JP6891052B2 - 研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨物の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨物の製造方法に関する。

従来、平面と曲面を有する被研磨物の研磨においては、バフを用いることが知られている（特許文献１）。特許文献１には、研磨面に緩衡作用を生じさせて被研磨物との間の摩擦抵抗を低下させることを意図して、回転板の表面に張設される基布の表面に複数の帯状の研磨布が互いに適宜の間隔を有して回転板の中心から放射状に配設されたバフが提案されている。

特開平１０−１５８３５号公報

しかしながら、バフは被研磨物表面への追従性に欠け、平面および曲面を研磨するには接触する位置および角度を変えながら研磨をする必要があるため、研磨工程が複雑となり、コストの観点から問題がある。また、バフに代えて、スポンジや不織布に樹脂を含浸させた研磨パッドであって、曲面への追従性のために研磨表面に溝を形成したものを、平面と曲面を有する被研磨物の研磨に用いることも考えられる。しかしながら、単に溝を形成して曲面への追従性を高めようとした研磨パッドは、被研磨物の表面に溝由来の研磨痕を生じさせやすいという問題がある。そのほか、そのように溝を形成した研磨パッドを被研磨物に追従させるために曲げた際には、溝に挟まれたランド部の特に溝に近い部分では荷重がかかり、ランド部が破損・脱落しやすくなり、その結果、被研磨物にスクラッチ等の傷を生じさせ得る。さらに、不織布を用いた場合は、繊維の脱落により被研磨物にスクラッチ等の傷を生じさせる恐れもある。

そのため、平面および曲面を有し、さらには側面（平面とは異なる方向に向いている面であり、通常は曲面を介して平面と接続している。）をも有するガラスや金属筐体のそれらの表面を鏡面研磨する際に、平面研磨機を用いて、平面だけでなく、曲面および側面までも研磨することが可能な研磨パッドであって、研磨後の被研磨物表面に研磨痕を生じさせない研磨パッドが求められている。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、平面研磨機を用いて、被研磨物が有する平面だけでなく曲面および側面までも研磨することが可能であり、かつ研磨面品位の確保が可能な研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨パッドを用いた研磨物の製造方法を提供することを目的とする。

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した。その結果、編地の表面を除去することにより立毛を形成した基材を備え、かつその基材が樹脂を含浸した構成を有する研磨パッドであれば、上記課題が解決できることを見出して、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は以下のとおりである。
〔１〕
立毛が配された研磨面と前記立毛の一端を連結する連結部とを有する基材と、
該基材に含浸された樹脂と、を有し、
少なくとも、前記立毛が、経編又は緯編で構成された編地であって、表裏面を形成する表裏面繊維と前記表裏面を連結する中間繊維とを有する前記編地のうち、前記中間繊維に由来するものであり、
前記連結部が、前記表裏面繊維のいずれか一方に由来するものである、
研磨パッド。
〔２〕
前記立毛の平均長さが、０．５〜２０ｍｍである、
〔１〕に記載の研磨パッド。
〔３〕
前記立毛が、なま糸である、
〔１〕又は〔２〕に記載の研磨パッド。
〔４〕
前記樹脂が、ポリカーボネート系ポリウレタン樹脂を含む、
〔１〕〜〔３〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔５〕
前記樹脂が含浸された前記基材のショアＡ硬度が、０〜３０°である、
〔１〕〜〔４〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔６〕
前記樹脂が含浸された前記基材の圧縮弾性率が、５０〜９８％である、
〔１〕〜〔５〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔７〕
前記編地を構成する単糸の数平均直径が、３〜５００μｍである、
〔１〕〜〔６〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔８〕
前記樹脂が含浸された前記基材の圧縮変形量が、０．５〜１５ｍｍである、
〔１〕〜〔７〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔９〕
前記樹脂が含浸された前記基材の厚さが、１．０〜２２ｍｍである、
〔１〕〜〔８〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔１０〕
前記基材の前記研磨面と反対側に、クッション層をさらに有する、
〔１〕〜〔９〕のいずれか一項に記載の研磨パッド。
〔１１〕
前記クッション層の厚さが、３〜２５ｍｍである、
〔１０〕に記載の研磨パッド。
〔１２〕
前記クッション層のショアＡ硬度が、０〜０．３°以下である、
〔１０〕又は〔１１〕に記載の研磨パッド。
〔１３〕
前記クッション層の圧縮変形量が、２．０〜２０ｍｍである、
〔１０〕〜〔１２〕のいずれか１項に記載の研磨パッド。
〔１４〕
前記クッション層の圧縮弾性率が、８５〜９９％である、
〔１０〕〜〔１３〕のいずれか１項に記載の研磨パッド。
〔１５〕
前記クッション層の密度が、０．０１０〜０．１００ｇ／ｃｍ³である、
〔１０〕〜〔１４〕のいずれか１項に記載の研磨パッド。
〔１６〕
経編又は緯編で構成された編地に樹脂を含む樹脂溶液を含浸させ、湿式凝固を行うことにより、樹脂含浸編地を得る含浸工程と、
前記樹脂含浸編地の表裏面のいずれか一方に存在する樹脂及び繊維を除去することにより、前記編地の表裏面を連結する中間繊維を立毛として露出させる表面除去工程と、を有する、
研磨パッドの製造方法。
〔１７〕
前記表面除去工程前に、前記樹脂含浸編地を、前記樹脂が可溶な溶媒を含む浸漬液に浸漬する浸漬工程を、有する、
〔１６〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔１８〕
前記樹脂が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアルデヒド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン及びジメチルスルホキシドからなる群より選ばれる１種以上に可溶である、〔１６〕又は〔１７〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔１９〕
前記樹脂が可溶な溶媒が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアルデヒド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン及びジメチルスルホキシドからなる群より選ばれる１種以上の溶媒を含む、〔１６〕〜〔１８〕のいずれか１項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔２０〕
〔１〕〜〔１５〕のいずれか１項に記載の研磨パッドを用いて、被研磨物を研磨する研磨工程を有する、
研磨物の製造方法。

本発明であれば、平面研磨機を用いて、被研磨物が有する平面だけでなく曲面および側面までも研磨することが可能であり、かつ研磨面品位の確保が可能な研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨パッドを用いた研磨物の製造方法を提供することができる。

本実施形態の研磨パッドの製造方法における表面除去工程を示す概念図である。 実施例の研磨試験において用いたキャリアを示す概念図である。 実施例の研磨試験を説明するための概念図である。 比較例において用いた不織布Ａの断面図である。 実施例１の研磨試験前の被研磨物表面（曲面）の写真である。 実施例１の研磨試験後の被研磨物表面（曲面）の写真である。

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態（以下、単に「本実施形態」という。）について詳細に説明する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

〔研磨パッド〕
本実施形態の研磨パッドは、立毛が配された研磨面と前記立毛の一端を連結する連結部とを有する基材と、該基材に含浸された樹脂と、を有し、少なくとも、前記立毛が、経編又は緯編で構成された編地であって、表裏面を形成する表裏面繊維と前記表裏面を連結する中間繊維とを有する前記編地のうち、前記中間繊維に由来するものであり、前記連結部が、前記表裏面繊維のいずれか一方に由来するものである。

すなわち、本実施形態の研磨パッドの基材は、経編又は緯編で構成された編地であって、表裏面を形成する表裏面繊維と表裏面を連結する中間繊維とを有する編地から、表裏面のいずれか一方をバフ処理又は切断処理により除去することにより、立毛が配された研磨面と前記立毛の一端を連結する連結部とを有する基材としたものである。このように、経編又は緯編で構成された編地の表裏面のいずれか一方を面方向に切断された状態で備えることにより、立毛を形成することができ、かつ立毛の繊維端面が均一に分布し、繊維の脱離が抑制された研磨面を形成することができる。そのため、本実施形態の研磨パッドを用いて、平面研磨機により研磨する場合、平面だけでなく、被研磨物が有する曲面、並びに平面とは異なる方向を向いている側面までも研磨することが可能（追従性が高く）であり、かつ研磨面品位の確保が可能となり、その上、研磨レートにも優れるものとなる。

なお、樹脂は基材に含浸されたものであり、立毛や連結部を構成する繊維の内部及び表面に含浸・付着されるものである。ただし、樹脂の含浸・付着によっても立毛間には空隙が存在している。このような樹脂を用いることにより、立毛及び連結部の強度を補強し、研磨パッドの被研磨物への追従性を損なうことなく、研磨レートと被研磨物の面品位を向上させることができる。

〔基材〕
樹脂が含浸された基材（すなわち、樹脂とその樹脂が含浸された基材との複合体。以下同様。）の圧縮変形量は、好ましくは０．５〜１５ｍｍであり、より好ましくは１．０〜１５ｍｍであり、さらに好ましくは１．０〜１０ｍｍであり、さらにより好ましくは１．０〜５．０ｍｍであり、特に好ましくは１．０〜３．０ｍｍである。圧縮変形量が０．５ｍｍ以上であることにより、追従性および被研磨物の面品位がより向上する傾向にある。また、１５ｍｍ以下であることにより、研磨レートがより向上し、研磨パッドの変形をより抑制できる傾向にある。なお、圧縮変形量は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、圧縮変形量は、例えば、立毛の長さや選択する樹脂の種類により調整することができる。

立毛の平均長さは、好ましくは０．５〜２０ｍｍであり、より好ましくは１．０〜１５ｍｍであり、さらに好ましくは１．５〜１０ｍｍであり、さらにより好ましくは１．５〜５．０ｍｍであり、特により好ましくは１．５〜３．０ｍｍである。立毛の平均長さが０．５ｍｍ以上であることにより、被研磨物との密着性がより向上し、曲面を有する被研磨物への追従性がより向上する傾向にある。また、立毛の平均長さが２０ｍｍ以下であることにより、立毛がより固いブラシを形成するため、研磨レートがより向上する傾向にある。なお、立毛の平均長さは、連結部から立ち上がる立毛の長さ（全長）の平均値をいう（図１参照）。

樹脂が含浸された基材の圧縮弾性率は、好ましくは５０〜９８％であり、より好ましくは６０〜９８％であり、さらに好ましくは７０〜９８％であり、さらにより好ましくは８０〜９８％であり、特に好ましくは９０〜９８％である。圧縮弾性率が５０％以上であることにより、研磨レートがより向上する傾向にある。また、圧縮弾性率が９８％以下であることにより、被研磨物との密着性がより向上し、曲面を有する被研磨物への追従性がより向上する傾向にある。なお、圧縮弾性率は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、圧縮弾性率は、例えば、後述の好ましい製造方法において、選択する樹脂の種類により調整することができる。

樹脂が含浸された基材のショアＡ硬度は、好ましくは０〜３０°であり、より好ましくは０〜２５°であり、さらに好ましくは０〜２０°である。ショアＡ硬度が０°以上（検出限界以上）であることにより、研磨レートがより向上する傾向にある。また、ショアＡ硬度が３０°以下であることにより、被研磨物との密着性がより向上し、曲面を有する被研磨物への追従性がより向上する傾向にある。なお、ショアＡ硬度は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、ショアＡ硬度は、例えば、選択する樹脂の種類により調整することができる。

樹脂が含浸された基材の密度は、好ましくは０．１０〜０．４０ｇ／ｃｍ³であり、より好ましくは０．１５〜０．３５ｇ／ｃｍ³であり、さらに好ましくは０．１５〜０．３０ｇ／ｃｍ³である。密度が０．１０ｇ／ｃｍ³以上であることにより、研磨パッドの永久歪みをより抑制できる傾向にある。また、密度が０．４０ｇ／ｃｍ³以下であることにより、追従性がより向上する傾向にある。なお、密度は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、密度は、例えば、後述の好ましい製造方法において、編地に対する樹脂の含有率により調整することができる。

樹脂が含浸された基材の厚さは、好ましくは１．０〜２２ｍｍであり、より好ましくは１．５〜２０ｍｍであり、さらに好ましくは２．０〜１５ｍｍであり、さらにより好ましくは１０ｍｍであり、特に好ましくは５ｍｍである。厚さが１．０ｍｍ以上であることにより、被研磨物への追従性がより向上する傾向にある。また、厚さが２２ｍｍ以下であることにより、被研磨物の変形（うねりや面形状）がより安定する向上する傾向にある。なお、厚さは、実施例に記載の方法により測定することができる。また、厚さは、例えば、編地の編み方や取り除く表裏面層の量により、調整することができる。

〔編地〕
編地は、経編又は緯編で構成されたものであり、表裏面を形成する表裏面繊維と前記表裏面を連結する中間繊維とを有するものである。不織布に比べ経編又は緯編で構成された編地は、編構造が規則的であるため、研磨面における繊維端面の分布がより均一となり、研磨面全体に亘り研磨レートの均一性がより向上する。また、規則的な繊維端面の分布は、より均質な研磨を可能とし、面品位に優れた研磨の達成に寄与し得る。さらに、編地の表裏面のいずれか一方を連結部とすることにより、研磨時において研磨面の立毛が脱落することを抑制することができる。これにより、脱落した立毛に由来して被研磨物表面にスクラッチが生じること等を抑制することができる。なお、より長い立毛を得るという観点からは、経編が好ましい。

本実施形態の研磨パッドは、研磨加工及びラッピング加工のいずれにも用いることができるが、１次研磨用途及び／又は２次研磨用途に用いることが好ましい。特に、編地の編み方を変えることで、必要とされる研磨レート及び面品位に応じた研磨パッドを容易に構成することが可能となる。

なお、経編としては、特に限定されないが、例えば、シングルトリコット、ダブルトリコット等のトリコット；シングルラッセル、ダブルラッセル等のラッセル；及びミラニーズが挙げられる。経編のなかでも、本発明の効果をより効果的に発揮する観点からラッセルが好ましい。

また、緯編としては、特に限定されないが、例えば、シングル編、ダブル編等の丸編；リブ編、両面編、両頭編等の横編が挙げられる。また、シングル編としては、特に限定されないが、例えば、シンカー台丸編、吊り編、トンプキン編が挙げられる。ダブル編としては、特に限定されないが、例えば、フライス編、スムース編、ダンボール編が挙げられる。緯編のなかでも、本発明の効果をより効果的に発揮する観点から丸編が好ましく、ダンボール編がより好ましい。

また、編地を構成する繊維としては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ乳酸などのポリエステル系繊維；ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１１、ナイロン１２、ナイロン６１０等のポリアミド系繊維；ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系繊維が挙げられる。このなかでも、ポリエステル系繊維が好ましい。

編地を構成する中間繊維は、仮撚りなどを施していないなま糸であることが好ましい。これにより、本実施形態の研磨パッドの立毛がなま糸となる。なま糸を用いることにより、仮撚糸と比較して立毛の追従性がより向上し、研磨レートがより向上する傾向にある。なお、編地の表裏面を構成する表裏面繊維は、なま糸であっても、仮撚糸であってもよい。

また、編地の表裏面を構成する表裏面繊維と、編地の表裏面を連結する中間繊維の種類は互いに同一であっても異なっていてもよい。編地表裏面を主に構成する繊維と、編地の中構造を主に構成する繊維の種類は、編み方と繊維の選択により適宜調整することができる。例えば、編地の中構造を主に構成する繊維として、なま糸を用いることにより、上述したとおり、研磨レートがより向上する傾向にある。さらに、編地の表裏面を連結する中間繊維は１種類の繊維でも２以上の異なった種類の繊維でもよく、フィラメントのタイプはマルチフィラメント、モノフィラメント、マルチフィラメントとモノフィラメントの組合せの何れでも良い。

編地を構成する単糸の数平均直径は、好ましくは３〜５００μｍであり、より好ましくは５〜３００μｍであり、さらに好ましくは１０〜２００μｍである。編地を構成する単糸の数平均直径が上記範囲内であることにより、立毛の追従性がより向上するため、研磨レートがより向上し、また、連結部の強度も向上するため、被研磨物の面品位がより向上する傾向にある。さらに、編地を構成する単糸の数平均直径が上記範囲内であることにより、糸や編地の製造がより容易となる傾向にある。

編地を構成する単糸繊度は、好ましくは０．１〜２７００ｄｔｅｘであり、より好ましくは０．５〜１０００ｄｔｅｘであり、さらに好ましくは１〜５００ｄｔｅｘであり、さらにより好ましくは１〜１００ｄｔｅｘであり、よりさらに好ましくは１〜１０ｄｔｅｘであり、特に好ましくは１〜５ｄｔｅｘである。編地を構成する単糸繊度が上記範囲内にあることにより、糸や編地の製造がより容易となる傾向にある。

編地を構成する繊維繊度は、好ましくは３０〜２７００ｄｔｅｘであり、より好ましくは４０〜１０００ｄｔｅｘであり、さらに好ましくは５０〜５００ｄｔｅｘである。編地を構成する繊維繊度が上記範囲内にあることにより、糸や編地の製造がより容易となる傾向にある。ここで、「繊維」とは、単糸（モノフィラメント）が複数フィラメント集合したマルチフィラメントおよび単糸で用いられるときにはモノフィラメントを言う。

編地を構成する繊維あたりのフィラメント数は、好ましくは１〜１００であり、好ましくは１〜８０であり、好ましくは１〜６０であり、さらにより好ましくは５〜６０であり、よりさらに好ましくは１０〜５０である。繊維あたりのフィラメント数が上記範囲内にあることにより、糸や編地の製造がより容易となる傾向にある。

〔樹脂〕
基材に含浸される樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリウレタン、ポリウレタンポリウレア等のポリウレタン系樹脂；ポリアクリレート、ポリアクリロニトリル等のアクリル系樹脂；ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリフッ化ビニリデン等のビニル系樹脂；ポリサルホン、ポリエーテルサルホン等のポリサルホン系樹脂；アセチル化セルロース、ブチリル化セルロース等のアシル化セルロース系樹脂；ポリアミド系樹脂；及びポリスチレン系樹脂が挙げられる。このなかでも、基材に含浸される樹脂として、ポリウレタン系樹脂を含むことが好ましい。ポリウレタン系樹脂としては、以下に限定されないが、例えば、ポリエステル系ポリウレタン樹脂、ポリエーテル系ポリウレタン樹脂、及びポリカーボネート系ポリウレタン樹脂が挙げられ、ポリカーボネート系ポリウレタン樹脂がより好ましい。このような樹脂を用いることにより、立毛の硬さと柔らかさのバランスがより向上し、結果として研磨レートの向上と曲面を有する被研磨物への追従性のバランスがより向上する傾向にある。基材に含浸される樹脂は、１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。

また、上記樹脂としては、いわゆる湿式凝固可能な樹脂で基材に含浸できるものが好ましい。そのような樹脂の例としては、以下に限定されないが、ポリウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂、ポリサルホン系樹脂、アシル化セルロース系樹脂、ポリアミド系樹脂、及びポリスチレン系樹脂が挙げられる。ポリウレタン系樹脂としては、以下に限定されないが、例えば、ポリエステル系ポリウレタン樹脂、ポリエーテル系ポリウレタン樹脂、及びポリカーボネート系ポリウレタン樹脂が挙げられる。なお、「湿式凝固」とは、樹脂を溶解させた樹脂溶液を編地に含浸し、これを凝固液（樹脂に対して貧溶媒である。）の槽に浸漬することにより、含浸した樹脂溶液中の樹脂を凝固再生させるものである。樹脂溶液中の溶媒と凝固液とが置換されることにより樹脂溶液中の樹脂が凝集して凝固される。なお、湿式凝固に用いる観点から、樹脂は、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアルデヒド、ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン、及びジメチルスルホキシドからなる群より選ばれる１種以上に可溶であることが好ましい。

樹脂の２３±２℃における１００％モジュラスは、好ましくは１ＭＰａ〜３０ＭＰａであり、より好ましくは２ＭＰａ〜２０ＭＰａである。１００％モジュラスは、その樹脂からなるシートを１００％伸ばしたとき、すなわち元の長さの２倍に伸ばしたとき、に掛かる荷重を単位面積で割った値である。

基材である編地の質量割合は、基材及び樹脂の総量に対して、好ましくは３０〜６０質量％であり、より好ましくは３０〜５５質量％である。編地の質量割合が上記範囲内であることにより、研磨レートがより向上する傾向にある。

なお、基材及び樹脂の各含有量は、極性溶媒への溶解性（極性）の差や、アミン分解性の差を利用して、溶出する成分の質量又は残渣の質量より、求めることができる。また、後述する１次含浸工程後の研磨パッドの密度を測定し、密度差から算出することもできる。なお、密度の測定は上記と同様にして測定できる。

〔その他の成分〕
研磨パッドは、上述の編地及び樹脂の他、目的に応じて、通常の研磨パッドに含まれ得る各種添加剤を含んでもよい。そのような添加剤としては、以下に限定されないが、例えば、カーボンブラック等の顔料またはフィラー、親水性添加剤、及び疎水性添加剤が挙げられる。

親水性添加剤としては、特に限定されないが、例えば、ラウリル硫酸ナトリウム、カルボン酸塩、スルホン酸塩、硫酸エステル塩、燐酸エステル塩のようなアニオン界面活性剤；親水性のエステル系化合物、エーテル系化合物、エステル・エーテル系化合物、アミド系化合物のようなノニオン界面活性剤が挙げられる。

また、疎水性添加剤としては、特に限定されないが、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル、パーフルオロアルキルエチレンオキサイド付加物、グリセリン脂肪酸エステル、プロピレングリコール脂肪酸エステルのような炭素数３以上のアルキル鎖が付加したノニオン系界面活性剤が挙げられる。

さらには、研磨パッドには、その製造過程において用いられた添加剤などの各種の材料が、残存していてもよい。

〔クッション層〕
本実施形態の研磨パッドは、基材の研磨面とは反対側に、クッション層をさらに有していてもよい。クッション層を有することにより、曲面を有する被研磨物への追従性がより向上する他、被研磨物への研磨圧の均一性もより向上する傾向にある。ここで、クッション層により付与される追従性とは、研磨パッドの有する立毛が被研磨物の平面及び曲面に追従することのほか、クッション層の寄与により立毛の連結部である基材自体が研磨圧により被研磨物の曲面形状に柔軟に追従することも含む。言い換えれば、クッション層は、立毛の連結部である基材自体の追従性を向上させることにより、立毛が配された研磨面と立毛の一端を連結する連結部とを有する基材と、該基材に含浸された樹脂とからなる研磨層（単に、「研磨層」ともいう）の効果をより有効に発揮させるために寄与するものとなる。

クッション層が薄いほど、曲面を有する被研磨物へ研磨パッドを追従させるために研磨圧力を高くすることが求められるが、研磨圧力の向上はスクラッチ（溝）等の研磨痕以外にも被研磨物の品位（例えば、曲面に生じる境界線や微小欠陥の程度）を低下させる方向に影響する。一方で、クッション層が厚く、一定以上のクッション性を有する場合には、研磨圧力が低かったとしても曲面を有する被研磨物へ研磨パッドが追従しやすい傾向にある。これにより、曲面に生じる境界線や微小欠陥が抑制された被研磨物を得ることができ、被研磨物の品位がより向上する。特に、クッション層が一定以上のクッション性を有する場合には、仕上げ研磨を必要としない程度に曲面に生じる境界線や微小欠陥が抑制された被研磨物を得ることが可能となり、仕上げ研磨工程を省略可能な研磨パッドを提供することが可能となる。

クッション層としては、特に制限されないが、例えば、ポリオレフィン系発泡体、ポリウレタン系発泡体、ポリスチレン系発泡体、フェノール系発泡体、合成ゴム系発泡体、シリコーンゴム系発泡体などが挙げられる。

クッション層の厚さは、被研磨物の形状やサイズにより適時選択されるが、作製時や使用時の作業性等を考慮すると、好ましくは３〜２５ｍｍであり、より好ましくは５〜２３ｍｍであり、さらに好ましくは１０〜２３ｍｍであり、特に好ましくは１２〜２０ｍｍである。クッション層の厚さが３ｍｍ以上であることにより、得られる被研磨物の面品位がより向上する傾向にある。特に、１２ｍｍ以上であることにより、被研磨物への追従性がより一層向上し、得られる被研磨物に境界線等がより生じにくいという点において仕上げ研磨を省略可能な程度に面品位が一層向上する傾向にある。また、クッション層の厚さが２５ｍｍ以下であることにより、被研磨物の変形（うねりや面形状）がより安定し、また、研磨機への設置が容易となる傾向にある。なお、厚さは、実施例に記載の方法により測定することができる。

クッション層のショアＡ硬度は、被研磨物の形状やサイズにより適時選択されるが、作製時や使用時の作業性等を考慮すると、好ましくは０〜２０°であり、より好ましくは０〜５°であり、さらに好ましくは０〜２°であり、さらにより好ましくは０〜０．７°であり、特に好ましくは０〜０．３°である。ショアＡ硬度が４°以下であることにより、被研磨物との密着性がより向上し、曲面を有する被研磨物への追従性がより向上する傾向にある。特に、ショアＡ硬度が０．３°以下であることにより、被研磨物への追従性がより一層向上し、得られる被研磨物に境界線等がより生じにくいという点において仕上げ研磨を省略可能な程度に面品位が一層向上する傾向にある。また、ショアＡ硬度の下限は特に制限されないが０°（検出限界）とすることができる。なお、ショアＡ硬度は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、ショアＡ硬度は、例えば、選択する発泡体の種類や発泡倍率により調整することができる。

クッション層の圧縮変形量は、被研磨物の形状やサイズにより適時選択されるが、作製時や使用時の作業性等を考慮すると、好ましくは２．０〜２０ｍｍであり、より好ましくは５．０〜２０ｍｍであり、さらに好ましくは６．０〜２０ｍｍであり、さらにより好ましくは１１〜１６ｍｍであり、特に好ましくは１３〜１６ｍｍである。圧縮変形量が３．０ｍｍ以上であることにより、追従性および被研磨物の面品位がより向上する傾向にある。特に、圧縮変形量が１１ｍｍ以上であることにより、被研磨物への追従性がより一層向上し、得られる被研磨物に境界線等がより生じにくいという点において仕上げ研磨を省略可能な程度に面品位が一層向上する傾向にある。また、圧縮変形量が２０ｍｍ以下であることにより、研磨レートがより向上し、研磨パッドの変形をより抑制できる傾向にある。なお、圧縮変形量は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、圧縮変形量は、例えば選択する発泡体の種類や発泡倍率により調整することができる。

クッション層の圧縮弾性率は、被研磨物の形状やサイズにより適時選択されるが、作製時や使用時の作業性等を考慮すると、好ましくは７０〜９９％であり、より好ましくは８０〜９９％であり、さらに好ましくは８５〜９９％であり、さらにより好ましくは９０〜９８％であり、特に好ましくは９２〜９８％である。圧縮弾性率が７０％以上であることにより、研磨レートがより向上する傾向にある。特に、圧縮弾性率が９０％以上であることにより、被研磨物への追従性がより一層向上し、得られる被研磨物に境界線等がより生じにくく、面品位が一層向上する傾向にある。また、圧縮弾性率が９９％以下であることにより、被研磨物との密着性がより向上し、曲面を有する被研磨物への追従性がより向上する傾向にある。なお、圧縮弾性率は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、圧縮弾性率は、例えば選択する樹脂の種類や発泡体の種類、発泡倍率により調整することができる。

クッション層の密度は、被研磨物の形状やサイズにより適時選択されるが、作製時や使用時の作業性等を考慮すると、好ましくは０．０１０〜０．１００ｇ／ｃｍ³であり、より好ましくは０．０２０〜０．０９０ｇ／ｃｍ³であり、さらに好ましくは０．０３０〜０．０８０ｇ／ｃｍ³である。密度が０．０１０ｇ／ｃｍ³以上であることにより、研磨パッドの永久歪みをより抑制できる傾向にある。また、密度が０．１００ｇ／ｃｍ³以下であることにより、追従性がより向上する傾向にある。なお、密度は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、密度は、例えば例えば選択する樹脂の種類や発泡体の種類、発泡倍率により調整することができる。

〔研磨パッドの製造方法〕
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、編地に対して樹脂を含浸させ、固形化させる工程と、編地の表裏面のいずれか一方に存在する樹脂及び繊維を除去することにより立毛を形成する工程とを有する方法であれば、特に限定されない。例えば、樹脂を複数種用いる場合には、複数の樹脂を混合して、一度で編地に含浸させてもよいし、一部の樹脂を編地に含浸させて固化させた後、残りの樹脂を編地に含浸させて固化させる多段階の含浸工程を有していてもよい。また、編地の表裏面のいずれか一方に存在する樹脂及び繊維の除去（切断）のタイミングについて、樹脂を含浸させた後の編地の表裏面のいずれか一方に存在する樹脂及び繊維を除去（切断）してもよいし、一部の樹脂を含浸させた後に編地の表裏面のいずれか一方の樹脂及び繊維を除去して、さらに残りの樹脂を含浸させてもよい。

本実施形態の研磨パッドの製造方法として、例えば、経編又は緯編で構成された編地に樹脂を含む樹脂溶液を含浸させ、湿式凝固を行うことにより、樹脂含浸編地を得る含浸工程と、前記樹脂含浸編地の表裏面のいずれか一方に存在する樹脂及び繊維を除去することにより、前記編地の表裏面を連結する中間繊維を立毛として露出させる表面除去工程と、を有する方法が挙げられる。

〔含浸工程〕
含浸工程は、経編又は緯編で構成された編地に樹脂を含む樹脂溶液を含浸させ、湿式凝固を行うことにより、樹脂含浸編地を得る工程である。編地に樹脂溶液を含浸させた上で湿式凝固法を用いる場合、凝固液中では、編地の繊維に付着している樹脂溶液の表面で樹脂溶液の溶媒と凝固液との置換の進行により樹脂が繊維の表面に凝固再生される。

上記含浸工程の具体例としては、次のとおりである。まず、上述したような湿式凝固に適した樹脂と、当該樹脂を溶解可能であって、後述の凝固液に混和する溶媒と、必要に応じてその他の添加剤とを混合し、更に必要に応じて減圧下で脱泡して樹脂溶液を準備する。上記溶媒としては、特に限定されないが、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）及びジメチルスルホキシドが挙げられる。樹脂に対する良溶媒を選択する観点、さらに凝固浴に対して均一に混和させて湿式凝固をより容易にする観点から、樹脂が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアルデヒド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン及びジメチルスルホキシドからなる群より選ばれる１種以上の溶媒に可溶であることが好ましい。同様に、上記溶媒が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアルデヒド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン及びジメチルスルホキシドからなる群より選ばれる１種以上の溶媒を含むことが好ましい。

編地の全体に亘って樹脂を含浸する観点、及び、樹脂の含浸量を十分に確保する観点から、上記樹脂溶液について、Ｂ型回転粘度計を用いて２０℃で測定した粘度は、好ましくは８０００ｃｐ以下であり、より好ましくは１００ｃｐ〜５０００ｃｐであり、さらに好ましくは４００ｃｐ〜３０００ｃｐである。そのような粘度の数値範囲にある樹脂溶液を得る観点から、例えば、ポリウレタン樹脂を、樹脂溶液の全体量に対して５〜２５質量％の範囲、より好ましくは８〜２０質量％の範囲で溶媒に溶解させてもよい。樹脂溶液の粘性は、用いる樹脂の種類及び分子量にも依存するため、これらを総合的に考慮し、樹脂の選定、濃度設定等を行うことが好ましい。

次に、樹脂溶液に編地を十分に浸漬した後、樹脂溶液が付着した編地から、１対のローラ間で加圧可能なマングルローラーを用いて樹脂溶液を絞り落とすことで、樹脂溶液の編地への付着量を所望の量に調整し、編地に樹脂溶液を均一又は略均一に含浸させる。次いで、樹脂溶液を含浸した編地を、樹脂に対する貧溶媒、例えば、水を主成分とする凝固液中に浸漬することにより、樹脂（以下、湿式凝固する樹脂を「湿式樹脂」という。）を凝固再生させる。凝固液には、樹脂の再生速度を調整するために、樹脂溶液中の溶媒以外の極性溶媒等の有機溶媒を添加してもよい。また、凝固液の温度は、樹脂を凝固できる温度であれば特に限定されず、例えば、１５〜６０℃であってもよい。

本実施形態において、上述の湿式凝固を行ったのち、以下のような洗浄・乾燥工程に供することが好ましい。まず、湿式樹脂が凝固再生された編地を水等の洗浄液中で洗浄し、樹脂含浸編地中に残存するＤＭＦ等の溶媒を除去する。洗浄後、編地を洗浄液から引き上げ、マングルローラー等を用いて余分な洗浄液を絞り落とす。その後、編地基材を、１００℃〜１５０℃の乾燥機中で乾燥させてもよい。また、上記乾燥の後、得られる樹脂含浸編地をさらにスライス、バフ等による加工に供し、表層のスキン層を除去し、所定の厚さにすることが、次工程の浸漬工程の均一性を高める観点から好ましい。

〔浸漬工程〕
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、後述する表面除去工程前に、樹脂含浸編地を、樹脂が可溶な溶媒を含む浸漬液に浸漬する浸漬工程を有していてもよい。浸漬工程は、樹脂含浸編地を、樹脂が可溶な溶媒を含む浸漬液に浸漬することで、湿式樹脂を溶媒に部分的に再溶解させる工程である。浸漬工程により、樹脂含浸編地内部の気泡（例えば閉気孔及び開口部の小さい開気孔）が減少し、編地と湿式樹脂との密着性が向上すると考えられる。浸漬工程に用いる溶媒としては、特に限定されないが、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、及びジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）が挙げられる。また、浸漬させる際の温度条件としては、樹脂の気泡を減少させ、かつ、溶媒への樹脂の溶出を防止する観点から、１５．０〜２５．０℃であることが好ましく、浸漬時間としては、同様の観点から、５〜３０秒であることが好ましい。なお、上述の浸漬工程の後に、乾燥工程を設けることが好ましい。

〔表面除去工程〕
表面除去工程は、樹脂含浸編地の表裏面のいずれか一方に存在する樹脂及び繊維を除去することにより、編地の表裏面を連結する中間繊維を立毛として露出させる工程である。表面除去工程により、研磨面として編地の面方向に切断された断面を形成することができる。図１に、表面除去工程の概念図を示す。図１は、浸漬工程後の樹脂含浸編地１からその表裏面に存在する樹脂（図示せず。）及び表裏面繊維２を除去したときの断面図である。図１に示すように、本実施形態においては、表裏面を形成する表裏面繊維２と表裏面を連結する中間繊維３とを有する編地１の表裏面繊維２のいずれか一方を樹脂と共に除去して立毛５を有する研磨面４を作製する。この際、表裏面繊維のもう一方は、連結部６となり、研磨面４は、面方向に立毛５の端面が均一に分布するものとなる。

なお、樹脂含浸編地から繊維や樹脂を除去する方法は特に制限されず、バンドナイフなどを用いて中間繊維３及びその周辺に存在する樹脂を切断する方法や、バフ処理により表面の繊維及び樹脂を除去する方法などが挙げられる。

上述のようにして得られた研磨パッドは、その後、必要に応じて、円形等の所望の形状、寸法に裁断されてもよく、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を施されてもよい。

〔クッション層形成工程〕
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、研磨パッドの研磨面とは反対側の面に、クッション層を形成するクッション層形成工程を有していてもよい。クッション層の形成方法としては、特に制限されず、粘着層を介して樹脂発泡体を研磨パッドの研磨面とは反対側の面に張り合わせる方法等を採用することができる。また、クッション層の研磨パッドが張り合わされた面とは反対側の面に、研磨機の研磨定盤にクッション層を介して研磨パッドを貼着するための両面テープ（粘着層及び剥離紙を備えるもの）を張り合わせてもよい。

〔研磨物の製造方法〕
本実施形態の研磨物の製造方法は、上記研磨パッドを用いて、被研磨物を研磨する研磨工程を有する方法であれば、特に限定されない。研磨工程は、１次研磨（粗研磨）であってもよく、２次研磨（仕上げ研磨）であってもよく、それら両方の研磨を兼ねるものであってもよい。

被研磨物としては、特に限定されないが、例えば、ポータブル電子機器筐体やアクセサリー等の金属、サファイアガラス等のガラス、樹脂等の平面、側面、曲面等を有する被研磨物が挙げられる。

研磨方法としては、従来公知の方法を用いることができ、特に限定されない。図２〜３に後述する実施例における研磨試験で行った研磨方法を例示する。本実施形態の研磨物の製造方法においては、図２に示すとおり、ワークＷをキャリアＣのステージＳ上に設置し、図３に示すように研磨パッドの研磨面を被研磨物に接触させ被研磨物に対して研磨を行うことができる。研磨パッドの研磨面を構成する立毛は、被研磨物の平面（上面）だけでなく、平面と側面をつなぐ曲面、並びに平面とは異なる方向を向いている側面までにも追従する。これにより本実施形態の研磨パッドによれば、曲面及び側面を改めて研磨するための研磨工程を省略することが可能となり、研磨工程全体のスループットを向上させることができる。

また、図２のように、被研磨物の上方から研磨パッドの研磨面を被研磨物に接触させ被研磨物に対して研磨を行う態様のほか、被研磨物の下方から研磨パッドの研磨面を被研磨物に接触させ被研磨物に対して研磨を行う態様や、被研磨物の上方及び下方から同時に研磨パッドの研磨面を接触させて研磨を行う所謂両面研磨の態様としてもよい。

以下、砥粒の存在下、研磨パッドにより被研磨物に研磨加工を施す方法を例に説明する。まず、研磨機の研磨定盤に研磨パッドを装着して固定する。そして、研磨定盤と対向するように配置された保持定盤に保持させた被研磨物を研磨パッドの研磨面側へ押し付けると共に、ワークと研磨パッドとの間にスラリを供給しながら研磨定盤及び／又は保持定盤を相対的に回転させることで、被研磨物の加工面に研磨加工を施す。

スラリは、化学機械研磨において用いられる強酸化剤、溶媒、研磨粒子（砥粒）が含まれていてもよい。強酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウムなどが挙げられる。溶媒としては、例えば、水及び有機溶媒が挙げられる。有機溶媒としては、炭化水素が好ましく、高沸点を有する炭化水素がより好ましい。炭化水素としては、特に限定されないが、例えば、パラフィン系炭化水素、オレフィン系炭化水素、芳香族系炭化水素及び脂環式炭化水素が挙げられる。高沸点を有する炭化水素としては、例えば、初留点２２０℃以上の石油系炭化水素が挙げられる。溶媒は１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。

また、スラリには、必要に応じて、その他の添加剤が含まれていてもよい。そのような添加剤としては、例えば非イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、カルボン酸エステル、カルボン酸アミド及びカルボン酸等が挙げられる。

本実施形態の研磨物の製造方法は、上記１次研磨（粗研磨）後、１次研磨（粗研磨）により生じた境界線や微小欠陥を低減させるために、２次研磨（仕上げ研磨）を行ってもよい。しかしながら、上記のとおり、一定以上のクッション性を有する研磨パッドとした場合には、粗研磨において境界線や微小欠陥が生じにくいため、仕上げ研磨工程を省略することが可能となる。したがって、本実施形態の研磨パッド及び研磨物の製造方法によれば、被研磨物の平面及び曲面を同時に研磨することが可能であるため、被研磨物の平面及び曲面を別々の研磨工程で行う必要がないという点において研磨工程をより簡易化することが可能であることに加え、粗研磨及び仕上げ研磨を同時に達成することができるという点において仕上げ研磨工程の省略をも可能であるために、研磨物の製造工程全体におけるスループットを向上させることが可能となる。

以下、本発明を実施例及び比較例を用いてより具体的に説明する。本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。

〔ショアＡ硬度〕
バネを介して厚さ４．５ｍｍ以上の試験片表面に押針（測定子）を押し付け３０秒後の押針の押し込み深さから、研磨パッドのショアＡ硬度を測定した。測定装置としては、デュロメータ タイプＡを用いた。これを３回行って相加平均からショアＡ硬度を求めた。具体的には、研磨パッドを１０ｃｍ×１０ｃｍに切り出し、試料片とし、厚さ４．５ｍｍ以上になるように複数枚重ねて測定した。

〔圧縮変形量及び圧縮弾性率〕
ショッパー型厚さ測定器（加圧面：直径１ｃｍの円形）を用いて、日本工業規格（ＪＩＳ Ｌ １０２１）に準拠して、研磨パッドの圧縮変形量及び圧縮弾性率を測定した。具体的には、初荷重で３０秒間加圧した後の厚さｔ₀を測定し、次に最終荷重のもとで５分間放置後の厚さｔ₁を測定した。全ての荷重を除き、１分間放置後、再び初荷重で３０秒間加圧した後の厚さｔ₀’を測定した。このとき、初荷重は１００ｇ／ｃｍ²、最終荷重は１１２０ｇ／ｃｍ²であった。圧縮変形量は、下記数式（１）で算出し、圧縮弾性率は、下記数式（２）で算出した。
数式（１）：圧縮変形量（ｍｍ）＝ｔ₀−ｔ₁
数式（２）：圧縮弾性率（％）＝（ｔ₀’−ｔ₁）／（ｔ₀−ｔ₁）×１００

〔厚さ〕
ショッパー型厚さ測定器（加圧面：直径１ｃｍの円形）を用いて、日本工業規格（ＪＩＳ Ｋ ６５０５）に準拠して、研磨パッドの厚さを測定した。具体的には、研磨パッドを１０ｃｍ×１０ｃｍに切り出した試料片３枚用意し、各試料片に、厚さ測定器の所定位置にセットした後、４８０ｇ／ｃｍ²の荷重をかけた加圧面を試料片の表面に載せ、５秒経過後に厚さを測定した。１枚の試料片につき、５箇所の厚さを測定し相加平均を算出し、さらに３枚の試料片の相加平均を求めた。

〔密度〕
研磨パッドを１０ｃｍ×１０ｃｍに切り出し、試料片とし、その質量を測定し、上記厚さから求めた体積と上記質量から、研磨パッドの密度（かさ密度）（ｇ／ｃｍ³）を算出した。

〔研磨試験〕
研磨パッドを研磨機（ラップマスター、３６ＰＬ−３Ｒ）の定盤に張り付けた。次いで、被研磨物（ワークＷ）として曲面を有するガラス（サイズ５０ｍｍ×１００ｍｍ×１ｍｍｔ）を用意し、図２に示すキャリアＣのステージＳ上に設置した。図２の上側の図は、キャリアＣの平面図であり、それをＡ−Ａ’線で切断した断面図が下側の図である。次いで、図３に示すように研磨パッドの研磨面を被研磨物に接触させ、被研磨物に対して、下記に示す研磨条件にて研磨を行った。
（研磨条件）
スラリ ：酸化セリウム粒子１０重量％水分散液
研磨時間 ：６０ｍｉｎ
研磨圧 ：１７０ｇｆ／ｃｍ²
研磨速度 ：定盤２０ｒｐｍ
：キャリヤ２３ｒｐｍ

上記研磨試験により得られた研磨後の被研磨物表面を確認し、以下の評価基準で評価をした。
（面品位に関する評価基準）
Ａ ：スクラッチ及び溝状の研磨痕なし。面品位良好。
Ｂ ：スクラッチおよび溝状の研磨痕有り。面品位不良。
（仕上げ研磨の要否に関する評価基準）
ＡＡＡ：研磨後の被研磨物表面と側面とをつなぐ曲面に、境界線がほぼ確認できず、仕上げ研磨は不要である
ＡＡ ：研磨後の被研磨物表面と側面とをつなぐ曲面に、極薄い境界線が確認でき、比較的に簡易な仕上げ研磨が必要である
Ａ ：研磨後の被研磨物表面と側面とをつなぐ曲面に、薄い境界線が確認でき、仕上げ研磨が必要である
Ｂ ：研磨後の被研磨物表面と側面とをつなぐ曲面に、はっきりと境界線が確認でき、仕上げ研磨が必要である

〔編地及び不織布〕
ポリエチレンテレフタレート繊維（以下、「ＰＥＴ繊維」ともいう。）により構成される編地Ａ〜Ｂとポリエチレンテレフタレート繊維とナイロン繊維（以下、「Ｎｙ繊維」ともいう。）により構成される編地Ｃおよび不織布Ａとを用意した。下記表１に各編地の構成を記載する。なお、経編及び丸編においては、編地表裏面を構成する繊維と、編地の中構造（表面と裏面の間）を構成する繊維とを分けて記載する。

なお、編地Ａ及びＣは、Ｌ１〜Ｌ６の給糸口を有するダブルラッシェル機で編成された、下記編地組織よりなる経編地（ダブルラッセル）であり、Ｌ３，４は中間構造を構成する繊維であり、Ｌ１〜６は全てなま糸である。

また、編地Ｂは、Ｌ１〜Ｌ６の給糸口を有するダブルラッシェル機で編成された、下記編地組織よりなる経編地（ダブルラッセル）であり、Ｌ３、４は中間構造を構成する繊維であってマルチフィラメントとモノフィラメントがそれぞれ給糸されている。なお、Ｌ１〜６は全てなま糸である。

Ｌ１： ４−４−４−４／０−０−０−０／／
Ｌ２： ０−１−１−１／１−０−０−０／／
Ｌ３： ０−１−１−２／１−０−２−１／／
Ｌ４： １−２−０−１／２−１−１−０／／
Ｌ５： ０−０−０−１／１−１−１−０／／
Ｌ６： ０−０−４−４／４−４−０−０／／

また、不織布Ａの断面は、研磨面の立体構造により追従性を確保するため、図４に示すような、上底１．５ｍｍ、下底４．１ｍｍ、高さ３．５ｍｍの台形が、２．３ｍｍの間隔で配置されたものとした。

〔実施例１〕
（１次含浸工程）
ポリカーボネート系ポリウレタン樹脂（ＤＩＣ社製、商品名「クリスボンＳ７０５」）５６．７質量部と、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド４３．３質量部と、を混合し、樹脂溶液を調製した。得られた樹脂溶液に編地Ａを浸漬させ、マングルローラーを用いて余分な樹脂溶液を絞り落とすことで、編地Ａに樹脂溶液を略均一に含浸させた。次いで、１８℃の水からなる凝固液中に編地Ａを浸漬することにより、１次含浸樹脂を凝固再生させて樹脂含浸編地を得た。その後、樹脂含浸編地を凝固液から取り出して乾燥させて樹脂含浸編地を得た。

（浸漬工程）
次いで、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドと純水とを６５対３５（体積比）で混合した浸漬溶媒に、上記で得られた樹脂含浸編地を浸漬した。その後、乾燥を行い、浸漬工程後の樹脂含浸編地を得た。

（表面除去工程）
その後、樹脂含浸編地を乾燥させて、バフ機を用いて上下の厚さが均等になるように表面の繊維及び樹脂を除去することにより立毛を形成し、その面を研磨面とした。最後に、クッション層として、研磨面と反対側に、厚さ５ｍｍのポリエチレン発泡体を張り付けた。なお、立毛の平均長さは、２．０５ｍｍであった。

〔実施例２〕
編地Ａに代えて、編地Ｂを用いたこと以外は、実施例１と同様の方法により、実施例２の研磨パッドを得た。なお、立毛の平均長さは、４．４５ｍｍであった。

〔比較例１〕
編地Ａに代えて、不織布Ａを用い、研磨パッドの密度が０．３７ｇ／ｃｍ³となるようにマングルローラーのニップ条件を調整したこと以外は、実施例１と同様の方法により、比較例１の研磨パッドを得た。研磨パッド全体に対して、不織布含有量は３４質量％であった。

〔実施例３〕
浸漬工程は実施せず、また編地Ａに代えて、編地Ｃを用いたこと以外は、実施例１と同様の方法により、実施例３の研磨パッドを得た。なお、クッション層としては、研磨面と反対側に、厚さ１０ｍｍのポリウレタン系発泡体を張り付けた。また、立毛の平均長さは、３．０２ｍｍであった

〔実施例４〕
クッション層として、厚さ２０ｍｍのポリウレタン系発泡体を用いたこと以外は、実施例３と同様の方法により、実施例４の研磨パッドを得た。

得られた研磨パッドを用いた研磨試験による結果を、研磨パッドの各種物性と共に表２に示す。また、図５に、実施例１の研磨試験前の被研磨物表面（曲面）の写真を示し、図６に、実施例１の研磨試験後の被研磨物表面（曲面）の写真を示す。実施例１においては、研磨パッドが良好な追従性を示し、立毛が被研磨物の側面及び曲面も研磨できた上、繊維の脱落等による研磨痕も認められなかった。一方で、比較例１においては、研磨パッドの追従性は認められたものの繊維の脱落によるスクラッチや溝に由来する研磨痕が生じていた。

本発明は、研磨パッドとして産業上の利用可能性を有する。

Claims (20)

1. 立毛が配された研磨面と前記立毛の一端を連結する連結部とを有する基材と、
   該基材に含浸された樹脂と、を有し、
   少なくとも、前記立毛が、経編又は緯編で構成された編地であって、表裏面を形成する表裏面繊維と前記表裏面を連結する中間繊維とを有する前記編地のうち、前記中間繊維に由来するものであり、
   前記連結部が、前記表裏面繊維のいずれか一方に由来するものである、
   研磨パッド。
2. 前記立毛の平均長さが、０．５〜２０ｍｍである、
   請求項１に記載の研磨パッド。
3. 前記立毛が、なま糸である、
   請求項１又は２に記載の研磨パッド。
4. 前記樹脂が、ポリカーボネート系ポリウレタン樹脂を含む、
   請求項１〜３のいずれか一項に記載の研磨パッド。
5. 前記樹脂が含浸された前記基材のショアＡ硬度が、０〜３０°である、
   請求項１〜４のいずれか一項に記載の研磨パッド。
6. 前記樹脂が含浸された前記基材の圧縮弾性率が、５０〜９８％である、
   請求項１〜５のいずれか一項に記載の研磨パッド。
7. 前記編地を構成する単糸の数平均直径が、３〜５００μｍである、
   請求項１〜６のいずれか一項に記載の研磨パッド。
8. 前記樹脂が含浸された前記基材の圧縮変形量が、０．５〜１５ｍｍである、
   請求項１〜７のいずれか一項に記載の研磨パッド。
9. 前記樹脂が含浸された前記基材の厚さが、１．０〜２２ｍｍである、
   請求項１〜８のいずれか一項に記載の研磨パッド。
10. 前記基材の前記研磨面と反対側に、クッション層をさらに有する、
    請求項１〜９のいずれか一項に記載の研磨パッド。
11. 前記クッション層の厚さが、３〜２５ｍｍである、
    請求項１０に記載の研磨パッド。
12. 前記クッション層のショアＡ硬度が、０〜０．３°以下である、
    請求項１０又は１１に記載の研磨パッド。
13. 前記クッション層の圧縮変形量が、２．０〜２０ｍｍである、
    請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の研磨パッド。
14. 前記クッション層の圧縮弾性率が、８５〜９９％である、
    請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の研磨パッド。
15. 前記クッション層の密度が、０．０１０〜０．１００ｇ／ｃｍ³である、
    請求項１０〜１４のいずれか１項に記載の研磨パッド。
16. 経編又は緯編で構成された編地に樹脂を含む樹脂溶液を含浸させ、湿式凝固を行うことにより、樹脂含浸編地を得る含浸工程と、
    前記樹脂含浸編地の表裏面のいずれか一方に存在する樹脂及び繊維を除去することにより、前記編地の表裏面を連結する中間繊維を立毛として露出させる表面除去工程と、を有する、
    研磨パッドの製造方法。
17. 前記表面除去工程前に、前記樹脂含浸編地を、前記樹脂が可溶な溶媒を含む浸漬液に浸漬する浸漬工程を、有する、
    請求項１６に記載の研磨パッドの製造方法。
18. 前記樹脂が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアルデヒド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン及びジメチルスルホキシドからなる群より選ばれる１種以上に可溶である、請求項１６又は１７に記載の研磨パッドの製造方法。
19. 前記樹脂が可溶な溶媒が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアルデヒド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン及びジメチルスルホキシドからなる群より選ばれる１種以上の溶媒を含む、請求項１６〜１８のいずれか１項に記載の研磨パッドの製造方法。
20. 請求項１〜１５のいずれか１項に記載の研磨パッドを用いて、被研磨物を研磨する研磨工程を有する、
    研磨物の製造方法。

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