CN108352773B - 致动器 - Google Patents

致动器 Download PDF

Info

Publication number
CN108352773B
CN108352773B CN201780003791.5A CN201780003791A CN108352773B CN 108352773 B CN108352773 B CN 108352773B CN 201780003791 A CN201780003791 A CN 201780003791A CN 108352773 B CN108352773 B CN 108352773B
Authority
CN
China
Prior art keywords
magnetic drive
movable body
drive circuit
magnet
coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201780003791.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108352773A (zh
Inventor
武田正
北原裕士
土桥将生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd filed Critical Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Publication of CN108352773A publication Critical patent/CN108352773A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108352773B publication Critical patent/CN108352773B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/04Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
    • B06B1/045Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism using vibrating magnet, armature or coil system
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/02Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/16Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with polarised armatures moving in alternate directions by reversal or energisation of a single coil system
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/18Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F7/00Magnets
    • H01F7/06Electromagnets; Actuators including electromagnets
    • H01F7/08Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
    • H01F7/16Rectilinearly-movable armatures
    • H01F7/1607Armatures entering the winding
    • H01F7/1615Armatures or stationary parts of magnetic circuit having permanent magnet
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/12Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moving in alternate directions by alternate energisation of two coil systems
    • H02K33/14Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moving in alternate directions by alternate energisation of two coil systems wherein the alternate energisation and de-energisation of the two coil systems are effected or controlled by movement of the armatures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)

Abstract

本件提供一种能够使可动体进行多个方向的振动的致动器。例如,致动器(1)具有支承体(5)、可动体(4)、与可动体(4)和支承体(5)连接的连接体(7)。在支承体(5)和可动体(4)之间,在第一磁驱动回路(10)中,第一线圈(12)及第二线圈(22)在第一方向(L1)重叠配置有两段,同时,在两段第一线圈(12)及第二线圈(22)各自的第一方向(L1)的两侧配置有第一磁铁(11)及第二磁铁(21)。第一磁驱动回路(10)设于在第二方向L2上分开的两个部位,在第二方向L2上分开的第一磁驱动回路(10)之间,构成限制可动体(4)的与第一方向L1正交的方向的可动范围的止动机构(50)。

Description

致动器
技术领域
本发明涉及具备磁驱动机构的致动器。
背景技术
作为让使用者感受到振动的致动器,提出了如下结构:在可动体的周围设置具备筒状的线圈以及筒状的磁铁的磁驱动机构,使可动体在轴线方向上振动(参照专利文献1、2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2002-78310号公报
专利文献2:日本特开2006-7161号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而,在专利文献1、2所记载的结构中,由于可动体只在轴线方向上振动,因此只能让使用者感受一种振动。因此,在通过振动给使用者传递信息的情况下,存在可传递的信息量较少的问题。
鉴于以上的问题点,本发明的课题在于,提供能够使可动体进行多个方向的振动的致动器。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述课题,本发明一方面提供一种致动器,其特征在于,具有:支承体;可动体;连接体,所述连接体具备弹性及粘弹性中的至少一方,与所述支承体和所述可动体连接;第一磁驱动回路,所述第一磁驱动回路具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第一磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在第一方向上与所述第一磁铁对置的第一线圈,将所述可动体向与所述第一方向正交的第二方向驱动;第二磁驱动回路,所述第二磁驱动回路具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第二磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在所述第一方向上与所述第二磁铁对置的第二线圈,将所述可动体向与所述第一方向正交且与所述第二方向交叉的第三方向驱动,在所述第一磁驱动回路中,多个所述第一线圈在所述第一方向上重叠配置多段,并且,所述第一磁铁配置在多个所述第一线圈各自的所述第一方向的两侧。
在本发明中,在可动体和支承体之间设有第一磁驱动回路和第二磁驱动回路,第一磁驱动回路通过在第一方向上对置的第一线圈和第一磁铁将可动体向第二方向驱动,第二磁驱动回路通过在第一方向上对置的第二线圈和第二磁铁将可动体向第三方向驱动,因此,能够使可动体在第二方向及第三方向上振动。因此,能够让使用者感受第二方向的振动及第三方向的振动。另外,由于无论在第一磁驱动回路及第二磁驱动回路中的哪一方中,线圈和磁铁均在第一方向上对置,所以即使在设有第一磁驱动回路及第二磁驱动回路的情况下,也能够使致动器的第一方向的尺寸相对小型化。因此,在第一磁驱动回路中,将第一线圈及第一磁铁在第一方向上多段配置,能够使第一磁驱动回路的功率增大。另外,与将第一线圈大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,能够与第一线圈被分割相应地使第一线圈中的发热分散。另外,与将第一磁铁大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,第一磁铁的吸引力不会变得过大,所以,容易进行第一磁铁的处理等。
在本发明中,可以采用如下方式:在所述第二磁驱动回路中,多个所述第二线圈在所述第一方向上重叠配置多段,并且,所述第二磁铁配置在多个所述第二线圈各自的所述第一方向的两侧。根据这样的结构,在第二磁驱动回路中,由于将第二线圈及第二磁铁在第一方向上配置多段,所以能够增大第二磁驱动回路的功率。另外,与将第二线圈大型化来使第二磁驱动回路的功率增大的情况相比,能够与第二线圈被分割相应地使第二线圈中的发热分散。另外,与将第二磁铁大型化来使第二磁驱动回路的功率增大的情况相比,第二磁铁的吸引力不会变得过大,因此,容易进行第二磁铁的处理等。
在本发明中,可以采用如下方式:所述支承体具备在所述第一方向上重叠配置的多个支承体侧保持架,所述可动体具备在所述第一方向上重叠配置的多个可动体侧保持架,所述多个支承体侧保持架分别保持所述第一方向上的一段所述第一磁铁或所述第一线圈,所述多个可动体侧保持架分别保持所述第一方向上的一段所述第一磁铁或所述第一线圈。
在本发明中,可以采用如下方式:所述第一磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的一方向上分开的两个部位。根据这样的结构,能够使第一磁驱动回路的功率增大。另外,能够与第一线圈进一步被分割相应地使第一线圈中的发热分散。另外,由于第一磁铁也被分割,所以第一磁铁的吸引力不会变得过大。因此,容易进行第一磁铁的处理等。
在本发明中,可以采用如下方式:所述第二磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的另一方向上分开的两个部位。根据这样的结构,能够使第二磁驱动回路的功率增大。另外,能够与第二线圈进一步被分割相应地使第二线圈中的发热分散。另外,由于第二磁铁也被进一步分割,所以第一磁铁的吸引力不会变得过大。因此,容易进行第二磁铁的处理等。
在本发明中,可以采用如下方式:在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间,设有限制所述可动体在与所述第一方向正交的方向的可动范围的止动机构。根据这样的结构,由于止动机构设在第一磁驱动回路之间,所以即使在设置止动机构的情况下,也能够避免致动器的大型化。
在本发明中,可以采用如下方式:所述可动体具备位于在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间的主体部,所述支承体具备壁部,所述壁部在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间包围所述主体部的外周面而构成所述止动机构。根据这样的结构,止动机构能够在与第一方向正交的所有方向上限制可动体的可动范围。
在本发明中,可以采用如下方式:所述主体部由连结所述多个可动体侧保持架中、在所述第一方向上相邻的可动体侧保持架的连结部构成,所述壁部是在所述多个支承体侧保持架上供所述主体部贯通的贯通孔的内周壁。
在本发明中,理想的是,从所述第一方向观察时,所述主体部及所述壁部为圆形。根据这样的结构,止动机构能够将可动体的可动范围设定为在与第一方向正交的所有方向上相等。
本发明另一方面提供一种致动器,其特征在于,具有:支承体;可动体;连接体,所述连接体具备弹性及粘弹性中的至少一方,与所述支承体和所述可动体连接;第一磁驱动回路,所述第一磁驱动回路具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第一磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在第一方向上与所述第一磁铁对置的第一线圈,在与所述第一方向正交的第二方向驱动所述可动体;第二磁驱动回路,所述第二磁驱动回路具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第二磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在所述第一方向上与所述第二磁铁对置的第二线圈,在与所述第一方向正交且与所述第二方向交叉的第三方向驱动所述可动体,所述第一磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的另一方向上分开的两个部位,在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间,设有限制所述可动体在与所述第一方向正交的方向的可动范围的止动机构。
在本发明的致动器的另一方式中,在可动体和支承体之间设有第一磁驱动回路和第二磁驱动回路,所述第一磁驱动回路通过在第一方向上对置的第一线圈和第一磁铁产生将可动体向第二方向驱动的驱动力,所述第二磁驱动回路通过在第一方向上对置的第二线圈和第二磁铁产生将可动体向第三方向驱动的驱动力。因此,由于能够使可动体在第二方向及第三方向上振动,所以能够让使用者感受第二方向的振动及第三方向的振动。另外,不论在第一磁驱动回路及第二磁驱动回路中的哪个回路中,线圈和磁铁都在第一方向上对置,因此,即使在设有第一磁驱动回路及第二磁驱动回路的情况下,也能够使致动器的第一方向的尺寸相对小型化。另外,第一磁驱动回路设于在第二方向或第三方向上分开的两个部位,因此,能够使第一磁驱动回路的功率增大。另外,与将第一线圈大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,能够与第一线圈被分割相应地使第一线圈中的发热分散。另外,与将第一磁铁大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,第一磁铁的吸引力不会变得过大,因此,容易进行第一磁铁的处理等。进而,因为止动机构设在第一磁驱动回路之间,所以即使在设置止动机构的情况下,也能够避免致动器的大型化。
在本发明的致动器的另一方式中,可以采用如下方式:所述第二磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的另一方向上分开的两个部位,所述止动机构设于在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间以及在所述另一方向上分开的所述第二磁驱动回路之间。根据这样的结构,由于第二磁驱动回路设于在第二方向或第三方向上分开的两个部位,所以能够使第二磁驱动回路的功率增大。另外,与将第二线圈大型化来使第二磁驱动回路的功率增大的情况相比,能够与第二线圈被分割相应地使第二线圈中的发热分散。另外,与将第二磁铁大型化来使第二磁驱动回路的功率增大的情况相比,第二磁铁的吸引力不会变得过大,因此,容易进行第二磁铁的处理等。
在本发明的致动器的另一方式中,可以采用如下方式:所述可动体具备位于在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间的主体部,所述支承体具备壁部,所述壁部在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间包围所述主体部的外周面而构成所述止动机构。根据这样的结构,止动机构能够在与第一方向正交的所有方向上限制可动体的可动范围。
在本发明的致动器的另一方式中,理想的是,从所述第一方向观察时,所述主体部及所述壁部为圆形。根据这样的结构,止动机构能够将可动体的可动范围设定为在与第一方向正交的所有方向上相等。
发明效果
在本发明中,在可动体和支承体之间设有第一磁驱动回路和第二磁驱动回路,第一磁驱动回路通过在第一方向上对置的第一线圈和第一磁铁在第二方向驱动可动体,第二磁驱动回路通过在第一方向上对置的第二线圈和第二磁铁在第三方向驱动可动体。因此,能够使可动体在第二方向及第三方向上振动,所以能够让使用者感受第二方向的振动及第三方向的振动。另外,不论在第一磁驱动回路及第二磁驱动回路中的哪个回路中,线圈和磁铁都在第一方向上对置,因此,即使在设有第一磁驱动回路及第二磁驱动回路的情况下,也能够使致动器的第一方向的尺寸相对小型化。
另外,在本发明的一方式中,由于将第一线圈及第一磁铁在第一方向上多段配置,所以能够使第一磁驱动回路的功率增大。另外,与将第一线圈大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,能够与第一线圈被分割相应地使第一线圈中的发热分散。另外,与将第一磁铁大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,第一磁铁的吸引力不会变得过大,因此,容易进行第一磁铁的处理等。
另外,在本发明的另一方式中,因为将第一磁驱动回路设于在一方向上分开的两个部位,所以能够增大第一磁驱动回路的功率。另外,与将第一线圈大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,能够与第一线圈被分割相应地使第一线圈中的发热分散。另外,与将第一磁铁大型化来使第一磁驱动回路的功率增大的情况相比,第一磁铁的吸引力不会变得过大,因此,容易进行第一磁铁的处理等。进而,因为止动机构设在第一磁驱动回路之间,所以即使在设置止动机构的情况下,也能够避免致动器的大型化。
附图说明
图1是应用了本发明的致动器的立体图。
图2是图1所示的致动器的剖视图。
图3是图1所示的致动器的分解立体图。
图4是图1所示的致动器的主要部分的分解立体图。
图5是在图1所示的致动器的主要部分中,从可动体及支承体拆下了一部分磁铁和线圈等后的状态的分解立体图。
具体实施方式
参照附图,说明本发明的实施方式。此外,在以下的说明中,为了明确磁驱动回路的布局等,将彼此正交的方向设为X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向,在X轴方向的一侧标注X1,在X轴方向的另一侧标注X2,在Y轴方向的一侧标注Y1,在Y轴方向的另一侧标注Y2,在Z轴方向的一侧标注Z1,在Z轴方向的另一侧标注Z2进行说明。另外,设通过磁驱动回路产生驱动力的各方向中的第一方向为L1、第二方向为L2、第三方向为L3进行说明。
(整体结构)
图1是应用了本发明的致动器1的立体图。图2是图1所示的致动器1的剖视图,图2(a)、(b)分别是沿着穿过致动器1的中央部分的线切断致动器1时的XZ剖视图、沿着穿过致动器1的中央部分的线切断致动器1时的YZ剖视图。图3是图1所示的致动器1的分解立体图。图4是图1所示的致动器1的主要部分的分解立体图。图5是在图1所示的致动器1的主要部分中,从可动体4及支承体5拆下了一部分磁铁和线圈等后的状态的分解立体图。
在图1、图2及图3中,本方式的致动器1是让使用者感受到振动的振动致动器。致动器1具有支承体5、可动体4、与可动体4和支承体5连接的连接体7,可动体4经由连接体7被支承体5支承。连接体7具备弹性及粘弹性中的至少一方,可动体4可以在连接体7的变形容许范围内相对于支承体5进行相对移动。致动器1具有第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20,作为使可动体4相对于支承体5相对移动的磁驱动回路。
第一磁驱动回路10具有保持于支承体5的第一线圈12和保持于可动体4的第一磁铁11,第一磁铁11和第一线圈12在第一方向L1(Z轴方向)上对置。第二磁驱动回路20具有保持于支承体5的第二线圈22和保持于可动体4的第二磁铁21,第二磁铁21和第二线圈22在第一方向L1(Z轴方向)上对置。第一磁驱动回路10产生驱动力的第二方向L2为X轴方向,第二磁驱动回路20产生驱动力的第三方向L3为Y轴方向。在此,第一磁铁11及第一线圈12配置于在第二方向L2上分开的两个部位。即,第一磁驱动回路10配置于在第二方向L2上分开的两个部位。另外,第二磁铁21及第二线圈22配置于在第三方向L3上分开的两个部位。即,第二磁驱动回路20配置于在第三方向L3上分开的两个部位。
(支承体5的结构)
支承体5具有位于Z轴方向的一侧Z1的第一壳体56、在Z轴方向的另一侧Z2覆盖于第一壳体56的第二壳体57、配置于第一壳体56和第二壳体57之间的保持架58(支承体侧保持架),第一壳体56和第二壳体57将保持架58夹于其间并由四根固定螺丝59固定。
第二壳体57具有从Z轴方向观察时具有四边形的平面形状的端板部571和从端板部571的各边缘向第一壳体56侧突出的四片侧板部572。在端板部571,在中央形成有圆形的孔576,在四个角形成有固定孔575。在四片侧板部572的中央部形成有从Z轴方向的一侧Z1向另一侧Z2切出的缺口部573。在X轴方向的另一侧X2的侧板部572形成有将缺口部573的相邻部分切掉相当于Z轴方向高度的一部分的缺口部574。
第一壳体56具有:端板部561,其从Z轴方向观察时具有四边形的平面形状;凸台部562,其从端板部561的四角朝向第二壳体57的端板部571突出。在端板部561的中央形成有圆形的孔566。凸台部562具备形成于Z轴方向的中途位置的台阶面563和从台阶面563向Z轴方向的另一侧Z2突出的圆筒部564。因此,通过将固定螺丝59从第二壳体57的固定孔575且从Z轴方向的另一侧Z2螺纹紧固于第一壳体56的凸台部562,第一壳体56的端板部571被固定于侧板部572的Z轴方向的一侧Z1的端部。第一壳体56具备与第二壳体57的缺口部574在第一方向L1上对置的立起部565,在立起部565和缺口部574之间构成配置基板6的狭缝。向第一线圈12及第二线圈22供电的供电线等连接在基板6上。
如图2、图4及图5所示,在第一壳体56和第二壳体57之间,沿第一方向L1重叠配置有两个保持架58。两个保持架58的基本结构是共同的,在中央形成有孔583。在本方式中,孔583为圆形。在两个保持架58的四个角形成有圆形孔581,保持架58保持在凸台部562的圆筒部564被插入圆形孔581并由台阶面563定位的状态。在保持架58的四个边的中央形成有向内周侧凹下的凹部582。
在此,两个保持架58是将相同结构的板状部件在第一方向L1翻转而形成的部件。因此,从两个保持架58中、配置于Z轴方向的一侧Z1的保持架58朝向第一壳体56突出有柱状突起585,从配置于Z轴方向的另一侧Z2的保持架58朝向第二壳体57突出有多个柱状突起585。另外,在多个柱状突起585上,在前端部都形成有球状的抵接部586。因此,在将保持架58夹于其间通过固定螺丝59固定第一壳体56和第二壳体57时,第一壳体56、两个保持架58及第二壳体57在第一方向L1被可靠地定位。
(第一线圈12及第二线圈22的配置)
在两个保持架58上,在被凹部582和孔583夹着的四个部位形成有长孔状的贯通孔589。在两个保持架58各自中,第一磁驱动回路10的第一线圈12保持于四个部位的贯通孔589中、在第二方向L2上分开的两个贯通孔589的内侧。另外,在两个保持架58各自中,第二磁驱动回路20的第二线圈22保持于在第三方向L3分开的两个贯通孔589的内侧。因此,两个支承体侧保持架58分别保持第一方向L1上的一段第一线圈12及第二线圈22,在支承体5侧,第一线圈12及第二线圈22在第一方向L1上重叠配置两段。
第一线圈12是作为有效边的长边沿第三方向L3延伸的扁平的空芯线圈,第二线圈22是作为有效边的长边沿第二方向L2延伸的扁平的空芯线圈。
(可动体4的结构)
可动体4具有相对于两个保持架58位于Z轴方向的一侧Z1的板状的第一保持架41(可动体侧保持架)、相对于两个保持架58位于Z轴方向的另一侧Z2的板状的第二保持架42(可动体侧保持架)、配置于两个保持架58之间的板状的第三保持架43(可动体侧保持架)。第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43分别具有向第二方向L2及第三方向L3的两侧突出的四个突出部45,在从Z轴方向观察时形成+(正)形状。形成于第一保持架41的突出部45的前端部形成向Z轴方向的另一侧Z2折弯的接合部44,形成于第二保持架42的突出部45的前端部形成向Z轴方向的一侧Z1折弯的接合部44。因此,将第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43重叠时,第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43的各突出部45的前端部相接。因此,通过用粘接或焊接等方法将第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43的各突出部45的前端部彼此接合,形成第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43被一体连结的状态。
(第一磁铁11及第二磁铁21的配置)
第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43在向第二方向L2及第三方向L3的两侧突出的四个突出部45各自上,形成有矩形的贯通孔419、429、439。第一磁驱动回路10的第一磁铁11被保持于四个突出部45中、在第二方向L2上分开的两个突出部45的贯通孔419、429、439中。另外,第二磁驱动回路20的第二磁铁21被保持于在第三方向L3上对置、且在第二方向L2分开的两个突出部45的贯通孔419、429、439中。因此,第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43分别保持第一方向L1上的一段第一磁铁11及第一磁铁21。
这样,在第一磁驱动回路10中,多个第一线圈12在第一方向L1上重叠配置多段,并且,第一磁铁11配置在多个第一线圈12各自的第一方向L1的两侧。另外,在第二磁驱动回路20中,多个第二线圈22在第一方向L1上重叠配置多段,并且,第二磁铁21配置在多个第二线圈22各自的第一方向L1的两侧。在本方式中,第一线圈12及第二线圈22在第一方向L1上配置两段,并且,第一磁铁11及第二磁铁21配置在两段第一线圈12及第二线圈22各自的第一方向L1的两侧。第一磁铁11是磁化分极线沿第三方向L3延伸的板状磁铁,第二磁铁21是磁化分极线沿第二方向L2延伸的板状磁铁。
在此,后轭8配置成在Z轴方向的一侧Z1与被保持于第一保持架41的第一磁铁11及第二磁铁21重叠。另外,后轭8配置成在Z轴方向的另一侧Z2与被保持于第二保持架42的第一磁铁11及第二磁铁21重叠。后轭8的尺寸比第一磁铁11及第二磁铁21的尺寸(贯通孔419、429的尺寸)大,用粘接剂等方法固定于第一保持架41及第二保持架42。
(连接体7)
在设于第一保持架41的后轭8和第一壳体56的端板部561之间,在四个部位设有与后轭8和第一壳体56相接的连接体7。另外,在设于第二保持架42的后轭8和第二壳体57的端板部571之间,在四个部位设有与后轭8和第二壳体57相接的连接体7。
在本方式中,连接体7由设于可动体4和支承体5之间的凝胶状减振部件70构成。在本方式中,凝胶状减振部件70由板状的硅凝胶构成。凝胶状减振部件70的平面形状为矩形等多边形,在第一壳体56的端板部561及第二壳体57的端板部571,配置凝胶状减振部件70的部位形成凹部569、579(参照图2)。
凝胶状减振部件70具备粘弹性,根据其伸缩方向而具备线性或非线性的伸缩特性。例如,板状的凝胶状减振部件70在其厚度方向(轴方向)被按压而产生压缩变形时,具备非线性的分量比线性的分量大的伸缩特性。另一方面,在沿厚度方向(轴方向)被牵引而伸展的情况下,具备线性的分量比非线性的分量大的伸缩特性。另外,在与厚度方向(轴方向)交叉的方向(剪切方向)上变形的情况下,具有线性的分量比非线性的分量大的变形特性。在本方式中,凝胶状减振部件70由柱状的硅凝胶构成,针入度在90度至110度。在本方式中,凝胶状减振部件70由四棱柱状的硅凝胶构成。所谓针入度,是指如JIS-K-2207或JIS-K-2220中规定的那样,用1/10mm单位表示在25℃施加了9.38g的总载重的1/4圆锥的针在五秒钟内进入的深度的值,该值越小越硬。
(止动机构50的结构)
如图2等所示,在第一保持架41的中央部,外径比保持架58的孔583小的凸状连结部411朝向Z轴方向的另一侧Z2突出,在第二保持架42的中央部,外径比保持架58的孔583小的凸状连结部421朝向Z轴方向的一侧Z1突出。在第三保持架43的中央部,外径比保持架58的孔583小的凸状连结部431朝向Z轴方向的一侧Z1突出,外径比保持架58的孔583小的凸状连结部432朝向Z轴方向的另一侧Z2突出。第三保持架43的凸状连结部431在保持架58的孔583的内侧与第一保持架41的凸状连结部411抵接。第三保持架43的凸状连结部432在保持架58的孔583的内侧与第二保持架42的凸状连结部421抵接。在第三保持架43的凸状连结部431、432的前端部,形成有定位用的凸部433、434,另一方面,在第一保持架41及第二保持架42的凸状连结部411、421的前端部,形成有供凸部433、434嵌入的凹部413、423。另外,第三保持架43的凸状连结部431通过粘接剂等与第一保持架41的凸状连结部411接合,第三保持架43的凸状连结部432通过粘接剂等与第二保持架42的凸状连结部421接合。因此,第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43在保持架58的孔583的内侧被由凸状连结部411、431、432、421构成的主体部40连接。
其结果,设于支承体5的保持架58的孔583的内侧的壁部584包围设于可动体4的主体部40的周面,构成限制可动体4向与第一方向L1正交的方向的可动范围的止动机构50。
(作用及主要的效果)
在本方式的致动器1中,如果对第一磁驱动回路10的第一线圈12通交流电,则能够使可动体4向与第一方向L1正交的第二方向L2振动。另外,如果对第二磁驱动回路20的第二线圈22通上交流电,则能够使可动体4向与第一方向L1正交且与第二方向L2交叉的第三方向L3振动。此时,因为致动器1的重心在第二方向L2及第三方向L3产生变动,所以利用者能够感受第二方向L2的振动及第三方向L3的振动。另外,如果调节对第一线圈12施加的交流波形,使可动体4向第二方向L2的一侧移动的速度和可动体4向第二方向L2的另一侧移动的速度不同,则利用者能够感受在第二方向L2具有方向性的振动。同样,如果调节对第二线圈22施加的交流波形,使可动体4向第三方向L3的一侧移动的速度和可动体4向第三方向L3的另一侧移动的速度不同,则利用者能够感受在第三方向L3上具有方向性的振动。
另外,在第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20中,第一线圈12和第一磁铁11在第一方向L上对置,第二线圈22和第二磁铁21在第一方向L上对置。因此,即使在设置了第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20的情况下,也能够使致动器1的第一方向L1的尺寸相对小型化。因此,在第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20中,能够将第一线圈12及第二线圈22在第一方向L1上重叠配置两段,并且,将第一磁铁11及第二磁铁21配置在两段第一线圈12及第二线圈22各自的第一方向L1的两侧,使第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20的功率增大,该情况下,能够使致动器1的第一方向L1的尺寸相对小型化。另外,由于将第一磁铁11及第二磁铁21配置在两段第一线圈12及第二线圈22各自的第一方向L1的两侧,所以与磁铁仅与线圈的一面对置的情况相比,磁通泄漏少。因此,能够增大用于使可动体4移动的推力。
另外,在多段配置第一线圈12及第二线圈22以增加数量的情况下,与将一个线圈大型化的情况相比,能够分散第一线圈12及第二线圈22中的发热。另外,在通过多段化而增加第一磁铁11及第二磁铁21的情况下,第一磁铁11及第二磁铁21的尺寸小,所以与将一个磁铁大型化的情况相比,第一磁铁11及第二磁铁21的吸引力不会过大。因此,容易进行第一磁铁11及第二磁铁21的处理。
另外,在本方式中,将第一磁驱动回路10设置于在第二方向L2上分开的两个部位,将第二磁驱动回路20设置于在第三方向L3上分开的两个部位,因此,能够增大第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20的功率。另外,与第一线圈12及第二线圈22被进一步分割相应地,能够使第一线圈12及第二线圈22中的发热分散。另外,因为第一磁铁11及第二磁铁21也被进一步分割,所以第一磁铁11及第二磁铁21的吸引力不会过大。因此,容易进行第一磁铁11及第二磁铁21的处理等。
在此,第一磁驱动回路10被设置于在第二方向L2上分开、且从第二方向L2观察时重叠的两个部位。另外,第二磁驱动回路20被设置于在第三方向L3上分开、且从第三方向L3观察时重叠的两个部位。因此,在驱动第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20使可动体4向第二方向L2及第三方向L3振动时,可动体4不易围绕沿第一方向L1延伸的轴线旋转,因此,能够使可动体4高效地振动。特别是在本方式中,两个部位的第一磁驱动回路10呈以可动体4的重心为中心的点对称配置,两个部位的第二磁驱动回路20呈以可动体4的重心为中心的点对称配置。另外,从第一方向L1观察时,两个部位的第一磁驱动回路10呈以穿过可动体4的重心并沿第三方向L3延伸的假想线为中心的线对称配置,两个部位的第二磁驱动回路20呈以穿过可动体4的重心并沿第二方向L2延伸的假想线为中心的线对称配置。因此,驱动第一磁驱动回路10及第二磁驱动回路20使可动体4在第二方向L2及第三方向L3振动时,可动体4更加不易围绕沿第一方向L1延伸的轴线旋转,因此,能够使可动体4更高效地振动。
另外,支承体5具备在第一方向L上重叠配置的两个保持架58(支承体侧保持架),可动体4具备在第一方向L上重叠配置的多个可动体侧保持架(第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43),两个保持架58、第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43分别保持一段磁铁或线圈。因此,与一个保持架保持多段磁铁或线圈的结构相比,能够简化支承体5及可动体4的结构,能够高效地进行磁铁或线圈的安装。另外,也容易增加磁铁或线圈的段数。
另外,在本方式中,利用在第二方向L2上分开的第一磁驱动回路10之间及在第三方向L3上分开的第二磁驱动回路20之间,设置限制可动体4的与第一方向L1正交的方向的可动范围的止动机构50。因此,虽然在可动体4沿第二方向L2及第三方向L3振动时,连接体7(凝胶状减振部件70)沿剪切方向变形,但能够将可动体4的移动范围设定在凝胶状减振部件70的剪切方向的临界变形量以下。因此,因为即使可动体4最大限度地振动,凝胶状减振部件70的伸展也不会达到临界变形量以上,所以能够避免凝胶状减振部件70被破坏。另外,由于是利用在第二方向L2上分开的第一磁驱动回路10之间及在第三方向L3上分开的第二磁驱动回路20之间设置止动机构50,所以即使在设置了止动机构50的情况下,也能够避免致动器1的大型化。
另外,可动体4具备位于在第二方向L2上分开的第一磁驱动回路10之间及在第三方向L3上分开的第二磁驱动回路20之间的主体部40,支承体5具有在沿第二方向L2分开的第一磁驱动回路10之间及沿第三方向L3分开的第二磁驱动回路20之间包围主体部40的外周面而构成止动机构50的壁部584(保持架58的孔583的内壁)。因此,止动机构50能够在与第一方向L1正交的所有方向上限制可动体4的可动范围。而且,从第一方向L1观察时,主体部40及壁部584为圆形,因此,止动机构50能够将可动体4的可动范围设定为在与第一方向L1正交的所有的方向上相等。
另外,主体部40由连结多个可动体侧保持架(第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43)中、在第一方向相邻的可动体侧保持架的凸状连结部411、421、431、432构成。因此,能够利用用于连结第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43的凸状连结部411、421、431、432构成止动机构50。另外,在可动体4中,在利用凸状连结部411、421、431、432将第一保持架41、第二保持架42及第三保持架43接合的同时,还利用接合部44接合。因此,能够提高可动体4的强度。
另外,在致动器1中,在将与可动体4和支承体5连接的连接体7设定为弹簧部件的情况下,可动体4有时以与可动体4的质量和弹簧部件的弹簧常数对应的频率进行共振,但在本方式中,连接体7使用凝胶状减振部件70。另外,在本方式中,连接体7仅使用凝胶状减振部件70,凝胶状减振部件70根据其变形方向,具有不存在弹簧分量或者弹簧分量少的变形特性。因此,能够抑制可动体4的共振。另外,凝胶状减振部件70通过粘接等方法固定于可动体4及支承体5双方。因此,能够防止凝胶状减振部件70伴随可动体4的移动而移动。因此,因为能够仅使用凝胶状减振部件70作为连接体7,所以能够简化致动器1的结构。另外,凝胶状减振部件70的针入度为90度至110度。因此,凝胶状减振部件70具有足够的弹性来发挥减振功能,并且不易产生凝胶状减振部件70断裂而飞散那样的事态。
凝胶状减振部件70在可动体4的第一方向L1的两侧配置在支承体5与可动体4之间。因此,在可动体4沿第一方向L1移动的情况下,凝胶状减振部件70必然在第一方向L1的一侧和另一侧中的某一侧压缩变形,而在另外的一侧沿其厚度方向(轴向)伸展。如上所述,凝胶状减振部件70在压缩时的伸缩特性呈非线性的分量比线性的分量多,因此,在可动体4沿第一方向L1移动的情况下,压缩侧的凝胶状减振部件70必然按照非线性的伸缩特性被压缩。因此,可以避免可动体4和支承体5之间的间隙大幅度变化,从而可以确保可动体4和支承体5间的第一方向L1的间隙。
另外,如果可动体4在第二方向L2及第三方向L3上移动,则凝胶状减振部件70在与厚度方向(轴向)正交的方向(剪切方向)上变形。即,当连接在第一方向L1上对置的支承体5和可动体4的凝胶状减振部件70伸缩时,凝胶状减振部件70的剪切方向是与其伸缩方向(第一方向)正交的方向,也就是与可动体4的振动方向平行的方向。因此,在使可动体4在第二方向L2及第三方向L3上振动时,致动器1使用凝胶状减振部件70的剪切方向的变形特性。凝胶状减振部件70的剪切方向的变形特性是,线性的分量比非线性的分量多。因此,能够在致动器1的驱动方向(第二方向L2、第三方向L3)上获得线性良好的振动特性。
[其它实施方式]
在上述实施方式中,将磁铁设置在可动体4侧,将线圈设置在支承体5侧,但也可以将线圈设置在可动体4侧,将磁铁设置在支承体5侧。该情况下,可动体侧保持架保持线圈,支承体侧保持架保持磁铁。在上述实施方式中,两个第一磁驱动回路10在第二方向L2上分开,两个第二磁驱动回路20在第三方向L3上分开,但也可以是,两个第一磁驱动回路10在第三方向L3上分开,两个第二磁驱动回路20在第二方向L2上分开。
在上述实施方式中,仅使用凝胶状减振部件70作为连接体7,但也可以是使用弹簧作为连接体7的方式或并用弹簧和凝胶状减振部件70作为连接体7的方式。
符号说明
1…致动器、4…可动体、5…支承体、7…连接体、8…后轭、10…第一磁驱动回路、11…第一磁铁、12…第一线圈、20…第二磁驱动回路、21…第二磁铁、22…第二线圈、40…主体部、41…第一保持架(可动体侧保持架)、42…第二保持架(可动体侧保持架)、43…第三保持架(可动体侧保持架)、45…突出部、50…止动机构、56…第一壳体、57…第二壳体、58…保持架(支承体侧保持架)、70…凝胶状减振部件、411、421、431、432…凸状连结部(连结部)、419、429、439…贯通孔、583…孔、584…壁部、L1…第一方向、L2…第二方向、L3…第三方向。

Claims (9)

1.一种致动器,其特征在于,具有:
支承体;
可动体;
连接体,所述连接体具备弹性及粘弹性中的至少一方,与所述支承体和所述可动体连接;
第一磁驱动回路,所述第一磁驱动回路具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第一磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在第一方向上与所述第一磁铁对置的第一线圈,将所述可动体向与所述第一方向正交的第二方向驱动;
第二磁驱动回路,所述第二磁驱动回路具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第二磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在所述第一方向上与所述第二磁铁对置的第二线圈,将所述可动体向与所述第一方向正交且与所述第二方向交叉的第三方向驱动,
在所述第一磁驱动回路中,多个所述第一线圈在所述第一方向上重叠配置多段,并且,所述第一磁铁配置在多个所述第一线圈各自的所述第一方向的两侧,
所述第一磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的一方向上分开的两个部位,
在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间,设有限制所述可动体在与所述第一方向正交的方向的可动范围的止动机构,
所述可动体具备位于在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间的主体部,
所述支承体具备壁部,所述壁部在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间包围所述主体部的外周面而构成所述止动机构。
2.根据权利要求1所述的致动器,其特征在于,
在所述第二磁驱动回路中,多个所述第二线圈在所述第一方向上重叠配置多段,并且,所述第二磁铁配置在多个所述第二线圈各自的所述第一方向的两侧。
3.根据权利要求1或2所述的致动器,其特征在于,
所述支承体具备在所述第一方向上重叠配置的多个支承体侧保持架,
所述可动体具备在所述第一方向上重叠配置的多个可动体侧保持架,
所述多个支承体侧保持架分别保持所述第一方向上的一段所述第一磁铁或所述第一线圈,
所述多个可动体侧保持架分别保持所述第一方向上的一段所述第一磁铁或所述第一线圈。
4.根据权利要求3所述的致动器,其特征在于,
所述多个支承体侧保持架分别保持所述第一方向上的一段所述第一线圈,
所述多个可动体侧保持架分别保持所述第一方向上的一段所述第一磁铁。
5.根据权利要求1所述的致动器,其特征在于,
所述第二磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的另一方向上分开的两个部位。
6.根据权利要求3所述的致动器,其特征在于,
所述主体部由连结所述多个可动体侧保持架中、在所述第一方向上相邻的可动体侧保持架的连结部构成,
所述壁部是在所述多个支承体侧保持架中供所述主体部贯通的贯通孔的内周壁。
7.根据权利要求1或6所述的致动器,其特征在于,
从所述第一方向观察时,所述主体部及所述壁部为圆形。
8.一种致动器,其特征在于,具有:
支承体;
可动体;
连接体,所述连接体具备弹性及粘弹性中的至少一方,与所述支承体和所述可动体连接;
第一磁驱动回路,其具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第一磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在第一方向上与所述第一磁铁对置的第一线圈,将所述可动体向与所述第一方向正交的第二方向驱动;
第二磁驱动回路,其具备保持于所述支承体及所述可动体中的一方的第二磁铁、保持于所述支承体及所述可动体中的另一方且在所述第一方向上与所述第二磁铁对置的第二线圈,将所述可动体向与所述第一方向正交且与所述第二方向交叉的第三方向驱动,
所述第一磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的一方向上分开的两个部位,
在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间,设有限制所述可动体在与所述第一方向正交的方向的可动范围的止动机构,
所述第二磁驱动回路设于在所述第二方向及所述第三方向中的另一方向上分开的两个部位,
所述止动机构设于在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间以及在所述另一方向上分开的所述第二磁驱动回路之间,
所述可动体具备位于在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间的主体部,
所述支承体具备壁部,所述壁部在所述一方向上分开的所述第一磁驱动回路之间包围所述主体部的外周面而构成所述止动机构。
9.根据权利要求8所述的致动器,其特征在于,
从所述第一方向观察时,所述主体部及所述壁部为圆形。
CN201780003791.5A 2016-01-29 2017-01-24 致动器 Expired - Fee Related CN108352773B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016016183A JP6626725B2 (ja) 2016-01-29 2016-01-29 アクチュエータ
JP2016-016183 2016-01-29
PCT/JP2017/002260 WO2017130936A1 (ja) 2016-01-29 2017-01-24 アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108352773A CN108352773A (zh) 2018-07-31
CN108352773B true CN108352773B (zh) 2020-01-24

Family

ID=59397895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780003791.5A Expired - Fee Related CN108352773B (zh) 2016-01-29 2017-01-24 致动器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20190070635A1 (zh)
EP (1) EP3410586A4 (zh)
JP (1) JP6626725B2 (zh)
KR (1) KR102035438B1 (zh)
CN (1) CN108352773B (zh)
WO (1) WO2017130936A1 (zh)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017158582A1 (en) * 2016-03-13 2017-09-21 Woojer Ltd Slim profile haptic transducer array
WO2019031389A1 (ja) * 2017-08-10 2019-02-14 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ
JP7153448B2 (ja) * 2018-01-31 2022-10-14 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ、およびその製造方法
JP2019180149A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ
JP7186010B2 (ja) 2018-04-16 2022-12-08 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータの製造方法
CN208675083U (zh) * 2018-08-03 2019-03-29 瑞声科技(南京)有限公司 线性振动电机
CN208589892U (zh) * 2018-08-03 2019-03-08 瑞声科技(南京)有限公司 振动电机
TWI796524B (zh) * 2018-10-19 2023-03-21 日商Thk股份有限公司 致動器系統
JP7309351B2 (ja) * 2018-12-04 2023-07-18 ニデックインスツルメンツ株式会社 アクチュエータ
JP7199941B2 (ja) * 2018-12-04 2023-01-06 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ
JP2020092498A (ja) * 2018-12-04 2020-06-11 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ
JP7166156B2 (ja) * 2018-12-04 2022-11-07 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法
JP2021035011A (ja) * 2019-08-29 2021-03-01 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ、およびパネルスピーカー
JP7431085B2 (ja) * 2020-03-31 2024-02-14 ニデックインスツルメンツ株式会社 アクチュエータおよびダンパーユニット
JP7410791B2 (ja) * 2020-04-28 2024-01-10 ニデックインスツルメンツ株式会社 アクチュエータ
CN113572333B (zh) * 2020-04-28 2024-03-29 日本电产三协株式会社 致动器
CN221305610U (zh) * 2023-11-03 2024-07-09 湖北省钻马智控科技有限公司 一种振动马达

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3470689B2 (ja) 2000-08-28 2003-11-25 松下電工株式会社 リニアアクチュエータ
US7336006B2 (en) * 2002-09-19 2008-02-26 Fuji Xerox Co., Ltd. Magnetic actuator with reduced magnetic flux leakage and haptic sense presenting device
JP2006007161A (ja) 2004-06-29 2006-01-12 Namiki Precision Jewel Co Ltd 振動リニアアクチュエータ
US20060049697A1 (en) * 2004-09-08 2006-03-09 Nikon Corporation Split coil linear motor for z force
KR100773545B1 (ko) * 2006-02-15 2007-11-06 삼성전자주식회사 로킹장치를 구비한 x-y스테이지 구동장치와, 이를 채용한정보저장기기
JP4564930B2 (ja) * 2006-02-28 2010-10-20 三星電子株式会社 手振れ補正装置
JP2011115672A (ja) * 2008-03-28 2011-06-16 Sanyo Electric Co Ltd アクチュエータ
WO2010044212A1 (ja) * 2008-10-14 2010-04-22 日本電産サンキョー株式会社 振れ補正機能付き光学ユニット、光学機器、および振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法
JP2011250637A (ja) 2010-05-28 2011-12-08 Fujitsu Component Ltd 2次元アクチュエータ及び入力装置
NL2011305A (en) * 2012-08-21 2014-02-24 Asml Netherlands Bv Lithographic apparatus and device manufacturing method.
JP6203484B2 (ja) * 2012-09-28 2017-09-27 ミネベアミツミ株式会社 振動発生器
KR20150042681A (ko) * 2013-10-11 2015-04-21 삼성전기주식회사 카메라 모듈 및 이를 포함하는 휴대용 전자 기기
US20150123498A1 (en) * 2013-11-04 2015-05-07 Hyun-Ki Yang Linear vibrator and production method therefor
JP6211991B2 (ja) * 2014-05-28 2017-10-11 日本電信電話株式会社 加速度発生装置
JP6648984B2 (ja) * 2014-12-26 2020-02-19 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ
JP2016182569A (ja) * 2015-03-26 2016-10-20 日本電産コパル株式会社 振動アクチュエータ
CN109923504B (zh) * 2016-10-27 2022-10-21 日本电产三协株式会社 带触摸面板的显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017135948A (ja) 2017-08-03
EP3410586A1 (en) 2018-12-05
EP3410586A4 (en) 2019-10-23
JP6626725B2 (ja) 2019-12-25
US20190070635A1 (en) 2019-03-07
KR20180044412A (ko) 2018-05-02
KR102035438B1 (ko) 2019-10-22
WO2017130936A1 (ja) 2017-08-03
CN108352773A (zh) 2018-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108352773B (zh) 致动器
CN110800200B (zh) 致动器
JP6648984B2 (ja) アクチュエータ
US11411482B2 (en) Actuator with two magnetic drive circuits to vibrate a body in two directions
WO2018030266A1 (ja) ペン型触力覚提示デバイス
JP2019013087A (ja) アクチュエータ
CN110957882A (zh) 致动器以及面板扬声器
JP2019013088A (ja) アクチュエータ
JP6858088B2 (ja) アクチュエータ
WO2019003877A1 (ja) アクチュエータ
WO2018030269A1 (ja) 振動発生装置
JP2019013094A (ja) アクチュエータ
CN112469510B (zh) 致动器
JP7266852B2 (ja) アクチュエータ
US11323015B2 (en) Actuator
JP2019013097A (ja) アクチュエータ
CN110098711B (zh) 致动器
US11070120B2 (en) Actuator
CN112018992B (zh) 致动器及触觉设备
US20240072629A1 (en) Actuator
US20190238040A1 (en) Actuator
JP2024073817A (ja) アクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20200124

Termination date: 20210124

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee