CN108068009B - 研磨垫及其制造方法、以及研磨物的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及研磨垫及其制造方法、以及研磨物的制造方法。本发明的目的在于提供研磨垫及其制造方法、以及使用了研磨垫的研磨物的制造方法，所述研磨垫能够确保对具有曲面的被研磨物进行研磨时的研磨面品质。本发明的课题是一种研磨垫，所述研磨垫具有基材和含浸于该基材中的树脂，所述基材具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部，所述研磨垫至少满足下述条件：所述绒头来自于具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维的针织物中的所述中间纤维，所述针织物是以经编或纬编构成的针织物；所述连接部来自于所述表面背面纤维中的任一方。

Description

研磨垫及其制造方法、以及研磨物的制造方法

技术领域

本发明涉及研磨垫及其制造方法、以及研磨物的制造方法

背景技术

以往，在对具有平面和曲面的被研磨物的研磨中，使用抛光轮(buff)是已知的(专利文献1)。在专利文献1中提出了下述抛光轮，为了使研磨面上产生缓冲作用从而降低其与被研磨物之间的摩擦阻力，在铺设于旋转板表面的基布的表面上，多张带状的研磨布以彼此具有适宜间隔的方式从旋转板的中心呈放射状配置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-15835号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，抛光轮缺少对被研磨物表面的追随性，要研磨平面及曲面时，需要一边改变接触的位置及角度一边进行研磨，因此，研磨工序变得复杂，从成本的观点考虑存在问题。另外，也可考虑代替抛光轮而使用下述研磨垫对具有平面和曲面的被研磨物进行研磨，所述研磨垫是在海绵、无纺布中含浸树脂而得到的，其中，为了实现对曲面的追随性而在研磨表面上形成有槽。但是，仅通过形成槽以试图提高对曲面的追随性的研磨垫存在容易使被研磨物的表面产生来自槽的研磨痕迹的问题。此外，在为了使如上所述地形成有槽的研磨垫追随被研磨物而将该研磨垫弯曲时，在被槽夹住的脊面部的尤其是接近槽的部分中会被施以负荷，脊面部变得容易破损·脱落，结果，会使被研磨物上产生划伤等缺陷。此外，在使用无纺布的情况下，也有可能由于纤维的脱落而使被研磨物上产生划伤等缺陷。

因此，在对具有平面及曲面、进而还具有侧面(其为朝向与平面不同的方向的面，通常介由曲面而与平面相连接。)的玻璃、金属壳体的这些表面进行镜面研磨时，需要在使用平面研磨机时不仅能对平面进行研磨而且还能对曲面及侧面进行研磨、并且不会使研磨后的被研磨物表面产生研磨痕迹的研磨垫。

本发明是鉴于上述情况而作出的，目的在于提供下述研磨垫及其制造方法、以及使用了研磨垫的研磨物的制造方法，所述研磨垫使得在使用平面研磨机时不仅能对被研磨物所具有的平面进行研磨而且还能对曲面及侧面进行研磨，并且能够确保研磨面品质。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本申请的发明人进行了锐意研究。结果发现，若为构成是具备通过除去针织物的表面而形成有绒头的基材、并且该基材含浸有树脂的研磨垫，则能够解决上述课题，从而完成了本发明。

即，本发明如下所述。

〔1〕研磨垫，所述研磨垫具有：

基材，所述基材具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部；和

含浸于该基材中的树脂，

所述研磨垫至少满足下述条件：

所述绒头来自于具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维的针织物中的所述中间纤维，所述针织物是以经编或纬编构成的针织物；

所述连接部来自于所述表面背面纤维中的任一方。

〔2〕如〔1〕所述的研磨垫，其中，所述绒头的平均长度为0.5～20mm。

〔3〕如〔1〕或〔2〕所述的研磨垫，其中，所述绒头为原纱(日文：なま糸)。

〔4〕如〔1〕～〔3〕中任一项所述的研磨垫，其中，所述树脂包含聚碳酸酯系聚氨酯树脂。

〔5〕如〔1〕～〔4〕中任一项所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的肖氏A硬度为0～30°。

〔6〕如〔1〕～〔5〕中任一项所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的压缩弹性模量为50～98％。

〔7〕如〔1〕～〔6〕中任一项所述的研磨垫，其中，构成所述针织物的单纱的数均直径为3～500μm。

〔8〕如〔1〕～〔7〕中任一项所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的压缩变形量为0.5～15mm。

〔9〕如〔1〕～〔8〕中任一项所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的厚度为1.0～22mm。

〔10〕如〔1〕～〔9〕中任一项所述的研磨垫，其中，在所述基材的与所述研磨面相反的一侧还具有缓冲层。

〔11〕如〔10〕所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的厚度为3～25mm。

〔12〕如〔10〕或〔11〕所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的肖氏A硬度为0～0.3°。

〔13〕如〔10〕～〔12〕中任一项所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的压缩变形量为2.0～20mm。

〔14〕如〔10〕～〔13〕中任一项所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的压缩弹性模量为85～99％。

〔15〕如〔10〕～〔14〕中任一项所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的密度为0.010～0.100g/cm³。

〔16〕研磨垫的制造方法，所述制造方法包括下述工序：

含浸工序，使包含树脂的树脂溶液含浸于以经编或纬编构成的针织物中，并进行湿式凝固，由此得到树脂含浸针织物；和

表面除去工序，将存在于所述树脂含浸针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维除去，由此，使连接所述针织物的表面背面的中间纤维以绒头的形式露出。

〔17〕如〔16〕所述的制造方法，其中，在所述表面除去工序前包括浸渍工序，所述浸渍工序为：将所述树脂含浸针织物浸渍在包含可溶解所述树脂的溶剂的浸渍液中。

〔18〕如〔16〕或〔17〕所述的研磨垫的制造方法，其中，所述树脂在选自由N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂中可溶。

〔19〕如〔16〕～〔18〕中任一项所述的研磨垫的制造方法，其中，可溶解所述树脂的溶剂包含选自由N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂

〔20〕研磨物的制造方法，所述制造方法包括使用〔1〕～〔15〕中任一项所述的研磨垫对被研磨物进行研磨的研磨工序。

发明的效果

通过本发明，可提供下述研磨垫及其制造方法、以及使用了研磨垫的研磨物的制造方法，所述研磨垫使得在使用平面研磨机时不仅能对被研磨物所具有的平面进行研磨而且还能对曲面及侧面进行研磨，并且能够确保研磨面品质。

附图说明

[图1]是表示本实施方式的研磨垫的制造方法中的表面除去工序的概念图。

[图2]是表示实施例的研磨试验中使用的托架(carrier)的概念图。

[图3]是用于说明实施例的研磨试验的概念图。

[图4]是比较例中使用的无纺布A的剖面图。

[图5]是实施例1的研磨试验前的被研磨物表面(曲面)的照片。

[图6]是实施例1的研磨试验后的被研磨物表面(曲面)的照片。

具体实施方式

以下，根据需要参照附图对本发明的具体实施方式(以下，简称为“本实施方式”。)进行详细说明。另外，只要没有特别的说明，则上下左右等位置关系以附图中所示的位置关系为基准。此外，附图的尺寸比例并不限于图示的比例。

〔研磨垫〕

本实施方式的研磨垫具有基材和含浸于该基材中的树脂，所述基材具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部，所述研磨垫至少满足下述条件：所述绒头来自于具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维的针织物中的所述中间纤维，所述针织物是以经编或纬编构成的针织物；所述连接部来自于所述表面背面纤维中的任一方。

即，本实施方式的研磨垫的基材是通过下述方式得到的：从以经编或纬编构成的、具有形成表面背面的表面背面纤维和连接表面背面的中间纤维的针织物，通过抛光处理或切剖处理而将表面背面中的任一面除去，由此制成具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部的基材。如上所述，通过使得以经编或纬编构成的针织物的表面背面中的任一面以沿面方向被切剖的状态被具备，能够形成绒头，并且绒头的纤维端面分布均匀，从而能够形成纤维的脱离被抑制的研磨面。因此，在使用本实施方式的研磨垫通过平面研磨机进行研磨时，不仅能对平面进行研磨，还能对被研磨物所具有的曲面、及朝向与平面不同的方向的侧面进行研磨(追随性高)，并且能够确保研磨面品质，而且，研磨速率也优异。

需要说明的是，树脂被含浸于基材中，含浸·附着于构成绒头、连接部的纤维的内部及表面。但是，即使含浸·附着有树脂，在绒头之间也存在空隙。通过使用这样的树脂，能够增强绒头及连接部的强度，不会损害研磨垫对被研磨物的追随性，能够提高研磨速率和被研磨物的表面品质。

〔基材〕

含浸有树脂的基材(即，树脂与含浸该树脂的基材的复合体。下同。)的压缩变形量优选为0.5～15mm，更优选为1.0～15mm，进一步优选为1.0～10mm，更进一步优选为1.0～5.0mm，特别优选为1.0～3.0mm。通过使压缩变形量为0.5mm以上，从而有追随性及被研磨物的表面品质进一步提高的倾向。另外，通过使压缩变形量为15mm以下，从而有下述倾向：研磨速率进一步提高，能够进一步抑制研磨垫的变形。需要说明的是，压缩变形量可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，压缩变形量可以通过例如绒头的长度、选择的树脂的种类来调整。

绒头的平均长度优选为0.5～20mm，更优选为1.0～15mm，进一步优选为1.5～10mm，更进一步优选为1.5～5.0mm，特别更优选为1.5～3.0mm。通过使绒头的平均长度为0.5mm以上，从而有下述倾向：与被研磨物的密合性进一步提高，对具有曲面的被研磨物的追随性进一步提高。另外，通过使绒头的平均长度为20mm以下，从而绒头形成更坚硬的刷(brush)，因此，有研磨速率进一步提高的倾向。需要说明的是，绒头的平均长度是指从连接部立起的绒头的长度(全长)的平均值(参见图1)。

含浸有树脂的基材的压缩弹性模量优选为50～98％，更优选为60～98％，进一步优选为70～98％，更进一步优选为80～98％，特别优选为90～98％。通过使压缩弹性模量为50％以上，从而有研磨速率进一步提高的倾向。另外，通过使压缩弹性模量为98％以下，从而有下述倾向：与被研磨物的密合性进一步提高，对具有曲面的被研磨物的追随性进一步提高。需要说明的是，压缩弹性模量可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，压缩弹性模量可以通过例如后述的优选制造方法中选择的树脂的种类来调整。

含浸有树脂的基材的肖氏A硬度优选为0～30°，更优选为0～25°，进一步优选为0～20°。通过使肖氏A硬度为0°以上(检测限以上)，从而有研磨速率进一步提高的倾向。另外，通过使肖氏A硬度为30°以下，从而有下述倾向：与被研磨物的密合性进一步提高，对具有曲面的被研磨物的追随性进一步提高。需要说明的是，肖氏A硬度可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，肖氏A硬度可以通过例如选择的树脂的种类来调整。

含浸有树脂的基材的密度优选为0.10～0.40g/cm³，更优选为0.15～0.35g/cm³，进一步优选为0.15～0.30g/cm³。通过使密度为0.10g/cm³以上，从而有能够进一步抑制研磨垫的永久变形的倾向。另外，通过使密度为0.40g/cm³以下，从而有追随性进一步提高的倾向。需要说明的是，密度可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，密度可以通过例如后述的优选制造方法中的树脂相对于针织物的含有率来调整。

含浸有树脂的基材的厚度优选为1.0～22mm，更优选为1.5～20mm，进一步优选为2.0～15mm，更进一步优选为10mm，特别优选为5mm。通过使厚度为1.0mm以上，从而有对被研磨物的追随性进一步提高的倾向。另外，通过使厚度为22mm以下，从而有被研磨物的变形(波纹、面形状)更稳定的倾向。需要说明的是，厚度可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，厚度可以通过例如针织物的编织方法、去除的表面背面层的量来调整。

〔针织物〕

针织物是以经编或纬编构成的，具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维。与无纺布相比，以经编或纬编构成的针织物的编织结构是规则的，因此，研磨面中的纤维端面的分布变得更均匀，在整个研磨面内的研磨速率的均匀性进一步提高。另外，规则的纤维端面的分布使得能够进行更均质的研磨，能够有助于达成表面品质优异的研磨。进而，通过将针织物的表面背面中的任一面作为连接部，能够抑制研磨面的绒头在研磨时脱落。由此，能够抑制由于脱落的绒头而导致在被研磨物表面产生划伤等。需要说明的是，从得到更长的绒头这样的观点考虑，优选经编。

本实施方式的研磨垫可以用于研磨加工及抛光(lapping)加工中的任意加工，但优选用于一级研磨用途及/或二级研磨用途。特别地，通过改变针织物的编织方法，能够容易地构成与所必需的研磨速率及表面品质相适应的研磨垫。

需要说明的是，作为经编，没有特别限定，例如可举出单梳栉经编织物、双面经编针织物等特里科经编织物(tricot)；单面拉舍尔经编织物(single raschel)、双面拉舍尔经编织物(double raschel)等拉舍尔经编织物；及米兰尼斯经编织物(milanese)。经编中，从更有效地发挥本发明的效果的观点考虑，优选拉舍尔经编织物。

另外，作为纬编，没有特别限定，例如可举出单面纬编、双面纬编等圆型针织物(日文：丸編)；罗纹(rib)针织物、双罗纹针织物、双反面针织物等横编(日文：横編)。另外，作为单面纬编，没有特别限定，例如可举出沉降片圆纬针织物(日文：シンカー台丸編)、成圈轮式针织物、汤姆金(Tompkins)针织物。作为双面纬编，没有特别限定，例如可举出弹力罗纹(flys)针织物、双罗纹织物、瓦楞织物(日文：ダンボール編)。纬编中，从更有效地发挥本发明的效果的观点考虑，优选圆型针织物，更优选瓦楞织物。

另外，作为构成针织物的纤维，没有特别限定，例如可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚乳酸等聚酯系纤维；尼龙6、尼龙66、尼龙11、尼龙12、尼龙610等聚酰胺系纤维；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃系纤维。其中，优选聚酯系纤维。

构成针织物的中间纤维优选为未实施假捻等的原纱。由此，本实施方式的研磨垫的绒头成为原纱。通过使用原纱，从而有下述倾向：较之假捻纱而言绒头的追随性进一步提高，研磨速率进一步提高。需要说明的是，构成针织物的表面背面的表面背面纤维可以是原纱，也可以是假捻纱。

另外，构成针织物的表面背面的表面背面纤维、和连接针织物的表面背面的中间纤维的种类彼此可以相同也可以不同。主要构成针织物表面背面的纤维、和主要构成针织物的中间结构的纤维的种类可以通过编织方法和纤维的选择而适宜调整。例如，通过使用原纱作为主要构成针织物的中间结构的纤维，从而如上文所述，有研磨速率进一步提高的倾向。此外，连接针织物的表面背面的中间纤维可以是1种纤维，也可以是2种以上的不同种类的纤维，长丝的类型可以是复丝、单丝、复丝与单丝的组合中的任何。

构成针织物的单纱的数均直径优选为3～500μm，更优选为5～300μm，进一步优选为10～200μm。通过使构成针织物的单纱的数均直径在上述范围内，从而有下述倾向：绒头的追随性进一步提高，因此研磨速率进一步提高，另外，连接部的强度也提高，因此被研磨物的表面品质进一步提高。此外，通过使构成针织物的单纱的数均直径在上述范围内，从而有纱、针织物的制造变得更容易的倾向。

构成针织物的单纱纤度优选为0.1～2700dtex，更优选为0.5～1000dtex，进一步优选为1～500dtex，更进一步优选为1～100dtex，更进一步优选为1～10dtex，特别优选为1～5dtex。通过使构成针织物的单纱纤度在上述范围内，从而有纱、针织物的制造变得更容易的倾向。

构成针织物的纤维纤度优选为30～2700dtex，更优选为40～1000dtex，进一步优选为50～500dtex。通过使构成针织物的纤维纤度在上述范围内，从而有纱、针织物的制造变得更容易的倾向。这里，所谓“纤维”，是指单纱(单丝)进行多根长丝聚集而成的复丝及以单纱的形式使用时的单丝。

平均每根构成针织物的纤维的长丝数优选为1～100，更优选为1～80，进一步优选为1～60，更进一步优选为5～60，更进一步优选为10～50。通过使平均每根纤维的长丝数在上述范围内，从而有纱、针织物的制造变得更容易的倾向。

〔树脂〕

作为含浸于基材中的树脂，没有特别限定，例如可举出聚氨酯、聚氨酯聚脲等聚氨酯系树脂；聚丙烯酸酯、聚丙烯腈等丙烯酸系树脂；聚氯乙烯、聚乙酸乙烯酯、聚偏二氟乙烯等乙烯基系树脂；聚砜、聚醚砜等聚砜系树脂；乙酰化纤维素、丁酰化纤维素等酰化纤维素系树脂；聚酰胺系树脂；及聚苯乙烯系树脂。其中，作为含浸于基材中的树脂，优选包含聚氨酯系树脂。作为聚氨酯系树脂，虽并不限于以下聚氨酯系树脂，但例如可举出聚酯系聚氨酯树脂、聚醚系聚氨酯树脂、及聚碳酸酯系聚氨酯树脂，更优选聚碳酸酯系聚氨酯树脂。通过使用这样的树脂，从而绒头的硬度与柔软度的均衡性进一步提高，作为其结果，有研磨速率的提高与对具有曲面的被研磨物的追随性的均衡性进一步提高的倾向。含浸于基材中的树脂可以单独使用1种，也可以并用2种以上。

另外，作为上述树脂，优选为能进行所谓的湿式凝固、且可含浸于基材中的树脂。作为这样的树脂的例子，虽并不限于以下树脂，但可举出聚氨酯系树脂、丙烯酸系树脂、乙烯基系树脂、聚砜系树脂、酰化纤维素系树脂、聚酰胺系树脂、及聚苯乙烯系树脂。作为聚氨酯系树脂，虽并不限于以下聚氨酯系树脂，但例如可举出聚酯系聚氨酯树脂、聚醚系聚氨酯树脂、及聚碳酸酯系聚氨酯树脂。需要说明的是，所谓“湿式凝固”是指，将使树脂溶解而得的树脂溶液含浸于针织物中，将其浸渍于凝固液(对树脂而言为不良溶剂。)的槽中，由此使所含浸的树脂溶液中的树脂凝固再生。通过使树脂溶液中的溶剂与凝固液进行置换，从而树脂溶液中的树脂发生凝集并凝固。需要说明的是，从用于湿式凝固的观点考虑，树脂优选在选自由N,N-二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、甲基乙基酮、及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂中可溶。

树脂在23±2℃时的100％模量(modulus)优选为1MPa～30MPa，更优选为2MPa～20MPa。100％模量为下述值：在将由该树脂形成的片材进行100％拉伸时、即拉伸为原长度的2倍时所施加的负荷除以单位面积而得到的值。

关于作为基材的针织物的质量比例，相对于基材及树脂的总量而言，优选为30～60质量％，更优选为30～55质量％。通过使针织物的质量比例在上述范围内，从而有研磨速率进一步提高的倾向。

需要说明的是，对于基材及树脂的各含量，可以利用在极性溶剂中的溶解性(极性)的差异、胺分解性的差异，根据溶出的成分的质量或残渣的质量而求出。另外，也可以测定后述的1次含浸工序后的研磨垫的密度，由密度差算出。需要说明的是，密度的测定可以与上述同样地操作而进行测定。

〔其他成分〕

对于研磨垫而言，除了上述的针织物及树脂之外，根据目的，还可以包含通常的研磨垫中可含有的各种添加剂。作为这样的添加剂，虽并不限于以下添加剂，但例如可举出炭黑等颜料或填料、亲水性添加剂、及疏水性添加剂。

作为亲水性添加剂，没有特别限定，例如可举出十二烷基硫酸钠、羧酸盐、磺酸盐、硫酸酯盐、磷酸酯盐之类的阴离子表面活性剂；亲水性的酯系化合物、醚系化合物、酯·醚系化合物、酰胺系化合物之类的非离子表面活性剂。

另外，作为疏水性添加剂，没有特别限定，例如可举出聚氧乙烯烷基醚、聚氧丙烯烷基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚、全氟烷基环氧乙烷加成物、甘油脂肪酸酯、丙二醇脂肪酸酯之类的加成有碳原子数为3以上的烷基链的非离子型表面活性剂。

此外，研磨垫中可以残留有在其制造过程中使用的添加剂等各种材料。

〔缓冲层〕

本实施方式的研磨垫可以在基材的与研磨面相反的一侧还具有缓冲层。通过具有缓冲层，从而有下述倾向：除了对具有曲面的被研磨物的追随性进一步提高之外，针对被研磨物的研磨压力的均匀性也进一步提高。此处，所谓由缓冲层赋予的追随性，除包括研磨垫具有的绒头追随被研磨物的平面及曲面的情况以外，还包括由于缓冲层的影响而使作为绒头的连接部的基材自身由于研磨压力而柔软地追随被研磨物的曲面形状的情况。换言之，缓冲层通过提高作为绒头的连接部的基材自身的追随性，从而有助于更高效地发挥由基材(其具有配置有绒头的研磨面和连接绒头的一端的连接部)、和含浸于该基材的树脂构成的研磨层(也简称为“研磨层”)的效果。

缓冲层越薄，则为了使研磨垫追随具有曲面的研磨物而越需要提高研磨压力，但研磨压力的提高除了产生划伤(槽)等研磨痕迹的影响以外，还产生使被研磨物的品质(例如，曲面上产生的分界线、微小缺陷的程度)下降的方向的影响。另一方面，缓冲层较厚、且具有一定值以上的缓冲性时，即使研磨压力低，也仍然存在研磨垫容易追随具有曲面的被研磨物的倾向。由此，能够得到曲面上产生的分界线、微小缺陷得以抑制的被研磨物，从而进一步提高被研磨物的品质。尤其是缓冲层具有一定值以上的缓冲性时，能够得到曲面上产生的分界线、微小缺陷得以抑制为无需精研磨的程度的被研磨物，从而可提供能够省略精研磨工序的研磨垫。

作为缓冲层，没有特别限定，可举出例如聚烯烃系发泡体、聚氨酯系发泡体、聚苯乙烯系发泡体、酚系发泡体、合成橡胶系发泡体、硅橡胶系发泡体等。

缓冲层的厚度可根据被研磨物的形状、尺寸而适当选择，考虑到制作时、使用时的操作性等，优选为3～25mm，更优选为5～23mm，进一步优选为10～23mm，特别优选为12～20mm。通过使缓冲层的厚度为3mm以上，从而有得到的被研磨物的表面品质进一步提高的倾向。特别地，通过使缓冲层的厚度为12mm以上，从而有下述倾向：在对被研磨物的追随性进一步提高、得到的被研磨物上更难产生分界线等方面，表面品质进一步提高为可省略精研磨的程度。另外，通过使缓冲层的厚度为25mm以下，从而有下述倾向：被研磨物的变形(波纹、面形状)更稳定，另外，更容易设置于研磨机。需要说明的是，厚度可利用实施例中记载的方法进行测定。

缓冲层的肖氏A硬度可根据被研磨物的形状、尺寸而适当选择，考虑到制作时、使用时的操作性等，优选为0～20°，更优选为0～5°，进一步优选为0～2°，更进一步优选为0～0.7°，特别优选为0～0.3°。通过使肖氏A硬度为4°以下，从而有下述倾向：与被研磨物的密合性进一步提高，对具有曲面的被研磨物的追随性进一步提高。特别地，通过使肖氏A硬度为0.3°以下，从而有下述倾向：在对被研磨物的追随性进一步提高、得到的被研磨物上更难产生分界线等方面，表面品质进一步提高为能够省略精研磨的程度。另外，肖氏A硬度的下限没有特别限制，可以为0°(检测限)。需要说明的是，肖氏A硬度可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，肖氏A硬度可以通过例如选择的发泡体的种类、发泡倍率来调整。

缓冲层的压缩变形量可根据被研磨物的形状、尺寸而适当选择，考虑到制作时、使用时的操作性等，优选为2.0～20mm，更优选为5.0～20mm，进一步优选为6.0～20mm，更进一步优选为11～16mm，特别优选为13～16mm。通过使压缩变形量为3.0mm以上，从而有追随性及被研磨物的表面品质进一步提高的倾向。特别地，通过使压缩变形量为11mm以上，从而有下述倾向：在对被研磨物的追随性进一步提高、得到的被研磨物上更难产生分界线等方面，表面品质进一步提高为可省略精研磨的程度。另外，通过使压缩变形量为20mm以下，从而有下述倾向：研磨速率进一步提高，能够进一步抑制研磨垫的变形。需要说明的是，压缩变形量可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，压缩变形量可以通过例如选择的发泡体的种类、发泡倍率来调整。

缓冲层的压缩弹性模量可根据被研磨物的形状、尺寸而适当选择，考虑到制作时、使用时的操作性等，优选为70～99％，更优选为80～99％，进一步优选为85～99％，更进一步优选为90～98％，特别优选为92～98％。通过使压缩弹性模量为70％以上，从而有研磨速率进一步提高的倾向。特别地，通过使压缩弹性模量为90％以上，从而有下述倾向：对被研磨物的追随性进一步提高，得到的被研磨物上更难产生分界线，表面品质进一步提高。另外，通过使压缩弹性模量为99％以下，从而有下述倾向：与被研磨物的密合性进一步提高，对具有曲面的被研磨物的追随性进一步提高。需要说明的是，压缩弹性模量可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，压缩弹性模量可以通过例如选择的树脂的种类、发泡体的种类、发泡倍率来调整。

缓冲层的密度可根据被研磨物的形状、尺寸而适当选择，考虑到制作时、使用时的操作性等，优选为0.010～0.100g/cm³，更优选为0.020～0.090g/cm³，进一步优选为0.030～0.080g/cm³。通过使密度为0.010g/cm³以上，从而有能够进一步抑制研磨垫的永久变形的倾向。另外，通过使密度为0.100g/cm³以下，从而有追随性进一步提高的倾向。需要说明的是，密度可利用实施例中记载的方法进行测定。另外，密度可以通过例如选择的树脂的种类、发泡体的种类、发泡倍率来调整。

〔研磨垫的制造方法〕

本实施方式的研磨垫的制造方法只要是包括下述工序的方法即可，没有特别限定，所述工序为：使树脂含浸于针织物中并进行固态化的工序；和通过将存在于针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维除去而形成绒头的工序。例如，在使用多种树脂的情况下，可以将多种树脂混合并一次性地使其含浸于针织物中，也可以包括多个阶段的含浸工序，即，使一部分树脂含浸于针织物中并进行固化后，使剩余的树脂含浸于针织物中并进行固化。另外，关于存在于针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维的除去(切剖)的时机，可以将存在于含浸树脂后的针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维除去(切剖)，也可以在含浸一部分树脂后将针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维除去，然后进一步含浸剩余的树脂。

作为本实施方式的研磨垫的制造方法，例如可举出包括下述工序的方法：含浸工序，使包含树脂的树脂溶液含浸于以经编或纬编构成的针织物中，并进行湿式凝固，由此得到树脂含浸针织物；和表面除去工序，将存在于上述树脂含浸针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维除去，由此，使连接上述针织物的表面背面的中间纤维以绒头的形式露出。

〔含浸工序〕

含浸工序为如下工序：使包含树脂的树脂溶液含浸于以经编或纬编构成的针织物中，并进行湿式凝固，由此得到树脂含浸针织物。在使树脂溶液含浸于针织物中后采用湿式凝固法的情况下，通过在凝固液中于附着在针织物的纤维上的树脂溶液的表面进行树脂溶液的溶剂与凝固液的置换，从而树脂可在纤维的表面上凝固再生。

作为上述含浸工序的具体例，如下所述。首先，将上述那样的适于湿式凝固的树脂、和能溶解该树脂且与后述的凝固液混溶的溶剂、和根据需要的其他添加剂混合，进而根据需要在减压下进行脱泡，准备树脂溶液。作为上述溶剂，没有特别限定，例如可举出N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、N,N-二甲基乙酰胺(DMAC)、甲基乙基酮(MEK)及二甲基亚砜。从选择针对树脂的良溶剂的观点、以及在凝固浴中均匀混溶而使湿式凝固更容易进行的观点考虑，树脂优选在选自由N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂中可溶。同样地，上述溶剂优选包含选自由N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂。

从在针织物的整体内含浸树脂的观点、及充分确保树脂的含浸量的观点考虑，对于上述树脂溶液而言，使用B型旋转粘度计于20℃测得的粘度优选为8000cp以下，更优选为100cp～5000cp，进一步优选为400cp～3000cp。从得到在这样的粘度数值范围内的树脂溶液的观点考虑，例如，可以将聚氨酯树脂以相对于树脂溶液的总量为5～25质量％的范围、更优选为8～20质量％的范围溶解于溶剂中。树脂溶液的粘性还取决于使用的树脂的种类及分子量，因此，优选综合考虑上述因素而进行树脂的选定、浓度设定等。

接下来，在树脂溶液中充分浸渍针织物后，使用可在一对辊之间进行加压的轧液辊(mangle roller)，从附着有树脂溶液的针织物中轧除树脂溶液，由此，将树脂溶液在针织物上的附着量调整为所期望的量，使树脂溶液均匀或大致均匀地含浸于针织物中。接着，将含浸有树脂溶液的针织物浸渍在针对树脂的不良溶剂、例如以水为主成分的凝固液中，由此使树脂(以下，将进行湿式凝固的树脂称为“湿式树脂”。)凝固再生。为了调整树脂的再生速度，可以在凝固液中添加除树脂溶液中的溶剂以外的极性溶剂等有机溶剂。另外，关于凝固液的温度，只要是能将树脂凝固的温度，则没有特别限定，例如，可以为15～60℃。

本实施方式中，优选的是，在进行上述的湿式凝固之后，供于如下所述的洗涤·干燥工序。首先，在水等洗涤液中对湿式树脂已凝固再生的针织物进行洗涤，将残留在树脂含浸针织物中的DMF等溶剂除去。洗涤后，将针织物从洗涤液中提起，使用轧液辊等轧除多余的洗涤液。然后，可以将针织物基材在100℃～150℃的干燥机中进行干燥。另外，从提高作为后续工序的浸渍工序的均匀性的观点考虑，优选的是，在上述干燥之后，对得到的树脂含浸针织物进一步进行基于切割、抛光等的加工，除去表层的表皮层，从而制成规定的厚度。

〔浸渍工序〕

本实施方式的研磨垫的制造方法可以在后述的表面除去工序前包括浸渍工序，所述浸渍工序为：将树脂含浸针织物浸渍在包含可溶解树脂的溶剂的浸渍液中。浸渍工序是通过将树脂含浸针织物浸渍在包含可溶解树脂的溶剂的浸渍液中，从而使湿式树脂部分地再溶解于溶剂中的工序。认为通过浸渍工序，使得树脂含浸针织物内部的气泡(例如闭口气孔及开口部小的开口气孔)减少，针织物与湿式树脂的密合性提高。作为用于浸渍工序的溶剂，没有特别限定，例如可举出N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、N,N-二甲基乙酰胺(DMAC)、甲基乙基酮(MEK)、及二甲基亚砜(DMSO)。另外，作为进行浸渍时的温度条件，从减少树脂中的气泡、并且防止树脂向溶剂中溶出的观点考虑，优选为15.0～25.0℃；作为浸渍时间，从同样的观点考虑优选为5～30秒。需要说明的是，优选在上述的浸渍工序之后设置干燥工序。

〔表面除去工序〕

表面除去工序为如下工序：将存在于树脂含浸针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维除去，由此，使连接针织物的表面背面的中间纤维以绒头的形式露出。通过表面除去工序，能够形成沿针织物的面方向切剖而得的剖面作为研磨面。图1中示出表面除去工序的概念图。图1是从浸渍工序后的树脂含浸针织物1中除去存在于其表面背面上的树脂(未图示。)及表面背面纤维2时的剖面图。如图1所示，本实施方式中，将具有形成表面背面的表面背面纤维2和连接表面背面的中间纤维3的针织物1的表面背面纤维2中的任一方与树脂一同除去，从而制作具有绒头5的研磨面4。该情况下，表面背面纤维中的另一方成为连接部6，研磨面4中，绒头5的端面在面方向上均匀分布。

需要说明的是，从树脂含浸针织物中除去纤维、树脂的方法没有特别限制，可举出下述方法：使用带式刀等对中间纤维3及存在于其周边的树脂进行切剖的方法；通过抛光处理将表面的纤维及树脂除去的方法等。

对于通过上述方式得到的研磨垫，之后可根据需要而裁切成圆形等期望的形状、尺寸，也可以实施对无污垢、异物等附着加以确认等的检查。

〔缓冲层形成工序〕

本实施方式的研磨垫的制造方法可包括缓冲层形成工序，所述缓冲层形成工序为：在研磨垫的与研磨面相反一侧的面上形成缓冲层。作为缓冲层的形成方法，没有特别限制，可采用将树脂发泡体介由粘合层而贴合于研磨垫的与研磨面相反一侧的面的方法等。另外，也可在缓冲层的与贴合有研磨垫的面相反一侧的面上贴合双面胶带(其具备粘合层及剥离纸)，所述胶带用于将研磨垫隔着缓冲层而贴合于研磨机的研磨平台上。

〔研磨物的制造方法〕

本实施方式的研磨物的制造方法只要是包括使用上述研磨垫对被研磨物进行研磨的研磨工序的方法即可，没有特别限定。研磨工序可以是一级研磨(粗研磨)，也可以是二级研磨(精研磨)，还可以兼具上述两种研磨。

作为被研磨物，没有特别限定，例如可举出便携式电子设备壳体、配件(accessory)等金属、蓝宝石玻璃等玻璃、树脂等具有平面、侧面、曲面等的被研磨物。

作为研磨方法，可以采用以往已知的方法，没有特别限定。图2～3中例示了后述实施例的研磨试验中实施的研磨方法。本实施方式的研磨物的制造方法中，如图2所示，将工件W设置在托架C的台S上，如图3所示地使研磨垫的研磨面与被研磨物接触，从而能够对被研磨物进行研磨。构成研磨垫的研磨面的绒头不仅追随被研磨物的平面(上表面)，还追随连接平面和侧面的曲面、以及朝向与平面不同的方向的侧面。由此，利用本实施方式的研磨垫，能够省略用于再次研磨曲面及侧面的研磨工序，从而能够提高研磨工序整体的生产能力。

另外，除了如图2所示、从被研磨物的上方使研磨垫的研磨面与被研磨物接触而对被研磨物进行研磨的方式以外，还可以是以下方式，即从被研磨物的下方使研磨垫的研磨面与被研磨物接触而对被研磨物进行研磨的方式、从被研磨物的上方及下方同时地使研磨垫的研磨面与被研磨物接触而对被研磨物进行研磨的所谓双面研磨的方式。

以下，以在磨粒的存在下利用研磨垫对被研磨物实施研磨加工的方法为例进行说明。首先，在研磨机的研磨平台上安装研磨垫并进行固定。然后，将被保持在以与研磨平台对置的方式配置的保持平台上的被研磨物向研磨垫的研磨面侧推压，与此同时，一边向工件与研磨垫之间供给浆料一边使研磨平台及/或保持平台相对地旋转，由此，对被研磨物的加工面实施研磨加工。

浆料可包含化学机械研磨中使用的强氧化剂、溶剂、研磨粒子(磨粒)。作为强氧化剂，没有特别限定，例如可举出高锰酸钾、高锰酸钠等。作为溶剂，例如可举出水及有机溶剂。作为有机溶剂，优选为烃，更优选为具有高沸点的烃。作为烃，没有特别限定，例如可举出链烷烃(paraffin)系烃、烯烃系烃、芳香族系烃及脂环式烃。作为具有高沸点的烃，例如可举出初馏点为220℃以上的石油系烃。溶剂可单独使用1种，或组合2种以上而使用。

另外，浆料中可根据需要而含有其他添加剂。作为这样的添加剂，例如可举出非离子表面活性剂、阴离子表面活性剂、羧酸酯、羧酸酰胺及羧酸等。

对于本实施方式的研磨物的制造方法而言，在上述一级研磨(粗研磨)后，为了减少由于一级研磨(粗研磨)而产生的分界线、微小缺陷，可以进行二级研磨(精研磨)。然而，如上所述，采用具有一定值以上的缓冲性的研磨垫时，在粗研磨中不易产生分界线、微小缺陷，因此，能够省略精研磨工序。因此，利用本实施方式的研磨垫及研磨物的制造方法，能够同时对被研磨物的平面及曲面进行研磨，因此，无需通过各自的研磨工序对被研磨物的平面及曲面进行研磨，在这一方面，能够进一步简化研磨工序，不仅如此，在能够同时实现粗研磨及精研磨这一方面而言，还可省略精研磨工序，从而能够提高研磨物的制造工序整体的生产能力。

实施例

以下，使用实施例及比较例来更具体地说明本发明。本发明不受以下实施例的任何限定。

〔肖氏A硬度〕

根据介由弹簧向厚度为4.5mm以上的试验片表面上推压压针(测量触头)30秒后的压针的压入深度，测定研磨垫的肖氏A硬度。作为测定装置，使用A型杜罗回跳式硬度计。进行3次上述测定，由算术平均值求出肖氏A硬度。具体而言，将研磨垫切成10cm×10cm，制成试样片，以厚度成为4.5mm以上的方式重叠多片而进行测定。

〔压缩变形量及压缩弹性模量〕

使用肖伯尔式(schopper type)厚度测定仪(加压面：直径1cm的圆形)，依据日本工业标准(JIS L 1021)，测定研磨垫的压缩变形量及压缩弹性模量。具体而言，测定以初始负荷加压30秒后的厚度t₀，接着测定在最终负荷下放置5分钟后的厚度t₁。去除全部负荷，放置1分钟后，再次测定以初始负荷加压30秒后的厚度t₀’。此时，初始负荷为100g/cm²，最终负荷为1120g/cm²。压缩变形量由下述数学式(1)算出，压缩弹性模量由下述数学式(2)算出。

数式(1)：压缩变形量(mm)＝t₀－t₁

数式(2)：压缩弹性模量(％)＝(t₀’－t₁)/(t₀－t₁)×100

〔厚度〕

使用肖伯尔式厚度测定仪(加压面：直径1cm的圆形)，依据日本工业标准(JIS K6505)，测定研磨垫的厚度。具体而言，准备3片将研磨垫切成10cm×10cm而得的试样片，将各试样片设置在厚度测定仪的规定位置后，将施加了480g/cm²的负荷的加压面载置于试样片的表面，经过5秒后测定厚度。对于1片试样片，测定5处的厚度，算出算术平均值，进而求出3片试样片的算术平均值。

〔密度〕

将研磨垫切成10cm×10cm，制成试样片，测定其质量，根据由上述厚度求出的体积和上述质量，算出研磨垫的密度(体积密度)(g/cm³)。

〔研磨试验〕

将研磨垫贴附于研磨机(Lapmaster，36PL-3R)的平台上。接着，作为被研磨物(工件W)，准备具有曲面的玻璃(尺寸为50mm×100mm×1mmt)，并设置在图2所示的托架C的台S上。图2的上侧的图是托架C的俯视图，将其以A-A’线进行切剖的剖面图为下侧的图。接着，如图3所示使研磨垫的研磨面与被研磨物接触，利用如下所示的研磨条件对被研磨物进行研磨。

(研磨条件)

浆料：氧化铈粒子的10重量％水分散液

研磨时间：60min

研磨压力：170gf/cm²

研磨速度：平台20rpm

：托架23rpm

对通过上述研磨试验而得到的研磨后的被研磨物表面进行确认，按照以下的评价基准进行评价。

(关于表面品质的评价基准)

A：没有划伤及槽状的研磨痕迹。表面品质良好。

B：有划伤及槽状的研磨痕迹。表面品质不良。

(关于是否需要精研磨的评价基准)

AAA：在连接研磨后的被研磨物表面和侧面的曲面上几乎确认不到分界线，无需精研磨

AA：在连接研磨后的被研磨物表面和侧面的曲面上可确认极浅的分界线，需要较为简易的精研磨

A：在连接研磨后的被研磨物表面和侧面的曲面上可确认浅的分界线，需要精研磨

B：在连接研磨后的被研磨物表面和侧面的曲面上可清楚地确认分界线，需要精研磨

〔针织物及无纺布〕

准备由聚对苯二甲酸乙二醇酯纤维(以下，也称为“PET纤维”)构成的针织物A～B和由聚对苯二甲酸乙二醇酯纤维和尼龙纤维(以下，也称为“Ny纤维”)构成的针织物C及无纺布A。将各针织物的构成记载于下述表1中。需要说明的是，对于经编及圆型针织物的情况，将构成针织物表面背面的纤维、和构成针织物的中间结构(表面与背面之间)的纤维分开记载。

[表1]

需要说明的是，针织物A及C为利用具有L1～L6的给纱口的双针床拉舍尔经编机编成的由下述针织物组织形成的经编织物(双面拉舍尔经编织物)，L3、L4为构成中间结构的纤维，L1～L6均为原纱。

另外，针织物B为利用具有L1～L6的给纱口的双针床拉舍尔经编机编成的由下述针织物组织形成的经编织物(双面拉舍尔经编织物)，L3、L4为构成中间结构的纤维，且复丝和单丝被分别给纱。需要说明的是，L1～L6均为原纱。

L1：4-4-4-4/0-0-0-0//

L2：0-1-1-1/1-0-0-0//

L3：0-1-1-2/1-0-2-1//

L4：1-2-0-1/2-1-1-0//

L5：0-0-0-1/1-1-1-0//

L6：0-0-4-4/4-4-0-0//

另外，为了利用研磨面的立体结构来确保追随性，对于无纺布A的剖面，如图4所示那样的上底为1.5mm、下底为4.1mm、高为3.5mm的梯形以2.3mm的间隔被配置。

〔实施例1〕

(1次含浸工序)

将56.7质量份聚碳酸酯系聚氨酯树脂(DIC公司制，商品名“CRISVON S705”)、与43.3质量份N,N-二甲基甲酰胺混合，制备树脂溶液。将针织物A浸渍在得到的树脂溶液中，使用轧液辊轧除多余的树脂溶液，由此使树脂溶液大致均匀地含浸于针织物A中。接着，将针织物A浸渍在包含18℃的水的凝固液中，由此，使1次含浸树脂凝固再生而得到树脂含浸针织物。然后，将树脂含浸针织物从凝固液中取出并进行干燥，得到树脂含浸针织物。

(浸渍工序)

接着，在将N,N-二甲基甲酰胺与纯水以65：35(体积比)进行混合而得的浸渍溶剂中，浸渍上述工序中得到的树脂含浸针织物。然后，进行干燥，得到浸渍工序后的树脂含浸针织物。

(表面除去工序)

然后，对树脂含浸针织物进行干燥，使用抛光机，以上下的厚度变得均等的方式除去表面的纤维及树脂，由此形成绒头，将该面作为研磨面。最后，作为缓冲层，在与研磨面相反的一侧贴附厚度为5mm的聚乙烯发泡体。需要说明的是，绒头的平均长度为2.05mm。

〔实施例2〕

使用针织物B来代替针织物A，除此之外，利用与实施例1同样的方法得到实施例2的研磨垫。需要说明的是，绒头的平均长度为4.45mm。

〔比较例1〕

使用无纺布A来代替针织物A，并调整轧液辊的夹持条件，使得研磨垫的密度成为0.37g/cm³，除此之外，利用与实施例1同样的方法得到比较例1的研磨垫。相对于研磨垫整体而言，无纺布含量为34质量％。

〔实施例3〕

不实施浸渍工序，并且使用针织物C来代替针织物A，除此之外，利用与实施例1同样的方法得到实施例3的研磨垫。需要说明的是，作为缓冲层，在与研磨面相反的一侧贴附厚度为10mm的聚氨酯系发泡体。另外，绒头的平均长度为3.02mm

〔实施例4〕

作为缓冲层，使用厚度为20mm的聚氨酯系发泡体，除此之外，利用与实施例3同样的方法得到实施例4的研磨垫。

[表2]

将使用了得到的研磨垫的研磨试验的结果与研磨垫的各种物性一同示于表2中。另外，图5中示出实施例1的研磨试验前的被研磨物表面(曲面)的照片，图6中示出实施例1的研磨试验后的被研磨物表面(曲面)的照片。实施例1中，研磨垫显示出良好的追随性，绒头也能对被研磨物的侧面及曲面进行研磨，并且也未确认到由于纤维的脱落等而产生的研磨痕迹。另一方面，在比较例1中，虽然确认到研磨垫的追随性，但产生了来自于由纤维脱落导致的划伤、槽的研磨痕迹。

产业上的可利用性

本发明作为研磨垫具有产业上的可利用性。

Claims (18)

1.研磨垫，所述研磨垫具有：

基材，所述基材具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部，所述绒头为原纱；和

含浸于所述基材中的树脂，

所述研磨垫在所述基材的与所述研磨面相反的一侧还具有缓冲层，

所述研磨垫至少满足下述条件：

所述绒头来自于具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维的针织物中的所述中间纤维，所述针织物是以经编或纬编构成的针织物；

所述连接部来自于所述表面背面纤维中的任一方。

2.如权利要求1所述的研磨垫，其中，所述绒头的平均长度为0.5～20mm。

3.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，所述树脂包含聚碳酸酯系聚氨酯树脂。

4.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的肖氏A硬度为0～30°。

5.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的压缩弹性模量为50～98％。

6.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，构成所述针织物的单纱的数均直径为3～500μm。

7.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的压缩变形量为0.5～15mm。

8.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，含浸有所述树脂的所述基材的厚度为1.0～22mm。

9.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的厚度为3～25mm。

10.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的肖氏A硬度为0～0.3°。

11.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的压缩变形量为2.0～20mm。

12.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的压缩弹性模量为85～99％。

13.如权利要求1或2所述的研磨垫，其中，所述缓冲层的密度为0.010～0.100g/cm³。

14.研磨垫的制造方法，所述制造方法包括下述工序：

含浸工序，使包含树脂的树脂溶液含浸于以经编或纬编构成的针织物中，并进行湿式凝固，由此得到树脂含浸针织物；和

表面除去工序，将存在于所述树脂含浸针织物的表面背面中任一面上的树脂及纤维除去，由此，使连接所述针织物的表面背面的中间纤维以绒头的形式露出，所述绒头为原纱，

所述研磨垫在与研磨面相反的一侧具有缓冲层。

15.如权利要求14所述的研磨垫的制造方法，其中，在所述表面除去工序前包括浸渍工序，所述浸渍工序为：将所述树脂含浸针织物浸渍在包含可溶解所述树脂的溶剂的浸渍液中。

16.如权利要求14或15所述的研磨垫的制造方法，其中，所述树脂在选自由N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂中可溶。

17.如权利要求15所述的研磨垫的制造方法，其中，可溶解所述树脂的溶剂包含选自由N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂。

18.研磨物的制造方法，所述制造方法包括使用权利要求1～13中任一项所述的研磨垫对被研磨物进行研磨的研磨工序。

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