CN108127540A - 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺 - Google Patents

一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN108127540A
CN108127540A CN201711316672.3A CN201711316672A CN108127540A CN 108127540 A CN108127540 A CN 108127540A CN 201711316672 A CN201711316672 A CN 201711316672A CN 108127540 A CN108127540 A CN 108127540A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cathode roll
copper foil
polishing
polishing process
electrolytic copper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201711316672.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108127540B (zh
Inventor
王学江
杨祥魁
徐树民
王维河
徐策
徐好强
孙云飞
宋佶昌
王其伶
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHANDONG JINBAO ELECTRONICS CO Ltd
Original Assignee
SHANDONG JINBAO ELECTRONIC CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHANDONG JINBAO ELECTRONIC CO Ltd filed Critical SHANDONG JINBAO ELECTRONIC CO Ltd
Priority to CN201711316672.3A priority Critical patent/CN108127540B/zh
Publication of CN108127540A publication Critical patent/CN108127540A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108127540B publication Critical patent/CN108127540B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
    • B24B29/02—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents designed for particular workpieces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)

Abstract

本发明属于电解铜箔生产技术领域，尤其涉及一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺，步骤如下：采用抛光刷，对表面洁净干燥的阴极辊进行直接抛光，其中，抛光刷转速为120‑360r/min，抛光摆动频率为15‑80次/min，电解抛光电流为1.5‑6.0A。现有的抛光工艺多采用纯水等液体介质作为抛光液，采用这种湿法抛光工艺容易导致电解生箔针孔的产生。本发明可以在阴极辊表面直接抛光，避免了上述问题，简化工艺，同时能够有效改善阴极辊表面的形貌，利于铜结晶在阴极辊表面的有序电沉积，使电解出的铜箔表现出优异的性能。

Description

一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺
技术领域
本发明属于电解铜箔生产技术领域，尤其涉及一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺。
背景技术
铜箔是PCB行业和新能源行业的主要原料之一，高性能的电解铜箔是一种缺陷少、表面峰值均匀的铜箔。阴极辊是电解铜箔生产的关键设备，电解液中的铜离子在外电场的作用下电沉积到阴极辊的表面，随着阴极辊的匀速旋转，沉积在阴极辊表面上的铜不断被剥离下来，从而生产出电解铜箔，阴极辊对电解铜箔而言就好比人的心脏。由于电解铜箔是在阴极辊表面电沉积生成，是阴极辊表面形貌及晶体结构的延续，因此阴极辊表面形貌--包括晶粒大小、几何形状、平整度、粗糙度等直接影响了铜箔亮面的形态。同时，阴极辊的表面形貌对铜箔的毛面亦会有非常大的影响，包括表面的粗糙度、峰值的均匀性和一致性。当阴极辊表面形貌变差时，沉积的铜箔晶粒会大小不一，排列杂乱，导致渗透点或者针孔的出现。因此，一套成熟稳定的抛光工艺对电解铜箔生产具有非常重要的意义。
发明内容
本发明针对上述现有技术存在的不足，提供一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺，包括如下步骤：采用抛光刷，对表面洁净干燥的阴极辊进行直接抛光，其中，抛光刷转速为120-360r/min，抛光摆动频率为15-80次/min，电解抛光电流为1.5-6.0A。
进一步，所述的阴极辊为钛制阴极辊或不锈钢制阴极辊。
进一步，所述抛光刷的目数为1000#-2000#，抛光刷添加磨料为SiC或Al2O3。
进一步，抛光刷转速为180-300r/min，抛光摆动频率为20-60次/min，电解抛光电流为2.0-4.0A。
进一步，抛光时间为10-60min。
本发明的有益效果是：
现有的抛光工艺多采用纯水等液体介质作为抛光液，采用这种湿法抛光工艺容易导致电解生箔针孔的产生。本发明在阴极辊表面直接抛光，无需采用任何液体介质，简化工艺，且能够有效改善阴极辊表面的形貌，利于铜结晶在阴极辊表面的有序电沉积，使电解出的铜箔表现出优异的性能，同时采用该工艺避免了生箔针孔的产生。
附图说明
图1为本发明实施例1的电解铜箔光面×2000倍SEM照片；
图2为本发明实施例2的电解铜箔光面×2000倍SEM照片；
图3为本发明实施例3的电解铜箔光面×2000倍SEM照片；
图4为本发明实施例4的电解铜箔光面×2000倍SEM照片。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
实施例1
选取1200#磨料为Al2O3的抛光刷，对表面洁净且干燥的钛制阴极辊进行抛光，抛光刷转速为260r/min，抛光摆动为60次/min,电解抛光电流为2.0A；阴极辊直径为2700mm，阴极辊转速为1.50m/min,抛光时间为12min。
所得毛箔试样光面的SEM照片如图1所示。
实施例2
选取1200#磨料为SiC的抛光刷，对表面洁净且干燥的钛制阴极辊进行抛光，抛光刷转速为200r/min，抛光摆动为30次/min,电解抛光电流为3.8A；阴极辊直径为2700mm，阴极辊转速为1.20m/min,抛光时间为21min。
所得毛箔试样光面的SEM照片如图2所示。
实施例3
选取1500#磨料为Al2O3的抛光刷，对表面洁净且干燥的钛制阴极辊进行抛光，抛光刷转速为120r/min，抛光摆动为76次/min,电解抛光电流为5.6A；阴极辊直径为2700mm，阴极辊转速为1.20m/min,抛光时间为35min。
所得毛箔试样光面的SEM照片如图3所示。
实施例4
选取1500#磨料为SiC的抛光刷，对表面洁净且干燥的钛制阴极辊进行抛光，抛光刷转速为160r/min，抛光摆动为16次/min,电解抛光电流为1.5A；阴极辊直径为2700mm，阴极辊转速为1.20m/min,抛光时间为28min。
所得毛箔试样光面的SEM照片如图4所示。
对比例1
选取1000#磨料为Al2O3的抛光刷，将表面洁净的阴极辊放在25℃纯水中进行抛光，抛光刷转速为380r/min，抛光摆动为300次/min，电解抛光电流为3.6A；阴极辊直径为2700mm，阴极辊转速为1.20m/min,抛光时间为35min。
对比例2
选取1200#磨料为SiC的抛光刷，将表面洁净的阴极辊放在25℃纯水中进行抛光，抛光刷转速为420r/min，抛光摆动为380次/min，电解抛光电流为5.2A；阴极辊直径为2700mm，阴极辊转速为1.20m/min,抛光时间为28min。
表1实施例1-4所得毛箔试样光面粗糙度测试数据
编号 粗糙度Ra/μm
实施例1 0.296
实施例2 0.306
实施例3 0.286
实施例4 0.282
表2实施例1-4和对比例1-2所得毛箔试样针孔测试情况
编号 35μm厚铜箔针孔情况
实施例1 无
实施例2 无
实施例3 无
实施例4 无
对比例1 有
对比例2 有
由图1-4和表1看出，使用本发明的抛光工艺，抛光效果良好，可有效改善阴极辊表面的形貌。同时，由表2可以看出，采用本发明的抛光工艺，制备出的铜箔无针孔，而采用湿法抛光制备出的铜箔含有大量针孔。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺，其特征在于，包括如下步骤：采用抛光刷，对表面洁净干燥的阴极辊进行直接抛光，其中，抛光刷转速为120-360r/min，抛光摆动频率为15-80次/min，电解抛光电流为1.5-6.0A。
2.根据权利要求1所述的抛光工艺，其特征在于，所述的阴极辊为钛制阴极辊或不锈钢制阴极辊。
3.根据权利要求1所述的抛光工艺，其特征在于，所述抛光刷的目数为1000#-2000#，抛光刷添加磨料为SiC或Al2O3。
4.根据权利要求1所述的抛光工艺，其特征在于，抛光刷转速为180-300r/min，抛光摆动频率为20-60次/min，电解抛光电流为2.0-4.0A。
5.根据权利要求1所述的抛光工艺，其特征在于，抛光时间为10-60min。
CN201711316672.3A 2017-12-12 2017-12-12 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺 Active CN108127540B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711316672.3A CN108127540B (zh) 2017-12-12 2017-12-12 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711316672.3A CN108127540B (zh) 2017-12-12 2017-12-12 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108127540A true CN108127540A (zh) 2018-06-08
CN108127540B CN108127540B (zh) 2021-01-12

Family

ID=62389313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711316672.3A Active CN108127540B (zh) 2017-12-12 2017-12-12 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108127540B (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109097779A (zh) * 2018-08-28 2018-12-28 常州大学 一种电解铜箔用钛阴极辊化学抛光液及抛光方法
CN110565158A (zh) * 2019-10-08 2019-12-13 陕西汉和新材料科技有限公司 一种新式阴极钛辊在线抛光方法及在线抛光装置
CN111235606A (zh) * 2020-03-02 2020-06-05 广东嘉元科技股份有限公司 阴极辊在线抛光防擦伤的方法及防擦伤阴极辊的生箔机
CN111761418A (zh) * 2020-05-20 2020-10-13 金川集团股份有限公司 一种阴极辊精密研磨抛光方法
CN111775024A (zh) * 2020-05-19 2020-10-16 金川集团股份有限公司 一种钛阴极辊的在线抛光方法
CN113478358A (zh) * 2021-06-25 2021-10-08 铜陵市华创新材料有限公司 用于减少4.5μm铜箔缺陷的阴极辊抛光工艺
CN113560964A (zh) * 2021-09-24 2021-10-29 江东电子材料有限公司 一种抛光方法和装置
CN115157018A (zh) * 2022-07-28 2022-10-11 九江德福科技股份有限公司 一种锂电铜箔解决箔面纹理不良的方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998028101A1 (en) * 1996-12-20 1998-07-02 Unique Technology International Private Limited Texturing and electro-deburring of magnetic disk substrate
CN1600499A (zh) * 2004-10-01 2005-03-30 梅县金象铜箔有限公司 电解铜箔阴极辊砂带抛磨的方法
CN1854348A (zh) * 2005-04-25 2006-11-01 联合铜箔(惠州)有限公司 210～400μm超厚电解铜箔及其复合工艺方法和设备
CN201863111U (zh) * 2010-11-12 2011-06-15 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 Pva阴极辊抛光机
CN203266297U (zh) * 2012-12-03 2013-11-06 赣州逸豪实业有限公司 一种电解铜箔阴极辊抛磨机
CN203779296U (zh) * 2014-03-03 2014-08-20 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 一种用于阴极辊在线抛光的抛光刷
CN104002204A (zh) * 2014-06-12 2014-08-27 广东嘉元科技股份有限公司 电解铜箔生产甚低轮廓铜箔用阴极辊的研磨方法
CN204108762U (zh) * 2014-09-27 2015-01-21 湖北中一科技有限公司 一种阴极辊抛磨装置
CN105177695A (zh) * 2015-08-10 2015-12-23 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 一种阴极辊pva抛光的工艺

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998028101A1 (en) * 1996-12-20 1998-07-02 Unique Technology International Private Limited Texturing and electro-deburring of magnetic disk substrate
CN1600499A (zh) * 2004-10-01 2005-03-30 梅县金象铜箔有限公司 电解铜箔阴极辊砂带抛磨的方法
CN1854348A (zh) * 2005-04-25 2006-11-01 联合铜箔(惠州)有限公司 210～400μm超厚电解铜箔及其复合工艺方法和设备
CN201863111U (zh) * 2010-11-12 2011-06-15 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 Pva阴极辊抛光机
CN203266297U (zh) * 2012-12-03 2013-11-06 赣州逸豪实业有限公司 一种电解铜箔阴极辊抛磨机
CN203779296U (zh) * 2014-03-03 2014-08-20 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 一种用于阴极辊在线抛光的抛光刷
CN104002204A (zh) * 2014-06-12 2014-08-27 广东嘉元科技股份有限公司 电解铜箔生产甚低轮廓铜箔用阴极辊的研磨方法
CN204108762U (zh) * 2014-09-27 2015-01-21 湖北中一科技有限公司 一种阴极辊抛磨装置
CN105177695A (zh) * 2015-08-10 2015-12-23 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 一种阴极辊pva抛光的工艺

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
金荣涛: "《电解铜箔生产》", 31 December 2010, 中南大学出版社 *
黄友明: "电解铜箔用阴极辊的腐蚀与维护", 《第九届中国覆铜板市场•技术研讨会论文集》 *

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109097779A (zh) * 2018-08-28 2018-12-28 常州大学 一种电解铜箔用钛阴极辊化学抛光液及抛光方法
CN110565158A (zh) * 2019-10-08 2019-12-13 陕西汉和新材料科技有限公司 一种新式阴极钛辊在线抛光方法及在线抛光装置
CN111235606A (zh) * 2020-03-02 2020-06-05 广东嘉元科技股份有限公司 阴极辊在线抛光防擦伤的方法及防擦伤阴极辊的生箔机
CN111235606B (zh) * 2020-03-02 2020-09-18 广东嘉元科技股份有限公司 阴极辊在线抛光防擦伤的方法及防擦伤阴极辊的生箔机
CN111775024A (zh) * 2020-05-19 2020-10-16 金川集团股份有限公司 一种钛阴极辊的在线抛光方法
CN111761418A (zh) * 2020-05-20 2020-10-13 金川集团股份有限公司 一种阴极辊精密研磨抛光方法
CN113478358A (zh) * 2021-06-25 2021-10-08 铜陵市华创新材料有限公司 用于减少4.5μm铜箔缺陷的阴极辊抛光工艺
CN113560964A (zh) * 2021-09-24 2021-10-29 江东电子材料有限公司 一种抛光方法和装置
CN115157018A (zh) * 2022-07-28 2022-10-11 九江德福科技股份有限公司 一种锂电铜箔解决箔面纹理不良的方法
CN115157018B (zh) * 2022-07-28 2023-12-12 九江德福科技股份有限公司 一种锂电铜箔解决箔面纹理不良的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108127540B (zh) 2021-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108127540A (zh) 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺
KR102048806B1 (ko) 금속박의 제조 방법 및 금속박 제조용 음극
CN105196196B (zh) 一种磨料有序排列的电镀金刚石砂轮
CN111496646B (zh) 一种生箔制造用阴极钛辊表面研磨抛光工艺
JP2000232078A (ja) メッキ方法及びメッキ装置
US10590555B2 (en) Method for producing electrolytic aluminum foil
CN102851729B (zh) 金属基带的多通道连续化电解抛光装置及抛光方法
CN102703955B (zh) 一种镁合金板的微弧氧化镀膜方法
JP6355006B1 (ja) 金属箔の製造方法および金属箔製造用陰極
US3151048A (en) Method of making copper foil, and the apparatus therefor
WO2010032802A1 (ja) 太陽電池
CN109554746A (zh) 一种高压高比容腐蚀箔的制备方法
CN105177695B (zh) 一种阴极辊pva抛光的工艺
KR20130041431A (ko) 광학필름 생산용 가이드롤의 표면처리 방법
JP7146274B2 (ja) 微小粗面化電解銅箔及び銅箔基板
CN111775024A (zh) 一种钛阴极辊的在线抛光方法
CN108301018A (zh) 一种电极的制备工艺
JP2018003092A (ja) めっき被覆ロールの製造方法及びめっき用水素ガス付着抑制機構
CN112251780B (zh) 一种改进的平板电沉积铜箔制备方法
JP2001011698A (ja) 平版印刷板用アルミニウム支持体の粗面化方法及び製造方法
JP3738940B2 (ja) 校正用平版印刷版用アルミニウム支持体の製造方法
CN112981472A (zh) 一种铜箔生产工艺
JP4465084B2 (ja) 銅箔の製造方法及び製造装置
JPH02500374A (ja) 金属箔又は帯を電鋳するための陰極表面処理
CN104440502A (zh) 滚动式电抛光设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 265400 No.268, Guoda Road, Zhaoyuan City, Yantai City, Shandong Province

Patentee after: Shandong Jinbao Electronics Co.,Ltd.

Address before: 265400 No. 128, Wenquan Road, Zhaoyuan, Shandong, Yantai

Patentee before: SHANDONG JINBAO ELECTRONICS Co.,Ltd.