CN101435072A - 镀膜治具及镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种镀膜治具，其包括：至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。本发明还涉及一种采用所述镀膜治具的镀膜装置。所述镀膜治具及镀膜装置采用立体结构的基片夹具模组以承载光学元件，其空间利用率高，单位空间中，承载的光学元件数量多，因此，在一定程度上减少镀膜制程中对容器抽真空及破真空的次数，从而提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。

Description

镀膜治具及镀膜装置
技术领域
本发明涉及镀膜技术，尤其涉及一种应用于光学元件的镀膜治具及镀膜装置。
背景技术
随着光学产品的发展，光学元件的应用范围越来越广。相应地，业界采用各种方法来制造光学元件以适应市场对不同规格光学元件的需求(请参阅“Fabrication of DiffractiveOptical Lens for Beam splitting Using LIGA Process”，Mechatronics andAutomation，Proceedings of the 2006 IEEE International Conference on，pp.1242-1247，2006.06)。通常来说，制造出的光学元件需经过后续处理以获得适于应用的良好性能。
镀膜工序为后续处理中的重要步骤之一。镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀上单层或多层薄膜，利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直、滤光、反射及折射等效果。光学元件的镀膜制程为：首先，将光学元件安装于镀膜治具上，镀膜治具设置于一容器中；其次，密闭容器，对容器抽真空；然后，以蒸镀或溅镀等方法在光学元件需要镀膜的部位进行镀膜；最后，对容器破真空，将经过镀膜的光学元件从镀膜治具上拆卸下来。
然而，现有技术中，用于承载光学元件的镀膜治具一般为二维平面结构，该结构空间利用率低，单位空间中，镀膜治具承载的光学元件数量少，因此，难以减少镀膜制程中对容器抽真空及破真空的次数，从而难以提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。
发明内容
有鉴于此，提供一种能够提高空间利用率，进而提高生产效率以及降低生产成本的镀膜治具及镀膜装置实为必要。
一种镀膜治具，其包括：至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。
一种镀膜装置，其包括：一个真空容器；至少一个设置于所述真空容器内的镀膜靶；及一个与所述镀膜靶相对设置的镀膜治具；其中，所述镀膜治具包括至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。
相对于现有技术，所述镀膜治具及镀膜装置采用立体结构的基片夹具模组以承载光学元件。所述基片夹具模组为三维立体结构，其空间利用率高，单位空间中，承载的光学元件数量多，因此，在一定程度上减少镀膜制程中对容器抽真空及破真空的次数，从而提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种镀膜治具的立体图。
图2为图1中沿线II-II所示方向的剖视图。
图3为本发明实施例提供的一种镀膜装置的剖视图。
图4为本发明实施例提供的一种镀膜装置的转盘模组的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步的详细说明。
请参阅图1及图2，为本发明实施例提供的一种镀膜治具100，其包括：至少一个转轴110及与所述转轴110连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组120。
所述转轴110穿设于两个相对的轴承142、144，所述转轴110用于带动所述基片夹具模组120转动。
所述镀膜治具100还包括一与所述转轴110连接的驱动装置130，所述驱动装置130用于驱动所述转轴110转动。所述驱动装置130包括一电机132，一固定于所述电机132的输出轴1322的主动齿轮134，一固定于所述转轴110的丛动齿轮136，及一连接所述主动齿轮134与丛动齿轮136的链条138。所述电机132的输出轴1322带动所述主动齿轮134转动，所述主动齿轮134通过所述链条138带动所述丛动齿轮136及所述转轴110转动，从而带动所述基片夹具模组120转动。
所述基片夹具模组120由围绕所述转轴110排布的三个基片夹具124、126、128构成。所述基片夹具124、126、128均为一矩形框架，其用于夹持待镀膜的光学元件。所述基片夹具124、126、128的边缘互相连接，使得所述基片夹具模组120构成正三棱柱结构，其沿垂直于所述转轴110方向的截面为正三角形。所述转轴110穿设于所述基片夹具模组120的中心轴线。构成所述基片夹具模组120的三个所述基片夹具124、126、128通过连接杆146与所述转轴110连接。
使用时，首先，对处于水平位置的所述基片夹具124所夹持的光学元件进行镀膜；然后，启动所述电机132，通过所述电机132的输出轴1322的转动，以使得所述转轴110转动而带动所述基片夹具模组120转动，当所述基片夹具126转动至水平位置时，停止所述电机132，以使得所述基片夹具126停止于水平位置，进而对所述基片夹具126所夹持的光学元件进行镀膜；最后，重复上一步骤，以使得所述基片夹具128转动至水平位置，并停止于水平位置，以对所述基片夹具128所夹持的光学元件进行镀膜。
所述镀膜治具100还包括一与所述电机132电连接的控制装置150，所述控制装置150用于控制所述电机132的启动与停止，以实现对所述基片夹具模组120转动的精确控制，进而确保所述基片夹具模组120的基片夹具124、126、128所夹持的光学元件的镀膜品质。
可以理解，构成所述基片夹具模组120的基片夹具的数量也可以为多于三个，例如四个或五个，则所述基片夹具模组120的沿垂直于所述转轴110方向的截面为正四边形或正五边形。可以理解，构成所述基片夹具模组120的基片夹具的尺寸规格也可以不同，构成所述基片夹具模组120的基片夹具的边缘也可以未互相连接。所述基片夹具模组120的结构并无特殊限制，只需要由围绕所述转轴110排布的至少三个基片夹具构成一立体结构，以更多的承载光学元件，并可以通过所述电机132的启动与停止，以实现对所述基片夹具模组120转动的精确控制即可。本实施例中，所述基片夹具的材料为铜。可以理解，所述基片夹具的材料也可以为其他金属，例如铝或不锈钢。
请参阅图3，为本发明实施例提供的一种采用上述镀膜治具100的镀膜装置10，其包括：一个真空容器200；至少一个设置于所述真空容器200内的镀膜靶300；及一个与所述镀膜靶300相对设置的镀膜治具100。
采用所述镀膜装置10对光学元件进行镀膜的制程为：首先，将光学元件安装于所述镀膜治具100的基片夹具上；其次，密闭所述真空容器200，对所述真空容器200抽真空；然后，激发所述镀膜靶300，对安装于所述镀膜治具100的基片夹具上的光学元件进行镀膜；最后，对所述真空容器200破真空，将经过镀膜的光学元件从所述镀膜治具100的基片夹具上拆卸下来。
请参阅图3及图4，优选地，所述镀膜装置10进一步包括一设置于所述真空容器200内的转盘模组400，所述转盘模组400用于承载所述镀膜治具100，从而增加所述镀膜治具100夹持的光学元件的镀膜厚度的均匀性。所述转盘模组400包括一主轴401，一个与所述主轴401连接的第一转盘402，两个第二转盘404，及两个副轴403。所述第二转盘404通过所述副轴403与所述第一转盘402连接。所述镀膜治具100设置于所述第二转盘404。所述主轴401可以转动，以带动所述第一转盘402转动，从而使得所述第二转盘404以所述主轴401为中心转动。同时，所述第二转盘404也可以通过所述副轴403带动，而以所述副轴403为中心自转。所述镀膜治具100通过所述第二转盘404带动，以所述主轴401为中心转动的同时，又可以以所述副轴403为中心自转，从而增加所述镀膜治具100夹持的光学元件的镀膜厚度的均匀性。可以理解，所述转盘模组400的第二转盘404的数量也可以为一个或多于两个。所述主轴401及所述副轴403可以通过电机带动而转动。
所述镀膜治具100及镀膜装置10采用立体结构的基片夹具模组120以承载光学元件。所述基片夹具模组120为三维立体结构，其空间利用率高，单位空间中，承载的光学元件数量多，因此，在一定程度上减少镀膜制程中对所述真空容器200抽真空及破真空的次数，从而提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。
另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化，当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (10)

  1. 【权利要求1】一种镀膜治具，其特征在于：其包括至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。
  2. 【权利要求2】如权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述转轴穿设于所述基片夹具模组的中心轴线。
  3. 【权利要求3】如权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述基片夹具模组沿垂直于所述转轴方向的截面为多边形。
  4. 【权利要求4】如权利要求3所述的镀膜治具，其特征在于，所述多边形为正多边形。
  5. 【权利要求5】如权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述正多边形为正三角形。
  6. 【权利要求6】如权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述基片夹具的材料为铜、铝或不锈钢。
  7. 【权利要求7】如权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述镀膜治具还包括一与所述转轴连接的驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述转轴转动。
  8. 【权利要求8】如权利要求7所述的镀膜治具，其特征在于，所述驱动装置包括一电机，一设置于所述电机的输出轴的主动齿轮，至少一设置于所述转轴的丛动齿轮，及一连接所述主动齿轮与丛动齿轮的链条。
  9. 【权利要求9】一种镀膜装置，其包括：一个真空容器；至少一个设置于所述真空容器内的镀膜靶；及一个与所述镀膜靶相对设置的镀膜治具；其特征在于：所述镀膜治具包括至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。
  10. 【权利要求10】如权利要求9所述的镀膜装置，其特征在于，所述转轴穿设于所述基片夹具模组的中心轴线。
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