CN105428554A - 一种印刷oled器件及其制作方法 - Google Patents
一种印刷oled器件及其制作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105428554A CN105428554A CN201510962441.4A CN201510962441A CN105428554A CN 105428554 A CN105428554 A CN 105428554A CN 201510962441 A CN201510962441 A CN 201510962441A CN 105428554 A CN105428554 A CN 105428554A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- oled
- pixel
- conductive anode
- manufacture method
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
本发明公开一种印刷OLED器件及其制作方法。其中，方法包括步骤：A、在镀有导电阳极的基板上以光刻工艺制作出阳极图案；B、在导电阳极之上以涂布工艺制作像素界定层，然后通过光刻工艺在每个像素的位置形成像素容器；C、将电流源连接到导电阳极的两端并通入电流；D、当导电阳极随着发热升温进入稳定状态后，以喷墨打印工艺往像素容器内注入OLED墨水材料；E、最后去除OLED墨水材料中的溶剂，形成干燥固化的膜层。本发明通过对导电阳极通电的方法，来对像素内的墨水进行局部加热，以提高印刷OLED器件像素内成膜的均匀度，进而提高了印刷OLED器件的性能。
Description
技术领域
本发明涉及发光器件领域，尤其涉及一种印刷OLED器件及其制作方法。
背景技术
有机发光器件（OLED）作为下一代平板显示技术，近年来获得了较大的发展。应用于手机等移动显示领域的小尺寸OLED器件，已经实现了量产，进入了市场化阶段。对于面向电视等应用的大尺寸OLED器件，由于材料、工艺尚不够成熟，目前仍处于开发阶段。其中，基于溶液法印刷工艺的OLED技术，因为其高材料利用率、无需使用超精细掩膜（FFM）以及低设备投入成本等优点，被认为是极有潜力的一种大尺寸OLED显示技术。然而，印刷OLED尚有许多技术难题需要克服。其中，印刷OLED的成膜工艺是一项关键技术。因为成膜的质量会直接影响印刷OLED器件的性能、寿命和发光均匀度。如何提高像素内成膜的均匀度是一个难点。
一般印刷OLED器件像素截面结构如图1所示，其制备过程如下：首先，在镀有导电阳极11的基板10上通过光刻工艺制作像素界定层（bank）12，形成用于盛装OLED墨水材料的像素容器。然后，再通过喷墨打印（InkjetPrinting）工艺把OLED墨水材料13注入像素容器内。最后，通过挥发干燥、烘烤去除墨水中的溶剂，形成干燥固化的膜层15，如图2所示。为了防止墨水溢出像素外，bank的表面需具备疏液的特性。如此一来，在表面张力的作用下，墨水在像素内呈向上凸起的分布形态（如图1）。在挥发干燥过程中，处于像素边缘的墨水厚度薄且墨水中溶剂挥发速率较快，而处于像素中间位置的墨水膜层较厚且溶剂挥发较慢，使得边缘处墨水中OLED材料的含量高于中间位置的墨水。这样，会因为浓度差而导致墨水中的OLED材料向像素边缘扩散，在干燥后会形成如图2中所示的中间薄两侧厚的不均匀成膜结构，进而导致发光不均和器件性能降低。
因此，现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种印刷OLED器件及其制作方法，旨在解决现有的印刷OLED器件制造过程中成膜不均匀的问题。
本发明的技术方案如下：
一种印刷OLED器件的制作方法，其中，包括步骤：
A、在镀有导电阳极的基板上以光刻工艺制作出阳极图案；
B、在导电阳极之上以涂布工艺制作像素界定层，然后通过光刻工艺在每个像素的位置形成像素容器；
C、将电流源连接到导电阳极的两端并通入电流；
D、当导电阳极随着发热升温进入稳定状态后，以喷墨打印工艺往像素容器内注入OLED墨水材料；
E、最后去除OLED墨水材料中的溶剂，形成干燥固化的膜层。
所述的印刷OLED器件的制作方法，其中，所述步骤A中，以光刻工艺制作出呈多个条形结构的阳极图案。
所述的印刷OLED器件的制作方法，其中，所述步骤C中，将电流源连接到每列条形结构的两端并通入电流。
所述的印刷OLED器件的制作方法，其中，所述步骤C中，所述电流源为直流、脉冲或交流形式。
所述的印刷OLED器件的制作方法，其中，电流的绝对值范围从0安培到100安培。
所述的印刷OLED器件的制作方法，其中，所述步骤C中，通过电流源调节通入导电阳极两端的电流来控制发热量的大小。
所述的印刷OLED器件的制作方法，其中，所述导电阳极为ITO阳极。
所述的印刷OLED器件的制作方法，其中，所述像素界定层为疏水性或疏油性材料。
一种印刷OLED器件，其中，采用如上所述的制作方法制成。
有益效果：本发明通过对导电阳极通电的方法，来对像素内的墨水进行局部加热，以提高印刷OLED器件像素内成膜的均匀度，进而提高了印刷OLED器件的性能。
附图说明
图1为现有技术中印刷OLED器件墨水干燥前的像素截面示意图。
图2为现有技术中印刷OLED器件墨水干燥后的像素截面示意图。
图3为本发明印刷OLED器件在制作过程中通电时的结构示意图。
图4为本发明的原理示意图。
具体实施方式
本发明提供一种印刷OLED器件及其制作方法，为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明所提供的一种印刷OLED器件的制作方法，其包括步骤：
S1、在镀有导电阳极的基板上以光刻工艺制作出阳极图案；
S2、在导电阳极之上以涂布工艺制作像素界定层，然后通过光刻工艺在每个像素的位置形成像素容器；
S3、将电流源连接到导电阳极的两端并通入电流；
S4、当导电阳极随着发热升温进入稳定状态后，以喷墨打印工艺往像素容器内注入OLED墨水材料；
S5、最后去除OLED墨水材料中的溶剂，形成干燥固化的膜层。
本发明的主要改进之处在于：在打印墨水和挥发干燥的阶段，向位于像素底部的导电阳极通入电流。由于导电阳极存在电阻，在通入电流时会产生焦耳热，起到对像素内墨水局部加热的效果，从而改变局部墨水的挥发速率，以提高印刷OLED器件像素内成膜的均匀度，进而提高印刷OLED器件的性能。
为了描述方便，下面以图3所示的基于5行×6列像素矩阵结构的OLED器件的方案来说明本发明的实施过程。显然本发明的应用范围不局限于此简化结构的器件。
在所述步骤S1中，在镀有导电阳极21的基板20上以光刻工艺制作出呈条形结构的阳极图案。所述导电阳极21可选用ITO阳极。
在所述步骤S2中，在导电阳极21之上以涂布工艺制作像素界定层22，然后通过光刻工艺在每个像素的位置形成像素容器。像素界定层22表面具有疏液的特性，其可以是疏水性或疏油性材料，以防止下一步打印的OLED墨水溢到像素外。
所述步骤S3中，将电流源24连接到每列条形结构（即条形的导电阳极21）的两端并通入电流。由于导电阳极（如ITO阳极）本身存在电阻，当通入电流后会以P=I2R的功率持续产生焦耳热。
由于实际应用中，会在同一显示器件中采用不同沸点的OLED墨水，其挥发速率存在很大差异。本发明可以通过电流源调节通入导电阳极21的电流来控制发热量的大小，以实现对不同OLED墨水成膜质量的微调优化。电流源24产生并通入导电阳极21的电流可以直流、脉冲或交流形式。电流的绝对值范围从0安培到100安培。
在所述步骤S4中，当导电阳极21随着发热升温进入稳定状态后，即可开始以喷墨打印工艺（InkjetPrinting）往像素容器内注入OLED墨水材料23。导电阳极21发出的热量将会从像素底部传入OLED墨水中，对OLED墨水产生加热的作用，并影响墨水的干燥过程和最终的成膜结果。这一过程即实现了本发明欲实现的效果。本步骤中的稳定状态是指导电阳极在经过通电处理后，其温度达到了与P=I2R公式相对应的状态，因为一般在刚通电时，其温度有一个逐渐上升的过程，一般在数秒钟之后，例如1s~10s，能够达到较稳定的状态。
本发明的方法会提高印刷OLED器件像素内成膜的均匀度，其作用机理如下：如前所述，在打印OLED墨水的过程中，像素容器底部的导电阳极通电后产生的热，会持续进入到其上部的OLED墨水中。一般情况下，导电阳极发出的热量呈均匀分布，并且会上下左右各方向扩散，但最终进入到墨水中的热量却存在局部的差异。如图4所示，在像素中间的位置，导电阳极与OLED墨水直接接触，热量从导电阳极向OLED墨水中传导速率会较快。而在像素边缘的位置，光刻工艺制作的像素界定层一般呈楔形结构，像素界定层通常由导热性很差甚至绝热的材料制作。因此，在像素边缘位置，导电阳极向墨水传导热量的速率会明显小于像素中间位置。这种差异导致位于像素中间位置的OLED墨水，单位时间内吸收更多来自导电阳极的热量，进而使得其挥发干燥进程比位于像素边缘的OLED墨水更快。
这种通过导电阳极通电加热而实现像素中间部位OLED墨水加速挥发机制，对于OLED墨水原本存在的像素中间位置挥发较慢的现象，起到了补偿作用。在导电阳极通电加热和OLED墨水自然挥发两种机制共同作用下，OLED墨水在像素中间及边缘位置挥发干燥速率的差异得以缩小，进而提高了像素内OLED材料最终干燥成膜厚度分布的均匀度。这样，印刷OLED器件的发光均匀度和性能均得到了提高，因为像素内OLED器件的有效发光面积会加大，厚度控制更精准。
最后在步骤S5中，去除OLED墨水材料中的溶剂，形成干燥固化的膜层。其主要是通过挥发干燥、烘烤去除墨水中的溶剂，形成干燥固化的膜层，在挥发干燥、烘烤去除溶剂的同时继续通电，以使墨水挥发更均匀，直至形成干燥固化的膜层。
本发明还提供一种印刷OLED器件，其采用如上所述的制作方法制成。
应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (9)
1.一种印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，包括步骤：
A、在镀有导电阳极的基板上以光刻工艺制作出阳极图案；
B、在导电阳极之上以涂布工艺制作像素界定层，然后通过光刻工艺在每个像素的位置形成像素容器；
C、将电流源连接到导电阳极的两端并通入电流；
D、当导电阳极随着发热升温进入稳定状态后，以喷墨打印工艺往像素容器内注入OLED墨水材料；
E、最后去除OLED墨水材料中的溶剂，形成干燥固化的膜层。
2.根据权利要求1所述的印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，所述步骤A中，以光刻工艺制作出呈多个条形结构的阳极图案。
3.根据权利要求2所述的印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，所述步骤C中，将电流源连接到每列条形结构的两端并通入电流。
4.根据权利要求1所述的印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，所述步骤C中，所述电流源为直流、脉冲或交流形式。
5.根据权利要求1所述的印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，电流的绝对值范围从0安培到100安培。
6.根据权利要求1所述的印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，所述步骤C中，通过电流源调节通入导电阳极两端的电流来控制发热量的大小。
7.根据权利要求1所述的印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，所述导电阳极为ITO阳极。
8.根据权利要求1所述的印刷OLED器件的制作方法，其特征在于，所述像素界定层为疏水性或疏油性材料。
9.一种印刷OLED器件，其特征在于，采用如权利要求1所述的制作方法制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510962441.4A CN105428554B (zh) | 2015-12-21 | 2015-12-21 | 一种印刷oled器件及其制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510962441.4A CN105428554B (zh) | 2015-12-21 | 2015-12-21 | 一种印刷oled器件及其制作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105428554A true CN105428554A (zh) | 2016-03-23 |
| CN105428554B CN105428554B (zh) | 2018-02-13 |
Family
ID=55506603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510962441.4A Active CN105428554B (zh) | 2015-12-21 | 2015-12-21 | 一种印刷oled器件及其制作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105428554B (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106920887A (zh) * | 2016-05-10 | 2017-07-04 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 印刷oled器件及其制备方法 |
| CN106915158A (zh) * | 2016-06-01 | 2017-07-04 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 印刷系统和方法 |
| CN107689427A (zh) * | 2017-02-09 | 2018-02-13 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | Oled器件及其制作方法 |
| CN109059436A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法 |
| WO2019095430A1 (zh) * | 2017-11-20 | 2019-05-23 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性oled显示面板的制备方法 |
| CN111354869A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-06-30 | 纳晶科技股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
| CN111863884A (zh) * | 2020-07-01 | 2020-10-30 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 量子点彩膜基板及其制备方法、显示面板 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005150097A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-06-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置及び発光装置の作製方法 |
| CN1635821A (zh) * | 2003-12-31 | 2005-07-06 | 统宝光电股份有限公司 | 有机发光显示面板 |
| US20090021686A1 (en) * | 2004-01-06 | 2009-01-22 | Koninklijke Philips Electronic, N.V. | Method for gravure printing transparent electrodes, an dink composition therefor |
| WO2009028126A1 (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | 有機ｅｌ表示装置及びその製造方法 |
| CN101989613A (zh) * | 2009-07-29 | 2011-03-23 | Tdk株式会社 | 有机el显示装置 |
| EP2326601B1 (fr) * | 2008-09-25 | 2013-06-05 | Saint-Gobain Glass France | Procede de fabrication d'une grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une surgrille et grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une surgrille |
| JP2013131573A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Seiko Epson Corp | 成膜用インク、成膜方法、発光素子の製造方法、発光素子、発光装置および電子機器 |
| CN103956407A (zh) * | 2014-04-23 | 2014-07-30 | 中国科学院物理研究所 | 制备钙钛矿基薄膜太阳电池的方法及喷墨打印机 |
| CN104260554A (zh) * | 2014-09-24 | 2015-01-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 喷墨打印方法及设备、显示基板的制作方法 |
-
2015
- 2015-12-21 CN CN201510962441.4A patent/CN105428554B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005150097A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-06-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置及び発光装置の作製方法 |
| CN1635821A (zh) * | 2003-12-31 | 2005-07-06 | 统宝光电股份有限公司 | 有机发光显示面板 |
| US20090021686A1 (en) * | 2004-01-06 | 2009-01-22 | Koninklijke Philips Electronic, N.V. | Method for gravure printing transparent electrodes, an dink composition therefor |
| WO2009028126A1 (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | 有機ｅｌ表示装置及びその製造方法 |
| EP2326601B1 (fr) * | 2008-09-25 | 2013-06-05 | Saint-Gobain Glass France | Procede de fabrication d'une grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une surgrille et grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une surgrille |
| CN101989613A (zh) * | 2009-07-29 | 2011-03-23 | Tdk株式会社 | 有机el显示装置 |
| JP2013131573A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Seiko Epson Corp | 成膜用インク、成膜方法、発光素子の製造方法、発光素子、発光装置および電子機器 |
| CN103956407A (zh) * | 2014-04-23 | 2014-07-30 | 中国科学院物理研究所 | 制备钙钛矿基薄膜太阳电池的方法及喷墨打印机 |
| CN104260554A (zh) * | 2014-09-24 | 2015-01-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 喷墨打印方法及设备、显示基板的制作方法 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106920887A (zh) * | 2016-05-10 | 2017-07-04 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 印刷oled器件及其制备方法 |
| CN106915158A (zh) * | 2016-06-01 | 2017-07-04 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 印刷系统和方法 |
| CN107689427A (zh) * | 2017-02-09 | 2018-02-13 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | Oled器件及其制作方法 |
| WO2019095430A1 (zh) * | 2017-11-20 | 2019-05-23 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性oled显示面板的制备方法 |
| US10622417B2 (en) | 2017-11-20 | 2020-04-14 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Manufacturing method of a flexible OLED display panel |
| CN109059436A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法 |
| WO2019237802A1 (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法 |
| US11530874B2 (en) | 2018-06-14 | 2022-12-20 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Dry box and control method thereof, and preparation method of organic electroluminescent device |
| CN111354869A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-06-30 | 纳晶科技股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
| CN111354869B (zh) * | 2020-02-25 | 2023-02-07 | 纳晶科技股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
| CN111863884A (zh) * | 2020-07-01 | 2020-10-30 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 量子点彩膜基板及其制备方法、显示面板 |
| WO2022000692A1 (zh) * | 2020-07-01 | 2022-01-06 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 量子点彩膜基板及其制备方法、显示面板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105428554B (zh) | 2018-02-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105428554A (zh) | 一种印刷oled器件及其制作方法 | |
| CN108389979B (zh) | 一种电致发光显示面板、其制备方法及显示装置 | |
| DE10324880B4 (de) | Verfahren zur Herstellung von OLEDs | |
| Ryu et al. | A printed OTFT-backplane for AMOLED display | |
| CN104260554B (zh) | 喷墨打印方法及设备、显示基板的制作方法 | |
| CN106953030B (zh) | 一种薄膜的制作方法、制作设备和显示基板及其制作方法 | |
| CN107731879A (zh) | 一种阵列基板、制备方法、显示面板及显示装置 | |
| CN104269494A (zh) | 有机电致发光器件及其制备方法、显示装置 | |
| US10566397B2 (en) | Ink jet printing first and second materials to form a pixel defining layer having groove | |
| DE10157945C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines organischen, elektrolumineszierenden Displays sowie ein organisches, elektrolumineszierendes Display | |
| Mu et al. | Inkjet-printing line film with varied droplet-spacing | |
| CN104766931B (zh) | 一种显示基板的制造方法、显示基板和显示装置 | |
| CN110581232B (zh) | Oled发光器件的制备方法、oled发光器件和oled显示装置 | |
| CN109651882B (zh) | 一种喷墨打印用空穴注入层墨水及其在有机发光显示中的应用 | |
| CN106024589A (zh) | 一种薄膜的喷墨印刷制备方法及薄膜晶体管的制备方法 | |
| CN107068861A (zh) | 电致发光器件及其制备方法和应用 | |
| CN105826483A (zh) | 一种量子点发光二极管及其制备方法 | |
| KR102065763B1 (ko) | 승화형 열전사 방법을 이용하는 유기 전계 발광 표시 장치의 유기 발광 패턴 형성 방법 및 유기 발광 패턴 형성 장치 | |
| CN110635068B (zh) | 一种卷对卷连续印刷oled柔性显示面板的方法 | |
| CN109309159A (zh) | 一种薄膜制备方法、显示面板及其制备方法、显示装置 | |
| DE60117912T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Emissionsschicht für eine organische Leuchtvorrichtung | |
| Ando et al. | 68.3: WITHDRAWN 68.4 L: Late‐News Paper: High‐resolution Printing of OLED Displays | |
| CN105118932A (zh) | 像素储墨槽的制备方法及应用 | |
| CN110611057B (zh) | 一种卷对卷转印oled柔性显示发光层的方法 | |
| EP1545895A1 (de) | Verfahren zur mikrostrukturierung mittels ortsselektiver sublimation |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20160428 Address after: 510000 Guangzhou, China, Guangzhou, the new knowledge of the city of Phoenix Road, No. 17, No. five, No. 388, self - made by the building of the new Applicant after: GUANGDONG JUHUA PRINTING DISPLAY TECHNOLOGY CO., LTD. Address before: 516006 Guangdong province Huizhou Zhongkai hi tech Development Zone No. nineteen District Applicant before: TCL Group Co., Ltd. |
|
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |