CN108520900A - 一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法 - Google Patents

一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108520900A
CN108520900A CN201810523623.5A CN201810523623A CN108520900A CN 108520900 A CN108520900 A CN 108520900A CN 201810523623 A CN201810523623 A CN 201810523623A CN 108520900 A CN108520900 A CN 108520900A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film
copper aluminium
aluminium tellurium
nitric acid
acid salt
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
CN201810523623.5A
Other languages
English (en)
Inventor
李静
刘科高
许超
赵忠新
刘宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong Jianzhu University
Original Assignee
Shandong Jianzhu University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shandong Jianzhu University filed Critical Shandong Jianzhu University
Priority to CN201810523623.5A priority Critical patent/CN108520900A/zh
Publication of CN108520900A publication Critical patent/CN108520900A/zh
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B19/00Selenium; Tellurium; Compounds thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/28Other inorganic materials
    • C03C2217/287Chalcogenides
    • C03C2217/289Selenides, tellurides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/11Deposition methods from solutions or suspensions
    • C03C2218/116Deposition methods from solutions or suspensions by spin-coating, centrifugation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/31Pre-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜材料的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗玻璃基片,然后将TeO2、Cu(NO3)2和Al(NO3)3先后放入溶剂中,配制澄清透明溶液,用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜,自然晾干,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥,可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量,得到铜铝碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得铜铝碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性,这种新工艺为制备高性能的铜铝碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。

Description

一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法
技术领域
本发明属于太阳能电池用光电薄膜制备技术领域,尤其涉及一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法。
背景技术
铜铝碲基薄膜太阳电池目前可以认为是最有发展前景的薄膜电池,这是因为其吸收层材料CuAlTe2具有较高的光电转化率等一系列优点。特别是以铜铝碲光电薄膜的制备研究已经取得了较大的进展。
目前铜铝碲薄膜的制备方法主要有溶剂热法、喷射热解法、离子烧结法、化学沉积法、反应溅射法、真空蒸发法等。由于原料成本低,因此是一种非常有发展前途的光电薄膜材料,但现有工艺路线复杂、制备成本高,因而需要探索低成本的制备工艺。
如前面所述方法一样,其它方法也有不同的缺陷。与本发明相关的还有如下文献:
[1] I.T. Zedana, E.M. El-Menyawy. Illumination-induced changes on theoptical functions and valence band splitting parameters of flash evaporatedCuInTe2 films. Optik-International Journal for Light and Electron Optics,2016.
主要研究了用闪蒸技术在光学平板上沉积黄铜矿CuInTe2薄膜石英衬底,分析了光照对CuInTe2晶体结构和光学性质的影响。
[2] M.R. Ananthan, P. Malar, Thomas Osipowiczc, S. Kasiviswanathana.Studies on interface between In2O3 and CuInTe2 thin films. Applied SurfaceScience, 2017.
主要研究了用探针法研究了直流溅射的氧化铟和逐步闪蒸CuInTe2薄膜的界面,及Si/Zn2O3/ CuInTe2和Si/ CuInTe2/ In2O3结构的掠角X射线衍射研究。
[3] Manorama Lakhea, S.K. Mahapatra b, Nandu B. Chaurea. Developmentof CuInTe2 thin film solar cells by electrochemical route with lowtemperature (80C) heat treatment procedure. Materials Science andEngineering, 2017.
主要研究了连续低温热处理对CuInTe2(CIT)薄膜的电沉积性能的影响。用Ag/AgCl对电沉积电位进行了CdS包覆氟掺杂氧化锡衬底上的循环伏安法的优化。
[4] Manorama Lakhea, S.K. Mahapatra b, Nandu B.Chaurea. Developmentof CuInTe2 thin film solar cells by electrochemical route with lowtemperature (80C) heat treatment procedure. Materials Science andEngineering, 2017.
主要研究了连续低温热处理对电沉积制备CuInTe2(CIT)薄膜的性能的影响。
[5] Li, Weixin; Luo, Yubo; Zheng, Yun;et al. Enhancement of thethermoelectric performance of CuInTe2 via SnO2 in situ replacement. Journal ofMaterials Science-Materials in Electronics, 2018.
主要通过原位取代SnO2和CuInTe2,在SnO2样品中形成分散的氧化铟纳米颗粒,提高p型CuInTe2基热电材料热电性能的另一种途径。
[6] Qin Yu-Ting; Qiu Peng-Fei; Shi Xun; et al. ThermoelectricProperties for CuInTe2-xSx (x=0, 0.05, 0.1, 0.15) Solid Solution. Journal ofInorganic Materials, 2017.
主要研究了CuInTe2化合物作为一种新型热电材料的制备工艺,合金化是引入质量和应变波动降低晶格热导率的有效途径。
[7] Ntholeng N., Mojela B., Gqoba S, et al. Colloidal synthesis ofpure CuInTe2 crystallites based on the HSAB theory. New Journal of Chemistry,2016.
利用胶体法广泛用于合成三元和四元硫化铜和硒化物,研究了这些纳米结构的形成途径和结晶机理。
发明内容
本发明为了解决现有制备技术的不足,发明了一种与现有制备方法完全不同的铜铝碲薄膜材料的制备工艺。
本发明采用旋涂-化学共还原法制备铜铝碲薄膜材料,采用玻璃片或硅片为基片,以Cu(NO3)2、Al(NO3)3和TeO2为原料,以盐酸为溶剂,先在盐酸中添加TeO2,待其反应完全后再加入Cu(NO3)2和Al(NO3)3,使其充分反应。先以旋涂法制备一定厚度的铜铝碲前驱体薄膜,以水合联氨为还原剂,在密闭容器内在较低温度下加热,使前驱体薄膜还原并发生合成反应,可通过增加反应次数和反应后热处理改善所制备薄膜质量,得到目标产物。
本发明的具体制备方法包括如下顺序的步骤:
a.进行基片的清洗,本实验选择玻璃片或硅片作为基片,首先将玻璃片或硅片切至20mm×20mm×2mm大小作为薄膜基片,然后用去离子水清洗2~3次,随后经过稀硫酸煮沸30~40min、水浴加热40~50min、去离子水超声清洗20min,这三个重要清洗步骤后,用双氧水浸泡保存备用即可。
b.将Cu(NO3)2、Al(NO3)3和TeO2放入溶剂中,使溶液中的物质均匀混合。具体地说,可以先将2.0~5.0份TeO2放入30~120份的溶剂中,其中溶剂为盐酸。待其完全反应后,将1.0~3.0份Cu(NO3)2、1.0~3.0份Al(NO3)3放入,使溶液中的物质均匀混合。
c.制作外部均匀涂布步骤b所述溶液的基片,并烘干,得到前驱体薄膜样品。可以将上述溶液滴到放置在匀胶机上的基片上,再启动匀胶机以200~3500转/分旋转一定时间,使滴上的溶液涂布均匀后,并对基片进行自然晾干后,再次重复滴上前述溶液和旋涂后再自然晾干,如此重复2~8次,于是在基片上得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。
d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触。水合联氨放入量为30.0~45.0份。将上述装有前驱体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~60小时,然后冷却到室温取出。
e.取出自然干燥后,重复b、c和d步骤2~6次,以增加所制备薄膜的厚度,减少薄膜缺陷。
f.将步骤e所得物,使其常温自然干燥后,增加热处理工艺,在管式加热炉中加热至200~400℃,保温5~15小时,即得到铜铝碲光电薄膜。
本发明不需要高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得铜铝碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性,主相为CuAlTe2相,可以实现低成本大规模的工业化生产。
具体实施方式
实施例1
a.玻璃基片或硅基片的清洗:如前所述进行清洗基片,基片大小为20mm×20mm×2mm。
b.可以先将2.0份TeO2放入30~120份的溶剂中,其中溶剂为盐酸。待其完全反应后,将1.0份Cu(NO3)2和1.9份Al(NO3)3放入,使溶液中的物质均匀混合。
c.将上述溶液滴到放置在匀胶机上的玻璃基片上,再启动匀胶机,匀胶机以200转/分转动5秒,以3000转/分旋转15秒,使滴上的溶液涂布均匀后,对基片进行烘干后,再次重复滴上前述溶液和旋涂后再烘干,如此重复6次,于是在基片上得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。
d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触。水合联氨放入量为40.0份。将上述装有前驱体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至200℃,保温时间20小时,然后冷却到室温取出。
e.取出自然干燥后,重复b、c和d步骤4次,以增加所制备薄膜的厚度,减少薄膜缺陷。
f.将步骤e所得物,使其常温自然干燥后,增加热处理工艺,在管式加热炉中加热至300℃,保温10小时,即得到铜铝碲光电薄膜。

Claims (5)

1.一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法,包括如下顺序的步骤:
玻璃基片或硅基片的清洗;
先将2.0~5.0份TeO2放入30~120份的溶剂中,待其完全反应后,将1.0~3.0份Cu(NO3)2、1.0~3.0份Al(NO3)3放入,使溶液中的物质均匀混合;
制作表面均匀涂布步骤b所述溶液的基片,自然晾干,得到前驱体薄膜样品;
将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触;水合联氨放入量为30.0~45.0份;将上述装有前驱体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至160~220℃之间,保温时间10~60小时,然后冷却到室温取出;
取出自然干燥后,重复b、c和d步骤2~6次,以增加所制备薄膜的厚度;
将步骤e所得物,使其常温自然干燥后,增加热处理工艺,在管式加热炉中加热至200~400℃,保温5~15小时,即得到铜铝碲光电薄膜。
2.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法,其特征在于,步骤a所述清洗,将玻璃片或硅片切至20mm×20mm×2mm大小作为薄膜基片,然后用去离子水清洗2~3次,随后经过稀硫酸煮沸30~40min、水浴加热40~50min、去离子水超声清洗20min这三个重要清洗步骤后,用双氧水浸泡保存备用即可。
3.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法,其特征在于,步骤b所述溶剂为盐酸溶液。
4.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法,其特征在于,步骤c所述均匀涂抹的基片,是通过匀胶机旋涂,匀胶机以200~3500转/分旋转,然后对基片进行烘干后,再次如此重复2~8次,得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。
5.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法,其特征在于,步骤d所述密闭容器内放入30.0~45.0份水合联氨。
CN201810523623.5A 2018-05-28 2018-05-28 一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法 Withdrawn CN108520900A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810523623.5A CN108520900A (zh) 2018-05-28 2018-05-28 一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810523623.5A CN108520900A (zh) 2018-05-28 2018-05-28 一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108520900A true CN108520900A (zh) 2018-09-11

Family

ID=63427560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810523623.5A Withdrawn CN108520900A (zh) 2018-05-28 2018-05-28 一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108520900A (zh)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103396009A (zh) * 2013-07-09 2013-11-20 山东建筑大学 一种制备铜铝碲薄膜的方法
CN106057930A (zh) * 2016-06-15 2016-10-26 山东建筑大学 一种由氯化铜和氯化镓制备铜镓硒光电薄膜的方法
CN106082690A (zh) * 2016-06-15 2016-11-09 山东建筑大学 一种由硫酸铜制备铜铟硫光电薄膜的方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103396009A (zh) * 2013-07-09 2013-11-20 山东建筑大学 一种制备铜铝碲薄膜的方法
CN106057930A (zh) * 2016-06-15 2016-10-26 山东建筑大学 一种由氯化铜和氯化镓制备铜镓硒光电薄膜的方法
CN106082690A (zh) * 2016-06-15 2016-11-09 山东建筑大学 一种由硫酸铜制备铜铟硫光电薄膜的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101960610B (zh) 铜铟镓硫硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法
CN102603201A (zh) 一种硒化亚铜薄膜的制备方法
WO2019218567A1 (zh) 一种有机铵金属卤化物薄膜的制备装置及制备和表征方法
CN102094191B (zh) 一种制备择优取向铜锡硫薄膜的方法
CN110246917A (zh) 一种无机钙钛矿太阳能电池及制备方法
CN102603202A (zh) 一种制备硒化锡光电薄膜的方法
CN108101381A (zh) 一种铋基卤化物钙钛矿纳米片及其制备方法
CN102709351A (zh) 一种择优取向生长的硫化二铜薄膜
Long et al. Mechanistic aspects of preheating effects of precursors on characteristics of Cu2ZnSnS4 (CZTS) thin films and solar cells
CN102153288A (zh) 一种择尤取向硫化二铜薄膜的制备方法
Ren et al. 25%—Efficiency flexible perovskite solar cells via controllable growth of SnO 2
CN102417204A (zh) 一种溶液化学原位反应合成硫化铅薄膜的方法
CN109536893A (zh) 一种太阳能电池薄膜的制备设备及其制备方法
CN108054281A (zh) 一种利用低温溶液反应制备SnO2薄膜的方法及用其制备钙钛矿太阳能电池的方法
CN108520900A (zh) 一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法
CN108624873A (zh) 一种硝酸盐体系制备铜铟碲薄膜的方法
CN103390692B (zh) 一种制备铜铟碲薄膜的方法
Mandal et al. Electrodeposition of tin selenide thin film, a high temperature thermoelectric material
Majidzade et al. THE LATEST PROGRESS ON SYNTHESIS AND INVESTIGATION OF SB2S3-BASED THIN FILMS
CN108807560A (zh) 一种用硫粉辅助制备铜铁硫光电薄膜的方法
TW201300322A (zh) 銅銦鎵硫硒薄膜太陽電池光吸收層的製備方法
CN103864027B (zh) 一种制备碲化亚铜薄膜的方法
CN109023483A (zh) 一种硒化锡薄膜及其制备方法
CN108682618A (zh) 一种氯化物体系制备铜镓碲薄膜的方法
CN105870344A (zh) 利用直流反应磁控溅射技术制备钙钛矿太阳能电池的方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

Application publication date: 20180911

WW01 Invention patent application withdrawn after publication