CN108410368B - 压敏粘合剂组合物以及由其形成的压敏粘合剂图案 - Google Patents
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Abstract
根据本发明的压敏粘合剂组合物包含:丙烯酸系共聚物;多官能丙烯酸酯类化合物;和光引发剂,其中,丙烯酸系共聚物包含源自Tg为‑20℃以下的丙烯酸酯类单体的重复单元和源自不饱和羧酸单体的重复单元,并且基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,源自不饱和羧酸单体的重复单元的含量为10至50重量份。
Description
技术领域
本发明涉及一种压敏粘合剂组合物。更具体而言,本发明涉及一种能够形成图案的压敏粘合剂组合物以及由其形成的压敏粘合剂图案。
背景技术
光刻法是形成诸如半导体、薄膜晶体管、触摸电极等的各种微型图案时最广泛使用的方法,是在基板上沉积用于形成图案的材料后获得微型图案、然后通过使用光致抗蚀剂形成对应于该图案的抗蚀剂图案的方法。
通过使用光致抗蚀剂来形成光致抗蚀剂图案的典型方法包括:成膜工艺,其中将用于光致抗蚀剂的感光树脂组合物涂布在用于形成图案的材料的沉积膜上;曝光工艺,其中通过使用对应于待形成的图案而准备的掩模、利用光来选择性地照射光致抗蚀剂感光树脂膜;以及显影工艺,其中通过划分曝光区域和未曝光区域以根据正系和负系去除区域,从而获得期望的光致抗蚀剂图案。
为了构成电泳显示装置,用油墨填充如此制备的光致抗蚀剂图案的分隔壁,并且通常使用UV固化性粘合剂、热固化性粘合剂、热熔型粘合剂、压敏粘合剂(PSA)等以便将光致抗蚀剂图案与另一基材结合。在这种情况下,UV固化性粘合剂和热固化性粘合剂的问题在于:难以将粘合剂仅涂布到分隔壁上,并且由于应将100℃以上的高温施加于热熔型粘合剂,因此热熔型粘合剂的问题在于:分隔壁之间的油墨中所含的溶剂在加热时挥发;并且还具有经济可行性不足的不利影响,原因在于当通过使用压敏粘合剂将光致抗蚀剂图案与另一基材的结合表面结合时,另外需要昂贵的压敏粘合剂。
因此,为了解决现有技术中的问题,需要开发能够同时执行压敏粘合剂功能并且能够形成图案的压敏粘合剂组合物。
韩国专利公开号1997-0028792涉及一种感光树脂组合物,并且公开了由聚合物共轭物、光聚合引发剂和包含至少一个末端烯属不饱和基团的光聚合性单体组成的感光树脂组合物,其中该感光树脂组合物同时含有由通式(I)、(II)和(III)表示的光聚合性单体。
韩国专利公开号1997-0048906涉及一种感光树脂组合物,并且公开了感光树脂组合物包含至少一种具有两个或更多个能够加聚的不饱和反应性基团的水溶性单体和至少一种水不溶性单体作为光聚合性单体,其中基于固体含量,水溶性单体的含量为3-15%,并且光聚合性单体的反应性基团的总量(#M)在1kg固体含量中为0.5-1.5摩尔。
此外,韩国专利公开号1999-0044707涉及一种干膜光致抗蚀剂,并且公开了通过依次层叠保护膜、感光聚合物层和支撑膜而制备的干膜光致抗蚀剂,其中保护膜是满足由式1表示的表面特性的聚对苯二甲酸乙二醇酯双轴拉伸膜。
然而,在这些文献的情况下,由于应通过将光致抗蚀剂图案加热到100℃以上以便将光致抗蚀剂图案结合至另一基材,从而将光致抗蚀剂图案结合至另一基材,所以没有表现出压敏粘合剂性能,并且用于形成光致抗蚀剂图案的材料具有高Tg,没有防止用于电泳显示装置的油墨的溶剂组分挥发。
(现有技术文献)
(专利文献)
(专利文献1)韩国专利公开号1997-0028792(1997年6月24日)
(专利文献2)韩国专利公开号1997-0048906(1997年7月29日)
(专利文献3)韩国专利公开号1999-0044707(1999年6月25日)
发明内容
1.技术问题
本发明的一个技术目的是提供一种压敏粘合剂组合物,其具有粘合特性和图案形成性。
本发明的另一个技术目的是提供一种压敏粘合剂组合物,其能够在光固化后用作光致抗蚀剂图案。
本发明的又一个技术目的是提供一种由上述压敏粘合剂组合物形成的压敏粘合剂图案,具体而言,光致抗蚀剂图案。
2.问题的解决方案
为了实现这些目的,根据本发明的压敏粘合剂组合物包含:丙烯酸系共聚物;多官能丙烯酸酯类化合物;和光引发剂,其中丙烯酸系共聚物包含源自Tg为-20℃以下的丙烯酸酯类单体的重复单元和源自不饱和羧酸单体的重复单元,并且基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,源自不饱和羧酸单体的重复单元的含量为10至50重量份。
此外,本发明提供一种由上述压敏粘合剂组合物形成并且Tg为0℃以下的压敏粘合剂图案。
3.有益效果
由于根据本发明的压敏粘合剂组合物具有优异的压敏粘合性和固化时优异的图案形成性,所以具有能形成光致抗蚀剂图案的有利效果。
此外,具有如下的有利效果:因为通过使用紫外线,能够容易地使压敏粘合剂组合物固化,因此能够防止填充在光致抗蚀剂图案的分隔壁之间的油墨中的溶剂通过在高温下固化根据本发明的压敏粘合剂组合物而挥发。
此外,具有如下的有利效果:由于通过使用根据本发明的压敏粘合剂组合物能够一次形成根据本发明的压敏粘合剂图案,而不必分开使用光致抗蚀剂组合物和压敏粘合剂,所以压敏粘合剂图案在工艺方面优异。
附图说明
图1和图2分别是根据本发明的一些示例性实施方式的压敏粘合剂图案的正表面照片和侧表面照片。
具体实施方式
在下文中,将更详细地描述本发明。
本发明中一个构件布置在另一个构件“上”时,这不仅包括一个构件与另一个构件接触的情况,而且还包括在两个构件之间存在另一个构件的情况。
本发明中一个部件“包含”一个构成要素时,除非另外具体描述,否则这并不意味着排除其它构成要素,而是意味着可以进一步包括其它构成要素。
本发明的一个方面涉及一种压敏粘合剂组合物,其包含:丙烯酸系共聚物;多官能丙烯酸酯类化合物;和光引发剂,其中丙烯酸系共聚物包含源自Tg为-20℃以下的丙烯酸酯类单体的重复单元和源自不饱和羧酸单体的重复单元,并且基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,源自不饱和羧酸单体的重复单元的含量为10至50重量份。
根据本发明的丙烯酸系共聚物含有源自Tg为-20℃以下的丙烯酸酯类单体的重复单元和源自不饱和羧酸单体的重复单元。具体而言,丙烯酸系共聚物可以通过将Tg为-20℃以下的丙烯酸酯类单体与不饱和羧酸单体共聚来制备。
对丙烯酸酯类单体没有限制,只要Tg为-20℃以下即可。例如,丙烯酸酯类单体是具有-20℃以下的Tg并且具有(甲基)丙烯酰基作为光固化性官能团的化合物,并且其实例包括丙烯酸正丁酯、丙烯酸2-丁酯、丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸异丙酯、丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸正辛酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯等。
具体而言,根据本发明的丙烯酸酯类单体可以是丙烯酸丁酯。
源自丙烯酸酯类单体的重复单元可用于赋予压敏粘合剂组合物以压敏粘合性。具体而言,由于根据本发明的丙烯酸酯类单体具有低Tg,因此可以获得具有好得多的压敏粘合性的压敏粘合剂组合物。
作为不饱和羧酸单体,可以使用不饱和一元羧酸、不饱和二元羧酸、不饱和多元羧酸等。
具体而言,不饱和一元羧酸的实例包括丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等。不饱和二羧酸的实例包括马来酸、富马酸、衣康酸、柠康酸、中康酸等。不饱和多元羧酸也可以是酸酐,其具体实例包括马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐等。另外,不饱和多元羧酸也可以是其单(2-甲基丙烯酰氧基烷基)酯,其实例包括琥珀酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、琥珀酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯、邻苯二甲酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、邻苯二甲酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯等。不饱和多元羧酸也可以是二羧基聚合物在其两端的单(甲基)丙烯酸酯,其实例包括ω-羧基聚己内酯单丙烯酸酯和ω-羧基聚己内酯单甲基丙烯酸酯等。具有羧基的不饱和单体可以单独使用或者以其两种以上的混合物使用。
具体而言,根据本发明的不饱和羧酸单体可以是丙烯酸。
源自不饱和羧酸单体的重复单元能够实现光致抗蚀剂性能。当丙烯酸系共聚物中包含源自不饱和羧酸单体的重复单元时,能够在显影期间在碱性水溶液中赋予显影性。
在本发明的示例性实施方式中,丙烯酸系共聚物可以具有10000至100000,优选30000至100000,并且更优选50000至80000的重均分子量。当丙烯酸系共聚物的重均分子量满足该范围时,具有能够形成具有优异的耐久性的压敏粘合剂图案的有利效果。当丙烯酸系共聚物的重均分子量小于该范围时,由于共聚物之间的内聚力略微不足,因此压敏粘合剂耐久性和耐溶剂性可能略微劣化,并且当丙烯酸系共聚物的重均分子量大于该范围时,由于粘度略微增加,因此加工性(图案形成性)可能略微劣化,因此优选丙烯酸系共聚物的含量在上述范围内。
基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,源自不饱和羧酸单体的重复单元的含量为10至50重量份,在这种情况下,具有容易形成图案的有利效果。
在本发明的另一个示例性实施方式中,基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,源自丙烯酸酯类单体的重复单元的含量可以为50至90重量份。
基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,当源自丙烯酸酯类单体的重复单元和源自不饱和羧酸单体的重复单元的含量在该范围内时,具有的有利效果在于能够获得具有优异的压敏粘合性和优异的图案形成性的压敏粘合剂组合物。具体而言,根据本发明的丙烯酸系共聚物在曝光之前在碱水溶液中具有溶解性,并且在曝光之后固化,因此对碱水溶液的溶解性丧失,能够形成图案,并且由于曝光部分被固化以及压敏粘合强度得到改善,所以具有的有利效果在于通过仅使用根据本发明的压敏粘合剂组合物能够容易地形成光致抗蚀剂图案,而不必单独使用现有技术中使用的光致抗蚀剂组合物和压敏粘合剂组合物。
在本发明的又一个示例性实施方式中,丙烯酸系共聚物可以进一步包含第二光固化性官能团。“第二光固化性官能团”可以与下述的“第一光固化性官能团”相同或不同。
为了在丙烯酸系共聚物中具有第二光固化性官能团,第二光固化性官能团可以通过使具有光固化性官能团和与羧酸反应的官能团的化合物与源自不饱和羧酸单体的重复单元反应而制备,具有光固化性官能团和与羧酸反应的官能团的化合物的实例包括含有异氰酸酯基或环氧基的(甲基)丙烯酸酯类化合物或乙烯基类化合物和烯丙基类化合物。
具体而言,可以使用缩水甘油醚甲基丙烯酸酯或甲基丙烯酸2-异氰酸酯基乙酯,可以使用两种以上的组合,但化合物不限于此。
第二光固化性官能团可以是例如丙烯酸系基团、甲基丙烯酸系基团、烯丙基和乙烯基,但不限于此。
在本发明的又一个示例性实施方式中,基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,第二光固化性官能团的含量可以为1至20重量份。
例如,由以下化学式3表示的丙烯酸系共聚物可以通过使10重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)与由70重量份的丙烯酸丁酯和30重量份的丙烯酸(基于总计100重量份的共聚物)组成的丙烯酸系共聚物反应而制备。
[化学式3]
具体而言,通过使包含第二光固化性官能团的化合物与包含在丙烯酸系共聚物中的羧酸的部分反应,第二光固化性官能团可以包含在丙烯酸系共聚物中。
基于总计100重量份的压敏粘合剂组合物,丙烯酸系共聚物的含量可以为40-90重量份,优选60-80重量份,更优选75-85重量份。当丙烯酸系共聚物的含量在该范围内时,可以获得具有优异的压敏粘合性和图案形成性的压敏粘合剂组合物。当丙烯酸系共聚物的含量小于该范围时,压敏粘合性可能会略微劣化,并且当丙烯酸系共聚物的含量超出该范围时,随着粘度略微增加,加工性可能略微劣化,因此优选丙烯酸系共聚物的含量在该范围内。
根据本发明的压敏粘合剂组合物包含多官能丙烯酸酯类化合物。当多官能丙烯酸酯类化合物包含在压敏粘合剂组合物中时,具有由压敏粘合剂组合物形成的压敏粘合剂图案的固化程度变得优异的有利效果。
在本发明的又一个示例性实施方式中,多官能丙烯酸酯类化合物可以在其分子中包含:两个或更多个第一光固化性官能团;以及选自由酸基和乙二醇基组成的组中的一个或多个官能团。
第一光固化性官能团可以与第二光固化性官能团相同或不同。总之,第一光固化性官能团和第二光固化性官能团可以互换使用。
第一光固化性官能团可以是例如丙烯酸系基团、甲基丙烯酸系基团、烯丙基或乙烯基,但不限于此。
酸基的实例包括羧基和酚羟基,但不限于此。
在本发明中,多官能丙烯酸酯类化合物可由以下化学式1或化学式2表示。
[化学式1]
在化学式1中,a至d各自为0至10的整数,并且a+b+c+d=4至40的整数。
[化学式2]
当根据本发明的多官能丙烯酸酯类化合物包含选自由化学式1和2表示的化合物组成的组中的一个或多个时,具有在碱水溶液中的溶解度改善的有利效果,因为多官能丙烯酸酯类化合物具有优异的固化度,并且在[部分]中包含亲水性部分或酸部分。
在本发明的一个不同的示例性实施方式中,基于总计100重量份的压敏粘合剂组合物,多官能丙烯酸酯类化合物的含量可以为10至60重量份,优选20至40重量份,更优选25至35重量份。当多官能丙烯酸酯类化合物的含量在该范围内时,具有的有利效果在于多官能丙烯酸酯类化合物用于补充固化程度,因此能够形成具有优异物理性能的压敏粘合剂图案。当多官能丙烯酸酯类化合物的含量小于该范围时,固化程度可能略微劣化,并且当多官能丙烯酸酯类化合物的含量超出该范围时,由于固化略微过度地进行,因此压敏粘合性可能略微劣化,所以优选多官能丙烯酸酯类化合物的含量在该范围内。
在本发明的另一个不同的示例性实施方式中,压敏粘合剂组合物可以是碱溶性的。具体而言,根据本发明的丙烯酸系共聚物可以是可显影的丙烯酸系共聚物,并且根据本发明的多官能丙烯酸酯类化合物可以是可显影的多官能丙烯酸酯类化合物。由于压敏粘合剂组合物表现出碱溶性,因此根据本发明的压敏粘合剂组合物能够进行显影工艺,因此,具有能够制备压敏粘合剂组合物作为光致抗蚀剂图案的有利效果。
根据本发明的压敏粘合剂组合物包含光引发剂。对光引发剂没有特别限制,只要其通常用于本领域中即可,其实例包括苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻正丁醚、苯偶姻异丁醚、苯乙酮、羟基二甲基苯乙酮、二甲基氨基苯乙酮、二甲氧基-2-苯基苯乙酮、3-甲基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮,4-氯苯乙酮、4,4-二甲氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、4-羟基环苯基酮、1-羟基环己基苯基酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代-丙-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-2-(羟基-2-丙基)酮、二苯甲酮、对苯基二苯甲酮、4,4-二氨基二苯甲酮、4,4'-二乙基氨基二苯甲酮、二氯二苯甲酮、蒽醌、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、2-氨基蒽醌、2-甲基噻吨酮、2-乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、苄基二甲基缩酮、二苯基酮苄基二甲基缩酮、苯乙酮二甲基缩酮、对二甲基氨基苯甲酸酯、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦、芴、三苯胺、咔唑等。另外,作为市售品,也可以使用Darocur1173、Irgacure 184、Irgacure 907(由Ciba Specialty Chemicals Inc.制造)等。这些可以单独使用,也可以将其两种以上组合使用。
本发明中对光引发剂的含量没有特别限制,但基于总计100重量份的压敏粘合剂组合物,光引发剂的含量可以为例如0.1至10重量份,优选0.5至5重量份,并且更优选1至3重量份。当光引发剂的含量满足该范围时,可以获得固化时具有优异的压敏粘合强度和优异的硬度的压敏粘合剂组合物。当光引发剂的含量小于该范围时,由于内聚力略微不足而可能发生缺陷,并且当光引发剂的含量大于该范围时,可能发生压敏粘合强度可能略微劣化的问题,因此优选光引发剂的含量在该范围内。
本发明的另一方面涉及包含上述压敏粘合剂组合物的固化产物并且玻璃化转变温度(Tg)为0℃以下的压敏粘合剂图案。
由于根据本发明的压敏粘合剂图案具有0℃以下的Tg,具体而言,-10℃至-40℃,所以具有的有利效果在于压敏粘合剂图案显示粘合特性,其中即使在弱压力和室温下压敏粘合剂图案也容易粘合。
形成压敏粘合剂图案的方法不限于此,但压敏粘合剂图案可以通过将根据本发明的前述粘合性压敏粘合剂组合物涂布在基材上并且将压敏粘合剂组合物光固化和显影以形成图案来制备。
具体而言,通过将压敏粘合剂组合物涂布在基材上,然后加热干燥压敏粘合剂组合物以除去挥发性成分例如溶剂,从而获得平滑的涂膜。
涂布方法可以通过例如旋涂法、流延涂布法、辊涂法、狭缝和旋转涂布或狭缝涂布法等来进行。涂布后,通过加热干燥(预烘焙)或减压干燥压敏粘合剂组合物,然后加热压敏粘合剂组合物,从而使得挥发性组分例如溶剂挥发。通过用于形成期望图案的掩模用紫外线照射由此获得的涂膜。在这种情况下,为了用平行光束均匀地照射整个曝光部分并精确地使掩模和基板对准,优选使用诸如掩模对准器或步进器的装置。当用紫外线照射涂膜时,用紫外线照射的部分固化,作为紫外线,可以使用g线(波长:436nm)、h线、i线(波长:365nm)等。如果需要,紫外线的剂量可以适当选择,并且在本发明中没有特别限制。完全固化的涂膜可以与显影液接触以溶解和显影未曝光部分,从而形成具有期望形状的图案。
作为显影方法,可以使用液体添加、浸渍法、喷雾法等中的任一种。此外,在显影期间,基板可以以任何角度倾斜。
在本发明的又一个不同的示例性实施方式中,压敏粘合剂图案可以是光致抗蚀剂图案。具体而言,压敏粘合剂图案可以是干膜光致抗蚀剂图案。
由于根据本发明的压敏粘合剂图案包括:包含源自Tg为-20℃以下的丙烯酸酯类单体的重复单元和源自不饱和羧酸单体的重复单元的丙烯酸系共聚物;多官能丙烯酸酯类化合物;和光引发剂,因此其能够在固化之前形成为具有碱溶性的图案,并且通过选择性固化和通过掩模选择性曝光的显影而具有改善的压敏粘合性。
在下文中,为了具体解释本说明书,将参考实施例详细描述本说明书。然而,根据本说明书的实施例可以以各种形式进行变形,并且不应解释为将本说明书的范围限定于下面详细描述的实施例。提供本说明书的实施例以向本领域的普通技术人员更全面地解释本说明书。此外,除非另有说明,以下表示含量的“%”和“份”是重量标准。
<丙烯酸系共聚物的合成>
合成例1:丙烯酸系共聚物1
将70重量份的丙烯酸丁酯、30重量份的丙烯酸和80重量份的乙酸乙酯溶剂引入到反应器中,并将反应器的外部温度升高到80℃。
在保持相同温度的同时,向反应器中加入其中将3重量份的AIBN引发剂溶解在20重量份的乙酸乙酯中的溶液,并将混合物在相同温度下反应6小时,从而获得丙烯酸系共聚物1,其固含量为50%,重均分子量为55000。
合成例2:丙烯酸系共聚物2
以与制备丙烯酸系共聚物1相同的方式进行制备,将3重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯另外加入到所获得的共聚物溶液中,同时保持温度在80℃的相同温度,并且通过向其中加入1重量份的三乙胺作为催化剂以使混合物另外反应1小时,从而获得丙烯酸系共聚物2。
反应后,使用气相色谱分析溶剂和含有的残留单体,确认了95%以上的缩水甘油醚已反应。
合成例3:丙烯酸系共聚物3
以与合成例1中相同的方式获得分子量为78000的丙烯酸系共聚物3,不同之处在于使用Tg为10℃的丙烯酸甲酯代替丙烯酸丁酯。
合成例4:丙烯酸系共聚物4
以与合成例1中相同的方式获得分子量为34000的丙烯酸系共聚物4,不同之处在于使用丙烯酸羟基乙酯而代替丙烯酸。
合成例5:丙烯酸系共聚物5
以与合成例1中相同的方式获得分子量为47000的丙烯酸系共聚物5,不同之处在于使用95重量份的丙烯酸丁酯和5重量份的丙烯酸而代替70重量份的丙烯酸丁酯和30重量份的丙烯酸。
<实施例和比较例:压敏粘合剂图案的制备>
实施例1
在通过将60重量份的合成例1中获得的共聚物固体成分、40重量份的由化学式1表示的多官能丙烯酸酯类化合物和2重量份的Irgacure-184(由Ciba Specialty ChemicalsInc.制造)光引发剂稀释于乙酸乙酯溶剂中以使固体成分的浓度达到30%而制备压敏粘合剂组合物之后,将该压敏粘合剂组合物涂布在尺寸为100×100cm2的玻璃(由Corning,Inc.制造,Eagle XG)上,通过使用热风干燥器在100℃下干燥3分钟后,使用水银灯光源通过掩模曝光于500mJ的光强度,用碱水溶液显影,从而获得压敏粘合剂图案。
[化学式1]
(a=b=c=d=1)
实施例2
以与实施例1中相同的方式进行合成,不同之处在于使用合成例2中得到的共聚物。
比较例1
以与实施例1中相同的方式进行合成,不同之处在于使用合成例3中得到的共聚物。
比较例2
以与实施例1中相同的方式进行合成,不同之处在于使用合成例4中得到的共聚物。
比较例3
以与实施例1中相同的方式进行合成,不同之处在于使用合成例5中得到的共聚物。
<实验例>
用SEM(由Hitachi,Ltd.制造的S-4300)观察根据实施例1制得的压敏粘合剂图案的前表面和侧表面的横截面图像,并且分别示于图1和图2中。
对根据实施例1和2以及比较例1至3制备的压敏粘合剂图案的图案形成性能和压敏粘合强度进行评价,并且将结果示于下表1中。
图案形成性能的评价
为了评价图案形成性能,通过采用旋涂法在2英寸×2英寸的玻璃基板(由Corning,Inc.制造,“EAGLE XG”)上涂布根据实施例和比较例的每个压敏粘合剂组合物而形成薄膜,使得干燥后的涂膜厚度成为10μm,并放置在加热板上,并在100℃的温度下保持3分钟。此后,将具有100μm图案的测试光掩模放置在薄膜上,并在将与测试光掩模的距离设定为300μm之后用紫外线照射。在这种情况下,通过使用包括全部g线、h线和i线的1kW高压汞灯作为紫外线光源,从而以60mJ/cm2的照度对测试光掩模进行照射,并且没有使用特殊的滤光器。将用紫外线照射的薄膜浸入pH为10.5的KOH显影水溶液中2分钟并显影。通过使用蒸馏水来清洗涂布有薄膜的玻璃板,然后吹送氮气进行干燥,在200℃下在加热烘箱中加热25分钟,从而形成各图案。
通过光学显微镜观察产生的图案,并且在用肉眼观察期间根据以下标准评价100μm图案的剥离程度。
○:没有图案剥离
△:发生5次以上的图案剥离
×:没有形成图案
压敏粘合强度的评价
为了评价压敏粘合强度,通过采用旋涂法将根据实施例和比较例的每种压敏粘合剂组合物涂布到2英寸×2英寸玻璃基板(由Corning,Inc.制造,“EAGLE XG”)以致干燥后的涂膜厚度成为10μm而形成薄膜,并放置在加热板上,并在100℃的温度下保持3分钟。此后,与图案形成性能的评价不同,在没有任何掩模下用紫外线照射薄膜。在这种情况下,通过使用包括全部g线、h线和i线的1kW高压汞灯作为紫外线光源,从而以60mJ/cm2的照度对薄膜进行照射,并且没有使用特殊的滤光器。将用紫外线照射的薄膜浸入pH为10.5的KOH显影水溶液中2分钟,进行处理以使在显影期间显影液对压敏粘合剂层的影响变得相同。通过使用蒸馏水来清洗其上涂布有薄膜的玻璃板,然后吹送氮气来进行干燥,并在200℃下在加热烘箱中加热25分钟,从而制造用于测量压敏粘合强度的样品。将制造的样品切成宽25mm且长100mm,使用层压机将三乙酰纤维素(TAC)膜附接于样品,将样品在恒温恒湿室中静置1小时,使用Autograph(由Shimadzu Corporation制造的AG-IS),以180°的剥离角度和300mm/min的剥离速度测定剥离压敏粘合强度(N/1英寸)。
在这种情况下,根据以下标准评价压敏粘合强度。
强粘合性:1N/1英寸以上
弱粘合性:小于1N/1英寸
[表1]
图案形成 | 压敏粘合强度 | |
实施例1 | ○ | 强粘合性 |
实施例2 | ○ | 强粘合性 |
比较例1 | ○ | 差(未结合) |
比较例2 | × | 弱粘合性 |
比较例3 | × | 弱粘合性 |
参考表1,可以看出,根据实施例的压敏粘合剂组合物具有优异的图案形成性能,并且还具有优异的压敏粘合强度。相比而言,可以看出,当使用根据比较例的压敏粘合剂组合物时,图案形成性能并不优异,或者压敏粘合强度弱。特别是在其中以少于10重量份的量包含含有羧酸基团的丙烯酸系单体的比较例3的情况下,可以看出没有形成图案。
另外,参考图1和图2,可以看出形成了具有均匀膜厚的图案。
Claims (8)
2.根据权利要求1所述的压敏粘合剂组合物,其中,所述丙烯酸系共聚物具有10000至100000的重均分子量。
3.根据权利要求1所述的压敏粘合剂组合物,其中,基于总计100重量份的丙烯酸系共聚物,以50至90重量份的量包含所述源自Tg为-20℃以下的丙烯酸酯类单体的重复单元。
4.根据权利要求1所述的压敏粘合剂组合物,其中,所述丙烯酸系共聚物进一步包含第二光固化性官能团。
5.根据权利要求4所述的压敏粘合剂组合物,其中,基于100重量份的、所述丙烯酸系共聚物中的全部重复单元,以1至20重量份的量包含所述第二光固化性官能团。
6.根据权利要求1所述的压敏粘合剂组合物,其中,基于总计100重量份的所述压敏粘合剂组合物,以10至60重量份的量包含所述多官能丙烯酸酯类化合物。
7.一种压敏粘合剂图案,其包含根据权利要求1至6中任一项所述的压敏粘合剂组合物的固化物并且具有0℃以下的Tg。
8.根据权利要求7所述的压敏粘合剂图案,其中,所述压敏粘合剂图案是光致抗蚀剂图案。
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