CN109059436A - 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法 - Google Patents

干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109059436A
CN109059436A CN201810613551.3A CN201810613551A CN109059436A CN 109059436 A CN109059436 A CN 109059436A CN 201810613551 A CN201810613551 A CN 201810613551A CN 109059436 A CN109059436 A CN 109059436A
Authority
CN
China
Prior art keywords
dried
heating
substrate
same
drying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810613551.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109059436B (zh
Inventor
胡春静
侯文军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201810613551.3A priority Critical patent/CN109059436B/zh
Publication of CN109059436A publication Critical patent/CN109059436A/zh
Priority to PCT/CN2019/081305 priority patent/WO2019237802A1/zh
Priority to US16/651,567 priority patent/US11530874B2/en
Application granted granted Critical
Publication of CN109059436B publication Critical patent/CN109059436B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
    • F26B5/04—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B9/00—Machines or apparatus for drying solid materials or objects at rest or with only local agitation; Domestic airing cupboards
    • F26B9/06—Machines or apparatus for drying solid materials or objects at rest or with only local agitation; Domestic airing cupboards in stationary drums or chambers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B23/00—Heating arrangements
    • F26B23/04—Heating arrangements using electric heating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/18—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by conduction, i.e. the heat is conveyed from the heat source, e.g. gas flame, to the materials or objects to be dried by direct contact
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/28—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/40—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

本发明提供一种干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法，涉及真空干燥技术领域，可改善放入干燥箱中干燥后的有机薄膜各部分均匀性差的问题。所述干燥箱，包括腔体和设置在所述腔体内的热板，所述热板包括多个加热点，所述加热点朝向所述热板的用于承载待干燥器件的表面设置；其中，多个所述加热点的温度不完全相同且相互绝热。

Description

干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法
技术领域
本发明涉及真空干燥技术领域，尤其涉及干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)器件由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、高色域、高对比度、响应速度快、耗能小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为具有发展前景的下一代显示技术。
有机电致发光器件薄膜沉积方法主要有蒸镀制程和溶液制程两种：蒸镀制程适用于有机小分子，其成膜均匀好、技术相对成熟、但是设备投资大、材料利用率低、大尺寸产品Mask(掩膜板)对位精度低。溶液制程，包括旋涂、喷墨打印、喷嘴涂覆法等，适用于聚合物材料和可溶性小分子，其特点设备成本低，在大规模、大尺寸生产上优势突出。
现有技术中，采用溶液制程形成液态有机薄膜后会先进行干燥，然后在进行烘烤，而干燥过程中，当形状不同的多个待干燥图案在完全相同的干燥条件下干燥时，会出现干燥不均匀的情况。
发明内容
本发明的实施例提供一种干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法，可改善放入干燥箱中干燥后的有机薄膜各部分均匀性差的问题。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
第一方面，提供一种干燥箱，包括腔体和设置在所述腔体内的热板，所述热板包括多个加热点，所述加热点朝向所述热板的用于承载待干燥器件的表面设置；其中，多个所述加热点的温度不完全相同且相互绝热。
可选的，所述热板包括基底和设置在所述基底上的多个相互独立的加热源，所述基底为绝热材料。
可选的，多个所述加热源在所述基底上的正投影的形状不完全相同。
可选的，所述干燥箱还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器；每个所述温度控制器连接一所述加热源。
可选的，所述干燥箱还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器；在所述基底上的正投影的形状相同的所述加热源连接同一所述温度控制器。
可选的，用于干燥有机电致发光器件，所述基底上的多个所述加热源分为多组，每组中的多个所述加热源垂直于所述基底的厚度方向上的截面形状分别与待干燥有机电致发光器件每个像素中的多个子像素内的待干燥图案的形状相同。
可选的，所述干燥箱还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器，用于对发同种颜色光的子像素加热的所述加热源连接同一所述温度控制器。
可选的，所述基底上设置有凹槽，所述加热源设置在所述凹槽内，所述干燥箱还包括控制结构，所述控制结构用于控制所述加热源沿所述基底的厚度方向上下移动。
可选的，所述温度控制器为设置有热电偶的电加热结构，所述电加热结构根据所述热电偶反馈的温度实时调整输出电流。
第二方面，提供一种干燥箱的控制方法，所述控制方法包括：控制各加热点的加热温度，以使待干燥器件中的各待干燥图案在所述干燥箱内具有相同的蒸发速率。
可选的，所述控制方法还包括：控制加热源移动，以使所述加热源向远离基底的方向移动。
第三方面，提供一种有机电致发光器件的制备方法，所述制备方法包括：在基板上形成待干燥图案；将形成有待干燥图案的基板对位放置在第一方面所述的干燥箱的热板上进行干燥。
可选的，所述在基板上形成待干燥图案，包括：采用溶液制程在基板上形成待干燥的空穴注入层、待干燥的空穴传输层、待干燥的电致发光层中的任意一种。
本发明提供一种干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法，由于液体的蒸发速率与向液体施加的温度有关，本发明实施例通过将热板上的加热点的温度设置为不完全相同，也就是说热板上加热点的温度可独立控制，这样一来，向同一待干燥器件的不同待干燥图案施加不同的温度，从而使不同待干燥图案中溶剂的蒸发速率相同，以提高不同待干燥图案表面的均匀性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种干燥箱的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种热板的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种加热源与温度控制器的对应关系示意图；
图4为本发明实施例提供的一种加热源的形状与待干燥图案的形状的对应关系示意图；
图5为本发明实施例提供的一种待干燥器件的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的一种热板与温度控制器的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的一种加热源与基底的结构示意图；
图8为图7中沿A-A向的截面图。
附图标记
10-腔体；20-热板；21-加热点；22-基底；23-加热源；30-待干燥器件；40-温度控制器；50-控制结构。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在红、绿、蓝三种子像素区内喷墨打印形成的有机薄膜在同一个基板上被放在干燥箱中干燥时，由于红、绿、蓝三种子像素区的大小不同，所需要的干燥压强不一致，在同一个压强下挥发速率不同，不能在同一个压强下得到三个比较好的有机膜。以制备有机电致发光层为例，由于红、绿、蓝三种子像素区的大小不同，因此，红光发光层、绿光发光层、蓝光发光层三者所需的真空干燥条件不同。在量产过程中，通常是将三种颜色的发光层用液态制程制备好后，放入干燥箱中干燥。其中一种颜色的发光层的干燥效果较好时，其他两种颜色的发光层的干燥效果则不太理想。这样一来，当在同一真空干燥条件下干燥时，干燥效果必然不理想，导致在同一真空干燥条件下无法得到三种干燥均匀的发光层。针对如此问题，本发明分别对红、绿、蓝三种子像素区施加不同的温度，由于是真空条件，红、绿、蓝三种子像素区之间不同温度不会造成crosstalk(串扰)。温度控制过程和像素区大小、墨水的比表面积、饱和蒸汽压、有机溶剂的分子量等因素有关，而控制温度的最终目的就是使红、绿、蓝三种子像素区内的有机薄膜在同样的压强下，具有相同的蒸发速率(Gs)。即GsR＝GsG＝GsB。
基于此，本发明实施例提供一种干燥箱，如图1所示，包括腔体10和设置在腔体10内的热板20，热板20包括多个加热点21，加热点21朝向热板20的用于承载待干燥器件30的表面设置；其中，多个加热点21的温度不完全相同且相互绝热。
需要说明的是，第一，加热点21朝向热板20的用于承载待干燥器件30的表面设置，这样一来，当待干燥器件30放置在热板20上时，加热点21直接与待干燥器件30接触。
其中，热板20可以仅由独立的加热点21组成，不对加热点21的具体结构和形状进行限定，能够提供热源即可。
第二，多个加热点21的温度不完全相同，多个加热点21的温度可以独立控制，也可以是部分加热点21的温度同步控制，但加热点21与加热点21之间是相互绝热的，温度不会相互串扰。
第三，对于加热点21的排布方式不做限定，可根据使用场景等因素合理设置即可。
第四，本发明实施例提高待干燥器件30均匀性的原理为：影响液体的蒸发速度的因素有：(1)向液体施加的温度；(2)液体的比表面积(S/V)；(3)液体表面的空气流动速度；(4)溶剂的饱和蒸汽压。(5)有机溶剂的分子量M。通常情况下，采用溶液制程制备具有相同功能的膜层时所用的溶剂是相同的，也就是有机溶剂的分子量M是相同的。待干燥器件30中待干燥图案(分别形成在红、绿、蓝三种子像素区中的有机图案)处于同一干燥箱中，腔体10内空气流动速度是相同的，但是由于待干燥图案的大小不同，也就是待干燥图案的比表面积是不同的S/V(V＝4/3πR3，S＝4πR2)。溶剂的饱和蒸汽压与施加的温度有关，因此，对于干燥箱中的待干燥图案来讲，影响干燥均匀性的因素即为向液体施加的温度和液体的比表面积。结合待干燥图案的比表面积，调整向待干燥图案施加的温度，以提高待干燥图案的均匀性。
在量产过程中，待干燥器件30中会包括多种形状大小不同的待干燥图案，当将待干燥器件30放入干燥箱中时，干燥箱中的干燥条件是固定的，而在同一干燥条件下，不同待干燥图案中溶剂的蒸发速率不同。由于液体的蒸发速率与向液体施加的温度有关，本发明实施例通过将热板20上的加热点21的温度设置为不完全相同，也就是说热板20上加热点21的温度可独立控制。这样一来，向同一待干燥器件30的不同待干燥图案施加不同的温度，从而使不同待干燥图案中溶剂的蒸发速率相同，以提高不同待干燥图案表面的均匀性。
在一些实施例中，如图2所示，热板20包括基底22和设置在基底22上的多个相互独立的加热源23，基底22为绝热材料。
其中，基底22的材料选取现有技术中具有绝热功能的材料即可，当然，基底22的材料应适宜在干燥箱中使用。
此外，加热源23相互独立，基底22为绝热材料，因此，加热源23之间应绝热，互不干扰。不对加热源23的具体形状进行限定，基底22上的多个加热源23的图案可以相同，也可以不同。当然，本领域技术人员应该明白，加热源23直接与待干燥器件30接触，为了进一步提高待干燥器件30放置的稳定性，加热源23与待干燥器件30接触的表面应为平行于基底22的平面。
再者，对于加热源23发热的方式不做限定，现有技术中能够使加热源23产生热能的方式均适用于本发明。
本发明实施例通过在绝热的基底22上设置加热源23，通过加热源23对待干燥器件30加热，一方面可以通过基底22承载加热源23和待干燥器件30，以保证整个干燥过程的稳定性，另一方面可以保证待干燥器件30的平整性，避免因待干燥器件30倾斜导致待干燥图案变形。
在一些实施例中，如图2所示，多个加热源23在基底22上的正投影的形状不完全相同。
也就是说，多个加热源23的横截面积不完全相同。
结合待干燥图案的比表面积，调整向待干燥图案施加的温度，可提高待干燥器件30的均匀性，而为了进一步提高待干燥图案受热的均匀性，本发明通过调整加热源23的横截面形状，以使每个待干燥图案各区域同时受热，从而进一步提升待干燥器件30的均匀性。
在一些实施例中，干燥箱中包括温度控制器40，每个温度控制器40连接一个加热源23，以实现对每个加热源23温度的独立控制，提高干燥箱的适用范围。
其中，不对温度控制器40的具体结构进行限定，能够控制加热源23发热即可。
在一些实施例中，如图3所示，干燥箱中包括温度控制器40，在基底22上的正投影的形状相同的加热源23连接同一温度控制器40。
在基底22上的正投影的形状相同的加热源23通常对同一形状的待干燥图案加热，所需输出的加热温度也相同，因此，将在基底22上的正投影的形状相同的加热源23由同一温度控制器40控制，可节省温度控制器40的数量，简化干燥箱的布局。
在一些实施例中，如图4所示，干燥箱用于干燥有机电致发光器件，基底22上的多个加热源23分为多组，每组中的多个加热源23垂直于基底22的厚度方向上的截面形状分别与待干燥有机电致发光器件每个像素中的多个子像素内的待干燥图案的形状相同。
示例性的，如图4所示，每个像素包括红、绿、蓝三个子像素(虚线框内的三个子像素)，对于待干燥的有机电致发光器件来讲，红色子像素中的待干燥图案为红色电致发光层R，绿色子像素中的待干燥图案为绿色电致发光层G，蓝色子像素中的待干燥图案为蓝色电致发光层B，对应的，基底22上的三个加热源23构成一组(点画线框内的三个加热源23)，每组中的三个加热源23分别用于对红色电致发光层R、绿色电致发光层G、蓝色电致发光层B三个待干燥图案加热，用于对红色电致发光层R加热的加热源23的横截面形状与红色电致发光层R的形状相同，用于对绿色电致发光层G加热的加热源23的横截面形状与绿色电致发光层G的形状相同，用于对蓝色电致发光层B加热的加热源23的横截面形状与蓝色电致发光层B的形状相同。
示例性的，如图5所示，同时喷墨打印形成60微米×150微米的红色电致发光层R、78微米×204微米的绿色电致发光层G、78微米×234微米的蓝色电致发光层B，对应的，将喷墨打印后的器件放入干燥箱中干燥，加热源23作用于子像素中开口区域，按照热板20上的对位mark(标记)，将不同颜色的子像素分别对应不同温度的加热源23，红、绿、蓝三种子像素分别对应的加热源23的温度和横截面积不同，根据红色电致发光层R、绿色电致发光层G、蓝色电致发光层B内溶剂挥发速率调节加热源23的温度，用于加热红色电致发光层R的加热源23的横截面积为60微米×150微米，用于加热绿色电致发光层G的加热源23的横截面积为78微米×204微米，用于加热蓝色电致发光层B的加热源23的横截面积为78微米×234微米，即加热源23与待干燥器件30的接触面积分别和开口区内红、绿、蓝三个子像素的开孔大小相同(开孔区域用于喷墨打印有机薄膜)。从而保证红色电致发光层R、绿色电致发光层G、蓝色电致发光层B同时干燥。
加热源23直接作用于子像素的开口区域，由于加热源23是在真空腔体10中对待干燥器件30加热，没有空气作为传输介质，相互之间温度不会造成crosstalk(串扰)。
对于干燥箱中的待干燥图案来讲，影响干燥均匀性的因素即为给液体施加的温度、溶剂的饱和蒸汽压和液体的比表面积。对于图5中的结构来讲，SR/VR≠SG/VG≠SB/VB。
关于确定每个加热源23的加热温度：根据马扎克公式有机液体的蒸发速率Gs＝(5.38+4.1u)PvFM1/2，其中，Gs为有机溶剂蒸发量，u为中空干燥箱环境下空气流动速率，Pv为有机溶剂的饱和蒸汽压，F为有机溶剂挥发的比表面积(S/V)，M为有机溶剂分子量。因此，蒸发速率与饱和蒸汽压有关，而饱和蒸汽压又与施加的温度有关：根据Antoine(安托因)公式，ln(Pv)＝9.3876-3826.36/(T-45.47)(T在290K～500K之间)，得出饱和蒸汽压和温度的关系，Pv＝e9.3876-3826.36/(T-45.47)。
基于此，蒸发速率Gs＝(5.38+4.1u)e9.3876-3826.36/(T-45.47)FM1/2，在同一个干燥箱中要使红色电致发光层R、绿色电致发光层G、蓝色电致发光层B同时干燥，也就是使得三者的蒸发速率相等，即，GsR＝GsG＝GsB，即为：(5.38+4.1u)e9.3876-3826.36/(T R -45.47)FRM1/2＝(5.38+4.1u)e9.3876-3826.36/(T G -45.47)FGM1/2＝(5.38+4.1u)e9.3876-3826.36/(T B -45.47)FBM1/2，即，e9.3876 -3826.36/(T R -45.47)FR＝e9.3876-3826.36/(T G -45.47)FG＝e9.3876-3826.36/(T B -45.47)FB，F即待干燥图案的比表面积S/V。
喷墨打印常用的溶剂有苯甲醚，若固定对红色电致发光层R的加热温度是20℃，苯甲醚对应的饱和蒸汽压是0.257，分别计算出红色电致发光层R、绿色电致发光层G、蓝色电致发光层B墨水的比表面积。就可以根据绿色电致发光层G、蓝色电致发光层B的温度和比表面积比例分配，通过上述公式计算出对绿色电致发光层G和蓝色电致发光层B的加热温度。
以下，表一是常用的液滴体积与液滴半径对应的比表面积，表二是喷墨打印中经常用到的一些溶剂在不同温度下对应的饱和蒸汽压。
表一 液滴体积与液滴半径对应的比表面积
墨滴体积 墨滴半径 比表面积
V/pl R/um S/V mm<sup>1-</sup>
1 6.203504909 483597586.2
5 10.60784418 56561916.81
10 13.36504618 22446611.56
15 15.29915871 13072614.24
表二 溶剂的温度与饱和蒸汽压的对应关系
10℃ 15℃ 20℃ 23℃ 25℃ 30℃ 40℃ 50℃ 100℃
水 1.2281 1.7056 2.3388 2.8104 3.169 4.2455 7.3814 12.344 100
乙二醇 0.008 0.01 0.012 0.017 0.034 0.065 2.169
苯甲醚 0.257 0.312 0.354 0.483 0.873 1.52
丙三醇 0.001 0.001 0.001 0.002 0.003
二乙二醇丁醚 0.008 0.01 0.012 0.017 0.034 0.066 1.1
二乙二醇单甲醚 0.122 0.17 0.209 0.238 0.327 0.597
正丁基苯 4.70E-02 0.067 0.082 0.094 0.131 0.247
二苯醚 0.003 0.003 0.004 0.005 0.011 0.023
苯基环己烷 0.006 0.007 0.008 0.012 0.024 0.047
苯乙醚 0.131 0.16 0.182 0.252 0.464 0.824
异丙醇 5.9 7 7.8 10.1 16.5 26.4
在一些实施例中，由于发同种颜色光的子像素中待干燥图案的比表面积是相同的，因此，用于对发同种颜色光的子像素加热的加热源23的温度也是相同的。基于此，如图6所示，本发明的干燥箱还包括用于调整加热源23的温度的温度控制器40，用于对发同种颜色光的子像素加热的加热源23连接同一温度控制器40。
也就是对红色电致发光层R加热的多个加热源23连接同一温度控制器40、对绿色电致发光层G加热的多个加热源23连接同一温度控制器40、对蓝色电致发光层B加热的多个加热源23连接同一温度控制器40。
温度控制器40对加热源23的温度调节是依据与加热源23对应的待干燥图案的比表面积，参考上述的原理，确定每个加热源23的温度。此处，可以是将每个待干燥图案的比表面积输入至温度控制器40，温度控制器40计算出加热温度，也可以是其他部件计算出加热温度，温度控制器40依据计算结果控制加热温度，当然，也可以是其他方式。
在一些实施例中，为了进一步避免加热源23之间温度的串扰，如图7和图8所示，基底22上设置有凹槽，加热源23设置在凹槽内，干燥箱还包括控制结构50，控制结构50用于控制加热源23沿基底22的厚度方向上下移动。
其中，不对凹槽的具体形状进行限定，能够使加热源放置在其内即可，也就是说，凹槽在基底22上的正投影必然覆盖与该凹槽对应的加热源23在基底22上的正投影。在一些实施例中，凹槽的深度大于加热源23沿基底22的厚度方向上的长度。
在干燥过程中，升起控制结构50控制加热源23沿远离基底22的方向移动(如图8中的虚线)使加热源23撑起待干燥器件30，加热完成后，控制结构50控制加热源23沿靠近基底22的方向移动，使加热源23放置在基底22内。
基于上述，在一些实施例中，为了精准的实时控制加热源23的温度，温度控制器40为设置有热电偶的电加热结构，电加热结构根据热电偶反馈的温度实时调整输出电流。
加热源23温度控制原理：通过外加电流对像素进行加热，通过热电偶反馈温度形成闭环系统来实时调控加热源23的输出电流，具体方法用PID(Proportion IntegralDifferential coefficient，比例积分微分)来调整温度的数值，以此给不同待加热图案不同的温度控制。
本发明实施例还提供一种干燥箱的控制方法，包括：
控制各加热点21的加热温度，以使待干燥器件30中的各待干燥图案在干燥箱内具有相同的蒸发速率。
干燥箱中的其他干燥条件固定，加热点21的加热温度不完全相同，与各待干燥图案对应的加热点21的加热温度的获取方法如上述。
本发明实施例提供的干燥箱的控制方法，在干燥过程中，通过向同一待干燥器件30的不同待干燥图案施加不同的温度，从而使不同待干燥图案中溶剂的蒸发速率相同，以提高不同待干燥图案表面的均匀性。
在一些实施例中，该控制方法还包括：
控制加热源23移动，以使加热源23向远离基底22的方向移动。
也就是说，控制加热源23升起，使待干燥器件30与基底22之间具有一定的距离，当然，可以是在将待干燥器件30放置在干燥箱中后在升起加热源23，也可以是先升起加热源23再将待干燥器件30入干燥箱中。
本发明实施例还提供一种有机电致发光器件的制备方法，包括：
S10、在基板上形成待干燥图案。
其中，待干燥图案是由有机材料溶解在溶剂中后获得的溶液形成的，此时待干燥图案呈液态。在基板上形成待干燥图案，可以是采用溶液制程在基板上形成待干燥的空穴注入层或者待干燥的空穴传输层或者待干燥的电致发光层等。
以形成电致发光层为例，在红色子像素中形成的待干燥的红色电致发光层、在绿色子像素中形成的待干燥的绿色电致发光层和在蓝色子像素中形成的待干燥的蓝色电致发光层的图案不完全相同。
S20、将形成有待干燥图案的基板对位放置在上述干燥箱的热板20上进行干燥。
由于在干燥过程中，干燥箱控制各加热点21的温度不完全相同，从而可使液态有机膜层各区域干燥的比较均匀，从而提高有机电致发光器件的良率。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (12)

1.一种干燥箱，其特征在于，包括腔体和设置在所述腔体内的热板，所述热板包括多个加热点，所述加热点朝向所述热板的用于承载待干燥器件的表面设置；
其中，多个所述加热点的温度不完全相同且相互绝热。
2.根据权利要求1所述的干燥箱，其特征在于，所述热板包括基底和设置在所述基底上的多个相互独立的加热源，所述基底为绝热材料。
3.根据权利要求2所述的干燥箱，其特征在于，多个所述加热源在所述基底上的正投影的形状不完全相同。
4.根据权利要求3所述的干燥箱，其特征在于，还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器；
每个所述温度控制器连接一所述加热源；
或者，
在所述基底上的正投影的形状相同的所述加热源连接同一所述温度控制器。
5.根据权利要求2所述的干燥箱，其特征在于，用于干燥有机电致发光器件，所述基底上的多个所述加热源分为多组，每组中的多个所述加热源垂直于所述基底的厚度方向上的截面形状分别与待干燥有机电致发光器件每个像素中的多个子像素内的待干燥图案的形状相同。
6.根据权利要求5所述的干燥箱，其特征在于，还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器，用于对发同种颜色光的子像素加热的所述加热源连接同一所述温度控制器。
7.根据权利要求2所述的干燥箱，其特征在于，所述基底上设置有凹槽，所述加热源设置在所述凹槽内，所述干燥箱还包括控制结构，所述控制结构用于控制所述加热源沿所述基底的厚度方向上下移动。
8.根据权利要求4或6所述的干燥箱，其特征在于，所述温度控制器为设置有热电偶的电加热结构，所述电加热结构根据所述热电偶反馈的温度实时调整输出电流。
9.一种干燥箱的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：
控制各加热点的加热温度，以使待干燥器件中的各待干燥图案在所述干燥箱内具有相同的蒸发速率。
10.根据权利要求9所述的控制方法，其特征在于，还包括：
控制加热源移动，以使所述加热源向远离基底的方向移动。
11.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
在基板上形成待干燥图案；
将形成有待干燥图案的基板对位放置在权利要求1-8任一项所述的干燥箱的热板上进行干燥。
12.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述在基板上形成待干燥图案，包括：
采用溶液制程在基板上形成待干燥的空穴注入层、待干燥的空穴传输层、待干燥的电致发光层中的任意一种。
CN201810613551.3A 2018-06-14 2018-06-14 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法 Active CN109059436B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810613551.3A CN109059436B (zh) 2018-06-14 2018-06-14 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法
PCT/CN2019/081305 WO2019237802A1 (zh) 2018-06-14 2019-04-03 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法
US16/651,567 US11530874B2 (en) 2018-06-14 2019-04-03 Dry box and control method thereof, and preparation method of organic electroluminescent device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810613551.3A CN109059436B (zh) 2018-06-14 2018-06-14 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109059436A true CN109059436A (zh) 2018-12-21
CN109059436B CN109059436B (zh) 2021-01-26

Family

ID=64820885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810613551.3A Active CN109059436B (zh) 2018-06-14 2018-06-14 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11530874B2 (zh)
CN (1) CN109059436B (zh)
WO (1) WO2019237802A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019237802A1 (zh) * 2018-06-14 2019-12-19 京东方科技集团股份有限公司 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法
WO2020134288A1 (zh) * 2018-12-26 2020-07-02 Tcl科技集团股份有限公司 喷墨打印基台及喷墨打印方法
WO2022217879A1 (zh) * 2021-04-15 2022-10-20 京东方科技集团股份有限公司 显示基板的制作方法、显示基板及显示装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118394152B (zh) * 2024-06-25 2024-08-27 国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司 一种有机电致发光薄膜表面温度均匀化温控系统

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1879236A (zh) * 2003-11-10 2006-12-13 E.I.内穆尔杜邦公司 具有包含客体材料的区域的有机层状材料,以及结合了该材料的有机电子器件
KR100674763B1 (ko) * 2004-12-03 2007-01-25 세이코 엡슨 가부시키가이샤 패턴 형성 기판, 전기 광학 장치, 패턴 형성 기판의 제조방법 및 전기 광학 장치의 제조 방법
CN102067726A (zh) * 2008-06-16 2011-05-18 东丽株式会社 图案形成方法及使用其的装置的制造方法以及装置
CN102473849A (zh) * 2009-07-31 2012-05-23 大日本印刷株式会社 空穴注入传输层用器件材料、空穴注入传输层形成用油墨、具有空穴注入传输层的器件及其制造方法
CN103227187A (zh) * 2012-01-31 2013-07-31 佳能株式会社 发光装置、图像形成装置、显示装置和摄像装置
KR20140134967A (ko) * 2013-05-15 2014-11-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
CN104518175A (zh) * 2013-10-08 2015-04-15 精工爱普生株式会社 有机el元件的制造方法、有机el装置和电子设备
CN105132868A (zh) * 2015-09-25 2015-12-09 京东方科技集团股份有限公司 蒸发源及其制作方法、蒸镀方法
CN105428554A (zh) * 2015-12-21 2016-03-23 Tcl集团股份有限公司 一种印刷oled器件及其制作方法
CN108091778A (zh) * 2017-12-27 2018-05-29 深圳市华星光电技术有限公司 喷墨打印膜层的干燥方法、加热装置及其制造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5226242A (en) * 1992-02-18 1993-07-13 Santa Clara Plastics, Division Of Preco, Inc. Vapor jet dryer apparatus and method
JP4929747B2 (ja) * 2005-03-28 2012-05-09 コニカミノルタオプト株式会社 光学フィルムの製造方法
US9814331B2 (en) * 2010-11-02 2017-11-14 Ember Technologies, Inc. Heated or cooled dishware and drinkware
US10240867B2 (en) * 2012-02-01 2019-03-26 Revive Electronics, LLC Methods and apparatuses for drying electronic devices
KR101994874B1 (ko) * 2013-03-14 2019-07-01 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 건조 장치 및 건조 처리 방법
US9437782B2 (en) * 2014-06-18 2016-09-06 X-Celeprint Limited Micro assembled LED displays and lighting elements
CN104078424B (zh) * 2014-06-30 2017-02-15 京东方科技集团股份有限公司 低温多晶硅tft阵列基板及其制备方法、显示装置
US10553811B2 (en) 2016-11-01 2020-02-04 Joled Inc. Organic EL display panel manufacturing method and ink drying device
KR102561983B1 (ko) * 2017-03-16 2023-08-01 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치의 제작 방법 및 반도체 장치
CN106920832B (zh) * 2017-05-12 2019-02-15 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种像素结构、其制作方法及显示面板
CN109059436B (zh) * 2018-06-14 2021-01-26 京东方科技集团股份有限公司 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1879236A (zh) * 2003-11-10 2006-12-13 E.I.内穆尔杜邦公司 具有包含客体材料的区域的有机层状材料,以及结合了该材料的有机电子器件
KR100674763B1 (ko) * 2004-12-03 2007-01-25 세이코 엡슨 가부시키가이샤 패턴 형성 기판, 전기 광학 장치, 패턴 형성 기판의 제조방법 및 전기 광학 장치의 제조 방법
CN102067726A (zh) * 2008-06-16 2011-05-18 东丽株式会社 图案形成方法及使用其的装置的制造方法以及装置
CN102473849A (zh) * 2009-07-31 2012-05-23 大日本印刷株式会社 空穴注入传输层用器件材料、空穴注入传输层形成用油墨、具有空穴注入传输层的器件及其制造方法
CN103227187A (zh) * 2012-01-31 2013-07-31 佳能株式会社 发光装置、图像形成装置、显示装置和摄像装置
KR20140134967A (ko) * 2013-05-15 2014-11-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
CN104518175A (zh) * 2013-10-08 2015-04-15 精工爱普生株式会社 有机el元件的制造方法、有机el装置和电子设备
CN105132868A (zh) * 2015-09-25 2015-12-09 京东方科技集团股份有限公司 蒸发源及其制作方法、蒸镀方法
CN105428554A (zh) * 2015-12-21 2016-03-23 Tcl集团股份有限公司 一种印刷oled器件及其制作方法
CN108091778A (zh) * 2017-12-27 2018-05-29 深圳市华星光电技术有限公司 喷墨打印膜层的干燥方法、加热装置及其制造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019237802A1 (zh) * 2018-06-14 2019-12-19 京东方科技集团股份有限公司 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法
US11530874B2 (en) 2018-06-14 2022-12-20 Boe Technology Group Co., Ltd. Dry box and control method thereof, and preparation method of organic electroluminescent device
WO2020134288A1 (zh) * 2018-12-26 2020-07-02 Tcl科技集团股份有限公司 喷墨打印基台及喷墨打印方法
WO2022217879A1 (zh) * 2021-04-15 2022-10-20 京东方科技集团股份有限公司 显示基板的制作方法、显示基板及显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019237802A1 (zh) 2019-12-19
US11530874B2 (en) 2022-12-20
US20200263924A1 (en) 2020-08-20
CN109059436B (zh) 2021-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109059436B (zh) 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法
CN108598110B (zh) Oled器件
CN104260554B (zh) 喷墨打印方法及设备、显示基板的制作方法
US8616930B1 (en) Depositing apparatus and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same
US20190218655A1 (en) Ovjp deposition nozzle with delivery flow retarders
CN105132868B (zh) 蒸发源及其制作方法、蒸镀方法
KR20190101303A (ko) 모듈식 한정형 유기 프린트 헤드 및 시스템
CN104299968A (zh) 电致发光器件及其制造方法、显示基板和显示装置
CN105870359B (zh) 薄膜的制备方法、温度控制装置及用于制备薄膜的系统
US8709837B2 (en) Deposition apparatus and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same
US9673395B2 (en) Apparatus and method for forming organic thin film and manufacturing method of organic thin film device using the same
CN106521423A (zh) 一种真空蒸镀装置、方法及有机发光显示面板
CN108215490A (zh) 一种oled基板的干燥装置及喷墨打印设备
TW201335399A (zh) 沉積裝置及使用其製造有機發光二極體顯示器之方法
CN110635068B (zh) 一种卷对卷连续印刷oled柔性显示面板的方法
CN109801939B (zh) 一种显示基板及其制作方法、显示装置
CN204256370U (zh) 光阻预烤炉加热器区域结构
CN110137230A (zh) 一种oled显示面板及其制作方法
CN108847457B (zh) 真空干燥设备
WO2020019481A1 (zh) Oled基板及其制作方法
Chen et al. 71‐4: Uniformity Study on High Resolution OLED Display Fabricated by Ink Jet Printing Process
CN109103349A (zh) Oled面板的制作方法与oled面板
KR101238004B1 (ko) 전계발광소자의 제조방법 및 몰드기판의 제조방법
CN110112326B (zh) 一种喷墨打印结构及利用喷墨打印结构制备显示面板的方法
CN111883688B (zh) 减压干燥装置及减压干燥方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant