CN107949680A - 用于洁净气体腔室的框架型材元件、壁元件和框架 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种洁净气体腔室的框架型材元件、壁元件和框架。洁净气体腔室的结构实现了洁净气体腔室在洁净气体腔室的使用位置处的简单组装，其中，洁净气体腔室的尺寸可容易地适应于要被封闭的系统的要求。

Description

用于洁净气体腔室的框架型材元件、壁元件和框架
技术领域
本发明涉及由框架型材形成的洁净气体腔室的框架型材、壁元件和框架。
背景技术
在生产和研发中的许多制造工艺和工序不能在正常的环境条件下进行，并且需要单独的气氛。这样的制造工艺可以是涂覆操作，例如在制造半导体时，LCD或OLED生产中的封装工序或超纯原材料的生产工艺，例如在医学或制药工程中以及在焊接应用(尤其是钛焊接)中。例如，该工艺可能需要洁净室条件、低湿度、惰性气体气氛或这种类型的不同条件和其它条件的组合。
已知的是，在能够根据所需条件建立气氛的封闭空间中进行这种制造工艺或程序。封闭的空间设置有气闸，通过这些气闸可将必要的材料引入封闭空间并取出产品。
这种空间例如在手套箱中形成，如在文献中充分描述的那样(参见“Reinraumtechnik”[洁净室工程]，第三次更新和扩展版，Springer，第202-207页)。这种手套箱通常由不锈钢制成。所述手套箱允许通过手套馈通件在手套箱内进行期望的程序。为了建立所需的气氛，提供了合适的气体供给或循环管线，气体可通过该管线从手套箱抽出，被引导通过至少一个气体处理单元，然后被馈送回手套箱。由于他们的结构，这种手套箱难以整合到生产线中，尤其是在大型制造单元的情况下，因为待封闭的系统只能通过所提供的气闸引入手套箱中。
惰性气体外壳或具有罩设计的洁净气体腔室因此是已知的。罩与基板一起形成封闭的空间，其中可建立所需的气氛。预先组装好的罩从上面放置在基板上并密封。所需的馈通件、气闸上游腔室和其他必要的单元和组件优选已经组装在罩上并进行测试。因此，惰性气体外壳可快速地安装在预期的工作场所或工作站中。使用罩设计有可能在封闭的空间中操作任何系统或系统部件，所述封闭空间的气氛可根据需要而建立。为此，罩的尺寸可适配于相应的系统。用于构造惰性气体外壳的材料被设计成使得所述材料不会改变其内部的气氛，例如通过污染或气体析出。此外，所述封闭被设计成在惰性气体外壳的内部与周围环境之间不发生气体交换。由不锈钢或铝制成的惰性气体外壳是已知的。
这种惰性气体外壳的缺点是尺寸大、重量大，这使到生产场所的运输和在生产场所的安装复杂化。
发明内容
因此，本发明的目的是简化洁净气体腔室的设计，或者以这样的方式配置洁净气体腔室的设计，使得其允许在使用位置处简单且成本低廉地组装洁净气体腔室。
根据权利要求1，使用一种框架型材实现本发明的目的，其中，紧固部分布置在框架型材的邻接侧面上，其中用于容纳密封元件的至少一个纵向取向的密封部分在各种情况下布置在至少一个邻接侧面上，并且其中，用于密封地容纳板元件的纵向取向的板连接区域布置在板连接侧面上。因此，框架型材可气密地连接到形成的洁净气体腔室的板元件和壁元件。壁元件的板元件在这里优选地在周向上由框架型材围住。紧固部分使得所述板元件能够耦接到洁净气体腔室的抵靠框架型材的纵向长度的其他结构元件。密封元件可连接到密封部分，使得实现壁元件和另一个结构元件之间的气密耦接。以这种方式，多个壁元件可例如气密地连接到彼此，从而构造成洁净气体腔室。
在本发明的上下文中，术语“气密”是指例如具有在<0.25vol.％/h的范围内的可允许的泄漏率的布置。例如，这适用于惰性气体操作的系统。更优选地，在本发明的上下文中，如果要在操作中实现≤1ppm的残余氧浓度，则“气密”还可指在<0.01vol.％/h范围内的泄漏率。
本发明的优选配置使得框架型材具有多个邻接侧面，相邻的邻接侧面优选地彼此成直角。然后可产生使用两个框架型材的各种拐角连接件。特别优选地，三个邻接侧面和板连接侧面设置在框架型材上。
可有利地提供的是，至少一个密封部分布置在两个紧固部分之间，该两个紧固部分布置在邻接侧面上。因此，与密封部分连接的密封元件被定位保护在框架型材的中央区域中。该布置允许例如仅使用一个密封元件密封耦接两个毗连的框架型材。
另选的实施例可设定至少一个密封部分被布置到紧固部分的侧面并且沿邻接侧面的边缘布置。密封有利地沿框架型材的边缘设置，使得框架型材和毗连的结构元件之间的剩余间隙(污染可能在其中积聚)与洁净气体腔室的内部分离。沿框架型材与毗连的结构元件之间的两个框架型材的边缘使用两个密封元件导致两个框架型材之间的冗余密封连接。
可实现框架型材与毗连的结构元件的简单耦接，其中，通过相对于框架型材纵向取向的紧固凹槽或通过多排紧固元件形成紧固部分。例如，可将凹槽螺母引入到紧固凹槽中，在该凹槽螺母中拧入螺栓，通过该螺栓保持毗连的结构元件。
板元件因此可简单地、机械上牢固地且气密地连接到框架型材，其中，板连接区域构成为板容纳部的形式，其中，相对置的接触表面布置在板容纳部中，并且其中，用于容纳粘合剂的储存凹槽布置在接触表面中至少一个的区域中。因此，具有板容纳部的框架型材可装配到相关联的板元件的边缘上。这样做，侧向引导在接触表面上进行。框架型材优选地在接触表面的区域中粘附到板元件上。在这里通过储存凹槽可容纳多余的粘合剂，使得板元件能够以其边缘完全插入到板容纳部中。
可精确地定位和保持设置在邻接侧面上的密封元件，其中，至少一个密封部分被构造为密封容纳部，并且/或者所述密封容纳部具有半圆形或矩形的横截面。密封容纳部的横截面优选地遵循所使用的优选为自粘性的密封元件的横截面。后者可放置在密封容纳部中并由此保持。密封容纳部和密封元件的设计限定密封元件在框架型材的邻接侧面上方以何种程度突出，并且当耦接到另外的结构元件时以何种程度变形。密封容纳部和密封元件的横截面优选彼此适配，使得密封元件的限定的变形在耦接期间继续进行，由此可确保密封效果并且因此防止不许可的挤压。
本发明的目的还通过一种壁元件实现，其中，壁元件至少由具有在周向上气密地连接到所述壁元件上的框架型材的板元件形成，其中，紧固部分布置在框架型材的邻接侧面上，其中，用于容纳密封元件的至少一个纵向取向的密封部分在各种情况下布置在邻接侧面上，并且其中，用于密封紧固板元件的纵向取向的板连接区域布置在板连接侧面上。因此，壁元件构成由框架型材包围的结构单元。框架型材允许壁元件简单连接到洁净气体腔室的其他结构元件(例如其他壁元件)。紧固部分实现了框架型材和毗连的结构元件之间的简单、牢固的连接。在密封部分上可布置密封元件。这些密封元件密封了壁元件和相邻结构元件之间的邻接表面。因此，这类壁元件的使用使得气密性的洁净气体腔室能够例如在随后的使用位置处快速且容易地构造。
洁净气体腔室的重量可保持较低，因为板元件构成为结构芯板(尤其是铝蜂窝芯板)的形式。结构芯板具有相当大的抗弯刚度，使得其形成的壁元件在负载下几乎不发生或不发生弹性弯曲。由于布置在两个侧面上的所述壁元件的盖板，相应于所使用的盖板的渗透特性，所述壁元件在其表面的法线的方向上是气密的。铝蜂窝芯板特别适用于制造洁净气体腔室的气密侧壁，盖板和结构芯与该铝蜂窝芯板由铝形成。结构芯防止结构芯板内的气体横向于所述结构芯板的表面法线流动。这确保了没有气体可进入洁净气体腔室或者流出洁净气体腔室，例如通过相互错开地引入到盖板中的开口。
在当前的情况下，结构芯板尤其是指板状构造部件，其构造为夹层结构并且具有两个或多个盖板，在所述盖板之间布置有结构芯。结构芯可以尤其是任何期望的轻质结构。所述轻质结构可以例如由蜂窝芯、波纹或之字形材料、泡沫材料等形成。
可实现框架型材和板元件之间的牢固的气密结合，其中，板元件以其外边缘插入到构造为板容纳部的在周向上布置的框架型材的板连接区域中并且粘附到所述板连接区域。
此外，本发明的目的还通过一种框架来实现，其中，板连接侧面在各种情况下布置在所述框架的所述框架型材上，所述板连接侧面具有用于气密连接到板元件的板连接区域，其中，至少一个邻接侧面在各种情况下布置在框架型材上，所述至少一个邻接侧面具有用于容纳密封元件的至少一个纵向取向的密封部分，其中，多个框架型材相对于板元件在周向上布置并且气密地连接到该板元件，并且其中，框架型材中的至少一个以其邻接侧面气密地连接到另外的框架型材的邻接侧面，并且/或者其中，框架型材中的至少一个以邻接侧面气密地连接到连接型材，尤其是连接到拐角连接器和/或连接到另外的板元件的表面。因此，框架由包围板元件的框架型材形成。板元件与外围框架型材一起同时形成气密的壁元件，使用该气密壁元件，在使用位置处可以以很少的精力和费用来构造洁净气体腔室。因此，框架型材执行多个任务，即提供与板元件和相邻结构元件的气密连接，以及提供洁净气体腔室的支撑结构。预先组装的壁元件可被递送到洁净气体腔室的安装位置并且在那里被快速且容易地构造成洁净气体腔室。密封元件确保在洁净气体腔室的内部与周围环境之间不发生不期望的气体交换。
可实现框架和洁净气体腔室的简单组装，其中，紧固部分布置在框架型材的至少一个邻接侧面上，其中，毗连的框架型材通过连接元件连接到彼此，并且其中，连接元件通过紧固元件紧固到框架型材的紧固部分。例如，穿孔的板或具有开口的其他表面元件可用作连接元件(尤其是也可为具有多个孔的板)，其例如被旋拧到紧固部分。
可实现洁净气体腔室的任何期望的拐角角度，其中，拐角连接器具有彼此成一定角度布置的至少两个臂，并且其中，每个臂抵靠在框架型材的一个邻接侧面上，并且通过紧固件(尤其是螺栓)连接到所述框架型材。
拐角连接器有利地在框架型材的整个长度上延伸，以便以一定角度连接到彼此。一个或多个密封元件连接到框架型材的相关联的密封部分，并且抵靠在拐角连接器的相应臂上。这密封了框架型材和拐角连接器之间的邻接表面。引入到框架型材中的紧固部分可有利地构造为紧固凹槽的形式。凹槽螺母可插入到面向拐角连接器的型材的侧面上的所述紧固凹槽中，拐角连接器的臂通过螺栓固定到所述拐角连接器。由于螺栓的拉紧力，密封元件的变形可被调整，使得实现最佳的密封效果。有利地，可设定螺栓被拉紧到限位止挡部，然后实现密封元件的适当变形。限位止挡部可通过框架型材与密封容纳部外部的拐角连接器的臂接触来形成。
根据本发明的一个实施例，可设定拐角连接器的臂通过弯曲部直接合并到彼此，或者臂通过腹板连接，并且/或者臂通过装置至少一个稳定元件连接。弯曲部和腹板产生拐角连接器的两个臂的气密连接。拐角区域可在腹板的长度和洁净气体腔室的轮廓上延伸，从而适应于相应的要求。优选地附接在臂之间的稳定元件可防止臂之间以及因此紧固到所述臂上的壁元件之间的角度改变。稳定元件也可布置在框架型材的纵向端部上。然后他们也可用于密封相邻框架型材之间的过渡区域中的拐角连接件的端面。
附图说明
下面将基于附图中示出的示例性实施例更详细地解释本发明。
在附图中：
图1示出了具有由框架型材A制成的框架的部分组装的洁净气体腔室的透视图，
图2示出了从相反的方向观察的具有由框架型材B制成的框架的与图1中相同的部分组装的洁净气体腔室的透视图，
图3示出了框架型材A的截面图，
图4示出了来自洁净气体腔室的第五拐角的上方的截面图，
图5示出了来自洁净气体腔室的第三拐角的上方的截面图，
图6示出了框架型材B的截面图，
图7示出了来自洁净气体腔室的第二拐角的上方的截面图，
图8示出了来自洁净气体腔室的第四拐角的上方的截面图，
图9示出了上下重叠布置的两个侧壁元件的连接，以及
图10示出了洁净气体腔室的第五拐角的透视图。
具体实施方式
图1示出了具有由框架型材A 20制成的框架的部分组装的洁净气体腔室10的透视图，在图3中更详细地示出所述框架型材A 20。
图2示出了从相反的方向观察的具有如图1中由框架型材B 27制成的框架的相同的部分组装的洁净气体腔室的透视图，在图6中以横截面示出所述框架型材B 27。
图1和图2所示的洁净气体腔室10具有五个拐角16.1、16.2、16.3、16.5和16.5的轮廓。为此，侧壁元件形式的壁元件11沿基底13的外边缘放置并且经由保持托架15连接到所述基底。在铝蜂窝芯板的当前情况下，基底13由结构芯板12形成。壁元件11由以框架型材20、27围住的板元件形成。在本示例性实施例中，板元件由结构芯板12制成，优选地由铝蜂窝芯板制成。框架型材20、27在壁元件11的拐角区域中斜接，并且通过第一连接元件14.1连接到彼此。因此板元件在周向上由框架型材20、27围住并且气密地连接到所述框架型材。
就布置在彼此毗连的平面中的壁元件11而言，沿所述壁元件的纵向延伸彼此邻接的框架型材20、27通过第二连接元件14.2连接到彼此。第二连接元件14.2朝向洁净气体腔室10的内部并向外地组装在成对的框架型材20、27之间。
在壁元件11彼此直接毗连并且在所示的示例性实施例中如第二拐角和第五拐角16.2、16.5所示以直角布置的情况下，沿所述壁元件的纵向延伸彼此邻接的框架型材20、27通过第三连接元件14.3连接到彼此。第三连接元件14.3构造为拐角托架的形式，并且布置在第二拐角和第五拐角16.2、16.5的内拐角上。框架型材20、27优选地具有矩形(在本示例性实施例中为正方形)横截面。如图3和图6所示，在第二拐角和第五拐角16.2、16.5处，壁元件11的框架型材20、27在沿板平面方向延伸的第一邻接侧面或第三邻接侧面26.1、26.3和横向于板的平面延伸的第二邻接侧面26.2上邻接。这在第二拐角和第五拐角16.2、16.5中彼此邻接的壁元件11之间形成直角。
第一拐角连接件30沿洁净气体腔室10的第四拐角16.4布置在相邻的侧壁元件11之间。沿第四拐角16.4竖直延伸的相邻壁元件11的框架型材20、27在各种情况下通过图8所示的第一拐角连接器30的第一臂和第二臂31.1、31.2连接到他们的第二邻接侧面26.2。相邻的框架型材20、27通过第四拐角16.4的内角连接到第四连接元件14.4。通过第一臂和第二臂31.1、31.2之间的角度预先确定通过第一拐角连接器30间接连接的壁元件11之间的角度。因此，通过适当选择第一臂和第二臂31.1、31.2之间的角度，可实现彼此间接毗连的壁元件11之间的任何期望的角度。为了稳定该角度，在第一臂和第二臂31.1、31.2之间设置稳定元件，这些稳定元件在所示的示例性实施例中为三角形稳定元件32。
第二拐角连接器40沿洁净气体腔室10的第三拐角16.3布置在相邻的壁元件11之间。沿第三拐角16.3竖直延伸的相邻壁元件11的框架型材20、27在各种情况下通过图5所示的第二拐角连接器40的第三臂和第四臂41.2、41.3连接到他们的第二邻接侧面26.2。通过第三臂与第四臂41.2、41.3之间的角度预先确定经由第二拐角连接器40间接连接的壁元件11之间的角度。因此，通过适当选择第三臂和第四臂41.2、41.3之间的角度，通过第二拐角连接件40也可实现彼此间接毗连的壁元件11之间的任何期望的角度。与第一拐角连接器30相比，在第二拐角连接器40的情况下，第三臂和第四臂41.2、41.3通过腹板41.1间隔开。这不仅能够预先确定角度，而且还能够预先确定两个间接邻接的壁元件11之间的距离。为了稳定该角度，在第三臂和第四臂41.2、41.3之间设置稳定元件42。
通过封盖(未示出)闭合洁净气体腔室10的顶部。封盖同样由板元件构造，在示出的示例性实施例中由结构芯板11构造。
如图4、图5、图7和图8所示，密封元件18布置在框架型材20、27与沿所述框架型材的纵向延伸毗连的结构元件之间。此外设置，板元件气密地连接到框架型材20、27。因此，形成由板元件和紧固到所述板元件上的框架型材20、27组成的壁元件11，所述壁元件在他们的表面法线的方向上是气密的。壁元件11不仅可被构造成侧壁元件，而且可被构造成用于构造封盖(未示出)或另选地构造的基底13的壁元件11。框架型材20、27可通过密封元件18气密地连接到毗连的结构元件。因此可在相邻的壁元件11的沿所述壁元件的纵向延伸毗连的两个框架型材20、27之间产生气密的连接。也可在框架型材20、27和连接元件(例如所示的拐角连接器20、27)之间产生气密连接。在所示的示例性实施例中，有可能根据设置在框架型材20、27和毗连的水平面之间产生气密连接，例如在侧壁元件和基底13之间所设置的那样。
框架型材27形成作为洁净气体腔室10的支撑结构的框架。通过连接元件14.1、14.2、14.3、14.4和连接到框架型材20、27的板元件使框架稳定。
以这种方式构造的洁净气体腔室10构成与其周围环境密封的外壳。制造系统或实验室结构等可布置在洁净气体腔室10内侧。此外，可在洁净气体腔室10内侧建立预先确定的气氛。为此，预先确定成分的特定气体或气体混合物可存在于洁净气体腔室10的内部。所述气体或气体混合物可以是惰性气体。此外，可调整气体或气体混合物的湿度。作为附加要求可预先确定洁净气体腔室10所需的洁净室类别。这些要求可单独或组合应用。另外，还可建立另外的气氛参数，诸如温度和压力。根据本发明，洁净气体是指符合各自所述的要求的气氛。
洁净气体腔室10使得有可能进行需要特殊气氛的制造工艺或工序。例如在制药工业中，诸如此类的制造步骤可以是涂覆工艺，封装工艺或超纯物质的加工或生产。通过气闸供给必要的材料和物质。
具有预制壁元件(尤其是壁元件11)、基板、拐角连接器和封盖元件的模块化结构使洁净气体腔室能够在现场快速且容易地构建。也有可能在组装位置处制造壁元件11，并且因此考虑到当地条件或必要的改变。
板元件优选地由结构芯板12形成。尤其是，铝蜂窝芯板可用于此目的。结构芯板12具有多层结构。至少两个间隔开的盖板广泛地连接到结构芯。就铝蜂窝芯板而言，盖板和结构芯由铝制成。结构芯被构造成蜂窝芯。以这种方式产生具有高抗弯刚度并同时具有低重量的板。因此，洁净气体腔室10的重量比用固态铝或不锈钢壁制造的洁净气体腔室10轻得多。这显著地减少了由封闭的系统零件和洁净气体腔室10的重量引起的地板负载。因此，洁净气体腔室10可用于具有低地板负载容量的建筑物中。此外，由于不需要提升装置或仅需要小负载能力的提升装置，所以低重量便于洁净气体腔室10在其使用位置处的安装。
第一拐角16.1由成角度的侧壁元件11形成。为此，用作板元件的结构芯板12沿第一拐角16.1的外角以楔形开槽。该凹槽穿透结构芯板12的外盖板和结构芯。因此，结构芯板12可围绕剩余的内盖板弯曲，使得楔形凹槽在外侧上打开。剩余的盖板确保结构芯板12在第一拐角16.1的区域中保持气密。竖直布置的框架型材20、27在第一拐角16.1的区域中斜接。
图3示出了框架型材A 20的截面图。框架型材A 20被制造成优选地由铝制成的挤压型材。所述框架型材具有矩形、在本示例性实施例中为正方形横截面。在挤压型材内部形成空腔以节省材料和重量。
沿三个邻接侧面26.1、26.2、26.3分别成形有两个紧固凹槽21形式的间隔开的紧固部分。紧固凹槽21在框架型材A20的纵向延伸的方向上延伸。他们对于相应的邻接侧面26.1、26.2、26.3是敞开的并且朝向框架型材A20变宽。因此，类似于图4、图5、图7和图8所示的凹槽螺母19可被引入到沿紧固凹槽21中，沿紧固凹槽21定位并保持在那里。以第一密封容纳部22的形式的密封部分成形在紧固凹槽21之间。密封容纳部22优选地被构造成矩形凹部。然而，也可想到例如具有半圆形型材的其他设计。密封容纳部22用于容纳和定位密封元件18。他们的横截面和他们的深度优选地适用于所使用的密封元件18的几何形状。
沿板连接侧面26.4的纵向延伸将板容纳部23的形式的板连接区域成形为框架型材A20。板容纳部23由接触表面23.2侧向地界定。朝向框架型材A20，通过限位挡块表面23.4闭合板容纳部23。储存凹槽23.1、23.3在接触表面23.2的区域中成形。在接触表面23.2到限位挡块表面23.4的过渡部中设置内储存凹槽23.1。外储存凹槽23.3沿板容纳部23的开口布置。纵向延伸的凹口25(优选地为矩形凹槽)布置在板容纳部23的侧面。
板元件(优选地为结构芯板11)可以其外边缘插入到板容纳部23中。结构芯板11在两个接触表面23.2之间被引导。为了实现框架型材A20在板元件中的牢固保持，以及同时框架型材A20和板元件之间的紧密连接，框架型材A20和板元件在板容纳部23的区域中粘附到彼此。为此，粘合剂被施加到板元件的外边缘和/或板容纳部23中，并且板元件被插入到板容纳部23中。多余的粘合剂被排挤到储存凹槽23.1、23.3中。这确保了板元件可被引入到板容纳部23中直到限位挡块表面23.4。
图4和图5所示的密封元件18可定位并保持在第一密封容纳部22中。密封元件18的横截面优选地适用于第一密封容纳部22的横截面，使得密封元件18被牢固地引导到密封容纳部22中，并且突出超过相应的邻接侧面26.1、26.2、26.3。
图4示出了来自洁净气体腔室10的第五拐角16.5的上方的截面图。洁净气体腔室10的框架用框架型材A20构造。壁元件11的框架型材A20以其第二邻接侧面26.2搁置在另外的壁元件11的框架型材A20的第一邻接侧面26.1上。
凹槽螺母19被引入到毗连的框架型材A20的相对于洁净气体腔室10向外指向的紧固凹槽21中。第二连接元件14.2通过埋头螺栓17.1旋拧到两个框架型材A20上。为此，埋头螺栓17.1被引导通过第一连接元件14.1中的相关镗孔，并且与凹槽螺母19旋拧在一起。
第三连接元件14.3连接第五拐角16.5的内侧上的两个壁元件11。为此，构造为拐角托架的第三连接元件14.3旋拧到壁元件11的水平延伸的框架型材A20上。
截面中所示的竖直布置的框架元件A20另外经由第五连接元件14.5连接。第五连接元件14.5通过螺栓17.2与竖直延伸的框架型材20中的一个旋拧在一起。为此，凹槽螺母19在这里也被引入到相关的紧固凹槽21中，螺栓17.2旋拧到该紧固凹槽21中。第五连接元件14.5在端部处弯折成一定角度。弯折成一定角度的区域与第二竖直延伸的框架型材A20的凹口28接合。这也连接了第五拐角16.5的内侧上的两个竖直延伸的框架型材A20。
密封元件18沿两个毗连的框架型材A20的第一邻接侧面26.1和第二邻接侧面26.2之间的邻接边缘放置到第一密封容纳部22中。密封元件18密封毗连的壁元件的两个竖直延伸的框架型材A20之间的间隙。
如图3所示，以结构芯板11形式的板元件插入到两个框架元件A 20的板容纳部23中并且粘附在其中。
图4所示的结构使容易组装和气密的拐角连接件能够在两个优选地预制的壁元件11之间制造。
图5示出了来自洁净气体腔室10的第三拐角16.3的上方的截面图。两个壁元件11彼此成一定角度地布置，并且经由第二拐角连接器40间接地连接到彼此。壁元件11用框架型材A 20构造。然而，另选地，也可使用框架型材B 27。
第二拐角连接件40具有彼此成一定角度并通过腹板41.1连接到彼此的两个臂41.2、41.3。稳定元件42布置在臂41.2、41.3和腹板41.1之间。臂41.2、41.3各自连接到框架型材A 20的第二邻接侧面26.2，臂41.2、41.3抵靠在框架型材A 20上。为此，臂41.2、41.3具有镗孔，螺栓17.2被引导穿过该镗孔。螺栓17.2是有螺纹的凹槽螺母19，凹槽螺母19被保持在第二邻接侧面26.2的紧固凹槽21中。密封元件18被放置在第二邻接侧面26.2的第一密封容纳部22中。这些密封元件对形成在第二邻接侧面26.2与臂41.2、41.3之间的间隙进行气密地密封。
通过适当地选择第二拐角连接器40的两个臂41.2、41.3之间的角度，壁元件11可以以几乎任何期望的角度连接到彼此。腹板41.1的宽度使得能够预先确定壁元件11之间的距离。因此可产生具有适用于相应条件和要求的各种轮廓的洁净气体腔室10。
图6示出了框架型材B 27的截面图。对于图3中的框架型材A20所描述的相同的型材零件被相同地命名。
与框架型材A20不同的是，在框架型材B 27的情况下，以第二密封容纳部24的形式的密封部分沿框架型材B 27的边缘布置在邻接侧面26.1、26.2、26.3上。第二密封容纳部24布置在紧固凹槽21的侧面。因此，每个邻接侧面26.1、26.2、26.3设置两个密封容纳部24。
图7示出了来自洁净气体腔室10的第二拐角16.2的上方的截面图。洁净气体腔室10的框架用框架型材B 27构造。
该截面在以一定角度彼此相交的两个壁元件11的上部、水平延伸的框架型材B27.1、27.2的区域中延伸。由于框架型材B 27的斜接拐角区域，两个竖直布置的框架型材B27.3、27.4的由交叉影线表示的截面表面在相应的壁元件11的边缘上是明显的。
该截面布置在水平延伸的框架型材B 27.1、27.2的紧固凹槽21的区域中，使得在该截面中可看到插入其中的凹槽螺母19。水平延伸的框架型材B 27.1、27.2通过第三连接元件14.3在第二拐角16.2的内侧上连接到彼此。构造为拐角托架的第三连接元件14.3通过旋拧到凹槽螺母中的埋头螺栓17.1连接到水平框架型材B 27.1、27.2。如图2所示，两个竖直框架型材B 27.3、27.4通过第二连接元件14.2在洁净气体腔室10的外侧上被保持在一起。
第一竖直框架型材B 27.3以其第三邻接侧面26.3搁置在第二竖直框架型材27.4的第二邻接侧面26.2上。密封元件18布置在两个邻接侧面26.2、26.3之间的第二密封容纳部24中。这些密封元件沿毗连的框架型材27.3、27.4的两个边缘密封两个邻接侧面26.2、26.3之间的间隙。
框架型材B 27提供了如下优点：通过两个密封元件18密封毗连的邻接表面之间的间隙。这实现了改进的密封效果和增加的安全性，因为没有气体可进入或离开洁净气体腔室10。
图8示出了来自洁净气体腔室10的第四拐角16.4的上方的截面图。所示出的示例性实施例中的两个壁元件11、侧壁元件沿第四拐角16.4通过第一拐角连接器30间接地连接到彼此。壁元件11用框架型材B 27构造。如图7所示，示意图的截面边缘沿壁元件11的两个水平延伸的上部框架型材B 27.5、27.6的紧固凹槽21延伸。竖直延伸的框架型材27.7、27.8由于壁元件11的拐角区域中的框架型材27的斜切而仅在壁元件11的边缘上作为交叉影线可见。
壁元件11在各种情况下以竖直框架型材27.7、27.8的第二邻接侧面26.2抵靠在第一拐角连接器30的臂31.1、31.2上。沿竖直框架型材27.7、27.8的长度分布的凹槽螺母19被引入到第二邻接侧面26.2的相对于洁净气体腔室10在外部的紧固凹槽21中。臂31.1、31.2通过螺栓17.2旋拧在这些凹槽螺母19上。密封元件18置入到第二邻接侧面26.2的第二密封容纳部24中。这些密封元件被夹持在第二邻接侧面26.2与第一拐角连接器30的臂31.1、31.2之间。第二邻接侧面26.2与臂31.1、31.2之间的对接接头由此被密封在两侧上。臂31.1、31.2本身通过弯曲部连接到彼此，使得第一拐角连接器30也被气密地构造。通过适当地构造弯曲部可预先确定臂31.1、31.2之间的角度。因此，使用诸如这样的第一拐角连接件30，壁元件(尤其是侧壁元件11)可以以几乎任何期望的角度气密地连接到彼此。类似于图5所示的第二拐角连接件40，第一拐角连接件30也可与两个框架型材A20、B 27结合。
与图5中所示的第二拐角连接器40相比，在第一拐角连接器30的情况下，两个竖直框架型材B 27.7、27.8在第四拐角16.4的内侧上几乎彼此邻接。因此，两个竖直框架型材B27.7、27.8可通过图2所示的第四连接元件14.4直接连接到彼此。第四连接元件14.4根据第四拐角16.4的角度弯曲。
图9示出了上下重叠布置的两个壁元件11的连接。壁元件11由板元件(优选地为结构芯板11)制成，结构芯板11在所示的示例性实施例中在周向上由框架型材B 27围住。另选地，也可设置框架型材A20。框架型材B 27的拐角斜接并且接合到彼此。为此，在侧壁元件11的一个拐角上，邻接的框架型材B 27通过第一连接元件14.1连接。第一连接元件14.1被构造为穿孔的平面板状结构部件。他们具有成角度的基底区域，使得他们抵靠两个框架型材B27。穿孔沿紧固凹槽21布置。定位成隐藏在穿孔对面的凹槽螺母19被引入到紧固凹槽21中。第一连接元件14.1通过埋头螺栓17.1连接到这些凹槽螺母19。这实现了壁元件11的框架型材B 27之间的稳定的、坚固的拐角连接。
壁元件11通过第二连接元件14.2连接到彼此，在所示的部分中仅示出这些第二连接元件中的一个。第二连接元件14.2也被构造成穿孔的板状构造部件。所述板状构造部件通过埋头螺栓17.1连接到两个毗连的框架型材B 27。连接元件14.2中的穿孔被选择成使得他们被定位成与紧固凹槽21相对，使得埋头螺栓17.1可与引入的螺母19旋拧在一起。在这里，内穿孔之间的距离被选择成使得毗连的框架型材B 27被紧密地牵拉在一起，并且以他们的第二邻接侧面26.2直接地抵靠彼此。
有利地，第一连接元件和第二连接元件14.1、14.2既布置在洁净气体腔室10的内部也布置在洁净气体腔室10的外部。这实现了框架型材B 27的稳定连接，从而实现了洁净气体腔室10的稳定构造的框架。由于板元件(结构芯板11)与框架型材B 27的气密的粘合剂粘结以及被布置成隐藏在框架型材B 27之间的密封元件18，获得洁净气体腔室10的气密外壁。
图10示出了洁净气体腔室10的第五拐角16.5的透视图。两个壁元件11在第五拐角16.5处以一定角度与彼此相交。壁元件11用框架型材B 27构造，但是可另选地设置框架型材A20。两个竖直布置的框架型材B 27以他们的第一邻接侧面和第二邻接侧面26.1,26.2彼此抵靠。壁元件11的上部水平延伸的框架型材B 27以一定角度彼此相交。两个壁元件11通过被构造为拐角托架的第三连接元件14.3在第五拐角16.5的内侧上连接到彼此。为此，第三连接元件14.3以所描述的方式通过埋头螺栓17.1旋拧到竖直延伸的上部框架型材B 27上。
为了制造如图1和图2所示的洁净气体腔室10，首先将板元件、框架型材20、27和拐角连接器30、40切割成一定尺寸。框架型材20、27被斜接。然后将粘合剂施加在板容纳部23中或各个板元件的边缘上。然后将框架型材20、27与他们的板容纳部一起装配到相应的板元件的边缘上。因此，斜接的框架型材20、27形成框架，该框架围绕板元件在周向上延伸，并且气密地连接到板元件。以这种方式预制的壁元件11通过连接元件14.1、14.2、14.3、14.4、14.5在洁净气体腔室的安装位置处连接。为此，首先组装基底13，然后组装侧壁，最后组装封盖。在组装壁元件11之前，在抵靠在洁净气体腔室10的另外的结构元件上的邻接侧面26.1、26.2、26.3上，一个或多个密封元件18被放置在邻接侧面26.1、26.2、26.3上的密封容纳部22、24中。
由于所示的、由框架型材20、27围住并且本身是气密的壁元件11，洁净气体腔室10可在现场快速地且不费力地以低成本构造。连接元件14.1、14.2、14.3、14.4、14.5实现框架型材20、27之间的牢固结合，从而获得洁净气体腔室10的坚固框架。密封元件18使壁元件11相对于彼此密封或相对于另外的毗连的结构元件密封。拐角连接器30、40的使用使壁元件11能够以不同的角度接合到彼此，使得洁净气体腔室10的轮廓可最佳地适用于相应的使用情况。使用结构芯板12(尤其是铝蜂窝芯板)作为板元件使得能够实现洁净气体腔室的轻质但仍坚固的气密结构。

Claims (15)

1.一种洁净气体腔室(10)的框架的框架型材(20、27)，
其特征在于
在所述框架型材(20、27)的邻接侧面(26.1、26.2、26.3)上布置有紧固部分，在各种情况下，用于容纳元件(18)的至少一个纵向取向的密封部分布置在所述邻接侧面(26.1、26.2、26.3)中的至少一个上，并且，纵向取向的板连接区域(23)布置在板连接侧面(26.4)上，以便气密地容纳板元件。
2.根据权利要求1所述的框架型材(20、27)，
其特征在于
在两个紧固部分之间布置有所述至少一个密封部分，所述两个紧固部分布置在邻接侧面(26.1、26.2、26.3)上。
3.根据权利要求1或2所述的框架型材(20、27)，
其特征在于
在紧固部分的侧面并且沿所述邻接侧面(26.1、26.2、26.3)的边缘布置有所述至少一个密封部分。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的框架型材(20、27)，
其特征在于
通过相对于所述框架型材(20、27)纵向取向的紧固凹槽(21)或通过多排紧固元件形成所述紧固部分。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的框架型材(20、27)，
其特征在于
所述板连接区域构成为板容纳部(23)的形式，相对置的接触表面(23.2)布置在所述板容纳部(23)中，并且，用于容纳粘合剂的储存凹槽(23.1、23.3)布置在所述接触表面(23.2)中至少一个的区域中。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的框架型材(20、27)，
其特征在于
所述至少一个密封部分被构造为密封容纳部(22、24、25)，并且/或者所述密封容纳部(22、24、25)具有半圆形或矩形横截面。
7.一种洁净气体腔室(10)的壁元件(11)，
其特征在于
所述壁元件(11)由至少一个板元件与在周向上气密地连接到所述板元件上的框架型材(20、27)形成，紧固部分布置在所述框架型材(20、27)的邻接侧面(26.1、26.2、26.3)上，在各种情况下，用于容纳元件(18)的纵向取向的密封部分布置在所述邻接侧面(26.1、26.2、26.3)中至少一个上，并且，纵向取向的板连接区域布置在一个板连接侧面(26.4)上，以便气密地容纳所述板元件。
8.根据权利要求7所述的壁元件(11)，
其特征在于
所述板元件构造为结构芯板(12)的形式，尤其是铝蜂窝芯板。
9.根据权利要求7或8所述的壁元件(11)，
其特征在于
所述板元件以其外边缘插入到周向上布置的框架型材(20、27)的构造为板容纳部(23)的所述板连接区域中，并且粘附到所述框架型材上。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的壁元件(11)，具有根据权利要求1至6中任一项所述的框架型材(20、27)。
11.一种具有框架型材(20、27)的用于洁净气体腔室(10)的框架，
其特征在于
板连接侧面(26.4)布置在每个框架型材(20、27)上，所述板连接侧面(26.4)具有用于与板元件气密地连接的板连接区域，在各种情况下，至少一个邻接侧面(26.1、26.2、26.3)布置在所述框架型材(20、27)上，所述邻接侧面具有用于容纳密封元件(18)的至少一个纵向取向的密封部分(22、24、25)，多个框架型材(20、27)相对于所述板元件在周向上布置在所述板连接侧面(26.4)上并且与其气密地连接，并且所述框架型材(20、27)中的至少一个以其邻接侧面(26.1、26.2、26.3)气密地连接到另外的框架型材(20、27)的邻接侧面(26.1、26.2、26.3)，并且/或者，所述框架型材(20、27)中的至少一个以所述邻接侧面(26.1、26.2、26.3)气密地连接到连接型材，尤其是气密地连接到拐角连接器(30、40)和/或另外的板元件的表面。
12.根据权利要求11所述的框架，
其特征在于
紧固部分布置在所述框架型材(20、27)的至少一个邻接侧面(26.1、26.2、26.3)上，毗连的框架型材(20、27)由连接元件(14.1、14.2、14.3、14.4、14.5)连接到彼此，并且所述连接元件(14.1、14.2、14.3、14.4、14.5)通过紧固元件紧固到所述框架型材(20、27)的所述紧固部分。
13.根据权利要求11或12所述的框架，
其特征在于
拐角连接器(30、40)具有彼此成一定角度地布置的至少两个臂(31.1、31.2、41.2、41.3)，每个臂(31.1、31.2、41.2、41.3)抵靠在框架型材(20、27)的邻接侧面(26.1、26.2、26.3)，并且通过紧固件、尤其是螺栓(17.2)连接到所述框架型材。
14.根据权利要求13所述的框架，
其特征在于
所述拐角连接器(30)的所述臂(31.1、31.2、41.2、41.3)通过弯曲部直接合并到彼此，或者，所述臂(31.1、31.2、41.2、41.3)通过腹板(41.1)连接，并且/或者，所述臂(31.1、31.2、41.2、41.3)通过至少一个稳定元件(42)连接。
15.根据权利要求11至14中任一项所述的框架，具有根据权利要求1至5中任一项所述的框架型材(20、27)。
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