CN108351293A - 具有归一化响应和改进灵敏度的气体检测器 - Google Patents

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Abstract

一种非色散光声气体检测器（200）包括红外光源（102）、第一封闭室（206）、与所述第一封闭室流体连通的第一声学传感器（208）、第二封闭室（210）以及与所述第二封闭室流体连通的第二声学传感器（212）。所述第一封闭室包括多个窗（105、205），所述多个窗（105、205）对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明。所述第二封闭室包括至少一个窗（205），所述至少一个窗（205）对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明，并且所述第一封闭室与所述第二封闭室串联地布置在所述红外光源与所述第二封闭室之间。

Description

具有归一化响应和改进灵敏度的气体检测器
相关申请的交叉引用
本申请要求于2015年9月10日提交且名称为“Gas Detector with NormalizedResponse and Improved Sensitivity”的、序列号为62/216,929的美国临时专利申请的优先权，该美国临时专利申请以其全文通过引用并入本文。
关于联邦赞助的研究或开发的声明
不适用。
缩微胶片附录的引用
不适用。
背景技术
光声测量基于在暴露于辐射能量（例如，红外光）的某些波长时气体中分子的倾向性，以吸收能量并达到更高水平的分子振动和旋转，从而达到测量单元内的更高温度和压力。当以已知频率对撞击气体的辐射能量进行幅度调制时，可用于吸收的能量中的所产生的波动在气体中产生对应的温度和压力波动，这可以被测量作为声学信号。声学信号的幅度与吸收气体的辐射强度和浓度值成比例。这种设备可以被用于测量样本中气体的小浓度值。
发明内容
在实施例中，一种非色散光声气体检测器包括红外光源、封闭室、以及与所述封闭室流体连通的声学传感器。所述封闭室包括至少一个窗，所述至少一个窗对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明，并且所述封闭室与所述红外光源间隔开。所述封闭室基本上是密封的。
在实施例中，一种非色散光声气体检测器包括红外光源、封闭室、设置在所述封闭室内的气体样本、以及与所述封闭室流体连通的声学传感器。所述封闭室包括至少一个窗，所述至少一个窗对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明，并且所述气体样本可以包括气体或至少两种气体的混合物。
在实施例中，一种检测气体的方法包括：通过光路传递红外光，其中所述光路包括一种或多种目标气体；由所述一种或多种目标气体吸收所述光路中所述红外光的至少部分；在通过所述光路传递所述红外光之后将所述红外光传递到包含气体样本的封闭室中；响应于将所述红外光传递到所述封闭室中，在所述封闭室内生成声学信号；检测所述声学信号；以及将所述声学信号转换成响应。所述封闭室包括至少一个窗，所述至少一个窗对所述红外光来说基本上透明，并且所述声学信号响应于所述光路中所述一种或多种目标气体的浓度增大而减小。
在实施例中，一种非色散光声气体检测器包括：红外光源；第一封闭室，具有对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明的多个窗；第二封闭室，具有对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明的至少一个窗；第一声学传感器，与所述第一封闭室流体连通；以及第二声学传感器，与所述第二封闭室流体连通。所述第一封闭室与所述第二封闭室串联布置在所述红外光源与所述第二封闭室之间。
在实施例中，一种非色散光声气体检测器包括：红外光源；多个封闭室，相对于来自所述红外光源的光路串联布置；以及多个声学传感器。所述多个声学传感器中的每一个声学传感器与所述多个封闭室中的对应封闭室相关联，并且每一个声学传感器与所述对应封闭室流体连通。所述多个封闭室中的第一封闭室包括第一样本气体，并且所述多个封闭室中的第二封闭室包括第二样本气体。所述第二样本气体具有与所述第一样本气体不同的成分，并且所述多个封闭室包括经过所述多个封闭室的透明路径。
在实施例中，一种检测气体的方法包括：通过光路传递红外光，所述光路包括一种或多种目标气体；由所述一种或多种目标气体吸收所述光路中所述红外光的至少部分；在通过所述光路传递所述红外光之后将所述红外光传递到第一封闭室中；响应于将所述红外光传递到所述第一封闭室中，在所述第一封闭室内生成第一声学信号；将所述红外光传递通过所述第一封闭室到第二封闭室中；响应于将所述红外光传递到所述第二封闭室中，在所述第二封闭室内生成第二声学信号；检测所述第一声学信号和所述第二声学信号；以及将所述第一声学信号和所述第二声学信号转换成响应。所述第一封闭室包括对所述红外光来说基本上透明的多个窗，并且所述第一封闭室包括第一气体样本。所述第二封闭室包括对所述红外光来说基本上透明的至少一个窗。
将从结合附图和权利要求进行的以下详细描述更清楚地理解这些和其他特征。
附图说明
为了更全面地理解本公开，现在参考结合附图和详细描述进行的以下简要描述，其中相似附图标记表示相似部分。
图1示意性地图示了根据实施例的光声传感器。
图2示意性地图示了根据实施例的另一光声传感器。
图3示意性地图示了根据实施例的又一光声传感器。
具体实施方式
在开始时应当理解，尽管下面说明了一个或多个实施例的说明性实现方式，但可以使用任何数目的技术（不论是当前已知的还是尚未存在的）来实现所公开的系统和方法。本公开决不应被限于下面说明的说明性实现方式、附图和技术，而是可以在所附权利要求的范围连同其等同物完整范围内加以修改。
术语的以下简要定义应当遍及本申请而适用：
术语“包含”意指包括但不限于，且应当以其在专利上下文中典型地使用的方式加以解释；
短语“在一个实施例中”、“根据一个实施例”等等一般意味着：该短语后的特定特征、结构或特性可以被包括在本发明的至少一个实施例中，且可以被包括在本发明的多于一个实施例中（重要的是，这种短语不必然指代相同实施例）；
如果说明书将某物描述为“示例性的”或“示例”，则应当理解，其指代非排他示例；
术语“大约”或“大致”等等在与数字一起使用时可以意指该具体数字，或者可替换地，意指与该具体数字接近的范围，如本领域技术人员所理解的那样；以及
如果说明书声明了组分或特征“可以”、“能够”、“可”、“应当”、“将”、“优选地”、“可能地”、“典型地”、“可选地”、“例如”、“常常”或“可能”（或其他这种语言）被包括或具有一特性，则该特定组分或特征不是必须被包括或具有该特性。这种组分或特征可以可选地被包括在一些实施例中，或者其可以被排除。
本文公开的是检测一种或多种气体的改进的光声传感器和方法。已经使用光声效应以辐照气体样本，以便基于辐射的部分的吸收来产生声学响应，以产生热量和对应的压力响应。在低气体浓度处，声学响应可以是最小的，这可能要求灵敏的声学传感器以检测声学信号。当在某些环境中使用传感器时，来自该环境的噪声可能掩蔽实际声学响应。例如，工业设置可以包括可能造成噪声问题的各种机械装备。尽管噪声可能不以与经调制的光相同的频率出现，且因而可能不以与声学响应相同的频率出现，但噪声的量值可能足以造成不可接受地低的信噪比，这可能使气体的存在的检测变得困难。
本发明系统不依赖于来自环境中的目标气体的声学响应。而是使用封闭室或单元以保留气体样本。入射在封闭室上的辐射可以产生可由声学传感器检测到的声学响应。可以在封闭和密封室内仔细地控制气体样本的浓度，从而产生具有相对较大的声学量值的声学响应。当在辐射源与封闭室之间不存在吸收相同波长中的辐射的气体时，声学响应可以在峰值处或附近。当在辐射源与封闭室之间存在具有与封闭室中的气体类似的吸收分布图的目标气体时，将在辐射到达封闭室之前吸收辐射的部分。目标气体然后充当针对辐射的过滤器，这导致针对封闭室中的气体的声学响应减小。减小的声学响应可以由声学传感器检测到且被转换成辐射源与封闭室之间的光路中的气体浓度。
该过程可以用于确定包括光路中存在的一种或多种组分的浓度的多个响应。还已经发现，当气体或气体混合物被选择以在封闭室中使用时，可以检测到对多种气体的总体或归一化响应。归一化响应可以包括封闭室中不存在的气体的测量结果。例如，可以使用甲烷和乙烷的混合物以检测不仅甲烷和乙烷的存在，而且检测许多种烃的存在。归一化响应可以在确定总体测量结果（诸如相对于可燃性极限、毒性暴露、发热值等等的水平）时有用。
本文公开的光声传感器还可以包括串联布置的多个封闭室，其中辐射传递通过第一封闭室、然后通过第二封闭室等。使多个封闭室串联的能力可以允许基于不同封闭室中的声学响应来确定各个目标气体浓度。还可以确定除一种或多种气体浓度外的多个或一个归一化响应。
在一些实施例中，可以与参考气体一起使用多个单元中的一个或多个。参考气体可以在与其他样本气体不同的波长范围内进行吸收，且还可以具有与光路中存在的气体不同的吸收特性。然后，参考气体可以用于提供对其他封闭室中的声学响应的环境影响的指示。例如，参考信号可以用于确定辐射输出的强度中的任何下降、由于检测器的污垢（例如雾气笼罩的或脏的窗等）所致的任何强度损失、或者可影响辐射强度的光路中的任何物质（例如灰尘、水蒸气等）。参考室还可以用于确保辐射正在被接收。如果参考室不产生声学响应，则可以生成不存在辐射的指示。这可以有助于确保系统正在操作。相比而言，在先系统中的零响应可以被简单地解释为当事实上光源未在工作时不存在目标气体。因此，本文公开的系统可以提供气体检测领域中的若干优势和改进。
图1示意性地图示了光声传感器100的实施例。光声传感器100包括产生辐射103的光源102、光路104、封闭室106、以及与封闭室106的内部流体和/或压力连通的声学传感器108。可以使用窗105以允许光传递到封闭室106中。在一些实施例中，光声传感器100还可以包括控制系统，该控制系统包括处理器110、存储器112、电源114和显示/输出设备116，该控制系统可以用于控制系统的各种元件和/或处理输出（例如，由声学传感器108生成的声学信号）。
光源102服务于提供经过光路104且到封闭室106中的经调制的光的源。气体吸收辐射能量的效率可以随能量的辐射频率而变化。由特定气体在频谱上进行的能量吸收典型地包括高吸收率的窄带或线，其通过低得多的吸收率的频带而彼此间隔开。每一种气体具有独特的吸收率谱，其可以被称作吸收分布图。相应地，光源102可以被选择以产生涵盖感兴趣气体的吸收分布图或线的频带或频率范围。在一些实施例中，可以同时辐射多种感兴趣气体，并且可以选择光的所得频带以提供期望频率处的适当量的辐射103，以便产生跨该多种气体的可测量输出信号。
在实施例中，光源102可以发射红外区中的窄或宽带电磁辐射。在实施例中，光源102可以包括白炽灯、黑体辐射源、或者红外谱中的电磁辐射的另一发射器。在一些实施例中，光源102可以是发光二极管（LED）、LED阵列、激光器、激光二极管等等。在实施例中，光源102可以产生红外范围内的宽带辐射。在一些实施例中，可以与光源102或封闭室106一起使用可选的过滤器，以从由光源102产生的辐射103中选择具体波长范围，如本文更详细描述的那样。
可以对来自光源102的辐射103进行调制，以在封闭室106中提供声学响应。可以使用各种类型的调制器。在实施例中，光源102可以被调制，和/或辐射103可以在由光源102产生之后被机械调制或电气调制。例如，控制器可以控制功率信号去往光源102以产生经调制的辐射输出。辐射103还可以在由光源102产生之后被调制，包括使用诸如机械斩波器（例如具有通路穿过的旋转盘、旋转镜等）、干涉光栅或过滤器、干涉计等等之类的调制机构。在一些实施例中，还可以使用光学调制器以对来自光源102的辐射103进行调制，包括但不限于声光调制、电光调制、磁光调制等等。
可以以允许声学信号被检测到的频率对辐射103进行调制，并且可以在选择调制速率时考虑声学传感器的检测极限连同任何背景噪声。可以以至少大约1 Hz或至少大约10Hz的频率对辐射103进行调制，尽管在一些实施例中可以以更低频率对辐射103进行调制。在一些实施例中，可以以更高频率对辐射103进行调制，以便降低光声传感器100对声学背景噪声的灵敏度。在实施例中，可以以10 Hz与100 kHz之间的频率对辐射103进行调制。
由光源102产生的辐射103可以行进通过光路104到封闭室106。随着辐射103行进通过光路104，以辐射中存在的频率吸收辐射的所存在的任何气体可以吸收辐射103的部分，并充当针对到达封闭室106的辐射103的过滤器。所吸收的辐射103的量可以取决于光路104中存在的气体的量、光路104的长度、气体的类型、所存在的辐射的频率范围、以及气体的吸收特性。
在一些实施例中，光路104可以是不围住的开放路径。该实施例对于在大气气体中和/或在其中通常可找到组分的容器或其他围隔的内部内存在的组分的检测而言可以是有用的。例如，可以与封闭室106分离地放置光源102，其中仅大气气体存在于光源102与封闭室106之间。
在一些实施例中，光路104可以包括波导，以允许辐射103从光源102传递到封闭室106。波导可以包括可选的围隔或室。围隔可以包括封闭管、导管或其他容器。可以对围隔的内部进行抛光，以在围隔内保留辐射103并将辐射103引导到封闭室106。围隔可以具有任何合适横截面形状，且可以由适于供感兴趣气体使用的材料形成。在一些实施例中，围隔可以由金属（例如不锈钢、铜、铝等）、聚合材料、陶瓷或玻璃等等形成。围隔可以具有被选择以允许由目标气体进行的充足量的吸收的长度。当期望非常低的浓度时，光路104可以比当期望适中到高浓度时更长。在实施例中，光路104可以具有约5 mm与约10 m之间的长度。例如，针对点测量的路径长度可以处于约10 cm与约50 cm之间。用于在管道中使用的路径长度可以为：对于小管道，小于约0.5 m；对于中等管道，处于约0.5 m与约1 m之间；以及对于较大管道，处于约1 m与约10 m之间。在一些实施例中，当使用波导以聚焦辐射和/或跨这种距离使用聚焦辐射束时，比10 m长（例如，多达约100 m）的路径长度可以是可能的
在一些实施例中，波导可以包括用于引导来自光源102的辐射103的部分。例如，可以使用玻璃或其他固体部分（例如，诸如透镜、反射器、聚焦元件等等之类的光学元件）以将辐射引导成与环境气体对准。
围隔或室的使用可以允许围隔内的气体与大气隔离，这对于被限制到所围住的空间的有毒气体或其他物质而言可以是有用的。流体导管可以耦合到围隔，以在围隔内部与正在测量的气体的另一源之间提供流体连通。例如，围隔可以与气体管线、罐内部、封闭系统环等等流体连通，以允许检测一种或多种组分，而无需气体被暴露于环境或者光源102或封闭室106被放置在系统内。
在又其他实施例中，光路104可以包括可选的围隔，且与邻近于光声传感器100而存在的气体流体连通。在该实施例中，开口、孔、多孔膜或其他可渗透开口可以与围隔相关联，以允许邻近于围隔的气体进入到光源102与封闭室106之间的光路104中。
封闭室106服务于保留感兴趣的气体或气体混合物的样本，并允许样本被传递通过光路104的辐射103辐照。在实施例中，封闭室106可以包括窗105，窗105允许辐射103传递到封闭室106的内部中。封闭室106连同声学传感器108一起可以基本上被密封，使得气体的样本保持处于封闭室106内且不与任何外部气体或流体交换。
封闭室106包括壁结构，该壁结构可以包括一般直线形状（诸如，立方体，或者可替换地，圆柱体）或任何其他合适形状。封闭室106的尺寸可以变化且可以被选择以提供预定容积或大小。在实施例中，封闭室106可以具有约1 mm与约50 mm之间的尺寸（例如，长度、宽度、直径和/或高度），尽管在一些实例中尺寸中的一个或多个可以大于50 mm。封闭室106可以限定具有处于约0.001 in3到约1 in3之间或处于约0.005 in3到约0.5 in3之间的容积的封闭内部空间，尽管更大或更小的内部容积也可以是合适的。
封闭室106可以由适于在封闭室106内部内包含样本的各种材料构造。在实施例中，外壁可以包括金属，诸如铝、不锈钢、铜、黄铜等等。在一些实施例中，外壁可以包括塑料或聚合物，诸如异丁烯酸盐。外壁还可以由陶瓷或玻璃形成。壁厚度可以被选择以提供合适的结构支撑和压力防护壳（pressure containment）。在一些实施例中，封闭室106的壁可以由包括聚合物、陶瓷、玻璃等等的透明材料构造，其中该材料可以对至少红外辐射来说是透明的。这可以减小当辐射入射在壁上时与壁相关联的任何加热效应。
在一些实施例中，封闭室106的壁或内表面的至少部分可以被镜像。经镜像的完成件（finish）可以服务于将光反射回到封闭室106的内部中，以提供来自封闭室106中的气体或气体混合物的增大的吸收和声学响应。经镜像的完成件可以处于封闭室106的任何部分上。例如，镜像完成件（例如蒸发后的金属层等）可以被形成在封闭室106的壁的外表面上，其中壁由透明材料构造。在一些实施例中，可以对内部金属表面进行抛光以产生经镜像的完成件。在又其他实施例中，镜像完成件可以被形成在封闭室106的内表面的一个或多个部分上。
在实施例中，封闭室106的后部分可以包括经镜像的表面。经镜像的表面可以被配置成通过封闭室106将来自光源102的辐射103导向回到光源102和/或光源102附近的位置。对应的镜可以被放置在光源102处和/或光源102附近，以便然后通过光路104将辐射103反射回到封闭室106。该布置可以在增大辐射103沿其传递的有效路径长度时有用，这可以用于针对（一种或多种）感兴趣气体的小浓度而改进光声传感器100的检测极限。
在一些实施例中，壁可以至少部分地由对感兴趣波长中的红外辐射来说透明同时对流体来说不可渗透（例如，对气体和液体来说不可渗透）的透明材料（诸如玻璃或聚合物）形成。在一些实施例中，可以给壁区段的至少部分提供窄化部分，以允许壁的该部分充当窗105并改进辐射能量到封闭室106的内部中的透射。
由透明材料（诸如聚合材料）构造的封闭室106可以提供若干优势。第一，封闭室106的材料可以以与气体相同的方式对辐射103作出反应并响应于辐射而导致局部变暖。透明材料可以允许辐射103传递通过壁而不是被转换成热量。附加地，与金属相比，透明材料可以具有更大的顺应性且具有任何环境声信号的减小透射比。这可以服务于使信号噪声免于与 在气体样本内生成的声学信号发生干扰。
窗105包括穿过壁区段的开口，以允许辐射103传递到封闭室106的内部中。在实施例中，窗105可以包括到在封闭室的壁中形成的开口中的插入物。窗105可以密封地与开口啮合，以便防止样本逸出或任何外部气体进入到封闭室106中。窗105可以由各种材料形成，只要该材料至少部分地对红外辐射来说透明即可。在实施例中，窗105可以包括玻璃。其他合适材料可以包括熔融石英（例如，UV熔融石英）、锗、蓝宝石、硅等等。
在实施例中，窗105可以具有被设计成将辐射103导向到封闭室106中的形状。由于窗105是透明的，因此窗105可以形成透镜以将辐射103导向到封闭室106中。窗105可以包括会聚透镜，该会聚透镜被配置成将传递通过光路104的辐射103导向到封闭室106中。可以取决于处于封闭室106内或经过封闭室106的期望焦点而选择透镜的光学能力（power）。在一些实施例中，可以使用两个或更多个窗105以将辐射103成形为期望束和/或将辐射103导向到期望束中。
窗材料和/或厚度可以被选择成具有针对辐射的一些过滤属性。尽管还可以使用可选的过滤器元件，但窗可以被选择成提供期望程度的过滤而无需附加过滤器。例如，窗材料可以被选择成过滤由水和/或二氧化碳吸收的区中的红外波长，水和二氧化碳二者均可能导致与所得声学信号的干扰。作为具体示例，包括熔融UV石英的窗材料可以充当用于阻止2.6μm至2.9μm的范围内的红外波的透射的过滤器，该范围对应于水和二氧化碳的近似吸收波长。过滤的量可以基于窗的厚度，并且窗材料和厚度二者的选择可以确定由窗提供的过滤的量（例如，与水和二氧化碳相对应的波长的吸收的量）。由此，窗材料可以充当过滤器而无需任何附加可选过滤器。
可以在光路104中提供可选过滤器，以便选择辐射谱的期望部分以传递到封闭室106中。过滤器可以邻近于光源102和/或邻近于封闭室106或者在光源02与封闭室106之间的任何点处放置。在实施例中，过滤器可以邻近于窗105放置，并且在一些实施例中，过滤器可以耦合到窗105的表面或沉积在窗105的表面上。
可选过滤器可以由对期望波长范围内的红外辐射来说选择性地透明的材料制成。选择性可以是基于一种或多种特定目标气体的吸收分布图来选择的。例如，过滤器可以透射仅稍微窄化的波段或频率带宽内的辐射能量。经过过滤器的透射频率可以被选择成大体上与要检测的每一种气体的最强吸收带重合。
声学传感器108与封闭室106的内部流体连通，且服务于检测导致源自封闭室106内的声学信号的压力改变。封闭室106内的压力改变由吸收辐射103的具体波长的辐射能量且由此改变温度的气体导致。气体中的所得温度波动对应于来自光源102的辐射103的调制频率。温度改变导致可利用声学传感器108检测的封闭室106内的压力改变。可以使用任何合适声学传感器或换能器。在一些实施例中，声学传感器108可以包括麦克风、压力换能器（例如压电换能器、静电换能器、基于流的换能器、光学换能器、电敏元件等）。声学传感器108可以能够检测与来自光源102的辐射的调制频率相对应的频率范围内的声学信号。在实施例中，声学传感器可以包括麦克风。在一些实施例中，声学传感器可以包括压电材料。
声学传感器108可以被定位成检测封闭室106内的压力改变。在一些实施例中，声学传感器108可以处于与封闭室106分离的部件中且可以通过孔或其他开口而流体耦合到封闭室106。声学传感器108、孔以及封闭室106的内部的组合可以形成基本上密封的封闭室或单元。在一些实施例中，可以在封闭室106的内部与声学传感器108之间设置柔性可渗透膜，以允许封闭室106与声学传感器108之间压力信号的透射，同时防止一种或多种样本气体直接接触声学传感器108。
尽管在图1中被示作在分离的室中具有声学传感器108，但声学传感器108可以被直接放置在封闭室106内和/或形成封闭室106的壁的部分。可以使用信号线以在声学传感器108与处理器100、存储器112和电源114之间提供连接。
在一些实施例中，多个声学传感器可以与光声传感器100相关联。例如，多个声学传感器108可以被定位以检测封闭室106内的压力改变。多个声学传感器的使用可以提供在声学传感器失效的情况下的冗余度、通过使用组合信号分析进行的差错减少和/或跨单元的噪声消除。在一些实施例中，附加声学传感器108可以与光声传感器100相关联，以便检测环境和/或背景噪声。可以将环境噪声检测器与封闭室106密封开，以检测环境信号而不是在封闭单元106内生成的信号。所得环境和/或背景噪声可以用于校正来自对来自光声传感器100的信号进行检测的声学传感器108的输出信号，以计及噪声等。
在一些实施例中，可以将附加且可选的传感器与系统一起使用，以提供可在校正所检测到的信号时使用的环境数据。在一些实施例中，光声传感器100可以用于确定光路104中的目标组分的浓度值。本文使用术语“浓度值”以标示与光路104中的气体分子的数目相对应的所测量的信号。浓度值可以取决于光路104中的气体浓度，该气体浓度可以随环境温度和环境压力的改变而变化。例如，当光路包含大气气体时，光声传感器100的大致高度影响光路中的目标气体的压力。为了针对温度和压力变化而校正浓度值，还可以存在温度和/或压力传感器。温度和/或压力传感器可以与处理器110进行信号通信，并且所得的一个或多个所测量的值可以用于校正所计算的浓度值。可以将任何合适温度传感器（例如热电偶等）和/或压力传感器与系统一起使用。
在一些实施例中，可以使用诸如光电二极管之类的光传感器以确保光源102正在生成辐射。光电二极管被放置在光源102后面（例如，在具有入射在光电二极管上的光的位置中）、在光路104内、在封闭室106内和/或在封闭室106后面，以提供辐射103的存在的指示以及在一些实施例中提供辐射103的强度。光传感器可以提供安全性检验以确保存在辐射103，且还可以用于基于所检测到的强度来校正来自声学传感器108的输出值。
处理器110可以接收来自声学传感器108的信号并将其转换成响应，诸如光路104内的组分的浓度值。处理器110可以连同声学传感器108一起通过有线和/或无线连接与光源102进行信号通信。处理器110可以包括用于控制光源102的调制的电路以及用于接收和处理来自声学传感器108以及可选地来自温度传感器、压力传感器和/或一个或多个光电二极管的信号的电路。
在实施例中，处理器110可以包括微控制器。如本文所使用，术语“处理器”可以指代任何类型的计算电路，诸如但不限于微处理器、微控制器、复杂指令集计算（CISC）微处理器、精简指令集计算（RISC）微处理器、甚长指令字（VLIW）微处理器、图形处理器、数字信号处理器（DSP）或者任何其他类型的处理器或处理电路。
存储器112由处理器电路在操作期间使用，且可以包括随机存取存储器（RAM）、一个或多个硬件驱动器、和/或处置可移除介质的一个或多个驱动器。存储器112可以包括用于保留可在处理器110上执行的控制和/或处理程序的非瞬变存储器。
输出或显示设备116可以用于指示特定气体在光路104内的存在和相应浓度值。显示设备116可以包括任何合适输出设备，该合适输出设备包括视频终端、LED指示器、模拟计量器、打印机或其他外围设备。一般地，显示设备116可以指示就百万分之几（ppm）和/或部分压力而言特定气体的浓度测量结果。显示设备116还可以用于指示辐射103的调制频率。在一些实施例中，显示设备116可以用于在浓度值或水平高于阈值的情况下呈现警报或其他警告状况。
电源114可以将功率提供给光源102、声学传感器108、温度传感器、压力传感器、光电二极管、处理器110、存储器112和显示设备116。在实施例中，电源114可以包括电池，诸如可再充电锂离子电池。在可替换实施例中，电源116可以包括交流电（AC）适配器。
处理器110可以使用各种算法来变换信号，以标识光路104内的一种或多种气体和与那些气体中的每一种相对应的浓度。具体地，处理器110可以包含当在光路104中不存在气体时提供基本声学响应测量结果的文件。基本声学响应可以被视为较高响应水平。当在光路104中存在气体时，该气体可以沿在辐射谱中可用的频率范围内的一个或多个线进行吸收。该吸收可以过滤到达封闭室106的辐射信号。室内的样本气体的输出信号的减小可能产生于光路104中的气体的吸收。可以将封闭室106内的信号输出的减小的程度与光路中存在的目标气体的浓度进行相关，并且处理器110可以利用相关性，可选地连同环境压力和温度和/或辐射强度一起，以确定光路104中的目标气体的浓度值。
因此，本发明系统依赖于输出信号的减小以确定光路中目标气体的存在的增加。通过在低浓度值处提供高信噪比，浓度确定可以是有利的。相比于依赖于低浓度处的声学响应的系统，来自包括环境声学信号的各种源的噪声水平可以不与浓度确定显著地发生干扰。进一步地，光路104的长度可以被配置成提供期望的灵敏度水平，其中长的光路可以提供对较低浓度值的较高灵敏度。
光声传感器100可以用于检测环境中的气体。检测过程可以开始于：光源102产生可调制的辐射103并将辐射103传递通过光路104。光路104可以包括其浓度正在被测量的一种或多种目标气体。该一种或多种目标气体可以吸收辐射103的至少部分。例如，光路104中的目标气体可以以某些频率吸收辐射103。具有所吸收的能量的部分的剩余辐射103可以通过窗105传递到封闭室106。
剩余辐射103与封闭室106中的样本气体的交互可以导致与辐射103的调制频率相对应的封闭室106内的温度改变和对应压力改变。压力改变导致在封闭室106内生成声学信号，并且可以利用声学传感器108检测声学信号。声学信号可以在被发送到处理器110时被转换成响应。在实施例中，该响应可以包括光路104中的目标气体的浓度值。例如，处理器110然后可以用于在由声学传感器108产生的电信号上执行计算，这允许确定光路104中一种或多种气体的存在和浓度。在一些实施例中，可以在浓度值的确定中使用各种附加输入，包括温度输入、环境压力输入、辐射103的强度测量结果等等。
在实施例中，在封闭室106中可以单独地或与载气组合地存在单种样本气体。可选的载气可以不以与样本气体相同的频率进行吸收，或者可以基本上不吸收红外辐射。由此，载气可能不贡献于封闭室106内的声学响应。载气的使用可以允许对封闭室106内样本气体的浓度进行控制以基于输入辐射强度来产生期望声学响应。载气还可以用于控制封闭室106内的压力，这对于控制在封闭室106中存在的一种或多种样本气体的泄漏和部分压力而言可以是有用的。
单种样本气体的使用可以允许在光路104中检测相同气体的存在。例如，封闭室106中甲烷的使用可以用于基于在封闭室106内生成的所检测到的声学信号的减小来检测光路104中甲烷的存在。在该实施例中，封闭室内的样本气体可以允许确定光路104中相同气体的浓度值。
在一些实施例中，在封闭室106中可以存在单种气体或样本气体混合物，这可以用于产生对光路104中的气体混合物的归一化响应。一般地，基于内部接合和结构的类似性，各种气体可以具有类似的吸收特性。例如，诸如甲烷、乙烷、丙烷和丁烷之类的轻烃的混合物可以在存在于混合物中时展现出一些重叠吸收特性。可以使用被选择成具有与可存在于光路中的气体重叠的吸收范围的多种样本气体的混合物以提供气体的存在的总体指示符。
如本文所使用，“归一化响应”指代在不提供光路中的每一种气体的个体浓度的直接指示的情况下光路中的气体的水平的指示。归一化响应还可以包含封闭室106中的样本中不存在的气体的存在的指示。该类型的响应可以在若干领域中有用，该若干领域包括相对于爆炸极限、爆炸阈值、毒性阈值或其任何组合而确定一种或多种气体的存在。也可被称为可燃性极限的爆炸极限指代将燃烧的空气中的可燃混合物的浓度的范围。爆炸极限具有浓度上限（例如，爆炸上限）和浓度下限（例如，爆炸下限或LEL）二者。在该浓度范围外，可燃混合物将不会在空气中燃烧。可以对LEL进行监视以防止可燃气体的浓度累积并潜在地导致爆炸条件。针对LEL的精确阈值随管辖范围而变化，但LEL阈值一般表示在应当触发警报之前可允许的LEL的一小部分。
在实施例中，光声传感器100可以用于产生指示各种可燃混合物的LEL的归一化响应。可以选择不同样本气体以产生封闭室106中的声学响应，以便指示光路104中的可燃组分的总体浓度，而不专用于一种或多种可燃组分。气体或气体混合物的选择可以基于气体或气体混合物的将气体保持在操作温度范围（例如，具有低于约-40℃的沸点等）内、将辐射波长吸收保持在与感兴趣气体重叠的范围内（例如，吸收从约3.2μm到约3.6μm的波长中的辐射）的能力、气体或气体混合物的避免与潜在干扰化合物相对应的范围内的吸收（例如，避免约4.2μm与约4.35μm之间的CO2吸收）的能力和/或气体或气体混合物的相对毒性，以提供设备的安全处置和使用。在一些实施例中，气体或气体混合物的选择和/或浓度可以基于气体检测器的期望灵敏度和几何结构以及光路104的长度。
在一些实施例中，可以使用样本室中的气体混合物将光路中的可燃组分的浓度与LEL进行相关，该气体混合物包括甲烷、乙烯、乙烷、丙烷、二氟甲烷、氯氟甲烷、二氟一氯甲烷、三氟甲烷、丙烷、丙烯、聚四氟乙烯、五氟乙烷、三氯乙烯、1,1,1-三氟乙烷、甲基氟、环丙烷、其他烃气体或其任何组合。混合物可以包括任何合适混合物比率，该合适混合物比率包括基于室长度、单元长度、载气成分、样本气体成分等等的那些混合物比率。在实施例中，封闭室106中的样本气体可以包括以约4:1与约1:1之间的比率的甲烷和乙烷的混合物。在另一实施例中，封闭室106中的样本气体可以包括以约6:1与约1:1之间的比率的甲烷和乙烯的混合物。在又一实施例中，封闭室106中的样本气体可以包括以约3:1与约1:3之间的比率的甲烷和三氟甲烷的混合物。在再一实施例中，封闭室106中的样本气体可以包括具有约20%与约40%之间的浓度的甲烷和具有约10%与约30%之间的浓度的乙烷的混合物，其中平衡是惰性气体（例如，约30%甲烷和约18%乙烷的混合物，以供40 mm光路104使用）。在一些实施例中，封闭室106可以包括环丙烷（例如，100%环丙烷），以用于在检测溶剂的一种或多种组分时使用。在一些实施例中，封闭室106中的样本气体可以包括三氟甲烷和惰性气体的混合物。
样本气体混合物中的每一种对于相对于LEL阈值而确定光路104中的可燃气体的归一化响应而言可以是有用的。各种可燃气体可以包括但不限于乙醇、乙酸乙酯、甲苯、甲乙酮、异丙醇、丙酮、正己烷、正庚烷、含环己酮、丁醇、邻二甲苯、对二甲苯、甲醇、二甲醚、苯、乙酸丁酯、1-甲氧基-2-丙醇、乙二醇单甲基醚、甲基乙二醇、四氢呋喃、二甲基甲酰胺、乙酸丙酯、甲基异丁基酮、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、戊烷、C6+烃和其任何组合。
为了相对于适用的LEL阈值确定可燃气体的浓度，可以在封闭室106中使用如上所描述的气体混合物来在一个或多个可燃组分的气体浓度的范围内确定光声传感器100的输出。可以开发LEL百分比与光路中的可燃气体的浓度之间的相关性并将其与来自声学传感器108的输出声学信号一起使用，以相对于LEL确定可燃性水平。为了在光路中的可燃组分的宽范围内产生归一化响应而在封闭室106中对多种样本气体的使用表示相对于分别确定每一种气体浓度的需要的优势，且可以比过去的可燃性检测器更准确。
还已经示出封闭室106内样本气体混合物中的样本气体或多种气体的使用，以适用于其他归一化响应。例如，可以使用样本气体的混合物以确定对各种烃的暴露水平、相对于毒性阈值的暴露水平等等。正如本文列出的具体示例那样，可以测试和测量样本气体混合物与光路104内的期望气体（例如芳香烃、制冷剂、溶剂、一氧化碳、二氧化碳等）之间的相关性，并且然后可以将样本气体混合物与封闭室106一起使用以在光路104内的目标气体的范围内提供归一化响应。
在实施例中，可以在封闭室106内的样本气体混合物中使用样本气体或多种气体，以针对气体样本的发热值获得归一化响应。如本文使用的发热值指代燃料的能量含量，并表示由具体量的燃料的完全燃烧产生的热量的量的测量结果。在该实施例中，可以使用样本气体的混合物以确定例如传递通过管线的气体（例如天然气等）的发热值。现有气体计量使用容积计量，并且可以针对能量对客户开账单。然而，计量表仅趋向于测量容积，而天然气提供商监视和补偿天然气的不同方面（压力、温度和能量含量），这可能导致天然气的容积中包含的能量的改变。正如本文列出的其他示例那样，可以测试和测量光路104中的各种气体样本和样本气体混合物中的发热值之间的相关性，并且然后可以将样本气体混合物与封闭室106一起使用以在光路104内的气体的发热值的范围内提供归一化响应。由于可以期望包含相当大量的烃的天然气或其他气体可以吸收路径长度内的辐射，因此可以设置光路104的总体长度以虑及封闭单元中的适当输出信号强度。
在归一化响应确定中的每一个中，可以将所得归一化响应与阈值进行比较。例如，可以作为LEL的百分比而输出归一化可燃性极限。可以将所得输出与LEL阈值百分比进行比较，并且如果归一化响应超过阈值，则可以生成警报或警告。这可以允许监视可由大范围的气体导致的状况，这些气体中的任何一种或多种可以在任何给定时间处存在。因此，在多种样本气体情况下的光声传感器100可以针对这些类型的状况而简化监视过程。
在图2中示意性地图示了光声传感器200的另一实施例。图2的光声传感器200在许多方面中类似于图1的光声传感器100，并且为了简洁，将不会详细讨论类似部件。一般地，光声传感器200包括产生辐射103的光源102、光路104、第一封闭室206、与第一封闭室206的内部流体的第一声学传感器208、第二封闭室210、以及与第二封闭室210的内部流体连通的第二声学传感器212。光源102、光路104、处理器110、存储器112、电源114和显示设备116可以与关于图1描述的对应部件相同或类似。
图2中所示的光声传感器200与图1中所示的光声传感器100之间的主要区别是存在多个封闭室206、210，该多个封闭室206、210中的每一个分别具有关联的声学传感器208、212。每一个封闭室206、210和对应的声学传感器208、212可以与关于图1描述的声学传感器和封闭室相同或类似。在实施例中，封闭室206、210可以由如上所描述的透明材料构造。
多个封闭室206、210可以被布置在多个配置中。如图2中所示，第一封闭室206可以具有设置在第一壁中的第一窗105。第一窗105可以允许传递通过光路104的辐射传递到第一封闭室206中。第二窗205可以被设置在第一封闭室206的第二壁中，第二壁可以是第一封闭室206与第二封闭室210之间的公共壁。第二窗205可以密封地与第二壁啮合，以形成第一封闭室206与第二封闭室210之间的密封。形成这两个封闭室206、210的外壳可以是具有与第二窗205的内部划分物的集成外壳。每一个封闭室206、210的容积和形状可以是相同的或不同的。在实施例中，第二封闭室210可以具有与第一封闭室206不同的容积。
第一窗105和第二窗205可以由本文描述的材料中的任一种形成。在实施例中，第一窗105和第二窗205由相同材料形成且可以具有大致相同的厚度。为了允许辐射传递通过第一封闭室206并传递到第二封闭室210中，可以沿向光源102延伸的线将第一窗105和第二窗205基本上对准。在一些实施例中，第一窗105和第二窗205可以包括不同材料，并且一个或多个可选过滤器可以与第一窗105和/或第二窗205相关联。例如，第二窗205可以过滤辐射103，或者可替换地具有分离的过滤器，该分离的过滤器用于过滤传递通过第一封闭室206的辐射103以提供针对传递到第二封闭室210中的辐射103的不同辐射谱。
在实施例中，第一窗105和/或第二窗205中的一个或多个可以被形成为一个或多个透镜。例如，第一窗105可以被形成为会聚透镜，以收集辐射并使辐射会聚到第一封闭室206中。第二窗205可以包括会聚或发散透镜。例如，第二窗205可以包括发散透镜，以从传递通过第一窗105的会聚辐射产生成形束。可以使用成形窗的任何组合以在第一封闭室206和/或第二封闭室210中提供期望光束形状。
在实施例中，经镜像的表面可以存在于第一封闭室206和/或第二封闭室210中。在一些实施例中，可以利用镜或经镜像的表面替换窗105、205中的一个或多个，以将辐射103的至少部分反射回到相同封闭室或其他封闭室中。在一些实施例中，经镜像的表面还可以将辐射103的至少部分反射回到光源102或光源102附近的反射表面，如上更详细描述的那样。
尽管被示作共享公共窗205的两个封闭室206、210，但这两个封闭室206、210还可以是邻近于彼此而设置的分离封闭室。在该实施例中，第一封闭室206可以包括两个窗，这两个窗彼此相对且被对准以使得传递通过光路104的光可以传递到第一封闭室206中、通过内部且从相对侧上的封闭单元出去。第二封闭室210可以包括窗，该窗与第一封闭室206中的两个窗对准，使得传递通过第一封闭室206的辐射103可以传递到第二封闭室210中。可以串联地放置具有适当对准的窗的任何数目的分离封闭室，以允许辐射串联地传递通过封闭室。
多个封闭室206、210的使用可以提供光声传感器200的多种不同用途。例如，第二封闭室210可以用于保持参考气体和/或第二封闭室210可以用于保持用于检测光路104内的不同气体的第二样本气体。在实施例中，第一封闭室206可以保留参考气体并且第二封闭室210可以保持样本气体。
在实施例中，第二封闭室210可以用于保持参考气体。参考气体可以包括以与第一封闭室206内的样本气体不同的频率吸收辐射103的部分的气体。在一些实施例中，参考气体可以以与光路104内的期望气体不同的频率吸收辐射103。当辐射103传递到第二封闭室210中时，参考气体可以产生与辐射103的调制频率相对应的声学响应。可以基于第一封闭室206中存在的一种或多种样本气体以及光路104中存在的期望气体来选择合适的参考气体或参考气体混合物。在实施例中，参考气体可以包括一氧化二氮（例如，NO2）、二硼烷、其组合、或者可以以与除感兴趣气体外的频率产生声学响应的任何其他气体或气体组合。
可以不受光源102与第二封闭室210之间任何气体的存在影响的气体的使用可以提供可由第二声学传感器212检测到的参考声学信号。参考信号可以以若干方式使用。第一，参考信号可以提供辐射103正在由光源102产生的指示。在没有这种指示的情况下，光声传感器200可能提供关于目标气体的存在的假指示。
参考信号还可以用于提供针对在第一封闭室206中检测到的声学信号的校正。参考气体进行吸收的辐射103频率范围可能不在光源102与第二封闭室210之间被吸收或以其他方式过滤。由此，参考气体可能产生仅受对参考气体和第一封闭室206中的样本气体来说公共的辐射103的衰减影响的声学响应。例如，第一窗105和/或第二窗205的雾化、光源102的输出强度的减小、大气衰减子（诸如灰尘）等等可能导致到达第二封闭室210的辐射强度的减小。由于这些效应对第一封闭室206和第二封闭室210二者来说可能是公共的，因此参考信号可以用于补偿来自第一封闭室206的所检测到的信号，以便以改进的准确度产生响应。
在一些实施例中，该多个封闭室206、210二者均可以包括样本气体。第一封闭室206中的样本气体可以不同于第二封闭室210中的样本气体。使用均可包括一种或多种气体的两种不同样本的能力可以允许在光路104中检测不同目标气体。在实施例中，在这两个封闭室206、210中保留两种不同样本气体。当这两种样本气体的吸收特性不重叠或者仅在有限程度上重叠时，可以确定光路104中的对应目标气体的浓度值。
在实施例中，当在光路104中存在与第一样本气体相同或具有与第一样本气体类似的吸收特性的目标气体时，可以处理第一封闭室206中的声学响应的减小，以确定光路中目标气体的浓度值。类似地，当在光路104中存在与第二样本气体相同或具有与第二样本气体类似的吸收特性的第二目标气体时，可以处理第二封闭室206中的声学响应的减小，以确定光路104中第二目标气体的浓度值。当在光路中同时存在第一和第二目标气体二者时，可以使用第一封闭室206和第二封闭室210中的声学响应的减小以同时确定第一和第二目标气体的浓度值。这可以允许同时确定光路104中多种目标气体的个体浓度值。
在一些实施例中，可以使用多个封闭室206、210以提供一个或多个归一化响应连同具体目标气体的浓度值。在该实施例中，封闭室206、210之一可以包括样本气体的混合物以提供归一化响应，而另一封闭室可以包含样本气体以提供目标气体的个体浓度值。然后可以使用串联地组合多个封闭室206、210的能力以根据传感器的需要来提供各种输出响应。
尽管在图2中被图示为具有两个封闭室206、210，但任何数目的封闭室可以被串联地布置。例如，3个、4个、5个、6个或更多个封闭室可以被串联地布置，以使得能够检测一种或多种组分的浓度值、一个或多个归一化响应和/或参考信号的使用，以便确保传感器的操作和/或提供校正信号。
尽管在图2中被图示为串联地布置，但该多个封闭室206、210还可以被并联地布置。例如，可以对单元进行堆叠，使得单个光源102可以同时入射在该多个封闭室206、210的每一个单元上。剩余部件可以是相同的或类似的。并联布置可以允许具有重叠吸收线或范围的样本气体用于同时检测一种或多种目标气体。通过并联地布置封闭室206、210，由封闭室之一中的样本气体对辐射103的吸收不应当过滤第二封闭室210中的样本气体或防止第二封闭室210中的样本气体被用于检测吸收带上的信号。进一步地，在一些实施例中，可以既并联又串联地布置多个封闭室，其中多个并联行的封闭室具有也串联布置的封闭室。
图3示意性地图示了这种布置。在该实施例中，三个封闭室206、210、314可以被串联地布置。该实施例可以类似于图1和图2中图示的实施例，并且为了简洁，将不会描述类似元件。图3的光声传感器300与先前光声传感器（例如，传感器100和/或传感器200）之间的主要区别是存在第三封闭室314。如本文所描述，可以利用具有分离封闭室206、210、314的窗105、205、305的单个外壳形成这三个室，和/或封闭室206、210、314中的一个或多个可以是沿光路104布置的分离封闭室。窗105、205、305中的一个或多个可以包括如本文描述的透镜。声学传感器208、212、316可以用于检测相应封闭室206、210、314中的声学响应。
在图3中所示的实施例中，可以以关于图2中图示的两个封闭室描述的任一种方式使用第一封闭室206和/或第二封闭室210。第三封闭室314的添加可以进一步允许使用参考气体，以除了不同目标气体的两个浓度值、使用样本气体的混合物的两个归一化响应值或者浓度值和归一化响应值的组合外还提供参考信号。在一些实施例中，第三封闭室314可以用于进一步浓度值确定或归一化响应值确定。一个或多个附加封闭室的添加还可以提供附加响应。
参考图2和图3，光声传感器200、300可以用于检测光路104中的气体。检测过程可以通过将诸如红外辐射之类的经调制的辐射传递通过光路104而发生。在实施例中，辐射103可以包括宽谱红外辐射。取决于应用，光路104可以是开放的或围住的。光路104可以包括其存在正在被检测的一种或多种目标气体。当存在该一种或多种目标气体时，目标气体可以吸收光路104中的红外光的至少部分。随着吸收线减小，剩余辐射103可以包括具有辐射103的强度的谱。
然后可以将红外光传递通过第一窗105到第一封闭室206中。窗对红外光来说可以基本上透明，尽管可以使用可选过滤器以允许频率或波长的选择性范围传递到第一封闭室206中。第一封闭室206可以包括一种或多种气体的第一样本。剩余辐射103与第一样本的交互可以生成可由第一声学传感器208检测到的声学信号。声学信号可以是响应于由第一封闭室206中的样本气体对剩余辐射103的部分的吸收而生成的。所得吸收可以产生与传递通过光路104的辐射103的调制频率相对应的温度变化和对应压力变化。
未在光路104和第一封闭室206中吸收的辐射103然后可以从第一封闭室206传递出去且传递到第二封闭室210中。辐射103可以传递通过第一封闭室206与第二封闭室210之间的一个或多个窗，其中该窗可以是将这两个室彼此分离的公共窗。第二封闭室210可以包括一种或多种气体。剩余辐射103与第二封闭室210中的一种或多种气体的交互可以生成可由第二声学传感器212检测到的第二声学信号。第二声学信号可以是响应于由第二封闭室210中的一种或多种气体对剩余辐射103的部分的吸收而生成的。所得吸收可以产生与传递通过光路104的辐射103的调制频率相对应的温度变化和对应压力变化。
来自第一声学传感器208和第二声学传感器212的输出可以传递到处理器110。处理器110可以当在光路104中不存在目标气体时使用与基本水平响应的相关性或比较以确定声学信号的减小。声学信号的所得减小可以用于确定响应。可以应用于声学传感器输出的各种校正包括针对压力和温度的校正。
响应可以包括光路104中第一目标气体的浓度。当第一目标气体与第一封闭室206或第二封闭室210中的气体之一相同或者具有与第一封闭室206或第二封闭室210中的气体之一类似的吸收特性时，处理器110可以确定目标气体的浓度值。响应还可以包括光路104中第二目标气体的浓度值。当第二目标气体与第一封闭室206或第二封闭室210中的气体之一相同或者具有与第一封闭室206或第二封闭室210中的气体之一类似的吸收特性时，处理器110可以确定第二目标气体的浓度值，这可以与第一目标气体的浓度值的确定同时发生。
在实施例中，第二封闭室210中的一种或多种气体可以包括参考气体。参考气体可以具有与第一封闭室206中的样本不同的吸收特性，并且参考气体可以具有与被期望存在于光路104中的气体不同的吸收特性。由此，参考气体可以产生可以用于指示来自窗、过滤器中的材料的干扰或者产生辐射的光源的输出的减小的声学响应。然后可以基于来自第二封闭室中的参考气体的声学输出来校正响应。
示例
已经总体上描述了本公开，以下示例是作为本公开的特定实施例且为了演示其实践和优势而给出的。应当理解，该示例是作为说明而给出的，且不意图以任何方式限制说明书或权利要求。
为了演示如本文描述的光声传感器的使用，使用了灯丝灯泡作为源，该源在前面具有1000 nm宽过滤器以传递~3-4微米范围内的波长。源/过滤器组合被置于离开由两个堆叠封闭室组成的检测器大致40 mm处。“样本”封闭室包含了甲烷（大致30% v/v）和乙烷（大致18% v/v）的混合物，具有诸如氮气之类的惰性气体的平衡。“参考”封闭室包含了（一氧化二氮），其具有处于3-4微米波长带内但处于要测量的烃的吸收带外的吸收横截面。具有路径长度（灯泡与封闭室之间）内包含的4.4%甲烷（50% LEL UK）的响应的偏差产生了约15%的所测量的偏差响应（对照N2基线——无气体）。
所期望的是，其他烃气体将提供类似的偏差响应。结果演示了使用可提供针对多种烃的归一化响应的气体混合物的单个校准的能力。
本文已经描述了一些系统和方法，各种实施例可以包括但不限于：
在第一实施例中，一种非色散光声气体检测器包括：红外光源；第一封闭室，其中所述第一封闭室包括多个窗，所述多个窗对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明；第二封闭室，其中所述第二封闭室包括至少一个窗，所述至少一个窗对来自所述红外光源的红外光来说基本上透明，其中所述第一封闭室与所述第二封闭室串联地布置在所述红外光源与所述第二封闭室之间；第一声学传感器，与所述第一封闭室流体连通；以及第二声学传感器，与所述第二封闭室流体连通。
第二实施例可以包括第一实施例的非色散光声气体检测器，其中所述第一封闭室包括至少一种样本气体。
第三实施例可以包括第二实施例的非色散光声气体检测器，其中所述第二封闭室包括至少一种参考气体。
第四实施例可以包括第三实施例的非色散光声气体检测器，其中所述至少一种参考气体吸收红外谱的与所述至少一种样本气体相比不同的部分中的红外光。
第五实施例可以包括第一至第四实施例中任一项的非色散光声气体检测器，进一步包括设置在所述红外光源与所述第一封闭室之间的光路。
第六实施例可以包括第五实施例的非色散光声气体检测器，进一步包括设置在所述红外光源与封闭室之间的样本室，其中所述光路被设置经过所述样本室。
第七实施例可以包括第五或第六实施例的非色散光声气体检测器，进一步包括与所述第一声学传感器和所述第二声学传感器进行信号通信的处理器，其中所述处理器被配置成将来自所述第一声学传感器和所述第二声学传感器的信号输出转换成所述光路中至少一种气体的浓度。
第八实施例可以包括第七实施例的非色散光声气体检测器，其中所述光路中的所述至少一种气体与所述至少一种样本气体相同。
第九实施例可以包括第七实施例的非色散光声气体检测器，其中所述光路中的所述至少一种气体与所述至少一种参考气体不同。
第十实施例可以包括第一至第九实施例中任一项的非色散光声气体检测器，其中所述第二封闭室的至少一个窗是所述第一封闭室的多个窗之一。
第十一实施例可以包括第一至第十实施例中任一项的非色散光声气体检测器，其中所述第一封闭室或所述第二封闭室中的至少一个由透明材料形成。
第十二实施例可以包括第十一实施例的非色散光声气体检测器，其中所述透明材料对来自所述红外光源的红外光来说基本上是非吸收性的。
第十三实施例可以包括第十一或第十二实施例的非色散光声气体检测器，其中所述透明材料包括玻璃。
第十四实施例可以包括第一至第十三实施例中任一项的非色散光声气体检测器，其中所述第一封闭室的多个窗中的至少一个窗由下述材料形成、具有下述厚度或者这二者：所述材料或所述厚度被配置成过滤来自所述红外光源的红外光的至少部分。
在第十五实施例中，一种非色散光声气体检测器包括：红外光源；多个封闭室，关于来自所述红外光源的光路串联地布置，其中所述多个封闭室包括经过所述多个封闭室的透明路径；以及多个声学传感器，其中所述多个声学传感器中的每一个声学传感器与所述多个封闭室中的对应封闭室相关联，并且其中每一个声学传感器与所述对应封闭室流体连通，其中所述多个封闭室中的第一封闭室包括第一样本气体，并且其中所述多个封闭室中的第二封闭室包括第二样本气体，其中所述第二样本气体具有与所述第一样本气体不同的成分。
第十六实施例可以包括第十五实施例的非色散光声气体检测器，其中所述多个封闭室中的第三封闭室包括参考气体，其中所述参考气体吸收与所述第一样本气体或所述第二样本气体不同的波长范围内的红外光。
第十七实施例可以包括第十五或第十六实施例的非色散光声气体检测器，进一步包括与所述多个声学传感器进行信号通信的处理器，其中所述处理器被配置成将来自所述多个声学传感器的信号输出转换成所述光路中多种气体的浓度。
第十八实施例可以包括第十七实施例的非色散光声气体检测器，其中所述光路中的至少一种气体与所述第一样本气体或所述第二样本气体相同。
第十九实施例可以包括第十七或第十八实施例的非色散光声气体检测器，其中多种可检测气体处于所述光路中，其中所述多种可检测气体中的第一可检测气体与所述第一样本气体相同，其中所述多种可检测气体中的第二可检测气体与所述第二样本气体相同，并且其中所述处理器被配置成将来自所述多个声学传感器的多个输出信号转换成所述第一可检测气体的浓度和所述第二可检测气体的浓度。
第二十实施例可以包括第十五至第二十实施例中任一项的非色散光声气体检测器，其中所述多个封闭室包括多个窗，其中所述多个窗中的至少一个窗是在多个封闭单元中的至少两个封闭单元之间共享的。
在第二十一实施例中，一种检测气体的方法包括：通过光路传递红外光，其中所述光路包括一种或多种目标气体；由所述一种或多种目标气体吸收所述光路中所述红外光的至少部分；在通过所述光路传递所述红外光之后将所述红外光传递到第一封闭室中，其中所述第一封闭室包括对所述红外光来说基本上透明的多个窗，并且其中所述第一封闭室包括第一气体样本；响应于将所述红外光传递到所述第一封闭室中，在所述第一封闭室内生成第一声学信号；将所述红外光传递通过所述第一封闭室到第二封闭室中，其中所述第二封闭室包括对所述红外光来说基本上透明的至少一个窗；响应于将所述红外光传递到所述第二封闭室中，在所述第二封闭室内生成第二声学信号；检测所述第一声学信号和所述第二声学信号；以及将所述第一声学信号和所述第二声学信号转换成响应。
第二十二实施例可以包括第二十一实施例的方法，其中所述响应包括所述光路中第一气体的浓度。
第二十三实施例可以包括第二十二实施例的方法，其中所述第二封闭室包括第二气体样本，并且其中所述响应包括所述光路中第二气体的浓度。
第二十四实施例可以包括第二十一至第二十三实施例中任一项的方法，其中所述第二封闭室包括参考气体，并且其中所述响应包括指示所述红外光的存在的信号。
第二十五实施例可以包括第二十四实施例的方法，其中所述响应进一步包括经过所述多个窗或所述至少一个窗的红外光的衰减的指示。
第二十六实施例可以包括第二十五实施例的方法，其中所述响应进一步包括来自红外光源的红外光的输出功率的指示。
第二十七实施例可以包括第二十五实施例的方法，其中所述参考气体不存在于所述光路中。
第二十八实施例可以包括第二十一至第二十七实施例中任一项的方法，其中所述第一封闭室或所述第二封闭室中的至少一个由透明材料形成。
第二十九实施例可以包括第二十一至第二十八实施例中任一项的方法，进一步包括：确定所述第二声学信号低于阈值；以及生成指示气体检测器未在工作的差错信号。
尽管上面已经示出和描述了根据本文公开的原理的各种实施例，但本领域技术人员可以在不脱离本公开的精神和教导的情况下对其作出修改。本文描述的实施例仅是代表性的且不意图进行限制。许多变型、组合和修改是可能的且处于本公开的范围内。产生于组合、整合和/或省略（一个或多个）实施例的特征的可替换实施例也处于本公开的范围内。相应地，保护范围不受上面阐述的描述限制，而是由所附权利要求限定，该范围包括权利要求的主题的所有等同物。每一个权利要求作为进一步公开内容而被并入到说明书中，并且权利要求是（一个或多个）本发明的（一个或多个）实施例。此外，上面描述的任何优势和特征可以涉及具体实施例，但不应将这种所发布的权利要求的应用限于完成任何或所有上面优势或具有任何或所有上面特征的过程和结构。
附加地，提供了本文使用的章节标题以与37 C.F.R 1.77下的建议一致或者以其他方式提供组织提示。这些标题不应限制或表征在可从本公开发布的任何权利要求中阐述的（一个或多个）发明。具体地且作为示例，尽管标题可能指代“技术领域”，但权利要求不应当受在该标题下选择的语言限制以描述所谓的领域。进一步地，“背景技术”中的技术的描述不应被理解为某种技术是对本公开中的任何（一个或多个）发明来说的现有技术的承认。“发明内容”也不应被视为所发布的权利要求中阐述的（一个或多个）发明的限制性表征。此外，本公开中对单数形式的“发明”的任何引用不应当用于争辩在本公开中仅存在单个新颖点。可以根据从本公开发布的多个权利要求的限制来阐述多个发明，并且这种权利要求相应地限定（一个或多个）发明以及由此保护的其等同物。在所有实例中，权利要求的范围应当根据本公开、按照其自身条件而考虑，而不应当受本文阐述的标题约束。
诸如包含、包括和具有之类的较宽术语的使用应当被理解成提供针对诸如由……构成、基本上由……构成和基本上由……组成之类的较窄术语的支持。术语“可选地”、“可以”、“可能”、“可能地”等等关于实施例的任何要素的使用意味着：该要素不是必需的，或者可替换地，该要素是必需的，全部两个可替换方案都处于（一个或多个）实施例的范围内。而且，对示例的引用仅出于说明目的而提供，而不意图是排他的。
尽管已经在本公开中提供了若干实施例，但应当理解，在不脱离本公开的精神或范围的情况下，所公开的系统和方法可以以许多其他具体形式体现。本发明示例应被视为说明性的而非限制性的，并且意图不应被限于本文给出的细节。例如，可以在另一系统中组合或整合各种元件或部件，或者可以省略或不实现某些特征。
而且，在不脱离本公开的范围的情况下，可以将在各种实施例中被描述和说明为分立或分离的技术、系统、子系统和方法与其他系统、模块、技术或方法进行组合或整合。被示出或讨论为彼此直接耦合或通信的其他项目可以通过某个接口、设备或中间部件间接耦合或通信，不论是电气地、机械地还是以其他方式。改变、替代和更改的其他示例可由本领域技术人员查明且可以在不脱离本文公开的精神和范围的情况下作出。

Claims (15)

1.一种非色散光声气体检测器（200、300），包括：
红外光源（102）；
第一封闭室（106、206、210），其中所述第一封闭室包括多个窗（105、205），所述多个窗（105、205）对来自所述红外光源（102）的红外光来说基本上透明；
第二封闭室（210、314），其中所述第二封闭室包括至少一个窗（205、305），所述至少一个窗（205、305）对来自所述红外光源（102）的红外光来说基本上透明，其中所述第一封闭室与所述第二封闭室串联地布置在所述红外光源与所述第二封闭室之间；
第一声学传感器（208、212），与所述第一封闭室（106、206、210）流体连通；以及
第二声学传感器（212、316），与所述第二封闭室（210、314）流体连通。
2.如权利要求1所述的非色散光声气体检测器（200、300），其中所述第一封闭室（106、206、210）包括至少一种样本气体，并且其中所述第二封闭室（210、314）包括至少一种参考气体。
3.如权利要求2所述的非色散光声气体检测器（200、300），其中所述至少一种参考气体吸收红外谱的与所述至少一种样本气体相比不同的部分中的红外光。
4.如权利要求1所述的非色散光声气体检测器（200、300），进一步包括设置在所述红外光源（102）与所述第一封闭室（106、206、210）之间的样本室，其中所述光路被设置经过所述样本室。
5.如权利要求1所述的非色散光声气体检测器（200、300），进一步包括与所述第一声学传感器（208、212）和所述第二声学传感器（212、316）进行信号通信的处理器（110），其中所述处理器（110）被配置成将来自所述第一声学传感器（208、212）和所述第二声学传感器（212、316）的信号输出转换成所述光路中至少一种气体的浓度。
6.如权利要求5所述的非色散光声气体检测器（200、300），其中所述光路中的所述至少一种气体与所述至少一种样本气体相同。
7.如权利要求1所述的非色散光声气体检测器（200、300），其中所述第二封闭室的至少一个窗（205）是所述第一封闭室（106、206、210）的多个窗之一（205）。
8.如权利要求1所述的非色散光声气体检测器（200、300），其中所述第一封闭室（106、206、210）或所述第二封闭室（210、314）中的至少一个由透明材料形成。
9.如权利要求1所述的非色散光声气体检测器（200、300），其中所述第一封闭室（106、206、210）的多个窗（105、205）中的至少一个窗由下述材料形成、具有下述厚度或者这二者：所述材料或所述厚度被配置成过滤来自所述红外光源的红外光的至少部分。
10.一种检测气体的方法，包括：
通过光路传递红外光，其中所述光路包括一种或多种目标气体；
由所述一种或多种目标气体吸收所述光路中所述红外光的至少部分；
在通过所述光路传递所述红外光之后将所述红外光传递到第一封闭室（106、206、210）中，其中所述第一封闭室（106、206、210）包括对所述红外光来说基本上透明的多个窗（105、205），并且其中所述第一封闭室（106、206、210）包括第一气体样本；
响应于将所述红外光传递到所述第一封闭室（106、206、210）中，在所述第一封闭室（106、206、210）内生成第一声学信号；
将所述红外光传递通过所述第一封闭室（106、206、210）到第二封闭室（210、314）中，其中所述第二封闭室（210、314）包括对所述红外光来说基本上透明的至少一个窗（205、305）；
响应于将所述红外光传递到所述第二封闭室（210、314）中，在所述第二封闭室（210、314）内生成第二声学信号；
检测所述第一声学信号和所述第二声学信号；以及
将所述第一声学信号和所述第二声学信号转换成响应。
11.如权利要求10所述的方法，其中所述响应包括所述光路中第一气体的浓度。
12.如权利要求11所述的方法，其中所述第二封闭室（210、314）包括第二气体样本，并且其中所述响应包括所述光路中第二气体的浓度。
13.如权利要求10所述的方法，其中所述第二封闭室（210、314）包括参考气体，并且其中所述响应包括指示所述红外光的存在的信号。
14.如权利要求13所述的方法，其中所述响应进一步包括下述至少一项：经过所述多个窗或所述至少一个窗的红外光的衰减的指示；或者来自红外光源的红外光的输出功率的指示。
15.如权利要求10所述的方法，进一步包括：
确定所述第二声学信号低于阈值；以及
生成指示气体检测器未在工作的差错信号。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10393591B2 (en) 2015-10-09 2019-08-27 Honeywell International Inc. Electromagnetic radiation detector using a planar Golay cell
US10458900B2 (en) 2015-09-10 2019-10-29 Honeywell International Inc. Gas detector with normalized response and improved sensitivity
CN111176031A (zh) * 2018-11-12 2020-05-19 英飞凌科技股份有限公司 用于多气体感测的光声光谱设备的堆叠滤光器装置以及光声光谱设备
US10883875B2 (en) 2015-03-05 2021-01-05 Honeywell International Inc. Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10352910B2 (en) * 2016-08-31 2019-07-16 Infineon Technologies Ag Gas analyzer
US10178178B2 (en) * 2016-09-21 2019-01-08 Semiconductor Components Industries, Llc Low power sensor communication using two or fewer wires
US10620165B2 (en) * 2016-12-29 2020-04-14 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas analyzer for determining species concentrations using intensity modulation
FR3067812B1 (fr) * 2017-06-16 2021-08-27 Commissariat A L Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Dispositif photoacoustique de detection de gaz et procede de fabrication d’un tel dispositif
US11009455B2 (en) * 2018-07-31 2021-05-18 Applied Materials, Inc. Precursor delivery system and methods related thereto
US11473976B2 (en) * 2018-10-08 2022-10-18 Mayo Foundation For Medical Education And Research Spectrophotometer system and enhanced optical characterization of biological samples using same
US11143626B2 (en) * 2019-01-11 2021-10-12 Infineon Technologies Ag Photo-acoustic gas sensor with optimal reference path length
WO2020157022A1 (en) * 2019-01-28 2020-08-06 Universiteit Gent Photoacoustic transducer
US20220146459A1 (en) * 2019-03-06 2022-05-12 Will Johnson Gas detection system
CN110618102A (zh) * 2019-09-25 2019-12-27 成都太阳神鸟智能控制有限公司 一种基于色散光谱分析与人工智能的气体检测方法及装置
JP7114832B2 (ja) * 2019-10-29 2022-08-09 ダイキン工業株式会社 ガス検出装置および漏洩ガス検出システム
DE102019134267A1 (de) 2019-12-13 2021-06-17 Infineon Technologies Ag Photoakustische Detektoreinheit, photoakustischer Sensor und zugehörige Herstellungsverfahren
JP7281397B2 (ja) * 2019-12-27 2023-05-25 株式会社堀場製作所 ガス封入モジュール及びガス分析計
KR102426648B1 (ko) * 2020-10-20 2022-07-29 한국과학기술연구원 집적형 광음향 가스 센서 및 이의 제조방법
CN113933250B (zh) * 2021-09-22 2024-07-30 苏州大学 气体检测装置、气体检测方法和计算机设备
US20240110878A1 (en) * 2022-10-04 2024-04-04 Chevron U.S.A. Inc. Integrated fluid leak detection using multiple sensors

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2924713A (en) * 1956-01-18 1960-02-09 Beckman Instruments Inc Instruments
US3770974A (en) * 1972-06-29 1973-11-06 Mine Safety Appliances Co Non-dispersive infrared fluid analyzer with compensation for absorptive and mechanical effects of ambient conditions
US5559333A (en) * 1993-11-29 1996-09-24 Shimadzu Corporation Apparatus of non-dispersive infrared analyzer
US20040036023A1 (en) * 2000-02-04 2004-02-26 Hodgkinson Elizabeth Jane Method for determining the safety of gas mixtures
DE102007020596A1 (de) * 2007-05-02 2008-11-06 Siemens Ag Detektoranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator
US20110032514A1 (en) * 2008-02-15 2011-02-10 Siemens Ag Non-Dispersive Infrared Gas Analyzer
EP2402735A2 (en) * 2010-06-30 2012-01-04 Honeywell International, Inc. Enhanced cavity for a photoacoustic gas sensor
DE102012217479B3 (de) * 2012-09-26 2013-10-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Gassensor und Verfahren zu dessen Verwendung
US20150101395A1 (en) * 2013-10-14 2015-04-16 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas sensor device and a method for analyzing gas

Family Cites Families (90)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2424976A (en) 1939-06-12 1947-08-05 Marcel J E Golay System for detecting sources of radiant energy
GB710867A (en) 1951-04-06 1954-06-23 Edgar Frank Daly Improvements in or relating to methods and means for testing a translucent fluid substance
DE2926662A1 (de) 1979-07-02 1981-01-22 Siemens Ag Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator
US4436428A (en) 1979-07-06 1984-03-13 Fuji Electric Co., Ltd. Photoacoustic spectrometer
US4370553A (en) * 1980-07-02 1983-01-25 Sensors, Inc. Contaminated sample gas analyzer and gas cell therefor
EP0277662B1 (de) 1981-02-25 1991-09-18 OEHLER, Oscar, Dr. Detektionsvorrichtung für den optisch-spektroskopischen Nachweis von Gasen
CA1179861A (en) 1981-04-13 1984-12-27 Australian Atomic Energy Commission Method and apparatus for measuring the concentration of gaseous hydrogen fluoride
US4492862A (en) 1981-08-07 1985-01-08 Mathematical Sciences Northwest, Inc. Method and apparatus for analyzing components of hydrocarbon gases recovered from oil, natural gas and coal drilling operations
US4738266A (en) 1983-05-09 1988-04-19 Thatcher John B Apnoea monitor
US4740086A (en) 1984-02-07 1988-04-26 Oskar Oehler Apparatus for the photoacoustic detection of gases
JPS61133841A (ja) 1984-12-04 1986-06-21 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd 赤外線分析計
DE3508027A1 (de) 1985-03-07 1986-09-11 Franz-Rudolf Dipl.-Phys. Dr. 5106 Roetgen Block Verfahren und einrichtung zum ermitteln der konzentration oder der massenanteile bestimmter gase in gasmischungen
IL77494A (en) 1986-01-01 1989-12-15 Irad Technologies Ltd Gas analyzer
US4736103A (en) 1986-03-07 1988-04-05 Westinghouse Electric Corp. Spectrometer test gas chamber
US4903248A (en) 1988-03-09 1990-02-20 Mine Safety Appliances Company Photo-acoustic detector
US4891629A (en) 1988-05-16 1990-01-02 General Electric Company Binary gas analyzer instrument and analysis method
US5055690A (en) 1989-02-10 1991-10-08 Gas Research Institute Method of eliminating water vapor interference in detecting gases
US5468961A (en) 1991-10-08 1995-11-21 Fisher & Paykel Limited Infrared gas analyser and humidity sensor
JPH05172627A (ja) 1991-12-24 1993-07-09 Jasco Corp 気体膨脹型エネルギー測定装置
JPH05172628A (ja) 1991-12-24 1993-07-09 Jasco Corp 気体膨脹型エネルギー測定装置
US5394934A (en) 1994-04-15 1995-03-07 American Standard Inc. Indoor air quality sensor and method
DE69431873T2 (de) 1994-06-04 2003-11-13 Orbisphere Laboratories Neuchatel S.A., Neuchatel Photoakustisches Analysegerät
US5498873A (en) 1994-11-15 1996-03-12 Tif Instruments, Inc. Refrigerant impurity analyzer
JPH08184501A (ja) 1994-12-30 1996-07-16 Horiba Ltd マイクロゴーレイセル
NO300078B1 (no) 1995-02-10 1997-04-01 Sinvent As Fotoakustisk gassdetektor
NO963924A (no) 1996-09-19 1997-12-15 Nyfotek As Foto-akustisk infrarød detektor
US5869749A (en) 1997-04-30 1999-02-09 Honeywell Inc. Micromachined integrated opto-flow gas/liquid sensor
US5892140A (en) 1997-04-30 1999-04-06 Honeywell Inc. Micromachined inferential opto-thermal gas sensor
JPH10332579A (ja) 1997-05-27 1998-12-18 Jasco Corp ゴレイセル並びにそれを用いた１３ｃ計測装置
US6067840A (en) 1997-08-04 2000-05-30 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for infrared sensing of gas
JPH1172428A (ja) 1997-08-28 1999-03-16 Jasco Corp ニューマッチク・ゴレイセル
DE19841491A1 (de) 1998-09-10 1999-09-16 Siemens Ag Opto-pneumatischer Detektor für ein nichtdispersives Infrarot-Gasanalysegerät
US6154307A (en) 1998-09-18 2000-11-28 United Technologies Corporation Method and apparatus to diffract multiple beams
US6628396B1 (en) 1999-06-11 2003-09-30 Mamac Systems, Inc. Photo expansion gas detector
JP2003502661A (ja) 1999-06-17 2003-01-21 サイラノ・サイエンスィズ・インコーポレーテッド 多重検出システムおよび装置
US6552792B1 (en) 1999-10-13 2003-04-22 Southwest Sciences Incorporated Wavelength modulated photoacoustic spectrometer
CA2323675A1 (en) 1999-10-21 2001-04-21 Vincent Y. Chow Closed cell gas detector
US7034943B1 (en) 2000-03-03 2006-04-25 Aritron Intrumente AG Gas sensors
US6469303B1 (en) 2000-05-17 2002-10-22 Rae Systems, Inc. Non-dispersive infrared gas sensor
JP2002328116A (ja) 2001-04-27 2002-11-15 Yamatake Corp 光音響ガスセンサ
JP3771849B2 (ja) 2001-09-27 2006-04-26 株式会社堀場製作所 赤外線ガス分析方法および装置
FI118548B (fi) 2002-09-30 2007-12-14 Noveltech Solutions Ltd Fotoakustinen detektori
FI116859B (fi) 2002-09-30 2006-03-15 Noveltech Solutions Ltd Fotoakustinen detektori
US6853449B2 (en) 2003-01-28 2005-02-08 Honeywell International Inc. Programmable diffraction grating sensor
US7045784B1 (en) 2003-12-18 2006-05-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method and apparatus for micro-Golay cell infrared detectors
US7797983B2 (en) 2004-03-29 2010-09-21 Gasera Ltd. Method and system for detecting one or more gases or gas mixtures and/or for measuring the concentration of one or more gases or gas mixtures
JP2005292009A (ja) 2004-04-01 2005-10-20 Denso Corp 赤外線式ガス検出器及び検出方法
US7423258B2 (en) 2005-02-04 2008-09-09 Baker Hughes Incorporated Method and apparatus for analyzing a downhole fluid using a thermal detector
US7214939B1 (en) 2005-11-21 2007-05-08 Airware, Inc. Ultra low power NDIR carbon dioxide sensor fire detector
JP4446195B2 (ja) 2005-12-19 2010-04-07 富士電機ホールディングス株式会社 レーザ光出力部、レーザ光入力部およびレーザ式ガス分析計
US20080035848A1 (en) 2005-12-23 2008-02-14 Wong Jacob Y Ultra-high sensitivity NDIR gas sensors
JP5028080B2 (ja) 2006-12-15 2012-09-19 京セラメディカル株式会社 低摩耗性摺動部材及びそれを用いた人工関節
CN1928531A (zh) * 2006-09-12 2007-03-14 西南科技大学 光声光谱法检测甲烷气体浓度的方法
EP1936355A1 (en) 2006-12-18 2008-06-25 ETH Zürich Differential photoacoustic detection of gases
US20080277586A1 (en) 2007-05-07 2008-11-13 Dennis Cardinale Low-Power Fast Infrared Gas Sensor, Hand Held Gas Leak Detector, and Gas Monitor Utilizing Absorptive-Photo-Acoustic Detection
NO327678B1 (no) 2007-07-17 2009-09-07 Sintef Ikt Detektorsystem og fremgangsmåte for å oppdage eller bestemme en spesifikk gass i en gassblanding
EP2060891A1 (en) 2007-11-12 2009-05-20 Technische Universiteit Delft Infrared sensor comprising a Golay cell
DE102008018504A1 (de) 2008-04-10 2009-10-15 Forschungszentrum Jülich GmbH Sensoranordnung
JP2009257808A (ja) 2008-04-14 2009-11-05 Yokogawa Electric Corp 赤外線ガス分析計
US7895880B2 (en) 2008-04-17 2011-03-01 Honeywell International Inc. Photoacoustic cell incorporating a quantum dot substrate
US7958771B2 (en) 2008-04-23 2011-06-14 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor
US7663756B2 (en) 2008-07-21 2010-02-16 Honeywell International Inc Cavity enhanced photo acoustic gas sensor
US7808640B2 (en) 2008-07-30 2010-10-05 Honeywell International Inc. Photoacoustic spectroscopy system
US7961313B2 (en) 2008-08-11 2011-06-14 Ut-Battelle, Llc Photoacoustic point spectroscopy
US8085403B2 (en) 2008-08-21 2011-12-27 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor
BRPI0916005B1 (pt) * 2008-11-18 2019-11-12 Koninl Philips Electronics Nv espectrômetro que compreende uma roda de filtros
JP5172627B2 (ja) 2008-11-26 2013-03-27 花王株式会社 ポリオキシアルキレン付加物の製造方法
JP5172628B2 (ja) 2008-11-27 2013-03-27 日本電産サンキョー株式会社 カード発行機
US8312758B2 (en) 2008-12-11 2012-11-20 Honeywell International Inc. Apparatus and method for using the speed of sound in photoacoustic gas sensor measurements
US8695402B2 (en) 2010-06-03 2014-04-15 Honeywell International Inc. Integrated IR source and acoustic detector for photoacoustic gas sensor
CN101949821A (zh) * 2010-08-12 2011-01-19 重庆大学 用于气体光声光谱监测的纵向共振光声池
US8415626B1 (en) 2010-08-25 2013-04-09 Airware, Inc. Intrinsically safe NDIR gas sensor in a can
US20120055232A1 (en) 2010-09-07 2012-03-08 Honeywell International Inc. Photoacoustic Gas Detector with Integrated Signal Processing
US8941062B2 (en) 2010-11-16 2015-01-27 1087 Systems, Inc. System for identifying and sorting living cells
US8746038B2 (en) 2011-04-01 2014-06-10 Honeywell International Inc. Photoacoustic detector with acoustic and vibration noise compensation
US8584508B2 (en) 2011-04-26 2013-11-19 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor with adaptive operating frequency
US8701465B2 (en) 2011-04-28 2014-04-22 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor diffusion membrane attachment structure
US9086364B2 (en) 2011-04-28 2015-07-21 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor with baseline and span correction
US8661874B2 (en) 2011-04-28 2014-03-04 Honeywell International Inc. Photoacoustic detector with background signal correction
US8939006B2 (en) 2011-05-04 2015-01-27 Honeywell International Inc. Photoacoustic detector with long term drift compensation
US8689607B2 (en) 2011-05-04 2014-04-08 Honeywell International Inc. Apparatus and method of photoacoustic sensor signal acquisition
US8594507B2 (en) 2011-06-16 2013-11-26 Honeywell International Inc. Method and apparatus for measuring gas concentrations
US9243998B2 (en) 2011-07-07 2016-01-26 Honeywell International Inc. Resonant photo acoustic system
US20130008229A1 (en) 2011-07-07 2013-01-10 Honeywell International Inc. Resonant photo acoustic system
US8806916B2 (en) 2011-11-09 2014-08-19 Honeywell International Inc. Photo-acoustic, multi-band, multi-cavity gas detection system
US8848191B2 (en) 2012-03-14 2014-09-30 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor with mirror
EP3265766B1 (en) 2015-03-05 2023-09-27 Honeywell International Inc. Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks
EP3347698A1 (en) 2015-09-10 2018-07-18 Honeywell International Inc. Gas detector with normalized response and improved sensitivity
US9606049B1 (en) 2015-10-09 2017-03-28 Honeywell International Inc. Gas detector using a golay cell
US10393591B2 (en) 2015-10-09 2019-08-27 Honeywell International Inc. Electromagnetic radiation detector using a planar Golay cell

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2924713A (en) * 1956-01-18 1960-02-09 Beckman Instruments Inc Instruments
US3770974A (en) * 1972-06-29 1973-11-06 Mine Safety Appliances Co Non-dispersive infrared fluid analyzer with compensation for absorptive and mechanical effects of ambient conditions
US5559333A (en) * 1993-11-29 1996-09-24 Shimadzu Corporation Apparatus of non-dispersive infrared analyzer
US20040036023A1 (en) * 2000-02-04 2004-02-26 Hodgkinson Elizabeth Jane Method for determining the safety of gas mixtures
DE102007020596A1 (de) * 2007-05-02 2008-11-06 Siemens Ag Detektoranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator
US20110032514A1 (en) * 2008-02-15 2011-02-10 Siemens Ag Non-Dispersive Infrared Gas Analyzer
EP2402735A2 (en) * 2010-06-30 2012-01-04 Honeywell International, Inc. Enhanced cavity for a photoacoustic gas sensor
DE102012217479B3 (de) * 2012-09-26 2013-10-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Gassensor und Verfahren zu dessen Verwendung
US20150101395A1 (en) * 2013-10-14 2015-04-16 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas sensor device and a method for analyzing gas

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10883875B2 (en) 2015-03-05 2021-01-05 Honeywell International Inc. Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks
US10458900B2 (en) 2015-09-10 2019-10-29 Honeywell International Inc. Gas detector with normalized response and improved sensitivity
US10393591B2 (en) 2015-10-09 2019-08-27 Honeywell International Inc. Electromagnetic radiation detector using a planar Golay cell
CN111176031A (zh) * 2018-11-12 2020-05-19 英飞凌科技股份有限公司 用于多气体感测的光声光谱设备的堆叠滤光器装置以及光声光谱设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN108351294A (zh) 2018-07-31
WO2017044435A1 (en) 2017-03-16
EP3347698A1 (en) 2018-07-18
US20180284012A1 (en) 2018-10-04
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US20180299369A1 (en) 2018-10-18
WO2017044436A1 (en) 2017-03-16

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