CN108288437A - 连接器及其制造方法、显示屏 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种连接器及其制造方法、显示屏，属于显示技术领域。包括：柔性衬底基板，以及依次设置在柔性衬底基板上的缓冲层、辅助绝缘层、层间介质层、第一光阻层和第一导电图案；辅助绝缘层和层间介质层上设置有贯穿辅助绝缘层和层间介质层的接触孔，第一光阻层设置在接触孔内，第一导电图案包括位于接触孔内的第一导电子图案和位于接触孔外的第二导电子图案，第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平。本发明解决了相关技术中连接器弯折后，SD走线可能会受到较大的应力而发生断裂，导致驱动IC与显示面板上的数据信号线无法进行通信的问题。本发明用于连接器的制造。

Description

连接器及其制造方法、显示屏

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种连接器及其制造方法、显示屏。

背景技术

随着显示技术的快速发展，以及用户对智能设备的屏占比需求的提高，智能设备中显示屏的边框朝着越来越窄的方向发展，其中，屏占比为：显示屏的显示区域的面积与显示屏正面的总面积的比值。

相关技术中，显示屏通常包括：显示面板、驱动集成电路(英文：integratedcircuit；简称：IC)以及连接器。图1是相关技术中的一种连接器的结构示意图，如图1所示，连接器包括依次层叠设置在柔性衬底基板11上的阻水层(英文：Barrier)12、缓冲层(英文：Buffer)13、第一栅绝缘层14、第二栅绝缘层15、层间介质层(英文：Inter-LayerDielectric；简称：ILD)16和源漏极(英文：Source Drain；简称：SD)金属层17。其中，源漏极金属层通过SD走线一端与显示面板上的数据信号线连接，另一端与驱动IC连接，驱动IC可以通过该源漏极金属层向数据信号线发送数据信号，以使得显示面板显示图像。目前，为了减小显示屏的边框，通常将连接器弯折，使驱动IC设置在显示面板的非显示侧。

但是，由于源漏极金属层的材质是金属，连接器弯折后，SD走线可能会受到较大的应力而发生断裂，进而导致驱动IC与显示面板上的数据信号线无法进行通信，影响显示屏的显示效果。

发明内容

本发明实施例提供了一种连接器及其制造方法、显示屏，可以解决相关技术中连接器弯折后，SD走线可能会受到较大的应力而发生断裂，导致驱动IC与显示面板上的数据信号线无法进行通信的问题。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种连接器，所述连接器包括：

柔性衬底基板，以及依次设置在所述柔性衬底基板上的缓冲层、辅助绝缘层、层间介质层、第一光阻层和第一导电图案；

其中，所述第一导电图案的一端与显示面板上的数据信号线连接，所述第一导电图案的另一端与设置在所述显示面板的非显示侧的驱动集成电路IC连接，所述辅助绝缘层和所述层间介质层上设置有贯穿所述辅助绝缘层和所述层间介质层的接触孔，所述第一光阻层设置在所述接触孔内，所述第一导电图案包括位于所述接触孔内的第一导电子图案和位于所述接触孔外的第二导电子图案，所述第一导电子图案远离所述柔性衬底基板的一面凹凸不平。

可选的，所述连接器还包括：层叠设置在所述第一导电图案上的第二光阻层和第二导电图案；

其中，所述第二光阻层上设置有贯穿所述第二光阻层的至少两个过孔，所述至少两个过孔位于所述第二导电子图案的上方，且所述至少两个过孔分布于所述接触孔的至少两侧，所述第二导电图案通过所述至少两个过孔与所述第二导电子图案连接。

可选的，所述第一光阻层远离所述柔性衬底基板的一面呈波浪状；

所述第一导电子图案呈波浪状；

所述第二光阻层中，被所述第一导电子图案在所述第二光阻层上的正投影覆盖的区域呈波浪状；

所述第二导电图案中，被所述第一导电子图案在所述第二导电图案上的正投影覆盖的区域呈波浪状。

可选的，所述第一导电图案与所述显示面板中的源漏极金属图案采用相同的材料同层制备得到，所述第二导电图案与所述显示面板中的像素电极图案采用相同的材料同层制备得到，所述辅助绝缘层与所述显示面板中的栅绝缘层采用相同的材料同层制备得到。

可选的，所述柔性衬底基板的材质为聚酰亚胺。

第二方面，提供了一种显示屏，所述显示屏包括：显示面板、驱动IC和第一方面任一所述的连接器；

所述驱动IC设置在所述显示面板的非显示侧，所述连接器用于连接所述显示面板和所述驱动IC。

第三方面，提供了一种连接器的制造方法，所述方法包括：

提供一柔性衬底基板；

在所述柔性衬底基板上依次形成缓冲层、辅助绝缘层和层间介质层；

在所述辅助绝缘层和所述层间介质层上形成贯穿所述辅助绝缘层和所述层间介质层的接触孔；

在所述接触孔内形成第一光阻层；

在形成有所述第一光阻层的层间介质层上形成第一导电图案，所述第一导电图案包括位于所述接触孔内的第一导电子图案和位于所述接触孔外的第二导电子图案，所述第一导电子图案远离所述柔性衬底基板的一面凹凸不平；

其中，所述第一导电图案的一端与显示面板上的数据信号线连接，所述第一导电图案的另一端与设置在所述显示面板的非显示侧的驱动IC连接。

可选的，所述在形成有所述第一光阻层的层间介质层上形成第一导电图案之后，所述方法还包括：

在形成有所述第一导电图案的层间介质层上形成第二光阻层；

在所述第二光阻层上形成贯穿所述第二光阻层的至少两个过孔，所述至少两个过孔位于所述第二导电子图案的上方，且所述至少两个过孔分布于所述接触孔的至少两侧；

在形成有所述至少两个过孔的第二光阻层上形成第二导电图案，所述第二导电图案通过所述至少两个过孔与所述第二导电子图案连接。

可选的，所述在所述接触孔内形成第一光阻层，包括：

在所述接触孔内涂覆光阻材料，以形成光阻薄膜层；

采用半遮光掩膜板或灰阶掩膜板对所述光阻薄膜层进行曝光；

对曝光后的光阻薄膜层进行显影，使形成的所述第一光阻层远离所述柔性衬底基板的一面凹凸不平。

可选的，所述第一光阻层远离所述柔性衬底基板的一面呈波浪状；

所述第一导电子图案呈波浪状。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明实施例提供的连接器及其制造方法、显示屏，在朝向远离显示面板的显示侧弯折该连接器时，由于弯折区域中的第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平，与相关技术相比，增大了第一导电子图案的总长度，因此减小了单位长度上的第一导电子图案所受的应力，从而减小了第一导电子图案发生断裂的可能性，提高了连接器的耐弯折性，保证了显示屏的显示效果。

附图说明

图1是相关技术中的一种连接器的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种连接器的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的另一种连接器的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的一种显示屏的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的一种连接器的制造方法的流程图；

图6是本发明实施例提供的另一种连接器的制造方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

相关技术中，显示屏通常包括：显示面板、驱动IC以及连接器。示例的，图1是相关技术中的一种连接器的结构示意图，如图1所示，连接器包括依次层叠设置在柔性衬底基板11上的阻水层12、缓冲层13、第一栅绝缘层14、第二栅绝缘层15、层间介质层16和源漏极金属层17。其中，源漏极金属层通过SD走线一端与显示面板上的数据信号线连接，另一端与驱动IC连接，驱动IC可以通过该源漏极金属层向数据信号线发送数据信号，以使得显示面板显示图像。

需要说明的是，显示面板具有两侧，分别为显示侧和非显示侧，目前，为了减小显示屏的边框，通常将连接器弯折，使驱动IC设置在显示面板的非显示侧。由于连接器中的源漏极金属层的材质是金属，连接器弯折后，SD走线可能会受到较大的应力而发生断裂，进而导致驱动IC与显示面板上的数据信号线无法进行通信，影响显示屏的显示效果。

图2是本发明实施例提供的一种连接器的结构示意图，如图2所示，该连接器可以包括：

柔性衬底基板201，以及依次设置在柔性衬底基板201上的缓冲层202、辅助绝缘层203、层间介质层204、第一光阻层205和第一导电图案206。

可选的，本发明实施例提供的连接器可以与显示面板为一体结构，也即是，显示面板可以包括显示区域和弯折区域，连接器即为显示面板中弯折区域的结构；或者，本发明实施例提供的连接器也可以为单独的结构，用于连接显示面板和驱动IC，对此不做限定。

需要说明的是，图2示出的是未弯折的连接器，且仅示出了连接器中位于显示面板和驱动IC之间的部分，并未示出显示面板和驱动IC，实际应用中，显示面板和驱动IC位于连接器的相对两侧。

其中，第一导电图案206的一端与显示面板上的数据信号线连接，第一导电图案206的另一端与设置在显示面板的非显示侧的驱动IC连接，辅助绝缘层203和层间介质层204上设置有贯穿辅助绝缘层203和层间介质层204的接触孔H，第一光阻层205设置在接触孔H内，第一导电图案206包括位于接触孔内的第一导电子图案2061和位于接触孔H外的第二导电子图案2062，第一导电子图案2061远离柔性衬底基板201的一面凹凸不平。

可选的，如图2所示，接触孔H可以与缓冲层202接触，实际应用中，接触孔还可以贯穿缓冲层，与缓冲层下层的膜层接触，本发明实施例对此不做限定。

可选的，如图2所示，连接器可以包括弯折区域B，以及分别位于弯折区域B两侧的第一边缘区域A和第二边缘区域C，弯折区域B是连接器中可用于弯折的区域。示例的，第一边缘区域A可以靠近显示面板设置，则第二边缘区域C靠近驱动IC设置，相应的，第一边缘区域A可以作为显示面板到弯折区域B的过渡，第二边缘区域C可以作为弯折区域B到驱动IC的过渡，防止使弯折区域B弯折时，造成显示面板和/或驱动IC的损坏。其中，驱动IC可以设置在柔性电路板(英文：Flexible Printed Circuit；简称：FPC)上。

在相同的外力作用下，金属在单位长度上所受的应力可以表示为：ΔF＝F/L，其中，F为外力，L为金属的总长度。本发明实施例提供的连接器，在朝向远离显示面板的显示侧弯折该连接器时，由于弯折区域中的第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平，与相关技术相比，增大了第一导电子图案的总长度，因此减小了单位长度上的第一导电子图案所受的应力，从而减小了第一导电子图案发生断裂的可能性，提高了连接器的耐弯折性，保证了显示屏的显示效果。

可选的，柔性衬底基板的材质可以为聚酰亚胺(英文：Polyimide；简称：PI)，第一光阻层的材质为感光树脂材料，例如可以是光刻胶。

进一步的，如图3所示，连接器还可以包括：层叠设置在第一导电图案206上的第二光阻层207和第二导电图案208。

其中，第二光阻层207上设置有贯穿第二光阻层207的至少两个过孔M，该至少两个过孔M位于第二导电子图案2062的上方，且该至少两个过孔M分布于接触孔H的至少两侧，第二导电图案208通过至少两个过孔M与第二导电子图案2062连接。

需要说明的是，第二导电图案通过第二光阻层上的至少两个过孔与第一导电图案电连接，一方面，通过第二导电图案与第一导电图案并联，可以降低连接器中走线的电阻；另一方面，即使第一导电子图案受到应力的作用发生断裂，或者第二导电图案受到应力的作用发生断裂，另一导电图案仍能够使驱动IC和显示面板的数据信号线进行有效连接，提高了显示屏的可靠性。本发明实施例对导电图案的层数不做限定，例如连接器还可以包括与第二导电图案并联的第三导电图案。

可选的，第一导电图案可以与显示面板中的源漏极金属图案采用相同的材料同层制备得到，第二导电图案可以与显示面板中的像素电极图案采用相同的材料同层制备得到，辅助绝缘层可以与显示面板中的栅绝缘层采用相同的材料同层制备得到，以简化显示屏的制作工艺流程。

可选的，第一光阻层远离柔性衬底基板的一面可以呈波浪状；第一导电子图案呈波浪状；第二光阻层中，被第一导电子图案在第二光阻层上的正投影覆盖的区域呈波浪状；第二导电图案中，被第一导电子图案在第二导电图案上的正投影覆盖的区域呈波浪状。

需要说明的是，设置第一光阻层远离柔性衬底基板的一面呈波浪状，以及设置第一导电子图案、位于弯折区域内的第二光阻层和第二导电图案呈波浪状，可以减小各个膜层结构在连接器弯折时受到的应力，从而提高显示屏的可靠性。

进一步的，连接器中还可以包括阻水层(图中未画出)，该阻水层可以设置在柔性衬底基板与缓冲层之间，用于阻隔水氧以保护膜层结构。

综上所述，本发明实施例提供的连接器，在朝向远离显示面板的显示侧弯折该连接器时，由于弯折区域中的第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平，与相关技术相比，增大了第一导电子图案的总长度，因此减小了单位长度上的第一导电子图案所受的应力，从而减小了第一导电子图案发生断裂的可能性，提高了连接器的耐弯折性，保证了显示屏的显示效果；进一步的，使第二导电图案通过第二光阻层上的至少两个过孔与第一导电图案电连接，一方面，通过第二导电图案与第一导电图案并联，可以降低连接器中走线的电阻；另一方面，即使第一导电子图案受到应力的作用发生断裂，或者第二导电图案受到应力的作用发生断裂，另一导电图案仍能够使驱动IC和显示面板的数据信号线进行有效连接，提高了显示屏的可靠性。

本发明实施例提供了一种显示屏，如图4所示，该显示屏可以包括：显示面板01、驱动IC02和连接器03，其中，连接器03可以为如图2或图3所示的连接器。

驱动IC02设置在显示面板01的非显示侧，连接器03用于连接显示面板01和驱动IC02。

可选的，上述显示屏可以为手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件的显示屏。

综上所述，本发明实施例提供的显示屏，在朝向远离显示面板的显示侧弯折连接器时，由于连接器中弯折区域中的第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平，与相关技术相比，增大了第一导电子图案的总长度，因此减小了单位长度上的第一导电子图案所受的应力，从而减小了第一导电子图案发生断裂的可能性，提高了连接器的耐弯折性，保证了显示屏的显示效果。

图5是本发明实施例提供的一种连接器的制造方法的流程图，如图5所示，该方法包括：

步骤501、提供一柔性衬底基板。

步骤502、在柔性衬底基板上依次形成缓冲层、辅助绝缘层和层间介质层。

步骤503、在辅助绝缘层和层间介质层上形成贯穿辅助绝缘层和层间介质层的接触孔。

步骤504、在接触孔内形成第一光阻层。

步骤505、在形成有第一光阻层的层间介质层上形成第一导电图案，第一导电图案包括位于接触孔内的第一导电子图案和位于接触孔外的第二导电子图案，第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平。

其中，第一导电图案的一端与显示面板上的数据信号线连接，第一导电图案的另一端与设置在显示面板的非显示侧的驱动IC连接。

可选的，制造的连接器的结构可以参见图2，在此不做赘述。

综上所述，本发明实施例提供的连接器的制造方法，在朝向远离显示面板的显示侧弯折该连接器时，由于弯折区域中的第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平，与相关技术相比，增大了第一导电子图案的总长度，因此减小了单位长度上的第一导电子图案所受的应力，从而减小了第一导电子图案发生断裂的可能性，提高了连接器的耐弯折性，保证了显示屏的显示效果。

进一步的，图6是本发明实施例提供的另一种连接器的制造方法的流程图，如图6所示，该方法可以包括：

步骤601、提供一柔性衬底基板。

可选的，柔性衬底基板的材质可以为PI。

步骤602、在柔性衬底基板上依次形成缓冲层、辅助绝缘层和层间介质层。

可选的，可以分别通过构图工艺在柔性衬底基板上形成缓冲层、辅助绝缘层和层间介质层，其中，构图工艺包括：光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离。

步骤603、在辅助绝缘层和层间介质层上形成贯穿辅助绝缘层和层间介质层的接触孔。

可选的，可以通过构图工艺在辅助绝缘层和层间介质层上形成贯穿辅助绝缘层和层间介质层的接触孔，并使得该接触孔与缓冲层接触。

步骤604、在接触孔内形成第一光阻层。

可选的，在接触孔内形成第一光阻层的方法可以包括：

S41、在接触孔内涂覆光阻材料，以形成光阻薄膜层。

需要说明的是，光阻材料是一种感光材料，在接触孔内涂覆的光阻材料可以是正性光阻材料，也可以是负性光阻材料，本发明实施例对此不做限定。

S42、采用半遮光掩膜板或灰阶掩膜板对光阻薄膜层进行曝光。

可选的，利用半遮光掩膜板(英文：Half tone mask)或灰阶掩膜板(英文：Graytone mask)中不同位置的透光性不同，对光阻薄膜层进行不同程度的曝光。

S43、对曝光后的光阻薄膜层进行显影，使形成的第一光阻层远离柔性衬底基板的一面凹凸不平。

需要说明的是，由于光阻薄膜层中存在经过不同程度曝光的区域，在显影之后，可以使得第一光阻层远离柔性衬底基板的一面凹凸不平。

步骤605、在形成有第一光阻层的层间介质层上形成第一导电图案，第一导电图案包括位于接触孔内的第一导电子图案和位于接触孔外的第二导电子图案，第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平。

可选的，可以在第一光阻层上保形地形成第一导电子图案，使得第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平；或者，可以在采用溅射或沉积的方式在形成有第一光阻层的层间介质层上形成导电膜层，再采用构图工艺形成第一导电图案，本发明实施例对此不做限定。

步骤606、在形成有第一导电图案的层间介质层上形成第二光阻层。

其中，第二光阻层中，被第一导电子图案在第二光阻层上的正投影覆盖的区域可以凹凸不平。

可选的，可以在第一导电图案上保形地形成第二光阻层，或者采用步骤604中形成第一光阻层的方式形成第二光阻层。

步骤607、在第二光阻层上形成贯穿第二光阻层的至少两个过孔，至少两个过孔位于第二导电子图案的上方，且至少两个过孔分布于接触孔的至少两侧。

可选的，可以通过曝光、显影和刻蚀的方式在第二光阻层上形成至少两个过孔。

步骤608、在形成有至少两个过孔的第二光阻层上形成第二导电图案，第二导电图案通过至少两个过孔与第二导电子图案连接。

其中，第二导电图案中，被第一导电子图案在第二导电图案上的正投影覆盖的区域可以凹凸不平。

可选的，形成第二导电图案的方式可以参考步骤605中形成第一导电图案的方式，在此不做限定。

示例的，采用上述连接器的制造方法制造得到的连接器的结构可以参见图3，第一光阻层远离柔性衬底基板的一面可以呈波浪状；第一导电子图案呈波浪状；第二光阻层中，被第一导电子图案在第二光阻层上的正投影覆盖的区域呈波浪状；第二导电图案中，被第一导电子图案在第二导电图案上的正投影覆盖的区域呈波浪状。

需要说明的是，设置第一光阻层远离柔性衬底基板的一面呈波浪状，以及设置第一导电子图案、位于弯折区域内的第二光阻层和第二导电图案呈波浪状，可以减小各个膜层结构在连接器弯折时受到的应力，从而提高显示屏的可靠性。

进一步的，在形成第二导电图案后，可以在第二导电图案远离柔性衬底基板的一侧形成像素界定层。

需要说明的是，本发明实施例提供的连接器的制造方法步骤的先后顺序可以进行适当调整，步骤也可以根据情况进行相应增减，例如，上述步骤606和步骤607可以同时执行，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化的方法，都应涵盖在本发明的保护范围之内，因此不再赘述。

综上所述，本发明实施例提供的连接器的制造方法，在朝向远离显示面板的显示侧弯折该连接器时，由于弯折区域中的第一导电子图案远离柔性衬底基板的一面凹凸不平，与相关技术相比，增大了第一导电子图案的总长度，因此减小了单位长度上的第一导电子图案所受的应力，从而减小了第一导电子图案发生断裂的可能性，提高了连接器的耐弯折性，保证了显示屏的显示效果；进一步的，使第二导电图案通过第二光阻层上的至少两个过孔与第一导电图案电连接，一方面，通过第二导电图案与第一导电图案并联，可以降低连接器中走线的电阻；另一方面，即使第一导电子图案受到应力的作用发生断裂，或者第二导电图案受到应力的作用发生断裂，另一导电图案仍能够使驱动IC和显示面板的数据信号线进行有效连接，提高了显示屏的可靠性。

以上所述仅为本发明的可选实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种连接器，其特征在于，所述连接器包括：

柔性衬底基板，以及依次设置在所述柔性衬底基板上的缓冲层、辅助绝缘层、层间介质层、第一光阻层和第一导电图案；

其中，所述第一导电图案的一端与显示面板上的数据信号线连接，所述第一导电图案的另一端与设置在所述显示面板的非显示侧的驱动集成电路IC连接，所述辅助绝缘层和所述层间介质层上设置有贯穿所述辅助绝缘层和所述层间介质层的接触孔，所述第一光阻层设置在所述接触孔内，所述第一导电图案包括位于所述接触孔内的第一导电子图案和位于所述接触孔外的第二导电子图案，所述第一导电子图案远离所述柔性衬底基板的一面凹凸不平。

2.根据权利要求1所述的连接器，其特征在于，所述连接器还包括：层叠设置在所述第一导电图案上的第二光阻层和第二导电图案；

其中，所述第二光阻层上设置有贯穿所述第二光阻层的至少两个过孔，所述至少两个过孔位于所述第二导电子图案的上方，且所述至少两个过孔分布于所述接触孔的至少两侧，所述第二导电图案通过所述至少两个过孔与所述第二导电子图案连接。

3.根据权利要求2所述的连接器，其特征在于，

所述第一光阻层远离所述柔性衬底基板的一面呈波浪状；

所述第一导电子图案呈波浪状；

所述第二光阻层中，被所述第一导电子图案在所述第二光阻层上的正投影覆盖的区域呈波浪状；

所述第二导电图案中，被所述第一导电子图案在所述第二导电图案上的正投影覆盖的区域呈波浪状。

4.根据权利要求2或3所述的连接器，其特征在于，

所述第一导电图案与所述显示面板中的源漏极金属图案采用相同的材料同层制备得到，所述第二导电图案与所述显示面板中的像素电极图案采用相同的材料同层制备得到，所述辅助绝缘层与所述显示面板中的栅绝缘层采用相同的材料同层制备得到。

5.根据权利要求1所述的连接器，其特征在于，

所述柔性衬底基板的材质为聚酰亚胺。

6.一种显示屏，其特征在于，所述显示屏包括：显示面板、驱动IC和权利要求1至5任一所述的连接器；

所述驱动IC设置在所述显示面板的非显示侧，所述连接器用于连接所述显示面板和所述驱动IC。

7.一种连接器的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一柔性衬底基板；

在所述柔性衬底基板上依次形成缓冲层、辅助绝缘层和层间介质层；

在所述辅助绝缘层和所述层间介质层上形成贯穿所述辅助绝缘层和所述层间介质层的接触孔；

在所述接触孔内形成第一光阻层；

在形成有所述第一光阻层的层间介质层上形成第一导电图案，所述第一导电图案包括位于所述接触孔内的第一导电子图案和位于所述接触孔外的第二导电子图案，所述第一导电子图案远离所述柔性衬底基板的一面凹凸不平；

其中，所述第一导电图案的一端与显示面板上的数据信号线连接，所述第一导电图案的另一端与设置在所述显示面板的非显示侧的驱动IC连接。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述在形成有所述第一光阻层的层间介质层上形成第一导电图案之后，所述方法还包括：

在形成有所述第一导电图案的层间介质层上形成第二光阻层；

在所述第二光阻层上形成贯穿所述第二光阻层的至少两个过孔，所述至少两个过孔位于所述第二导电子图案的上方，且所述至少两个过孔分布于所述接触孔的至少两侧；

在形成有所述至少两个过孔的第二光阻层上形成第二导电图案，所述第二导电图案通过所述至少两个过孔与所述第二导电子图案连接。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述在所述接触孔内形成第一光阻层，包括：

在所述接触孔内涂覆光阻材料，以形成光阻薄膜层；

采用半遮光掩膜板或灰阶掩膜板对所述光阻薄膜层进行曝光；

对曝光后的光阻薄膜层进行显影，使形成的所述第一光阻层远离所述柔性衬底基板的一面凹凸不平。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，

所述第一光阻层远离所述柔性衬底基板的一面呈波浪状；

所述第一导电子图案呈波浪状。