CN108415621A - 一种触控面板、触控装置及其制作方法 - Google Patents

一种触控面板、触控装置及其制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种触控面板、触控装置及其制作方法，以解决现有技术中使用金属网格状的触控电极时，存在触控电极的方阻较大，触控面板功耗较大的问题。所述制作方法，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，其中，所述第一辅助电极与所述第一触控电极之间相互间隔；在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极。

Description

一种触控面板、触控装置及其制作方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种触控面板、触控装置及其制作方法。
背景技术
随着触控技术的发展，金属网格(Metal mesh)技术逐渐触控产品中得到广泛的应用。受低价智能手机和平板电脑的市场冲击，触控面板产业的价格战日益加剧。经过激烈的市场竞争，处于弱势的中小型触控面板厂商一度面临淘汰出局的压力。面对压力，触控面板厂商早已寻求新的替代材料来降低成本压力，以Metal Mesh主的新技术材料代替传统ITO触控面板的价格竞争得到业界普遍关注。
但现有技术中使用金属网格状的触控电极时，存在走线方阻较大，使触控面板功耗较大的问题。
发明内容
本发明提供一种触控面板、触控装置及其制作方法，以解决现有技术中使用金属网格状的触控电极时，存在走线方阻较大，使触控面板功耗较大的问题。
本发明实施例提供一种触控面板的制作方法，包括：
在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，其中，所述第一辅助电极与所述第一触控电极之间相互间隔；
在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；
在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；
将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极。
可选的，在将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极之后，所述制作方法还包括：在所述第二触控电极之上形成图案化的第二绝缘层，其中，所述第二绝缘层仅覆盖所述第二触控电极。
可选的，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。
可选的，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极，包括：
在衬底基板之上形成第二金属层；
通过曝光、显影、刻蚀工艺，将所述第二金属层图案化为网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。
可选的，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，包括：在衬底基板之上形成网格状的触控感应电极；
所述将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，包括：将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的触控驱动电极。
可选的，所述第一辅助电极与包围该所述第一辅助电极的所述第一触控电极之间间隔的间距为3μm～5μm。
本发明还提供一种利用本发明实施例提供的所述制作方法制作的触控面板，所述触控面板包括：
位于衬底基板之上的网格状的第一触控电极；
位于所述第一触控电极之上的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；
位于所述第一绝缘层之上的网格状的第二触控电极。
可选的，所述触控面板还包括：
位于所述第二触控电极之上的第二绝缘层，其中，所述第二绝缘层仅覆盖所述第二触控电极。
可选的，所述第一绝缘层的线宽为8μm～11μm，所述第二绝缘层的线宽为8μm～11μm。
本发明实施例还提供一种触控装置，包括本发明实施例提供的所述触控面板。
本发明实施例有益效果如下：本发明实施例提供的触控面板的制作方法，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极的图案；在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，即，本发明实施例提供的触控面板的制作方法，在形成网格状的第一触控电极的同时，也保留网格内的第一辅助电极的图案，再形成用于制作第二触控电极的第一金属层，之后将第一辅助电极与第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，可以使形成的第二触控电极为双层的金属叠层结构，进而可以有效降低第二触控电极的方阻，降低触控面板的功耗。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种触控面板的制作方法的流程图；
图2为本发明实施例提供的另一种触控面板的制作方法的流程图；
图3为本发明实施例中，制备完成触控感应电极的触控面板的结构示意图；
图4为本发明实施例中，制备完成第一绝缘层的触控面板的结构示意图；
图5为本发明实施例中，制备完成第一金属层的触控面板的结构示意图；
图6为本发明实施例中，制备完成触控驱动电极的触控面板的结构示意图；
图7为本发明实施例中，制备完成第二绝缘层的触控面板的结构示意图。
具体实施方式
为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。
参见图1，本发明实施例提供一种触控面板的制作方法，包括：
步骤S101、在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，其中，第一辅助电极与第一触控电极之间相互间隔。在具体实施时，对于网格内的第一辅助电极，其具体可以与构成第一触控电极的网格的形状相似，但较构成第一触控电极的网格较小，以需要保证第一触控电极与第一辅助电极之间相互间隔，具体的，第一辅助电极与包围该第一辅助电极的第一触控电极之间间隔的间距为3μm～5μm。第一触控电极可以为触控感应电极，即，衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，具体可以包括：在衬底基板之上形成网格状的触控感应电极。
步骤S102、在第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，第一绝缘层仅覆盖第一触控电极。即，第一绝缘层不覆盖第一触控电极以外的区域，第一绝缘层的图案与第一触控电极的图案相似，也为网格状的图案。在具体实施时，为了可以使第一绝缘层完全覆盖第一触控电极，可以使第一绝缘层在第一触控电极线宽的基础上，外扩3μm～6μm，即，第一触控电极的线宽(即，构成网格状第一触控电极的每一条走线)一般为2μm～5μm，可以使第一绝缘层的线宽为8μm～11μm；同样，为了使第二绝缘层完全覆盖第二触控电极，可以在第二电极的线宽基础上，外扩3μm～6μm。即，第二触控电极的线宽一般为2μm～5μm。可以使第二绝缘层的线宽为8μm～11μm。
步骤S103、在第一绝缘层之上形成第一金属层。
步骤S104、将第一辅助电极以及第一金属层图案化为网格状的第二触控电极。在具体实施时，第二触控电极可以为触控驱动电极，即，将第一辅助电极以及第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，包括：将第一辅助电极以及第一金属层图案化为网格状的触控驱动电极。
本发明实施例提供的触控面板的制作方法，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极的图案；在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，即，本发明实施例提供的触控面板的制作方法，在形成网格状的第一触控电极图案的同时，也保留网格内的第一辅助电极图案，再形成用于制作第二触控电极的第一金属层，之后将网格状的第一触控电极包围的第一辅助电极与第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，可以使形成的第二触控电极为双层的金属叠层结构，进而可以有效降低第二触控电极的方阻，降低触控面板的功耗。
在具体实施时，参见图2所示，在将第一辅助电极以及第一金属层图案化为网格状的第二触控电极之后，制作方法还包括：步骤S105、在第二触控电极之上形成图案化的第二绝缘层，其中，第二绝缘层的图案仅覆盖第二触控电极的图案。
本发明实施例中，在形成第二触控电极图案之后，还包括形成图案化第二绝缘层，且该第二绝缘层的图案仅覆盖第二触控电极的图案，即，第二绝缘层为与第二触控电极图案相似的图案，也为网格状图案，这样，可以保证形成的第二触控电极与形成的第一触控电极为叠层结构完全一致的结构，使二者的视觉消影效果一致，避免出现白线、黑线等不良。另外，本发明实施例中，第一绝缘层仅覆盖第一触控电极，第二绝缘层仅覆盖第二触控电极，相比于整面型覆盖，可有效提高触控面板的透过率。
在具体实施时，关于步骤S101、在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。
本发明实施例中，在形成第一触控电极图案的同时，还包括位于边框区域的环状第二辅助电极，由于触控面板的边框区域以及Bonding区常用于制作连接走线，例如，边框区域制作将触控感应电极与外电路连接的触控感应电极引线，以及制作将触控驱动电极与外电路连接的触控驱动电极引线，通过同时保留边框区域的环状第二辅助电极图案，进而可以使触控面板边框走线也为双层金属叠层结构，可以降低边框走线的方阻，进一步降低触控面板的功耗。
进一步的，在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极，具体可以包括：
在衬底基板之上形成第二金属层；
通过曝光、显影、刻蚀工艺，将第二金属层图案化为网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极图案，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。
本发明实施例中，形成网格状的第一触控电极的图案、位于网格内的块状第一辅助电极、以及位于边框区域的环状第二辅助电极，可以通过先形成一层第二金属层，再通过曝光、显影、刻蚀等工艺，将第二金属层图案化为网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极图案，以及位于边框区域的环状第二辅助电极，即，可以一次性同时形成网格状的第一触控电极的图案、位于网格内的金属第一辅助电极图案、以及位于边框区域的金属第二辅助电极图案，制作工艺较为简单。同时，相对于现有技术形成网格状的第一触控电极，本发明实施例提供的触控面板的制作方法，可以在相同的镀膜条件下，实现同时降低第二触控电极的方阻，不增加触控面板的制作成本。
为了更清楚地理解本发明实施例提供的触控面板的制作方法，以下结合图3-图7对本发明实施例提供的触控面板的制作方法进行进一步的详细说明。
步骤一、磁控溅射第二金属层。具体的第二金属层的材质可以为Al、AlNd或Au。
步骤二、通过曝光、显影、刻蚀工艺，将第二金属层图案化为网格状的触控感应电极1，位于各网格内的块状第一辅助电极2，以及位于边框区域的环状第二辅助电极3，具体的，第一辅助电极2与包围该第一辅助电极2的第一触控电极1之间间隔的间距d1为3μm～5μm。参见图3所示。
步骤三、在触控感应电极之上形成第一绝缘层4，其中，第一绝缘层4仅覆盖触控感应电极，考虑到工艺误差，为了使第一绝缘层4能够完全覆盖触控感应电极，可以使第一绝缘层4的线宽d2为8μm～11μm，具体可以为8m，参见图4所示。
步骤四、在第一绝缘层4之上磁控溅射第一金属层5，参见图5所示。
步骤五、采用光刻胶，将第一辅助电极、边框区域的块状第二辅助电极、以及第一金属层5图案化为网格状的触控驱动电极6、以及边框走线(图中未示出)，参见图6所示。
步骤六、在触控驱动电极6之上形成图案化的第二绝缘层7，其中，第二绝缘层7仅覆盖触控驱动电极6的图案，参见图7所示。
基于同一发明构思，本发明还提供一种利用本发明实施例提供的制作方法制作的触控面板，触控面板包括：
位于衬底基板之上的网格状的第一触控电极；
位于第一触控电极之上的第一绝缘层，其中，第一绝缘层仅覆盖第一触控电极；
位于第一绝缘层之上的网格状的第二触控电极。
可选的，触控面板还包括：位于第二触控电极之上的第二绝缘层，其中，第二绝缘层仅覆盖第二触控电极。
可选的，第一绝缘层的线宽为，，；第二绝缘层的线宽为，，。
本发明实施例还提供一种触控装置，包括本发明实施例提供的触控面板。
本发明实施例有益效果如下：本发明实施例提供的触控面板的制作方法，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极的图案；在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，即，本发明实施例提供的触控面板的制作方法，在形成网格状的第一触控电极的同时，也保留网格内的第一辅助电极的图案，再形成用于制作第二触控电极的第一金属层，之后将第一辅助电极与第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，可以使形成的第二触控电极为双层的金属叠层结构，进而可以有效降低第二触控电极的方阻，降低触控面板的功耗。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种触控面板的制作方法，其特征在于，包括：
在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，其中，所述第一辅助电极与所述第一触控电极之间相互间隔；
在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；
在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；
将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极。
2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极之后，所述制作方法还包括：在所述第二触控电极之上形成图案化的第二绝缘层，其中，所述第二绝缘层仅覆盖所述第二触控电极。
3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。
4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极，包括：
在衬底基板之上形成第二金属层；
通过曝光、显影、刻蚀工艺，将所述第二金属层图案化为网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。
5.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，包括：在衬底基板之上形成网格状的触控感应电极；
所述将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，包括：将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的触控驱动电极。
6.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一辅助电极与包围该所述第一辅助电极的所述第一触控电极之间间隔的间距为3μm～5μm。
7.一种利用如权利要求1-6任一项所述的制作方法制作的触控面板，其特征在于，所述触控面板包括：
位于衬底基板之上的网格状的第一触控电极；
位于所述第一触控电极之上的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；
位于所述第一绝缘层之上的网格状的第二触控电极。
8.如权利要求7所述的触控面板，其特征在于，所述触控面板还包括：
位于所述第二触控电极之上的第二绝缘层，其中，所述第二绝缘层仅覆盖所述第二触控电极。
9.如权利要求8所述的触控面板，其特征在于，所述第一绝缘层的线宽为8μm～11μm；所述第二绝缘层的线宽为8μm～11μm。
10.一种触控装置，其特征在于，包括如权利要求7-9任一项所述的触控面板。
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