CN109097739A - 一种防着板及蒸镀设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种防着板及蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域，可解决相关技术中的防着板因对蒸镀材料的粘附量较小而影响产品生产效率的问题。该防着板包括本体，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。本发明用于阻挡蒸镀材料粘附到蒸镀腔室的腔壁上。

Description

一种防着板及蒸镀设备
技术领域
本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种防着板及蒸镀设备。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置因具有良好的图像质量、能自发光、无视角障碍、工作温度范围大等优点，已被认为是继液晶显示装置之后最具市场价值的新一代显示装置。通常OLED采用蒸镀工艺制作，在基板上根据需求沉积不同的有机材料及无机材料，从而形成有机发光器件。蒸镀工艺腔室的腔壁会使用防着板进行保护，防着板用于对未利用的蒸镀材料进行阻挡，防止其粘附到腔壁上难以清除，造成设备部件损坏。
参照图1，相关技术中的防着板01表面平整，为增大对蒸发源02蒸发出的蒸镀材料的粘附力，通常会在其表面进行喷砂处理，然而，该防着板01对蒸镀材料的粘附量较小，使用较短的时间后其上粘附的蒸镀材料就会出现掉落(peeling)现象，进而影响产品质量，因此在短时间内就需要停机对防着板01进行更换，浪费生产时间，影响产品的生产效率。
发明内容
本发明的实施例提供一种防着板及蒸镀设备，可解决相关技术中的防着板因对蒸镀材料的粘附量较小而影响产品生产效率的问题。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本发明实施例提供了一种防着板，包括本体，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。
可选的，所述空腔通过通孔连通所述本体用于粘附所述蒸镀材料的所述外表面。
可选的，所述空腔包括主腔室和设于所述主腔室内表面上的多个凹槽。
可选的，所述主腔室的内表面包括非平面，所述非平面上设有所述凹槽。
可选的，所述非平面为波浪面。
可选的，所述凹槽为圆形凹槽。
可选的，所述通孔为多个，多个所述通孔均匀分布于所述空腔和所述本体用于粘附所述蒸镀材料的所述外表面之间。
可选的，所述通孔的内端尺寸小于外端尺寸。
可选的，所述通孔垂直于自身轴线的截面为圆形。
本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室内设有蒸发源，所述蒸发源的蒸发口与所述蒸镀腔室的腔壁之间设有上述任一技术方案所述的防着板。
本发明实施例提供的防着板及蒸镀设备，由于包括本体，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料，因此在蒸镀时，未利用的蒸镀材料不仅可粘附于本体的外表面上，还可进入所述空腔并粘附于所述空腔的内表面上，即增大了用于粘附蒸镀材料的面积，从而增大了对蒸镀材料的粘附量，因此使用较长时间后蒸镀材料才会出现掉落现象，从而延长了防着板的更换周期，进而减少了生产时间的浪费，也就减小了对产品生产效率造成的影响。
附图说明
图1为现有技术中防着板和蒸镀源的示意图；
图2为本发明实施例防着板和蒸镀源的示意图；
图3为图2中防着板的仰视图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
参照图2和图3，本发明实施例提供了一种防着板100，包括本体1，本体1内设有空腔2，空腔2连通本体1用于粘附蒸镀材料的外表面A，空腔2的内表面用于粘附所述蒸镀材料。
本发明实施例提供的防着板100，由于包括本体1，本体1内设有空腔2，空腔2连通本体1用于粘附蒸镀材料的外表面A，空腔2的内表面用于粘附所述蒸镀材料，因此在蒸镀时，未利用的蒸镀材料不仅可粘附于本体1的外表面A上，还可进入空腔2并粘附于空腔2的内表面上，即增大了用于粘附蒸镀材料的面积，从而增大了对蒸镀材料的粘附量，因此使用较长时间后蒸镀材料才会出现掉落现象，从而延长了防着板100的更换周期，进而减少了生产时间的浪费，也就减小了对产品生产效率造成的影响。
上述实施例中，空腔2可直接连通本体1用于粘附所述蒸镀材料的外表面A，也可通过通孔3连通本体1用于粘附所述蒸镀材料的外表面A(此时本体1为夹层结构，空腔2即为本体1中的夹层)，通过通孔3连通不仅可保证蒸镀材料能够进入空腔2，还可在空腔2内表面上的蒸镀材料出现轻微掉落现象时阻挡其掉落到产品上影响产品的质量。
参照图2，空腔2包括主腔室21和设于主腔室21内表面上的多个凹槽22，这样可增大空腔2内表面的面积，从而进一步增大了防着板100用于粘附蒸镀材料的面积。
主腔室21的内表面包括非平面B，相比主腔室21的内表面均为平面，本实施例可进一步增大空腔2内表面的面积，非平面B上设有凹槽22，此时凹槽22的设置个数可增多，同样进一步增大了空腔2内表面的面积。
在本发明的一些实施例中，非平面B为波浪面，相比弧面或其他形状的非平面，这样也可进一步增大空腔2内表面的面积。
表面平整的防着板，其上边长为1的正方形区域的面积为1，即用于粘附蒸镀材料的面积为1，当在此区域设置边长为1的正方形凹槽时，假设正方形凹槽的深度为h，则用于粘附蒸镀材料的面积变为4h+1，即设置正方形凹槽可使用于粘附蒸镀材料的面积增大4h；表面平整的防着板，其上半径为1的圆形区域的面积为π，即用于粘附蒸镀材料的面积为π，当在此区域设置半径为1的圆形凹槽时，假设圆形凹槽的深度为h，则用于粘附蒸镀材料的面积变为2πh+π，即设置圆形凹槽可使用于粘附蒸镀材料的面积增大2πh，由于2πh大于4h，因此相比正方形凹槽，圆形凹槽使用于粘附蒸镀材料的面积增大的更多，因此本实施例凹槽22为圆形凹槽。
结合图2和图3，通孔3为多个，多个通孔3均匀分布于空腔2和本体1用于粘附所述蒸镀材料的外表面A之间，由此可使到达本体1用于粘附所述蒸镀材料的外表面A不同位置的蒸镀材料均可更顺畅的进入空腔2。
通孔3的内端(靠近空腔2的一端)尺寸小于外端(远离空腔2的一端)尺寸，这样可在空腔2内表面上的蒸镀材料出现掉落现象时更好的阻挡其掉落到产品上影响产品的质量。
通孔3垂直于自身轴线的截面为圆形，这样可使通孔3结构简单且方便加工。
参照图2和图3，本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室(图中未示出)，所述蒸镀腔室内设有蒸发源200，蒸发源200的蒸发口C与所述蒸镀腔室的腔壁之间设有上述任一实施例所述的防着板100。
本发明实施例提供的蒸镀设备，由于防着板100包括本体1，本体1内设有空腔2，空腔2连通本体1用于粘附蒸镀材料的外表面A，空腔2的内表面用于粘附所述蒸镀材料，因此在蒸镀时，未利用的蒸镀材料不仅可粘附于本体1的外表面A上，还可进入空腔2并粘附于空腔2的内表面上，即增大了用于粘附蒸镀材料的面积，从而增大了对蒸镀材料的粘附量，因此使用较长时间后蒸镀材料才会出现掉落现象，从而延长了防着板100的更换周期，进而减少了生产时间的浪费，也就减小了对产品生产效率造成的影响。
关于本发明实施例蒸镀设备的其他构成等已为本领域的技术人员所熟知，在此不再详细说明。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种防着板，包括本体，其特征在于，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。
2.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述空腔通过通孔连通所述本体用于粘附所述蒸镀材料的所述外表面。
3.根据权利要求1或2所述的防着板，其特征在于，所述空腔包括主腔室和设于所述主腔室内表面上的多个凹槽。
4.根据权利要求3所述的防着板，其特征在于，所述主腔室的内表面包括非平面，所述非平面上设有所述凹槽。
5.根据权利要求4所述的防着板，其特征在于，所述非平面为波浪面。
6.根据权利要求3所述的防着板，其特征在于，所述凹槽为圆形凹槽。
7.根据权利要求2所述的防着板，其特征在于，所述通孔为多个，多个所述通孔均匀分布于所述空腔和所述本体用于粘附所述蒸镀材料的所述外表面之间。
8.根据权利要求2所述的防着板，其特征在于，所述通孔的内端尺寸小于外端尺寸。
9.根据权利要求2所述的防着板，其特征在于，所述通孔垂直于自身轴线的截面为圆形。
10.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室内设有蒸发源，其特征在于，所述蒸发源的蒸发口与所述蒸镀腔室的腔壁之间设有权利要求1～9中任一项所述的防着板。
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