JP7281397B2 - ガス封入モジュール及びガス分析計 - Google Patents
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Description
図1は、ガス分析計3の一例を示す模式的断面図である。ガス分析計3は、赤外光の光源31と、チョッパ32と、内部に分析対象のガスが通流するセル33と、ガス封入モジュール1及び2とを備える。チョッパ32は、所定の周波数で回転する羽根を有し、断続的に赤外光を遮り、赤外光を断続光にする。セル33は、筒状であり、外部から赤外光が入射し、内部のガスを赤外光が通過し、ガスを通過した後の赤外光が外部へ出射するようになっている。図中には、セル33に通流するガスの流れを破線矢印で示し、赤外光を実線矢印で示す。セル33に通流する分析対象のガスは、例えば、自動車の排ガスである。
11、12 ガス室
13 通流路
14 フローセンサ
15 本体部
151 貫通孔
152、154、156 環状平面部
161 第1の透過窓
162 第2の透過窓
163 第3の透過窓
17 環状部材
174 環状平面部
3 ガス分析計
31 光源
32 チョッパ
33 セル
4 環状溝
41 増大部分
44 溝
Claims (8)
- ガスが封入された二つのガス室を備えるガス封入モジュールにおいて、
ブロック状の本体部と、
前記本体部を貫通した貫通孔と、
前記貫通孔の途中で前記貫通孔を塞いでおり、赤外光が通過する第1の透過窓と、
前記貫通孔の一端の周縁に接着された環状部材と、
前記環状部材の開口を塞いでおり、赤外光が通過する第2の透過窓とを備え、
前記二つのガス室の中の一方のガス室は、前記第1の透過窓及び前記第2の透過窓に挟まれた空間であり、
前記本体部と前記環状部材とが互いに接着する部分の少なくとも一方には、前記貫通孔を囲繞する複数の環状溝が形成されていること
を特徴とするガス封入モジュール。 - 前記第2の透過窓は、前記環状部材に接着されており、
前記環状部材の前記第2の透過窓が接着された部分は、前記環状部材の開口を囲繞する複数の環状溝が形成されていること
を特徴とする請求項1に記載のガス封入モジュール。 - 前記貫通孔の他端の周縁に接着されて前記貫通孔を塞いでおり、赤外光が通過する第3の透過窓を更に備え、
前記二つのガス室の中の他方のガス室は、前記第1の透過窓及び前記第3の透過窓に挟まれた空間であり、
前記本体部の前記第3の透過窓が接着された部分は、前記貫通孔を囲繞する複数の環状溝が形成されていること
を特徴とする請求項1又は2に記載のガス封入モジュール。 - 前記複数の環状溝の夫々は、他の部分よりも深さが増大した増大部分を有し、
前記複数の環状溝に含まれる複数の前記増大部分は、全てを含む線状には並んでいないこと
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載のガス封入モジュール。 - 前記複数の環状溝の夫々は、レーザ光によって彫刻されていること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載のガス封入モジュール。 - 前記複数の環状溝は、同心状であり、内側の環状溝から外側の環状溝にかけて順番に形成されていること
を特徴とする請求項5に記載のガス封入モジュール。 - ガスが封入された二つのガス室を備えるガス封入モジュールにおいて、
ブロック状の本体部と、
前記本体部を貫通した貫通孔と、
前記貫通孔の途中で前記貫通孔を塞いでおり、赤外光が通過する第1の透過窓と、
前記貫通孔の一端の周縁に接着された環状部材と、
前記環状部材の開口を塞いでおり、赤外光が通過する第2の透過窓とを備え、
前記二つのガス室の中の一方のガス室は、前記第1の透過窓及び前記第2の透過窓に挟まれた空間であり、
前記本体部と前記環状部材とが互いに接着する部分の少なくとも一方には、前記貫通孔の周囲に複数の溝が形成されており、
前記複数の溝は、レーザ光によって彫刻されていること
を特徴とするガス封入モジュール。 - 分析対象のガスに含まれる特定のガス成分の濃度を分析するためのガス分析計において、
請求項1乃至7のいずれか一つに記載のガス封入モジュールと、
赤外光を発光する光源と、
前記分析対象のガスが通流されるセルとを備え、
前記ガス封入モジュールが有する二つのガス室は、前記特定のガス成分を含むガスが封入されており、
前記ガス封入モジュール及び前記セルは、前記セルに通流する前記分析対象のガスを前記光源からの赤外光が通過し、前記分析対象のガスを通過した赤外光が前記二つのガス室を順番に通過するように、配置されており、
前記ガス封入モジュールは、
前記二つのガス室に連通した連通路と、
前記連通路を通って前記二つのガス室の間に流れるガスの流量を測定するフローセンサとを有すること
を特徴とするガス分析計。
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