CN108238488A - 传递线罩组装体和加工装置 - Google Patents
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Abstract
提供传递线罩组装体和加工装置,该传递线罩组装体按照能够屈曲的方式对由管或导线构成的传递线进行收纳而能够防止其破损。该传递线罩组装体的特征在于,其具有:多条传递线,它们由管或导线构成;以及能够屈曲的多条外管,它们在长度方向上具有对该各传递线进行收纳的开口,该多条外管并列地配置并且相互粘接。
Description
技术领域
本发明涉及按照能够屈曲的方式对由管或导线构成的多条传递线进行收纳的传递线罩组装体以及使用了该传递线罩组装体的加工装置。
背景技术
在工业机械及制造装置等加工装置中,大多数情况下使用水、空气之类的各种流体,这些流体和构成加工装置的可动部的动作所需的电力及信号等通过导线等的布线、管以及配管提供至可动部。
即,在加工装置中使用提供流体的管、电线软线、电线线缆、光纤、光纤线缆等各种传递线。通常传递线固定于装置的基台或框架等上。另外,大多都采用利用一条捆束带等在同一位置将多条传递线固定而设置的方法。
在伴随装置的改造等而对传递线进行变更时,将固定着传递线的捆束带全部拆下,从多条传递线中选出想要的传递线并取下。然后,在再次将传递线缠绕之后,需要与其他传递线一起重新进行固定,非常花费工夫。
另外,关于与磨削装置、切削装置、激光加工装置等各种加工装置中所用的卡盘工作台连接的传递线,其一边追随卡盘工作台的移动或旋转而屈曲一边移动,因此配管容易摩擦而容易发生磨损。因此,为了将流体的泄漏及电线的断裂防止于未然,需要定期地更换传递线。
在日本特开2013-35113号公报中公开了一种可动布线配管连接装置,确保了在将布线配管固定于可动体和固定体上的情况下布线配管的中间部分不会与固定体接触而产生摩擦。
专利文献1:日本特开2011-251375号公报
专利文献2:日本特开2012-95441号公报
专利文献3:日本特开2013-35113号公报
虽然根据专利文献3中记载的可动布线配管连接装置,即使扁平的布线配管的中间部分发生弯曲而与固定体接触,也能够抑制摩擦而能够充分防止其破损,但期望一种构造,按照能够屈曲的方式对传递线进行收纳并能够可靠地防止其破损。
发明内容
本发明是鉴于这样的点而完成的,其目的在于提供一种传递线罩组装体和加工装置,该传递线罩组装体按照能够屈曲的方式对由管或导线构成的传递线进行收纳并能够防止其破损。
根据技术方案1所述的发明,提供传递线罩组装体,其特征在于,该传递线罩组装体具有:多条传递线,它们由管或导线构成;以及能够屈曲的多条外管,它们在长度方向上具有对该各传递线进行收纳的开口,该多条外管并列地配置并且相互粘接。
优选各外管的内侧具有供该传递线能够在径向上移动的空间。优选在外管的内周面上包覆有氟树脂。
根据技术方案4所述的发明,提供加工装置,该加工装置具有:卡盘工作台,其对被加工物进行保持;加工单元,其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工;移动单元,其使该卡盘工作台与该加工单元相对移动;以及多条传递线,它们的一端与该卡盘工作台或该加工单元连接,它们的另一端与提供源连接,该加工装置的特征在于,该多条传递线被收纳在技术方案1~3中的任意一项所述的外管内。
根据本发明的传递线罩组装体,通过使用所谓管中管(tube in tube)方式,能够防止因传递线的摩擦等而导致的磨损,从而能够防止流体的泄漏及电线的断裂。另外,还能够在维持由多条外管构成的传递线罩组装体的结构的同时仅更换所选择的传递线,因此还能够进行高效的传递线的维护,或是变更为期望的传递线的组合。
附图说明
图1的(A)是本发明实施方式的传递线罩组装体的立体图、图1的(B)是其剖视图。
图2是表示从外管内将传递线拉出的情况的立体图。
图3是具有实施方式的传递线罩组装体的磨削装置的转台周围的侧视图。
图4是可动传递线连接装置的剖视图。
图5是可动传递线连接装置的立体图。
图6是转台从图4的状态旋转了规定的角度的情况下的可动传递线连接装置的剖视图。
标号说明
2、2a~2c:传递线罩组装体;4:外管;6、6a:传递线;10:磨削装置;12:卡盘工作台;14:转台;18:旋转轴;20:转台座;32:线缆卷绕旋转部;34:线缆外周引导部;36:线缆容纳区域。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式进行详细的说明。参照图1的(A),示出了本发明实施方式的传递线罩组装体2的立体图。图1的(B)是传递线罩组装体2的剖视图。
传递线罩组装体2是利用粘接剂或焊接将具有挠性的(柔性的)外管4相互平行地粘接而构成的。在外管4的整个长度方向区域内进行粘接,或者间歇地进行粘接。外管4例如由聚氨酯等合成树脂形成。
在各外管4内收纳有由管、电线软线(导线)、电线线缆、光纤、光纤线缆等构成的传递线6、6a。各外管4具有供传递线6、6a能够在径向上充分移动的内径。优选在各外管的内周面上包覆有氟树脂,该氟树脂用于在传递线6、6a与外管4接触时改善滑动。
这样构成的传递线罩组装体2能够保持各外管4相互粘接的状态而自由屈曲或弯曲,在各传递线6、6a被连接于固定体与可动体之间时,将传递线6、6a收纳在外管4内从而能够随着可动体的移动而自由屈曲。
各传递线6、6a被收纳在具有挠性的外管4内,因此能够防止因传递线6、6a彼此摩擦或因与传递线所接触的部件摩擦等而导致的磨损,从而能够防止流体的泄漏、电线的断裂等。
如图2所示,传递线6、6a能够从外管4内沿箭头A方向被拉出,从而能够将传递线6、6a更换为新的传递线。这样,还能够在维持传递线罩组装体2的结构的同时仅更换所选择的传递线6、6a,因此能够进行高效的传递线的维护,或是变更为期望的传递线6、6a的组合。
接着,参照图3至图6,对将实施方式的传递线罩组装体2应用于可动传递线连接装置的例子进行说明。参照图3,示出了磨削装置10所具有的转台14的周围的示意性侧视图。
在转台14上以能够旋转的方式支承有多个卡盘工作台12。各卡盘工作台12具有:对晶片W进行吸引保持的保持部12a;以及从保持部12a垂下的轴部16。
转台14形成为圆盘状,旋转轴18从其中心部垂下。转台14的旋转轴18通过构成转台14的圆筒形状的旋转支承部22而被支承为能够旋转。
各卡盘工作台12的轴部16贯穿插入至设置于转台14的贯通孔15中,并被未图示的轴承支承为能够旋转。其结构如下:在轴部16上卷绕有带24,带24通过电动机26而旋转,从而卡盘工作台12进行自转。
图4所示的可动传递线连接装置30是将图1所示的磨削装置2的动作所需的布线及配管与提供电压、吸引力、水等的提供源连接的装置,具有与转台14的旋转中心相同的旋转中心的圆筒形状的线缆卷绕旋转部32按照围绕旋转支承部22的外壁的方式设置在转台14的下侧。线缆卷绕旋转部32与转台14的旋转轴18一起旋转。
在线缆卷绕旋转部32的外周侧具有带状的线缆外周引导部34,该线缆外周引导部34具有与转台14的旋转中心相同的中心,并固定于转台座20。线缆卷绕旋转部32与线缆外周引导部34之间的环状的空间构成为线缆容纳区域36。
如图5所示,在线缆容纳区域36中收纳有多个(在本实施方式中为3个)传递线罩组装体2a、2b、2c,该传递线罩组装体2a、2b、2c分别由多条外管4并列地粘接而成。
关于传递线罩组装体2a~2c的外侧端部,在使间隔件42夹在构成电线组的连接线罩组装体2a、构成吸引软管组的传递线罩组装体2b以及构成供水软管组的传递线罩组装体2c之间的状态下被固定金属件38捆扎并通过螺栓44而固定。传递线罩组装体2a~2c的外侧端部借助支架40而固定于线缆外周引导部34,并与外部的提供源连结。
另一方面,关于传递线罩组装体2a~2c的内侧端部,在使间隔件50夹在2a~2c之间的状态下被固定金属件46捆扎并通过螺栓52而固定。传递线罩组装体2a~2c的内侧端部借助支架47而固定于与线缆卷绕旋转部32一起旋转的分配部48,从分配部48向各个卡盘工作台12分配传递线6、6a,而对卡盘工作台12提供旋转、吸引等动作所需的电力、吸引力等。传递线罩组装体2a~2c在从转台14的上方观察的状态下呈U字形状弯曲而容纳于线缆容纳区域36。
转台14向箭头A方向(卷绕方向)旋转而传递线罩组装体2a~2c被卷绕,将传递线罩组装体2a~2c被最大程度卷绕至线缆卷绕旋转部32时的转台14的位置设为图4所示的原点位置。
另一方面,当转台14从原点位置向箭头B方向(反卷绕方向)旋转时,传递线罩组装体2a~2c从线缆卷绕旋转部32离开,并如图6所示按照推抵于线缆外周引导部34的方式弯曲。
将这样以原点位置为基准使转台14向反卷绕方向旋转了规定的角度(例如为300°)时的转台14的位置称为图6所示的旋转界限位置。转台14能够在原点位置与旋转界限位置之间进行往复旋转动作。
如图4和图6所示,在线缆容纳区域36中,在卷绕至线缆卷绕旋转部32的传递线罩组装体2a~2c的外周侧的位置配设有引导构件56,该引导构件56在转台14从原点位置向反卷绕方向旋转时,对传递线罩组装体2a~2c从线缆卷绕旋转部32的旋转中心离开并在放射方向上挤出的距离进行限制。
在线缆容纳区域36中配设多个以与线缆卷绕旋转部32的旋转轴平行的轴向为旋转轴的圆筒形状的垂直辊58而构成引导构件56。在与线缆卷绕旋转部32的外周为同心圆的同一圆周上配设有多个垂直辊58。按照能够确保不与卷绕于线缆卷绕旋转部32的传递线罩组装体2a~2c接触的间隔的状态配设有两个以上的垂直辊58。
在线缆容纳区域36中还配设有支承构件60,其从下侧对传递线罩组装体2a~2c进行支承。支承构件60配设于当转台14在从原点位置到旋转界限位置的受限制的范围内进行旋转移动动作时传递线罩组装体2a~2c因自重而垂下的位置。具体而言,传递线罩组装体2a~2c因自重而垂下的位置是传递线罩组装体2a~2c按照呈U字状弯曲的状态移动的范围。
支承构件60由以从转台14的旋转中心呈放射状延伸的方向为轴的圆筒或圆柱形状的多个水平辊62构成。在本实施方式中,作为支承构件60,配设有三个水平辊62,但水平辊62的数量可以为任意个数。
在图3所示的磨削装置10中,当转台14旋转而将卡盘工作台12定位于粗磨削位置时,对卡盘工作台12所保持的晶片W实施粗磨削加工,当转台14进一步旋转而将卡盘工作台12定位于精磨削位置时,对卡盘工作台12所保持的晶片W实施精磨削。因此,转台14从原点位置旋转至旋转界限位置。
不过,即使伴随着转台14的旋转,传递线罩组装体2a~2c向外周侧挤出,也能够通过引导构件56对放射方向上所挤出的距离进行限制,因此传递线罩组装体2a~2c不会与线缆外周引导部34接触。
另外,即使传递线罩组装体2a~2c呈U字状弯曲,也通过支承构件60从下方对弯曲部分进行支承,因此传递线罩组装体2a~2c不会垂下而与转台座20接触。
另外,如图1所示,在传递线罩组装体2a~2c中,各传递线6、6a被收纳在按照在长度方向上平行的方式相互粘接的外管4内,因此即使外管4弯曲,传递线6、6a也不会与线缆卷绕旋转部32和/或线缆外周引导部34直接接触,因此能够将传递线6、6a的破损防止于未然。
Claims (4)
1.一种传递线罩组装体,其特征在于,
该传递线罩组装体具有:
多条传递线,它们由管或导线构成;以及
能够屈曲的多条外管,它们在长度方向上具有对该各传递线进行收纳的开口,该多条外管并列地配置并且相互粘接。
2.根据权利要求1所述的传递线罩组装体,其特征在于,
该各外管的内侧具有供该传递线能够在径向上移动的空间。
3.根据权利要求1或2所述的传递线罩组装体,其特征在于,
在该各外管的内周面上包覆有氟树脂。
4.一种加工装置,其具有:
卡盘工作台,其对被加工物进行保持;
加工单元,其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工;
移动单元,其使该卡盘工作台与该加工单元相对移动;以及
多条传递线,它们的一端与该卡盘工作台或该加工单元连接,它们的另一端与提供源连接,
该加工装置的特征在于,
该多条传递线被收纳在权利要求1~3中的任意一项所述的外管内。
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