 힘 전달 조립체(130B)는 닥터 블레이드 조립체(120)의 제1 축 방향 단부(120A)와 대향하는 제2 축 방향 단부(120B)에 배열될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같이 제1 힘 전달 조립체(130A) 및 제2 힘 전달 조립체(130B)를 제공하는 것은, 프로세싱 롤러의 표면 상에 축 방향 길이를 따라 공급되는 액체 코팅 재료 또는 액체 잉킹 재료의 층 두께를 정확하게 그리고 균일하게 제어하는 데 특히 유익할 수 있다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같이 제1 힘 전달 조립체(130A) 및 제2 힘 전달 조립체(130B)를 제공하는 것은, 프로세싱 롤러의 표면과 닥터 블레이드 챔버의 제1 닥터 블레이드 및 제2 닥터 블레이드의 접촉 압력을 정확하게 제어 및 조정하는 데 유익하다.
[0026] 따라서, 제1 힘 전달 조립체(130A) 및 제2 힘 전달 조립체(130B)가 프로세싱 롤러(110)의 표면(111) 상으로 닥터 블레이드 조립체(120)를 이동시키도록 구성된다는 것이 이해될 것이다. 추가로, 도 4a, 도 4b, 도 5a, 및 도 5b를 참조하여 더 상세히 설명되는 바와 같이, 제1 힘 전달 조립체(130A) 및 제2 힘 전달 조립체(130B)는 닥터 블레이드와 프로세싱 롤러의 대응하는 표면의 접촉 압력을 제어 및 조정하도록 구성될 수 있다.
[0027] 도 4a 및 도 4b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 닥터 블레이드 조립체 및 힘 전달 조립체를 갖는 장치의 대향 부분들의 개략적인 평면도들을 도시한다. 도 5a 및 도 5b에서, 도 4a 및 도 4b에 예시된 장치의 부분들의 대응하는 더 상세한 도면들이 도시된다.
[0028] 본 개시내용에서, 본원에서 설명되는 바와 같이, “힘 전달 조립체”라는 용어는 프로세싱 롤러의 외측 표면 상으로 닥터 블레이드 조립체에 가해지는 힘을 전달하도록 구성된 조립체로서 이해되어야 한다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은 “힘 전달 조립체”는 닥터 블레이드 조립체의 닥터 블레이드와 대응하는 프로세싱 롤러의 표면 사이에 접촉 힘을 제공하도록 구성될 수 있다. 더 구체적으로, 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 “힘 전달 조립체”는 아닐록스 롤러 또는 스크린 롤러의 표면과 닥터 블레이드 챔버의 접촉 압력을 제공 및 조정하도록 구성될 수 있다.
[0029] 도 5a를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 힘 전달 조립체(130)는 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 힘(F1)을 가하기 위한 압력 유닛(131), 및 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 반대-힘(F2)을 가하기 위한 반대-압력 유닛(132)을 포함한다. 특히, 압력 유닛(131) 및 반대-압력 유닛(132)은 공압식 유닛이도록 구성될 수 있다. 추가로, 도 4a, 도 4b, 도 5a, 및 도 5b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 힘 전달 조립체(130)는 하중 전달 엘리먼트(133)를 포함할 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 힘 전달 조립체의 특징들이, 본원에서 설명되는 바와 같은 제1 힘 전달 조립체(130A)를 도시하는 도 5a를 참조하여 설명되어 있지만, 도 3, 도 4b, 및 도 5b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제1 힘 전달 조립체의 특징들의 설명은 제2 힘 전달 조립체(130B)의 특징들에도 또한 적용될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
[0030] 본 개시내용에서, “하중 전달 엘리먼트”라는 용어는, 본원에서 설명되는 바와 같은 압력 유닛에 의해 생성되는 하중 또는 힘을 본원에서 설명되는 바와 같은 닥터 블레이드 조립체에 전달하도록 구성된 엘리먼트로서 이해되어야 한다. 부가적으로, “하중 전달 엘리먼트”는 반대-압력 유닛에 의해 생성되는 반대-하중 또는 반대-힘을 본원에서 설명되는 바와 같은 닥터 블레이드 조립체에 전달하도록 구성될 수 있다.
[0031] 따라서, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 하중 전달 엘리먼트(133)는 압력 유닛(131)으로부터의 힘을 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록 구성된다. 추가로, 하중 전달 엘리먼트(133)는 반대-압력 유닛(132)으로부터의 반대-힘을 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 도 5a 또는 도 5b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하중 전달 엘리먼트(133)는 하중 전달 엘리먼트(133)의 제1 표면(134) 상에서 압력 유닛(131)으로부터의 힘(F1)을 수용하도록, 그리고 하중 전달 엘리먼트(133)의 제2 표면(135) 상에서 반대-압력 유닛(132)으로부터의 반대-힘(F2)을 수용하도록 구성될 수 있다. 특히, 하중 전달 엘리먼트(133)의 제2 표면(135)은 하중 전달 엘리먼트(133)의 제1 표면(134)의 반대 편에 위치될 수 있다.
[0032] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 하중 전달 엘리먼트(133)는, 예컨대 도 5a에 도시된 바와 같이, S-형상을 가질 수 있거나, 또는 예컨대 도 5b에 도시된 바와 같이, Z-형상을 가질 수 있다. 도면들에 도시되지 않은, 하중 전달 엘리먼트의 대안적인 구현에 따르면, 하중 전달 엘리먼트는 프로세싱 롤러의 축 방향으로 연장되는 플레이트일 수 있다.
[0033] 본 개시내용에서, “압력 유닛”이라는 용어는 힘 또는 이동을 생성하기 위해 유체의 압력이 채용되는 유닛으로서 이해되어야 한다. 예컨대, 본원에서 설명되는 바와 같은 “압력 유닛”은 힘 또는 이동을 생성하기 위해 압축성 유체, 특히 가스(예컨대, 공기)가 사용되는 공압식 유닛일 수 있다. 공압식 유닛을 사용하는 것은 진공 프로세싱에 대해 특히 유익할 수 있는데, 이는 공압식 유닛이 프로세싱 챔버의 진공배기 동안 압력 변화에 자동으로 반응하기 때문이다. 대안적으로, 본원에서 설명되는 바와 같은 “압력 유닛”은 힘 또는 이동을 생성하기 위해 비압축성 유체, 특히 액체(예컨대, 오일 또는 물)가 사용되는 유압식 유닛일 수 있다.
[0034] 따라서, 본 개시내용에서, “반대-압력 유닛”이라는 용어는, 본원에서 설명되는 바와 같은 “압력 유닛”에 의해 생성되는 힘 또는 이동에 대해 반대-힘 또는 반대-이동을 생성하기 위해 유체의 압력이 채용되는 유닛으로서 이해되어야 한다. 특히, “반대-압력 유닛”은 본원에서 설명되는 바와 같은 “압력 유닛”과 유사한 공압식 유닛 또는 유압식 유닛일 수 있다.
[0035] 도 5a를 예시적으로 참조하여, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치는 압력 유닛(131)에 의해 생성되는 제1 압력을 제어하도록 구성된 제1 압력 밸브(151)를 포함할 수 있다. 부가적으로, 반대-압력 유닛(132)에 의해 생성되는 제2 압력을 제어하도록 구성된 제2 압력 밸브(152)가 제공될 수 있다. 예컨대, 제1 압력 밸브(151) 및/또는 제2 압력 밸브(152)는 제1 압력 및/또는 제2 압력을 제어하도록 구성될 수 있는 제어기(150)에 연결될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같이, 유익하게, 프로세싱 롤러와 닥터 블레이드 조립체의 닥터 블레이드들 사이의 접촉 압력이 장치의 동작 동안 정밀하게 제어 및 적응될 수 있고, 그에 따라, 고-품질의 코팅 및 프린팅 결과들이 달성될 수 있다.
[0036] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 압력 유닛(131)에 의해 제공되는 제1 압력은, 2 bar의 하한, 구체적으로는 3 bar의 하한, 더 구체적으로는 4 bar의 하한과, 4 bar의 상한, 구체적으로는 6 bar의 상한, 더 구체적으로는 8 bar의 상한을 갖는 범위로부터 선택될 수 있다.
[0037] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 반대-압력 유닛(132)에 의해 제공되는 제2 압력은, 0 bar의 하한, 구체적으로는 1 bar의 하한, 더 구체적으로는 2 bar의 하한과, 2 bar의 상한, 구체적으로는 4 bar의 상한, 더 구체적으로는 6 bar의 상한을 갖는 범위로부터 선택될 수 있다.
[0038] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치의 제어기(150)는 압력 유닛(131)과 반대-압력 유닛(132) 사이의 압력 차이를 제어하도록 구성될 수 있다. 특히, 제어기(150)는 압력 차이가 일정하게 되게 제어하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 압력 차이는, 1 bar의 하한, 구체적으로는 1.5 bar의 하한과, 3 bar, 구체적으로는 4 bar의 상한을 갖는 범위로부터 선택될 수 있다. 예컨대, 압력 유닛(131)과 반대-압력 유닛(132) 사이의 압력 차이는 2 bar ±0.5 bar, 구체적으로는 2 bar ±0.1 bar, 더 구체적으로는 2 bar ±0.05 bar일 수 있다.
[0039] 따라서, 유익하게, 코팅 또는 프린팅 프로세스 전반에 걸쳐, 프로세싱 롤러와 닥터 블레이드 조립체의 닥터 블레이드들 사이의 접촉 압력이 일정하게 되도록 제어될 수 있고, 그에 따라, 특히 주변 압력이 대기 압력으로부터 진공 압력으로 변화되는 진공 배기 동안, 프로세싱 챔버 내의 주변 압력의 임의의 변화들에 의해 접촉 압력이 실질적으로 영향을 받지 않을 수 있다. 따라서, 유익하게, 대기 압력 조건들 하의 초기 셋업 접촉 압력이 진공 조건들 하의 장치의 동작 동안의 실제 접촉 압력에 대응한다. 추가로, 유익하게, 압력 유닛에 의해 제공되는 제1 압력을 증가시킬 뿐만 아니라 반대-압력 유닛에 의해 제공되는 제2 압력을 증가시킴으로써, 프로세싱 롤러와 닥터 블레이드 조립체의 닥터 블레이드들 사이의 접촉 압력의 전체적인 안정성이 증가될 수 있다. 예컨대, 압력 유닛에 의한 8 bar의 제1 압력과 반대-압력 유닛에 의한 6 bar의 제2 압력에 의해 설정되는 2 bar의 접촉 압력은, 압력 유닛에 의한 4 bar의 제1 압력과 반대-압력 유닛에 의한 2 bar의 제2 압력에 의해 2 bar의 접촉 압력이 설정되는 상황과 비교하여 더 안정적일 수 있다.
[0040] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치는 압력 유닛(131)에 의해 제공되는 제1 압력을 모니터링하기 위한 그리고/또는 반대-압력 유닛(132)에 의해 제공되는 제2 압력을 모니터링하기 위한 모니터링 디바이스를 더 포함할 수 있다. 예컨대, 모니터링 디바이스는 압력 센서일 수 있다. 특히, 압력 유닛(131)에 의해 제공되는 제1 압력을 측정하도록 구성 및 배열된 제1 압력 센서가 제공될 수 있고, 그리고/또는 반대-압력 유닛(132)에 의해 제공되는 제2 압력을 측정하도록 구성 및 배열된 제2 압력 센서가 제공될 수 있다. 제1 압력 센서 및/또는 제2 압력 센서는 본원에서 설명되는 바와 같은 제어기에 연결될 수 있다. 따라서, 유익하게, 제어기는, 예컨대, 본원에서 특정되는 바와 같은 미리 선택된 제1 압력 및/또는 제2 압력으로부터 측정 압력이 벗어나는 경우, 제1 압력 및/또는 제2 압력을 조정하도록 구성될 수 있다.
[0041] 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들이 닥터 블레이드 조립체의 닥터 블레이드들로부터의 프로세싱 롤러와의 접촉 압력의 자동적인 적응 또는 재조정을 제공한다는 것이 이해될 것이며, 이는 닥터 블레이드들의 마찰 마모(abrasive wear) 영향들을 보상하는 데 특히 유익할 수 있다. 추가로, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들은 장치의 동작 동안 닥터 블레이드들과 대응하는 프로세싱 롤러의 접촉 압력을 조정하는 것을 제공하며, 이는 장치의 동작 동안 상이한 프로세싱 조건들, 특히 액체 코팅 또는 프린팅 재료의 상이한 층 두께가 선택될 경우 유익할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 실시예들은 진공 조건들 하에서 프로세싱 롤러와 닥터 블레이드들의 접촉 압력을 적응시키고 재조정하는 것을 제공한다. 특히, 접촉 압력은, 프로세싱 동안, 설정된 진공을 파괴시키지 않으면서 제어 및 조정될 수 있다. 추가로, 특히 힘 전달 조립체가 공압식 유닛들을 포함하는 경우, 본원에서 설명되는 실시예들은, 예컨대 열 팽창에 의해 야기되는, 프로세싱 롤러의 변형을 보상하도록 구성된다는 것이 이해될 것이다.
[0042] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 4a, 도 4b, 도 5a, 및 도 5b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 힘 전달 조립체(130)는 프로세싱 롤러(110)의 표면(111) 쪽으로 닥터 블레이드 조립체(120)의 이동을 가이딩하기 위한 가이딩 엘리먼트(144)를 포함할 수 있다. 예컨대, 가이딩 엘리먼트(144)는 낮은 마찰을 갖는 선형 가이딩 엘리먼트일 수 있다. 특히, 가이딩 이동은 프로세싱 롤러의 축에 실질적으로 수직인 이동일 수 있다. 따라서, 유익하게, 본원에서 설명되는 바와 같은 닥터 블레이드 조립체의 닥터 블레이드들은 대응하는 프로세싱 롤러의 표면 상에 정밀하게 위치될 수 있다. 추가로, 본원에서 설명되는 바와 같은 가이딩 엘리먼트를 제공하는 것은 또한, 닥터 블레이드들과 프로세싱 롤러의 대응하는 표면의 접촉 압력을 정밀하게 조정하는 데 유익할 수 있다.
[0043] 따라서, 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 접촉 압력을 제공하기 위하여, 프로세싱 롤러의 표면 쪽으로의 닥터 블레이드 조립체의 정밀한 그리고 가이딩되는 이동을 제공하기 위한 가이딩 엘리먼트에 의해, 닥터 블레이드 조립체, 특히 닥터 블레이드 챔버가 가이딩될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
[0044] 도 6a 내지 도 6c는 프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법(200)의 실시예들을 예시하는 블록도들을 도시한다. 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 6a에 도시된 블록도에 의해 예시적으로 예시된 바와 같이, 방법은, 압력 유닛을 사용하여, 닥터 블레이드를 포함하는 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하는 단계(210), 및 반대-압력 유닛을 사용하여, 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘을 가함으로써, 접촉 압력을 제어하는 단계(220)를 포함한다. 특히, 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하는 단계(210)는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 압력 유닛을 사용하는 단계를 포함할 수 있다. 추가로, 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘을 가함으로써, 접촉 압력을 제어하는 단계(220)는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 반대-압력 유닛을 사용하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 방법의 실시예들은 프로세싱 롤러의 표면과 닥터 블레이드의 접촉 압력을 매우 정확하게 제어 및 조정하는 것을 유익하게 제공한다. 특히, 본원에서 설명되는 바와 같은 방법의 실시예들은 상기 접촉 압력을 주변 압력과 실질적으로 독립적으로 제어하는 것을 제공한다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 방법의 실시예들에 의해, 주변 압력 변화가 발생하는 경우에도, 프로세싱 롤러의 표면과 닥터 블레이드의 접촉 압력이 일정하게 되도록 제어될 수 있다.
[0045] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 접촉 압력을 제어하는 단계(220)는 하중 전달 엘리먼트 상에 압력 유닛에 의해 가해지는 제1 압력과 하중 전달 엘리먼트 상에 반대-압력 유닛에 의해 가해지는 제2 압력 사이의 압력 차이를 생성하는 단계(221)를 포함한다. 특히, 압력 차이를 생성하는 단계(221)는, 하중 전달 엘리먼트(133)의 제1 표면(134) 상에 압력 유닛(131)으로부터의 힘(F1)을 가하고, 하중 전달 엘리먼트(133)의 제2 표면(135) 상에 반대-압력 유닛(132)으로부터의 반대 힘(F2)을 가하는 단계를 포함할 수 있다.
[0046] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 압력 차이를 생성하는 단계(221)는, 2 bar의 하한, 구체적으로는 3 bar의 하한, 더 구체적으로는 4 bar의 하한과, 4 bar의 상한, 구체적으로는 6 bar의 상한, 더 구체적으로는 8 bar의 상한을 갖는 범위로부터, 압력에 의해 제공되는 제1 압력을 선택하는 단계를 포함할 수 있다. 추가로, 압력 차이를 생성하는 단계(221)는, 0 bar의 하한, 구체적으로는 1 bar의 하한, 더 구체적으로는 2 bar의 하한과, 2 bar의 상한, 구체적으로는 4 bar의 상한, 더 구체적으로는 6 bar의 상한을 갖는 범위로부터, 반대-압력 유닛(132)에 의해 제공되는 제2 압력을 선택하는 단계를 포함할 수 있다.
[0047] 접촉 압력을 제어하는 단계(220)가, 본원에서 설명되는 바와 같은, 제1 압력 밸브(151) 및/또는 제2 압력 밸브(152)를 사용하는 단계를 포함할 수 있다는 것이 이해될 것이다. 특히, 접촉 압력을 제어하는 단계(220)는 본원에서 설명되는 바와 같은 제어기(150)를 사용하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 방법의 실시예들은, 본원에서 설명되는 바와 같은 닥터 블레이드 조립체의 닥터 블레이드들로부터의 대응하는 프로세싱 롤러와의 접촉 압력의 자동적인 적응 또는 재조정을 제공하며, 이는 닥터 블레이드들의 마찰 마모 영향들을 보상하는 데 특히 유익할 수 있다.
[0048] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 도 6c에 도시된 블록도에 의해 예시적으로 예시된 바와 같이, 방법은 압력 차이를 모니터링하는 단계(230)를 포함할 수 있다. 특히, 압력 차이를 모니터링하는 단계(230)는 모니터링 디바이스, 예컨대 본원에서 설명되는 바와 같은 제1 압력 센서 및/또는 제2 압력 센서를 사용하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 본원에서 설명되는 바와 같은 방법의 실시예들은 본원에서 특정되는 바와 같은, 제1 압력 및/또는 제2 압력을 모니터링 및 조정하도록 구성되며, 이는 본원에서 특정되는 바와 같은 미리 선택된 제1 압력 및/또는 제2 압력으로부터 측정 압력이 벗어나는 경우 특히 유익할 수 있다.
[0049] 본원에서 설명되는 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 방법은, 프로세싱 롤러와 닥터 블레이드의 접촉 압력이 주변 압력과 독립적이게 되도록, 압력 차이를 일정하게 되도록 제어하는 단계(240)를 더 포함할 수 있다. 예컨대, 압력 차이를 일정하게 되도록 제어하는 단계(240)는, 1 bar의 하한, 구체적으로는 1.5 bar의 하한과, 3 bar, 구체적으로는 4 bar의 상한을 갖는 범위로부터 압력 차이를 선택하는 단계를 포함할 수 있다. 특히, 압력 유닛(131)과 반대-압력 유닛(132) 사이의 압력 차이를 일정하게 되도록 제어하는 단계(240)는, 2 bar ±0.2 bar, 구체적으로는 2 bar ±0.1 bar, 더 구체적으로는 2 bar ±0.05 bar가 되도록 압력 차이를 선택하는 단계를 포함할 수 있다.
[0050] 본 개시내용에서 설명되는 바와 같은 실시예들을 고려하면, 본원에서 설명되는 바와 같은 장치 뿐만 아니라 방법의 실시예들이, 특히 넓은 기판 폭을 갖는 가요성 기판들의 코팅 또는 프린팅에 대해, 아닐록스 또는 스크린 롤러와 닥터 블레이드 챔버의 닥터 블레이드들의 일정한 접촉 압력을 정밀하게 조정 및 제어하는 데 특히 적합하다는 것을 당업자는 이해한다.

Claims (15)

  1. 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치(100)로서,
    프로세싱 롤러(110);
    상기 프로세싱 롤러(110)의 축 방향으로 연장되는 닥터 블레이드(doctor blade)(121)를 갖는 닥터 블레이드 조립체(120); 및
    상기 프로세싱 롤러(110)의 표면(111) 쪽으로 상기 닥터 블레이드 조립체(120)를 이동시키도록 구성된 힘 전달 조립체(force transmission assembly)(130)
    를 포함하며,
    상기 힘 전달 조립체(130)는 상기 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 힘을 가하기 위한 압력 유닛(131), 및 상기 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 반대-힘(counter-force)을 가하기 위한 반대-압력 유닛(counter-pressure unit)(132)을 포함하는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 힘 전달 조립체(130)는 하중 전달 엘리먼트(133)를 포함하며,
    상기 하중 전달 엘리먼트(133)는 상기 압력 유닛(131)으로부터의 힘을 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록, 그리고 상기 반대-압력 유닛(132)으로부터의 반대-힘을 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록 구성되는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 압력 유닛(131)에 의해 생성되는 제1 압력을 제어하도록 구성된 제1 압력 밸브(151), 및 상기 반대-압력 유닛(132)에 의해 생성되는 제2 압력을 제어하도록 구성된 제2 압력 밸브(152)를 더 포함하는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 압력은 2 bar 내지 8 bar로부터 선택되며, 상기 제2 압력은 0 bar 내지 6 bar로부터 선택되는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압력 유닛(131)과 상기 반대-압력 유닛(132) 사이의 압력 차이를 제어하기 위한 제어기(150)를 더 포함하는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 압력 차이는 일정하며, 특히, 상기 압력 차이는 1 bar 내지 4 bar, 특히 1.5 bar 내지 3 bar인,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  7. 제3 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 압력 및/또는 상기 제2 압력을 모니터링하기 위한 모니터링 디바이스를 더 포함하는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  8. 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 힘 전달 조립체(130)는 상기 프로세싱 롤러(110)의 표면(111) 쪽으로 상기 닥터 블레이드 조립체(120)의 이동을 가이딩하기 위한 가이딩 엘리먼트(140)를 포함하는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  9. 진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치(100)로서,
    프로세싱 롤러(110);
    상기 프로세싱 롤러(110)의 축 방향으로 연장되는 닥터 블레이드(121)를 갖는 닥터 블레이드 조립체(120);
    상기 프로세싱 롤러(110)의 표면 상으로 상기 닥터 블레이드(121)를 이동시키도록 구성된 제1 힘 전달 조립체(130A); 및
    상기 프로세싱 롤러(110)의 표면 상으로 상기 닥터 블레이드(121)를 이동시키도록 구성된 제2 힘 전달 조립체(130B)
    를 포함하며,
    상기 제1 힘 전달 조립체(130A)는 상기 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하기 위한 제1 공압식 압력 유닛(131A), 및 상기 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 반대-힘을 가하기 위한 제1 공압식 반대-압력 유닛(132A)을 포함하고,
    상기 제1 힘 전달 조립체(130A)는 상기 닥터 블레이드 조립체(120)의 제1 축 방향 단부(120A)에 배열되고,
    상기 제1 힘 전달 조립체(130A)는 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 연결된 제1 하중 전달 엘리먼트(133A)를 포함하고,
    상기 제1 하중 전달 엘리먼트(133A)는 상기 제1 공압식 압력 유닛(131A)으로부터의 힘을 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록, 그리고 상기 제1 공압식 반대-압력 유닛(132A)으로부터의 반대-힘을 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록 구성되며,
    상기 제2 힘 전달 조립체(130B)는 상기 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하기 위한 제2 공압식 압력 유닛(131B), 및 상기 닥터 블레이드 조립체(120) 상에 반대-힘을 가하기 위한 제2 공압식 반대-압력 유닛(132B)을 포함하고,
    상기 제2 힘 전달 조립체(130B)는 상기 닥터 블레이드 조립체(120)의 상기 제1 축 방향 단부(120A)와 대향하는, 상기 닥터 블레이드 조립체(120)의 제2 축 방향 단부(120B)에 배열되고,
    상기 제2 힘 전달 조립체(130B)는 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 연결된 제2 하중 전달 엘리먼트(133B)를 포함하고,
    상기 제2 하중 전달 엘리먼트(133B)는 상기 제2 공압식 압력 유닛(131B)으로부터의 힘을 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록, 그리고 상기 제2 공압식 반대-압력 유닛(132B)으로부터의 반대-힘을 상기 닥터 블레이드 조립체(120)에 전달하도록 구성되는,
    진공에서 가요성 기판을 연속적으로 프로세싱하기 위한 장치.
  10. 프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법(200)으로서,
    압력 유닛을 사용하여, 상기 닥터 블레이드를 포함하는 닥터 블레이드 조립체 상에 힘을 가하는 단계(210); 및
    반대-압력 유닛을 사용하여, 상기 닥터 블레이드 조립체 상에 반대-힘을 가함으로써, 상기 접촉 압력을 제어하는 단계(220)
    를 포함하는,
    프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 접촉 압력을 제어하는 단계(220)는, 하중 전달 엘리먼트 상에 상기 압력 유닛에 의해 가해지는 제1 압력과 상기 하중 전달 엘리먼트 상에 상기 반대-압력 유닛에 의해 가해지는 제2 압력 사이에 압력 차이를 생성하는 단계(221)를 포함하는,
    프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 압력 차이를 모니터링하는 단계(230)를 더 포함하는,
    프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법.
  13. 제11 항 또는 제12 항에 있어서,
    상기 프로세싱 롤러와 상기 닥터 블레이드의 접촉 압력이 주변 압력과 독립적이게 되도록, 상기 압력 차이를 일정하게 되도록 제어하는 단계(240)를 더 포함하는,
    프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법.
  14. 제11 항 내지 제13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 압력은 2 bar 내지 8 bar로부터 선택되며, 상기 제2 압력은 0 bar 내지 6 bar로부터 선택되는,
    프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법.
  15. 제11 항 내지 제14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압력 차이는 1 bar 내지 4 bar, 특히 1.5 bar 내지 3 bar가 되도록 선택되는,
    프로세싱 롤러의 표면 상에 닥터 블레이드의 접촉 압력을 제공하기 위한 방법.
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