CN108300973A - 加载治具以及蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种加载治具以及蒸镀机，加载治具包括本体以及至少一片弹性膜片。本体呈板状结构且夹设于承载平台与多个夹块之间。至少一片弹性膜片分别设于本体底部的对应夹块的至少一个位置，弹性膜片外接于信号转换器。其中，弹性膜片在夹块施压于本体底部时，能够测量夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至信号转换器而转换为压力值。本发明利用多片弹性膜片的设置，能够在夹固组件夹固工件时，准确测量出夹具各夹块施加在加载治具的压力，即测量出夹具各位置的夹固力，从而可通过压力得知包括夹块与夹块的间距、夹块与承载平台的间距以及夹块自身位置等参数，以供操作者准确、方便地测量夹固组件的夹固状态。

Description

加载治具以及蒸镀机

技术领域

本发明涉及OLED器件制造设备技术领域，尤其涉及一种加载治具以及蒸镀机。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)器件的现有蒸镀工艺中，LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅技术)背板在经Arrary工艺(例如包括镀膜、曝光、刻蚀等工艺)、切割工艺等进入OLED工艺，OLED工艺是将玻璃夹固在蒸镀机中的夹固组件(Alinger)中，夹固组件主要包括磁力板、掩膜版加载平台，且玻璃是采用具有多个夹块的夹具加载到玻璃平台上，经过CCD和夹固组件各部件协调动作进行玻璃和掩膜版对位，然后进行蒸镀，蒸镀机包含有多个腔室，每个腔室结构基本相同，其中夹固组件是多个精密小部件组成，动作频率高，易产生偏移，尤其是夹具各夹块的位置、间距或夹紧程度异常都会导致玻璃无法对位或碎片，需要定期检查和调整，目前没有便捷的治具用于检查各夹块是否对位准确，若对蒸镀机的全部腔室进行检查，将耗费大量时间和成本。

其中，在现有蒸镀工艺中，对玻璃加载装置中的各夹块的管理，主要包括对夹块与夹块的第一间距(Distance)、夹块与承载平台的第二间距(Gap)以及夹块自身位置等参数的测量。其中，第一间距通常使用传统的钢尺测量，受尺子自身形变形和夹块周边其他部件的影响，测量准确度较差，且具有一定的难度。第二间距通常采用传统的塞尺测量，由于人员感知的力度不同，测量误差极大，往往会出现毫米级的误差。再者，由于各夹块的自身位置不存在参照依据，夹块自身微小的位置变化无法发现和测量。

发明内容

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够准确方便地测量夹固组件的夹固状态的加载治具。

本发明的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述加载治具的蒸镀机。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供一种加载治具，用以替代玻璃基板设置在蒸镀机的夹固组件中。所述夹固组件包括承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块。其中，所述加载治具包括本体以及至少一片弹性膜片。所述本体呈板状结构且夹设于所述承载平台与多个所述夹块之间。至少一片所述弹性膜片分别设于所述本体底部的对应所述夹块的至少一个位置，所述弹性膜片外接于信号转换器。其中，所述弹性膜片在所述夹块施压于所述本体底部时，能够测量所述夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。

根据本发明的其中一个实施方式，所述本体底部开设有多个开槽，多片所述弹性膜片分别设于多个所述开槽的槽底；其中，多个所述夹块夹固所述加载治具时，多个所述夹块分别卡入多个所述开槽。

根据本发明的其中一个实施方式，所述开槽的形状与所述夹块的形状匹配。

根据本发明的其中一个实施方式，所述夹块夹固于所述本体底部的周缘；其中，所述开槽开设于所述本体底部的邻接所述本体周缘的部分，且所述开槽的一侧槽壁开口于所述本体的侧边。

根据本发明的其中一个实施方式，所述本体底面标识有刻度图案，所述刻度图案上的刻度分别对应于所述本体的与各所述夹块接触的位置。

根据本发明的其中一个实施方式，所述本体底面标识有至少两组所述刻度图案，其中一组所述刻度图案沿所述本体的长度方向分布，另一组所述刻度图案沿所述本体的宽度方向分布。

根据本发明的其中一个实施方式，所述承载平台开设有多个第一通孔；其中，所述本体开设有多个第二通孔，多个所述第二通孔分别对应于多个所述第一通孔。

根据本发明的其中一个实施方式，所述本体的材质为PVC材料。

根据本发明的另一个方面，提供一种蒸镀机，包括外壳和设于外壳内的夹固组件，所述夹固组件包括磁力板、承载工件的承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块。其中，所述蒸镀机还包括上述实施方式中所述的加载治具。其中，多个所述夹块将所述加载治具夹固于所述承载平台底部时，多个所述夹块分别施压于多片所述弹性膜片，所述弹性膜片将测量的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。

由上述技术方案可知，本发明提出的加载治具以及蒸镀机的优点和积极效果在于：

本发明提出的加载治具以及蒸镀机，利用多片弹性膜片的设置，能够准确测量出夹具各夹块施加在加载治具的压力，即测量出夹具各位置的夹固力，从而可通过压力得知包括夹块与夹块的间距、夹块与承载平台的间距以及夹块自身位置等参数，以供操作者准确、方便地测量夹固组件的夹固状态，有效降低设备维护时间，实现设备短时间内全面检查和维护，提升设备稳定性。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本发明的优选实施方式的详细说明，本发明的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本发明的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1是根据一示例性实施方式示出的一种加载治具的俯视图；

图2是根据一示例性实施方式示出的一种蒸镀机的结构示意图；

图3是图2示出的蒸镀机的局部示意图。

附图标记说明如下：

100.加载治具；

110.本体；

111.开槽；

112.第一刻度图案；

113.第二刻度图案；

114.第二通孔；

120.弹性膜片；

200.外壳；

300.磁力板；

310.磁条；

400.承载平台；

500.夹具；

510.夹块；

600.掩膜版。

具体实施方式

体现本发明特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本发明。

在对本发明的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本发明的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本发明的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本发明范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之间”、“底部”、“外周”等来描述本发明的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本发明的范围内。

加载治具实施方式

参阅图1，其代表性地示出了本发明提出的加载治具的俯视图。在该示例性实施方式中，本发明提出的加载治具是以替代玻璃基板而设置在蒸镀机的夹固组件中为例进行说明的，其中所谓的“加载”主要指夹固在夹固组件中。本领域技术人员容易理解的是，为将本发明的相关设计应用于其他工艺设备中，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本发明提出的加载治具的原理的范围内。

如图1所示，本发明提出的加载治具100主要包括本体110以及多片弹性膜片120。配合参阅图2和图3所示，图2中代表性地示出了了一种具有该加载治具100的蒸镀机的结构示意图；图3中代表性地示出了图2示出的蒸镀机的局部示意图，具体示出了加载治具100与夹块510的配合关系。以下结合上述附图，对本发明提出的加载治具100的各主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说明。

本发明提出的加载治具100用于设置在蒸镀机的夹固组件中。具体而言，夹固组件主要包括磁力板300、承载平台400和夹固于磁力板300顶部和承载平台400底部的夹具500，夹具500具有夹固在承载平台400底部的多个夹块510。其中，使用上述蒸镀机对玻璃基板进行蒸镀处理时，玻璃基板夹固在承载平台400底部与多个夹块510之间，此时承载平台400即为承载待处理玻璃基板的平台，磁力板300则用于通过底部的多根磁条310对夹固组件下方的掩膜版600(Mask)施加磁吸附的作用力。承上，本发明提出的加载治具100用以替代玻璃基板而夹固在承载平台400底部与多个夹块510之间，通过加载治具100自身的特殊设计实现对各夹块510的测量和辅助矫正。在利用加载治具100对各夹块510的测量和矫正过程中，掩膜版600无需被磁力板300吸附，因而图1中示出的掩膜版600位于夹固组件下方而未被吸附在加载治具100底部。此外，正常蒸镀时，掩膜版600是被磁力板300吸附在玻璃基板的底部，具体可参考现有蒸镀机的相关设计，在此不予赘述。

如图1和图3所示，在本实施方式中，其中，加载治具100的本体110大致呈板状结构，且可优选为PVC材质或其他硬质材料，本体110夹设在承载平台400与多个夹块510之间。即，在夹固组件夹固工件时，夹具500下端的多个夹块510实际上是夹设在本体110的底部，并通过本体110夹固在承载平台400的底部，即本体110的上表面与承载平台400的下表面贴合。

如图1和图3所示，在本实施方式中，多片弹性膜片120分别设置在本体110的底部，且多片弹性膜片120分别与多个夹块510的位置对应。多片弹性膜片120外接于(例如通过引线)一信号转换器。据此，在夹固组件夹固工件时，多个夹块510分别施压在多片弹性膜片120上，弹性膜片120能够测量所对应的夹块510施加的压力，并将测量的压力信号传递至信号转换器而转换为压力值。通过上述设计，操作者可通过对比各夹块510对应弹性膜片120测量的压力值，对压力值异常的夹块510进行调整。

在其他实施方式中，弹性膜片的数量亦不限于本实施方式的描述。例如，当夹块的数量为多个时，弹性膜片的数量可以为至少一个，而与至少一个夹块对应，即本体底部的对应于夹块的至少一个位置上设有弹性膜片，从而可利用至少一个弹性膜片对多个夹块中的至少一个施加于本体的压力进行测量。

进一步地，在本实施方式中，弹性膜片120可选用片状压力传感器。在其他实施方式中，弹性膜片120亦可选择其他具有片状形状的测压弹性元件，且进一步优选为厚度最薄的型号。

如图1和图3所示，在本实施方式中，本体110的底部开设有多个开槽111，多片弹性膜片120分别设置在多个开槽111的槽底。据此，当多个夹块510夹固在加载治具100的本体110的底部时，多个夹块510是分别卡入多个开槽111并压抵在开槽111槽底的弹性膜片120上。通过上述设计，可利用各开槽111的自身位置和相邻开槽111间距的预先设计，将各夹块510夹固加载治具100的本体110时的自身位置和相邻夹块510间距确定下来。

进一步地，在本实施方式中，开槽111的形状与夹块510的形状匹配，所谓的“形状匹配”在本实施方式中是指开槽111的形状与夹块510夹设在本体110上的部分的形状完全相同，在其他实施方式中该“形状匹配”还可包括宽度相等或开槽111宽度略大于夹块510宽度等形式。据此，在夹块510夹固于本体110底部时，当任何一个夹块510未进入相应的开槽111内，则表明该夹块510的位置异常，便于操作者进行针对性的调整，同时可以进一步避免夹块510卡入开槽111时因尺寸不一致而产生的晃动问题。

进一步地，如图1至图3所示，在本实施方式中，基于夹块510夹固在本体110底部周缘的设计，开槽111亦开设在本体110底部邻接其周缘的位置，且开槽111的一侧槽壁开口于本体110的侧边。具体而言，如图3所示，夹块510是以部分夹固在本体110的底部，夹块510的其余部分穿过开槽111的开口于本体110侧边的槽壁。在其他实施方式中，当夹块是以全部夹固在本体的底部时，则开槽亦可具有完整的槽壁结构，而无需开口于本体的侧边。

如图1所示，在本实施方式中，本体110底面标识有刻度图案。据此，操作者可参考刻度图案上标记处的刻度，得知各夹块510夹固在本体110底面的具体位置，从而便于操作者据此对夹块510自身位置即相邻夹块510间距进行调整。

进一步地，在本实施方式中，刻度图案上的刻度分别对应于本体110的与各夹块510接触的位置，使操作者对各夹块510的调整更加方便直观。

进一步地，如图1所示，在本实施方式中，本体110的底面优选地标识有至少两组刻度图案，即第一刻度图案112和第二刻度图案113。第一刻度图案112沿本体110的长度方向分布，以供操作者对夹固在本体110长度方向的两侧边上的各夹块510的位置进行比对，第二刻度图案113沿本体110的宽度方向分布，以供操作者对夹固在本体110宽度方向的两侧边上的各夹块510的位置进行比对。

如图1所示，在本实施方式中，基于承载平台400开设有多个第一通孔的现有设计，加载治具100的本体110上优选地开设有多个第二通孔114，且多个第二通孔114分别对应于多个第一通孔。据此，当夹固组件夹固工件时，即本体110贴合在承载平台400底部时，多个第二通孔114与多个第一通孔在理想情况下应处于一一贯通的状态，从而便于操作者据此对夹固组件进一步调整对齐。另外，通过上述设计，在夹固组件执行夹固动作的过程中，即在本体110与承载平台400逐渐压紧靠近的过程中，本体110与承载平台400之间的气体可以经由第二通孔114排出(第一通孔已被承载在承载平台400上的玻璃遮盖)，从而有利于残存气体的排出，进一步优化夹固定位效果。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的加载治具仅仅是能够采用本发明原理的许多种加载治具中的几个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的加载治具的任何细节或加载治具的任何部件。

举例来说，在本实施方式中，对于与各弹性膜片120配合的信号转换器而言，可利用外接引线将多片弹性膜片120分别与信号转换器连接，并可进一步连接一显示屏。据此，当夹块510夹紧在本体110时，弹性膜片120感受到压力，并经外接引线传输至信号转换器转换为压力值，操作者可通过显示屏直接观察每一个夹块510的对应压力值，从而直观得知其松紧程度，以便对压力值差异较大的对应夹块510及时调整。

蒸镀机实施方式

参阅图2，其代表性地示出了本发明提出的蒸镀机的结构示意图。在该示例性实施方式中，本发明提出的蒸镀机是以在OLED器件制程中对玻璃进行蒸镀的蒸镀设备为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将本发明的相关设计应用于其他工艺设备中，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本发明提出的蒸镀机的原理的范围内。

如图2和图3所示，在本实施方式中，本发明提出的蒸镀机主要包括外壳200、设置在外壳200内的夹固组件和位于夹固组件下方的掩膜版600。具体而言，夹固组件主要包括磁力板300、承载平台400、夹具500以及本发明提出的且在上述实施方式中示例性说明的加载治具100。其中，磁力板300、承载平台400和夹具500的结构可参考现有蒸镀机的相关设计，在此不予赘述。据此，当多个夹具500的夹块510将加载治具100的本体110夹固在承载平台400的底部时，多个夹块510分别施压在多片弹性膜片120上，弹性膜片120将测量到的压力信号传递至信号转换器而转换为压力值，从而供操作者根据各夹块510对应的压力值来对相应夹块510进行矫正。当利用该蒸镀机对玻璃基板进行蒸镀处理时，去除加载治具，并将待处理的玻璃基板放置在测量矫正时加载治具所在的位置，再由承载平台和矫正后的多个夹块夹固，则能够保各夹块对玻璃基板各位置的夹固力均衡，且夹固位置准确。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的蒸镀机仅仅是能够采用本发明原理的许多种蒸镀机中的几个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的蒸镀机的任何细节或蒸镀机的任何部件。

综上所述，本发明提出的加载治具以及蒸镀机，利用多片弹性膜片的设置，能够在夹固组件夹固工件时，准确测量出夹具各夹块施加在加载治具的压力，即测量出夹具各位置的夹固力，从而可通过压力得知包括夹块与夹块的间距、夹块与承载平台的间距以及夹块自身位置等参数，以供操作者准确、方便地测量夹固组件的夹固状态，有效降低设备维护时间，实现设备短时间内全面检查和维护，提升设备稳定性，预防宕机，提高设备稼动率。

以上详细地描述和/或图示了本发明提出的加载治具以及蒸镀机的示例性实施方式。但本发明的实施方式不限于这里所描述的特定实施方式，相反，每个实施方式的组成部分和/或步骤可与这里所描述的其它组成部分和/或步骤独立和分开使用。一个实施方式的每个组成部分和/或每个步骤也可与其它实施方式的其它组成部分和/或步骤结合使用。在介绍这里所描述和/或图示的要素/组成部分/等时，用语“一个”、“一”和“上述”等用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等。术语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等此外，权利要求书及说明书中的术语“第一”和“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数字限制。

虽然已根据不同的特定实施例对本发明提出的加载治具以及蒸镀机进行了描述，但本领域技术人员将会认识到可在权利要求的精神和范围内对本发明的实施进行改动。

Claims (9)

1.一种加载治具，用以替代玻璃基板设置在蒸镀机的夹固组件中，所述夹固组件包括承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块，其特征在于，所述加载治具包括：

本体，呈板状结构且夹设于所述承载平台与多个所述夹块之间；以及

至少一片弹性膜片，分别设于所述本体底部的对应所述夹块的至少一个位置，所述弹性膜片外接于信号转换器；

其中，所述弹性膜片在所述夹块施压于所述本体底部时，能够测量所述夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。

2.根据权利要求1所述的加载治具，其特征在于，所述本体底部开设有多个开槽，多片所述弹性膜片分别设于多个所述开槽的槽底；其中，多个所述夹块夹固所述加载治具时，多个所述夹块分别卡入多个所述开槽。

3.根据权利要求2所述的加载治具，其特征在于，所述开槽的形状与所述夹块的形状匹配。

4.根据权利要求2所述的加载治具，其特征在于，所述夹块夹固于所述本体底部的周缘；其中，所述开槽开设于所述本体底部的邻接所述本体周缘的部分，且所述开槽的一侧槽壁开口于所述本体的侧边。

5.根据权利要求1所述的加载治具，其特征在于，所述本体底面标识有刻度图案，所述刻度图案上的刻度分别对应于所述本体的与各所述夹块接触的位置。

6.根据权利要求5所述的加载治具，其特征在于，所述本体底面标识有至少两组所述刻度图案，其中一组所述刻度图案沿所述本体的长度方向分布，另一组所述刻度图案沿所述本体的宽度方向分布。

7.根据权利要求1所述的加载治具，其特征在于，所述承载平台开设有多个第一通孔；其中，所述本体开设有多个第二通孔，多个所述第二通孔分别对应于多个所述第一通孔。

8.根据权利要求1所述的加载治具，其特征在于，所述本体的材质为PVC材料。

9.一种蒸镀机，包括外壳和设于外壳内的夹固组件，所述夹固组件包括磁力板、承载工件的承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块，其特征在于，所述蒸镀机还包括：

权利要求1～8任一项所述的加载治具；

其中，多个所述夹块将所述加载治具夹固于所述承载平台底部时，多个所述夹块分别施压于多片所述弹性膜片，所述弹性膜片将测量的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。